DE102015209453A1 - Pupil facet mirror - Google Patents
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Abstract
Ein Pupillenfacettenspiegel (10) weist Facetten (11) mit unterschiedlichen Krümmungsradien auf.A pupil facet mirror (10) has facets (11) with different radii of curvature.
Description
Die Erfindung betrifft einen Pupillenfacettenspiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage sowie eine Beleuchtungsoptik und ein Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Pupillenfacettenspiegel. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung der Krümmungsradien von Facetten eines Pupillenfacettenspiegels. Weiterhin betrifft die Erfindung ein optisches System und eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie. Schließlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements und ein verfahrensgemäß hergestelltes Bauelement. The invention relates to a pupil facet mirror for an illumination optical system of a projection exposure apparatus and to an illumination optics and an illumination system for a projection exposure apparatus having such a pupil facet mirror. In addition, the invention relates to a method for determining the radii of curvature of facets of a pupil facet mirror. Furthermore, the invention relates to an optical system and a projection exposure apparatus for microlithography. Finally, the invention relates to a method for producing a micro- or nanostructured device and a device produced according to the method.
Aus der
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Beleuchtungsoptik mit einem entsprechenden UNICOM weiterzubilden. Diese Aufgabe wird durch einen Pupillenfacettenspiegel gelöst, dessen Facetten unterschiedliche Krümmungsradien aufweisen. It is an object of the present invention to develop a lighting optical system with a corresponding UNICOM. This object is achieved by a pupil facet mirror whose facets have different radii of curvature.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass sich hierdurch Dosisschwankungen im Objektfeld, welche sich auch durch Quellfluktuationen verursachte Verschiebungen des Beleuchtungsfeldes im Bereich des UNICOMs zurückführen lassen, verringern lassen.According to the invention, it has been recognized that this makes it possible to reduce dose fluctuations in the object field, which can also be attributed to shifts in the illumination field in the area of the UNICOM caused by swelling fluctuations.
Es wurde insbesondere erkannt, dass Quellfluktuationen, das heißt Ortsvariationen des Plasmas und/oder andere räumliche Schwankungen der Strahlungsquelle, zu einer Verschiebung des Beleuchtungsfeldes in der UNICOM-Ebene führen und damit zu Schwankungen der Strahlungsdosis, welche das Objektfeld erreicht. Diese Schwankungen werden von Energiesensoren, welche im optischen Pfad vor dem UNICOM angeordnet sind, nicht erfasst. Es kann somit zu Dosisfehlern kommen.In particular, it has been recognized that source fluctuations, ie local variations of the plasma and / or other spatial variations of the radiation source, lead to a shift of the illumination field in the UNICOM plane and thus to variations in the radiation dose reaching the object field. These fluctuations are not detected by energy sensors located in the optical path in front of the UNICOM. It can thus lead to Dosisfehlern.
Weiter wurde erkannt, dass sich die durch derartige Quellfluktuationen verursachten Dosisfehler reduzieren, insbesondere minimieren lassen, dadurch, dass die Facetten des Pupillenfacettenspiegels mit unterschiedlichen Krümmungsradien versehen werden. Es ist insbesondere möglich, die Krümmungsradien der Pupillenfacetten derart zu wählen, dass die Feldverschiebung, welche sich aus der Summe der Verschiebungen sämtlicher Einzelkanäle in der UNICOM-Ebene ergibt, reduziert, insbesondere minimiert wird.It was further recognized that the dose errors caused by such swelling fluctuations can be reduced, in particular minimized, by providing the facets of the pupil facet mirror with different radii of curvature. In particular, it is possible to choose the radii of curvature of the pupil facets in such a way that the field displacement which results from the sum of the displacements of all the individual channels in the UNICOM plane is reduced, in particular minimized.
Die Krümmungsradien der Pupillenfacetten können insbesondere derart gewählt werden, dass sie die Dosisschwankungen im Objektfeld, welche durch eine Verschiebung der einzelnen Beleuchtungskanäle aufgrund von Quellfluktuationen verursacht werden, zumindest teilweise kompensieren.The radii of curvature of the pupil facets can in particular be selected such that they at least partially compensate for the dose fluctuations in the object field which are caused by a displacement of the individual illumination channels due to swelling fluctuations.
Die Facetten des Pupillenfacettenspiegels sind insbesondere monolithisch ausgebildet.The facets of the pupil facet mirror are in particular monolithic.
Die Facetten des Pupillenfacettenspiegels sind insbesondere starr, das heißt nichtverlagerbar ausgebildet. Hierdurch wird der konstruktive Aufbau des Pupillenfacettenspiegels erleichtert.The facets of the pupil facet mirror are in particular rigid, that is to say they are not displaceable. As a result, the structural design of the pupil facet mirror is facilitated.
Der erfindungsgemäße Pupillenfacettenspiegel weist insbesondere ein vorbestimmtes, insbesondere ein nach einem nachfolgend noch näher beschriebenen Verfahren optimiertes Design, das heißt eine Anordnung einer Vielzahl von Pupillenfacetten mit vorgegebenen, unterschiedlichen Krümmungsradien auf. Das Design des Pupillenfacettenspiegels kann hierbei insbesondere an die Details der vorgesehenen Strahlungsquelle oder der vorgesehenen Strahlungsquellen des Beleuchtungssystems und/oder an die Designdaten der Beleuchtungsoptik, insbesondere des ersten Facettenspiegels, welcher das Bild der Strahlungsquelle aus einem Zwischenfokus auf die Pupillenfacetten abbildet, angepasst sein. In particular, the pupil facet mirror according to the invention has a predetermined design, in particular a design optimized according to a method to be described in more detail below, that is to say an arrangement of a plurality of pupil facets with predetermined, different radii of curvature. The design of the pupil facet mirror can in this case be adapted in particular to the details of the intended radiation source or the intended radiation sources of the illumination system and / or to the design data of the illumination optics, in particular of the first facet mirror, which images the image of the radiation source from an intermediate focus onto the pupil facets.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung unterscheiden sich mindestens zwei Krümmungsradien der Facetten um mindestens 1%. Das Verhältnis des größten Krümmungsradius Rmax zum kleinsten Krümmungsradius Rmin sämtlicher Facetten des Pupillenfacettenspiegels Rmax:Rmin beträgt insbesondere mindestens 1,01, insbesondere mindestens 1,02, insbesondere mindestens 1,03, insbesondere mindestens 1,04. According to one aspect of the invention, at least two radii of curvature of the facets differ by at least 1%. The ratio of the greatest radius of curvature R max to the smallest radius of curvature R min of all facets of the pupil facet mirror R max : R min is in particular at least 1.01, in particular at least 1.02, in particular at least 1.03, in particular at least 1.04.
Rmax:Rmin beträgt insbesondere höchstens 1,2, insbesondere höchstens 1,1. R max : R min is in particular at most 1.2, in particular at most 1.1.
Die Krümmungsradien R können insbesondere mindestens 500 mm, insbesondere mindestens 1000 mm, insbesondere mindestens 2000 mm betragen. The radii of curvature R may in particular be at least 500 mm, in particular at least 1000 mm, in particular at least 2000 mm.
Es hat sich ergeben, dass mit derartigen Unterschieden der Krümmungsradien der Facetten eine weitgehende Kompensation der durch Quellfluktuationen verursachten Feldverschiebungen in der UNICOM-Ebene möglich ist. It has been found that with such differences in the radii of curvature of the facets, a substantial compensation of the field shifts caused by swelling fluctuations in the UNICOM level is possible.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weisen jeweils mindestens 100, insbesondere mindestens jeweils 200, insbesondere mindestens jeweils 300, insbesondere mindestens jeweils 400, insbesondere mindestens jeweils 500 Facetten denselben Krümmungsradius auf. According to a further aspect of the invention, at least 100, in particular at least 200, in particular at least 300, in particular at least 400, in particular at least 500 facets each have the same radius of curvature.
Hierdurch wird die Herstellung des Pupillenfacettenspiegels erleichtert. This facilitates the manufacture of the pupil facet mirror.
Der Pupillenfacettenspiegel kann insgesamt mindestens 1000, insbesondere mindestens 1200, insbesondere mindestens 1400, insbesondere mindestens 1600, insbesondere mindestens 1800, insbesondere mindestens 2000 Pupillenfacetten aufweisen. Die Gesamtzahl der Pupillenfacetten beträgt insbesondere höchstens 10000, insbesondere höchstens 8000, insbesondere höchstens 6000, insbesondere höchstens 4000, insbesondere höchstens 2000. The pupil facet mirror can have a total of at least 1000, in particular at least 1200, in particular at least 1400, in particular at least 1600, in particular at least 1800, in particular at least 2000 pupil facets. In particular, the total number of pupil facets is at most 10,000, in particular at most 8000, in particular at most 6000, in particular at most 4000, in particular at most 2000.
Durch eine derart große Anzahl von Pupillenfacetten ist es möglich, eine Vielzahl unterschiedlicher Beleuchtungssettings einzustellen, das heißt die Einfallswinkelverteilung der Beleuchtungsstrahlung auf das Objektfeld je nach Bedarf flexibel zu wählen.Such a large number of pupil facets makes it possible to set a plurality of different illumination settings, that is to say to choose the incident angle distribution of the illumination radiation on the object field flexibly as required.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung bilden die Facetten eine Mehrzahl von unterschiedlichen Gruppen, wobei die Facetten der unterschiedlichen Gruppen unterschiedliche Krümmungsradien aufweisen. Die Facetten derselben Gruppe weisen jeweils denselben Krümmungsradius auf.According to a further aspect of the invention, the facets form a plurality of different groups, the facets of the different groups having different radii of curvature. The facets of the same group each have the same radius of curvature.
Hierdurch wird zum einen die Herstellung der Pupillenfacetten erleichtert. Außerdem wird hierdurch die Optimierung der Zuordnung der Pupillenfacetten zu einem bestimmten Krümmungsradius erleichtert.This facilitates the production of the pupil facets on the one hand. In addition, this simplifies the optimization of the assignment of the pupil facets to a certain radius of curvature.
Die Anzahl der Gruppen der Facetten mit unterschiedlichen Krümmungsradien beträgt insbesondere zwei, drei, vier, fünf oder mehr. Sie beträgt insbesondere höchstens zwanzig, insbesondere höchstens zehn. The number of groups of the facets with different radii of curvature is in particular two, three, four, five or more. In particular, it is at most twenty, in particular at most ten.
Die erfindungsgemäße Aufgabe wird außerdem durch eine Beleuchtungsoptik mit einem entsprechenden Pupillenfacettenspiegel gelöst. Die Vorteile ergeben sich aus denen des Pupillenfacettenspiegels. The object of the invention is also achieved by an illumination optics with a corresponding pupil facet mirror. The advantages result from those of the pupil facet mirror.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung sind die Krümmungsradien der zweiten Facetten derart gewählt, dass eine Teilmenge der zweiten Facetten eine Brennweite aufweist, welche geringer ist als ihr Abstand zur Korrekturebene (UNICOM-Ebene).According to a further aspect of the invention, the radii of curvature of the second facets are selected such that a subset of the second facets has a focal length which is less than their distance from the correction plane (UNICOM plane).
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist eine Teilmenge der zweiten Facetten eine Bildweite auf, welche größer ist als ihr Abstand zur UNICOM-Ebene.According to another aspect of the invention, a subset of the second facets have an image width that is greater than their distance to the UNICOM plane.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist eine Teilmenge der zweiten Facetten eine Bildweite auf, welche im Wesentlichen ihrem Abstand zur UNICOM-Ebene entspricht.According to a further aspect of the invention, a subset of the second facets has an image width that substantially corresponds to their distance from the UNICOM plane.
Mit anderen Worten sind die Krümmungsradien der Pupillenfacetten so gewählt, dass ein Teil derselben die Feldfacetten in eine Ebene vor der UNICOM-Ebene abbildet. Es ist auch möglich, dass ein Teil der Pupillenfacetten die ersten Facetten in eine Ebene hinter der UNICOM-Ebene abbildet. Eine Abbildung der Feldfacetten in die UNICOM-Ebene ist ebenso möglich. Vorzugsweise sind die Krümmungsradien der zweiten Facetten derart gewählt, dass eine erste Teilmenge der zweiten Facetten eine Bildweite aufweist, welche geringer ist als ihr Abstand zur UNICOM-Ebene und eine zweite Teilmenge der zweiten Facetten eine Bildweite aufweist, welche größer ist als ihr Abstand zur UNICOM-Ebene. Dies ermöglicht eine gegenseitige Kompensation von quellfluktuations-verursachten Feldverschiebungen in oder relativ zur UNICOM-Ebene. In other words, the radii of curvature of the pupil facets are chosen such that a part of them images the field facets in a plane in front of the UNICOM plane. It is also possible that a part of the pupil facets depicts the first facets in a plane behind the UNICOM plane. An image of the field facets in the UNICOM level is also possible. Preferably, the radii of curvature of the second facets are selected such that a first subset of the second facets has an image width that is less than their distance from the UNICOM plane and a second subset of the second facets has an image distance that is greater than their distance from the UNICOM -Level. This allows for mutual compensation of source fluctuation induced field shifts in or relative to the UNICOM plane.
Zusätzlich hierzu kann eine dritte Teilmenge der zweiten Facetten eine Bildweite aufweisen, welche in etwa ihrem Abstand zur UNICOM-Ebene entspricht.In addition, a third subset of the second facets may have an image width that approximates their distance to the UNICOM plane.
Aufgrund einer endlichen Ausdehnung des Pupillenfacettenspiegels und/oder einer verkippten Anordnung desselben relativ zur UNICOM-Ebene ist eine genaue Übereinstimmung der Bildweite mit dem Abstand zur UNICOM-Ebene nicht oder zumindest nicht für sämtliche Facetten derselben Gruppe möglich. Im Folgenden sei unter einer Übereinstimmung der Bildweite der Facetten einer Gruppe mit ihrem Abstand zur UNICOM-Ebene verstanden, dass mindestens eine Facetten in dieser Gruppe existiert, deren Bildweite um weniger als 1%, insbesondere weniger als 0,5%, insbesondere weniger als 0,3%, insbesondere weniger als 0,2%, insbesondere weniger als 0,1% von ihrem Abstand zur UNICOM-Ebene abweicht.Due to a finite extent of the pupil facet mirror and / or a tilted disposition thereof relative to the UNICOM plane, an exact match of the image distance with the distance is at the UNICOM level or at least not possible for all facets of the same group. In the following, a match of the image width of the facets of a group with their distance from the UNICOM level is understood to mean that at least one facet exists in this group whose image width is less than 1%, in particular less than 0.5%, in particular less than 0 , 3%, in particular less than 0.2%, in particular less than 0.1%, deviates from their distance from the UNICOM level.
Die Vorteile des erfindungsgemäßen Beleuchtungssystems ergeben sich ebenfalls aus denen des Pupillenfacettenspiegels. The advantages of the illumination system according to the invention also result from those of the pupil facet mirror.
Bei der Strahlungsquelle handelt es sich insbesondere um eine EUV-Strahlungsquelle, insbesondere um eine Plasmaquelle. Alternative Strahlungsquellen sind ebenso möglich. Der Einfachheit halber wird im Folgenden dennoch zum Teil von Plasmaquellen oder vom Plasma der Strahlungsquelle gesprochen. Dies sei nicht einschränkend verstanden. Die erfindungsgemäße Idee ist problemlos auf alternative Strahlungsquellen übertragbar. The radiation source is in particular an EUV radiation source, in particular a plasma source. Alternative sources of radiation are also possible. For the sake of simplicity, however, the following will speak in part of plasma sources or of the plasma of the radiation source. This is not meant to be limiting. The inventive idea can be easily transferred to alternative radiation sources.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung sind die Krümmungsradien der zweiten Facetten derart gewählt, dass sich für mindestens zwei Beleuchtungskanäle Dosisschwankungen im Objektfeld, welche durch Quellfluktuationen verursacht werden, zumindest teilweise kompensieren. According to one aspect of the invention, the radii of curvature of the second facets are selected such that for at least two illumination channels dose fluctuations in the object field, which are caused by swelling fluctuations, at least partially compensate.
Die Krümmungsradien der zweiten Facetten sind insbesondere derart gewählt, dass sich bei mindestens einem vorgegebenen Beleuchtungssetting die über sämtliche Beleuchtungskanäle gemittelten Dosisschwankungen zumindest teilweise kompensieren. Sie sind mit anderen Worten derart gewählt, dass es zu einer Reduktion, insbesondere einer Minimierung der Gesamt-Dosisschwankung im Objektfeld kommt. Die Gesamt-Dosisschwankung im Objektfeld kann insbesondere auf Werte unterhalb eines vorgegebenen zulässigen Maximalwerts von 10 %, insbesondere von 5 %, insbesondere von 3 %, insbesondere von 1 %, reduziert werden. The radii of curvature of the second facets are chosen in particular such that, with at least one predetermined illumination setting, the dose fluctuations averaged over all the illumination channels at least partially compensate each other. In other words, they are chosen such that there is a reduction, in particular a minimization of the total dose fluctuation in the object field. The total dose fluctuation in the object field can be reduced in particular to values below a predetermined permissible maximum value of 10%, in particular of 5%, in particular of 3%, in particular of 1%.
Die Krümmungsradien der zweiten Facetten sind insbesondere derart gewählt, dass die Gesamt-Dosisschwankung bei einer vorgegebenen Auswahl an Beleuchtungssettings reduziert, insbesondere minimiert wird. Es kann insbesondere sichergestellt werden, dass die Gesamt-Dosisschwankung im Objektfeld für sämtliche der vorgegebenen Beleuchtungssettings höchstens so groß ist wie ein vorgegebener Maximalwert. The radii of curvature of the second facets are selected in particular such that the total dose fluctuation is reduced, in particular minimized, given a predetermined selection of illumination settings. In particular, it can be ensured that the total dose fluctuation in the object field for all of the predetermined illumination settings is at most as large as a predefined maximum value.
Diese Angaben beziehen sich jeweils auf mechanische Schwankungen der Strahlungsquelle innerhalb eines vorgegebenen maximalen Schwankungsbereichs. Der Schwankungsbereich der Strahlungsquelle kann ausgehend von einer Nominalposition beispielsweise bis zu 1 mm, bis zu 2 mm oder bis zu 3 mm in jede Richtung betragen. These data relate in each case to mechanical fluctuations of the radiation source within a predetermined maximum fluctuation range. The fluctuation range of the radiation source may be from a nominal position, for example, up to 1 mm, up to 2 mm or up to 3 mm in each direction.
Der Schwankungsbereich der Strahlungsquelle kann in jede Raumrichtung dieselbe Erstreckung aufweisen. Er kann auch anisotrop sein, das heißt in unterschiedliche Raumrichtungen unterschiedliche Erstreckungen aufweisen. The fluctuation range of the radiation source can have the same extent in each spatial direction. It can also be anisotropic, that is, have different extents in different spatial directions.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Auslegung eines Pupillenfacettenspiegels, insbesondere ein Verfahren zur Bestimmung der Krümmungsradien von Facetten eines Pupillenfacettenspiegels anzugeben. Another object of the invention is to specify a method for designing a pupil facet mirror, in particular a method for determining the radii of curvature of facets of a pupil facet mirror.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit folgenden Schritten gelöst:
- – Vorgabe eines Beleuchtungssystems gemäß der vorhergehenden Beschreibung,
- – Vorgabe einer Anzahl unterschiedlicher Beleuchtungssettings mit Beleuchtungskanälen,
- – Vorgabe einer diskreten Anzahl unterschiedlicher Krümmungsradien der zweiten Facetten,
- – Bestimmen eines Zusammenhangs einer Verlagerung von Bildern der ersten Facetten im Bereich einer Korrekturebene mit Schwankungen der Strahlungsquelle in Abhängigkeit der Krümmungsradien der zweiten Facetten,
- – Bestimmen einer über alle Beleuchtungskanäle gemittelten Feldverschiebung im Bereich der und/oder relativ zur Korrekturebene für die unterschiedlichen Beleuchtungssettings,
- – Minimierung einer Meritfunktion, welche gewichtete Anteile der Feldverschiebungen aufgrund von Schwankungen der Strahlungsquelle in unterschiedlichen Raumrichtungen umfasst, in Abhängigkeit von einer Zuordnung der zweiten Facetten zu unterschiedlichen Krümmungsradien.
- Specification of a lighting system according to the preceding description,
- Specification of a number of different illumination settings with illumination channels,
- Specification of a discrete number of different radii of curvature of the second facets,
- Determining a relationship of a displacement of images of the first facets in the region of a correction plane with fluctuations of the radiation source as a function of the radii of curvature of the second facets,
- Determining a field shift averaged over all illumination channels in the region of and / or relative to the correction plane for the different illumination settings,
- Minimizing a merit function, which comprises weighted portions of the field shifts due to variations of the radiation source in different spatial directions, depending on an assignment of the second facets to different radii of curvature.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es möglich, die Krümmungsradien der Facetten des Pupillenfacettenspiegels derart zu bestimmen, dass die Beleuchtung des Objektfeldes möglichst insensitiv im Hinblick auf Schwankungen der Strahlungsquelle ist. Hierdurch kann insbesondere die Stabilität der Beleuchtung des Objektfeldes verbessert werden. With the method according to the invention, it is possible to determine the radii of curvature of the facets of the pupil facet mirror such that the illumination of the object field is as insensitive as possible in the With regard to fluctuations of the radiation source. In this way, in particular the stability of the illumination of the object field can be improved.
Bezüglich der unterschiedlichen Krümmungsradien kann zunächst lediglich vorgegeben werden, wie viel diskrete, unterschiedliche Krümmungsradien überhaupt vorgesehen sind. Prinzipiell ist es auch möglich, konkrete Werte für die Krümmungsradien vorzugeben. Im ersten Fall werden die konkreten Werte der Krümmungsradien bei der Minimierung der Meritfunktion bestimmt. With regard to the different radii of curvature, it can first of all only be specified how many discrete, different radii of curvature are provided at all. In principle, it is also possible to specify concrete values for the radii of curvature. In the first case, the concrete values of the radii of curvature are determined by minimizing the merit function.
Im zweiten Fall wird lediglich die Zuordnung der einzelnen Facetten zu den bereits vorgegebenen Krümmungsradien ermittelt. In the second case, only the assignment of the individual facets to the already given radii of curvature is determined.
Bei der Bestimmung der über alle Beleuchtungskanäle gemittelten Feldverschiebung kann vorgesehen sein, die einzelnen Beleuchtungskanäle unterschiedlicher Beleuchtungssettings mit vorgegebenen Gewichtungsfaktoren zu gewichten. Hierdurch ist es insbesondere möglich, eine Auswahl von Beleuchtungskanälen mehr oder weniger stark zu gewichten. When determining the field shift averaged over all the illumination channels, it may be provided to weight the individual illumination channels of different illumination settings with predetermined weighting factors. This makes it possible, in particular, to weight a selection of illumination channels more or less strongly.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung umfasst die Meritfunktion jeweils Anteile der maximalen Feldverschiebungen in Abhängigkeit von den unterschiedlichen Beleuchtungssettings, wobei unterschiedliche Raumrichtungen der Feldverschiebungen jeweils mit einem Gewichtungsfaktor gewichtet werden. According to one aspect of the invention, the merit function respectively comprises portions of the maximum field displacements as a function of the different illumination settings, wherein different spatial directions of the field displacements are each weighted with a weighting factor.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass sich durch eine unterschiedliche Gewichtung der Feldverschiebungen in den unterschiedlichen Raumrichtungen die Dosisstabilität im Objektfeld weiter verbessern lässt. According to the invention, it has been recognized that the dose stability in the object field can be further improved by a different weighting of the field shifts in the different spatial directions.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist bei der Minimierung der Meritfunktion als Randbedingung vorgegeben, dass jeweils mindestens 20%, insbesondere mindestens 25%, insbesondere mindestens 30% der zweiten Facetten denselben Krümmungsradius aufweisen. Dies kann für die Herstellung des Pupillenfacettenspiegels vorteilhaft sein.According to a further aspect of the invention, when minimizing the merit function as a boundary condition, it is predetermined that in each case at least 20%, in particular at least 25%, in particular at least 30%, of the second facets have the same radius of curvature. This can be advantageous for the production of the pupil facet mirror.
Weitere Aufgaben der Erfindung bestehen darin, ein optisches System für eine Projektionsbelichtungsanlage sowie eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie zu verbessern.Other objects of the invention are to improve an optical system for a projection exposure apparatus and a projection exposure apparatus for microlithography.
Auch diese Aufgaben werden durch Bereitstellung eines Pupillenfacettenspiegels gemäß der vorhergehenden Beschreibung gelöst. Die Vorteile ergeben sich aus denen des Pupillenfacettenspiegels. These objects are also achieved by providing a pupil facet mirror as described above. The advantages result from those of the pupil facet mirror.
Weitere Aufgaben der Erfindung bestehen darin, ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements sowie ein verfahrensgemäß hergestelltes Bauelement zu verbessern. Further objects of the invention are to improve a method for producing a microstructured or nanostructured component as well as a component produced according to the method.
Die Vorteile ergeben sich aus den vorstehend bereits erläuterten. Weitere Vorteile, Details und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Es zeigen:The advantages emerge from those already explained above. Further advantages, details and features of the invention will become apparent from the description of embodiments with reference to FIGS. Show it:
Im Folgenden werden zunächst die allgemeinen Bestandteile einer Projektionsbelichtungsanlage
Eine Projektionsbelichtungsanlage
Zur Erleichterung der Beschreibung von Lagebeziehungen ist in der Zeichnung jeweils ein kartesisches globales xyz-Koordinatensystem eingezeichnet. Die x-Achse verläuft in der
Zur Erleichterung der Beschreibung von Lagebeziehungen bei einzelnen optischen Komponenten der Projektionsbelichtungsanlage
Die Feldfacetten
Nach Reflexion am Feldfacettenspiegel
Gemäß einer beispielhaften Facettenanordnung sind die Pupillenfacetten
Über den Pupillenfacettenspiegel
Die Projektionsoptik
In einer Korrekturebene
Der Feldfacettenspiegel
Bei der Projektionsbelichtung werden zunächst das Retikel
Im Folgenden werden weitere Details des Beleuchtungssystems der Projektionsbelichtungsanlage
Die Pupillenfacetten
Beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage
Die Schwankungen der Strahlungsquelle
Um den durch die Quellfluktuationen verursachten Dosisfehler zu reduzieren, insbesondere zu minimieren, ist erfindungsgemäß vorgesehen, die Krümmungsradien der Pupillenfacetten
Als Randbedingung kann vorgegeben sein, dass die Pupillenfacetten
Die Bestimmung der Krümmungsradien der Pupillenfacetten
Als resultierende Feldverschiebung in das UNICOM
(gi,Setting) dienen insbesondere die Intensitäten der jeweiligen Beleuchtungskanäle.As resulting field shift into the
(g i, Setting ) serve in particular the intensities of the respective illumination channels.
Eine Meritfunktion umfasst Anteile der Feldverschiebungen, die sich durch Quellfluktuationen in den unterschiedlichen Raumrichtungen x, y und z ergeben. Diese Anteile können mit Gewichtungsfaktoren α, β, γ gewichtet werden. Zur Bestimmung der optimalen Krümmungsradien der Pupillenfacetten
Hierbei handelt es sich um ein diskretes Optimierungsproblem.This is a discrete optimization problem.
Erfindungsgemäß kann vorgesehen sein, einen oder mehrere der Krümmungsradien RPF der Pupillenfacetten
In der
Dargestellt sind separate Bereiche, welche jeweils den Effekt einer mechanischen Verschiebung der Strahlungsquelle
Wie der
Bei einer Quellfluktuation in y-Richtung zeigt sie jedoch eine markante Abhängigkeit vom Krümmungsradius RPF der Pupillenfacetten
Wie qualitativ ersichtlich ist, kann unter der Voraussetzung, dass sämtliche Pupillenfacetten
Diese Werte konnten erheblich verbessert werden, wenn die Randbedingung, dass sämtliche der Pupillenfacetten
Als besonders vorteilhafter Kompromiss hat sich die Beschränkung auf zwei, drei, vier oder fünf unterschiedliche Krümmungsradien herausgestellt.As a particularly advantageous compromise, the restriction to two, three, four or five different radii of curvature has been found.
Hierbei kann als Randbedingung vorgegeben sein, dass jeweils eine Mindestanzahl von jeweils mindestens 100 Pupillenfacetten
Bei einer Anzahl von zwei Gruppen von Pupillenfacetten
Selbst wenn einer der beiden Krümmungsradien von einem bestehenden Design des Pupillenfacettenspiegels
Im Folgenden werden noch einmal unterschiedliche Aspekte des erfindungsgemäßen Pupillenfacettenspiegels
Die unterschiedlichen Krümmungsradien Ri der Pupillenfacetten
Der Abstand der Pupillenfacetten
Mindestens zwei der Krümmungsradien der Pupillenfacetten
In der
Jeweils mindestens 100 Pupillenfacetten
Der Pupillenfacettenspiegel
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