DE102017207459A1

DE102017207459A1 - CLEANING DEVICE FOR CLEAN ROOMS

Info

Publication number: DE102017207459A1
Application number: DE102017207459.0A
Authority: DE
Inventors: Christian Assfalg; Andreas Seifert; Alireza Akbarinia; Jovana-Maria Diesch
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2016-06-15
Filing date: 2017-05-04
Publication date: 2017-12-21
Also published as: DE102016210695A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Reinigungsverfahren und eine Reinigungsvorrichtung für Reinräume zur Reinigung von Oberflächen von Komponenten, die in Reinräumen gehandhabt werden, mit mindestens einer Fluidzuführleitung (1) und mindestens einer Fluiddüse (2), die mit der Fluidzuführleitung in Verbindung ist und mit der Reinigungsfluid auf die zu reinigende Oberfläche (12) geleitet werden kann, sowie mit einer Abdeckhaube (3), die um die mindestens eine Fluiddüse angeordnet ist und eine Reinigungsöffnung (11) umschließt, um einen Bereich der zu reinigenden Oberfläche zu überdecken, in dem durch das mit der Fluiddüse auf die zu reinigende Oberfläche abgegebene Reinigungsfluid Kontaminationen an der zu reinigenden Oberfläche losgelöst werden können, wobei die Abdeckhaube mit mindestens einer Absaugleitung (4) versehen ist, über die Reinigungsfluid und losgelöste Kontaminationen im Bereich der Abdeckhaube abgesaugt werden können, und wobei die Reinigungsvorrichtung so eingerichtet ist, dass das gesamte durch die mindestens eine Fluiddüse abgegebene Reinigungsfluid durch die mindestens eine Absaugleitung abgesaugt werden kann, so dass keine Kontaminationen den Bereich unterhalb der Abdeckhaube verlassen können.The present invention relates to a cleaning method and a cleaning apparatus for clean rooms for cleaning surfaces of components handled in clean rooms, comprising at least one fluid supply line (1) and at least one fluid nozzle (2) in communication with the fluid supply line and with the cleaning fluid on the surface to be cleaned (12) can be conducted, and with a cover (3) which is arranged around the at least one fluid nozzle and a cleaning opening (11) surrounds to cover a portion of the surface to be cleaned, in which With the fluid nozzle on the surface to be cleaned discharged cleaning fluid contaminants on the surface to be cleaned can be detached, the cover is provided with at least one suction line (4) can be sucked through the cleaning fluid and detached contaminants in the cover, and wherein the Reinigungsvorrich is set up so that the entire discharged through the at least one fluid nozzle cleaning fluid can be sucked through the at least one suction, so that no contamination can leave the area below the cover.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

GEBIET DER ERFINDUNGFIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung für Reinräume zur Reinigung von Oberflächen von Komponenten, die in Reinräumen gehandhabt werden, sowie ein Verfahren zur Reinigung von entsprechenden Komponenten.The present invention relates to a cleaning device for clean rooms for cleaning surfaces of components that are handled in clean rooms, and a method for cleaning of corresponding components.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

In verschiedenen Bereichen der Technik kommt es auf besondere Sauberkeit und Reinheit bei der Handhabung von Bauteilen und Komponenten an, da Verunreinigungen mit klein dimensionierten Partikeln unerwünschte Auswirkungen haben können. Insbesondere in der Mikrotechnik bzw. Nanotechnik muss bei der Herstellung und Anwendung vermieden werden, dass unkontrollierte Verunreinigungen durch Partikel erfolgen, da bereits durch geringfügige Verunreinigungen mit klein dimensionierten Partikeln die Funktion der Mikro- bzw. Nanostrukturen beeinträchtigt werden kann. Dies gilt beispielsweise auch für die Herstellung und den Betrieb von Lithographiesystemen, bei denen z.B. Partikel in der Lithographieoptik einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie Transmissionsverluste erzeugen können oder, falls die Partikel im Bereich der die zu erzeugenden Strukturen tragenden Maske auftreten, entsprechende Abbildungsfehler mit Fehlproduktionen entstehen können. Darüber hinaus werden bei Lithographiesystemen verstärkt Mikroaktuatoren eingesetzt, sodass auch diese in ihrem Betrieb durch Verunreinigung mit Partikeln beeinträchtigt werden können.In various fields of technology, special cleanliness and cleanliness in the handling of components and components are important, since contamination with small-sized particles can have undesirable effects. Especially in microtechnology or nanotechnology must be avoided in the production and application that uncontrolled contamination by particles, since already by minor contamination with small-sized particles, the function of the micro- or nanostructures can be affected. This also applies, for example, to the production and operation of lithography systems in which e.g. Particles in the lithographic optics of a projection exposure apparatus for microlithography can generate transmission losses or, if the particles occur in the region of the mask carrying structures to be generated, corresponding aberrations can arise with defective productions. In addition, lithography systems increasingly use microactuators, so that they can be affected in their operation by contamination with particles.

Entsprechend erfolgen die Montage und der Betrieb von Lithographiesystemen in Reinräumen und zur Minimierung der Partikelbelastung müssen entsprechende Bauteile und Komponenten in geeigneter Weise gereinigt werden.Accordingly, the assembly and operation of lithography systems in clean rooms and to minimize the particle load corresponding components and components must be cleaned in a suitable manner.

Bei einer Reinigung im Reinraum ist jedoch darauf zu achten, dass es durch das eingesetzte Reinigungsverfahren nicht zur Einbringung von neuen Verunreinigungen kommt oder durch die Reinigung lediglich eine Umlagerung der Verunreinigung auf andere Komponenten stattfindet.When cleaning in a clean room, however, care must be taken to ensure that the cleaning process used does not result in the introduction of new impurities or that cleaning merely causes the contamination to be transferred to other components.

Bei den bisher eingesetzten Verfahren zur Reinigung in Reinräumen besteht gerade die Gefahr einer Umlagerung bzw. Umverteilung von Kontaminationen auf andere Bauteile oder Komponenten, da die Reinigung üblicherweise durch Wischen und Aufnehmen von Partikeln mit getränkten Tüchern erfolgt. Die Tücher sind mit Lösemittel getränkt, um ein Lösen der Kontaminationen von der zu reinigenden Oberfläche zu erzielen und ein schnelles und rückstandfreies Trocknen zu gewährleisten. Durch Verdampfen der Lösemittel wird jedoch die Atmosphäre im Reinraum belastet und das Aufnehmen der Partikel mit den entsprechenden Tüchern ist nicht zuverlässig. Außerdem besteht die Gefahr, dass durch die Tücher Fasern oder andere Rückstände auf den zu reinigenden Oberflächen verbleiben.In the previously used methods for cleaning in clean rooms, there is the danger of a rearrangement or redistribution of contaminants to other components or components, since the cleaning is usually carried out by wiping and picking up particles with impregnated cloths. The cloths are saturated with solvent to achieve a release of the contaminants from the surface to be cleaned and to ensure a quick and residue-free drying. However, by evaporating the solvents, the atmosphere in the clean room is loaded and the picking up of the particles with the corresponding cloths is not reliable. In addition, there is a risk that fibers or other residues remain on the surfaces to be cleaned by the cloths.

Bei einem Ablasen von Verunreinigungen, welches ebenfalls als Reinigungsmöglichkeit in Reinräumen eingesetzt wird, werden die abgeblasenen Partikel unkontrolliert umverteilt, sodass ein hohes Risiko einer Rekontamination besteht.When pollutants are blown off, which is also used as a cleaning option in clean rooms, the blown-off particles are redistributed uncontrollably, which results in a high risk of recontamination.

Statt dem Ablasen wird auch das Absaugen als Reinigungsverfahren eingesetzt, wobei durch die Adhäsion der Partikel auf der zu reinigenden Oberfläche das Absaugen häufig nicht ausreichend ist, um die gewünschte Reinigung zu erzielen. Instead of the blow-off and the suction is used as a cleaning method, wherein the adhesion of the particles on the surface to be cleaned, the suction is often not sufficient to achieve the desired cleaning.

Weitere Reinigungsverfahren, wie sie außerhalb von Reinräumen eingesetzt werden, sind häufig in Reinräumen nicht einsetzbar, da sie Vorrichtungen oder Mittel verwenden, die wiederum die Gefahr in sich tragen, dass Kontaminationen in den Reinraum eingebracht werden. Dies gilt beispielsweise auch für eine Blas-Saugpistole, wie sie in dem deutschen Gebrauchsmuster DE 298 16 397 U1 beschrieben ist. Durch den komplexen Aufbau mit vielen Bereichen für Ablagerungsmöglichkeiten von Partikeln ist eine Verwendung einer derartigen Saug-Blaspistole in einem Reinraum kontraproduktiv. Außerdem besteht auch bei dieser Blas-Saugpistole das Problem, dass es zu einer Umverteilung von weggeblasenen Kontaminationen kommt.Other cleaning methods, such as those used outside of cleanrooms, are often not usable in cleanrooms, as they use devices or means, which in turn carry the risk that contaminants are introduced into the clean room. This applies, for example, for a blow-suction gun, as in the German utility model DE 298 16 397 U1 is described. Due to the complex structure with many areas for deposition of particles is a use of such a suction blowgun in a clean room counterproductive. In addition, there is also the problem in this blow-suction gun that there is a redistribution of blown contaminations.

OFFENBARUNG DER ERFINDUNGDISCLOSURE OF THE INVENTION

AUFGABE DER ERFINDUNGOBJECT OF THE INVENTION

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Reinigung von Oberflächen von Komponenten bereitzustellen, die in Reinräumen gehandhabt werden, wie beispielsweise Komponenten von Lithographiesystemen. Die Vorrichtung und das entsprechende Verfahren sollen eine zuverlässige Reinigung entsprechender Komponenten mit Entfernung der vorliegenden Kontaminationen ermöglichen, ohne dass die Gefahr einer zusätzlichen Kontamination des Reinraums und/oder einer Umverteilung von Kontaminationen im Reinraum besteht. Außerdem soll die Vorrichtung einfach aufgebaut und das Verfahren einfach durchführbar sein.It is therefore an object of the present invention to provide an apparatus and method for cleaning surfaces of components that are handled in clean rooms, such as components of lithography systems. The device and the corresponding method are intended to enable reliable cleaning of corresponding components with removal of the contaminations present, without the risk of additional contamination of the clean room and / or redistribution of contaminants in the clean room. In addition, the device should be simple and the process easy to carry out.

TECHNISCHE LÖSUNGTECHNICAL SOLUTION

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Reinigungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zur Reinigung von Oberflächen mit den Merkmalen des Anspruchs 12. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.This object is achieved by a cleaning device having the features of the claim 1 and a method for cleaning surfaces with the features of claim 12. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.

Die vorliegende Erfindung schlägt vor, mit einem Reinigungsfluid, welches auf die zu reinigende Oberfläche aufgebracht wird, dort befindliche Kontaminationen zu lösen und durch gleichzeitiges Absaugen des Reinigungsfluids mit den darin aufgenommenen Kontaminationen die Kontaminationen sicher von der zu reinigenden Oberfläche zu entfernen, ohne dass die Gefahr besteht, dass die Kontaminationen in andere Bereiche des Reinraums umverteilt werden. Hierzu wird nach einem Aspekt der vorliegenden Erfindung, für den selbstständig und in Kombination mit anderen Aspekten der Erfindung Schutz begehrt wird, eine Reinigungsvorrichtung vorgeschlagen, die mindestens eine Fluidzuführleitung und mindestens eine Fluiddüse aufweist, die mit der Fluidzuführleitung in Verbindung steht und mit der Reinigungsfluid auf die zu reinigende Oberfläche geleitet werden kann. Darüber hinaus weist die Reinigungsvorrichtung eine Abdeckhaube auf, die um die mindestens eine Fluiddüse angeordnet ist und eine Reinigungsöffnung umschließt, sodass ein Bereich der zu reinigenden Oberfläche mit der Abdeckhaube abgedeckt werden kann. An der Abdeckhaube ist mindestens eine Absaugleitung angeordnet, über die Reinigungsfluid und durch das Reinigungsfluid von der zu reinigenden Oberfläche losgelöste Kontaminationen abgesaugt werden können.The present invention proposes to use a cleaning fluid, which is applied to the surface to be cleaned, to dissolve contaminations located there and to remove the contaminations safely from the surface to be cleaned by simultaneously sucking off the cleaning fluid with the contaminants contained therein without the risk that the contaminants are redistributed to other areas of the clean room. For this purpose, according to one aspect of the present invention, for which protection is sought on its own and in combination with other aspects of the invention, a cleaning device is proposed which has at least one fluid supply line and at least one fluid nozzle in communication with the fluid supply line and with the cleaning fluid the surface to be cleaned can be passed. In addition, the cleaning device has a cover which is arranged around the at least one fluid nozzle and encloses a cleaning opening, so that a region of the surface to be cleaned can be covered with the cover. At least one suction line is arranged on the cover hood, via which cleaning fluid and contaminants that are detached from the surface to be cleaned can be sucked off by the cleaning fluid.

Die Reinigungsvorrichtung ist hierbei so eingerichtet, dass das gesamte durch die mindestens eine Fluiddüse abgegebene Reinigungsfluid durch die mindestens eine Absaugleitung abgesaugt werden kann, sodass keine Kontaminationen den Bereich unterhalb der Abdeckhaube verlassen können. Dies kann insbesondere dadurch erreicht werden, dass die von der Abdeckhaube definierte Reinigungsöffnung so groß dimensioniert ist, dass bei der entsprechenden Absaugung durch die Absaugleitung ein seitliches Entweichen des Reinigungsfluids aus dem Bereich zwischen Abdeckhaube und zu reinigender Oberfläche unmöglich wird.In this case, the cleaning device is set up such that the entire cleaning fluid discharged through the at least one fluid nozzle can be sucked through the at least one suction line so that no contamination can leave the area below the cover hood. This can be achieved, in particular, by the fact that the cleaning opening defined by the covering hood is dimensioned so large that, with the corresponding suction through the suction line, a lateral escape of the cleaning fluid from the area between covering hood and surface to be cleaned becomes impossible.

Darüber hinaus kann die Reinigungsvorrichtung eine Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung zur Steuerung und/oder Regelung der Reinigungsfluidströme durch die mindestens eine Fluiddüse bzw. Fluidzuführleitung und den mindestens einen Absaugkanal umfassen, sodass die Fluidströme des Reinigungsfluids so eingestellt werden können, dass kein Reinigungsfluid aus dem Bereich unterhalb der Abdeckhaube bzw. zwischen Abdeckhaube und zu reinigender Oberfläche entweichen kann. Bei einer gegebenen Zufuhr von Reinigungsfluid an die zu reinigende Oberfläche wird entsprechend die Absaugleistung so hoch gewählt, dass ein seitliches Entweichen von Reinigungsfluid und Kontaminationen unterhalb der Abdeckhaube unmöglich wird. Umgekehrt können natürlich auch bei einer gegebenen Absaugleistung die Zufuhr an Reinigungsfluid oder sowohl Absaugleistung als auch Zufuhr von Reinigungsfluid eingestellt werden. In addition, the cleaning device may include a control and / or regulating device for controlling and / or regulating the cleaning fluid flows through the at least one fluid nozzle or fluid supply line and the at least one suction channel, so that the fluid streams of the cleaning fluid can be adjusted so that no cleaning fluid from the Area below the cover or between cover and surface to be cleaned can escape. For a given supply of cleaning fluid to the surface to be cleaned, the suction power is chosen so high that a lateral escape of cleaning fluid and contamination below the cover is impossible. Conversely, of course, the supply of cleaning fluid or both suction power and supply of cleaning fluid can be adjusted even with a given suction.

Die Abdeckhaube kann eine Glocken- oder Kegelform aufweisen, wobei die Grundfläche der Glocke oder des Kegels die Reinigungsöffnung bildet und entsprechend sehr viel größer dimensioniert ist, als beispielsweise die Öffnung der Fluiddüse.The cover may have a bell or cone shape, wherein the base of the bell or the cone forms the cleaning opening and is dimensioned correspondingly much larger than, for example, the opening of the fluid nozzle.

Darüber hinaus kann die Abdeckhaube eine halbkugelartige Form oder die Form einer Halbkugel aufweisen, wobei die Reinigungsöffnung dann entsprechend durch die Kreisfläche der Halbkugel bzw. halbkugelartigen Form gebildet wird. Durch die beschriebenen Formen der Abdeckhaube, die sich alle ausgehend von der Reinigungsöffnung, die an der zu reinigenden Oberfläche angeordnet wird, verjüngen, kann ein entsprechend Fluidstrom eingestellt werden, der ein seitliches Verlassen von Kontaminationen aus dem Bereich der Abdeckhaube verhindert. In addition, the cover may have a hemispherical shape or the shape of a hemisphere, wherein the cleaning opening is then formed according to the circular area of the hemisphere or hemispherical shape. By the described forms of the cover, all tapering from the cleaning opening, which is arranged on the surface to be cleaned, a corresponding fluid flow can be adjusted, which prevents lateral leakage of contaminants from the region of the cover.

Dies kann dadurch verstärkt werden, dass der Absaugkanal zentral an der der Reinigungsöffnung gegenüber liegenden Seite der Abdeckhaube angeordnet ist und in diese mündet bzw. die Verjüngung der Abdeckhaube sich in den Absaugkanal fortsetzt. Dies hat auch den Vorteil, dass die Abdeckhaube glatte und kontinuierlich verlaufende Oberflächen aufweisen kann und/oder einen glatten oder kontinuierlich verlaufenden Übergang von der Abdeckhaube zum Absaugkanal oder einer Fluidzuführleitung aufweisen kann, sodass vermieden wird, dass an der Abdeckhaube, dem Absaugkanal und/oder der Zuführleitung Ablagerungen von Partikeln oder dergleichen entstehen könnten, die wiederum zu einer Rekontamination im Reinraum führen könnten.This can be enhanced by the fact that the suction channel is arranged centrally on the side opposite the cleaning opening side of the cover and opens into this or the taper of the cover continues into the suction channel. This also has the advantage that the cover can have smooth and continuous surfaces and / or can have a smooth or continuous transition from the cover to the suction or a Fluidzuführleitung, so that is avoided that on the cover, the suction and / or The supply line deposits of particles or the like could arise, which in turn could lead to recontamination in the clean room.

Die mindestens eine Fluiddüse kann in einer Draufsicht auf die Reinigungsöffnung der Abdeckhaube in der Mitte der Reinigungsöffnung angeordnet sein, sodass bei der Abgabe des Reinigungsfluids durch die Fluiddüse das Reinigungsfluid zunächst seitlich an der Fluiddüse nach außen entweicht, aber dann im Bereich der Abdeckhaube durch das Absaugen in Richtung des Absaugkanals von der zu reinigenden Oberfläche weggespült wird.The at least one fluid nozzle may be arranged in a plan view of the cleaning opening of the cover in the middle of the cleaning opening, so that upon release of the cleaning fluid through the fluid nozzle, the cleaning fluid initially escapes to the outside of the fluid nozzle to the outside, but then in the region of the cover through the suction is washed away in the direction of the suction channel of the surface to be cleaned.

Alternativ oder zusätzlich können eine einzelne Fluiddüse oder mehrere Fluiddüsen ring- oder kreisförmig entlang des Rands der Reinigungsöffnung angeordnet sein. Hierbei kann es sich um eine Ringdüse handeln oder um die Anordnung von mehreren beabstandet zueinander angeordneten Düsen in Form eines Rings oder Kreises. In diesen Fällen wird das aus den Düsen austretende Reinigungsfluid durch den Sog durch den Absaugkanal in Richtung der Mitte der Abdeckhaube abgelenkt, sodass eine sich nach innen gerichtete Strömung des Reinigungsfluids ergibt.Alternatively or additionally, a single fluid nozzle or a plurality of fluid nozzles may be arranged annularly or circularly along the edge of the cleaning opening. This may be an annular nozzle or the arrangement of a plurality of spaced-apart nozzles in the form of a ring or circle. In these cases, the cleaning fluid leaving the nozzles will be drawn by suction through the suction channel the center of the cover deflected so that an inward flow of the cleaning fluid results.

Die mindestens eine Fluiddüse kann verstellbar ausgebildet sein, sodass die Abgaberichtung des Reinigungsfluids verändert werden kann. Insbesondere kann die mindestens eine Fluiddüse so eingestellt werden, dass ein Entweichen des Reinigungsfluids aus dem Bereich der Abdeckhaube vermieden wird. Auch fest angeordnete Fluiddüsen können so ausgerichtet sein, dass das Reinigungsfluid sicher im Bereich der Abdeckhaube verbleibt und keine losgelösten Kontaminationen den Bereich unterhalb der Abdeckhaube seitlich verlassen können. The at least one fluid nozzle can be designed to be adjustable, so that the dispensing direction of the cleaning fluid can be changed. In particular, the at least one fluid nozzle can be adjusted so that escape of the cleaning fluid from the region of the cover is avoided. Even fixed fluid nozzles can be aligned so that the cleaning fluid safely remains in the cover and no detached contaminants can leave the area below the cover laterally.

Der Absaugkanal und die Fluidzuführleitung können konzentrisch zueinander angeordnet sein, sodass sich ein besonders einfacher Aufbau mit einer möglichst durchgehend glatten Oberfläche eines Großteils der Reinigungsvorrichtung ergibt. Beispielsweise kann eine einzige äußere durchgehende Oberfläche vorgesehen sein, die die Abdeckhaube und den Absaugkanal einschließt, wobei die Fluidzuführeinleitung innerhalb des Absaugkanals angeordnet sein kann. Dadurch ergeben sich wenige Möglichkeiten für Partikelablagerungen und es wird vermieden, dass durch die Reinigungsvorrichtung zusätzliche Partikel eingebracht werden.The suction channel and the fluid supply line can be arranged concentrically with each other, so that a particularly simple structure with as smooth as possible smooth surface of most of the cleaning device results. For example, a single outer continuous surface may be provided which encloses the cover and the suction channel, wherein the fluid supply inlet may be disposed within the suction channel. This results in few opportunities for particle deposits and it is avoided that additional particles are introduced by the cleaning device.

Dies betrifft insbesondere den Teil der Reinigungsvorrichtung, der als Reinigungskopf bezeichnet werden kann und die Abdeckhaube sowie zumindest Teile der Zuführleitung und des Absaugkanals umfasst, welche bei der Reinigung zwangsweise innerhalb des Reinraums angeordnet und in diesem bewegt werden müssen, während andere Komponenten wie beispielsweise die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung außerhalb des Reinraums angeordnet sein können. Entsprechend kann der Reinigungskopf möglichst einstückig ausgebildet sein, um Verbindungsstellen zu vermeiden. Dies kann beispielsweise durch eine additive Fertigung mit einem 3D-Druckverfahren erreicht werden. This particularly relates to the part of the cleaning device, which can be referred to as a cleaning head and the cover and at least parts of the supply line and the suction channel, which must be arranged during cleaning forcibly within the clean room and moved in this, while other components such as the control - And / or regulating device can be arranged outside the clean room. Accordingly, the cleaning head can be formed as integral as possible in order to avoid joints. This can be achieved for example by an additive manufacturing with a 3D printing process.

Darüber hinaus können die Reinigungsvorrichtung und insbesondere der Reinigungskopf aus reinraumtauglichem Material gebildet sein, die feste, glatte Oberflächen aufweisen und bei denen keine Gefahr des Ausgasens besteht. Durch feste, glatte Oberflächen wird die Gefahr des Abriebs von Partikeln oder die Möglichkeit der Ablagerung von Partikeln verringert und durch die Vermeidung des Ausgasens wird eine Belastung der Atmosphäre des Reinraums und die Entstehung von möglichen Reaktionsprodukten verhindert.In addition, the cleaning device and in particular the cleaning head can be formed from cleanroom suitable material having solid, smooth surfaces and in which there is no risk of outgassing. Solid, smooth surfaces reduce the risk of particle debris or the possibility of particle deposition, and avoiding outgassing prevents contamination of the cleanroom atmosphere and possible reaction products.

Die Reinigungsvorrichtung und insbesondere der Reinigungskopf können eine Lichtquelle und/oder ein Sichtfenster in der Abdeckhaube aufweisen, sodass Partikel, die entfernt werden müssen, sichtbar und beobachtbar gemacht werden können. Bei der Lichtquelle kann es sich um eine Weißlichtquelle oder eine UV-Lichtquelle handeln. The cleaning device and in particular the cleaning head may have a light source and / or a viewing window in the cover, so that particles that need to be removed, can be made visible and observable. The light source may be a white light source or a UV light source.

Die Abdeckhaube kann an ihrem die Reinigungsöffnung definierenden Ende eine Dichtungseinrichtung zur Abdichtung gegenüber der zu reinigenden Oberfläche aufweisen, sodass dadurch zusätzlich zur Fluidführung unterhalb der Abdeckhaube eine Umverteilung von Kontaminationen vermieden werden kann.The cover may have at its end defining the cleaning opening a sealing device for sealing against the surface to be cleaned, so that in addition to the fluid guide below the cover a redistribution of contaminants can be avoided.

Als Reinigungsfluid kann Druckluft oder ein anderes Gas, insbesondere ionisiertes Gas Verwendung finden, wobei durch die Ionisierung eine Aktivierung und weitere Verbesserung der Loslösung von Kontaminationen von der zu reinigenden Oberfläche bewirkt werden kann.As a cleaning fluid compressed air or other gas, in particular ionized gas can be used, which can be caused by the ionization activation and further improvement of the release of contaminants from the surface to be cleaned.

Das Reinigungsfluid kann kontinuierlich auf die zu reinigende Oberfläche oder in Pulsen, d.h. in Intervallen, auf die zu reinigende Oberfläche abgegeben werden. Darüber hinaus kann das Reinigungsfluid in Druckwellen oder Schockwellen auf die zu reinigende Oberfläche abgegeben werden, wobei die Reinigungsvorrichtung entsprechende Druckerzeugungseinrichtungen, Schockwellenerzeuger, wie Schallerzeuger oder dergleichen, aufweisen kann. Die Absaugung kann vorzugsweise kontinuierlich erfolgen. The cleaning fluid may be applied continuously to the surface to be cleaned or in pulses, i. at intervals, are delivered to the surface to be cleaned. In addition, the cleaning fluid can be delivered in pressure waves or shock waves on the surface to be cleaned, the cleaning device may have corresponding pressure generating devices, shock wave generators, such as sound generators or the like. The suction can preferably be continuous.

Die Fluidzuführleitung und/oder die Absaugleitung können an entsprechende Ver- bzw. Entsorgungseinrichtungen des Reinraums angeschlossen werden, wie beispielsweise an eine Druckluftversorgung oder geeignete Saugeinrichtungen.The fluid supply line and / or the suction line can be connected to appropriate supply and disposal facilities of the clean room, such as a compressed air supply or suitable suction devices.

Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Reinigung von Oberflächen von Komponenten von Reinräumen, für welches selbstständig und in Kombination mit anderen Aspekten der vorliegenden Erfindung Schutz begehrt wird, wird eine Reinigungsvorrichtung mit einer Abdeckhaube, die eine Reinigungsöffnung aufweist, und mit einer Fluiddüse zur Abgabe von Reinigungsfluid sowie mindestens einem Absaugkanal zur Absaugung von Reinigungsfluid im Bereich der Abdeckhaube mit der Reinigungsöffnung an einer zu reinigenden Oberfläche angeordnet, wobei durch die mindestens eine Fluiddüse Reinigungsfluid auf die zu reinigende Oberfläche abgegeben wird. Durch das Reinigungsfluid werden an der zu reinigenden Oberfläche Verschmutzungen gelöst, wobei das Reinigungsfluid mit den aufgenommenen Verschmutzungen durch den Absaugkanal abgesaugt wird. Die Reinigungsvorrichtung und insbesondere ein Reinigungskopf, der lediglich die Abdeckhaube, die Fluiddüse, einen Teil des Absaugkanals und einen Teil einer Fluidzuführleitung umfasst, kann mit der Reinigungsöffnung über die zu reinigende Oberfläche bewegt werden, sodass ein größerer Bereich der Oberfläche als die Reinigungsöffnung gereinigt werden kann. According to the inventive method for cleaning surfaces of components of clean rooms for which self-protection and in combination with other aspects of the present invention protection is sought, is a cleaning device with a cover having a cleaning opening, and with a fluid nozzle for dispensing cleaning fluid and arranged at least one suction channel for the extraction of cleaning fluid in the region of the cover with the cleaning opening on a surface to be cleaned, being discharged through the at least one fluid nozzle cleaning fluid to the surface to be cleaned. By the cleaning fluid soiling is solved on the surface to be cleaned, wherein the cleaning fluid is sucked with the recorded dirt through the suction. The cleaning device and in particular a cleaning head, which comprises only the cover, the fluid nozzle, a part of the suction channel and a part of a fluid supply line, can with the cleaning opening on the to be cleaned Surface are moved so that a larger area of the surface can be cleaned than the cleaning opening.

Insbesondere kann die Reinigungsvorrichtung mit der Reinigungsöffnung beabstandet von und berührungslos zur zu reinigenden Oberfläche über diese bewegt werden, um Beschädigungen der zu reinigenden Oberfläche auszuschließen.In particular, the cleaning device with the cleaning opening spaced from and contactlessly to the surface to be cleaned can be moved over this to exclude damage to the surface to be cleaned.

Die Bewegung des Reinigungskopfs kann manuell oder maschinell erfolgen. The movement of the cleaning head can be done manually or mechanically.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGURENBRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise inThe accompanying drawings show in a purely schematic manner in FIG

1 eine Darstellung einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung, 1 a representation of a first embodiment of a cleaning device according to the invention,

2 eine Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit einer anders geformten Abdeckhaube, 2 a representation of a second embodiment of a cleaning device according to the invention with a differently shaped cover,

3 eine Darstellung einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit einer weiteren geänderten Form der Abdeckhaube, 3 a representation of a third embodiment of a cleaning device according to the invention with a further modified form of the cover,

4 eine Darstellung einer weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit einer weiteren geänderten Form der Abdeckhaube in Seitenansicht, 4 a representation of another embodiment of a cleaning device according to the invention with a further modified form of the cover in side view,

5 eine Darstellung der Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit einer Abdeckhaube gemäß der 4 von oben, 5 a representation of the embodiment of a cleaning device according to the invention with a cover according to the 4 from above,

6 eine Darstellung einer weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit einer weiteren geänderten Form der Abdeckhaube von oben, 6 1 is a representation of a further embodiment of a cleaning device according to the invention with a further modified form of the cover hood from above,

7 eine Draufsicht auf die Reinigungsfläche der Reinigungsvorrichtung aus 1, 7 a plan view of the cleaning surface of the cleaning device 1 .

8 eine Draufsicht auf die Reinigungsöffnung einer weiteren Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung und in 8th a plan view of the cleaning opening of another embodiment of a cleaning device according to the invention and in

9 eine Draufsicht auf die Reinigungsöffnung einer weiteren Ausführungsform einer Reinigungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. 9 a plan view of the cleaning opening of another embodiment of a cleaning device according to the present invention.

AUSFÜHRUNGSBEISPIELEEMBODIMENTS

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele deutlich, wobei die Erfindung allerdings nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist.Further advantages, characteristics and features of the present invention will become apparent in the following detailed description of the embodiments, but the invention is not limited to these embodiments.

Die 1 zeigt in einer schematischen, seitlichen Schnittansicht eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit einer Fluidzuführleitung 1, mit der Reinigungsfluid zu einer Fluiddüse 2 transportiert werden kann, um dort auf eine zu reinigende Oberfläche 12 abgegeben zu werden, um an der zu reinigenden Oberfläche Kontaminationen zu lösen, die auf der zu reinigenden Oberfläche vorhanden sind. Um die Fluiddüse 2 ist eine halbkugelförmige Abdeckhaube 3 angeordnet, die in einen zentralen Bereich der Abdeckhaube gegenüberliegend zu der zu reinigenden Oberfläche 12 mit einem Absaugkanal 4 in Verbindung steht, über den unterhalb der Abdeckhaube 3 befindliches Reinigungsfluid mit darin aufgenommenen Kontaminationen abgesaugt werden können.The 1 shows in a schematic, side sectional view of a first embodiment of a cleaning device according to the invention with a Fluidzuführleitung 1 , with the cleaning fluid to a fluid nozzle 2 can be transported to there on a surface to be cleaned 12 to be discharged in order to solve on the surface to be cleaned contaminations that are present on the surface to be cleaned. To the fluid nozzle 2 is a hemispherical cover 3 arranged in a central region of the cover opposite to the surface to be cleaned 12 with a suction channel 4 is in communication, over the below the cover 3 befindliches cleaning fluid can be sucked with recorded therein contaminants.

Das Reinigungsfluid kann Druckluft oder ein anderes Reinigungsgas sein, wobei die Fluidzuführleitung 1 entsprechend mit einer Versorgungseinrichtung für Druckluft oder das entsprechende Reinigungsgas in Verbindung steht, wie beispielsweise einem Druckluftspeicher oder einer entsprechenden Gasversorgungseinheit (nicht gezeigt). Um das Reinigungsfluid mit entsprechendem Druck auf die zu reinigende Oberfläche 12 aufbringen zu können kann in der Fluidzuführleitung 1 eine entsprechende Pumpe 7 oder sonstige Druckerhöhungseinrichtungen vorgesehen sein. Allerdings kann auch der Druck, mit dem beispielsweise Druckluft von der Druckluftversorgung zur Verfügung gestellt wird, bereits für die Reinigungszwecke ausreichend sein. Entsprechend kann auch im Absaugkanal 4 eine Saugpumpe 6 vorgesehen sein, mittels der der Raum unterhalb der Abdeckhaube 3 abgesaugt werden kann. Auch hier ist denkbar, dass der Absaugkanal 4 alternativ oder zusätzlich an eine im Reinraum vorhandene Absaugeinrichtung angeschlossen werden kann. The cleaning fluid may be compressed air or another cleaning gas, the fluid supply line 1 correspondingly with a supply device for compressed air or the corresponding cleaning gas is in communication, such as a compressed air reservoir or a corresponding gas supply unit (not shown). To the cleaning fluid with appropriate pressure on the surface to be cleaned 12 can apply in the Fluidzuführleitung 1 a corresponding pump 7 or other pressure booster devices may be provided. However, the pressure with which, for example, compressed air is made available by the compressed air supply may already be sufficient for the purpose of cleaning. Accordingly, in the suction channel 4 a suction pump 6 be provided by means of the space below the cover 3 can be sucked off. Again, it is conceivable that the suction channel 4 Alternatively or additionally, it can be connected to a suction device present in the clean room.

In der Fluidzuführleitung 1 und im Absaugkanal 4 können Absperrelemente und/oder Ventile 8, 9 vorgesehen sein, über die der Durchfluss durch die Fluidzuführleitung 1 und den Absaugkanal 4 reguliert werden kann.In the fluid supply line 1 and in the suction channel 4 can shut-off and / or valves 8th . 9 be provided, via which the flow through the Fluidzuführleitung 1 and the suction channel 4 can be regulated.

Entsprechend weist die Reinigungsvorrichtung eine Steuerungs- und/oder Regelungsvorrichtung 5 auf, mit der beispielsweise der Betrieb der Pumpen 6, 7 und die Stellung der Ventile 8, 9 über nicht näher bezeichnete Signalleitungen eingestellt werden kann, um die gewünschten Gasströme einerseits in Richtung der zu reinigenden Oberfläche 12 durch die Fluiddüse 2 und andererseits von der zu reinigenden Oberfläche 12 weg durch den Absaugkanal 4 eingestellt und/oder geregelt werden können. Mit der Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 5 kann insbesondere sichergestellt werden, dass möglichst kein Reinigungsfluid, das durch die Fluiddüse 2 abgegeben wird, den Bereich zwischen der Abdeckhaube 3 und der zu reinigenden Oberfläche 12 seitlich verlässt, sondern dass sämtliches Reinigungsfluid mit den darin aufgenommenen Kontaminationen ausschließlich über den Absaugkanal 4 abgesaugt wird. Insbesondere soll vermieden werden, dass bei einem berührungslosen Betrieb der Reinigungsvorrichtung, bei dem kein Teil der Reinigungsvorrichtung, insbesondere auch nicht die Abdeckhaube 3, die zu reinigende Oberfläche 12 berührt, Kontaminationen aus dem Bereich der Abdeckhaube 3 über den Zwischenraum zwischen Abdeckhaube 3 und der zu reinigenden Oberfläche 12 in die Umgebung abgegeben werden.Accordingly, the cleaning device has a control and / or regulating device 5 on, with the example of the operation of the pumps 6 . 7 and the position of the valves 8th . 9 can be adjusted via unspecified signal lines to the desired gas flows on the one hand in the direction of the surface to be cleaned 12 through the fluid nozzle 2 and on the other hand of the surface to be cleaned 12 away through the suction channel 4 can be adjusted and / or regulated. With the control and / or regulating device 5 In particular, it can be ensured that as far as possible no cleaning fluid passing through the fluid nozzle 2 is discharged, the area between the cover 3 and the surface to be cleaned 12 leaves the side, but that all cleaning fluid with the contaminants contained therein exclusively through the suction channel 4 is sucked off. In particular, it should be avoided that in a non-contact operation of the cleaning device, in which no part of the cleaning device, in particular not the cover 3 , the surface to be cleaned 12 touched, contamination from the area of the cover 3 over the space between the cover 3 and the surface to be cleaned 12 be discharged into the environment.

Dies wird auch dadurch sichergestellt, dass die Abdeckhaube 3 eine Reinigungsöffnung 11 definiert, die sehr viel größer ist als die Düsenöffnung 2, sodass durch die Fluiddüse 2 ausgegebenes Reinigungsfluid, welches auf die zu reinigende Oberfläche 12 trifft, nicht ungehindert seitlich wegfließen kann, sondern durch den Sog des Absaugkanals 4 im Bereich der Abdeckhaube 3 nach oben in Richtung des Absaugkanals 4 abgelenkt wird.This is also ensured by the fact that the cover 3 a cleaning opening 11 defined, which is much larger than the nozzle opening 2 so through the fluid nozzle 2 spent cleaning fluid, which on the surface to be cleaned 12 meets, can not flow unhindered laterally, but by the suction of the suction channel 4 in the area of the cover 3 upwards in the direction of the suction channel 4 is distracted.

Die Abdeckhaube 3 kann in unterschiedlichen Formen ausgebildet sein, wie dies in den 2 bis 6 bezüglich der Ausführungsformen 3‘, 3‘‘, 3´´´´ und 3´´´´´ der Abdeckhaube gezeigt ist. Im Übrigen entsprechen die Ausführungsformen der 2 bis 6 der Ausführungsform der Reinigungsvorrichtung der 1, sodass keine weiteren Erläuterungen hierzu erforderlich sind und die identischen Komponenten mit gleichen Bezugszeichen versehen sind.The cover 3 can be formed in different forms, as in the 2 to 6 with respect to the embodiments 3 ' . 3 '' . 3'''' and 3''''' the cover is shown. Incidentally, the embodiments correspond to the 2 to 6 the embodiment of the cleaning device of 1 so that no further explanations are required and the identical components are provided with the same reference numerals.

Lediglich bei den Ausführungsformen der 3 und 4 ist mit der Ringdichtung 10 eine weitere Komponente gezeigt, die jedoch ebenfalls bei den Ausführungsformen der 1, 2 und 5 sowie 6 eingesetzt werden kann. Bei der Ringdichtung 10 handelt es sich um eine Gummilippe oder eine Lippe aus einem sonstigen weichen und elastischen Material, welches ermöglicht, dass die Reinigungsvorrichtung mit der Ringdichtung 10 in Kontakt mit der zu reinigenden Oberfläche 12 gehalten wird, um zusätzlich sicherzustellen, dass über den Zwischenraum zwischen der Abdeckhaube 3‘‘ und der zu reinigenden Oberfläche 12 kein Reinigungsfluid mit Kontaminationen entweichen kann. Only in the embodiments of the 3 and 4 is with the ring seal 10 a further component, but also in the embodiments of the 1 . 2 and 5 such as 6 can be used. At the ring seal 10 it is a rubber lip or a lip of another soft and elastic material, which allows the cleaning device with the ring seal 10 in contact with the surface to be cleaned 12 is held to additionally ensure that over the space between the cover 3 '' and the surface to be cleaned 12 no cleaning fluid can escape with contamination.

Die Ausführungsformen der 4 bis 6 zeigen, dass die Abdeckhaube 3´´´´, 3´´´´´ nicht rotationssymmetrisch zu einer zentralen Fluiddüse 2 oder einer Fluidzuführleitung 1 sein muss, sondern durch unsymmetrische Teile von entsprechenden Kegel- oder Haubenformen gebildet sein kann, wobei die Fluiddüse 2 oder die Fluidzuführleitung 1 am Rand einer Reinigungsöffnung 11 der Abdeckhaube 3´´´´, 3´´´´´ angeordnet sein kann. Darüber hinaus sind, wie 6 zeigt, auch eckige Abdeckhauben 3´´´´´ möglich. The embodiments of the 4 to 6 show that the cover 3'''' . 3''''' not rotationally symmetrical to a central fluid nozzle 2 or a fluid supply line 1 but may be formed by unbalanced parts of corresponding conical or dome shapes, wherein the fluid nozzle 2 or the fluid supply line 1 at the edge of a cleaning hole 11 the cover 3'''' . 3''''' can be arranged. In addition, how are 6 shows, even square covers 3''''' possible.

Die 7 zeigt die Reinigungsöffnung 11 der Abdeckhaube 3 aus 1 in Draufsicht, wobei zu erkennen ist, dass die Fluiddüse 2 hier zentral in der Mitte der Reinigungsöffnung 11 bzw. der Abdeckhaube 3 angeordnet ist. Konzentrisch zur Fluiddüse 2 ist der Absaugkanal 4 ebenfalls bezogen auf die Reinigungsöffnung 11 der Abdeckhaube 3 zentral an dieser angeordnet. Entsprechend ergibt sich für diese Ausführungsform ein Strömungsfluss des Reinigungsfluids von der Mitte der Reinigungsöffnung zur Seite und im Bogen weg von der zu reinigenden Oberfläche in Richtung des Absaugkanals 4. The 7 shows the cleaning hole 11 the cover 3 out 1 in plan view, wherein it can be seen that the fluid nozzle 2 here centrally in the middle of the cleaning opening 11 or the cover 3 is arranged. Concentric to the fluid nozzle 2 is the suction channel 4 likewise based on the cleaning opening 11 the cover 3 centrally located at this. Accordingly, for this embodiment, a flow flow of the cleaning fluid results from the center of the cleaning opening to the side and in arc away from the surface to be cleaned in the direction of the suction channel 4 ,

Die 8 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei welcher eine Ringdüse 2‘ mit einer ringförmigen Schlitzöffnung am Umfang der Abdeckhaube 3 bzw. der Reinigungsöffnung 11 angeordnet ist. Der Absaugkanal 4 befindet sich weiterhin in einem zentralen Bereich der Abdeckhaube 3, sodass sich ein Strömungsfluss des Reinigungsfluids vom Rand der Abdeckhaube 3 zur Mitte der Abdeckhaube 3 ergibt.The 8th shows a further embodiment in which an annular nozzle 2 ' with an annular slot opening on the circumference of the cover 3 or the cleaning opening 11 is arranged. The suction channel 4 is still located in a central area of the cover 3 so that a flow flow of the cleaning fluid from the edge of the cover 3 to the center of the cover 3 results.

Das gleiche wird bei der Ausführungsform der 9 erreicht, wobei hier allerdings statt einer einzelnen Ringdüse 2‘ eine Vielzahl von Fluiddüsen 2‘‘ in einer Ringform und beabstandet zueinander angeordnet sind. Darüber hinaus weist die Reinigungsöffnung 11‘ der Abdeckhaube 3´´´ keine kreisrunde Form auf, sondern eine ovale Form. Dies illustriert, dass verschiedene Formen eingesetzt werden können, wobei beispielsweise die Form der Reinigungsöffnung der Abdeckhaube auch eine eckige Form, beispielsweise eine quadratische, rechteckige oder sonstige mehreckige Form aufweisen kann.The same is true in the embodiment of 9 achieved, but here instead of a single ring nozzle 2 ' a variety of fluid nozzles 2 '' are arranged in a ring shape and spaced from each other. In addition, the cleaning opening points 11 ' the cover 3''' no circular shape, but an oval shape. This illustrates that different shapes can be used, wherein, for example, the shape of the cleaning opening of the cover can also have a polygonal shape, for example a square, rectangular or other polygonal shape.

Mit einer entsprechenden Reinigungsvorrichtung kann manuell oder mit einer geeigneten Bewegungsvorrichtung der Reinigungskopf bestehend aus Abdeckhaube 3, Fluiddüse 2 sowie zumindest einem Teil des Absaugkanals 4 und der Zuführleitung 1 über die zu reinigende Oberfläche 12 bewegt werden, um durch ein Abfahren der Oberfläche 12 eine vollständige Reinigung der zu reinigenden Oberfläche vornehmen zu können. Dabei kann das Reinigungsfluid kontinuierlich oder gepulst über die Fluiddüse 2 abgegeben werden. Darüber hinaus ist es auch denkbar Druck- oder Schockwellen zu erzeugen, um das Ablösen von Kontaminationen von der zu reinigenden Oberfläche 12 zu verbessern. Darüber hinaus können auch nicht dargestellte Heizeinrichtungen, wie Widerstandsheizungen, Infrarotstrahler oder dergleichen vorgesehen sein, um durch eine Erwärmung der zu reinigenden Oberfläche 12 die Reinigung zu intensivieren.With a corresponding cleaning device can manually or with a suitable movement device of the cleaning head consisting of cover 3 , Fluid nozzle 2 and at least part of the suction channel 4 and the supply line 1 over the surface to be cleaned 12 be moved to shut down the surface 12 to make a complete cleaning of the surface to be cleaned. The cleaning fluid may be continuous or pulsed via the fluid nozzle 2 be delivered. In addition, it is also conceivable to generate pressure waves or shock waves in order to detach contaminants from the surface to be cleaned 12 to improve. In addition, not shown heaters, such as resistance heaters, infrared heaters or the like may be provided by heating the surface to be cleaned 12 to intensify the cleaning.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale der Erfindung weggelassen oder andersartige Kombinationen der Merkmale der Erfindung vorgenommen werden können, solange der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche nicht verlassen wird. Insbesondere schließt die vorliegende Offenbarung sämtliche Kombinationen der vorgestellten Einzelmerkmale mit ein.Although the present invention has been described in detail with reference to the embodiments, it will be understood by those skilled in the art that the invention is not limited to these embodiments, but rather modifications are possible in such a way that individual features of the invention omitted or other combinations of the features The invention can be made as long as the scope of the appended claims is not abandoned. In particular, the present disclosure includes all combinations of the featured individual features.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Fluidzuführleitung fluid supply line
2, 2´, 2´´2, 2', 2'': Fluiddüse fluid nozzle
3, 3´, 3´´, 3´´´, 3´´´´, 3´´´´´3, 3', 3'', 3''', 3'''', 3''''': Abdeckhaube cover
44: Absaugkanal suction
55: Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung Control and / or regulating device
66: Saugpumpe suction pump
77: Pumpe pump
88th: Ventil Valve
99: Ventil Valve
1010: Dichtring seal
11, 11´11, 11': Reinigungsöffnung cleaning opening
1212: zu reinigende Oberfläche surface to be cleaned
1313: Fenster window
1414: Lichtquelle light source

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 29816397 U1 [0008]

Claims

Cleaning device for clean rooms for cleaning surfaces of components that are handled in clean rooms, with at least one fluid supply line ( 1 ) and at least one fluid nozzle ( 2 ), which is in communication with the fluid supply line and with the cleaning fluid to the surface to be cleaned ( 12 ), and with a cover ( 3 ), which is arranged around the at least one fluid nozzle and a cleaning opening ( 11 ) encloses, in order to cover a region of the surface to be cleaned, in which contaminants can be detached from the surface to be cleaned by the cleaning fluid discharged with the fluid nozzle onto the surface to be cleaned, wherein the covering hood is provided with at least one suction line ( 4 ) is provided, can be sucked through the cleaning fluid and detached contaminants in the cover, characterized in that the cleaning device is arranged so that the entire discharged through the at least one fluid nozzle cleaning fluid can be sucked through the at least one suction, so that no Contaminations can leave the area below the cover.

Cleaning device according to claim 1, characterized in that the cleaning device is a control and / or regulating device ( 5 ) for controlling and / or regulating the cleaning fluid streams through the at least one fluid nozzle and the at least one suction channel, so that the volume flows of the cleaning fluid through the at least one fluid nozzle and the at least one suction channel are such that no cleaning fluid escapes from the region below the cover hood.

Cleaning device according to claim 1 or 2, characterized in that the cover ( 3 ) has a bell or cone shape, wherein the base of the bell or the cone forms the cleaning opening, or that the cover has a hemispherical shape or the shape of a hemisphere, wherein the circular area of the hemisphere or hemispherical shape represents the cleaning opening.

Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one fluid nozzle ( 2 ) is arranged in a plan view of the cleaning opening in the middle of the cleaning opening.

Cleaning device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the at least one fluid nozzle ( 2' ) or more fluid nozzles ( 2'' ) are arranged annularly or circularly along the edge of the cleaning opening.

Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the suction channel ( 4 ) at the cleaning opening ( 11 ) opposite side of the cover centrally opens into this and / or the cover tapers to the suction channel.

Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the suction channel ( 4 ) and the fluid supply line ( 1 ) are arranged concentrically with each other.

Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the cleaning device, in particular a cleaning head comprising the cover ( 3 ), at least part of the supply line ( 1 ) and at least part of the suction channel ( 4 ) are formed from cleanroom suitable materials.

Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the cover ( 3 ) has smooth and continuous surfaces and / or a smooth and continuous transition to the suction channel or the supply line.

Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the cleaning device is a light source ( 14 ) and / or a viewing window ( 13 ) in the cover.

Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the cover at its end defining the cleaning surface, a sealing device ( 10 ) for sealing against the surface to be cleaned.

Method for cleaning surfaces of components in clean rooms, in which a cleaning device is provided, in particular a cleaning device according to one of the preceding claims, wherein the cleaning device comprises a cover ( 3 ), which has a cleaning opening ( 11 ), and at least one fluid nozzle ( 2 ) for dispensing cleaning fluid and at least one suction channel ( 4 ) for the extraction of cleaning fluid in the region of the cover, wherein the cleaning device with the cleaning opening on a surface to be cleaned ( 12 ) is arranged and is discharged via the at least one fluid nozzle cleaning fluid to the surface to be cleaned, which solves dirt on the surface to be cleaned and is sucked through the suction channel together with the detached contaminants.

A method according to claim 12, characterized in that the cleaning device with the cleaning opening ( 11 ) is moved over the surface to be cleaned, in particular spaced from and non-contact to the surface to be cleaned ( 12 ).

A method according to claim 12 or 13, characterized in that as cleaning fluid compressed air or other gases, in particular ionized gases are used, wherein the cleaning fluid is applied in particular with pressure or shock waves on the surface to be cleaned.

Method according to one of claims 12 to 14, characterized in that the cleaning fluid is applied continuously or pulsed to the surface to be cleaned.