DE102016123824A1 - Prozessieranordnung, Transportvorrichtung und Verfahren - Google Patents

Prozessieranordnung, Transportvorrichtung und Verfahren Download PDF

Info

Publication number
DE102016123824A1
DE102016123824A1 DE102016123824.4A DE102016123824A DE102016123824A1 DE 102016123824 A1 DE102016123824 A1 DE 102016123824A1 DE 102016123824 A DE102016123824 A DE 102016123824A DE 102016123824 A1 DE102016123824 A1 DE 102016123824A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
area
decoupling
region
tape substrate
transport
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102016123824.4A
Other languages
English (en)
Inventor
Lutz GOTTSMANN
Georg Laimer
Falk Heyne
Jens Melcher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Original Assignee
Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Asset GmbH and Co KG filed Critical Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority to DE102016123824.4A priority Critical patent/DE102016123824A1/de
Publication of DE102016123824A1 publication Critical patent/DE102016123824A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H20/00—Advancing webs
    • B65H20/02—Advancing webs by friction roller
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H23/00—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs
    • B65H23/04—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally
    • B65H23/18—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally by controlling or regulating the web-advancing mechanism, e.g. mechanism acting on the running web
    • B65H23/188—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally by controlling or regulating the web-advancing mechanism, e.g. mechanism acting on the running web in connection with running-web
    • B65H23/1888—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally by controlling or regulating the web-advancing mechanism, e.g. mechanism acting on the running web in connection with running-web and controlling web tension
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2301/00—Handling processes for sheets or webs
    • B65H2301/40—Type of handling process
    • B65H2301/44—Moving, forwarding, guiding material
    • B65H2301/443—Moving, forwarding, guiding material by acting on surface of handled material
    • B65H2301/4431—Moving, forwarding, guiding material by acting on surface of handled material by means with operating surfaces contacting opposite faces of material
    • B65H2301/44318—Moving, forwarding, guiding material by acting on surface of handled material by means with operating surfaces contacting opposite faces of material between rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2701/00—Handled material; Storage means
    • B65H2701/10—Handled articles or webs
    • B65H2701/17—Nature of material
    • B65H2701/171—Physical features of handled article or web
    • B65H2701/1712—Transparent

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Advancing Webs (AREA)

Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung (200, 400) zum Prozessieren eines Bandsubstrats (1) Folgendes aufweisen: eine Prozessierkammer; mehrere Transportrollen (15) zum Transportieren eines Bandsubstrats (1) in der Prozessierkammer entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich, einen zweiten Bereich und einen dritten Bereich der Prozessierkammer geführt wird; eine erste Zugentkopplungsanordnung (102a), welche eingerichtet ist, einen Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich in den zweiten Bereich zu reduzieren, eine zweite Zugentkopplungsanordnung (102b), welche eingerichtet ist, einen Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich in den dritten Bereich zu erhöhen, wobei die erste und die zweite Zugentkopplungsanordnung (102a, 102b) ferner den zweiten Bereich von den mehreren Transportrollen (15) zugentkoppeln, so dass im Wesentlichen kein Bandzug von den mehreren Transportrollen (15) in den zweiten Bereich hinein übertragen wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Prozessieranordnung, eine Transportvorrichtung und ein Verfahren.
  • Im Allgemeinen kann ein Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat, ein Metallsubstrat und/oder ein Polymersubstrat, behandelt (prozessiert), z.B. beschichtet werden, so dass die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Substrats verändert werden können. Zum Beschichten eines Substrats können verschiedene Beschichtungsverfahren durchgeführt werden, wie beispielsweise eine Gasphasenabscheidung, z.B. eine chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder eine physikalische Gasphasenabscheidung (PVD).
  • Im Allgemeinen können flexible Substrate in Form eines Bands (z.B. Metallband, Folienband oder Glasband) in einer Durchlaufanlage prozessiert, z.B. in einer Folienbeschichtungsanlage beschichtet (und/oder anderweitig behandelt), werden. Dabei kann beispielsweise ein Bandsubstrat mittels einer Transportanordnung durch einen Beschichtungsbereich hindurch transportiert werden. Die Transportanordnung kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass das Bandsubstrat von Rolle-zu-Rolle (auch als R2R bezeichnet) prozessiert wird, wobei das Bandsubstrat von einem ersten Substrat-Wickel abgewickelt wird, durch den Beschichtungsbereich hindurch transportiert wird, und nach dem Beschichten auf einen zweiten Substrat-Wickel wieder aufgewickelt wird (auch als Umwickeln bezeichnet). Dabei kann die Beschichtungsanlage eine Vakuumkammer aufweisen, so dass das Bandsubstrat im Vakuum beschichtet werden kann. Der Substrat-Wickel kann beispielsweise in die Vakuumkammer eingeschleust oder aus dieser ausgeschleust werden, so dass die Vakuumkammer zyklisch belüftet werden muss zum Austauschen des Bandsubstrats.
  • Beispielsweise kann eine Vakuumbeschichtungsanlage genutzt werden, um eine Schicht oder mehrere Schichten mittels einer chemischen und/oder physikalischen Gasphasenabscheidung auf einem Bandsubstrat abzuscheiden. Um ein großflächiges Abscheiden auf entsprechend großflächigen Bandsubstraten effizient zu realisieren, kann das Bandsubstrat mittels Transportrollen durch mehrere Beschichtungsbereiche hindurch umgewickelt werden, wobei während des Transports des Substrats durch die Anlage hindurch in jedem Beschichtungsbereich der Beschichtungsanlage ein Beschichtungsprozess durchgeführt werden kann.
  • Der vortrieberzeugende Kontakt der Transportrollen mit dem Substrat erfordert zum Vorbeugen von Schlupf eine gewisse Umschlingung der Transportrolle und eine Substratvorspannung (auch als Bandzug bezeichnet), mit dem das Substrat gegen die Transportrolle presst.
  • Eine Anforderung an die Vakuumbeschichtungsanlage kann sein, dass die beschichtete Seite des Substrats nicht mehr, z.B. durch Transportrollen, berührt werden darf, da durch den Kontakt eine Beschädigung der Schichten verursacht werden könnte. Die Anforderung an Transportrollen, nur auf der Rückseite des beschichteten Substrates mit diesem in Kontakt zu sein, begrenzt jedoch die technischen Möglichkeiten, erschwert die Anlagengestaltung oder mindert die Realisierbarkeit von Anlagenkonzepten. Anschaulich lässt diese Anforderung genau eine Krümmungsrichtung (mit anderen Worten Krümmungssinn) zu, so dass der Transportpfad schneckenförmig aufgebaut werden muss.
  • Der schneckenförmige Transportpfad ist bei größeren Anlagen mit einer Vielzahl von Prozessbereichen aus geometrischen Gründen nur schwer zu realisieren. Daher muss herkömmlicherweise ein Berühren der empfindlichen Vorderseite in Kauf genommen werden.
  • Ein herkömmliches Konzept des frontseitenberührungslosen Substrattransports ist die Verwendung von Luftkissen-Systemen (Rollen oder planar). Dieses Konzept ist technisch nur begrenzt einsetzbar und ferner dessen Einsatz in einer Vakuumanlage aufwändig, da zusätzliche Komponenten benötigt werden, wie etwa zusätzliche Separationsstufen und/oder zusätzliche Pumpausrüstung.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden ein Prozessieranordnung, ein Transportvorrichtung und ein Verfahren bereitgestellt, welche eine Beschädigung der Vorderseite des Substrats verringern, indem eine Zugentkopplung zwischen verschiedenen Bereichen erfolgt, durch welche das Substrat transportiert wird.
  • Anschaulich würde gemäß verschiedenen Ausführungsformen erkannt, dass die Kraft, mit der das Substrat (z.B. ein Bandsubstrat) aufgrund des Bandzuges flächig gegen eine Transportrolle gepresst wird, zu groß sein kann, um dessen Beschädigung, insbesondere auf der Vorderseite, zu vermeiden. Anschaulich wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Zugentkopplungsanordnung bereitgestellt, welche eine Zugentkopplung zwischen zwei aneinandergrenzenden Bereichen, durch welche das Substrat transportiert wird, bereitstellt.
  • Damit kann das Substrat anschaulich mit weniger Bandzug durch einen Bereich transportiert werden, welcher zugentkoppelt ist, und beispielsweise darin unter geringeren Bandzug in Richtung der Vorderseite umgelenkt werden. Dies reduziert die Kraft, mit der das Substrat in dem Bereich aufgrund des Bandzuges flächig gegen eine Transportrolle gepresst wird. Beispielsweise kann erreicht werden, dass das Substrat hohlliegend umgelenkt wird, um die Vorderseite zu schonen, und gleichzeitig die Tendenz zur Faltenbildung aufgrund des Hohlliegens zu reduzieren. Ebenso kann das Substrat aufgrund des geringeren Bandzuges beispielsweise freistehend um die Vorderseite herum umgelenkt werden.
  • Im Fall einer bereits konzeptionierten Transportanordnung wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen ermöglicht, dass diese kostengünstig umgerüstet werden kann, beispielsweise ohne den Verlauf des Transportpfads für einen frontseitenberührungslosen Transport verändern zu müssen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung zum Prozessieren eines Bandsubstrats Folgendes aufweisen: eine Prozessierkammer; mehrere Transportrollen zum Transportieren eines Bandsubstrats in der Prozessierkammer entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich, einen zweiten Bereich und einen dritten Bereich der Prozessierkammer geführt wird; eine erste Zugentkopplungsanordnung, welche eingerichtet ist, einen Bandzug (des Bandsubstrats) beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich in den zweiten Bereich zu reduzieren, eine zweite Zugentkopplungsanordnung, welche eingerichtet ist, einen Bandzug (des Bandsubstrats) beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich in den dritten Bereich zu erhöhen, wobei die erste und die zweite Zugentkopplungsanordnung ferner den zweiten Bereich von den mehreren Transportrollen zugentkoppeln, so dass im Wesentlichen kein Bandzug von den mehreren Transportrollen (auf das Bandsubstrat) in den zweiten Bereich hinein übertragen wird, z.B. so dass das Bandsubstrat zugfrei in dem zweiten Bereich geführt wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Zugentkopplungsanordnung zwei gegeneinanderpressende Entkopplungsrollen aufweisen, zwischen denen der Transportpfad geführt wird (und der Bandzug reduziert wird). Alternativ oder zusätzlich kann die zweite Zugentkopplungsanordnung zwei gegeneinanderpressende Entkopplungsrollen aufweisen, zwischen denen der Transportpfad geführt wird (und der Bandzug erhöht wird).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zumindest eine Entkopplungsrolle der ersten Zugentkopplungsanordnung und/oder der zweiten Zugentkopplungsanordnung zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweisen und/oder den Transportpfad umlenken (z.B. freistehend oder freihängend). Anschaulich kann das Bandsubstrat zwischen den hervorstehenden Mantelflächenabschnitten hohl liegen.
  • Jeder Mantelflächenabschnitt der zwei Mantelflächenabschnitte kann einen Substrat-Auflagebereich bereitstellen, mittels dem das Bandsubstrat eingeklemmt werden soll, z.B. dessen (z.B. streifenförmigen) Randbereiche, d.h. am Rand des Bandsubstrats. Zwischen den (z.B. streifenförmigen) Randbereichen des Bandsubstrats kann der Gutbereich angeordnet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Entkopplungsrolle (welche z.B. zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweist) der ersten Zugentkopplungsanordnung und die Entkopplungsrolle (welche z.B. zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweist) der zweiten Zugentkopplungsanordnung zwischen dem Transportpfad in dem ersten Bereich und dem Transportpfad in dem zweiten Bereich angeordnet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportpfad eine erste Seite (korrespondiert zur Vorderseite des Bandsubstrats) und eine zweite Seite (korrespondiert zur Rückseite des Bandsubstrats) aufweisen, wobei die erste Seite in dem ersten Bereich und dem dritten Bereich einander zugewandt ist; wobei die Entkopplungsrolle (welche z.B. zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweist) der ersten Zugentkopplungsanordnung und die Entkopplungsrolle (welche z.B. zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweist) der zweiten Zugentkopplungsanordnung auf der ersten Seite des Transportpfads angeordnet sind.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportpfad in dem zweiten Bereich zumindest einmal in Richtung der ersten Seite umgelenkt werden, z.B. mittels der Entkopplungsrolle (welche z.B. zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweist) der ersten und/oder zweiten Zugentkopplungsanordnung oder freistehend.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Zugentkopplungsanordnung und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung ferner Folgendes aufweisen: eine Messvorrichtung, welche eingerichtet ist, eine Messgröße zu erfassen, wobei die Messgröße eine von den mehreren Transportrollen auf eine Entkopplungsrolle der ersten Zugentkopplungsanordnung bzw. der zweiten Zugentkopplungsanordnung übertragene Zugkraft repräsentiert; einen Rollenantrieb, wobei der Rollenantrieb eingerichtet ist, auf Grundlage der Messgröße ein der Zugkraft entgegen wirkendes Drehmoment auf die Entkopplungsrolle zu übertragen derart, dass im Wesentlichen kein von der Zugkraft bewirkter Bandzug in den zweiten Bereich übertragen wird, z.B. derart, dass ein von der Zugkraft in den zweiten Bereich übertragener Bandzug kleiner ist als ein von der Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkter Bandzug oder kleiner als ein Bruchteil dessen, z.B. dessen Hälfte, dessen Viertel oder dessen Zehntel.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Rollenantrieb Folgendes aufweisen: eine Regelvorrichtung, welche zum geregelten Antreiben der Entkopplungsrolle eingerichtet ist; wobei eine Ist-Größe zum geregelten Antreiben der Entkopplungsrolle die Messgröße ist; und/oder wobei eine Führungsgröße zum geregelten Antreiben der Entkopplungsrolle das auf die Entkopplungsrolle wirkende Gesamtdrehmoment in einem zugfreien Zustand des Bandsubstrats repräsentiert und/oder gemäß der Messgröße nachgeführt wird; und/oder wobei eine Stellgröße (z.B. drehmomenterzeugende Stellgröße) zum geregelten Antreiben der Entkopplungsrolle das Drehmoment repräsentiert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung ferner Folgendes aufweisen: eine zusätzliche Messvorrichtung, welche eingerichtet ist, eine zusätzliche Messgröße zu erfassen, wobei die zusätzliche Messgröße eine Lage (z.B. einen Durchhang oder eine Aufbäumung) des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich repräsentiert; wobei der Rollenantrieb eingerichtet ist, eine Transportgeschwindigkeit in den zweiten Bereich hinein und/oder aus diesem heraus auf Grundlage der zusätzlichen Messgröße bereitzustellen (z.B. zu steuern und/oder zu regeln).
  • Beispielsweise kann der Rollenantrieb eine Regelung aufweisen, welche eine erste elektrische Versorgungsgröße, welche ein mittels des Rollenantriebs erzeugtes Drehmoment repräsentiert, und/oder eine zweite elektrische Versorgungsgröße, welche eine mittels des Rollenantriebs erzeugte Drehzahl repräsentiert, regelt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Zugentkopplungsanordnung und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung ferner Folgendes aufweisen: eine freihängende Beschwerungsrolle, welche von dem Bandsubstrat getragen dieses in dem zweiten Bereich spannt.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Beschwerungsrolle der ersten Zugentkopplungsanordnung und/oder die Beschwerungsrolle der zweiten Zugentkopplungsanordnung mittels eines Gestells in einen Abstand voneinander miteinander gekuppelt sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozessieranordnung ferner Folgendes aufweisen: eine erste Prozessierquelle, welche in dem ersten Bereich (z.B. auf der ersten Seite des Transportpfads) angeordnet ist, zum Prozessieren des Bandsubstrats in dem ersten Bereich; und/oder eine zweite Prozessierquelle, welche in dem dritten Bereich (z.B. auf der ersten Seite des Transportpfads) angeordnet ist, zum Prozessieren des Bandsubstrats in dem dritten Bereich.
  • Die erste Prozessierquelle kann eingerichtet sein, eine Prozessierwirkung in Richtung des Transportpfads, z.B. einer in dem ersten Bereich (z.B. auf der zweiten Seite des Transportpfads) angeordneten ersten Transportrolle, der mehreren Transportrollen zu bewirken. Alternativ oder zusätzlich kann die zweite Prozessierquelle eingerichtet sein, eine Prozessierwirkung in Richtung des Transportpfads, z.B. einer in dem zweiten Bereich (z.B. auf der zweiten Seite des Transportpfads) angeordneten zweiten Transportrolle der mehreren Transportrollen zu bewirken.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Prozessierquelle und/oder die zweite Prozessierquelle Folgendes aufweisen: eine Temperiervorrichtung und/oder eine Beschichtungsvorrichtung. Die Beschichtungsvorrichtung kann eingerichtet sein, ein Beschichtungsmaterial in Richtung des Transportpfads, z.B. der ersten bzw. zweiten Transportrolle der mehreren Transportrollen, zu emittieren. Alternativ oder zusätzlich kann die Temperiervorrichtung eingerichtet sein, der ersten bzw. zweiten Transportrolle Wärmeenergie zuzuführen und/oder zu entziehen, z.B. deren Mantelfläche.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in dem ersten Bereich und/oder in dem dritten Bereich Folgendes angeordnet sein: eine Transportrolle der mehreren Transportrollen, wobei die Transportrolle eine Temperiervorrichtung aufweist (auch als Temperierrolle bezeichnet); und zumindest eine Prozessierquelle, welche eingerichtet ist, eine Prozessierwirkung in Richtung der Transportrolle zu bewirken.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein erster Abschnitt des Transportpfads, entlang dessen z.B. eine erste Zugkraft (korrespondiert zu einem ersten Bandzug) vermittelt wird, in dem ersten Bereich zwischen der ersten Transportrolle und dem zweiten Bereich angeordnet sein. Alternativ oder zusätzlich kann ein dritter Abschnitt des Transportpfads, entlang dessen z.B. eine dritte Zugkraft (korrespondiert zu einem dritten Bandzug) vermittelt wird, in dem dritten Bereich zwischen der zweiten Transportrolle und dem zweiten Bereich angeordnet sein.
  • Zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich kann ein zweiter Abschnitt des Transportpfads, entlang dessen z.B. eine zweite Zugkraft (korrespondiert zu einem zweiten Bandzug) vermittelt wird, angeordnet sein. Der zweite Bandzug kann kleiner sein als ungefähr 25% (z.B. 10%, z.B. 5%, z.B. 1%) des ersten Bandzuges und/oder des dritten Bandzuges.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportpfad eine erste Seite und eine zweite Seite aufweisen und in dem zweiten Bereich zumindest einmal in Richtung der ersten Seite umgelenkt werden, so dass die erste Seite in dem ersten Bereich und dem dritten Bereich einander zugewandt ist; wobei die erste Transportrolle (z.B. eine erste Temperierrolle) und/oder die zweite Transportrolle (z.B. eine zweite Temperierrolle) auf der zweiten Seite des Transportpfads angeordnet sind.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen zum Transportieren eines Bandsubstrats entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich, einen zweiten Bereich und einen dritten Bereich geführt wird; eine erste Zugentkopplungsanordnung, welche eingerichtet ist, den Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich in den zweiten Bereich zu reduzieren, eine zweite Zugentkopplungsanordnung, welche eingerichtet ist, den Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich in den dritten Bereich zu erhöhen, wobei die erste und die zweite Zugentkopplungsanordnung ferner den zweiten Bereich von den mehreren Transportrollen zugentkoppeln, so dass im Wesentlichen kein Bandzug von den mehreren Transportrollen (auf das Bandsubstrat) in den zweiten Bereich übertragen wird, z.B. so dass das Bandsubstrat zugfrei in dem zweiten Bereich geführt wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Transportieren eines Bandsubstrats Folgendes aufweisen: Transportieren eines Bandsubstrats entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich, einen zweiten Bereich und einen dritten Bereich der Prozessierkammer hindurch geführt wird; Reduzieren eines Bandzuges (des Bandsubstrats) beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich in den zweiten Bereich; Vergrößern eines Bandzuges (des Bandsubstrats) beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich in den dritten Bereich; Zugentkoppeln des zweiten Bereichs von dem ersten Bereich und dem dritten Bereich, so dass im Wesentlichen kein Bandzug von dem ersten Bereich und dem dritten Bereich in den zweiten Bereich übertragen wird (z.B. so dass das Bandsubstrat zugfrei in dem zweiten Bereich geführt wird); und Umlenken des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich (z.B. freistehend oder freihängend).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen zum Transportieren eines Bandsubstrats entlang eines Transportpfads; und zumindest eine Zugentkopplungsanordnung, aufweisend: einen Rollenantrieb; eine Entkopplungsrolle, mittels welcher der Transportpfad von einem ersten Bereich (oder dritten Bereich) in einen zweiten Bereich geführt ist; eine Messvorrichtung, welche eingerichtet ist, eine Messgröße bereitzustellen, wobei die Messgröße eine mittels des Bandsubstrats aus dem ersten Bereich auf die Entkopplungsrolle übertragene Zugkraft repräsentiert; wobei der Rollenantrieb eingerichtet ist, auf Grundlage der Messgröße ein der Zugkraft entgegen wirkendes Drehmoment auf die Entkopplungsrolle zu übertragen derart, dass im Wesentlichen kein von der Zugkraft bewirkter Bandzug aus dem ersten Bereich in den zweiten Bereich hinein übertragen wird (z.B. dass ein von der Zugkraft in den zweiten Bereich übertragener Bandzug kleiner ist als ein von der Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkter Bandzug oder kleiner als ein Bruchteil dessen, z.B. dessen Hälfte, dessen Viertel oder dessen Zehntel); wobei der Transportpfad in einem zweiten Bereich gekrümmt ist (z.B. freistehend oder freihängend).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Transportieren eines Bandsubstrats Folgendes aufweisen: Transportieren eines Bandsubstrats entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich geführt wird; Ermitteln einer Zugkraft, welche in dem ersten Bereich auf das Bandsubstrat wirkt; Reduzieren eines von der Zugkraft bewirkten Bandzuges beim Übergang des Transportpfads zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich derart, dass im Wesentlichen kein von der Zugkraft bewirkter Bandzug aus dem ersten Bereich in den zweiten Bereich hinein übertragen wird (z.B. dass ein von der Zugkraft in den zweiten Bereich übertragener Bandzug kleiner ist als ein von einer Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkter Bandzug oder kleiner als ein Bruchteil dessen, z.B. dessen Hälfte, dessen Viertel oder dessen Zehntel); und Umlenken des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich (z.B. freistehend oder freihängend).
  • Das Gegeneinanderpressen zweier Entkopplungsrollen (z.B. mit einer Anpresskraft) kann mittels einer Lageranordnung bereitgestellt sein oder werden, welche die zwei Entkopplungsrollen drehbar lagert. Die Lageranordnung kann beispielsweise ein Federelement oder ein Spannelement aufweisen, mittels dessen die Anpresskraft bereitgestellt wird.
  • Die Messvorrichtung kann einen Drehmomentsensor, einen Kraftsensor, einen Bandzugsensor oder Ähnliches aufweisen. Die Messvorrichtung kann beispielsweise in die Lageranordnung integriert sein oder werden. Beispielsweise kann die Messvorrichtung eine Kraft und/oder ein Drehmoment zwischen der Entkopplungsrolle und dem Rollenantrieb erfassen. Alternativ oder zusätzlich kann die Messvorrichtung eine Kraft und/oder ein Drehmoment zwischen der Entkopplungsrolle und der Lageranordnung erfassen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Stellgröße (auch als drehmomenterzeugende Stellgröße bezeichnet) zum Regeln des Antreibens der Entkopplungsrolle ein mittels des Rollenantriebs erzeugtes Drehmoment repräsentieren. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine zusätzliche Stellgröße (auch als drehzahlerzeugende Stellgröße bezeichnet) zum Regeln des Antreibens der Entkopplungsrolle eine mittels des Rollenantriebs erzeugte Drehzahl repräsentieren.
  • Beispielsweise kann die Transportgeschwindigkeit in den zweiten Bereich hinein und/oder aus dem zweiten Bereich heraus von einer Drehzahl definiert sein, mit der die Entkopplungsrolle angetrieben wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportgeschwindigkeit in den zweiten Bereich hinein und/oder aus diesem heraus derart geregelt werden (z.B. das Regeln des Antreibens der Entkopplungsrolle derart erfolgen), dass die zusätzliche Messgröße ein vordefiniertes Kriterium erfüllt, z.B. in einem bestimmten Wertebereich bleibt. Anschaulich kann die Lage des Bandsubstrats in einer bestimmten Zone bleiben.
  • Die Lage des Bandsubstrats kann den Durchhang eines freihängenden Bandsubstrats oder die Aufbäumung eines freistehenden Bandsubstrats definieren.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Messvorrichtung eingerichtet sein, einen Istwert zum Regeln zu erfassen, wobei der Istwert ein von dem Bandsubstrat auf die Transportrolle übertragenes Drehmoment repräsentiert; und/oder eine Führungsgröße zum Regeln kann das auf die Entkopplungsrolle wirkende Gesamtdrehmoment in einem zugfreien Zustand des Bandsubstrats repräsentieren.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das auf die Entkopplungsrolle wirkende Gesamtdrehmoment sich aus einem von dem Rollenantrieb auf die Entkopplungsrolle übertragenen Drehmoment und einem von dem Bandsubstrat auf die Entkopplungsrolle übertragenen Drehmoment ergeben. Beispielsweise kann das Gesamtdrehmoment in einem zugfreien Zustand des Bandsubstrats dem im Wesentlichen von der Gewichtskraft des Bandsubstrats bewirkten Drehmoment entsprechen (wenn z.B. kein Drehmoment an den mehreren Transportrollen anliegt).
  • Beispielsweise kann die Führungsgröße definiert sein oder werden, indem das Bandsubstrat in einen stillstehenden Zustand gebracht und/oder in diesem bereitgestellt wird, z.B. in die Transportvorrichtung eingelegt, und in dem das Gesamtdrehmoment auf die Entkopplungsrolle erfasst wird (kann dann z.B. als Vorgabe für die Regelung dienen). Damit kann beispielsweise das Justieren gemäß einem Substrattyp erfolgen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Zugentkopplungsanordnung Folgendes aufweisen: einen Rollenantrieb; zwei gegeneinanderpressende Entkopplungsrollen, zwischen denen der Transportpfad angeordnet ist und von denen zumindest eine Entkopplungsrolle mit dem Rollenantrieb gekuppelt ist; eine Messvorrichtung, welche eingerichtet ist, eine Messgröße zu erfassen, wobei die Messgröße eine von dem Bandsubstrat auf die Entkopplungsrolle übertragene Zugkraft repräsentiert; wobei der Rollenantrieb eingerichtet ist, auf Grundlage der Messgröße ein der Zugkraft entgegen wirkendes Drehmoment auf die Entkopplungsrolle zu übertragen derart, dass die Zugkraft im Wesentlichen von der Entkopplungsrolle aufgenommen wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Rollenantrieb aufweisen: eine Steuervorrichtung, welche eingerichtet eine Antriebscharakteristik zu regeln; wobei eine Regelgröße zum Regeln der Antriebscharakteristik eine elektrische Versorgungsgröße repräsentiert, mit der die Antriebseinheit versorgt wird; und/oder wobei eine Führungsgröße zum Regeln der Antriebscharakteristik die Versorgungsgröße in einem zugfreien Zustand des Bandsubstrats repräsentiert.
  • Die Antriebscharakteristik kann eine Drehzahl und/oder ein Drehmoment repräsentieren, welche auf die oder jede Entkopplungsrolle übertragen wird.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung Folgendes aufweisen: mehrere Umwickelrollen (auch als Wickelhalter bezeichnet) und mehrere Transportrollen, von denen ein (z.B. gekrümmter, z.B. mehrfach gekrümmter) Transportpfad definiert wird, zum Umwickeln eines Bandsubstrats zwischen den mehreren Umwickelrollen (d.h. zwischen denen ein Bandsubstrat umgewickelt werden soll) entlang des Transportpfads; eine Zugentkopplungsanordnung welche eine erste Entkopplungsrolle und optional eine zweite Entkopplungsrolle aufweist; wobei die zweite Entkopplungsrolle zwei Substrat-Auflagebereiche (erster Substrat-Auflagebereich und zweiter Substrat-Auflagebereich) aufweist, zwischen denen die zweite Entkopplungsrolle eine (z.B. umlaufende) Aussparung aufweist; eine Lageranordnung, welche die erste Entkopplungsrolle und die zweite Entkopplungsrolle gegeneinanderpresst zum Klemmen des Bandsubstrats.
  • Dass im Wesentlichen kein Bandzug in den zweiten Bereich übertragen wird (z.B. ein zugfrei geführtes Bandsubstrat), kann verstanden werden, als dass der in den zweiten Bereich hinein übertrage Bandzug kleiner ist als ein von der Gewichtskraft des Bandsubstrats (bzw. des in dem zweiten Bereich angeordneten Substratabschnitts) in dem zweiten Bereich bewirkter Bandzug, z.B. kleiner als ungefähr 50% (z.B. 25%, z.B. 10%, z.B. 5%, z.B. 1%) des von der Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkten Bandzuges.
  • Beispielsweise kann das Zugentkoppeln derart erfolgen, dass das Bandsubstrat in dem zweiten Bereich freistehend oder freihängend transportiert wird und/oder dass der Bandzug auf das Bandsubstrat in dem zweiten Bereich im Wesentlichen null ist (z.B. auf weniger als ungefähr 25% reduziert, z.B. auf weniger als ungefähr 10% reduziert, z.B. auf weniger als ungefähr 5% reduziert, z.B. auf weniger als ungefähr 1% reduziert).
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
  • Es zeigen
    • 1A und 1B eine Transportvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen Ansichten;
    • 2 eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht;
    • 3A und 3B eine Transportvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in verschiedenen Ansichten;
    • 4 eine Prozessieranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; und
    • 5 und 6 jeweils ein Verfahren gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagramm.
  • In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
  • Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung (z.B. ohmsch und/oder elektrisch leitfähig, z.B. einer elektrisch leitfähigen Verbindung), eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Begriff „gekoppelt“ oder „Kopplung“ im Sinne einer (z.B. mechanischen, hydrostatischen, thermischen und/oder elektrischen), z.B. direkten oder indirekten, Verbindung und/oder Wechselwirkung verstanden werden. Mehrere Elemente können beispielsweise entlang einer Wechselwirkungskette miteinander gekoppelt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann „gekuppelt“ im Sinne einer mechanischen (z.B. körperlichen bzw. physischen) Kopplung verstanden werden, z.B. mittels eines direkten körperlichen Kontakts. Eine Kupplung kann eingerichtet sein, eine mechanische Wechselwirkung (z.B. Kraft, Drehmoment, etc.) zu übertragen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung einen Rolle-zu-Rolle Transport (anschaulich ein Umwickeln) eines Bandsubstrats bereitstellen, z.B. mittels einer ersten Umwickelrolle von einem ersten Substrat-Wickel abwickeln und mittels einer zweiten Umwickelrolle auf einen zweiten Substrat-Wickel aufwickeln.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Steuerung (z.B. eine Steuervorrichtung) eine nach vorn gerichtete Steuerstrecke aufweisen und somit anschaulich eine Ablaufsteuerung implementieren, welche eine Eingangsgröße in eine Ausgangsgröße umsetzt. Die Steuerstrecke kann aber auch Teil eines Regelkreises (auch als Regelstrecke bezeichnet) sein, so dass eine Regelung implementiert wird. Die Regelung weist im Gegensatz zu der reinen Vorwärts-Steuerung eine fortlaufende Einflussnahme der Ausgangsgröße auf die Eingangsgröße auf, welche durch den Regelkreis bewirkt wird (Rückführung). Mit anderen Worten kann alternativ oder zusätzlich zu der Steuerung eine Regelung verwendet werden bzw. alternativ oder zusätzlich zu dem Steuern ein Regeln erfolgen.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Prozessieren (auch als Behandeln bezeichnet) eines Substrats (z.B. eines Bandsubstrats) mindestens eines von Folgendem aufweisen: Reinigen des Substrats, Beschichten des Substrats, Bestrahlen (z.B. mittels Licht, kohärentes Licht, UV-Licht, Teilchen, Elektronen, Ionen, usw.) des Substrats, Modifizieren der Oberfläche des Substrats, Erwärmen des Substrats, Ätzen des Substrats und Glimmen des Substrats. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vorderseite des Substrats prozessiert werden, z.B. verändert werden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat (z.B. das Bandsubstrat) mit einem Beschichtungsmaterial beschichtet sein oder werden, z.B. auf einer Vorderseite des Substrats. Das Beschichtungsmaterial kann zumindest ein Material der folgenden Materialien aufweisen oder daraus gebildet sein: ein Metall; ein Übergangsmetall, ein Oxid (z.B. ein Metalloxid oder ein Übergangsmetalloxid); ein Dielektrikum; ein Polymer (z.B. ein Kohlenstoff-basiertes Polymer oder ein Silizium-basiertes Polymer); ein Oxinitrid; ein Nitrid; ein Karbid; eine Keramik; ein Halbmetall (z.B. Kohlenstoff); ein Perowskit; ein Glas oder glasartiges Material (z.B. ein sulfidisches Glas); einen Halbleiter; ein Halbleiteroxid; ein halborganisches Material, und/oder ein organisches Material.
  • Das Beschichtungsmaterial zum Beschichten des Substrats kann mittels einer Beschichtungsmaterialquelle bereitgestellt sein oder werden, z.B. in einem gasförmigen Zustand.
  • Die Beschichtungsmaterialquelle kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen zum Beschichten zumindest eines Substrats (d.h. genau eines Substrats oder mehr als eines Substrats) eingerichtet sein, welches z.B. durch den ersten Bereich und/oder den dritten Bereich hindurch transportiert wird. Beispielsweise kann die Beschichtungsmaterialquelle zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials (z.B. ein Materialdampf) und/oder flüssigen Beschichtungsmaterials eingerichtet sein, welches z.B. auf dem zumindest einen Substrat zum Bilden einer Schicht abgeschieden werden kann. Eine Beschichtungsmaterialquelle kann zumindest eines von Folgendem aufweisen: eine Sputtervorrichtung, eine thermisch-Verdampfen-Vorrichtung (z.B. einen Laserstrahlverdampfer, einen Lichtbogenverdampfer, einen Elektronenstrahlverdampfer und/oder einen thermischen Verdampfer), eine Präkursorgasquelle, einen Flüssigphasenzerstäuber. Eine Sputtervorrichtung kann zum Zerstäuben des Beschichtungsmaterials mittels eines Plasmas eingerichtet sein. Eine thermisch-Verdampfen Vorrichtung kann zum Überführen des Beschichtungsmaterials in einen gasförmigen Aggregatszustand mittels thermischer Energie eingerichtet sein. Je nach der Beschaffenheit des Beschichtungsmaterials können ein Sublimieren und/oder ein Verdampfen des Beschichtungsmaterials erfolgen. Mit anderen Worten kann die thermisch-Verdampfen-Vorrichtung das Beschichtungsmaterial auch sublimieren. Ein Flüssigphasenzerstäuber kann zum Aufbringen eines Beschichtungsmaterials aus der Flüssigphase eingerichtet sein, z.B. einen Farbstoff aufweisend oder daraus gebildet.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat (z.B. das Bandsubstrat) zumindest eines von Folgendem aufweisen oder daraus gebildet sein: eine Keramik, ein Glas, einen Halbleiter (z.B. einen amorphen, polykristallinen oder einkristallinen Halbleiter, z.B. Silizium), ein Metall (z.B. Aluminium, Kupfer, Eisen, Stahl, Platin, Gold, etc.), ein Polymer (z.B. Kunststoff) und/oder eine Mischung verschiedener Materialien, wie z.B. ein Verbundwerkstoff (z.B. Kohlenstofffaser-verstärkter-Kohlenstoff, oder Kohlenstofffaser-verstärkter-Kunststoff).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat (z.B. das Bandsubstrat) eine Kunststofffolie, eine Halbleiterfolie, eine Metallfolie und/oder eine Glasfolie aufweisen oder daraus gebildet sein, und optional beschichtet sein oder werden. Alternativ oder zusätzlich kann das Substrat Fasern aufweisen, z.B. Glasfasern, Kohlenstofffasern, Metallfasern und/oder Kunststofffasern, z.B. in Form eines Gewebes, eines Netzes, eines Gewirks, Gestricks oder als Filz bzw. Flies.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Substrat als Band (auch als Bandsubstrat bezeichnet) von Rolle-zu-Rolle transportiert werden (d.h. zwischen den Umwickelrollen umgewickelt werden). Das Bandsubstrat kann beispielsweise eine Breite (Ausdehnung quer zur Transportrichtung) in einem Bereich von ungefähr 30 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen oder eine Breite (auch als Substratbreite bezeichnet) von mehr als ungefähr 500 cm. Ferner kann das Bandsubstrat flexibel sein. Anschaulich kann ein Bandsubstrat ein beliebiges Substrat sein, welches auf eine Rolle aufgewickelt werden kann und/oder beispielsweise von Rolle-zu-Rolle prozessiert werden kann. Das Bandsubstrat kann je nach Elastizität des verwendeten Materials eine Materialstärke (auch als Substratdicke bezeichnet) in einem Bereich von ungefähr einigen Mikrometern (z.B. von ungefähr 1 µm) bis ungefähr einigen Millimetern (z.B. bis ungefähr 10 mm) aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,01 mm bis ungefähr 3 mm. Die Transportrollen und/oder Entkopplungsrollen können axial länger sein, als das Bandsubstrat breit ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die hierin beschriebene Transportvorrichtung derart eingerichtet sein, z.B. zumindest eine konkave Transportrolle (sogenannte Breitstreckrolle) aufweisen, dass das Bandsubstrat glatt (eben) transportiert wird und sich das Bandsubstrat anschaulich gesehen nicht wellt oder verzieht. Dazu kann die zumindest eine konkave Transportrolle eine Breitstreckung des Bandsubstrats quer zu der Transportrichtung bewirken.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wurde erkannt, dass die Spezifikation der Güte von Beschichtungen in der Regel in einem Gutbereich des Bandsubstrats, d.h. für eine sogenannte Gutbreite (d.h. die Breite des Gutbereichs des Bandsubstrats), erfolgt, welche kleiner ist als die Gesamtbreite (entspricht dem Abstand der Substratkanten) des Bandsubstrates. Die zwei (streifenförmigen) Randbereiche des Bandsubstrates, zwischen denen der Gutbereich angeordnet ist, werden beim Prozessieren, z.B. beim Beschichtungsprozess, beispielsweise abgeschirmt mittels Abschirmungen (sogenannten Schilden), um die umgebenden Anlagenteile vor der Prozessierwirkung (z.B. der Beschichtung) zu schützen. Beschädigungen von Bandsubstrat und dessen Beschichtung sind daher in den Randbereichen tolerierbar und können, wenn einmal konzeptioniert, eingeplant werden, beispielsweise indem vorgesehen wird, die Randbereiche zur weitergehenden Verarbeitung zum Endprodukt zu verwerfen, z.B. davon abzutrennen, oder anderweitig zu verändern. Optional kann auch zumindest ein zusätzlicher streifenförmiger Bereich des Bandsubstrats (z.B. bei einer Solarzelle der Bereich in dem später Busbars aufgebracht werden) tolerierbar berührt werden, z.B. mittels eines zusätzlichen Substrat-Auflagebereichs.
  • Anschaulich wird ein Transportkonzept bereitgestellt, welches einen zugentlasteten zweiten Bereich bereitstellt und optional das Bandsubstrat auf der Vorderseite hohlliegend transportiert, z.B. nur an den Randbereichen klemmt. Damit wird ermöglicht, den Gutbereich freihängend und/oder freistehend umzulenken (in beide Umlenkrichtungen), zu führen und/oder zu stützen.
  • Beispielsweise kann die (z.B. hohlliegende) Gutbreite mehr als ungefähr 75% (z.B. 80%, z.B. 90% oder 95%) der Gesamtbreite des Bandsubstrats (mit anderen Worten der Substratbreite, entspricht dem Abstand der gegenüberliegenden Substratkanten) sein, welche quer zur Transportrichtung ist.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei gegeneinanderpressende Entkopplungsrollen das Bandsubstrat an seinem Randbereich gegeneinander pressen (und somit zwischen diesen einzuklemmen), wobei z.B. die Vorderseite des Gutbereichs (auch als Gutseite bezeichnet) zwischen den Randbereichen (kontakt)frei von den zwei Entkopplungsrollen verbleibt. Beispielsweise kann die Entkopplungsrolle hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweisen, mittels welchen das Bandsubstrat an seinem Randbereich gegen die andere Entkopplungsrolle gepresst wird.
  • Im Rahmen dieser Beschreibung kann ein Metall (auch als metallischer Werkstoff bezeichnet) zumindest ein metallisches Element (d.h. ein oder mehrere metallische Elemente) aufweisen (oder daraus gebildet sein), z.B. zumindest ein Element aus der Folgenden Gruppe von Elementen: Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Titan (Ti), Nickel (Ni), Silber (Ag), Chrom (Cr), Platin (Pt), Gold (Au), Magnesium (Mg), Aluminium (Al), Zirkonium (Zr), Tantal (Ta), Molybdän (Mo), Wolfram (W), Vanadium (V), Barium (Ba), Indium (In), Calcium (Ca), Hafnium (Hf), Samarium (Sm), Silber (Ag), und/oder Lithium (Li). Ferner kann ein Metall eine metallische Verbindung (z.B. eine intermetallische Verbindung oder eine Legierung) aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine Verbindung aus zumindest zwei metallischen Elementen (z.B. aus der Gruppe von Elementen), wie z.B. Bronze oder Messing, oder z.B. eine Verbindung aus zumindest einem metallischen Element (z.B. aus der Gruppe von Elementen) und mindestens einem nichtmetallischen Element (z.B. Kohlenstoff), wie z.B. Stahl.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Bandsubstrat in der Prozessierkammer prozessiert werden. Die Prozessierkammer kann mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden, wobei das Kammergehäuse optional genau eine oder mehr als eine zusätzliche Prozessierkammer bereitstellen kann. Mehrere Prozessierkammern können beispielsweise Teil eines gemeinsamen Vakuumsystems sein können optional gegeneinander gassepariert sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse eine Kammer oder mehrere Kammern aufweisen. Die oder jede Kammer kann optional in mehrere gasseparierte Bereiche unterteilt sein. Das Kammergehäuse kann beispielsweise zum Bereitstellen eines Unterdrucks oder eines Vakuums (d.h. als Vakuumkammergehäuse eingerichtet) mit einer Pumpenanordnung, z.B. einer Vakuumpumpenanordnung, (z.B. gasleitend) gekoppelt sein und derart stabil eingerichtet sein, dass diese dem Einwirken des Luftdrucks im abgepumpten Zustand standhält. Die Pumpenanordnung (aufweisend zumindest eine Vakuumpumpe, z.B. eine Hochvakuumpumpe, z.B. eine Turbomolekularpumpe) kann es ermöglichen, einen Teil des Gases aus dem Inneren der Prozessierkammer abzupumpen. Dementsprechend kann eine Vakuumkammer oder können mehrere Vakuumkammern in einem Kammergehäuse bereitgestellt sein. Mit anderen Worten kann das Kammergehäuse als Vakuumkammergehäuse eingerichtet sein.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse, z.B. eine darin bereitgestellte Vakuumkammer, derart eingerichtet sein, dass darin ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 1 mbar (mit anderen Worten Grobvakuum) bereitgestellt werden kann, und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 1 mbar bis ungefähr 10-3 mbar (mit anderen Worten Feinvakuum), und/oder ein Druck in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar (mit anderen Worten Hochvakuum) und/oder ein Druck von kleiner als Hochvakuum, z.B. kleiner als ungefähr 10-7 mbar.
  • Eine Transportrolle kann, je nach Anwendungszweck und Konfiguration, verschieden ausgestaltet sein oder werden. Beispielsweise kann eine Transportrolle als passive Führung und/oder Umlenkung des Transportpfads eingerichtet sein. Eine solche passive Transportrolle kann beispielsweise antriebslos (d.h. freilaufend) sein und deren Drehung durch die Bewegung des Bandsubstrats bewirkt werden, z.B. im Fall einer Umlenkrolle. Die passive Transportrolle kann beispielsweise eine Metalloberfläche aufweisen (z.B. eine Stahlwalze), geschliffen und/oder poliert sein. Damit kann eine mechanische Belastung des Bandsubstrats durch die Transportrolle und/oder durch Schlupf minimiert sein oder werden.
  • Alternativ kann eine oder die Transportrolle als Zugrolle eingerichtet sein oder werden, indem diese angetrieben wird. Eine Zugrolle kann beispielsweise eine gummierte und/oder elastische Oberfläche aufweisen, z.B. kann diese mit einem Gummi beschichtet sein oder werden. Mittels der Zugrolle kann eine Zugkraft auf das Bandsubstrat übertragen werden, um einen Vortrieb (d.h. Transport des Bandsubstrats) bereitzustellen. Die auf das Bandsubstrat übertragene Zugkraft bewirkt eine mechanische Beanspruchung des Bandsubstrats in Form einer mechanischen Spannung (auch als Bandzug bezeichnet), welche zu einer Dehnung des Bandsubstrats führt. Die mechanische Spannung kann die auf eine Schnittfläche des Bandsubstrats (entspricht dem Produkt aus Substratbreite und Substratdicke) normierte Zugkraft sein, wobei die Schnittfläche beispielsweise senkrecht zur Transportrichtung sein kann.
  • Eine Entkopplungsrolle kann wie eine Transportrolle eingerichtet sein und zwei Bereiche mit verschiedenen Bandzügen (d.h. verschieden starker mechanischer Beanspruchungen) voneinander separieren (d.h. diese zugentkoppeln). Eine angetriebene Entkopplungsrolle kann beispielsweise wie eine Zugrolle eingerichtet sein. Eine frei laufende Entkopplungsrolle kann wie eine passive Transportrolle eingerichtet sein. Die Entkopplungsrolle kann den Bandzug beim Übergang zwischen den zugentkoppelten Bereichen reduzieren (z.B. auf ungefähr 10% oder weniger) und/oder vergrößern (z.B. auf das ungefähr 10-fache oder mehr). Mit anderen Worten kann die Entkopplungsrolle zumindest einen Teil der Zugkraft (d.h. teilweise oder vollständig) von dem Bandsubstrat aufnehmen, indem ein Drehmoment auf die Entkopplungsrolle übertragen wird, welche der Zugkraft entgegenwirkt. Damit das Drehmoment die Zugkraft vollständig aufnimmt, kann das Drehmoment im Wesentlichen gleich zu dem Produkt aus Durchmesser der Entkopplungsrolle und der aufzunehmenden Zugkraft sein.
  • Liegt das Bandsubstrat auf der Entkopplungsrolle auf, wird die Zugkraft, welche von der Entkopplungsrolle (pro Strecke) aufgenommen werden kann, von der Reibungskraft zwischen Bandsubstrat und Entkopplungsrolle begrenzt, da das Bandsubstrat sonst schlupft. Daher kann die Zugkraft entlang der umfänglichen Strecke, mit der das Bandsubstrat und die Entkopplungsrolle in physischen Kontakt sind, verteilt abgebaut (d.h. es wird ein Kraftgradient gebildet) werden.
  • Wird das Bandsubstrat zwischen zwei Entkopplungsrollen eingeklemmt (d.h. die Entkopplungsrollen werden gegeneinander gepresst), kann eine größere Reibungskraft bewirkt werden, so dass eine größere Zugkraft aufgenommen werden kann. Die Anpresskraft kann die Reibungskraft anschaulich überwinden. Dies ermöglicht es beispielsweise die im Wesentlichen gesamte von dem Bandsubstrat auf die Entkopplungsrollen übertragene Zugkraft in der Zone (auch als Entkopplungszone bezeichnet) aufzunehmen, in denen die Entkopplungsrollen das Bandsubstrat einklemmen (anschaulich eine im Wesentlichen linienförmige Zone). Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass das Bandsubstrat die Entkopplungszone im Wesentlichen zugfrei verlässt.
  • Optional kann eine oder die Entkopplungsrolle als Messrolle eingerichtet sein oder werden. Die Messrolle kann mit mindestens einer Messvorrichtung (z.B. einen Sensor aufweisend) gekuppelt sein, welche zum Erfassen einer mechanischen Größe eingerichtet sein kann, wobei die mechanische Größe eine mechanische Zugspannung (d.h. den Bandzug) in dem Bandsubstrat repräsentiert. Die mechanische Größe kann beispielsweise eine mechanische Wechselwirkung mit dem Bandsubstrat aufweisen, z.B. eine mechanische Kraft zu oder von dem Bandsubstrat (welche z.B. in einem Drehmoment resultiert). Alternativ oder zusätzlich kann die mechanische Größe eine Drehgeschwindigkeit der Messrolle aufweisen. Mit anderen Worten kann die Messrolle eingerichtet sein, eine mechanische Größe zu erfassen, welche eine mechanische Zugspannung in dem Bandsubstrat, eine Drehzahl der Messrolle und/oder einen entsprechenden Gradienten und/oder Transienten davon repräsentiert.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportvorrichtung eine oder mehr als eine Zugregelstrecke (zur Zugentkopplung) aufweisen, von denen jede Zugregelstrecke mittels zwei Zugentkopplungsanordnungen implementiert sein oder werden kann, zwischen denen die oder jede Zugregelstrecke einen zugentkoppelten Bereich (auch als zweiter Bereich bezeichnet) bereitstellen kann, in den von außen im Wesentlichen kein Bandzug übertragen wird.
  • Die oder jede Zugregelstrecke kann pro Zugentkopplungsanordnung mindestens eine Entkopplungsrolle (z.B. zwei Entkopplungsrollen), von denen zumindest eine Entkopplungsrolle angetrieben ist, sowie einen Rollenantrieb aufweisen. Der Rollenantrieb kann eine Steuerung (auch als Steuervorrichtung bezeichnet) aufweisen, welche eingerichtet sein kann, eine Drehgeschwindigkeit und/oder ein Drehmoment der oder jeder angetriebenen Entkopplungsrolle auf Grundlage der mechanischen Größe zu steuern und/oder zu regeln, z.B. gemäß einer Vorgabe (z.B. ein Sollwert der Regelstrecke). Die Steuerung kann auch zum Steuern und/oder Regeln mehrerer Zugregelstrecken gemeinsam verwendet werden. Mittels der oder jeder Zugregelstrecke lässt sich bei einem empfindlichen Bandsubstrat die mechanische Zugspannung (auch als Bahnspannung bezeichnet), welche von den Transportrollen und/oder Umwickelrollen auf das Bandsubstrat übertragen wird, aufnehmen, steuern und/oder regeln.
  • Das Drehmoment kann als Produkt aus Kraft und Abstand des Angriffspunktes der Kraft von der Drehachse (d.h. dem Durchmesser der jeweiligen Rolle) verstanden werden.
  • Neben der von den Transportrollen und/oder Umwickelrollen auf das Bandsubstrat übertragenen mechanischen Zugspannung, kann auf das Bandsubstrat die eigene Gewichtskraft FG wirken. Zum Spannen eines zwischen zwei Transportrollen (z.B. zwei Entkopplungsrollen) freihängenden Bandsubstrats benötigt es pro Transportrolle der zwei Transportrollen eine Spannkraft FH auf das Bandsubstrat, welche die Hälfte der Gewichtskraft (FG/2) des freihängenden Substratabschnitts übersteigt. Die Spannkraft FH kann zum Teil von dem Bandsubstrat selbst von außen eingebracht werden oder zum Teil von der Transportrolle der zwei Transportrollen auf das Bandsubstrat übertragen werden.
  • Geht der Abstand der zwei Transportrollen, zwischen denen der Substratabschnitt durchhängt, hingegen gegen null, nähert sich die Spannkraft pro Transportrolle an die Hälfte der Gewichtskraft des Substratabschnitts an, was als zugfrei bezeichnet werden kann. Ausgehend vom zugfreien Zustand nimmt die Spannkraft FH pro Transportrolle mit steigendem Abstand der zwei Transportrollen voneinander um einen Faktor g zu, z.B. gemäß FH=g·FG/2. Der Faktor g kann beispielsweise von dem Abstand der Transportrollen voneinander, dem Durchhang und der Länge des durchhängenden Substratabschnitts abhängen und kann im Allgemeinen eine komplexe Funktion davon sein.
  • Im Wesentlichen zugfrei kann in dem Zusammenhang verstanden werden, dass die auf jede Transportrolle wirkende Kraft FH maximal 10% von der im zugfreien Zustand wirkenden Kraft FG/2 abweicht, d.h. dass g in einem Bereich von ungefähr 1 bis ungefähr 1,1 liegt.
  • Das zwischen zwei Transportrollen gespannte Bandsubstrat kann einen Durchhang aufweisen, welcher die Durchbiegung des Bandsubstrats beschreibt, d.h. dessen Abstand im tiefsten Punkt von der Höhe der Punkte, an denen sich das Bandsubstrat von den Transportrollen löst (auch als Ablösepunkte bezeichnet). Der Durchhang kann anschaulich dem maximalen Abstand des Bandsubstrats von einer planaren Fläche auf Höhe der Ablösepunkte entsprechen.
  • Ein ähnliches Verhalten ergibt sich, wenn das Bandsubstrat freistehend eingerichtet ist, wobei in diesem Fall die Gewichtskraft von der Steifheit des Bandsubstrats aufgenommen werden kann.
  • 1A veranschaulicht eine Transportvorrichtung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung 103) und 1B die Transportvorrichtung 100a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht 100b oder Querschnittsansicht 100b (z.B. mit Blickrichtung entgegen Richtung 105).
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportpfad 111 der Transportvorrichtung 100a durch einen ersten Bereich 4 (auch als erster Bandzugbereich bezeichnet), einen zweiten Bereich 5 (auch als zweiter Bandzugbereich bezeichnet) und einen dritten Bereich 6 (auch als dritter Bandzugbereich bezeichnet) geführt werden. Mittels der Transportvorrichtung 100a kann entlang des Transportpfads 111 ein Bandsubstrat 1 (beispielsweise eine Substratbreite 2 aufweisend) transportiert werden, z.B. in eine Transportrichtung 111r. Optional kann das die Transportvorrichtung 100a zum bidirektionalen Transport des Bandsubstrats 1 eingerichtet sein, d.h. wahlweise in die dargestellt Transportrichtung 111r oder dieser entgegengesetzt.
  • Ferner kann die Transportvorrichtung 100a zumindest eine (z.B. genau eine oder mehr als eine) Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b aufweisen, z.B. eine erste Zugentkopplungsanordnung 102a und/oder eine zweite Zugentkopplungsanordnung 102b.
  • Mittels der ersten Zugentkopplungsanordnung 102a kann ein Bandzug des Bandsubstrats 1 beim Übergang des Transportpfads 111 von dem ersten Bereich 4 in den zweiten Bereich 5 reduziert werden, z.B. auf weniger als ungefähr 25% (z.B. 10%, z.B. 5%, z.B. 1%). Alternativ oder zusätzlich kann mittels der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102b der Bandzug beim Übergang des Transportpfads 111 von dem zweiten Bereich 5 in den dritten Bereich 6 erhöht werden, z.B. auf mehr als ungefähr das 4-fache (z.B. 10-fache, z.B. 20-fache, z.B. 100-fache) .
  • Die erste und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b kann eine erste Entkopplungsrolle 7 (auch als Entkopplungswalze 7 bezeichnet) aufweisen, welche mit einem Rollenantrieb 104a, 104b gekoppelt ist. Der Rollenantrieb 104a, 104b kann beispielsweise eine erste Antriebseinheit 104a (z.B. einen elektrischen Motor) zum Antreiben der ersten Entkopplungsrolle 7 der erste Zugentkopplungsanordnung 102a aufweisen, z.B. mit einer ersten Drehzahl und/oder einem ersten Drehmoment. Alternativ oder zusätzlich kann der Rollenantrieb 104a, 104b eine zweite Antriebseinheit 104b (z.B. einen elektrischen Motor) zum Antreiben der ersten Entkopplungsrolle 7 der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102b aufweisen, z.B. mit einer zweiten Drehzahl und/oder einem zweiten Drehmoment. Wird die Hilfsentkopplungsrolle 8 angetrieben, kann zumindest ein Teil des ersten/zweiten Drehmomentes mittels der Hilfsentkopplungsrolle 8 auf die Entkopplungsrolle 7 übertragen werden (d.h. Entkopplungsrollen können die Zugkraft gemeinsam aufnehmen).
  • Die erste und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b kann optional eine (z.B. angetriebene) zweite Entkopplungsrolle 8 (auch als Hilfsentkopplungsrolle 8 bezeichnet). Die Hilfsentkopplungsrolle 8 kann zum Anpressen des Bandsubstrats 1 gegen die Entkopplungsrolle 7 eingerichtet sein. Mit anderen Worten kann zwischen der Hilfsentkopplungsrolle 8 und der Entkopplungsrolle 7 der Transportpfad 111 hindurchgeführt sein oder werden.
  • Die Hilfsentkopplungsrolle 8 kann optional zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweisen, von denen jeder einen ringförmigen oder scheibenförmigen Substrat-Auflagebereich 8a (auch als Andrückrad 8a bezeichnet) bereitstellt. Die zwei Substrat-Auflagebereiche 8a der Hilfsentkopplungsrolle 8 können jeder beispielsweise mittels eines Rollenstumpfes oder einer Scheibe bereitgestellt sein oder werden und optional mittels einer Welle miteinander gekuppelt sein. Alternativ oder zusätzlich kann die Hilfsentkopplungsrolle 8 eine umlaufende Aussparung 8b aufweisen, welche die hervorstehenden Mantelflächenabschnitte bereitstellt. Es können optional auch mehr als zwei Substrat-Auflagebereiche 8a verwendet werden.
  • Der Abstand 3 der Substrat-Auflagebereiche 8a (anschaulich der Spurabstand 3) der oder jeder Hilfsentkopplungsrolle 8 kann größer sein als eine Gutbreite des Bandsubstrats 1 und/oder kleiner sein als die Substratbreite 2. Mittels der zwei Substrat-Auflagebereiche 8a kann das Bandsubstrat an dessen Randbereichen eingeklemmt werden, so dass der Gutbereich in Richtung der Hilfsentkopplungsrolle 8 freiliegt (anschaulich hohl liegt).
  • Die erste und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b können eine Lageranordnung 106 aufweisen, mittels welcher die Entkopplungsrolle 7 und die optionale Hilfsentkopplungsrolle 8 drehbar gelagert sind.
  • Die Lageranordnung 106 kann optional eine Anpresskraft FN bereitstellen, mittels der die zwei Entkopplungsrollen 7, 8 der ersten und/oder der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b gegeneinandergepresst werden, z.B. mittels einer Anpressvorrichtung 10 (z.B. ein Federelement und/oder ein Spannelement aufweisend). Die Anpressvorrichtung 10 kann beispielsweise die Hilfsentkopplungsrolle 8 in Richtung der Entkopplungsrolle 7 pressen (d.h. eine Anpresskraft FN mittels der Hilfsentkopplungsrolle 8 auf die Entkopplungsrolle 7 übertragen). Die Anpresskraft FN kann derart eingerichtet sein, dass das Produkt aus Anpresskraft FN und Reibkoeffizient µ (zwischen Bandsubstrat 1 und der Entkopplungsrolle 7) größer ist als die Zugkraft, welche das Bandsubstrat 1 auf die jeweilige Entkopplungsrolle 7 überträgt, d.h. größer als ein erster Bandzug FB1 in dem ersten Bandzugbereich 4 und/oder größer als ein dritter Bandzug FB3 in dem dritten Bandzugbereich 6. Damit kann einem Schlupf des Bandsubstrats 1 entgegengewirkt werden. Die Anpresskraft FN kann beispielsweise stellbar und/oder regelbar sein (z.B. an einen Substrattyp angepasst) oder alternativ einmal eingestellt die vorstehende Relation erfüllen.
  • Die erste und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b können die drei Bereiche 4, 5, 6 voneinander zugentkoppeln, d.h. den zweiten Bereich 5 von dem ersten Bereich 4 und von dem dritten Bereich 6. Das Zugentkoppeln kann derart erfolgen, dass im Wesentlichen kein Bandzug aus dem ersten Bereich 4 und dem dritten Bereich 6 in den zweiten Bereich 5 hinein übertragen wird. Beispielsweise kann mittels der ersten Antriebseinheit 104a der Bandzug zwischen dem ersten Bereich 4 und dem zweiten Bereich 5 derart entkoppelt werden, dass ein zweiter Bandzug FB2 im zweiten Bereich 5 im Wesentlichen 0 ist, d.h. kleiner sein als ungefähr 25% (z.B. 10%, z.B. 5%, z.B. 1%) des ersten Bandzuges FB1. Alternativ oder zusätzlich kann mittels der zweiten Antriebseinheit 104a der Bandzug zwischen dem zweiten Bereich 5 und dem dritten Bereich 6 derart so entkoppelt werden, dass im dritten Bereich 6 der Bandzug FB3 wieder dem gewünschten Sollbandzug entspricht, z.B. ungefähr dem ersten Bandzug FB1, z.B. mit einer Abweichung von diesem kleiner als ungefähr 25% (z.B. 10%, z.B. 5%, z.B. 1%). Im Wesentlichen null kann verstanden werden, dass auf das Bandsubstrat 1 im Wesentlichen lediglich die eigene Gewichtskraft FG wirkt.
  • Beispielsweise kann der Bandzug FB2 im zweiten Bereich 5 kleiner sein als ungefähr 25% (z.B. 10%, 5% oder 1%) des Bandzuges FB1 im ersten Bereich 4 und/oder des Bandzuges FB3 im dritten Bereich 6. Je kleiner der Bandzug FB2 im zweiten Bereich 5 ist, desto schonender kann der Substrattransport erfolgen.
  • Beispielsweise kann erreicht werden, dass das Bandsubstrat 1 freistehend durch den zweiten Bereich 5 transportiert und/oder in diesem umgelenkt wird (beispielsweise kann die Richtung 105 entgegen der Gravitationskraft gerichtet sein). Eine ähnliche Geometrie kann für einen freihängenden Substrattransport verwendet werden, wenn z.B. die Gravitationskraft in Richtung 105 gerichtet ist.
  • Die Schwankung des Transportpfads 111 in dem zweiten Bereich 5 kann mittels mehrerer Transportpfad-Leitanordnungen 11 begrenzt werden (auch als Substratführung bezeichnet), von denen jede Transportpfad-Leitanordnung 11 zwei Transportrollen (an Begrenzungsrollen) aufweisen kann, welche in einem Abstand voneinander angeordnet sind und zwischen denen der Transportpfad 111 hindurch geführt ist. Der Abstand kann die maximale Schwankung des Transportpfads 111 definieren.
  • Zum Zugentkoppeln kann die erste und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b eine Messvorrichtung 12 aufweisen, welche beispielsweise einen Bandzugsensor aufweist. Die Messvorrichtung 12 kann eine Messgröße bereitstellen, welche eine mittels des Bandsubstrats 1 übertragene Zugkraft repräsentiert.
  • Die Messvorrichtung 12 der ersten Zugentkopplungsanordnung 102a kann beispielsweise eine erste Messgröße bereitstellen, welche eine mittels des Bandsubstrats 1 aus dem ersten Bereich 4 übertragene erste Zugkraft (korrespondiert zu dem ersten Bandzug FB1) auf deren Entkopplungsrolle 7 repräsentiert. Der Rollenantrieb 104a, 104b (bzw. die erste Antriebseinheit 104a) kann eingerichtet sein, auf Grundlage der ersten Messgröße ein der ersten Zugkraft entgegen wirkendes erstes Drehmoment auf die Entkopplungsrolle 7 der ersten Zugentkopplungsanordnung 102a zu übertragen derart, dass ein von der ersten Zugkraft in den zweiten Bereich 5 übertragener Bandzug kleiner ist als ein von der Gewichtskraft des Bandsubstrats 1 in dem zweiten Bereich bewirkter Bandzug oder kleiner als ein Bruchteil dessen, z.B. kleiner als ungefähr die Hälfte (z.B. ein Viertel oder ein Zehntel) des von der Gewichtskraft des Bandsubstrats 1 in dem zweiten Bereich bewirkten Bandzuges.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Messvorrichtung 12 der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102b eine zweite Messgröße bereitstellen, welche eine mittels des Bandsubstrats 1 aus dem dritten Bereich 6 übertragene dritte Zugkraft (korrespondiert zu dem dritten Bandzug FB3) auf deren Entkopplungsrolle 7 repräsentiert. Der Rollenantrieb 104a, 104b (bzw. die zweite Antriebseinheit 104b) kann eingerichtet sein, auf Grundlage der zweiten Messgröße ein der zweiten Zugkraft entgegen wirkendes zweites Drehmoment auf die Entkopplungsrolle 7 der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102b zu übertragen derart, dass ein von der zweiten Zugkraft in den zweiten Bereich 5 übertragener Bandzug kleiner ist als ein von der Gewichtskraft des Bandsubstrats 1 in dem zweiten Bereich bewirkter Bandzug oder kleiner als ein Bruchteil dessen, z.B. kleiner als ungefähr die Hälfte (z.B. ein Viertel oder ein Zehntel) des von der Gewichtskraft des Bandsubstrats 1 in dem zweiten Bereich bewirkten Bandzuges.
  • Optional kann die Transportvorrichtung 100a eine zusätzliche Messvorrichtung 13 (z.B. einen Abstandssensor aufweisend) aufweisen, welche eingerichtet ist, eine zusätzliche Messgröße zu erfassen, welche die Lage des Bandsubstrats 1 in dem zweiten Bereich 5 repräsentiert. In dem Fall kann der Rollenantrieb 104a, 104b eingerichtet sein, die Transportgeschwindigkeit in den zweiten Bereich 5 hinein und/oder aus diesem heraus, z.B. eine Differenz aus einer ersten Transportgeschwindigkeit in den zweiten Bereich 5 hinein und einer zweiten Transportgeschwindigkeit aus dem zweiten Bereich 5 heraus, auf Grundlage der zusätzlichen Messgröße zu stellen und/oder zu regeln (z.B. gemäß einer Soll-Lage). Die erste Transportgeschwindigkeit kann von der ersten Drehzahl definiert sein. Die zweite Transportgeschwindigkeit kann von der zweiten Drehzahl definiert sein.
  • Beispielsweise kann die Transportvorrichtung 100a eine erste Regelstrecke implementieren, welche die Zugentkopplung bewirkt (d.h. den zugentkoppelten zweiten Bereich bereitstellt). Optional kann die Transportvorrichtung 100a eine zweite Regelstrecke implementieren, welche die Substratführung bewirkt (d.h. die Lagestabilisierung des Bandsubstrats 1 in dem zweiten Bereich bereitstellt).
  • Eine erste Stellgröße der ersten Regelstrecke kann beispielsweise das erste Drehmoment und/oder das zweite Drehmoment repräsentieren. Die erste Stellgröße kann beispielsweise eine erste elektrische Größe sein, mit welcher der Rollenantrieb 104a, 104b (bzw. die jeweilige Antriebseinheit) angesteuert wird, z.B. eine drehmomenterzeugende elektrische Größe, wie die elektrische Leistung oder der elektrische Strom.
  • Eine zweite Stellgröße der zweiten Regelstrecke kann beispielsweise die erste Drehzahl und/oder die zweite Drehzahl repräsentieren. Die zweite Stellgröße kann beispielsweise eine zweite elektrische Größe sein, mit welcher der Rollenantrieb 104a, 104b (bzw. die jeweilige Antriebseinheit) angesteuert wird (z.B. mittels einer Pulsweitenmodulation), z.B. eine drehzahlerzeugende elektrische Größe, wie die Frequenz der elektrischen Leistung oder des elektrischen Stroms.
  • Unter Verwendung der Hilfsentkopplungsrolle 8 kann eine im Wesentlichen linienartige Entkopplungszone 312 (in der Berührungszone zwischen der Entkopplungsrolle 7 und der Hilfsentkopplungsrolle 8) bereitgestellt werden, in dem der Bandzug des Bandsubstrat 1 verändert (reduziert oder erhöht) wird. Die linienartige Entkopplungszone 312 kann beispielsweise mehrere Segmente aufweisen, von denen jedes Segment zwischen einem Substrat-Auflagebereich 8a und der Entkopplungsrolle 7 angeordnet ist. Die Entkopplungszone 312 kann anschaulich zwischen dem zweiten Bereich 5 und dem ersten/dritten Bereich 4, 6 angeordnet sein (z.B. an der Grenzfläche zwischen diesen).
  • Beispielsweise können eine Richtung (erste Eintrittsrichtung), mit der das Bandsubstrat 1 in erste Zugentkopplungsanordnung 102a hineintransportiert wird (beispielsweise die Richtung, mit der das Bandsubstrat 1 den ersten Bereich 4 verlässt), und eine Richtung (erste Austrittsrichtung), mit der das Bandsubstrat 1 aus der ersten Zugentkopplungsanordnung 102a heraustransportiert wird, im Wesentlichen gleichgerichtet und im Wesentlichen parallel zueinander und/oder zur Vertikalen sein (d.h. mit einer Winkelabweichung von weniger als 10% voneinander). Alternativ oder zusätzlich können eine Richtung (zweite Eintrittsrichtung), mit der das Bandsubstrat 1 in zweite Zugentkopplungsanordnung 102b hineintransportiert wird (beispielsweise die Richtung, mit der das Bandsubstrat 1 den zweiten Bereich 5 verlässt), und eine Richtung (zweite Austrittsrichtung), mit der das Bandsubstrat 1 aus der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102b heraustransportiert wird, im Wesentlichen gleichgerichtet und im Wesentlichen parallel zueinander und/oder zur Vertikalen sein.
  • Beispielsweise können die erste Eintrittsrichtung und die zweite Eintrittsrichtung entgegengesetzt und im Wesentlichen parallel zueinander oder zur Vertikalen sein (d.h. mit einer Winkelabweichung von weniger als 10% voneinander). Alternativ oder zusätzlich können die erste Austrittsrichtung und die zweite Austrittsrichtung entgegengesetzt und im Wesentlichen parallel zueinander oder zur Vertikalen sein (d.h. mit einer Winkelabweichung von weniger als 10% voneinander).
  • Wird eine oder jede Hilfsentkopplungsrolle 8 weggelassen, kann die Anpresskraft FN bereitgestellt sein oder werden, indem das Bandsubstrat 1 mittels der Entkopplungsrolle 7 umgelenkt wird. Dabei kann der Bandzug über die Strecke, in der sich die Entkopplungsrolle 7 und das Bandsubstrat 1 berühren (auch als Umschlingung bezeichnet), verteilt verringert und/oder vergrößert werden. Dann können sich Eintrittsrichtung und Austrittsrichtung unterscheiden.
  • Die Aufbäumung 215 (im freistehenden Fall) bzw. der Durchhang 215 (im freihängenden Fall) des Bandsubstrats 1 korrespondiert zu dem Höhenunterschied 215 bezüglich der Entkopplungszone 312. Die Aufbäumung 215 kann derart eingerichtet sein, dass das Bandsubstrat 1 freisteht, d.h. dass seine Gewichtskraft von der eigenen Steifigkeit aufgenommen wird. Der Höhenunterschied 215 kann beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 100% bis ungefähr 200% des Abstandes 211 der Entkopplungszonen 312 voneinander sein, d.h. in einem Bereich von ungefähr dem Abstand 211 bis ungefähr dem doppelten Abstand 211.
  • 2 veranschaulicht eine Prozessieranordnung 200, welche die Transportvorrichtung 100a aufweist, gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. Alternativ zur dargestellten Ausführungsformen der Transportvorrichtung 100a kann auch eine andere hierin beschriebenen Ausführungsformen der Transportvorrichtung verwendet werden.
  • Die Prozessieranordnung 200 kann mehrere Transportrollen 15 aufweisen, wobei der Transportpfad 111 zwischen zwei Transportrollen 15 der mehreren Transportrollen 15 mittels der Transportvorrichtung 100a geführt und/oder umgelenkt wird. Die Transportvorrichtung 100a kann zwischen den zwei Transportrollen 15 den zugentkoppelten zweiten Bereich 5 bereitstellen. Die zwei Transportrollen 15 können beispielsweise angetrieben sein.
  • Das Bandsubstrat 1 kann an die zwei Transportrollen 15 angelegt sein, z.B. mittels des ersten/dritten Bandzuges FB1, FB3. Mit anderen Worten kann das Bandsubstrat 1 mittels des ersten/dritten Bandzuges FB1, FB3 gegen die jeweilige Transportrolle 15 pressen (d.h. das Bandsubstrat 1 kann gemäß dem Bandzug FB1, FB3 vorgespannt sein) .
  • Die Prozessieranordnung 200 kann ferner erstes Prozessiersystem 202a aufweisen, welches in dem ersten Bereich 4 (z.B. einem ersten Prozessierbereich 4) angeordnet ist. Alternativ oder zusätzlich kann die Prozessieranordnung 200 ein zweites Prozessiersystem 202b aufweisen, welches in dem zweiten Bereich 6 (z.B. einem zweiten Prozessierbereich 6) angeordnet ist.
  • Das erste und/oder das zweite Prozessiersystem 202a, 202b können eine Temperiervorrichtung aufweisen zum Temperieren des Bandsubstrats 1. Alternativ oder zusätzlich können das erste und/oder das zweite Prozessiersystem 202a, 202b zumindest eine (d.h. genau eine oder mehr als eine) Prozessierquelle 204 aufweisen zum Prozessieren des Bandsubstrats 1.
  • Die Temperiervorrichtung kann beispielsweise in eine Transportrolle 15 integriert sein (dann auch als Temperierrolle 15 bezeichnet), z.B. in Form eines Wärmetauschers. Alternativ oder zusätzlich kann die Temperiervorrichtung mittels einer Prozessierquelle 204 bereitgestellt sein oder werden, z.B. als ein Wärmestrahler. Alternativ kann die Prozessierquelle 204 oder eine zusätzliche Prozessierquelle 204 eine Beschichtungsmaterialquelle aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. ein Magnetron oder ein Dual-Magnetron aufweisend.
  • Wird das Bandsubstrat 1 mittels des ersten und/oder des zweiten Prozessiersystems 202a, 202b prozessiert, z.B. dessen Vorderseite beschichtet, können jeweils die hervorstehenden Mantelflächenabschnitte verwendet werden, um eine Berührung der prozessierten Vorderseite des Bandsubstrats 1 zu reduzieren, z.B. eine Berührung der Gutseite zu vermeiden.
  • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können von den mehreren Transportrollen zwei einander benachbarte Transportrollen 15 ein Rollenpaar bilden, wobei zwischen den Transportrollen 15 eines Rollenpaars der Transportpfad 111 durch einen zweiten zugentkoppelten Bereich 5 geführt und/oder darin umgelenkt wird. Optional können die mehreren Transportrollen mehrere Rollenpaare aufweisen, zwischen deren Transportrollen 15 der Transportpfad 111 durch einen zweiten zugentkoppelten Bereich 5 geführt und/oder darin umgelenkt wird.
  • 3A veranschaulicht eine Transportvorrichtung 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. mit Blickrichtung 103) und 3B die Transportvorrichtung 300a gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht 300b oder Querschnittsansicht 300b (z.B. mit Blickrichtung entgegen Richtung 105).
  • Die Transportvorrichtung 300a kann ähnlich eingerichtet sein, wie die Transportvorrichtung 100a, mit dem Unterschied, dass der Transportpfad 111 mittels der Hilfsentkopplungsrolle 8 der ersten und/oder der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b umgelenkt wird (z.B. das Bandsubstrat 1 vorderseitig berührend). Beispielsweise kann aufgrund der Zugentkopplung zwischen den zwei Entkopplungsrollen der ersten und/oder der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b das Bandsubstrat 1 im Wesentlichen lediglich mit seiner Gewichtskraft auf der Hilfsentkopplungsrolle 8 aufliegen. Alternativ kann der Transportpfad 111 mittels der Entkopplungsrolle 7 der ersten und/oder der zweiten Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b umgelenkt werden (z.B. das Bandsubstrat 1 rückseitig berührend).
  • Daher können die erste Eintrittsrichtung und die zweite Eintrittsrichtung gleichgerichtet und im Wesentlichen parallel zueinander oder zur Vertikalen sein (d.h. mit einer Winkelabweichung von weniger als 10% voneinander). Alternativ oder zusätzlich können die erste Austrittsrichtung und die zweite Austrittsrichtung gleichgerichtet und im Wesentlichen parallel zueinander oder zur Vertikalen sein (d.h. mit einer Winkelabweichung von weniger als 10% voneinander).
  • Beispielsweise kann erreicht werden, dass das Bandsubstrat 1 freihängend durch den zweiten Bereich 5 transportiert und/oder in diesem umgelenkt wird (beispielsweise kann die Richtung 105 entgegen der Gravitationskraft gerichtet sein). Optional kann die Transportvorrichtung 300a zumindest eine Beschwerungsrolle 14 (auch als Stabilisierungsrolle 14 bezeichnet) aufweisen, welche in dem zweiten Bereich 5 auf dem Bandsubstrat 1 aufliegt (z.B. frei von einer zusätzlichen Stützung). Dann kann zu der eigenen Gewichtskraft zusätzlich die Gewichtskraft der Beschwerungsrolle 14 auf das Bandsubstrat 1 wirken, was der Faltenbildung vorbeugt und/oder das Bandsubstrat 1 strafft. Dies kann es ermöglichen die Form des Durchhangs 215 anzupassen, z.B. die maximale Krümmung zu verstärken, und/oder den Durchhang 215 in seiner Position zu stabilisieren (anschaulich aufgrund der Trägheit der Beschwerungsrolle 14). Optional können zwei Beschwerungsrollen 14 verwendet werden, welche in einem Abstand voneinander gehalten werden, z.B. mittels eines Gestells (z.B. eines Rahmens).
  • Der Durchhang 215 des Bandsubstrats 1 korrespondiert im Wesentlichen zu dem Höhenunterschied 215 bezüglich der Entkopplungszone 312, anschaulich da die Entkopplungszonen 312 im Wesentlichen auf einer Höhe mit den Ablösepunkt 31 (entspricht einem Aufhängepunkt) zwischen Bandsubstrat 1 und Hilfsentkopplungsrolle 8 liegen. Der Durchhang 215 kann derart eingerichtet sein, dass das Bandsubstrat 1 im Wesentlichen zugfrei freihängt, d.h. dass die auf jede Hilfsentkopplungsrolle 8 von dem durchhängenden Substratabschnitt wirkende Kraft im Wesentlichen der Hälfte der Gewichtskraft des Substratabschnitts zwischen den Hilfsentkopplungsrollen 8 entspricht (z.B. weniger als 10% davon abweicht).
  • Dazu kann der Durchhang 215 beispielsweise größer sein als die Hälfte des Abstandes 211 der Hilfsentkopplungsrollen 8 (bzw. der Ablösepunkte 31) voneinander (korrespondiert zu einem Faktor g von ungefähr 1,1), z.B. größer sein als Zweidrittel des Abstandes 211 (korrespondiert zu einem Faktor g von ungefähr 1,05), z.B. größer sein als der Abstand 211 (korrespondiert zu einem Faktor g von ungefähr 1,01) und/oder weniger als der doppelte Abstand 211 (korrespondiert zu einem Faktor g von ungefähr 1,002). Damit kann insgesamt besonders wenig Belastung auf das Bandsubstrat 1 wirken, wodurch das Bandsubstrat 1 schonend und/oder stabil auf der oder jeder Hilfsentkopplungsrolle 8 aufliegt.
  • 4 veranschaulicht eine Prozessieranordnung 400, welche die Transportvorrichtung 300a aufweist, gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht. Die Prozessieranordnung 400 kann analog zu der Prozessieranordnung 300 eingerichtet, mit dem Unterschied, dass die Transportvorrichtung 300a verwendet wird. Alternativ zur dargestellten Ausführungsformen der Transportvorrichtung 300a kann auch eine andere hierin beschriebenen Ausführungsformen der Transportvorrichtung 300a verwendet werden.
  • 5 veranschaulicht ein Verfahren 500 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Das Verfahren 500 kann in 501 aufweisen: Transportieren eines Bandsubstrats entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich, einen zweiten Bereich und einen dritten Bereich hindurch geführt wird.
  • Das Verfahren 500 kann in 503 ferner aufweisen: Reduzieren eines Bandzuges des Bandsubstrats beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich in den zweiten Bereich.
  • Das Verfahren 500 kann in 505 ferner aufweisen: Vergrößern eines Bandzuges des Bandsubstrats beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich in den dritten Bereich.
  • Das Verfahren 500 kann in 507 ferner aufweisen: Zugentkoppeln des zweiten Bereichs von dem ersten Bereich und dem dritten Bereich, so dass im Wesentlichen kein Bandzug von dem ersten Bereich und dem dritten Bereich in den zweiten Bereich übertragen wird.
  • Das Verfahren 500 kann in 509 ferner aufweisen: Umlenken des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich, z.B. freihängend oder freistehend.
  • Die Zugentkopplung im zweiten Bereich auf Bandzug FB2 ungefähr gleich 0 ermöglicht eine schonende Bandumlenkung, z.B. ohne die Gutseite (ausgenommen der Randbereiche) des Bandsubstrats 1 zu berühren. Beispielsweise kann verhindert werden, dass das Bandsubstrat 1 aufgrund des verbleibenden Bandzuges zwischen die Substrat-Auflagebereiche 8a gezogen wird oder Falten wirft.
  • In einem ersten Beispiel kann das Bandsubstrat 1 über mindestens eine Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b auf FB2=0 geführt werden, wobei die oder jede Zugentkopplungsanordnung 102a, 102b auf der Rückseite des Bandsubstrats 1 mindestens eine (z.B. angetriebene) Entkopplungsrolle 7 und auf der Vorderseite des Bandsubstrats 1 mindestens eine (z.B. angetriebene) Hilfsentkopplungsrolle 8 aufweist, wobei die Hilfsentkopplungsrolle 8 optional im Randbereich des Bandsubstrats 1 angeordnete Substrat-Auflagebereiche 8a aufweist. Vergleiche dazu beispielsweise die Transportvorrichtung 100a.
  • In einem zweiten Beispiel kann das Bandsubstrat 1 über mindestens eine (z.B. angetriebene) Entkopplungsrolle 8 (z.B. die Hilfsentkopplungsrolle 8) bei FB2 = 0 geführt und/oder mittels dieser umgelenkt werden, z.B. liegt das Bandsubstrat lediglich mit seiner Gewichtskraft auf der Entkopplungsrolle 8 auf. Optional kann mindestens eine Beschwerungsrolle 14 (anschaulich eine Stabilisierungsrolle) im zweiten Bereich 5 auf der Rückseite des Bandsubstrats 1 angeordnet sein und auf diesem freischwebend aufliegen. Die Gewichtskraft der mindestens einen Beschwerungsrolle 14 kann derart eingerichtet sein, dass die dadurch entstehende Kraft in Längsrichtung des Bandsubstrats 1 derart gering ist, dass keine Schädigung des Bandsubstrats 1 entsteht und dass das Bandsubstrat 1 nicht aus der Führung zwischen den zwei Entkopplungsrollen 7,8 entgleiten kann. Vergleiche dazu beispielsweise die Transportvorrichtung 300a.
  • 6 veranschaulicht ein Verfahren 600 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einem schematischen Ablaufdiagram.
  • Das Verfahren 600 kann in 601 aufweisen: Transportieren eines Bandsubstrats entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich geführt wird.
  • Das Verfahren 600 kann in 603 ferner aufweisen: Ermitteln einer Zugkraft, welche in dem ersten Bereich auf das Bandsubstrat 1 wirkt.
  • Das Verfahren 600 kann in 605 ferner aufweisen: Reduzieren eines von der Zugkraft bewirkten Bandzuges beim Übergang des Transportpfads zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich derart, dass im Wesentlichen kein von der Zugkraft bewirkter Bandzug aus dem ersten Bereich in den zweiten Bereich hinein übertragen wird, z.B. derart, dass ein von der Zugkraft in den zweiten Bereich übertragener Bandzug kleiner ist als ein von einer Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkter Bandzug, z.B. kleiner als ungefähr 50% des von der Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkten Bandzug, z.B. kleiner als ungefähr 25% des von der Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkten Bandzug, z.B. kleiner als ungefähr 10% des von der Gewichtskraft des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich bewirkten Bandzug.
  • Das Verfahren 600 kann in 607 ferner aufweisen: Umlenken des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich.
  • Das Verfahren 600 kann für das erste Beispiel und/oder das zweite Beispiel angewendet werden.

Claims (11)

  1. Prozessieranordnung (200, 400) zum Prozessieren eines Bandsubstrats (1), aufweisend: • eine Prozessierkammer; • mehrere Transportrollen (15) zum Transportieren eines Bandsubstrats (1) in der Prozessierkammer entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich (4), einen zweiten Bereich (5) und einen dritten Bereich (6) der Prozessierkammer geführt wird; • eine erste Zugentkopplungsanordnung (102a), welche eingerichtet ist, einen Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich (4) in den zweiten Bereich (5) zu reduzieren, • eine zweite Zugentkopplungsanordnung (102b), welche eingerichtet ist, einen Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich (5) in den dritten Bereich (6) zu erhöhen, • wobei die erste und die zweite Zugentkopplungsanordnung (102a, 102b) ferner den zweiten Bereich (5) von den mehreren Transportrollen (15) zugentkoppeln, so dass im Wesentlichen kein Bandzug von den mehreren Transportrollen (15) in den zweiten Bereich (5) hinein übertragen wird.
  2. Prozessieranordnung (200, 400) gemäß Anspruch 1, wobei die erste Zugentkopplungsanordnung (102a) zwei gegeneinanderpressende Entkopplungsrollen (7, 8) aufweist, zwischen denen der Transportpfad geführt wird; und/oder wobei die zweite Zugentkopplungsanordnung (102b) zwei gegeneinanderpressende Entkopplungsrollen (7, 8) aufweist, zwischen denen der Transportpfad geführt wird.
  3. Prozessieranordnung (200, 400) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei zumindest eine Entkopplungsrolle (7, 8) der ersten Zugentkopplungsanordnung (102a) und/oder der zweiten Zugentkopplungsanordnung (102b) zwei hervorstehende Mantelflächenabschnitte aufweist und/oder den Transportpfad umlenkt.
  4. Prozessieranordnung (200, 400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die erste Zugentkopplungsanordnung (102a) und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung (102b) ferner aufweisen: • eine Messvorrichtung (12), welche eingerichtet ist, eine Messgröße zu erfassen, wobei die Messgröße eine von den mehreren Transportrollen (15) auf eine Entkopplungsrolle (7, 8) der ersten Zugentkopplungsanordnung (102a) bzw. der zweiten Zugentkopplungsanordnung (102b) übertragene Zugkraft repräsentiert; • einen Rollenantrieb (104a, 104b), wobei der Rollenantrieb eingerichtet ist, auf Grundlage der Messgröße ein der Zugkraft entgegen wirkendes Drehmoment auf die Entkopplungsrolle (7, 8) zu übertragen derart, dass im Wesentlichen kein von der Zugkraft bewirkter Bandzug in den zweiten Bereich (5) hinein übertragen wird.
  5. Prozessieranordnung (200, 400) gemäß Anspruch 4, ferner aufweisend: • eine zusätzliche Messvorrichtung (13), welche eingerichtet ist, eine zusätzliche Messgröße zu erfassen, wobei die zusätzliche Messgröße eine Lage des Bandsubstrats (1) in dem zweiten Bereich (5) repräsentiert; • wobei der Rollenantrieb (104a, 104b) eingerichtet ist, eine Transportgeschwindigkeit in den zweiten Bereich (5) hinein und/oder aus diesem heraus auf Grundlage der zusätzlichen Messgröße bereitzustellen.
  6. Prozessieranordnung (200, 400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die erste Zugentkopplungsanordnung (102a) und/oder die zweite Zugentkopplungsanordnung (102b) ferner aufweisen: eine freihängende Beschwerungsrolle (14), welche von dem Bandsubstrat (1) getragen dieses in dem zweiten Bereich (5) spannt.
  7. Prozessieranordnung (200, 400) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner aufweisend: • eine erste Prozessierquelle (204), welche in dem ersten Bereich (4) angeordnet ist, zum Prozessieren des Bandsubstrats (1) in dem ersten Bereich (4); und/oder • eine zweite Prozessierquelle (204), welche in dem dritten Bereich (6) angeordnet ist, zum Prozessieren des Bandsubstrats (1) in dem dritten Bereich (5).
  8. Transportvorrichtung (100a, 300a), aufweisend: • mehrere Transportrollen (15) zum Transportieren eines Bandsubstrats (1) entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich (4), einen zweiten Bereich (5) und einen dritten Bereich (6) geführt wird; • eine erste Zugentkopplungsanordnung (102a), welche eingerichtet ist, den Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich (4) in den zweiten Bereich (5) zu reduzieren, • eine zweite Zugentkopplungsanordnung (102b), welche eingerichtet ist, den Bandzug beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich (5) in den dritten Bereich (6) zu erhöhen, • wobei die erste und die zweite Zugentkopplungsanordnung (102b) ferner den zweiten Bereich (5) von den mehreren Transportrollen (15) zugentkoppeln, so dass im Wesentlichen kein Bandzug von den mehreren Transportrollen (15) in den zweiten Bereich (5) hinein übertragen wird.
  9. Verfahren (500) zum Transportieren eines Bandsubstrats, aufweisend: • Transportieren (501) eines Bandsubstrats (1) entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich (4), einen zweiten Bereich (5) und einen dritten Bereich (6) hindurch geführt wird; • Reduzieren (503) eines Bandzuges beim Übergang des Transportpfads von dem ersten Bereich (4) in den zweiten Bereich (5); • Vergrößern (505) eines Bandzuges beim Übergang des Transportpfads von dem zweiten Bereich (5) in den dritten Bereich (6); • Zugentkoppeln (507) des zweiten Bereichs (5) von dem ersten Bereich (4) und dem dritten Bereich (6), so dass im Wesentlichen kein Bandzug von dem ersten Bereich (4) und dem dritten Bereich (6) in dem zweiten Bereich (5) übertragen wird; und • Umlenken (509) des Bandsubstrats (1) in dem zweiten Bereich (5).
  10. Transportvorrichtung (100a, 300a), aufweisend: mehrere Transportrollen (15) zum Transportieren eines Bandsubstrats (1) entlang eines Transportpfads; und eine Zugentkopplungsanordnung (102a, 102b), aufweisend: • einen Rollenantrieb; • eine Entkopplungsrolle (7, 8), mittels welcher der Transportpfad von einem ersten Bereich (4) in einen zweiten Bereich (5) geführt ist; • eine Messvorrichtung, welche eingerichtet ist, eine Messgröße bereitzustellen, wobei die Messgröße eine mittels des Bandsubstrats (1) aus dem ersten Bereich (4) auf die Entkopplungsrolle (7, 8) übertragene Zugkraft repräsentiert; • wobei der Rollenantrieb eingerichtet ist, auf Grundlage der Messgröße ein der Zugkraft entgegen wirkendes Drehmoment auf die Entkopplungsrolle (7, 8) zu übertragen derart, dass im Wesentlichen kein von der Zugkraft bewirkter Bandzug aus dem ersten Bereich (4) in den zweiten Bereich (5) hinein übertragen wird; • wobei der Transportpfad in einem zweiten Bereich (5) gekrümmt ist.
  11. Verfahren (600) zum Transportieren eines Bandsubstrats, aufweisend: • Transportieren (601) eines Bandsubstrats (1) entlang eines Transportpfads, welcher durch einen ersten Bereich (4) und einen zweiten Bereich (5) geführt wird; • Ermitteln (603) einer Zugkraft, welche in dem ersten Bereich (4) auf das Bandsubstrat wirkt; • Reduzieren (605) eines von der Zugkraft bewirkten Bandzuges beim Übergang des Transportpfads zwischen dem ersten Bereich (4) und dem zweiten Bereich (5) derart, im Wesentlichen kein von der Zugkraft bewirkter Bandzug aus dem ersten Bereich (4) in den zweiten Bereich (5) hinein übertragen wird; und • Umlenken (607) des Bandsubstrats in dem zweiten Bereich (5).
DE102016123824.4A 2016-12-08 2016-12-08 Prozessieranordnung, Transportvorrichtung und Verfahren Withdrawn DE102016123824A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016123824.4A DE102016123824A1 (de) 2016-12-08 2016-12-08 Prozessieranordnung, Transportvorrichtung und Verfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016123824.4A DE102016123824A1 (de) 2016-12-08 2016-12-08 Prozessieranordnung, Transportvorrichtung und Verfahren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102016123824A1 true DE102016123824A1 (de) 2018-06-14

Family

ID=62201770

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102016123824.4A Withdrawn DE102016123824A1 (de) 2016-12-08 2016-12-08 Prozessieranordnung, Transportvorrichtung und Verfahren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102016123824A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114686838A (zh) * 2022-03-28 2022-07-01 尚越光电科技股份有限公司 一种cigs共蒸设备的高稳定传动系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3528784C2 (de) * 1985-08-10 1989-04-13 Bwg Bergwerk- Und Walzwerk-Maschinenbau Gmbh, 4100 Duisburg, De
DE19735603C1 (de) * 1997-08-15 1998-11-19 Ardenne Anlagentech Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage für Mehrschichtsysteme
DE102007056192A1 (de) * 2007-11-21 2009-05-28 Sms Demag Ag Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Bandes aus Metall

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3528784C2 (de) * 1985-08-10 1989-04-13 Bwg Bergwerk- Und Walzwerk-Maschinenbau Gmbh, 4100 Duisburg, De
DE19735603C1 (de) * 1997-08-15 1998-11-19 Ardenne Anlagentech Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage für Mehrschichtsysteme
DE102007056192A1 (de) * 2007-11-21 2009-05-28 Sms Demag Ag Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Bandes aus Metall

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114686838A (zh) * 2022-03-28 2022-07-01 尚越光电科技股份有限公司 一种cigs共蒸设备的高稳定传动系统
CN114686838B (zh) * 2022-03-28 2024-06-11 尚越光电科技股份有限公司 一种cigs共蒸设备的高稳定传动系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE202019102057U1 (de) Doppelseitige Vakuumbeschichtungsvorrichtung zum kontinuierlichen Vorwärts- und Rückwärtsbeschichten eines Films
EP2138615A1 (de) Verfahren zum Herstellen eines multiaxialen Fadengeleges, unidirektionale Faserlagen und Verfahren zu ihrer Herstellung, multiaxiales Fadengelege und Kompositteil mit einer Matrix
EP1795625A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Bändern
EP3715503A1 (de) Temperierrolle, transportanordnung und vakuumanordnung
DE102016112868A1 (de) Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren
DE3212908C2 (de) Verfahren zum Herstellen einer planen Dünnschichtfolie sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE10157186C1 (de) Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von bandförmigen Material
DE102016123824A1 (de) Prozessieranordnung, Transportvorrichtung und Verfahren
EP2297768A1 (de) Anordnung zum beschichten bandförmiger foliensubstrate
DE69405513T2 (de) Vakuumverdampfer zum Beschichten einer Bahn
DE2747061A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum beschichten von baendern in vakuumanlagen mit schleuseneinrichtungen
DE102016112869A1 (de) Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser
DE102016112867B4 (de) Transportanordnung und Prozessieranordnung sowie Verfahren zum Betreiben dieser
DE102018103626A1 (de) Laufwerkdichtung, Versorgungsschnittstelle und Transportanordnung sowie Verfahren
DE202016105926U1 (de) Prozessieranordnung, Vakuumanordnung und Transportanordnung
DE102020118522A1 (de) Transportanordnung, Vakuumanordnung, Steuervorrichtung, Verfahren und Verwendung
DE102010040077B4 (de) Vakuumbehandlungsverfahren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102018114819B4 (de) Verfahren zur Beschichtung eines Substrats und Beschichtungsanlage
DE69701284T2 (de) Vorrichtung zum matrixbeschichten von fasern mit metalldampf
DE102019124489B3 (de) Vakuumanordnungen, Verfahren und Verwendung einer Elektrode im Vakuum
DE202021102889U1 (de) Vakuumanordnung
DE102016101019A1 (de) Beschichtungsanordnung und Verfahren zum Beschichten eines Bandsubstrats
DE102016112865A1 (de) Transportanordnung und Prozessieranordnung
EP3460092A1 (de) Niedrigemissionsbeschichtung
DE102018113039A1 (de) Verfahren und Vakuumanordnung

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R082 Change of representative

Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB PATENT- UND , DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee