DE102016000033A1 - Röntgenröhre - Google Patents

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Abstract

Eine Röntgenröhre (1) umfasst in einer Ausführungsform eine Vakuumhülle (3), ein Anodentarget (5), einen Kathodenglühfaden (9), eine sich zentral befindende isolierte Hülle (11), eine kathodenseitige Metallhülle (24), die an eine Metallschicht (36) an einer Endoberfläche (11b) der isolierten Hülle (11) hartgelötet ist, eine anodenseitige Metallhülle (23), die an eine Metallschicht (37) an der anderen Endoberfläche der isolierten Hülle (11) hartgelötet ist, und ein ringförmiges Metallhilfsverbindungselement (39) mit zwei Endoberflächen. Mindestens eine der kathodenseitigen Metallhülle (24) und der anodenseitigen Metallhülle (23) hat einen vorstehenden Abschnitt (23c), der eine Außenendoberfläche mit kleinerer Fläche als jede Endoberfläche des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements (39) hat. Der vorstehende Abschnitt (23c) ist an eine Endoberfläche des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements (39) hartgelötet. Die andere Endoberfläche des Metallhilfsverbindungselements (39) ist an die Metallschicht (36 oder 37) der isolierten Hülle (11) hartgelötet.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die hier beschriebenen Ausführungsformen beziehen sich generell auf eine Röntgenröhre.
  • Hintergrund
  • Es ist allgemein bekannt, dass eine Röntgenröhre einen Typ Röntgenröhre mit Fest- oder Stehanode umfasst (siehe z. B. JP 2009-170333 A ). Die Röntgenröhre mit Fest- oder Stehanode umfasst eine Vakuumhülle, ein Anodentarget, einen Kathodenglühfaden, einen Trägerkörper, einen Wärmeableitkörper, Isolationsmaterialien und ein Hochvoltkabel. Die Vakuumhülle hat ein flaches Ende mit einem Ausgabefenster, das Röntgenstrahlen überträgt.
  • Das Anodentarget ist im Inneren der Vakuumhülle angeordnet und ist dem Ausgabefenster gegenübergestellt. Der Kathodenglühfaden ist im Inneren der Vakuumhülle angeordnet und emittiert Elektronen, die auf das Anodentarget aufgebracht werden. Der Trägerkörper ist in der Vakuumhülle vorgesehen. Der Trägerkörper hat zwei Endabschnitte, einer davon trägt das Anodentarget.
  • Der andere Endabschnitt des Trägerkörpers ist mit dem Wärmeableitkörper verbunden. Der Wärmeableitkörper leitet Wärme ab, die durch das Anodentarget erzeugt wird, und überträgt sie auf den Trägerkörper. Der Wärmeableitkörper hat eine äußere Seitenoberfläche, die komplett mit einigen der Isolationsmaterialien abgedeckt ist, und eine innere Seitenoberfläche, die komplett mit dem Rest der Isolationsmaterialien abgedeckt ist. Das Hochvoltkabel bringt eine hohe Spannung auf das Anodentarget auf.
  • Zusammenfassung
  • Der Trägerkörper trägt einen Verbindungskörper, der eine isolierte Hülle und den Wärmeableitkörper verbindet. Der Wärmeableitkörper absorbiert Wärme von der isolierten Hülle und dem Trägerkörper und leitet die absorbierte Wärme ab.
  • Jedoch gibt es ein Problem, dass sich ein vakuumdichter Zustand einer Röntgenröhre verschlechtern kann, weil die Verbindung zwischen dem Verbindungskörper und der isolierten Hülle während eines Herstellungsprozesses oder einer kommerziellen Verwendung zerstört werden kann. Darüber hinaus gibt es die Möglichkeit, dass dasselbe Problem bei der Verbindung zwischen der isolierten Hülle und einer kathodenseitigen Metallhülle auftritt. Zusätzlich ist dasselbe Problem in anderen Röntgenröhren mit Stehanode oder Röntgenröhren mit Drehanode vorhanden.
  • Hierin beschriebene Ausführungsformen haben die Aufgabe, eine Röntgenröhre vorzuschlagen, die eine Verbesserung im vakuumdichten Zustand aufweisen kann.
  • Eine Röntgenröhre (1) in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, umfasst eine Vakuumhülle (3) mit einem Ausgabefenster (19), das Röntgenstrahlen erlaubt hindurchzutreten, einem Anodentarget (5) in der Vakuumhülle (3) gegenüber dem Ausgabefenster (19), und einem Kathodenglühfaden (9) in der Vakuumhülle, der Elektronen in Richtung des Anodentargets (5) sendet. Die Vakuumhülle (3) ist aus einer sich zentral befindenden zylindrischen isolierten Hülle (11), die zwei Endoberflächen hat und aus einer Keramik mit einer elektrisch isolierenden Eigenschaft hergestellt ist, und einer kathodenseitigen Metallhülle (24), die den Kathodenglühfaden (9) trägt und an einer Metallschicht (36) an eine der zwei Endoberflächen der isolierten Hülle (11) hartgelötet ist, und einer anodenseitigen Metallhülle (23), die das Anodentarget (5) trägt und an eine Metallschicht (37) an der anderen Endoberfläche der isolierten Hülle (11) hartgelötet ist, und einem ringförmigen Metallhilfsverbindungselement (39) mit zwei Endoberflächen aufgebaut. Mindestens eine der kathodenseitigen Metallhülle (24) und der anodenseitigen Metallhülle (23, 7) hat einen vorstehenden Abschnitt (23c) mit einer Außenendoberfläche, die von der Seite der isolierten Hülle (11) vorsteht und in der Fläche kleiner ist als jede der zwei Endoberflächen des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements (39). Der vorstehende Abschnitt (23c) ist in einer solchen Weise an das ringförmige Metallhilfsverbindungselement (39) hartgelötet, dass die Außenendoberfläche des vorstehenden Abschnitts (23c) an einer der zwei Endoberflächen des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements (39) anstößt. Die Andere der zwei Endoberflächen des Metallhilfsverbindungselements (39) stößt an die auf der einen Endoberfläche (11b) oder der anderen Endoberfläche (11a) der isolierten Hülle (11) ausgebildeten metallischen Schicht (36 oder 37) an und ist an diese hartgelötet.
  • Die Ausführungsform macht es möglich, eine Röntgenröhre vorzuschlagen, die eine Verbesserung im vakuumdichten Zustand aufweisen kann.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Schnittansicht, die die Struktur einer Röntgenröhre in einer Ausführungsform schematisch darstellt.
  • 2 ist eine Schnittansicht, die einen VerbindungsAbschnitt einer isolierten Hülle und einen Verbindungskörper darstellt, wobei (a) einen Zustand vor dem Hartlöten darstellt und (b) einen Zustand nach dem Hartlöten darstellt.
  • 3 zeigt eine andere Ausführungsform und ist eine Schnittansicht der Verbindung zwischen der isolierten Hülle und dem Verbindungskörper, nachdem diese zusammen hartgelötet worden sind.
  • 4 zeigt eine andere Ausführungsform und ist eine Schnittansicht der Verbindung zwischen der isolierten Hülle und dem Verbindungskörper, nachdem diese zusammen hartgelötet worden sind.
  • 5 ist eine Schnittansicht eines Metallhilfsverbindungselements in einem modifizierten Beispiel der in 3 gezeigten Ausführungsform.
  • Detaillierte Beschreibung
  • Im Folgenden wird eine Röntgenröhre mit Fest- oder Stehanode einer Ausführungsform im Detail mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
  • Wie in 1 dargestellt umfasst eine Röntgenröhre mit Stehanode 1 eine Vakuumhülle 3, ein Anodentarget 5, einen Trägerkörper 7, einen Kathodenglühfaden 9, eine isolierte Hülle 11, einen Rohrbehälter 13, einen Wärmeableitkörper 15 und ein Hochvoltkabel 17.
  • Die Vakuumhülle 3 ist ein zylindrischer Behälter, in dem intern ein Vakuumzustand gehalten wird, und hat zwei Enden, wobei eines der Enden sich nach unten zu einem schmalen, flachen Außenende, mit einem Ausgabefenster 19, das Röntgenstrahlen erlaubt, hindurchzutreten, verjüngt.
  • Das Ausgabefenster 19 ist aus Material hergestellt, das Röntgenstrahlen vernachlässigbar dämpft, wie zum Beispiel Beryllium (Be).
  • Das Anodentarget 5 befindet sich im Inneren der Vakuumhülle 3, ist dem Ausgabefenster 19 zugewandt und ist von dem Kathodenglühfaden 9 umgeben. Es sollte beachtet werden, dass eine Konvergenzelektrode 21 sich zwischen dem Anodentarget 5 und dem Kathodenglühfaden 9 befindet.
  • Darüber hinaus hat der Trägerkörper 7 zwei Endabschnitte. Einer der zwei Endabschnitte ist ein dünner Endabschnitt 7a, der zentral in der Vakuumhülle 3 angeordnet ist. Der dünne Endabschnitt 7a des Trägerkörpers 7 ist in der Konvergenzelektrode 21 und hat eine Endoberfläche, die das Anodentarget 5 trägt. Der andere Endabschnitt 7b des Trägerkörpers 7 ist vorstehend an der anderen Endseite der isolierten Hülle 11 vorgesehen und ist an einen Verbindungskörper (anodenseitige Metallhülle) 23 hartgelötet. Der Verbindungskörper 23 verbindet die isolierte Hülle 11 und den Trägerkörper 7 in einem abgedichteten Zustand. In anderen Worten trägt der Verbindungskörper 23 das Anodentarget 5.
  • Darüber hinaus ist eine Metallschicht 36 an der Außenendoberfläche (Endoberfläche) 11b der isolierten Hülle 11 ausgebildet. Eine kathodenseitige Metallhülle 24, die den Kathodenglühfaden 9 trägt, ist an die Metallschicht 36 hartgelötet.
  • Ein Entlüftungsrohr 27 zum Entlüften des Inneren der Vakuumhülle 3 über einen Entlüftungspfad 25, der im Inneren des Trägerkörpers 7 ausgebildet ist, und ein elektrischer Versorgungsabschnitt 29, zu dem das Hochvoltkabel 17 zum Aufbringen einer hohen Spannung auf das Anodentarget 5 verbunden ist, sind in der Endoberfläche des anderen Endabschnitts 7b (die andere Endoberfläche) des Trägerkörpers 7 vorgesehen.
  • Der isolierende Wärmeableitkörper 15 stößt an den Verbindungskörper 23 an seiner Außenendoberfläche (Endoberfläche) an, und diese sind fest miteinander durch einen Eingriff zwischen einem Schraubenmutterabschnitt des Wärmeableitkörpers 15 und einem Außengewinde, das an dem anderen Endabschnitt 7b des Trägerkörpers 7 vorgesehen ist, verbunden.
  • Der Wärmeableitkörper 15 ist aus einer Keramik, die normalerweise eine Hochtemperatur-Leitfähigkeit von 20 W/m·K oder mehr hat, und einer Hochvolt-Isoliereigenschaft von nicht weniger als 10 kV/mm hat, hergestellt. Wenn beispielsweise Aluminiumnitrat für den Wärmeableitkörper verwendet wird, wird die Hochtemperatur-Leitfähigkeit von 90 W/m·K oder mehr erzielt.
  • Das Hochvoltkabel 17 befindet sich in dem Wärmeableitkörper 15 und erstreckt sich von dem Wärmeableitkörper 15 nach außen.
  • Der Rohrbehälter 13 nimmt die isolierte Hülle 11, die mit einem Vakuum bzw. Unterdruck mit der Vakuumhülle 3 hergestellt ist, den anderen Endabschnitt 7b des Trägerkörpers 7, der von der isolierten Hülle 11 vorsteht, und einen Abschnitt des Wärmeableitkörpers 15 auf. Das Innere des Rohrbehälters 13 ist mit dem Isolationsmaterial 33 gefüllt, das Vergussmaterial wie zum Beispiel Silikonkunststoff ist. Genauer gesagt, füllt das Isolationsmaterial 33 einen Raum zwischen dem Rohrbehälter 13 und einem Verbund aus der isolierten Hülle 11, dem Verbindungskörper 23, und dem Wärmeableitkörper 15.
  • Außerdem füllt ein anderes Isolationsmaterial 33 einen Raum zwischen dem Hochvoltkabel 17 und dem Wärmeableitkörper 15 an der Seite des anderen Endabschnitts 7b des Trägerkörpers 7. Das Isolationsmaterial 33 ist aus Vergussmaterial wie zum Beispiel Silikonkunststoff hergestellt.
  • Der Rohrbehälter 13 ist umgeben von der Kühleinheit 35. Ein luftgekühlter Typ, ein flüssigkeitsgekühlter Typ oder ein Wärmerohrtyp kann als die Kühleinheit 35 entsprechend der Eintragform des Typs Röntgenröhre mit Stehanode gewählt werden. Ein luftgekühlter Typ oder ein Wärmerohrtyp ist wegen der Einfachheit der Wartung oder der Handhabung wünschenswert. Eine Kühleinheit kann ein Radiator sein.
  • Die Kollision von Elektronen mit dem Anodentarget 5 erzeugt Wärme, die von dem Anodentarget 5 auf den Trägerkörper 7 übermittelt wird. Der Trägerkörper 7 leitet die Wärme und übermittelt die Wärme von dem anderen Endabschnitt 7b auf den Verbindungskörper 23, der mit dem anderen Endabschnitt 7b verbunden ist. Der Verbindungskörper 23 übermittelt dann die Wärme auf die isolierte Hülle 11, den Wärmeableitkörper 15, und das Isolationsmaterial 33. Es sollte beachtet werden, dass die isolierte Hülle 11 und der Wärmeableitkörper 15 ebenfalls die Wärme auf das Isolationsmaterial 33 übermitteln. Das Isolationsmaterial 33 übermittelt die Wärme auf den Rohrbehälter 13. Der Rohrbehälter 13 leitet die Wärme, die von dem Isolationsmaterial 33 und dem Wärmeableitkörper 15 übermittelt wird, nicht nur in die Kühleinheit 35, sondern wird ebenso durch die Kühleinheit 35 gekühlt. Der Wärmeableitkörper 15 ist in der vorliegenden Ausführungsform direkt mit dem anderen Endabschnitt 7b des Trägerkörpers 7 verbunden. Dementsprechend wird die Wärme, die durch das Anodentarget 5 erzeugt wurde und auf den Trägerkörper 7 übermittelt worden ist, sehr effektiv verteilt bzw. abgeführt.
  • Ein Verbindungsabschnitt des Verbindungskörpers 23 und der isolierten Hülle 11 wird hier beschrieben. Der Verbindungskörper 23 hat ein inneres Umfangsseitenteil 23a und ein äußeres Umfangsseitenteil 23b und ist in einer solchen Weise an den Trägerkörper 7 befestigt, dass das innere Umfangsseitenteil 23a an die äußere Umfangsoberfläche des anderen Endabschnitts 7b des Trägerkörpers 7 anstößt, und dass das äußere Umfangsseitenteil 23b mit der hinteren Endoberfläche (andere Endoberfläche) 11a der isolierten Hülle 11, wie in der vergrößerten Schnittansicht von 1 dargestellt, verbunden ist.
  • Genauer gesagt hat die hintere Endoberfläche 11a der isolierten Hülle 11 wie in 2(b) dargestellt eine verbundene oder gebondete Oberfläche, wo die Metallschicht 37 ausgebildet ist und der Verbindungskörper 23 verbunden ist. Das Metallhilfsverbindungselement 39 ist zwischen der Metallschicht 37 und dem vorstehenden Abschnitt 23c des Verbindungskörpers 23 angeordnet. Die hintere Endoberfläche 11a der isolierten Hülle 11 und der vorstehende Abschnitt 23c des Verbindungskörpers 23 sind miteinander verbunden.
  • Das Konstruktionsmaterial der isolierten Hülle 11 ist eine elektrisch isolierende Keramik wie zum Beispiel Aluminiumoxid (eng.: „Alumina”).
  • Die Metallschicht 37 ist an der hinteren Endoberfläche 11a der isolierten Hülle 11 durch Aufstreichen, Aufdrucken etc. ausgebildet. Die Metallschicht 37 umfasst Metall etc., das Mo als Hauptbestandteil hat.
  • Das Metallhilfsverbindungselement 39 ist ein ringförmiges Plattenmaterial, und Kovar etc. kann als Konstruktionsmaterial verwendet werden.
  • Das Metallhilfsverbindungselement 39 ist an der Metallschicht 37 durch Hartlöten befestigt. Darüber hinaus sind das Metallhilfsverbindungselement 39 und der vorstehende Abschnitt 23c des Verbindungskörpers 23 ebenfalls durch Hartlöten aneinander befestigt.
  • Jetzt wird beschrieben, wie der Verbindungskörper 23 und die isolierte Hülle 11 zu verbinden sind.
  • Wie in 2(a) dargestellt, ist eine Hartlötmetallplatte 41 zwischen der Metallschicht 37 und dem Metallhilfsverbindungselement 39 angeordnet. Der vorstehende Abschnitt 23c des Verbindungskörpers 23 stößt an das Metallhilfsverbindungselement 39 an. Zwei Stränge des Hartlötmetalls 43 sind so angeordnet, dass der vorstehende Abschnitt 23c zwischen den Strängen von Hartlötmetall angeordnet sein kann. Die resultierende Struktur wird in einem Ofen platziert und die Hartlötmetalle werden zu geschmolzenen Hartlötmetallen 41a und 43a, dargestellt in 2(b), geschmolzen.
  • Der vorstehende Abschnitt 23c, der in einer Querschnittsfläche klein ist, hat einen Effekt einer Entlastung von thermischer Spannung, die durch eine Temperaturdifferenz zwischen dem Verbindungskörper 23 und der isolierten Hülle 11 verursacht wird. Darüber hinaus ist der vorstehende Abschnitt 23c an die Metallschicht 37 mit dem dazwischen eingefügten Metallhilfsverbindungselement 39 hartgelötet. Das Metallhilfsverbindungselement 39 hat eine Endoberfläche, die eine größere Fläche als die Querschnittfläche des vorstehenden Abschnitts 23c hat. Daher hat das Metallhilfsverbindungselement 39 einen Effekt, der die thermische Spannung, die unweigerlich an der Grenzfläche zwischen der Metallschicht 37 und der isolierten Hülle 11, die beide in der Stärke vergleichsweise schwach sind, erzeugt wird, reduziert.
  • Die Grenzfläche zwischen der Metallschicht 37 und der isolierten Hülle 11 wird während eines Herstellprozesses oder einer kommerziellen Verwendung vor Rissbildung bewahrt.
  • Außerdem schmelzen, wie in 2(b) dargestellt, die Stränge aus Hartlötmetall 43 in einen geschmolzenen Zustand und fließen aus. Jedoch ist eine Höhendifferenz zwischen dem Metallhilfsverbindungselement 39 und der Metallschicht 37 vorhanden. Das geschmolzene Hartlötmetall 43a wird an der Höhendifferenz gefangen. Das geschmolzene Hartlötmetall 43a wird daran gehindert über die Metallschicht 37 zu fließen und den Keramikabschnitt der isolierten Hülle 11 zu erreichen. Da verhindert wird, dass das geschmolzene Hartlötmetall 43a den Keramikabschnitt, der die hintere Endoberfläche 11a der isolierten Hülle 11 bildet, berührt, wird verhindert, dass der Keramikabschnitt mit der thermischen Spannung reißt.
  • Wenn die hintere Endoberfläche 11a der isolierten Hülle 11 gerissen ist oder einen Riss in ihrem hartgelöteten Abschnitt oder ihrem Keramikabschnitt hat, besteht eine Möglichkeit, dass ein vakuumdichter Zustand des inneren Umfangraums der isolierten Hülle 11 beschädigt werden kann.
  • Ein hartgelöteter Abschnitt bei der vorliegenden Ausführungsform wird sicher vor Rissbildung während eines Herstellungsprozesses oder der Verwendung in einem kommerziellen Umfeld bewahrt, da der vorstehende Abschnitt 23c in dem Verbindungskörper 23 ausgebildet ist, das ringförmige Metallhilfsverbindungelement 39 zwischen der Metallschicht 37 und dem vorstehenden Abschnitt 23c vorgesehen ist, und der vorstehende Abschnitt 23c an die isolierte Hülle 11 hartgelötet ist. Die vorliegende Ausführungsform macht es daher möglich, einen vakuumdichten Zustand einer Röntgenröhre mit Stehanode zu verbessern.
  • Jetzt wird eine andere Ausführungsform beschrieben. In der im Folgenden beschriebenen Ausführungsform sind dieselben Bezeichnungen an den Bereichen, die dieselben Aufgaben oder Effekte wie die der oben erwähnten Ausführungsform aufweisen, angebracht und die detaillierte Beschreibung der Bereiche wird weggelassen. Die folgende Beschreibung beschreibt hauptsächlich unterschiedliche Punkte von der oben erwähnten Ausführungsform.
  • Die in 3 dargestellte Ausführungsform unterscheidet sich von der oben erwähnten Ausführungsform insofern als Nuten 45, von denen jede einen Körper aus stehendem Hartlötmetall speichert, in der Oberfläche des Metallhilfsverbindungselements 39 ausgebildet sind.
  • Die Nuten 45 verlaufen parallel zueinander entlang des Umfangs des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements 39 mit dem vorstehenden Abschnitt 23c dazwischen. Die Nuten 45 in 3 sind rechteckig im Querschnitt. Jedoch sind diese nicht notwendigerweise rechteckig, sondern können auch bogenförmig sein. Die Nuten 45 sind nicht besonders eingeschränkt in ihren jeweiligen Querschnittformen.
  • In der in 3 dargestellten Ausführungsform nehmen die Nuten 45 das geschmolzene Hartlötmetall 43a sicher auf. Daher wird sicher verhindert, dass das geschmolzene Hartlötmetall 43a über die Metallschicht 37 in den Keramikabschnitt der hinteren Endoberfläche 11a der isolierten Hülle 11 fließt.
  • Eine weitere in 4 dargestellte Ausführungsform ist unterschiedlich von ersten oder zweiten Ausführungsformen, indem das Metallhilfsverbindungselement 39 zwei vertiefte oder abgesenkte Bereiche 47 an einem Ende, an dem der vorstehende Abschnitt 23c des Verbindungskörpers 23 hartgelötet ist, hat. Das Ende des Metallhilfsverbindungselements 39 hat einen umfänglichen inneren Seitenbereich, wo sich einer der zwei abgesenkten Bereiche 47 befindet, und einen umfänglichen äußeren Seitenbereich, wo sich der andere der zwei abgesenkten Bereiche 47 befindet.
  • In der in 4 dargestellten Ausführungsform, muss das geschmolzene Hartlötmetall 43, das über bzw. durch die Oberfläche des Metallhilfsverbindungselements 39 fließt, eine längere Strecke laufen und somit wird das Metallhilfsverbindungselement 39 wegen der abgesenkten Bereiche 47 eine größere Oberflächenfläche zum Aufnehmen des geschmolzenen Lötmetalls 43a haben als der Rest der Ausführungsformen. Daher wird sicher verhindert, dass das geschmolzene Hartlötmetall 43a über die Metallschicht 37 in den Keramikabschnitt der hinteren Endoberfläche 11a der isolierten Hülle 11 fließt.
  • Während bestimmte Ausführungsformen beschrieben worden sind wurden diese Ausführungsformen nur als Beispiel präsentiert und sind nicht dazu gedacht, den Umfang der Erfindungen zu begrenzen. Tatsächlich können die neuen, hierin beschriebenen Ausführungsformen in einer Vielzahl von anderen Formen ausgeführt werden; außerdem können eine Vielzahl von Weglassungen, Substitutionen und Änderungen der Form der hierin beschriebenen Ausführungsformen gemacht werden, ohne den Geist der Erfindungen zu verlassen. Die angehängten Ansprüche und deren Äquivalente sind dazu gedacht, solche Formen oder Modifikationen, die in den Umfang und den Geist der Erfindung fallen, abzudecken.
  • Das ringförmige Metallhilfsverbindungselement 39 kann, wie in 5 dargestellt, gezackte Bereiche 49 anstatt der in 3 gezeigten Nuten 45 an seinen Enden haben.
  • Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können auf einen hartgelöteten Abschnitt zwischen der kathodenseitigen Metallhülle 24 und der Metallschicht 36, die auf der Außenoberfläche (Endoberfläche) 11b der isolierten Hülle 11 ausgebildet ist, angewendet werden.
  • Darüber hinaus können die oben erwähnten Konfigurationen auf Röntgenröhren mit Drehanode oder diese Röntgenröhren mit Stehanode, die anders sind als die oben erwähnten Ausführungsformen, angewendet werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2009-170333 A [0002]

Claims (6)

  1. Eine Röntgenröhre (1) umfassend: eine Vakuumhülle (3) mit einem Ausgabefenster (19), das Röntgenstrahlen erlabt hindurchzutreten; ein Anodentarget (5) in der Vakuumhülle (3), gegenüber des Ausgabefensters (19); und einen Kathodenglühfaden (9) in der Vakuumhülle, der Elektronen in Richtung des Anodentargets (5) sendet, die Vakuumhülle (3) mit: einer sich zentral befindenden zylindrischen isolierten Hülle (11) mit zwei Endoberflächen und aus einer Keramik mit einer elektrisch isolierenden Eigenschaft hergestellt; einer kathodenseitigen Metallhülle (24), die den Kathodenglühfaden (9) trägt und an einer Metallschicht (36) an einer der zwei Endoberflächen der isolierten Hülle (11) hartgelötet ist; einer anodenseitigen Metallhülle (23), die das Anodentarget (5) trägt und an einer Metallschicht (37) an der anderen der zwei Endoberflächen der isolierten Hülle (11) hartgelötet ist; und einem ringförmigen Metallhilfsverbindungselement (39) mit zwei Endoberflächen, einem vorstehenden Abschnitt (23c), an mindestens einer der kathodenseitigen Metallhülle (24) und der anodenseitigen Metallhülle (23, 7) beinhaltet, mit einer Außenendoberfläche, die von der Seite der isolierten Hülle (11) vorsteht und in der Fläche kleiner ist, als jede der zwei Endoberflächen des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements (39), dadurch gekennzeichnet, dass der vorstehende Abschnitt (23c) in einer solchen Weise an das ringförmige Metallhilfsverbindungselement (39) hartgelötet ist, dass die Außenendoberfläche des vorstehenden Abschnitts (23c) an eine der zwei Endoberflächen des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements (39) anstößt, und die andere der zwei Endoberflächen des Metallhilfsverbindungselements (39) an die, auf der einen Endoberfläche (11b) oder der anderen Endoberfläche (11a) der isolierten Hülle (11) ausgebildeten metallischen Schicht anstößt und hartgelötet ist.
  2. Die Röntgenröhre (1) aus Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die anodenseitige Metallhülle (23, 7) einen Trägerkörper (7) und einen Verbindungskörper (23) umfasst, der Trägerkörper (7) zwei Endabschnitte hat, wobei einer der zwei Endabschnitte das Anodentarget (5) trägt und der andere der zwei Endabschnitte von der Vakuumhülle (3) nach außen vorsteht, und der Verbindungskörper (23) den vorstehenden Abschnitt (23c) hat und es erlaubt, dass sich der Trägerkörper (7) hindurch erstreckt und daran hartgelötet wird.
  3. Die Röntgenröhre (1) aus Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass sie ferner einen isolierenden Wärmeableitkörper (15), der mit dem anderen der zwei Endabschnitte des Trägerkörpers (7) verbunden ist, umfasst.
  4. Die Röntgenröhre (1) aus einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das ringförmige Metallhilfsverbindungselement (39) einen hartgelöteten Bereich an der einen der zwei Endoberflächen und mindestens einen abgesenkten Bereich (47) nahe dem hartgelöteten Abschnitt auf oder an der einen der zwei Endoberflächen hat.
  5. Die Röntgenröhre (1) aus einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die hartgelötete Seitenoberfläche des ringförmigen Metallhilfsverbindungselements (39) zwei sich jeweils kreisförmig erstreckende konzentrische Nuten (45), die die zwei Körper aus stehendem Hartlötmetall (43a) jeweils aufnehmen, hat.
  6. Die Röntgenröhre (1) aus Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass jede der zwei sich kreisförmig erstreckenden konzentrischen Nuten (45) im Schnitt einen gezahnten Bereich (49) umfasst.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022098027A (ja) * 2020-12-21 2022-07-01 キヤノン電子管デバイス株式会社 X線管

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06101303B2 (ja) * 1986-03-19 1994-12-12 株式会社日立製作所 セラミツクスと金属の接合方法
DE4308361C2 (de) 1993-03-16 1998-12-10 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer Verbindung zweier Keramikteile bzw. eines Metall- und eines Keramikteils
US7236568B2 (en) * 2004-03-23 2007-06-26 Twx, Llc Miniature x-ray source with improved output stability and voltage standoff
JP5128752B2 (ja) 2004-04-07 2013-01-23 日立協和エンジニアリング株式会社 透過型x線管及びその製造方法
JP2007042434A (ja) 2005-08-03 2007-02-15 Toshiba Corp X線管
JP2009289462A (ja) * 2008-05-27 2009-12-10 Toshiba Corp 固定陽極型x線管装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009170333A (ja) 2008-01-18 2009-07-30 Toshiba Corp X線管

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