DE102015207275B4 - Measuring standard with signal-compensating markings - Google Patents
Measuring standard with signal-compensating markings Download PDFInfo
- Publication number
- DE102015207275B4 DE102015207275B4 DE102015207275.4A DE102015207275A DE102015207275B4 DE 102015207275 B4 DE102015207275 B4 DE 102015207275B4 DE 102015207275 A DE102015207275 A DE 102015207275A DE 102015207275 B4 DE102015207275 B4 DE 102015207275B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- measuring
- rectangle
- marking
- edge portion
- outline
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 18
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 11
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
- G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
- G01D5/24438—Special design of the sensing element or scale
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
Maßverkörperung (20) zur Verwendung in einem Positionsmesssystem (10), wobei die Maßverkörperung (20) von einem Materialband (23) gebildet wird, das aus einem ferromagnetischen Material besteht, wobei das Materialband (23) entlang einer Messrichtung (11) langgestreckt ausgebildet ist, wobei entlang der Messrichtung (11) eine Vielzahl von Markierungen (21; 21a) an dem Materialband (23) in einer Reihe angeordnet sind, wobei die Markierungen (21; 21a) jeweils von Durchbrüchen (22) oder von Ausnehmungen (22a) mit konstanter Tiefe gebildet werden, wobei die Markierungen (21; 21a) jeweils einen Markierungsumriss (50) aufweisen, wobei zumindest ein Teil der Markierungen (21) eine binäre Zufallszahlenfolge kodiert,wobei jeder Markierungsumriss (50) vollständig innerhalb eines zugeordneten, gedachten Rechtecks (60) mit einer ersten, einer zweiten, einer dritten und einer vierten Rechteckseite (61; 62; 63; 64) angeordnet ist, wobei die erste und die zweite Rechteckseite (61; 62) parallel zur Messrichtung (11) verlaufen, wobei die Markierungsumrisse (50) jeweils wenigstens einen geraden ersten Randabschnitt (51) aufweisen, welcher mit einer zugeordneten ersten Rechteckseite (61) zusammenfällt, wobei die Markierungsumrisse (50) jeweils wenigstens einen geraden zweiten Randabschnitt (52) aufweisen, der mit einer zugeordneten zweiten Rechteckseite (62) zusammenfällt, wobei die dritte und die vierte Rechteckseite (63; 64) jeweils zumindest an einem Punkt (68; 69) mit dem zugeordneten Markierungsumriss (50) zusammenfallen, wobei der Abstand der dritten Rechteckseiten (63) zweier unmittelbar benachbarter gedachter Rechtecke (60) jeweils ein ganzzahliges Vielfaches eines ersten Teilungsabstands (λ) ist,dadurch gekennzeichnet, dass der lichte Abstand (67) zweier unmittelbar benachbarter, gedachter Rechtecke (60) verschieden von einem ganzzahligen Vielfachen des ersten Teilungsabstands (λ) ist.Measuring standard (20) for use in a position measuring system (10), wherein the material measure (20) is formed by a material strip (23), which consists of a ferromagnetic material, wherein the material strip (23) along an measuring direction (11) is elongated , wherein along the measuring direction (11) a plurality of markings (21; 21a) are arranged on the strip of material (23) in a row, wherein the markings (21; 21a) each of apertures (22) or recesses (22a) with the markings (21; 21a) each have a marking outline (50), at least a part of the markings (21) encoding a binary random number sequence, each marking outline (50) being completely within an associated, imaginary rectangle (60 ) is arranged with a first, a second, a third and a fourth rectangular side (61; 62; 63; 64), wherein the first and the second side of the rectangle (61; 62) are parallel to the measuring direction (11), the marking outlines (50) each having at least one straight first edge section (51) coinciding with an associated first rectangular side (61), the marking outlines (50) each having at least one straight second edge section (52) having coincident with an associated second rectangular side (62), wherein the third and the fourth side of the rectangle (63; 64) coincide at least at one point (68; 69) with the associated marking outline (50), wherein the spacing of the third rectangle sides (63) of two immediately adjacent imaginary rectangles (60) is in each case an integer multiple of a first spacing (λ), characterized in that the clear distance (67) of two immediately adjacent, imaginary rectangles (60) is different from an integer multiple of the first pitch (λ).
Description
Die Erfindung betrifft eine Maßverkörperung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.The invention relates to a material measure according to the preamble of
Aus der
Bei der induktiven Abtastung kommen typischerweise differentiell zusammengeschaltete Spulenpaare zum Einsatz, um den Signaloffset zu minimieren. Bei der
Wenn die Empfängerspulen über eine Seitengrenze einer Markierung bewegt werden, ändert sich die Amplitude der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannung nicht sprunghaft, es findet vielmehr eine stetige Zu- bzw. Abnahme der Signalamplitude statt.When the receiver coils are moved over a side boundary of a marker, the amplitude of the alternating voltage induced in the receiver coils does not change abruptly, but rather a steady increase or decrease of the signal amplitude takes place.
Bei den bekannten Positionsmesssystemen werden die Markierungen von Durchbrüchen oder Ausnehmungen in einem Materialband gebildet. Der entsprechende Markierungsumriss ist rechteckig ausgebildet. Die Breite und der lichte Abstand der Rechtecke sind jeweils ein ganzzahliges Vielfaches eines ersten Teilungsabstands. Versuche der Anmelderin haben ergeben, dass die induzierte Wechselspannung einer einzelnen Empfängerspule, welche genau mittig über einem quer zur Messrichtung ausgerichteten Randabschnitt eines Markierungsumrisses steht, eine Amplitude aufweist, die größer als 50% der maximalen Amplitude der induzierten Wechselspannung ist. Hierdurch wird die Signalauswertung erheblich erschwert.In the known position measuring systems, the markings of openings or recesses are formed in a material band. The corresponding marking outline is rectangular. The width and the clear distance of the rectangles are each an integer multiple of a first pitch. Applicant's experiments have shown that the induced AC voltage of a single receiver coil, which is exactly centered over a transverse edge portion of a marking contour oriented transversely to the measuring direction, has an amplitude greater than 50% of the maximum amplitude of the induced AC voltage. This considerably complicates the signal evaluation.
Weitere Maßverkörperungen, die jeweils in einem Positionsmesssystem verwendet werden, sind aus der
Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, dass die Auswertung der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen zur Positionsbestimmung besonders einfach ist. Insbesondere beträgt die Amplitude der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen an einer definierten Stelle in Bezug auf das dem ersten Teilungsabstand entsprechende Teilungsraster im Wesentlichen 50% der maximalen Signalamplitude.An advantage of the invention is that the evaluation of the induced in the receiver coils AC voltages for position determination is particularly simple. In particular, the amplitude of the alternating voltages induced in the receiver coils at a defined position in relation to the division grid corresponding to the first pitch is substantially equal to 50% of the maximum signal amplitude.
Gemäß dem selbständigen Anspruch wird vorgeschlagen, dass der lichte Abstand zweier unmittelbar benachbarter, gedachter Rechtecke verschieden von einem ganzzahligen Vielfachen des ersten Teilungsabstands ist. Hierdurch findet eine Verschiebung des Signalübergangs in Bezug auf das angesprochene Teilungsraster statt. Der genannte lichte Abstand wird vorzugsweise so gewählt, dass die Amplitude der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen an einer definierten Stelle in Bezug auf das dem ersten Teilungsabstand entsprechenden Teilungsraster im Wesentlichen 50% der maximalen Signalamplitude ist. Der genannte lichte Abstand ist der Abstand der dritten und der vierten Rechteckseite der unmittelbar benachbarten, gedachten Rechtecke.According to the independent claim, it is proposed that the clear distance between two immediately adjacent, imaginary rectangles is different from an integer multiple of the first pitch. This results in a shift of the signal transition with respect to the mentioned division grid. Said clear distance is preferably selected such that the amplitude of the alternating voltages induced in the receiver coils at a defined position with respect to the division grid corresponding to the first pitch is substantially 50% of the maximum signal amplitude. Said clear distance is the distance of the third and the fourth side of the rectangle of the immediately adjacent imaginary rectangles.
Das Materialband hat vorzugsweise eine konstante Dicke, welche vorzugsweise kleiner als der erste Teilungsabstand ist. Die Dicke beträgt beispielsweise 0,3 mm, wobei der erste Teilungsabstand beispielsweise 1 mm beträgt. Die Breite des Materialbands ist vorzugsweise größer als der erste Teilungsabstand, wobei sie beispielsweise 5 mm beträgt. Das Materialband besteht vorzugsweise aus nichtrostendem Stahl. Die Markierungen können mit einem nicht ferromagnetischen Material gefüllt sein, wobei sie vorzugsweise leer bzw. mit Luft gefüllt sind. Die Senderwindungsanordnung und/oder die Empfängerspulen sind vorzugsweise als planare Windungsanordnungen ausgebildet. Die Maßverkörperung ist vorzugsweise Bestandteil einer Führungsschiene eines Linearwälzlagers, die beispielsweise gemäß der
In den abhängigen Ansprüchen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der Erfindung angegeben.In the dependent claims advantageous refinements and improvements of the invention are given.
Es kann vorgesehen sein, dass die Markierungsumrisse jeweils vollständig mit dem zugeordneten gedachten Rechteck zusammenfallen. Hierbei handelt es sich um diejenige Ausführungsform, welche den geringsten Unterschied gegenüber der bekannten Maßverkörperung aufweist, wobei dennoch der oben genannte Vorteil gegeben ist. Diese Maßverkörperung ist ebenso einfach herstellbar wie die bekannte Maßverkörperung. Dabei kommt vorzugsweise ein photochemisches Ätzverfahren zum Einsatz.It can be provided that the marking outlines in each case completely coincide with the associated imaginary rectangle. This is the embodiment which has the least difference compared to the known material measure, while still giving the above-mentioned advantage. This material measure is just as easy to produce as the known material measure. In this case, preferably a photochemical etching process is used.
Es kann vorgesehen sein, dass der dritten Rechteckseite ein einziger gerader dritter Randabschnitt des betreffenden Markierungsumrisses zugeordnet ist, wobei der vierten Rechteckseite ein einziger gerader vierter Randabschnitt des betreffenden Markierungsumrisses zugeordnet ist, wobei der dritte und der vierte Randabschnitt parallel zueinander angeordnet sind, wobei sie mit der Messrichtung einen von 90° verschiedenen Winkel einschließen. Im einfachsten Fall ist der Markierungsumriss in Form eines Parallelogramms ausgebildet. Der Markierungsumriss kann jedoch im Bereich der ersten und der zweiten Rechteckseite eine von einem Parallelogramm abweichende Form aufweisen. Durch diesen Markierungsumriss wird der Bewegungsweg der Abtastvorrichtung gegenüber der Maßverkörperung verlängert, indem der stetige Signalübergang an einer Markierungsgrenze stattfindet. Hierdurch ist sichergestellt, dass in jeder Stellung der Abtastvorrichtung jede Markierungsgrenze von zumindest einer Empfängerspule in der Weise erfasst wird, dass eine Wechselspannung induziert wird, deren Amplitude zwischen der minimalen und der maximalen Amplitude der induzierten Wechselspannungen liegt. Hierdurch vereinfacht sich die Ermittlung der von der Maßverkörperung abgelesenen Zufallszahlenfolge. Darüber hinaus wirkt sich ein Lagefehler der Abtastvorrichtung gegenüber der Maßverkörperung quer zur Messrichtung weniger stark aus, als bei der oben vorgeschlagenen Rechteckform des Markierungsumrisses.It can be provided that the third side of the rectangle is associated with a single straight third edge portion of the relevant marking outline, wherein the fourth side of the rectangle is associated with a single straight fourth edge portion of the respective marking outline, wherein the third and the fourth edge portion are arranged parallel to each other the measuring direction include an angle different from 90 °. In the simplest case, the marking outline is designed in the form of a parallelogram. However, the marking outline may have a shape deviating from a parallelogram in the region of the first and the second side of the rectangle. This marking outline lengthens the movement path of the scanning device relative to the measuring standard, in that the continuous signal transition takes place at a marking boundary. This ensures that, in each position of the scanning device, each marking boundary of at least one receiver coil is detected in such a way that an alternating voltage is induced whose amplitude lies between the minimum and the maximum amplitude of the induced alternating voltages. This simplifies the determination of the random number sequence read by the material measure. In addition, a positional error of the scanning device with respect to the measuring standard transversely to the measuring direction has less effect than in the above-proposed rectangular shape of the marking contour.
Es kann vorgesehen sein, dass der dritten Rechteckseite ein nach außen oder nach innen gebogen verlaufender dritter Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist, wobei der vierten Rechteckseite ein nach außen oder nach innen gebogen verlaufender vierter Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist. Vorzugsweise sind der dritte und der vierte Randabschnitt spiegelsymmetrisch zueinander ausgebildet. Es ist denkbar, dass der dritte und der vierte Randabschnitt in Form eines knickfreien Bogens verlaufen. Der Begriff „gebogen“ soll dabei aber auch Verläufe des dritten bzw. vierten Randabschnitts einschließen, welche einen Knick aufweisen.It can be provided that the third side of the rectangle is associated with an outwardly or inwardly bent extending third edge portion of the marking outline, wherein the fourth side of the rectangle is associated with an outwardly or inwardly bent extending fourth edge portion of the marking outline. Preferably, the third and the fourth edge portion are mirror-symmetrical to each other. It is conceivable that the third and the fourth edge section run in the form of a kink-free arch. The term "bent" is intended to include but also courses of the third and fourth edge portion, which have a kink.
Es kann vorgesehen sein, dass der dritte und der vierte Randabschnitt jeweils zwei gerade Unterabschnitte aufweisen, welche einen Winkel einschließen, der größer als 90° ist. Hierdurch wird erreicht, dass der Signalverlauf im Bereich einer Markierungsgrenze im Wesentlichen linear ist. Der dritte und/oder der vierte Randabschnitt sind vorzugsweise spiegelsymmetrisch bezüglich einer Mittellinie der Maßverkörperung ausgebildet. Vorzugsweise weisen der dritte und/oder der vierte Randabschnitt genau zwei gerade Unterabschnitte auf.It can be provided that the third and the fourth edge portion each have two straight subsections which enclose an angle which is greater than 90 °. This ensures that the signal curve in the region of a marking boundary is substantially linear. The third and / or the fourth edge portion are preferably formed mirror-symmetrically with respect to a center line of the material measure. Preferably, the third and / or the fourth edge portion have exactly two straight subsections.
Es kann vorgesehen sein, dass die beiden einander zugeordneten geraden Unterabschnitte in einer Ecke oder in einem Kreisradius aneinandergrenzen. Der Kreisradius ist vorzugsweise klein ausgeführt.It can be provided that the two associated straight subsections adjoin one another in a corner or in a circle radius. The circle radius is preferably made small.
Es kann vorgesehen sein, dass die der ersten und der zweiten Rechteckseite zugeordneten Randabschnitte des Markierungsumrisses spiegelsymmetrisch zueinander ausgebildet sind. Hierdurch können Signalfehler vermieden werden, insbesondere solche, die nicht kompensierbar sind.It may be provided that the edge portions of the marking outline assigned to the first and second rectangle sides are mirror-symmetrical to one another. As a result, signal errors can be avoided, especially those that are not compensated.
Es kann vorgesehen sein, dass der ersten Rechteckseite wenigstens ein fünfter Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung gebogen verläuft, wobei der zweiten Rechteckseite wenigstens ein sechster Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung gebogen verläuft. Es hat sich gezeigt, dass die Amplitude der in den Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen in einigen Stellungen der genannten Empfängerspulen im Bereich einer Markierungsgrenze einen Wert annehmen kann, der über dem maximalen Wert liegt, der theoretisch nur auftreten sollte, wenn die Empfängerspule vollständig über ferromagnetischem Material steht. Es kann auch vorkommen, dass die genannte Amplitude unter einen minimalen Wert fällt, der theoretisch nur auftreten sollte, wenn die Empfängerspule vollständig über Luft bzw. einem nicht ferromagnetischem Material steht. Dieser Effekt kann durch die vorgeschlagene Gestaltung des Markierungsumrisses kompensiert werden. Der Begriff „gebogen“ soll dabei aber auch Verläufe des fünften bzw. sechsten Randabschnitts einschließen, welche einen Knick aufweisen. Der fünfte bzw. der sechste Randabschnitt kann wahlweise nach innen oder nach außen gebogen sein.It can be provided that at least a fifth edge portion of the marking contour is assigned to the first side of the rectangle, which is bent relative to the measuring direction, wherein the second side of the rectangle is associated with at least a sixth edge portion of the marking contour, which is bent relative to the measuring direction. It has been found that the amplitude of the alternating voltages induced in the receiver coils in some positions of said receiver coils in the region of a marking boundary can reach a value which is above the maximum value which theoretically should only occur if the receiver coil is completely over ferromagnetic material , It may also happen that said amplitude falls below a minimum value which theoretically should only occur when the receiver coil is completely over air or a non-ferromagnetic material. This effect can be compensated by the proposed design of the marking outline. The term "bent" is intended to include but also courses of the fifth and sixth edge portion, which have a kink. The fifth and the sixth edge portion may optionally be bent inwards or outwards.
Es kann vorgesehen sein, dass der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt wenigstens einen geraden Unterabschnitt aufweist. It can be provided that the fifth and / or the sixth edge portion has at least one straight subsection.
Es kann vorgesehen sein, dass der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt wenigstens einen knickfrei gebogenen Unterabschnitt aufweist.It can be provided that the fifth and / or the sixth edge portion has at least one bent portion bend-free.
Es kann vorgesehen sein, dass die ersten Randabschnitte aller Markierungsumrisse in Messrichtung in einer Flucht angeordnet sind, wobei die zweiten Randabschnitte aller Markierungsumrisse in Messrichtung in einer Flucht angeordnet sind. Im Betrieb des Positionsmesssystems wird die Maßverkörperung vorzugsweise derart unter Zugspannung gesetzt, dass der vorgegebene erste Teilungsabstand sehr genau eingehalten wird. Durch die vorgeschlagene Ausgestaltung der Markierungsrumrisse wird vermieden, dass die Maßverkörperung einen von der exakt geraden Form abweichenden Verlauf annimmt. Hierdurch würden sich Fehler beim Ablesen der Markierungen ergeben.It can be provided that the first edge sections of all marking outlines are arranged in alignment in the measuring direction, the second edge sections of all marking outlines being arranged in alignment in the measuring direction. During operation of the position measuring system, the material measure is preferably placed under tension in such a way that the predetermined first pitch is maintained very accurately. The proposed embodiment of Markierungsrumrisse is avoided that the material measure assumes a deviating from the exact straight shape course. This would result in errors when reading the marks.
Es kann vorgesehen sein, dass der Abstand der dritten und der vierten Rechteckseite zwischen 20% und 50% des ersten Teilungsabstands größer als das nächstkommende ganzzahlige Vielfache des ersten Teilungsabstands ist. Mit dieser Gestaltung eines Markierungsumrisses ergibt sich der oben als bevorzugt erläuterte Signalverlauf im Bereich einer Markierungsgrenze.It can be provided that the distance of the third and the fourth side of the rectangle between 20% and 50% of the first pitch is greater than the nearest integer multiple of the first pitch. With this design of a marking contour, the signal profile explained above as being preferred results in the region of a marking boundary.
Die erfindungsgemäße Maßverkörperung wird vorzugsweise in einem Positionsmesssystem verwendet, wobei eine Abtastvorrichtung vorgesehen ist, die wenigstens fünf Empfängerspulen aufweist, die in Messrichtung in einer Reihe angeordnet sind, wobei die Abtastvorrichtung eine Senderwindungsanordnung aufweist, die unbeweglich relativ zu den Empfängerspulen ist, wobei die Abtastvorrichtung in Messrichtung entlang der Maßverkörperung bewegbar ist, wobei die Empfängerspulen, die Senderwindungsanordnung und die Maßverkörperung so angeordnet sind, dass die Stellung der Maßverkörperung gegenüber der Abtastvorrichtung die induktive Kopplung zwischen der Senderwindungsanordnung und den Empfängerspulen beeinflusst. Der Abstand aller Paare von benachbarten Empfängerspulen in Messrichtung ist vorzugsweise gleich einem konstanten zweiten Teilungsabstand. Der zweite Teilungsabstand ist vorzugsweise gleich oder kleiner dem ersten Teilungsabstand, wobei er beispielsweise 0,8 mm beträgt.The measuring standard according to the invention is preferably used in a position measuring system, wherein a scanning device is provided, which has at least five receiver coils arranged in a row in the measuring direction, wherein the scanning device has a transmitter winding arrangement, which is immovable relative to the receiver coils, wherein the scanning device in Measuring direction along the measuring scale is movable, wherein the receiver coils, the transmitter coil assembly and the material measure are arranged so that the position of the material measure relative to the sensing device influences the inductive coupling between the transmitter coil assembly and the receiver coils. The distance of all pairs of adjacent receiver coils in the measuring direction is preferably equal to a constant second pitch. The second pitch is preferably equal to or less than the first pitch, for example, 0.8 mm.
Es kann vorgesehen sein, dass die Senderwindungsanordnung mehrere gesonderte Senderflächen umgrenzt, welche in Messrichtung in einer Reihe angeordnet sind, wobei in einer Senderfläche höchstens eine zugeordnete Empfängerspule angeordnet ist. Bei einem derartigen Positionsmesssystem tritt das der Erfindung zugrunde liegende Problem besonders stark auf, so dass die erfindungsgemäße Kompensation besonders vorteilhaft ist. Die Empfängerspulen sind vorzugsweise vollständig innerhalb der jeweils zugeordneten Senderfläche angeordnet.It can be provided that the transmitter winding arrangement delimits a plurality of separate transmitter surfaces, which are arranged in the measuring direction in a row, wherein in a transmitter surface at most one associated receiver coil is arranged. In such a position measuring system, the problem underlying the invention occurs particularly strongly, so that the compensation according to the invention is particularly advantageous. The receiver coils are preferably arranged completely within the respective associated transmitter surface.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachfolgend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It is understood that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the particular combination indicated, but also in other combinations or in isolation, without departing from the scope of the present invention.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
-
1 eine grobschematische Darstellung eines Positionsmesssystems gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung; -
2 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung nach1 ; -
3 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung; -
4 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung; -
5 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung; -
6 einen grobschematischen Querschnitt des Positionsmesssystems nach1 , wobei die Markierungen als Durchbrüche ausgebildet sind; und -
7 eine der6 entsprechende Darstellung, wobei die Markierungen als Ausnehmungen ausgebildet sind.
-
1 a rough schematic representation of a position measuring system according to a first embodiment of the invention; -
2 a rough schematic representation of a part of a material measure according to the first embodiment of the invention according to1 ; -
3 a rough schematic representation of a portion of a material measure according to a second embodiment of the invention; -
4 a rough schematic representation of a part of a material measure according to a third embodiment of the invention; -
5 a rough schematic representation of a part of a material measure according to a fourth embodiment of the invention; -
6 a rough schematic cross section of the position measuring system according to1 , wherein the markings are formed as openings; and -
7 one of the6 corresponding representation, wherein the markings are formed as recesses.
Die Abtastvorrichtung
Die Senderwindungsanordnung
Die Senderwindungsanordnung
In den Senderflächen
Die erste und die zweite Ausgangsanschlussstelle
Die erste und die zweite Eingangsanschlussstelle
In
Mit dem vierten Schaltmittel
Die ersten bis vierten Schaltmittel
Bei der ersten Ausführungsform ist der Markierungsumriss
Der Abstand
Der dritten Rechteckseite
Der Punkt
Wie ein Vergleich der
Der dritten Rechteckseite
Der Verlauf des Spannungsverhältnisses
Der Markierungsumriss
In
Der Plateaueffekt
Die Überschwinger
Die Unterschwinger
Der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt
Weiter ist in
Der Sensorabstand
Im Übrigen wird auf die Ausführungen zu
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- λλ
- erster Teilungsabstandfirst pitch
- δδ
- zweiter Teilungsabstandsecond pitch
- MM
- Messspannungmeasuring voltage
- kk
- Spannungsverhältnistension
- xx
- Position einer einzelnen Empfängerspule relativ zur Maßverkörperung Position of a single receiver coil relative to the material measure
- 1010
- PositionsmesssystemPosition measuring system
- 1111
- Messrichtungmeasuring direction
- 1212
- 50%-Wert des Spannungsverhältnisses50% value of the stress ratio
- 1313
- Wegabstand der 50%-Werte des SpannungsverhältnissesDistance between the 50% values of the stress ratio
- 14a14a
- Überschwingerovershoots
- 14b14b
- Überschwingerovershoots
- 15a15a
- Unterschwingerundershoot
- 15b15b
- Unterschwingerundershoot
- 1616
- Plateaueffektplateau effect
- 1717
- Sensorabstand sensor distance
- 2020
- MaßverkörperungMeasuring standard
- 2121
- Markierungmark
- 21a21a
- Hilfsmarkierungmarking aid
- 2222
- Durchbruchbreakthrough
- 22a22a
- Ausnehmungrecess
- 22b22b
- Tiefe der AusnehmungDepth of the recess
- 2323
- MaterialbandBracelet material
- 2424
- Seitenstegside web
- 2525
- Mittelliniecenter line
- 2626
- Dicke des MaßbandsThickness of the tape measure
- 2727
- Breite des MaßbandsWidth of the tape measure
- 3030
- Abtastvorrichtungscanning
- 3131
- WechselstromquelleAC power source
- 3232
- Analog-Digital-WandlerAnalog to digital converter
- 3333
- programmierbarer Digitalrechnerprogrammable digital computer
- 3434
- Auswertebaugruppe evaluation module
- 4040
- Empfängerspulereceiver coil
- 4141
- SenderwindungsanordnungSend Erwin extension arrangement
- 4242
- Senderflächestation area
- 4343
- schlangenlinienartige Leiterbahnserpentine trace
- 4444
- erste Gruppefirst group
- 4545
- zweite Gruppesecond group
- 4646
- Grenze zwischen den zwei Gruppen von schlangenlinienartigen LeiterbahnenBorder between the two groups of serpentine traces
- 4747
- Isolierschicht insulating
- 5050
- Markierungsumrissmark outline
- 5151
- erster Randabschnittfirst edge section
- 5252
- zweiter Randabschnittsecond edge section
- 5353
- dritter Randabschnittthird edge section
- 53a53a
- dritter Randabschnittthird edge section
- 5454
- vierter Randabschnittfourth edge section
- 54a54a
- vierter Randabschnittfourth edge section
- 5555
- fünfter Randabschnittfifth edge section
- 5656
- sechster Randabschnittsixth edge section
- 5757
- gerader Unterabschnittstraight subsection
- 57a57a
- gerader Unterabschnittstraight subsection
- 57b57b
- knickfrei gebogener Unterabschnittkink-free bent subsection
- 5858
- Eckecorner
- 6060
- gedachtes Rechteckimaginary rectangle
- 6161
- erste Rechteckseitefirst rectangle side
- 6262
- zweite Rechteckseitesecond rectangle side
- 6363
- dritte Rechteckseitethird rectangle side
- 6464
- vierte Rechteckseitefourth rectangle side
- 6565
- Abstand zwischen erster und zweiter RechteckseiteDistance between first and second rectangle side
- 6666
- Abstand zwischen dritter und vierter RechteckseiteDistance between third and fourth rectangle side
- 6767
- lichter Abstand zwischen zwei benachbarten Rechteckenclear distance between two adjacent rectangles
- 6868
- Punkt an dem die dritte Rechteckseite mit dem Markierungsumriss zusammenfälltPoint at which the third rectangle side coincides with the marking outline
- 6969
- Punkt an dem die vierte Rechteckseite mit dem Markierungsumriss zusammenfällt Point at which the fourth rectangle side coincides with the marking outline
- 7070
- Schaltvorrichtungswitching device
- 7171
- erstes Schaltmittelfirst switching means
- 7272
- zweites Schaltmittelsecond switching means
- 7373
- drittes Schaltmittelthird switching means
- 7474
- viertes Schaltmittelfourth switching means
- 7575
- erste Signalleitungfirst signal line
- 7676
- zweite Signalleitungsecond signal line
- 7777
- dritte Signalleitung third signal line
- 8080
- Operationsverstärkeroperational amplifiers
- 8181
- erste Eingangsanschlussstelle des Operationsverstärkersfirst input terminal of the operational amplifier
- 8282
- zweite Eingangsanschlussstelle des Operationsverstärkerssecond input terminal of the operational amplifier
- 8383
- erste Ausgangsanschlussstelle des Operationsverstärkersfirst output terminal of the operational amplifier
- 8484
- zweite Ausgangsanschlussstelle des Operationsverstärkerssecond output terminal of the operational amplifier
- 8585
- erster Rückkopplungswiderstandfirst feedback resistor
- 8686
- zweiter Rückkopplungswiderstandsecond feedback resistor
Claims (12)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015207275.4A DE102015207275B4 (en) | 2015-04-22 | 2015-04-22 | Measuring standard with signal-compensating markings |
CH00168/16A CH711009B1 (en) | 2015-04-22 | 2016-02-08 | Measuring standard with signal-compensating markings. |
CN201610249680.XA CN106066137B (en) | 2015-04-22 | 2016-04-21 | The dimensional standard device of label with signal compensation |
JP2016086334A JP6793465B2 (en) | 2015-04-22 | 2016-04-22 | Standard with signal compensation mark |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015207275.4A DE102015207275B4 (en) | 2015-04-22 | 2015-04-22 | Measuring standard with signal-compensating markings |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102015207275A1 DE102015207275A1 (en) | 2016-10-27 |
DE102015207275B4 true DE102015207275B4 (en) | 2018-06-07 |
Family
ID=57110607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102015207275.4A Active DE102015207275B4 (en) | 2015-04-22 | 2015-04-22 | Measuring standard with signal-compensating markings |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6793465B2 (en) |
CN (1) | CN106066137B (en) |
CH (1) | CH711009B1 (en) |
DE (1) | DE102015207275B4 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015203403A1 (en) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring system with calibration means |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6011389A (en) | 1995-05-16 | 2000-01-04 | Mitutoyo Corporation | Induced current position transducer having a low power electronic circuit |
EP1164358A1 (en) | 2000-06-16 | 2001-12-19 | AMO Automatisierung Messtechnik Optik GmbH | Inductive length measuring system |
EP1052480B1 (en) | 1999-05-14 | 2004-03-03 | Rexroth Star GmbH | Device for determining the relative position of two bodies |
DE102007042796A1 (en) | 2007-09-07 | 2009-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Guide rail with absolute measuring standard |
DE102008018355A1 (en) | 2008-04-11 | 2009-10-15 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring device has material measure and sensing head moving against material measure, where material measure has multiple pseudorandom divalent markings with constant measuring partition |
DE102011106940A1 (en) | 2010-08-04 | 2012-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring unit for measuring position of measuring scale i.e. broad strip, and sampling unit, has pairs of receiver coils switched in series manner, where distance between pairs of coils is integral multiple of pitch distance |
EP2502030B1 (en) | 2009-11-18 | 2013-03-13 | Victor Vasiloiu | Inductive measuring device for detecting lengths and angles |
DE102013220749A1 (en) | 2012-10-26 | 2014-05-15 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring system |
DE102015213784A1 (en) | 2014-08-13 | 2016-02-18 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring system with receiver coils, which are differentially interconnected via switching means |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10132521A1 (en) * | 2001-07-09 | 2003-01-30 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Position measuring device |
CN1795536A (en) * | 2003-05-28 | 2006-06-28 | 株式会社尼康 | Position information measuring method and device, and exposure method and system |
DE10353808B4 (en) * | 2003-11-14 | 2015-09-03 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Measuring graduation for a position measuring device and position measuring device |
TWI393170B (en) * | 2004-11-18 | 2013-04-11 | 尼康股份有限公司 | A position measuring method, a position control method, a measuring method, a loading method, an exposure method, an exposure apparatus, and a device manufacturing method |
US7553611B2 (en) * | 2005-03-31 | 2009-06-30 | Sandisk 3D Llc | Masking of repeated overlay and alignment marks to allow reuse of photomasks in a vertical structure |
JP4775705B2 (en) * | 2006-01-27 | 2011-09-21 | 日立金属株式会社 | Magnetic absolute encoder |
DE102007024593A1 (en) * | 2007-05-25 | 2008-11-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Scale for a position measuring device and position measuring device |
ATE497148T1 (en) * | 2007-08-31 | 2011-02-15 | Pepperl & Fuchs | INDUCTIVE TRANSDUCER, ENCODING DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING A POSITION OF A FIRST OBJECT RELATIVE TO A SECOND OBJECT |
DE102007056612A1 (en) * | 2007-11-23 | 2009-05-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optical position measuring device |
CN102301205B (en) * | 2009-01-27 | 2014-07-09 | 瑞尼斯豪公司 | Magnetic encoder apparatus |
DE102011076055A1 (en) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optical position measuring device |
DE102012201393A1 (en) * | 2012-02-01 | 2013-08-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position measuring device and arrangement with several position measuring devices |
-
2015
- 2015-04-22 DE DE102015207275.4A patent/DE102015207275B4/en active Active
-
2016
- 2016-02-08 CH CH00168/16A patent/CH711009B1/en unknown
- 2016-04-21 CN CN201610249680.XA patent/CN106066137B/en active Active
- 2016-04-22 JP JP2016086334A patent/JP6793465B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6011389A (en) | 1995-05-16 | 2000-01-04 | Mitutoyo Corporation | Induced current position transducer having a low power electronic circuit |
EP1052480B1 (en) | 1999-05-14 | 2004-03-03 | Rexroth Star GmbH | Device for determining the relative position of two bodies |
EP1164358A1 (en) | 2000-06-16 | 2001-12-19 | AMO Automatisierung Messtechnik Optik GmbH | Inductive length measuring system |
DE102007042796A1 (en) | 2007-09-07 | 2009-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Guide rail with absolute measuring standard |
DE102008018355A1 (en) | 2008-04-11 | 2009-10-15 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring device has material measure and sensing head moving against material measure, where material measure has multiple pseudorandom divalent markings with constant measuring partition |
EP2502030B1 (en) | 2009-11-18 | 2013-03-13 | Victor Vasiloiu | Inductive measuring device for detecting lengths and angles |
DE102011106940A1 (en) | 2010-08-04 | 2012-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring unit for measuring position of measuring scale i.e. broad strip, and sampling unit, has pairs of receiver coils switched in series manner, where distance between pairs of coils is integral multiple of pitch distance |
DE102013220749A1 (en) | 2012-10-26 | 2014-05-15 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring system |
DE102015213784A1 (en) | 2014-08-13 | 2016-02-18 | Robert Bosch Gmbh | Position measuring system with receiver coils, which are differentially interconnected via switching means |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
TEXAS INSTRUMENTS: TS5A623157 – Dual 10-Ω SPDT analog switch with undershoot/overshoot voltage protection. September 2007. URL: http://www.ti.com/lit/ds/symlink/ts5a623157.pdf [abgerufen am 27.10.2016] * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016206198A (en) | 2016-12-08 |
CN106066137A (en) | 2016-11-02 |
JP6793465B2 (en) | 2020-12-02 |
CH711009A2 (en) | 2016-10-31 |
DE102015207275A1 (en) | 2016-10-27 |
CN106066137B (en) | 2019-11-05 |
CH711009B1 (en) | 2020-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69122297T2 (en) | Inductive proximity sensor and position transmitter with a passive scale | |
EP0093232B1 (en) | Magnetic length or angle measurement apparatus | |
AT509101B1 (en) | INDUCTIVE MEASURING DEVICE FOR LENGTH AND ANGLE DETECTION | |
DE102013226201A1 (en) | Linear guide with combined load and position measurement | |
EP3306273B1 (en) | Capacitive linear encoder | |
EP0628789A1 (en) | Position sensor | |
DE2232194B2 (en) | Device for determining the position of a point lying on a surface | |
DE102015001040A1 (en) | Position measuring device of the induction type | |
DE102008018355B4 (en) | Absolute position measuring device with interpolator | |
DE2453540C2 (en) | Magnetoresistive component | |
EP2359097B1 (en) | Sensor arrangement and method for determining the position and/or change in position of a measurement object | |
DE102009042940A1 (en) | Position measuring device with repeatedly crossing transmitter winding arrangement | |
DE102013226203A1 (en) | Offset compensated position measuring device | |
EP1151248B1 (en) | Displacement and/or angle sensor comprising a meandering measuring winding | |
AT510240B1 (en) | POSITION MEASURING DEVICE WITH RIM COMPENSATION | |
DE102015207275B4 (en) | Measuring standard with signal-compensating markings | |
DE102015213784B4 (en) | Position measuring system with receiver coils that can be differentially interconnected via switching means | |
WO2017153074A1 (en) | Tilt-tolerant displacement sensor | |
EP3070436B1 (en) | Position measuring system with calibration means | |
DE102008064544B4 (en) | Position / distance measuring system and method for determining the position of an encoder | |
DE19729312A1 (en) | Magnetic length measuring system for absolute position measurement | |
DE102013226200A1 (en) | Absolute position measuring device | |
DE3447313A1 (en) | MAGNETIC SENSOR | |
DE1498118C (en) | Inductive transmitter | |
DE102021117890A1 (en) | Inductive linear position sensor and vehicle with an inductive linear position sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R163 | Identified publications notified | ||
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |