DE102015207275A1 - Measuring standard with signal-compensating markings - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Maßverkörperung (20), welche von einem Materialband (23) gebildet wird, das aus einem ferromagnetischen Material besteht, wobei das Materialband (23) entlang einer Messrichtung (11) langgestreckt ausgebildet ist, wobei entlang der Messrichtung (11) eine Vielzahl von Markierungen (21) an dem Materialband in einer Reihe angeordnet sind, wobei die Markierungen (21) jeweils von Durchbrüchen oder von Ausnehmungen mit konstanter Tiefe gebildet werden, wobei die Markierungen (21) jeweils einen Markierungsumriss (50) aufweisen, wobei die Markierungen (21) eine binäre Zufallszahlenfolge kodieren, wobei jeder Markierungsumriss (50) vollständig innerhalb eines zugeordneten, gedachten Rechtecks (60) mit einer ersten, einer zweiten, einer dritten und einer vierten Rechteckseite (61; 62; 63; 64) angeordnet ist, wobei der Abstand der dritten Rechteckseiten (63) zweier unmittelbar benachbarter gedachten Rechtecke (60) jeweils ein ganzzahliges Vielfaches eines ersten Teilungsabstands ist. Erfindungsgemäß ist der lichte Abstand zweier unmittelbar benachbarter gedachter Rechtecke (60) verschieden von einem ganzzahligen Vielfachen des ersten Teilungsabstands.The invention relates to a material measure (20), which is formed by a material strip (23), which consists of a ferromagnetic material, wherein the material strip (23) is elongated along a measuring direction (11), wherein along the measuring direction (11) A plurality of markings (21) are arranged on the strip of material in a row, wherein the markings (21) are respectively formed by apertures or recesses of constant depth, wherein the markings (21) each have a marking outline (50), wherein the markings (21) encode a binary random number sequence, each marker outline (50) being located entirely within an associated imaginary rectangle (60) having first, second, third and fourth rectangle sides (61; 62; 63; 64) the distance between the third rectangular sides (63) of two immediately adjacent imaginary rectangles (60) is an integer multiple of a first Te ilungsabstands is. According to the invention, the clear distance between two immediately adjacent imaginary rectangles (60) is different from an integer multiple of the first pitch.

Description

Die Erfindung betrifft eine Maßverkörperung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1. The invention relates to a material measure according to the preamble of claim 1.

Aus der EP 2 502 030 B1 ist eine Maßverkörperung bekannt, welche zur Verwendung in einem Positionsmesssystem vorgesehen ist. Das Positionsmesssystem ist ein absolutes Positionsmesssystem, wobei die Markierungen der Maßverkörperung eine binäre Zufallszahlenfolge kodieren. Die Maßverkörperung wird von einer Abtastvorrichtung induktiv abgelesen. Dafür kommen zwei Typen von Maßverkörperungen in Betracht, nämlich solche, die aus einem Material mit hoher elektrischer Leitfähigkeit, beispielsweise Kupfer, bestehen (Wirbelstromprinzip) und solche, die aus einem ferromagnetischen Material bestehen. Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit dem zuletzt genannten Typ. From the EP 2 502 030 B1 is a material measure known, which is intended for use in a position measuring system. The position measuring system is an absolute position measuring system, wherein the marks of the material measure code a binary random number sequence. The material measure is read inductively by a scanning device. For this purpose, two types of Maßverkörperungen come into consideration, namely those that consist of a material with high electrical conductivity, such as copper (eddy current principle) and those that consist of a ferromagnetic material. The present invention is concerned with the latter type.

Bei der induktiven Abtastung kommen typischerweise differentiell zusammengeschaltete Spulenpaare zum Einsatz, um den Signaloffset zu minimieren. Bei der EP 2 502 030 B1 sind diese quer zur Messrichtung nebeneinander angeordnet, wobei zwei komplementäre Reihen von Markierungen verwendet werden. Die Einzelspulen eines Spulenpaares sind dabei fest miteinander verdrahtet. Die Anmelderin hat in der noch nicht offengelegten deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 10 2014 216 036.7 ein Positionsmesssystem vorgeschlagen, das ausschließlich Einzelspulen umfasst, die in Messrichtung in einer Reihe angeordnet sind. Diese werden während des Betriebs dynamisch in unterschiedlicher Weise zusammengeschaltet, so dass die Einzelspulen eines differentiellen Spulenpaars in Messrichtung nebeneinander angeordnet sind. Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit einem Problem, das in erster Linie bei dem zuletzt genannten Typ auftritt. In inductive scanning typically differentially interconnected coil pairs are used to minimize the signal offset. In the EP 2 502 030 B1 these are arranged side by side transversely to the measuring direction, with two complementary rows of markings being used. The individual coils of a coil pair are firmly wired together. The applicant has in the not yet disclosed German patent application with the file number 10 2014 216 036.7 proposed a position measuring system comprising only individual coils, which are arranged in the measuring direction in a row. These are dynamically interconnected during operation in different ways, so that the individual coils of a differential coil pair are arranged side by side in the measuring direction. The present invention addresses a problem that occurs primarily in the latter type.

Wenn die Empfängerspulen über eine Seitengrenze einer Markierung bewegt werden, ändert sich die Amplitude der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannung nicht sprunghaft, es findet vielmehr eine stetige Zu- bzw. Abnahme der Signalamplitude statt. When the receiver coils are moved over a side boundary of a marker, the amplitude of the alternating voltage induced in the receiver coils does not change abruptly, but rather a steady increase or decrease of the signal amplitude takes place.

Bei den bekannten Positionsmesssystemen werden die Markierungen von Durchbrüchen oder Ausnehmungen in einem Materialband gebildet. Der entsprechende Markierungsumriss ist rechteckig ausgebildet. Die Breite und der lichte Abstand der Rechtecke sind jeweils ein ganzzahliges Vielfaches eines ersten Teilungsabstands. Versuche der Anmelderin haben ergeben, dass die induzierte Wechselspannung einer einzelnen Empfängerspule, welche genau mittig über einem quer zur Messrichtung ausgerichteten Randabschnitt eines Markierungsumrisses steht, eine Amplitude aufweist, die größer als 50% der maximalen Amplitude der induzierten Wechselspannung ist. Hierdurch wird die Signalauswertung erheblich erschwert. In the known position measuring systems, the markings of openings or recesses are formed in a material band. The corresponding marking outline is rectangular. The width and the clear distance of the rectangles are each an integer multiple of a first pitch. Applicant's experiments have shown that the induced AC voltage of a single receiver coil, which is exactly centered over a transverse edge portion of a marking contour oriented transversely to the measuring direction, has an amplitude greater than 50% of the maximum amplitude of the induced AC voltage. This considerably complicates the signal evaluation.

Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, dass die Auswertung der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen zur Positionsbestimmung besonders einfach ist. Insbesondere beträgt die Amplitude der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen an einer definierten Stelle in Bezug auf das dem ersten Teilungsabstand entsprechende Teilungsraster im Wesentlichen 50% der maximalen Signalamplitude. An advantage of the invention is that the evaluation of the induced in the receiver coils AC voltages for position determination is particularly simple. In particular, the amplitude of the alternating voltages induced in the receiver coils at a defined position in relation to the division grid corresponding to the first pitch is substantially equal to 50% of the maximum signal amplitude.

Gemäß dem selbständigen Anspruch wird vorgeschlagen, dass der lichte Abstand zweier unmittelbar benachbarter, gedachter Rechtecke verschieden von einem ganzzahligen Vielfachen des ersten Teilungsabstands ist. Hierdurch findet eine Verschiebung des Signalübergangs in Bezug auf das angesprochene Teilungsraster statt. Der genannte lichte Abstand wird vorzugsweise so gewählt, dass die Amplitude der in die Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen an einer definierten Stelle in Bezug auf das dem ersten Teilungsabstand entsprechenden Teilungsraster im Wesentlichen 50% der maximalen Signalamplitude ist. Der genannte lichte Abstand ist der Abstand der dritten und der vierten Rechteckseite der unmittelbar benachbarten, gedachten Rechtecke. According to the independent claim, it is proposed that the clear distance between two immediately adjacent, imaginary rectangles is different from an integer multiple of the first pitch. This results in a shift of the signal transition with respect to the mentioned division grid. Said clear distance is preferably selected such that the amplitude of the alternating voltages induced in the receiver coils at a defined position with respect to the division grid corresponding to the first pitch is substantially 50% of the maximum signal amplitude. Said clear distance is the distance of the third and the fourth side of the rectangle of the immediately adjacent imaginary rectangles.

Das Materialband hat vorzugsweise eine konstante Dicke, welche vorzugsweise kleiner als der erste Teilungsabstand ist. Die Dicke beträgt beispielsweise 0,3 mm, wobei der erste Teilungsabstand beispielsweise 1 mm beträgt. Die Breite des Materialbands ist vorzugsweise größer als der erste Teilungsabstand, wobei sie beispielsweise 5 mm beträgt. Das Materialband besteht vorzugsweise aus nichtrostendem Stahl. Die Markierungen können mit einem nicht ferromagnetischen Material gefüllt sein, wobei sie vorzugsweise leer bzw. mit Luft gefüllt sind. Die Senderwindungsanordnung und/oder die Empfängerspulen sind vorzugsweise als planare Windungsanordnungen ausgebildet. Die Maßverkörperung ist vorzugsweise Bestandteil einer Führungsschiene eines Linearwälzlagers, die beispielsweise gemäß der EP 1 052 480 B1 ausgebildet ist. Wenn der ersten bzw. der zweiten Rechteckseite mehrere gerade Abschnitte des Markierungsumrisses zugeordnet sind, die parallel zur Messrichtung verlaufen, wobei sie quer dazu versetzt angeordnet sind, so fallen die genannten Rechteckseiten vorzugsweise mit denjenigen geraden Abschnitten zusammen, die in Summe die größte Länge aufweisen. The material band preferably has a constant thickness, which is preferably smaller than the first pitch. The thickness is, for example, 0.3 mm, the first pitch being, for example, 1 mm. The width of the material strip is preferably greater than the first pitch, wherein it is for example 5 mm. The material band is preferably made of stainless steel. The markings may be filled with a non-ferromagnetic material, preferably being empty or filled with air. The transmitter winding arrangement and / or the receiver coils are preferably designed as planar winding arrangements. The material measure is preferably part of a guide rail of a linear roller bearing, for example, according to the EP 1 052 480 B1 is trained. If the first and the second side of the rectangle are associated with a plurality of straight portions of the marking contour, which are parallel to the measuring direction, wherein they are arranged offset transversely thereto, said rectangular sides preferably coincide with those straight portions having the greatest length in total.

In den abhängigen Ansprüchen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der Erfindung angegeben. In the dependent claims advantageous refinements and improvements of the invention are given.

Es kann vorgesehen sein, dass die Markierungsumrisse jeweils vollständig mit dem zugeordneten gedachten Rechteck zusammenfallen. Hierbei handelt es sich um diejenige Ausführungsform, welche den geringsten Unterschied gegenüber der bekannten Maßverkörperung aufweist, wobei dennoch der oben genannte Vorteil gegeben ist. Diese Maßverkörperung ist ebenso einfach herstellbar wie die bekannte Maßverkörperung. Dabei kommt vorzugsweise ein photochemisches Ätzverfahren zum Einsatz. It can be provided that the marking outlines in each case completely coincide with the associated imaginary rectangle. This is the embodiment which has the least difference compared to the known material measure, while still giving the above-mentioned advantage. This material measure is just as easy to produce as the known material measure. In this case, preferably a photochemical etching process is used.

Es kann vorgesehen sein, dass der dritten Rechteckseite ein einziger gerader dritter Randabschnitt des betreffenden Markierungsumrisses zugeordnet ist, wobei der vierten Rechteckseite ein einziger gerader vierter Randabschnitt des betreffenden Markierungsumrisses zugeordnet ist, wobei der dritte und der vierte Randabschnitt parallel zueinander angeordnet sind, wobei sie mit der Messrichtung einen von 90° verschiedenen Winkel einschließen. Im einfachsten Fall ist der Markierungsumriss in Form eines Parallelogramms ausgebildet. Der Markierungsumriss kann jedoch im Bereich der ersten und der zweiten Rechteckseite eine von einem Parallelogramm abweichende Form aufweisen. Durch diesen Markierungsumriss wird der Bewegungsweg der Abtastvorrichtung gegenüber der Maßverkörperung verlängert, indem der stetige Signalübergang an einer Markierungsgrenze stattfindet. Hierdurch ist sichergestellt, dass in jeder Stellung der Abtastvorrichtung jede Markierungsgrenze von zumindest einer Empfängerspule in der Weise erfasst wird, dass eine Wechselspannung induziert wird, deren Amplitude zwischen der minimalen und der maximalen Amplitude der induzierten Wechselspannungen liegt. Hierdurch vereinfacht sich die Ermittlung der von der Maßverkörperung abgelesenen Zufallszahlenfolge. Darüber hinaus wirkt sich ein Lagefehler der Abtastvorrichtung gegenüber der Maßverkörperung quer zur Messrichtung weniger stark aus, als bei der oben vorgeschlagenen Rechteckform des Markierungsumrisses. It can be provided that the third side of the rectangle is associated with a single straight third edge portion of the relevant marking outline, wherein the fourth side of the rectangle is associated with a single straight fourth edge portion of the respective marking outline, wherein the third and the fourth edge portion are arranged parallel to each other the measuring direction include an angle different from 90 °. In the simplest case, the marking outline is designed in the form of a parallelogram. However, the marking outline may have a shape deviating from a parallelogram in the region of the first and the second side of the rectangle. This marking outline lengthens the movement path of the scanning device relative to the measuring standard, in that the continuous signal transition takes place at a marking boundary. This ensures that, in each position of the scanning device, each marking boundary of at least one receiver coil is detected in such a way that an alternating voltage is induced whose amplitude lies between the minimum and the maximum amplitude of the induced alternating voltages. This simplifies the determination of the random number sequence read by the material measure. In addition, a positional error of the scanning device with respect to the measuring standard transversely to the measuring direction has less effect than in the above-proposed rectangular shape of the marking contour.

Es kann vorgesehen sein, dass der dritten Rechteckseite ein nach außen oder nach innen gebogen verlaufender dritter Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist, wobei der vierten Rechteckseite ein nach außen oder nach innen gebogen verlaufender vierter Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist. Vorzugsweise sind der dritte und der vierte Randabschnitt spiegelsymmetrisch zueinander ausgebildet. Es ist denkbar, dass der dritte und der vierte Randabschnitt in Form eines knickfreien Bogens verlaufen. Der Begriff "gebogen" soll dabei aber auch Verläufe des dritten bzw. vierten Randabschnitts einschließen, welche einen Knick aufweisen. It can be provided that the third side of the rectangle is associated with an outwardly or inwardly bent extending third edge portion of the marking outline, wherein the fourth side of the rectangle is associated with an outwardly or inwardly bent extending fourth edge portion of the marking outline. Preferably, the third and the fourth edge portion are mirror-symmetrical to each other. It is conceivable that the third and the fourth edge section run in the form of a kink-free arch. The term "bent" is intended to include but also courses of the third and fourth edge portion, which have a kink.

Es kann vorgesehen sein, dass der dritte und der vierte Randabschnitt jeweils zwei gerade Unterabschnitte aufweisen, welche einen Winkel einschließen, der größer als 90° ist. Hierdurch wird erreicht, dass der Signalverlauf im Bereich einer Markierungsgrenze im Wesentlichen linear ist. Der dritte und/oder der vierte Randabschnitt sind vorzugsweise spiegelsymmetrisch bezüglich einer Mittellinie der Maßverkörperung ausgebildet. Vorzugsweise weisen der dritte und/oder der vierte Randabschnitt genau zwei gerade Unterabschnitte auf. It can be provided that the third and the fourth edge portion each have two straight subsections which enclose an angle which is greater than 90 °. This ensures that the signal curve in the region of a marking boundary is substantially linear. The third and / or the fourth edge portion are preferably formed mirror-symmetrically with respect to a center line of the material measure. Preferably, the third and / or the fourth edge portion have exactly two straight subsections.

Es kann vorgesehen sein, dass die beiden einander zugeordneten geraden Unterabschnitte in einer Ecke oder in einem Kreisradius aneinandergrenzen. Der Kreisradius ist vorzugsweise klein ausgeführt. It can be provided that the two associated straight subsections adjoin one another in a corner or in a circle radius. The circle radius is preferably made small.

Es kann vorgesehen sein, dass die der ersten und der zweiten Rechteckseite zugeordneten Randabschnitte des Markierungsumrisses spiegelsymmetrisch zueinander ausgebildet sind. Hierdurch können Signalfehler vermieden werden, insbesondere solche, die nicht kompensierbar sind. It may be provided that the edge portions of the marking outline assigned to the first and second rectangle sides are mirror-symmetrical to one another. As a result, signal errors can be avoided, especially those that are not compensated.

Es kann vorgesehen sein, dass der ersten Rechteckseite wenigstens ein fünfter Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung gebogen verläuft, wobei der zweiten Rechteckseite wenigstens ein sechster Randabschnitt des Markierungsumrisses zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung gebogen verläuft. Es hat sich gezeigt, dass die Amplitude der in den Empfängerspulen induzierten Wechselspannungen in einigen Stellungen der genannten Empfängerspulen im Bereich einer Markierungsgrenze einen Wert annehmen kann, der über dem maximalen Wert liegt, der theoretisch nur auftreten sollte, wenn die Empfängerspule vollständig über ferromagnetischem Material steht. Es kann auch vorkommen, dass die genannte Amplitude unter einen minimalen Wert fällt, der theoretisch nur auftreten sollte, wenn die Empfängerspule vollständig über Luft bzw. einem nicht ferromagnetischem Material steht. Dieser Effekt kann durch die vorgeschlagene Gestaltung des Markierungsumrisses kompensiert werden. Der Begriff "gebogen" soll dabei aber auch Verläufe des fünften bzw. sechsten Randabschnitts einschließen, welche einen Knick aufweisen. Der fünfte bzw. der sechste Randabschnitt kann wahlweise nach innen oder nach außen gebogen sein. It can be provided that at least a fifth edge portion of the marking contour is assigned to the first side of the rectangle, which is bent relative to the measuring direction, wherein the second side of the rectangle is associated with at least a sixth edge portion of the marking contour, which is bent relative to the measuring direction. It has been found that the amplitude of the alternating voltages induced in the receiver coils in some positions of said receiver coils in the region of a marking boundary can reach a value which is above the maximum value which theoretically should only occur if the receiver coil is completely over ferromagnetic material , It may also happen that said amplitude falls below a minimum value which theoretically should only occur when the receiver coil is completely over air or a non-ferromagnetic material. This effect can be compensated by the proposed design of the marking outline. The term "bent" is intended to include but also courses of the fifth and sixth edge portion, which have a kink. The fifth and the sixth edge portion may optionally be bent inwards or outwards.

Es kann vorgesehen sein, dass der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt wenigstens einen geraden Unterabschnitt aufweist. It can be provided that the fifth and / or the sixth edge portion has at least one straight subsection.

Es kann vorgesehen sein, dass der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt wenigstens einen knickfrei gebogenen Unterabschnitt aufweist. It can be provided that the fifth and / or the sixth edge portion has at least one bent portion bend-free.

Es kann vorgesehen sein, dass die ersten Randabschnitte aller Markierungsumrisse in Messrichtung in einer Flucht angeordnet sind, wobei die zweiten Randabschnitte aller Markierungsumrisse in Messrichtung in einer Flucht angeordnet sind. Im Betrieb des Positionsmesssystems wird die Maßverkörperung vorzugsweise derart unter Zugspannung gesetzt, dass der vorgegebene erste Teilungsabstand sehr genau eingehalten wird. Durch die vorgeschlagene Ausgestaltung der Markierungsrumrisse wird vermieden, dass die Maßverkörperung einen von der exakt geraden Form abweichenden Verlauf annimmt. Hierdurch würden sich Fehler beim Ablesen der Markierungen ergeben. It can be provided that the first edge portions of all marking outlines in Measuring direction are arranged in alignment, wherein the second edge portions of all marking outlines are arranged in the measuring direction in alignment. During operation of the position measuring system, the material measure is preferably placed under tension in such a way that the predetermined first pitch is maintained very accurately. The proposed embodiment of Markierungsrumrisse is avoided that the material measure assumes a deviating from the exact straight shape course. This would result in errors when reading the marks.

Es kann vorgesehen sein, dass der Abstand der dritten und der vierten Rechteckseite zwischen 20% und 50% des ersten Teilungsabstands größer als das nächstkommende ganzzahlige Vielfache des ersten Teilungsabstands ist. Mit dieser Gestaltung eines Markierungsumrisses ergibt sich der oben als bevorzugt erläuterte Signalverlauf im Bereich einer Markierungsgrenze. It can be provided that the distance of the third and the fourth side of the rectangle between 20% and 50% of the first pitch is greater than the nearest integer multiple of the first pitch. With this design of a marking contour, the signal profile explained above as being preferred results in the region of a marking boundary.

Die erfindungsgemäße Maßverkörperung wird vorzugsweise in einem Positionsmesssystem verwendet, wobei eine Abtastvorrichtung vorgesehen ist, die wenigstens fünf Empfängerspulen aufweist, die in Messrichtung in einer Reihe angeordnet sind, wobei die Abtastvorrichtung eine Senderwindungsanordnung aufweist, die unbeweglich relativ zu den Empfängerspulen ist, wobei die Abtastvorrichtung in Messrichtung entlang der Maßverkörperung bewegbar ist, wobei die Empfängerspulen, die Senderwindungsanordnung und die Maßverkörperung so angeordnet sind, dass die Stellung der Maßverkörperung gegenüber der Abtastvorrichtung die induktive Kopplung zwischen der Senderwindungsanordnung und den Empfängerspulen beeinflusst. Der Abstand aller Paare von benachbarten Empfängerspulen in Messrichtung ist vorzugsweise gleich einem konstanten zweiten Teilungsabstand. Der zweite Teilungsabstand ist vorzugsweise gleich oder kleiner dem ersten Teilungsabstand, wobei er beispielsweise 0,8 mm beträgt. The measuring standard according to the invention is preferably used in a position measuring system, wherein a scanning device is provided, which has at least five receiver coils arranged in a row in the measuring direction, wherein the scanning device has a transmitter winding arrangement, which is immovable relative to the receiver coils, wherein the scanning device in Measuring direction along the measuring scale is movable, wherein the receiver coils, the transmitter coil assembly and the material measure are arranged so that the position of the material measure relative to the sensing device influences the inductive coupling between the transmitter coil assembly and the receiver coils. The distance of all pairs of adjacent receiver coils in the measuring direction is preferably equal to a constant second pitch. The second pitch is preferably equal to or less than the first pitch, for example, 0.8 mm.

Es kann vorgesehen sein, dass die Senderwindungsanordnung mehrere gesonderte Senderflächen umgrenzt, welche in Messrichtung in einer Reihe angeordnet sind, wobei in einer Senderfläche höchstens eine zugeordnete Empfängerspule angeordnet ist. Bei einem derartigen Positionsmesssystem tritt das der Erfindung zugrunde liegende Problem besonders stark auf, so dass die erfindungsgemäße Kompensation besonders vorteilhaft ist. Die Empfängerspulen sind vorzugsweise vollständig innerhalb der jeweils zugeordneten Senderfläche angeordnet. It can be provided that the transmitter winding arrangement delimits a plurality of separate transmitter surfaces, which are arranged in the measuring direction in a row, wherein in a transmitter surface at most one associated receiver coil is arranged. In such a position measuring system, the problem underlying the invention occurs particularly strongly, so that the compensation according to the invention is particularly advantageous. The receiver coils are preferably arranged completely within the respective associated transmitter surface.

Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachfolgend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. It is understood that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the particular combination indicated, but also in other combinations or in isolation, without departing from the scope of the present invention.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt: The invention will be explained in more detail below with reference to the accompanying drawings. It shows:

1 eine grobschematische Darstellung eines Positionsmesssystems gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung; 1 a rough schematic representation of a position measuring system according to a first embodiment of the invention;

2 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung nach 1; 2 a rough schematic representation of a part of a material measure according to the first embodiment of the invention according to 1 ;

3 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung; 3 a rough schematic representation of a portion of a material measure according to a second embodiment of the invention;

4 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung; 4 a rough schematic representation of a part of a material measure according to a third embodiment of the invention;

5 eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung; 5 a rough schematic representation of a part of a material measure according to a fourth embodiment of the invention;

6 einen grobschematischen Querschnitt des Positionsmesssystems nach 1, wobei die Markierungen als Durchbrüche ausgebildet sind; und 6 a rough schematic cross section of the position measuring system according to 1 , wherein the markings are formed as openings; and

7 eine der 6 entsprechende Darstellung, wobei die Markierungen als Ausnehmungen ausgebildet sind. 7 one of the 6 corresponding representation, wherein the markings are formed as recesses.

1 zeigt eine grobschematische Darstellung eines Positionsmesssystems 10 gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Das Positionsmesssystem 10 umfasst eine Maßverkörperung 20 und eine Abtastvorrichtung 30. Die Maßverkörperung 20 ist als Materialband 23 ausgeführt, das aus einem ferromagnetischen Material, beispielsweise aus nichtrostendem Stahl, besteht, wobei es beispielsweise eine konstante Dicke von 0,3 mm aufweist. Die Maßverkörperung 20 erstreckt sich mit einer konstanten Breite 27 in eine Messrichtung 11. Entlang der Messrichtung 11 ist auf der Maßverkörperung 20 eine Vielzahl von Markierungen 21 in einer Reihe angeordnet, denen ein konstanter erster Teilungsabstand λ zugrunde liegt. Die Markierungen 21 können wahlweise als Durchbrüche (Nr. 22 in 6) oder als Ausnehmungen (Nr. 22a in 7) mit konstanter Tiefe ausgebildet sein. Die Markierungen 21 können zwei Zustände aufweisen, sie können vorhanden sein oder nicht. Die Markierungen 21 kodieren eine binäre Zufallszahlenfolge, wobei ein erster Teilungsabstand λ einer binären Ziffer dieses Codes entspricht. Die Form der Markierungen wird weiter unten mit Bezug auf die 2 bis 5 erläutert. Die Markierungen 21 sind so gestaltet, dass keine Querstege in dem Materialband erforderlich sind, welche mit dem ersten Teilungsabstand λ regelmäßig beabstandet auf dem Materialband 23 angeordnet sind. Quer zur Messrichtung 11 zu beiden Seiten der Markierungen 21 hat das Metallband 23 je einen Seitensteg 24, so dass sich eine zusammenhängende Maßverkörperung 20 ergibt. Die Markierungen 21 sind vorzugsweise als mit Luft gefüllter Freiraum ausgebildet. Sie können aber auch mit einem Material ausgefüllt sein, welches nicht ferromagnetisch ist, beispielsweise mit Messing. 1 shows a rough schematic representation of a position measuring system 10 according to a first embodiment of the invention. The position measuring system 10 includes a material measure 20 and a scanning device 30 , The measuring standard 20 is as a material band 23 executed, which consists of a ferromagnetic material, for example made of stainless steel, for example, it has a constant thickness of 0.3 mm. The measuring standard 20 extends at a constant width 27 in a measuring direction 11 , Along the measuring direction 11 is on the material measure 20 a variety of markings 21 arranged in a row, which is based on a constant first pitch λ. The marks 21 can optionally as breakthroughs (No. 22 in 6 ) or as recesses (No. 22a in 7 ) be formed with a constant depth. The marks 21 may have two states, they may or may not be present. The marks 21 encode a binary random number sequence, wherein a first pitch λ corresponds to a binary digit of this code. The shape of the markings will be discussed below with reference to 2 to 5 explained. The marks 21 are designed so that no Transverse webs are required in the material band, which with the first pitch λ regularly spaced on the material band 23 are arranged. Transverse to the measuring direction 11 on both sides of the markings 21 has the metal band 23 one side bar each 24 , so that a coherent measuring standard 20 results. The marks 21 are preferably designed as a space filled with air. But they can also be filled with a material which is not ferromagnetic, for example with brass.

Die Abtastvorrichtung 30 ist in Messrichtung 11 beweglich gegenüber der Maßverkörperung 20. Vorzugsweise ist die Maßverkörperung 20 an der Führungsschiene eines Linearwälzlagers befestigt, wobei die Abtastvorrichtung 30 am zugeordneten Führungswagen befestigt ist. Ein entsprechendes Linearwälzlager ist aus der DE 10 2007 042 796 A1 bekannt. Die Abtastvorrichtung 30 umfasst eine Auswertebaugruppe 34, welche vorzugsweise in Form einer gesonderten elektronischen Platine ausgebildet ist. Der verbleibende Rest der Abtastvorrichtung 30, namentlich die Senderwindungsanordnung 41, die Empfängerspulen 40, die Schaltvorrichtung 70 und der Operationsverstärker 80 sind in unmittelbarer räumlicher Nähe zur Maßverkörperung 20 angeordnet, während die Auswertebaugruppe 34 demgegenüber einen größeren räumlichen Abstand zur Maßverkörperung 20 aufweisen kann. The scanning device 30 is in measuring direction 11 movable relative to the material measure 20 , Preferably, the material measure 20 attached to the guide rail of a linear roller bearing, wherein the scanning device 30 is attached to the associated carriage. A corresponding linear roller bearing is from the DE 10 2007 042 796 A1 known. The scanning device 30 includes an evaluation module 34 , which is preferably in the form of a separate electronic board. The remainder of the scanner 30 , in particular the transmitter winding arrangement 41 , the receiver coils 40 , the switching device 70 and the operational amplifier 80 are in close spatial proximity to the material measure 20 arranged while the evaluation module 34 In contrast, a greater spatial distance to the material measure 20 can have.

Die Senderwindungsanordnung 41 und die Empfängerspulen 40 sind jeweils als planare Windungsanordnungen ausgebildet. In 1 ist jeweils nur ein Windungsumlauf eingezeichnet, wobei sowohl die Senderwindungsanordnung 41 als auch die Empfängerspulen 40 tatsächlich jeweils eine Vielzahl von im Wesentlichen parallelen Windungsumläufen aufweisen. In 1 ist sowohl in der Senderwindungsanordnung 41 als auch in der Maßverkörperung 20 eine Mittellinie 25 eingezeichnet. Diese beiden Mittellinien 25 liegen, entgegen der Darstellung in 1, deckungsgleich übereinander, wobei die Senderwindungsanordnung 41 und die Empfängerspulen 40 mit geringem Abstand zur Maßverkörperung 20 angeordnet sind (vgl. 6 und 7). Damit beeinflusst die Maßverkörperung 20 die induktive Kopplung zwischen der Senderwindungsanordnung 41 und den Empfängerspulen 40. D.h. ein in die Senderwindungsanordnung 41 eingespeister Wechselstrom induziert in die Empfängerspulen 40 eine Wechselspannung, deren Amplitude von der Lage der Abtastvorrichtung 30 gegenüber der Maßverkörperung 20 abhängt. The transmitter coil arrangement 41 and the receiver coils 40 are each formed as a planar winding arrangements. In 1 in each case only one winding circulation is shown, wherein both the transmitter winding arrangement 41 as well as the receiver coils 40 actually each have a plurality of substantially parallel Windungsumläufen. In 1 is both in the transmitter coil arrangement 41 as well as in the material measure 20 a midline 25 located. These two centerlines 25 lie, contrary to the illustration in 1 , congruent to each other, wherein the transmitter winding arrangement 41 and the receiver coils 40 at a short distance to the material measure 20 are arranged (see. 6 and 7 ). This influences the material measure 20 the inductive coupling between the transmitter winding arrangement 41 and the receiver coils 40 , Ie one in the transmitter coil arrangement 41 fed AC induced in the receiver coils 40 an alternating voltage whose amplitude depends on the position of the scanning device 30 opposite the measuring standard 20 depends.

Die Senderwindungsanordnung 41 ist vorliegend als Mäanderstruktur ausgebildet, wobei sie mehrere gesonderte Senderflächen 42 umgrenzt, welche in Messrichtung 11 in einer Reihe angeordnet sind. Die Senderwindungsanordnung 41 umfasst eine erste und zweite Gruppe 44; 45 von schlangenlinienartig ausgebildeten Leiterbahnen 43, welche sich entlang der Messrichtung 11 mehrfach kreuzen. An der mit der Nr. 46 gekennzeichneten Stelle sind die genannten Leiterbahnen 43 derart miteinander verbunden, dass die Senderwindungsanordnung 41 von einer einzigen durchgehenden Leiterbahn gebildet wird. Die Senderwindungsanordnung 41 kann alternativ auch aus mehreren einzelnen Spulen zusammengesetzt sein, die jeweils eine einzige zugeordnete Senderfläche 42 umgrenzen, wobei sie wahlweise in Reihe oder parallel geschaltet sind. Wenn die Senderwindungsanordnung 41 von der Wechselstromquelle 31 mit einem Wechselstrom gespeist wird, ergibt sich in allen Senderflächen 42 ein betragsmäßig im Wesentlichen gleiches elektromagnetisches Wechselfeld, wobei die Feldrichtung in unmittelbar benachbarten Senderflächen 42 entgegengesetzt ist. Die Wechselstromquelle 31 ist vorzugsweise Bestandteil der Auswertebaugruppe 34. The transmitter coil arrangement 41 In the present case, it is designed as a meander structure, wherein it has a plurality of separate transmitter surfaces 42 bounded, which in measuring direction 11 arranged in a row. The transmitter coil arrangement 41 includes a first and second group 44 ; 45 of serpentine formed tracks 43 which extend along the measuring direction 11 cross several times. At the with the no. 46 marked point are the said tracks 43 connected together in such a way that the transmitter winding arrangement 41 is formed by a single continuous conductor. The transmitter coil arrangement 41 may alternatively be composed of a plurality of individual coils, each having a single associated transmitter surface 42 they are optionally connected in series or in parallel. If the transmitter coil arrangement 41 from the AC power source 31 is fed with an alternating current, results in all transmitter areas 42 a magnitude substantially the same electromagnetic alternating field, the field direction in immediately adjacent transmitter surfaces 42 is opposite. The AC power source 31 is preferably part of the evaluation module 34 ,

In den Senderflächen 42 ist jeweils eine einzige Empfängerspule 40 vollständig angeordnet. In räumlicher Nähe zu den Empfängerspulen 40 ist der Operationsverstärker 80 angeordnet, der vorzugsweise volldifferentiell ausgebildet ist. Zwei benachbarte Empfängerspulen 40 weisen in Messrichtung 11 jeweils einen konstanten zweiten Teilungsabstand δ auf, der beispielsweise 0,8 mm beträgt. Die Beschaltung des Operationsverstärkers 80 ist in 1 stark vereinfacht dargestellt, wobei nur die zwei für den volldifferentiellen Operationsverstärker 80 kennzeichnenden Rückkopplungswiderstände 85; 86 dargestellt sind. Der erste Rückkopplungswiderstand 85 verbindet die erste Eingangsanschlussstelle 81 des Operationsverstärkers 80 mit der ersten Ausgangsanschlussstelle 83 des Operationsverstärkers 80. Der zweite Rückkopplungswiderstand 86 verbindet die zweite Eingangsanschlussstelle 82 des Operationsverstärkers 80 mit der zweiten Ausgangsanschlussstelle 84 des Operationsverstärkers 80. In the transmitter areas 42 is in each case a single receiver coil 40 completely arranged. In close proximity to the receiver coils 40 is the operational amplifier 80 arranged, which is preferably formed fully different. Two adjacent receiver coils 40 pointing in the direction of measurement 11 each have a constant second pitch δ, which is for example 0.8 mm. The wiring of the operational amplifier 80 is in 1 shown in simplified form, with only the two for the fully differential operational amplifier 80 identifying feedback resistors 85 ; 86 are shown. The first feedback resistor 85 connects the first input port 81 of the operational amplifier 80 with the first output terminal 83 of the operational amplifier 80 , The second feedback resistor 86 connects the second input terminal 82 of the operational amplifier 80 with the second output terminal 84 of the operational amplifier 80 ,

Die erste und die zweite Ausgangsanschlussstelle 83; 84 sind eingangsseitig an einen Analog-Digital-Wandler 32 angeschlossen, so dass der Analog-Digital-Wandler 32 die entsprechende elektrische Messspannung M messen kann. Der entsprechende Digitalwert wird an einen programmierbaren Digitalrechner 33 weitergegeben. Der programmierbare Digitalrechner 33 und der Analog-Digital-Wandler 32 sind vorzugsweise Bestandteil der Auswertebaugruppe 34, wobei sie höchst vorzugsweise in Form eines Mikrocontrollers ausgebildet sind. The first and second output ports 83 ; 84 are input side to an analog-to-digital converter 32 connected, so the analog-to-digital converter 32 can measure the corresponding electrical measurement voltage M. The corresponding digital value is sent to a programmable digital computer 33 passed. The programmable digital computer 33 and the analog-to-digital converter 32 are preferably part of the evaluation module 34 , wherein they are most preferably designed in the form of a microcontroller.

Die erste und die zweite Eingangsanschlussstelle 81; 82 sind über eine Schaltvorrichtung 70 mit den verschiedenen Empfängerspulen 40 verbunden. Die Schaltvorrichtung 70 umfasst eine erste Signalleitung 75, welche an die erste Eingangsanschlussstelle 81 des Operationsverstärkers 80 angeschlossen ist. Weiter ist eine zweite Signalleitung 76 an die zweite Eingangsanschlussstelle 82 des Operationsverstärkers 80 angeschlossen. Jeweils ein Anschluss einer jeden Empfängerspule 40 ist an eine dritte Signalleitung 77 angeschlossen. Der jeweils andere Anschluss einer Empfängerspule 40 ist über ein zugeordnetes Schaltmittel 71; 72 entweder mit der ersten oder mit der zweiten Signalleitung 75; 76 verbunden. Vorzugsweise weist jedes Schaltmittel 71; 72; 73; 74 einen ersten Zustand auf, in dem es einen ersten elektrischen Widerstand hat, wobei es einen zweiten Zustand aufweist, in dem es einen zweiten elektrischen Widerstand hat, wobei der zweite elektrische Widerstand wenigstens 1000-mal größer als der erste elektrische Widerstand ist, wobei das wenigstens eine Schaltmittel zwischen dem ersten und dem zweiten Zustand umschaltbar ist. Im Rahmen der vorliegenden Anmeldung wird davon ausgegangen, dass eine Empfängerspule 40 im zweiten Zustand des zugeordneten Schaltmittels 71; 72 nicht an den Operationsverstärker 80 angeschlossen ist. Vorzugsweise werden die Schaltmittel 71; 72; 73; 74 auf der Basis von Halbleitern verwendet. Damit kann beispielsweise ein erster elektrischer Widerstand von 0,9 Ω erreicht werden, wobei ein zweiter elektrischer Widerstand erreicht werden kann, der eine Signaldämpfung von wenigstens 60 dB ergibt. Ein entsprechendes Schaltmittel ist Gegenstand des Datenblatts, welches am 19.03.2015 unter der Internetadresse http://www.ti.com/lit/ds/symlink/ts5a623157.pdf abrufbar war. The first and the second input connection point 81 ; 82 are via a switching device 70 with the different receiver coils 40 connected. The switching device 70 includes a first signal line 75 which are connected to the first input connection point 81 of the operational amplifier 80 connected. Next is a second signal line 76 to the second input terminal 82 of the operational amplifier 80 connected. One connection each receiver coil 40 is to a third signal line 77 connected. The other connection of a receiver coil 40 is via an associated switching means 71 ; 72 either with the first or the second signal line 75 ; 76 connected. Preferably, each switching means 71 ; 72 ; 73 ; 74 a first state in which it has a first electrical resistance, wherein it has a second state in which it has a second electrical resistance, wherein the second electrical resistance is at least 1000 times greater than the first electrical resistance, wherein the at least a switching means between the first and the second state is switchable. In the present application it is assumed that a receiver coil 40 in the second state of the associated switching means 71 ; 72 not to the operational amplifier 80 connected. Preferably, the switching means 71 ; 72 ; 73 ; 74 used on the basis of semiconductors. Thus, for example, a first electrical resistance of 0.9 Ω can be achieved, wherein a second electrical resistance can be achieved, which results in a signal attenuation of at least 60 dB. A corresponding switching means is the subject of the data sheet, which on 19.03.2015 under the Internet address http://www.ti.com/lit/ds/symlink/ts5a623157.pdf was available.

In 1 sind beispielhaft sieben Empfängerspulen 40 dargestellt, die jeweils mit einem Index n gekennzeichnet sind, der entlang der Messrichtung 11 hochzählt. Es versteht sich, dass das Positionsmesssystem 10 wesentlich mehr, beispielsweise dreißig, Empfängerspulen 40 aufweisen kann. Die Empfängerspulen 40 mit den Indizes n = 1, 3, 5, 7 sind jeweils über ein erstes Schaltmittel 71 mit der ersten Signalleitung 75 verbunden. Die jeweils dazwischen angeordneten Empfängerspulen 40 mit den Indizes n = 2, 4, 6 sind jeweils über ein zweites Schaltmittel 72 mit der zweiten Signalleitung 76 verbunden. Die vorstehend beschriebene Verschaltung führt dazu, dass die beiden gewählten Empfängerspulen differentiell zusammengeschaltet sind, wobei sie eingangsseitig an den Operationsverstärker 80 angeschlossen sind. Dementsprechend wirken sich äußere Störfelder, die auf beide genannten Empfängerspulen 40 in gleicher Weise einwirken, nicht auf die Messspannung M aus. Für die ordnungsgemäße differentielle Zusammenschaltung zweier Empfängerspulen kommt es auf die Windungsrichtung der betreffenden Empfängerspulen und darauf, welcher Anschluss mit der dritten Signalleitung 77 verbunden ist, an. In 1 are exemplary seven receiver coils 40 represented, each with an index n, along the measuring direction 11 counts. It is understood that the position measuring system 10 much more, for example thirty, receiver coils 40 can have. The receiver coils 40 with the indices n = 1, 3, 5, 7 are each via a first switching means 71 with the first signal line 75 connected. The receiver coils arranged in between 40 with the indices n = 2, 4, 6 each have a second switching means 72 with the second signal line 76 connected. The interconnection described above results in the two selected receiver coils being differentially interconnected, with the input side being connected to the operational amplifier 80 are connected. Accordingly, external interference fields affect both receiver coils 40 acting in the same way, not on the measurement voltage M from. For the proper differential interconnection of two receiver coils, it depends on the winding direction of the respective receiver coils and on which connection with the third signal line 77 connected to.

Mit dem vierten Schaltmittel 74 wird die dritte Signalleitung 77 mit der ersten Eingangsanschlussstelle 81 der Operationsverstärkers 80 verbunden. Damit ist nur eine einzelne Empfängerspule 40 eingangsseitig an den Operationsverstärker 80 angeschlossen, welche über ein zweites Schaltmittel 72 mit der zweiten Signalleitung 76 verbunden ist. Wenn eine einzelne Empfängerspule 40 verwendet werden soll, die über ein erstes Schaltmittel 71 mit der ersten Signalleitung 75 verbunden ist, wird im Übrigen allein das dritte Schaltmittel 73 geschlossen. Mit dem dritten Schaltmittel 73 wird die dritte Signalleitung 77 mit der zweiten Eingangsanschlussstelle 82 des Operationsverstärkers 80 verbunden. With the fourth switching means 74 becomes the third signal line 77 with the first input terminal 81 the operational amplifier 80 connected. This is just a single receiver coil 40 on the input side to the operational amplifier 80 connected, which via a second switching means 72 with the second signal line 76 connected is. If a single receiver coil 40 to be used, which has a first switching means 71 with the first signal line 75 Incidentally, the third switching means alone is connected 73 closed. With the third switching means 73 becomes the third signal line 77 with the second input terminal 82 of the operational amplifier 80 connected.

Die ersten bis vierten Schaltmittel 71; 72; 73; 74 werden vorzugsweise von dem programmierbaren Digitalrechner 33 angesteuert, wobei die entsprechenden Steuerleitungen in 1 nicht dargestellt sind. The first to fourth switching means 71 ; 72 ; 73 ; 74 are preferably from the programmable digital computer 33 controlled, with the corresponding control lines in 1 are not shown.

2 zeigt eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung 20 gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung nach 1. Unterhalb der Maßverkörperung 20 ist ein Diagramm dargestellt, in welchem ein Spannungsverhältnis k über einer Position x aufgetragen ist. Die Position x ist die Lage einer einzelnen Empfängerspule (Nr. 40 in 1) relativ zur Maßverkörperung 20. Das Spannungsverhältnis k gibt die Amplitude der in die betrachtete Empfängerspule induzierten Wechselspannung an. Der Wert 100% tritt dann auf, wenn die Empfängerspule vollständig über ferromagnetischem Material steht. Wenn die Empfängerspule vollständig über einer Markierung 21 steht, beträgt das Spannungsverhältnis näherungsweise 0%, da die induktive Kopplung zwischen der Senderwindungsanordnung und der Empfängerspule wegen des fehlenden ferromagnetischen Materials sehr schwach ist. 2 shows a rough schematic representation of a part of a material measure 20 according to the first embodiment of the invention according to 1 , Below the material measure 20 a diagram is shown in which a stress ratio k is plotted against a position x. The position x is the position of a single receiver coil (No. 40 in 1 ) relative to the material measure 20 , The voltage ratio k indicates the amplitude of the alternating voltage induced in the receiver coil under consideration. The value 100% occurs when the receiver coil is completely over ferromagnetic material. When the receiver coil is completely over a marker 21 is the voltage ratio is approximately 0%, because the inductive coupling between the transmitter coil assembly and the receiver coil is very weak due to the lack of ferromagnetic material.

Bei der ersten Ausführungsform ist der Markierungsumriss 50 rechteckig ausgebildet, so dass das gedachte Rechteck 60 gemäß dem selbständigen Anspruch vollständig mit dem Markierungsumriss 50 zusammenfällt. Das gedachte Rechteck 60 hat eine erste, eine zweite, eine dritte und eine vierte Rechteckseite 61; 62; 63; 64. Die erste und die zweite Rechteckseite 61; 62 verlaufen parallel zur Messrichtung 11, wobei die dritte und die vierte Rechteckseite 63; 64 senkrecht zur Messrichtung 11 verlaufen. Der Abstand 65 der ersten und der zweiten Rechteckseite 61; 62 entspricht der Breite der Markierung 21. Diese ist etwas kleiner ausgeführt als die Breite 27 des Materialbands 23, so dass die beiden gegenüberliegenden Seitenstege 24 stehen bleiben, welche das Materialband 23 an einem Stück zusammenhalten. Der Abstand 66 der dritten und der vierten Rechteckseite 63; 64 ist die Länge der Markierung 21. Dieser ist vorliegend etwas größer als ein ganzzahliges Vielfaches des ersten Teilungsabstands λ. Wie aus 1 ersichtlich, kann der erste Teilungsabstand λ ermittelt werden, indem man beispielsweise die Abstände der dritten Rechteckseiten 63 aller Markierungen 21 ausmisst, wobei der kürzeste dieser Abstände gleich dem Doppelten des ersten Teilungsabstands λ ist. In the first embodiment, the marker outline is 50 rectangular, so that the imaginary rectangle 60 according to the independent claim completely with the marking outline 50 coincides. The imaginary rectangle 60 has a first, a second, a third and a fourth rectangle side 61 ; 62 ; 63 ; 64 , The first and the second rectangle side 61 ; 62 run parallel to the measuring direction 11 , where the third and the fourth rectangle side 63 ; 64 perpendicular to the measuring direction 11 run. The distance 65 the first and the second rectangle side 61 ; 62 corresponds to the width of the marking 21 , This is made slightly smaller than the width 27 of the material band 23 so that the two opposite side bars 24 stay standing, which the material band 23 hold together in one piece. The distance 66 the third and the fourth rectangle side 63 ; 64 is the length of the mark 21 , In the present case, this is slightly larger than an integer multiple of the first pitch. How out 1 can be seen, the first pitch λ can be determined by, for example, the distances of the third sides of the rectangle 63 all marks 21 measures, wherein the shortest of these distances is equal to twice the first pitch λ.

Der Abstand 66 bzw. der lichte Abstand (Nr. 67 in 1) zweier unmittelbar benachbarter gedachter Rechtecke 60 ist so gewählt, dass der Wegabstand 13 der 50%-Werte 12 des Spannungsverhältnisses k möglichst genau ein ganzzahliges Vielfaches des ersten Teilungsabstands λ ist. Wenn der erste Teilungsabstand λ beispielsweise 1,0 mm beträgt, kann der Abstand 66 beispielsweise 1,4 mm betragen, wobei der lichte Abstand (Nr. 67 in 1) beispielsweise 0,6 mm beträgt. The distance 66 or the clear distance (no. 67 in 1 ) of two immediately adjacent imaginary rectangles 60 is chosen so that the path distance 13 the 50% values 12 of the voltage ratio k is as exactly as possible an integer multiple of the first pitch λ. For example, if the first pitch λ is 1.0 mm, the distance 66 for example, be 1.4 mm, wherein the clear distance (no. 67 in 1 ) is, for example, 0.6 mm.

3 zeigt eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung 20 gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Der Markierungsumriss 50 ist in Form eines Parallelogramms ausgebildet, so dass er nicht mehr vollständig mit dem gedachten Rechteck 60 zusammenfällt. Das gedachte Rechteck 60 ist in 3 mit Strichlinien eingezeichnet. Der einzige gerade erste Randabschnitt 51 des Markierungsumrisses 50 ist vollständig auf der ersten Rechteckseite 61 gelegen, wobei die erste Rechteckseite 61 länger als der erste Randabschnitt 51 ist. Der einzige gerade zweite Randabschnitt 52 des Markierungsumrisses 50 ist vollständig auf der zweiten Rechteckseite 62 gelegen, wobei die zweite Rechteckseite 62 länger als der zweite Randabschnitt 52 ist. 3 shows a rough schematic representation of a part of a material measure 20 according to a second embodiment of the invention. The marking outline 50 is designed in the form of a parallelogram, so that he no longer completely with the imaginary rectangle 60 coincides. The imaginary rectangle 60 is in 3 drawn with dashed lines. The only straight first edge section 51 the marking outline 50 is completely on the first rectangle side 61 located, with the first rectangle side 61 longer than the first edge section 51 is. The only straight second edge section 52 the marking outline 50 is completely on the second rectangle side 62 located, with the second rectangle side 62 longer than the second edge section 52 is.

Der dritten Rechteckseite 63 ist ein einziger gerader dritter Randabschnitt 53 des betreffenden Markierungsumrisses 50 zugeordnet, der vollständig innerhalb des gedachten Rechtecks 60 angeordnet ist. Der vierten Rechteckseite 64 ist ein einziger gerader vierter Randabschnitt 54 des betreffenden Markierungsumrisses 50 zugeordnet, der vollständig innerhalb des gedachten Rechtecks 60 angeordnet ist. Der dritte und der vierte Randabschnitt 53; 54 sind parallel zueinander angeordnet, wobei sie mit der Messrichtung 11 einen von 90° verschiedenen Winkel einschließen. The third rectangle side 63 is a single straight third edge section 53 of the marking in question 50 completely assigned within the imaginary rectangle 60 is arranged. The fourth rectangle side 64 is a single straight fourth edge section 54 of the marking in question 50 completely assigned within the imaginary rectangle 60 is arranged. The third and the fourth edge section 53 ; 54 are arranged parallel to each other, with the measuring direction 11 include an angle different from 90 °.

Der Punkt 68, an dem die dritte Rechteckseite 63 mit dem Markierungsumriss 50 zusammenfällt, ist die Ecke zwischen dem dritten und dem zweiten Randabschnitt 53; 52. Der Punkt 69, an dem die vierte Rechteckseite 64 mit dem Markierungsumriss 50 zusammenfällt, ist die Ecke zwischen dem vierten und dem ersten Randabschnitt 54; 51. The point 68 at which the third rectangle side 63 with the marking outline 50 coincides, is the corner between the third and the second edge portion 53 ; 52 , The point 69 on which the fourth rectangle side 64 with the marking outline 50 coincides, is the corner between the fourth and the first edge portion 54 ; 51 ,

Wie ein Vergleich der 2 und 3 ergibt, ist der Verlauf des Spannungsverhältnisses k über die Position x im Bereich der 50%-Werte 12 bei der zweiten Ausführungsform deutlich weniger steil als bei der ersten Ausführungsform. Der Abstand 66 bzw. die lichte Weite (Nr. 67 in 1) ist wieder so gewählt, dass der Wegabstand 13 der 50%-Werte 12 des Spannungsverhältnisses k möglichst genau ein ganzzahliges Vielfaches des ersten Teilungsabstands λ ist. Like a comparison of 2 and 3 results, the course of the stress ratio k over the position x in the range of 50% values 12 significantly less steep in the second embodiment than in the first embodiment. The distance 66 or the clear width (No. 67 in 1 ) is again chosen so that the distance 13 the 50% values 12 of the voltage ratio k is as exactly as possible an integer multiple of the first pitch λ.

4 zeigt eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung 20 gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung. Das gedachte Rechteck 60 ist in 4 mit Strichlinien eingezeichnet. Der einzige gerade erste Randabschnitt 51 des Markierungsumrisses 50 ist vollständig auf der ersten Rechteckseite 61 gelegen, wobei die erste Rechteckseite 61 länger als der erste Randabschnitt 51 ist. Der einzige gerade zweite Randabschnitt 52 des Markierungsumrisses 50 ist vollständig auf der zweiten Rechteckseite 62 gelegen, wobei die zweite Rechteckseite 62 länger als der zweite Randabschnitt 52 ist. 4 shows a rough schematic representation of a part of a material measure 20 according to a third embodiment of the invention. The imaginary rectangle 60 is in 4 drawn with dashed lines. The only straight first edge section 51 the marking outline 50 is completely on the first rectangle side 61 located, with the first rectangle side 61 longer than the first edge section 51 is. The only straight second edge section 52 the marking outline 50 is completely on the second rectangle side 62 located, with the second rectangle side 62 longer than the second edge section 52 is.

Der dritten Rechteckseite 63 ist ein nach außen gebogen verlaufender dritter Randabschnitt 53a des Markierungsumrisses 50 zugeordnet. Der vierten Rechteckseite 64 ist ein nach außen gebogen verlaufender vierter Randabschnitt 54a des Markierungsumrisses 50 zugeordnet. Der dritte und der vierte Randabschnitt 53a; 54a sind spiegelsymmetrisch zueinander ausgebildet. Der dritte und der vierte Randabschnitt 53a; 54a weisen jeweils genau zwei gerade Unterabschnitte 57 auf, welche einen Winkel einschließen, der größer als 90° ist. Die beiden einander zugeordneten geraden Unterabschnitte 57 grenzen in einer Ecke 58 aneinander an. Die Ecken 58 bilden die Punkte 68; 69, an denen die dritte bzw. die vierte Rechteckseite 63; 64 mit dem Markierungsumriss 50 zusammenfällt. The third rectangle side 63 is an outwardly extending third edge portion 53a the marking outline 50 assigned. The fourth rectangle side 64 is an outwardly extending fourth edge portion 54a the marking outline 50 assigned. The third and the fourth edge section 53a ; 54a are mirror-symmetrical to each other. The third and the fourth edge section 53a ; 54a each have exactly two straight subsections 57 which include an angle greater than 90 °. The two associated straight subsections 57 borders in a corner 58 to each other. The corners 58 form the points 68 ; 69 , where the third or the fourth rectangle side 63 ; 64 with the marking outline 50 coincides.

Der Verlauf des Spannungsverhältnisses k über die Position x im Bereich der 50%-Werte 12 ist bei der dritten Ausführungsform im Wesentlichen der Gleiche wie bei der zweiten Ausführungsform nach 3. Der Abstand 66 bzw. die lichte Weite (Nr. 67 in 1) ist wieder so gewählt, dass der Wegabstand 13 der 50%-Werte 12 des Spannungsverhältnisses k möglichst genau ein ganzzahliges Vielfaches des ersten Teilungsabstands λ ist. The course of the stress ratio k over the position x in the range of the 50% values 12 is substantially the same as the second embodiment in the third embodiment 3 , The distance 66 or the clear width (No. 67 in 1 ) is again chosen so that the distance 13 the 50% values 12 of the voltage ratio k is as exactly as possible an integer multiple of the first pitch λ.

Der Markierungsumriss 50 gemäß der dritten Ausführungsform ist insgesamt spiegelsymmetrisch bezüglich der Mittelline 25 der Maßverkörperung 20 ausgebildet. Hierdurch werden Fehler bei der Abtastung der Maßverkörperung 20 vermieden. The marking outline 50 according to the third embodiment is a total of mirror symmetry with respect to the center line 25 the measuring standard 20 educated. This causes errors in the sampling of the material measure 20 avoided.

5 zeigt eine grobschematische Darstellung eines Teils einer Maßverkörperung 20 gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung. Diese Ausführungsform betrifft mehrere weitere Abweichungen der tatsächlichen Signalform von der für die Signalauswertung idealen Signalform. Die vierte Ausführungsform nach 5 ist eine Abwandlung der ersten Ausführungsform nach 2, sie kann jedoch auch mit der zweiten oder der dritten Ausführungsform nach den 3 bzw. 4 kombiniert werden. 5 shows a rough schematic representation of a part of a material measure 20 according to a fourth embodiment of the invention. This embodiment relates to several further deviations of the actual signal form from the ideal signal form for the signal evaluation. The fourth embodiment according to 5 is a modification of the first embodiment according to 2 However, it can also with the second or third embodiment according to the 3 respectively. 4 be combined.

In 5 unten ist mit einer Strichlinie die Signalform eingezeichnet, die sich ergeben kann, wenn allein die erste Ausführungsform nach 2 zum Einsatz kommt. Mit einer durchgezogenen Linie ist die Signalform eingezeichnet, welche sich nach den nachfolgend erläuterten Kompensationsmaßnahmen ergibt, und die für eine einfache Signalauswertung besonders geeignet ist. Zwischen diesen Signalformen ergeben sich insgesamt drei Arten von Abweichungen 14a; 14b; 15a; 15b; 16, auf die nachfolgend im Einzelnen eingegangen wird. In 5 below, the waveform is drawn with a dashed line, which can result if only the first embodiment according to 2 is used. With a solid line, the waveform is drawn, which results after the compensation measures explained below, and which is particularly suitable for a simple signal evaluation. There are three types of deviations between these waveforms 14a ; 14b ; 15a ; 15b ; 16 , which will be discussed in detail below.

Der Plateaueffekt 16 ist zu beobachten, wenn sich die betrachtete Einzelspule mit großem Abstand zu einer Markierung 21 vollständig über dem ferromagnetischen Material des Materialbands 23 befindet. Die Signalamplitude kann dann etwas höher sein, als wenn sich die Einzelspule mit geringem Abstand zu einer Markierung 21 vollständig über dem ferromagnetischen Material des Materialbandes 23 befindet. Diesem Plateaueffekt 16 kann durch Hilfsmarkierungen 21a begegnen werden, welche gegenüber den informationstragenden Markierungen 21 sehr schmal ausgebildet sind. Die Hilfsmarkierungen 21a sind gerade dort angeordnet, wo sich ohne Hilfsmarkierungen 21a ein Plateaueffekt 16 zeigt. Die Breite der Hilfsmarkierungen 21a ist gerade so groß gewählt, dass der Plateaueffekt 16 verschwindet. The plateau effect 16 is to be observed when the considered individual coil is far away from a marking 21 completely over the ferromagnetic material of the material strip 23 located. The signal amplitude can then be slightly higher than when the single coil is at a small distance to a mark 21 completely over the ferromagnetic material of the material band 23 located. This plateau effect 16 can by auxiliary markings 21a which are opposite to the information-bearing markings 21 are very narrow. The auxiliary markings 21a are located right where there are no auxiliary markings 21a a plateau effect 16 shows. The width of the auxiliary markings 21a is just chosen so big that the plateau effect 16 disappears.

Die Überschwinger 14a; 14b können zu beobachten sein, wenn sich die betrachtete Einzelspule kurz vor oder kurz nach einer Markierungsgrenze 53; 54 über dem ferromagnetischen Material des Materialbandes 23 steht. Den Überschwingern 14a; 14b kann begegnet werden, indem im entsprechenden Bereich des Materialbandes 23 ferromagnetisches Material entfernt wird. Hierfür ist an der ersten Rechteckseite 61 der Hilfsmarkierung 21a ein fünfter Randabschnitt 55 des Markierungsumrisses 50 vorgesehen, welcher bezüglich der Messrichtung 11 nach außen gebogen verläuft, wobei der zweiten Rechteckseite 62 wenigstens ein sechster Randabschnitt 56 des Markierungsumrisses 50 der Hilfsmarkierung 21a zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung 11 nach außen gebogen verläuft. The overshoots 14a ; 14b can be observed when the considered individual coil shortly before or shortly after a mark boundary 53 ; 54 over the ferromagnetic material of the material band 23 stands. The overshooters 14a ; 14b can be counteracted by placing in the appropriate area of the material band 23 ferromagnetic material is removed. This is on the first rectangle side 61 the auxiliary marker 21a a fifth edge section 55 the marking outline 50 provided, which with respect to the measuring direction 11 bent to the outside, the second side of the rectangle 62 at least a sixth edge portion 56 the marking outline 50 the auxiliary marker 21a is assigned, which with respect to the measuring direction 11 bent outward runs.

Die Unterschwinger 15a; 15b können zu beobachten sein, wenn die betrachtete Einzelspule kurz hinter oder kurz vor einer Markierungsgrenze 53; 54 über dem Freiraum einer Markierung 21 steht. Den Unterschwingern 15a; 15b kann begegnet werden, indem im entsprechenden Bereich des Materialbandes 23 ferromagnetisches Material hinzufügt wird. Hierfür ist an der ersten Rechteckseite 61 der Markierung 21 ein fünfter Randabschnitt 55 des Markierungsumrisses 50 vorgesehen, welcher bezüglich der Messrichtung 11 nach innen gebogen verläuft, wobei der zweiten Rechteckseite 62 der Markierung 21 wenigstens ein sechster Randabschnitt 56 des Markierungsumrisses 50 zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung 11 nach innen gebogen verläuft. The undershooters 15a ; 15b can be observed if the considered individual coil shortly after or just before a marking line 53 ; 54 above the clearance of a marker 21 stands. The Unterschwingern 15a ; 15b can be counteracted by placing in the appropriate area of the material band 23 ferromagnetic material is added. This is on the first rectangle side 61 the mark 21 a fifth edge section 55 the marking outline 50 provided, which with respect to the measuring direction 11 curved inward, with the second rectangle side 62 the mark 21 at least a sixth edge portion 56 the marking outline 50 is assigned, which with respect to the measuring direction 11 curved inward runs.

Der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt 55; 56 können wenigstens einen geraden Unterabschnitt 57a aufweisen, wie dies in 5 beim Überschwinger 14b und beim Unterschwinger 15b gezeigt ist. Der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt 55; 56 können einen knickfrei gebogenen Unterabschnitt 57b aufweist, wie dies in 5 beim Überschwinger 14a und beim Unterschwinger 15a gezeigt ist. The fifth and / or the sixth edge section 55 ; 56 can have at least one straight subsection 57a exhibit, as in 5 at the overshoot 14b and the undershooter 15b is shown. The fifth and / or the sixth edge section 55 ; 56 can have a kink-free bent subsection 57b has, as in 5 at the overshoot 14a and the undershooter 15a is shown.

6 zeigt einen grobschematischen Querschnitt des Positionsmesssystems 10 nach 1, wobei die Markierungen 21 als Durchbrüche 22 ausgebildet sind. Dementsprechend durchsetzen die Markierungen 21 die gesamte Dicke 26 der Maßverkörperung 20. Der Markierungsumriss 50 ist dabei über die gesamte Dicke 26 des Materialbandes 23 im Wesentlichen konstant ausgebildet. Abweichungen können dabei toleranzbedingt durch die bevorzugte Herstellung mit einem photochemischen Ätzverfahren entstehen. Die Durchbrüche 22 werden vorzugsweise von zwei gegenüberliegenden Seiten her gleichzeitig aus dem Materialband 23 heraus geätzt, so dass die Ätzzeit kurz ist. 6 shows a rough schematic cross section of the position measuring system 10 to 1 , where the marks 21 as breakthroughs 22 are formed. Accordingly, the markings prevail 21 the entire thickness 26 the measuring standard 20 , The marking outline 50 is about the entire thickness 26 of the material band 23 essentially constant. Deviations can arise due to tolerances due to the preferred production with a photochemical etching process. The breakthroughs 22 are preferably from two opposite sides simultaneously from the material band 23 etched out, so that the etching time is short.

Weiter ist in 6 die Anordnung der Empfängerspulen 40 und der Senderwindungsanordnung 41 gegenüber der Maßverkörperung 20 zu erkennen. Die Empfängerspulen 40 und die Senderwindungsanordnung 41 sind jeweils als planare Windungsanordnungen ausgebildet, welche vorzugsweise mittels eines photochemischen Ätzverfahrens hergestellt werden. In 6 ist jeweils nur eine einzige Schicht für die Empfängerspulen 40 und die Senderwindungsanordnung 41 vorgesehen, wobei auch mehr Schichten vorgesehen sein können, um die Anzahl der Windungsumläufe möglichst groß auszuführen. Die einzelnen Schichten sind jeweils durch eine Isolierschicht 47 voneinander getrennt, welche beispielsweise aus Polyimid bestehen kann. Dieser Kunststoff ist elektrisch nichtleitend, wobei er hohen Temperaturen standhält. Soweit die Empfängerspulen 40 und/oder die Senderwindungsanordnung 41 jeweils mehrere Schichten aufweisen, sind diese vorzugsweise über Durchkontaktierungen elektrisch miteinander verbunden, wobei die Durchkontaktierungen eine oder mehrere zugeordneten Isolierschichten durchsetzen. Next is in 6 the arrangement of the receiver coils 40 and the transmitter coil assembly 41 opposite the measuring standard 20 to recognize. The receiver coils 40 and the transmitter coil assembly 41 are each formed as a planar winding arrangements, which are preferably produced by means of a photochemical etching process. In 6 is in each case only a single layer for the receiver coils 40 and the transmitter coil assembly 41 provided, wherein more layers may be provided to make the number of turns as large as possible. The individual layers are each covered by an insulating layer 47 separated from each other, which may for example consist of polyimide. This plastic is electrically non-conductive, withstanding high temperatures. As far as the receiver coils 40 and / or the transmitter winding arrangement 41 Each having a plurality of layers, these are preferably electrically interconnected via vias, wherein the vias enforce one or more associated insulating layers.

Der Sensorabstand 17 zwischen der Maßverkörperung 20 und der Baugruppe, welche die Empfängerspulen 40 und die Senderwindungsanordnung 41 enthält, ist vorzugsweise klein ausgeführt, höchst vorzugsweise kleiner als der erste Teilungsabstand λ. The sensor distance 17 between the material measure 20 and the assembly containing the receiver coils 40 and the transmitter coil assembly 41 is preferably made small, most preferably smaller than the first pitch λ.

7 zeigt eine der 6 entsprechende Darstellung, wobei die Markierungen 21 als Ausnehmungen 22a ausgebildet sind. Die Ausnehmungen 22a haben eine konstante Tiefe 22b, welche beispielsweise gleich der halben Dicke 26 des Materialbands 23 ist. Die Ausnehmungen 22a werden vorzugsweise durch ein photochemisches Ätzverfahren hergestellt, wobei die Ätzung nur von einer Seite des Materialbandes 23 her erfolgt. Da die Ätztiefe und mithin die Tiefe 22b der Ausnehmungen 22a nur schwer steuerbar ist, sind die Durchbrüche gemäß 6 bevorzugt. 7 shows one of the 6 corresponding representation, with the markings 21 when recesses 22a are formed. The recesses 22a have a constant depth 22b which, for example, equal to half the thickness 26 of the material band 23 is. The recesses 22a are preferably prepared by a photochemical etching process, wherein the etching is only from one side of the material band 23 done here. Because the etch depth and therefore the depth 22b the recesses 22a is difficult to control, the breakthroughs are in accordance with 6 prefers.

Im Übrigen wird auf die Ausführungen zu 6 verwiesen, wobei in 6 und 7 gleiche bzw. sich entsprechende Teile mit den gleichen Bezugsziffern versehen sind. Incidentally, the comments on 6 referenced, in 6 and 7 the same or corresponding parts are provided with the same reference numerals.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

λ λ
erster Teilungsabstand first pitch
δ δ
zweiter Teilungsabstand second pitch
M M
Messspannung measuring voltage
k k
Spannungsverhältnis tension
x x
Position einer einzelnen Empfängerspule relativ zur Maßverkörperung Position of a single receiver coil relative to the material measure
10 10
Positionsmesssystem Position measuring system
11 11
Messrichtung measuring direction
12 12
50%-Wert des Spannungsverhältnisses 50% value of the stress ratio
13 13
Wegabstand der 50%-Werte des Spannungsverhältnisses Distance between the 50% values of the stress ratio
14a 14a
Überschwinger overshoots
14b 14b
Überschwinger overshoots
15a 15a
Unterschwinger undershoot
15b 15b
Unterschwinger undershoot
16 16
Plateaueffekt plateau effect
17 17
Sensorabstand sensor distance
20 20
Maßverkörperung Measuring standard
21 21
Markierung mark
21a 21a
Hilfsmarkierung marking aid
22 22
Durchbruch breakthrough
22a 22a
Ausnehmung recess
22b 22b
Tiefe der Ausnehmung Depth of the recess
23 23
Materialband Bracelet material
24 24
Seitensteg side web
25 25
Mittellinie center line
26 26
Dicke des Maßbands Thickness of the tape measure
27 27
Breite des Maßbands Width of the tape measure
30 30
Abtastvorrichtung scanning
31 31
Wechselstromquelle AC power source
32 32
Analog-Digital-Wandler Analog to digital converter
33 33
programmierbarer Digitalrechner programmable digital computer
34 34
Auswertebaugruppe evaluation module
40 40
Empfängerspule receiver coil
41 41
Senderwindungsanordnung Send Erwin extension arrangement
42 42
Senderfläche station area
43 43
schlangenlinienartige Leiterbahn serpentine trace
44 44
erste Gruppe first group
45 45
zweite Gruppe second group
46 46
Grenze zwischen den zwei Gruppen von schlangenlinienartigen Leiterbahnen Border between the two groups of serpentine traces
47 47
Isolierschicht insulating
50 50
Markierungsumriss mark outline
51 51
erster Randabschnitt first edge section
52 52
zweiter Randabschnitt second edge section
53 53
dritter Randabschnitt third edge section
53a 53a
dritter Randabschnitt third edge section
54 54
vierter Randabschnitt fourth edge section
54a 54a
vierter Randabschnitt fourth edge section
55 55
fünfter Randabschnitt fifth edge section
56 56
sechster Randabschnitt sixth edge section
57 57
gerader Unterabschnitt straight subsection
57a 57a
gerader Unterabschnitt straight subsection
57b 57b
knickfrei gebogener Unterabschnitt kink-free bent subsection
58 58
Ecke corner
60 60
gedachtes Rechteck imaginary rectangle
61 61
erste Rechteckseite first rectangle side
62 62
zweite Rechteckseite second rectangle side
63 63
dritte Rechteckseite third rectangle side
64 64
vierte Rechteckseite fourth rectangle side
65 65
Abstand zwischen erster und zweiter Rechteckseite Distance between first and second rectangle side
66 66
Abstand zwischen dritter und vierter Rechteckseite Distance between third and fourth rectangle side
67 67
lichter Abstand zwischen zwei benachbarten Rechtecken clear distance between two adjacent rectangles
68 68
Punkt an dem die dritte Rechteckseite mit dem Markierungsumriss zusammenfälltPoint at which the third rectangle side coincides with the marking outline
69 69
Punkt an dem die vierte Rechteckseite mit dem Markierungsumriss zusammenfälltPoint at which the fourth rectangle side coincides with the marking outline
70 70
Schaltvorrichtung switching device
71 71
erstes Schaltmittel first switching means
72 72
zweites Schaltmittel second switching means
73 73
drittes Schaltmittel third switching means
74 74
viertes Schaltmittel fourth switching means
75 75
erste Signalleitung first signal line
76 76
zweite Signalleitung second signal line
77 77
dritte Signalleitung third signal line
80 80
Operationsverstärker operational amplifiers
81 81
erste Eingangsanschlussstelle des Operationsverstärkers first input terminal of the operational amplifier
82 82
zweite Eingangsanschlussstelle des Operationsverstärkers second input terminal of the operational amplifier
83 83
erste Ausgangsanschlussstelle des Operationsverstärkers first output terminal of the operational amplifier
84 84
zweite Ausgangsanschlussstelle des Operationsverstärkers second output terminal of the operational amplifier
85 85
erster Rückkopplungswiderstand first feedback resistor
86 86
zweiter Rückkopplungswiderstand second feedback resistor

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • EP 2502030 B1 [0002, 0003] EP 2502030 B1 [0002, 0003]
  • DE 102014216036 [0003] DE 102014216036 [0003]
  • EP 1052480 B1 [0008] EP 1052480 B1 [0008]
  • DE 102007042796 A1 [0033] DE 102007042796 A1 [0033]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • http://www.ti.com/lit/ds/symlink/ts5a623157.pdf [0038] http://www.ti.com/lit/ds/symlink/ts5a623157.pdf [0038]

Claims (14)

Maßverkörperung (20) zur Verwendung in einem Positionsmesssystem (10), wobei die Maßverkörperung (20) von einem Materialband (23) gebildet wird, das aus einem ferromagnetischen Material besteht, wobei das Materialband (23) entlang einer Messrichtung (11) langgestreckt ausgebildet ist, wobei entlang der Messrichtung (11) eine Vielzahl von Markierungen (21; 21a) an dem Materialband in einer Reihe angeordnet sind, wobei die Markierungen (21) jeweils von Durchbrüchen (22) oder von Ausnehmungen (22a) mit konstanter Tiefe gebildet werden, wobei die Markierungen (21) jeweils einen Markierungsumriss (50) aufweisen, wobei zumindest ein Teil der Markierungen (21) eine binäre Zufallszahlenfolge kodiert, wobei jeder Markierungsumriss (50) vollständig innerhalb eines zugeordneten, gedachten Rechtecks (60) mit einer ersten, einer zweiten, einer dritten und einer vierten Rechteckseite (61; 62; 63; 64) angeordnet ist, wobei die erste und die zweite Rechteckseite (61; 62) parallel zur Messrichtung (11) verlaufen, wobei die Markierungsumrisse (50) jeweils wenigstens einen geraden ersten Randabschnitt (51) aufweisen, welcher mit einer zugeordneten ersten Rechteckseite (61) zusammenfällt, wobei die Markierungsumrisse (50) jeweils wenigstens einen geraden zweiten Randabschnitt (52) aufweisen, der mit einer zugeordneten zweiten Rechteckseite (62) zusammenfällt, wobei die dritte und die vierte Rechteckseite (63; 64) jeweils zumindest an einem Punkt (68; 69) mit dem zugeordneten Markierungsumriss (50) zusammenfallen, wobei der Abstand der dritten Rechteckseiten (63) zweier unmittelbar benachbarter gedachten Rechtecke (60) jeweils ein ganzzahliges Vielfaches eines ersten Teilungsabstands (λ) ist, dadurch gekennzeichnet, dass der lichte Abstand (67) zweier unmittelbar benachbarter, gedachter Rechtecke (60) verschieden von einem ganzzahligen Vielfachen des ersten Teilungsabstands (λ) ist. Measuring standard ( 20 ) for use in a position measuring system ( 10 ), wherein the material measure ( 20 ) of a material strip ( 23 ), which consists of a ferromagnetic material, wherein the material band ( 23 ) along a measuring direction ( 11 ) is elongated, wherein along the measuring direction ( 11 ) a variety of markers ( 21 ; 21a ) are arranged on the strip of material in a row, wherein the markings ( 21 ) each of breakthroughs ( 22 ) or recesses ( 22a ) are formed with constant depth, the markings ( 21 ) each have a marking outline ( 50 ), wherein at least a part of the markings ( 21 ) encodes a binary random number sequence, each marker contour ( 50 ) completely within an associated imaginary rectangle ( 60 ) with a first, a second, a third and a fourth rectangle side ( 61 ; 62 ; 63 ; 64 ), wherein the first and the second side of the rectangle ( 61 ; 62 ) parallel to the measuring direction ( 11 ), the marker outlines ( 50 ) at least one straight first edge portion ( 51 ), which with an associated first rectangle side ( 61 ), the marker outlines ( 50 ) each have at least one straight second edge portion ( 52 ) associated with an associated second rectangle side ( 62 ), wherein the third and the fourth rectangle side ( 63 ; 64 ) in each case at least at one point ( 68 ; 69 ) with the associated marking outline ( 50 ), wherein the distance of the third rectangle sides ( 63 ) of two immediately adjacent imaginary rectangles ( 60 ) is an integer multiple of a first pitch (λ), characterized in that the clear distance ( 67 ) of two immediately adjacent, imaginary rectangles ( 60 ) is different from an integer multiple of the first pitch (λ). Maßverkörperung nach Anspruch 1, wobei die Markierungsumrisse (50) jeweils vollständig mit dem zugeordneten gedachten Rechteck (60) zusammenfallen. A measuring scale according to claim 1, wherein the marking outlines ( 50 ) in each case completely with the associated imaginary rectangle ( 60 ) coincide. Maßverkörperung nach Anspruch 1, wobei der dritten Rechteckseite (63) ein einziger gerader dritter Randabschnitt (53) des betreffenden Markierungsumrisses (50) zugeordnet ist, wobei der vierten Rechteckseite (64) ein einziger gerader vierter Randabschnitt (64) des betreffenden Markierungsumrisses (50) zugeordnet ist, wobei der dritte und der vierte Randabschnitt (53; 54) parallel zueinander angeordnet sind, wobei sie mit der Messrichtung (11) einen von 90° verschiedenen Winkel einschließen. A measuring scale according to claim 1, wherein the third rectangle side ( 63 ) a single straight third edge portion ( 53 ) of the relevant marking outline ( 50 ), the fourth rectangle side ( 64 ) a single straight fourth edge portion ( 64 ) of the relevant marking outline ( 50 ), wherein the third and the fourth edge section ( 53 ; 54 ) are arranged parallel to one another, whereby they are aligned with the measuring direction ( 11 ) include an angle other than 90 °. Maßverkörperung nach Anspruch 1, wobei der dritten Rechteckseite (63) ein nach außen oder nach innen gebogen verlaufender dritter Randabschnitt (53a) des Markierungsumrisses (50) zugeordnet ist, wobei der vierten Rechteckseite (64) ein nach außen oder nach innen gebogen verlaufender vierter Randabschnitt (54a) des Markierungsumrisses (50) zugeordnet ist. A measuring scale according to claim 1, wherein the third rectangle side ( 63 ) an outwardly or inwardly bent extending third edge portion ( 53a ) of the marking outline ( 50 ), the fourth rectangle side ( 64 ) a curved outwardly or inwardly extending fourth edge portion ( 54a ) of the marking outline ( 50 ) assigned. Maßverkörperung nach Anspruch 4, wobei der dritte und der vierte Randabschnitt (53a; 54a) jeweils zwei gerade Unterabschnitte (57) aufweisen, welche einen Winkel einschließen, der größer als 90° ist. A measuring scale according to claim 4, wherein the third and fourth edge portions ( 53a ; 54a ) two straight subsections each ( 57 ), which enclose an angle greater than 90 °. Maßverkörperung nach Anspruch 5, wobei die beiden einander zugeordneten geraden Unterabschnitte (57) in einer Ecke (58) oder in einem Kreisradius aneinandergrenzen. Measurement standard according to claim 5, wherein the two associated straight subsections ( 57 ) in a corner ( 58 ) or in a circle radius adjoin. Maßverkörperung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die der ersten und der zweiten Rechteckseite (61; 62) zugeordneten Randabschnitte des Markierungsumrisses (50) spiegelsymmetrisch zueinander ausgebildet sind. Measurement standard according to one of the preceding claims, wherein the first and the second side of the rectangle ( 61 ; 62 ) associated edge portions of the marking outline ( 50 ) are mirror-symmetrical to each other. Maßverkörperung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der ersten Rechteckseite (61) wenigstens ein fünfter Randabschnitt (55) des Markierungsumrisses (50) zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung (11) gebogen verläuft, wobei der zweiten Rechteckseite (62) wenigstens ein sechster Randabschnitt (56) des Markierungsumrisses (50) zugeordnet ist, welcher bezüglich der Messrichtung (11) gebogen verläuft. Measurement standard according to one of the preceding claims, wherein the first side of the rectangle ( 61 ) at least a fifth edge portion ( 55 ) of the marking outline ( 50 ), which with respect to the measuring direction ( 11 ) is bent, wherein the second side of the rectangle ( 62 ) at least a sixth edge portion ( 56 ) of the marking outline ( 50 ), which with respect to the measuring direction ( 11 ) is bent. Maßverkörperung nach Anspruch 8, wobei der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt (55; 56) wenigstens einen geraden Unterabschnitt (57a) aufweist. Measurement standard according to claim 8, wherein the fifth and / or the sixth edge portion ( 55 ; 56 ) at least one straight subsection ( 57a ) having. Maßverkörperung nach Anspruch 8 oder 9, wobei der fünfte und/oder der sechste Randabschnitt (55; 56) wenigstens einen knickfrei gebogenen Unterabschnitt (57b) aufweist. Measuring standard according to claim 8 or 9, wherein the fifth and / or the sixth edge portion ( 55 ; 56 ) at least one kink-free bent subsection ( 57b ) having. Maßverkörperung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die ersten Randabschnitte (51) aller Markierungsumrisse (50) in Messrichtung (11) in einer Flucht angeordnet sind, wobei die zweiten Randabschnitte (52) aller Markierungsumrisse (50) in Messrichtung (11) in einer Flucht angeordnet sind. Measurement standard according to one of the preceding claims, wherein the first edge sections ( 51 ) of all marking outlines ( 50 ) in the measuring direction ( 11 ) are arranged in an alignment, wherein the second edge sections ( 52 ) of all marking outlines ( 50 ) in the measuring direction ( 11 ) are arranged in a flight. Maßverkörperung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Abstand (66) der dritten und der vierten Rechteckseite (63; 64) zwischen 20% und 50% des ersten Teilungsabstands (λ) größer als das nächstkommende ganzzahlige Vielfache des ersten Teilungsabstands (λ) ist. Measuring standard according to one of the preceding claims, wherein the distance ( 66 ) of the third and the fourth rectangle side ( 63 ; 64 ) between 20% and 50% of the first pitch (λ) is greater than the nearest integer multiple of the first pitch (λ). Positionsmesssystem (10) mit einer Maßverkörperung (20) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei eine Abtastvorrichtung (30) vorgesehen ist, die wenigstens fünf Empfängerspulen (40) aufweist, die in Messrichtung (11) in einer Reihe angeordnet sind, wobei die Abtastvorrichtung (30) eine Senderwindungsanordnung (41) aufweist, die unbeweglich relativ zu den Empfängerspulen (40) ist, wobei die Abtastvorrichtung (30) in Messrichtung (11) entlang der Maßverkörperung (20) bewegbar ist, wobei die Empfängerspulen (40), die Senderwindungsanordnung (41) und die Maßverkörperung (20) so angeordnet sind, dass die Stellung der Maßverkörperung (20) gegenüber der Abtastvorrichtung (30) die induktive Kopplung zwischen der Senderwindungsanordnung (41) und den Empfängerspulen (40) beeinflusst. Position measuring system ( 10 ) with a material measure ( 20 ) according to one of the preceding Claims, wherein a scanning device ( 30 ) is provided, the at least five receiver coils ( 40 ), which in the measuring direction ( 11 ) are arranged in a row, wherein the scanning device ( 30 ) a transmitter coil arrangement ( 41 ) immovable relative to the receiver coils (FIG. 40 ), wherein the scanning device ( 30 ) in the measuring direction ( 11 ) along the material measure ( 20 ) is movable, wherein the receiver coils ( 40 ), the transmitter coil arrangement ( 41 ) and the material measure ( 20 ) are arranged so that the position of the material measure ( 20 ) relative to the scanning device ( 30 ) the inductive coupling between the transmitter winding arrangement ( 41 ) and the receiver coils ( 40 ). Maßverkörperung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Senderwindungsanordnung (41) mehrere gesonderte Senderflächen (42) umgrenzt, welche in Messrichtung (11) in einer Reihe angeordnet sind, wobei in einer Senderfläche (42) höchstens eine zugeordnete Empfängerspule (40) angeordnet ist. Measurement standard according to one of the preceding claims, wherein the transmitter coil arrangement ( 41 ) several separate transmitter surfaces ( 42 ), which in the measuring direction ( 11 ) are arranged in a row, wherein in a transmitter area ( 42 ) at most one associated receiver coil ( 40 ) is arranged.
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