DE102013226203A1 - Offset compensated position measuring device - Google Patents

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DE102013226203A1 DE102013226203.5A DE102013226203A DE102013226203A1 DE 102013226203 A1 DE102013226203 A1 DE 102013226203A1 DE 102013226203 A DE102013226203 A DE 102013226203A DE 102013226203 A1 DE102013226203 A1 DE 102013226203A1
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Positionsmessvorrichtung mit einer Maßverkörperung (50) und einem Abtastkopf, der eine Auswerteelektronik (80) und eine Sensoranordnung (20) zur Abtastung der Maßverkörperung aufweist, wobei auf der Maßverkörperung (50) in Messrichtung ein Markierungsbereich (53) mit Markierungen (51) ausgebildet ist, wobei der Abtastkopf wenigstens eine Empfängerspule (40) und eine Kompensationsspule (41), die seriell geschaltet sind und denen jeweils eine Senderspule (30, 31) zugeordnet ist, aufweist, wobei die Empfängerspule (40) und die ihr zugeordnete Senderspule (30) dem Markierungsbereich (53) zugeordnet sind, wobei die Kompensationsspule (41) und die ihr zugeordnete Senderspule (31) nicht dem Markierungsbereich (53) zugeordnet sind.The invention relates to a position measuring device having a measuring graduation (50) and a scanning head, which has evaluation electronics (80) and a sensor arrangement (20) for scanning the material measure, wherein a marking region (53) with markings (53) is provided on the material measure (50) in the measuring direction. 51), wherein the scanning head at least one receiver coil (40) and a compensation coil (41), which are connected in series and each having a transmitter coil (30, 31) is associated, wherein the receiver coil (40) and its associated Transmitter coil (30) are associated with the marking area (53), wherein the compensation coil (41) and its associated transmitter coil (31) are not associated with the marking area (53).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmessvorrichtung. The present invention relates to a position measuring device.

Stand der Technik State of the art

Induktive Sensoriken arbeiten häufig nach dem Übertragerprinzip. Dabei erzeugt eine bestromte Erregerstruktur ein magnetisches Wechselfeld, das von einer (i.d.R. galvanisch getrennten) Empfängerstruktur erfasst werden kann. Wird von außen Einfluss auf die Verteilung des magnetischen Feldes genommen – z.B. durch Anwesenheit von magnetisch oder elektrisch leitfähigen Materialien – so wirkt sich dies nach dem Induktionsgesetz auf die messbare Spannung der Empfängerspule aus. Mit diesem Prinzip wird eine berührungslose induktive Messung möglich. Inductive sensor systems often work according to the transformer principle. An energized exciter structure generates an alternating magnetic field that can be detected by a receiver structure that is galvanically isolated. If external influence is exerted on the distribution of the magnetic field - e.g. by the presence of magnetically or electrically conductive materials - this has an effect on the measurable voltage of the receiver coil according to the law of induction. With this principle, a non-contact inductive measurement is possible.

Die induktive Messung ist zunächst prinzipbedingt stark offsetbehaftet. Als Nutzsignal kann nämlich nur der Signalanteil bezeichnet werden, um den das empfangene Signal – durch die äußeren Einflüsse moduliert – schwankt. Typischerweise liegt der Anteil des Nutzsignals bei nur etwa 1 ‰ bis max. 10% des Gesamtsignals. Das restliche Signal ist Offset und i.d.R. unerwünscht. Initially, the inductive measurement is strongly offset-related in principle. Namely, only the signal component by which the received signal is modulated by the external influences fluctuates as the useful signal. Typically, the proportion of the useful signal is only about 1 ‰ to max. 10% of the total signal. The rest of the signal is offset and i.d.R. undesirable.

Zur Offsetbefreiung kann ein differentieller Aufbau gewählt werden. Beispielsweise können jeweils zwei Empfängerwindungen ein differentielles Paar bilden. Die beiden Windungen sind mit entgegengesetztem Wicklungssinn in Reihe verschaltet, sodass als messbares Signal nur die Differenz der beiden Spulensignale erhalten bleibt, ein Offset wird eliminiert. Anstelle einer differentiellen Empfängerspule ist es ebenso denkbar, die Senderspule differentiell zu gestalten, um eine Offsetfreiheit zu erreichen. Dadurch wirkt bereits das magnetische Wechselfeld differentiell auf die Empfängerspule. Das Empfangssignal einer Empfängerspule ist damit offsetfrei. For offset relief, a differential structure can be selected. For example, two receiver turns each can form a differential pair. The two windings are connected in series with opposite winding sense, so that as a measurable signal only the difference of the two coil signals is maintained, an offset is eliminated. Instead of a differential receiver coil, it is also conceivable to differentiate the transmitter coil in order to achieve offset freedom. As a result, the alternating magnetic field already acts differentially on the receiver coil. The received signal of a receiver coil is thus offset-free.

Aus der US 6 271 661 B1 ist ein induktives absolutes Positionsmesssystem bekannt, das als Maßverkörperung Markierungen in einer zufälligen Reihenfolge aufweist, wobei eine Markierung einen von mehr als zwei Informationszuständen darstellen kann. Zur Abtastung der Maßverkörperung werden Einzelsensoren mit differentiell arbeitenden Empfängerspulen benutzt. Dabei gibt es zwei Gruppen von Einzelsensoren, die um einen Bruchteil der Markierungsabstände zueinander versetzt sind. Zudem gibt es eine gesonderte Senderspule je Gruppe von Einzelsensoren. From the US Pat. No. 6,271,661 B1 For example, an inductive absolute position measuring system is known, which has as a material measure markings in a random order, wherein a mark can represent one of more than two information states. For scanning the material measure, individual sensors with differential receiver coils are used. There are two groups of individual sensors, which are offset by a fraction of the marking distances from each other. There is also a separate transmitter coil per group of individual sensors.

Aus der EP 1 164 358 B1 ist ein induktives Längenmesssystem bekannt, bei dem Paare von differentiell zueinander geschalteten Empfängerspulen zur Kompensation eines Offsets vorgesehen sind. From the EP 1 164 358 B1 an inductive length measuring system is known in which pairs of receiver coils which are connected to one another in a different manner are provided for compensating for an offset.

Die EP 2 502 030 B1 offenbart eine induktive Messeinrichtung, bei der es zwei Zustände für Markierungen auf einer Maßverkörperung gibt, welche in zwei Reihen ausgebildet sind. Ein Sensor umfasst hier differentiell zusammengeschaltete Empfängerspulenpaare, wobei die Einzelspulen jeweils quer nebeneinander zur Messrichtung angeordnet sind. Jedem Empfängerspulenpaar ist eine Senderspule zugeordnet. The EP 2 502 030 B1 discloses an inductive measuring device in which there are two states for marks on a measuring scale, which are formed in two rows. In this case, a sensor comprises pairs of receiver coils which are connected together in a different manner, the individual coils being arranged in each case transversely to one another relative to the measuring direction. Each receiver coil pair is assigned a transmitter coil.

Zur Offsetbefreiung sind bei den Messsystemen im Stand der Technik immer differentiell geschaltete Empfängerspulen im Sensor und Markierungen in mehreren Reihen zur absoluten Positionsbestimmung nötig, was einen relativ aufwändigen Aufbau bedingt. For offset relief, the measuring systems in the prior art always require differentially connected receiver coils in the sensor and markings in several rows for absolute position determination, which requires a relatively complex construction.

Es ist daher wünschenswert, eine Positionsmessvorrichtung anzugeben, bei dem eine einfachere Maßverkörperung und einfachere Konstruktion und Fertigung des Sensors erzielt werden. It is therefore desirable to provide a position measuring device in which a simpler material measure and simpler design and manufacture of the sensor can be achieved.

Offenbarung der Erfindung Disclosure of the invention

Erfindungsgemäß wird eine Positionsmessvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 vorgeschlagen. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der nachfolgenden Beschreibung. According to the invention, a position measuring device with the features of claim 1 is proposed. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims and the following description.

Eine erfindungsgemäße Positionsmessvorrichtung weist eine Maßverkörperung, insbesondere eine absolute Maßverkörperung, und einen gegenüber der Maßverkörperung in einer Messrichtung beweglich gelagerten Abtastkopf mit einer Auswerteelektronik und einer Sensoranordnung zur Abtastung der Maßverkörperung auf. Auf der Maßverkörperung sind in Messrichtung in einem Markierungsbereich Markierungen ausgebildet und der Abtastkopf weist wenigstens eine Empfängerspule und eine Kompensationsspule auf, die seriell geschaltet sind und denen jeweils eine Senderspule zugeordnet ist, wobei die Empfängerspule und die ihr zugeordnete Senderspule dem Markierungsbereich zugeordnet sind und wobei die Kompensationsspule und die ihr zugeordnete Senderspule nicht dem Markierungsbereich zugeordnet sind. A position measuring device according to the invention has a measuring standard, in particular an absolute measuring graduation, and a scanning head movably mounted relative to the material measure in a measuring direction, with evaluation electronics and a sensor arrangement for scanning the material measure. Markings are formed in the measurement direction in a marking region on the measuring direction and the scanning head has at least one receiver coil and a compensation coil which are connected in series and to each of which a transmitter coil is assigned, wherein the receiver coil and its associated transmitter coil are assigned to the marking region and wherein Compensation coil and its associated transmitter coil are not assigned to the marking area.

Vorteile der Erfindung Advantages of the invention

Die Erfindung führt zu einer deutlichen Reduzierung einer Offsetspannung im Messsignal. Es wurde erkannt, dass vor der Signalverarbeitung keine komplette Offset-Befreiung nötig ist, sondern dass es ausreicht, eine Offsetspannung im Messsignal um einen so großen Betrag zu schwächen, dass die Pegel von Nutzsignal und verbleibender Offsetspannung etwa in der gleichen Größenordnung liegen. Damit kann das (nun im Pegel deutlich kleinere) Empfangssignal bereits analog deutlich höher verstärkt werden. Der eigentliche Nutzsignalanteil deckt damit den Eingangsspannungsbereich einer Signalverarbeitung (insbesondere Analog-Digital-Umsetzung) deutlich besser ab, sodass keine sehr hohe ADC-Eingangsauflösung nötig ist. Eine verbleibende Offsetspannung kann durch eine nachfolgende digitale Signalverarbeitung kompensiert werden (entweder dynamisch oder durch Kalibrierung). The invention leads to a significant reduction of an offset voltage in the measurement signal. It was recognized that before the signal processing, no complete offset-freeing is necessary, but that it is sufficient to weaken an offset voltage in the measurement signal by such a large amount that the levels of useful signal and remaining Offset voltage are about the same order of magnitude. Thus, the (now in the level much smaller) received signal can be amplified analogously much higher. The actual useful signal component thus covers the input voltage range of a signal processing (in particular analog-to-digital conversion) much better, so that no very high ADC input resolution is necessary. A remaining offset voltage can be compensated by subsequent digital signal processing (either dynamically or by calibration).

Vorteilhafterweise sind die Kompensationsspule und die ihr zugeordnete Senderspule einem markierungsfreien Bereich auf der Maßverkörperung, der frei von Markierungen ist, zugeordnet. Insbesondere ist dieser markierungsfreie Bereich parallel zu dem Markierungsbereich auf der Maßverkörperung ausgebildet. Dadurch können Kompensationsspule und Empfängerspule gemeinsam in der Sensoranordnung ausbildet sein und die Maßverkörperung ist einfach zu fertigen. Hierzu ist bspw. lediglich eine etwas breitere Maßverkörperung nötig. Advantageously, the compensation coil and the transmitter coil associated therewith are associated with a mark-free area on the material measure which is free of markings. In particular, this mark-free region is formed parallel to the marking region on the material measure. As a result, compensation coil and receiver coil can be formed together in the sensor arrangement and the material measure is easy to manufacture. For this purpose, for example, only a slightly wider scale is necessary.

Vorzugsweise ist die Kompensationsspule zusammen mit der Empfängerspule als eine gemeinsame Spule ausgebildet sein, d.h. ein Teil ein und derselben Spule wird als Kompensationsspule und ein anderer Teil als Empfängerspule genutzt. Insbesondere erstreckt sich diese eine Spule dann über beide Bereiche auf der Maßverkörperung. Dies ermöglicht einen einfachen Aufbau des Sensors, da keine gesonderte Kompensationsspule nötig ist. Preferably, the compensation coil is formed together with the receiver coil as a common coil, i. a part of the same coil is used as a compensation coil and another part as a receiver coil. In particular, this one coil then extends over both areas on the material measure. This allows a simple construction of the sensor, since no separate compensation coil is necessary.

Alternativ ist die Empfängerspule Teil der Sensoranordnung und die Kompensationsspule Teil der Auswerteelektronik. Hierbei sind zwei getrennte Spulen nötig, jedoch kann durch die räumliche Trennung eine bessere Offset-Reduzierung im Signal erreicht werden, da die Kompensationsspule nicht von neben der Kompensationsspule angeordneten Markierungen beeinflusst werden kann. Alternatively, the receiver coil is part of the sensor arrangement and the compensation coil part of the evaluation. In this case, two separate coils are necessary, but can be achieved by the spatial separation better offset reduction in the signal, since the compensation coil can not be influenced by arranged next to the compensation coil markings.

Vorteilhafterweise sind die der Empfängerspule und die der Kompensationsspule zugeordneten Senderspulen in Reihe geschaltet und mit derselben Stromquelle verbunden. Dadurch wird eine einfache Schaltungsanordnung ermöglicht. Advantageously, the receiver coil and the compensation coil associated transmitter coils are connected in series and connected to the same power source. This allows a simple circuit arrangement.

Alternativ sind die genannten Senderspulen mit verschiedenen Stromquellen verbunden, insbesondere ist die Stromquelle, von der die der Empfängerspule zugeordnete Senderspule mit Strom versorgt wird, zur Reduzierung einer Offsetspannung in einem Messsignal einstellbar. Damit kann eine bessere Offset-Reduzierung erreicht werden. Alternatively, the said transmitter coils are connected to different current sources, in particular the current source, from which the transmitter coil associated with the transmitter coil is supplied with power, adjustable to reduce an offset voltage in a measurement signal. This allows a better offset reduction can be achieved.

Es ist von Vorteil, wenn die Empfängerspule, die Kompensationsspule und die ihnen zugeordneten Senderspulen so geschaltet sind, dass eine in der Kompensationsspule von einem Magnetfeld induzierte Spannung eine in der Empfängerspule von demselben Magnetfeld induzierte Spannung reduziert bzw. kompensiert. Durch eine solche Abstimmung der einzelnen Spulen aufeinander kann eine weitere nötige Offset-Minimierung bereits vorab durch die Spulen an sich reduziert werden. It is advantageous if the receiver coil, the compensation coil and their associated transmitter coils are connected so that a voltage induced in the compensation coil by a magnetic field reduces or compensates for a voltage induced in the receiver coil by the same magnetic field. By such a vote of the individual coils successive another offset minimization can already be reduced in advance by the coils per se.

Vorteilhafterweise sind in dem Abtastkopf wenigstens zwei Empfängerspulen umfasst, wobei jeder Empfängerspule eine Kompensationsspule und entsprechend Senderspulen zugeordnet sind. Damit können mehrere Markierungen gleichzeitig erfasst werden und die Spulen können fest verschaltet werden. Advantageously, at least two receiver coils are included in the scanning head, each receiver coil being associated with a compensation coil and corresponding to transmitter coils. This allows multiple markers to be detected simultaneously and the coils can be permanently interconnected.

Alternativ umfasst der Abtastkopf nur eine Kompensationsspule, die mittels eines Multiplexers, der insbesondere zu einer Auswerteelektronik gehört, jeweils abwechselnd mit der Kompensationsspule verbindbar ist. Dadurch kann die Sensoranordnung einfacher und kompakter aufgebaut werden. Alternatively, the scanning head comprises only one compensation coil, which is in each case alternately connectable to the compensation coil by means of a multiplexer, which in particular belongs to evaluation electronics. As a result, the sensor arrangement can be made simpler and more compact.

Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der beiliegenden Zeichnung. Further advantages and embodiments of the invention will become apparent from the description and the accompanying drawings.

Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachfolgend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. It is understood that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the particular combination indicated, but also in other combinations or in isolation, without departing from the scope of the present invention.

Die Erfindung ist anhand von Ausführungsbeispielen in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung ausführlich beschrieben. The invention is illustrated schematically by means of exemplary embodiments in the drawing and will be described in detail below with reference to the drawing.

Figurenbeschreibung figure description

1 zeigt schematisch eine Sensoranordnung und eine Auswerteelektronik für eine erfindungsgemäße Positionsmessvorrichtung in einer bevorzugten Ausgestaltung. 1 schematically shows a sensor arrangement and an evaluation for a position measuring device according to the invention in a preferred embodiment.

2 zeigt schematisch eine Sensoranordnung und eine Auswerteelektronik für eine erfindungsgemäße Positionsmessvorrichtung in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung. 2 schematically shows a sensor arrangement and an evaluation for a position measuring device according to the invention in a further preferred embodiment.

3 zeigt schematisch eine Sensoranordnung und eine Auswerteelektronik für eine erfindungsgemäße Positionsmessvorrichtung in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung. 3 schematically shows a sensor arrangement and an evaluation for a position measuring device according to the invention in a further preferred embodiment.

4 zeigt schematisch eine Sensoranordnung und eine Auswerteelektronik für eine erfindungsgemäße Positionsmessvorrichtung in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung. 4 schematically shows a sensor arrangement and an evaluation for a position measuring device according to the invention in a further preferred embodiment.

Detaillierte Beschreibung der Zeichnung Detailed description of the drawing

In 1 sind schematisch eine Sensoranordnung 20 und eine Auswerteelektronik 80 eines Abtastkopfes einer erfindungsgemäßen Positionsmessvorrichtung in einer bevorzugten Ausgestaltung dargestellt. In 1 are schematically a sensor arrangement 20 and an evaluation 80 a scanning head of a position measuring device according to the invention shown in a preferred embodiment.

Die Sensoranordnung 20 umfasst beispielhaft eine Empfängerspule 40 und eine ihr zugeordnete Senderspule 30. Die Auswerteelektronik 80 umfasst eine Kompensationsspule 41 und eine ihr zugeordnete Senderspule 31. Empfängerspule 40 und Kompensationsspule 41 sind in Reihe geschaltet und an einen Verstärker 81 angeschlossen. Die beiden Senderspulen 30, 31 sind ebenfalls in Reihe geschaltet und an eine Stromquelle 85 angeschlossen. Die Kompensationsspule 41 zusammen mit der Senderspule 31 kann bspw. als sog. Kompensationsübertrager ausgebildet sein. Dies ist bspw. in Form einer Leiterplatte mit darauf ausgebildeten Planarspulen möglich. Ebenso arbeitet das System aus Empfängerspule 40 und zugeordneter Senderspule 30 nach dem Übertragerprinzip. Die Wicklungssinne der beiden Übertrager sind durch Punkte angezeigt. Die Empfängerspule und die Kompensationsspule sind so in Reihe geschaltet sind, dass die in der Kompensationsspule 41 von der Senderspule 31 induzierte Spannung die in der Empfängerspule 40 von der Senderspule 30 induzierte Spannung reduziert. The sensor arrangement 20 includes by way of example a receiver coil 40 and a transmitter coil associated therewith 30 , The evaluation electronics 80 includes a compensation coil 41 and a transmitter coil associated therewith 31 , receiver coil 40 and compensation coil 41 are connected in series and to an amplifier 81 connected. The two transmitter coils 30 . 31 are also connected in series and to a power source 85 connected. The compensation coil 41 together with the transmitter coil 31 may, for example, be designed as a so-called compensation transformer. This is possible, for example, in the form of a printed circuit board with planar coils formed thereon. Likewise, the system works from receiver coil 40 and associated transmitter coil 30 according to the transformer principle. The winding sense of the two transformers are indicated by dots. The receiver coil and the compensation coil are connected in series, that in the compensation coil 41 from the transmitter coil 31 induced voltage in the receiver coil 40 from the transmitter coil 30 induced voltage reduced.

Die beiden Bauteile Sensoranordnung 20 und Auswerteelektronik 80 sind in realer Ausgestaltung räumlich voneinander getrennt. Der Sensor 20 wird nahe einer Maßverkörperung, vorzugsweise aus ferromagnetischem Metall, auf der Markierungen ausgebildet sind, entlang geführt. Solche Markierungen können bspw. als Löcher in der Maßverkörperung ausgebildet sein. Die Auswerteelektronik 80 ist bspw. über der Sensoranordnung 20, jedoch innerhalb des Abtastkopfes, angeordnet, sodass keine räumliche Nähe zur Maßverkörperung besteht. The two components sensor arrangement 20 and evaluation electronics 80 are spatially separated from each other in real design. The sensor 20 is near a material measure, preferably made of ferromagnetic metal, are formed on the markings along. Such markings may be formed, for example, as holes in the material measure. The evaluation electronics 80 is, for example, above the sensor array 20 but within the scanning head, so that there is no spatial proximity to the measuring scale.

In die Erregerspulen 30, 31 wird beim Betrieb der Positionsmessvorrichtung jeweils ein Sender-Wechselstrom (z.B. 100 kHz) mittels der Stromquelle 85 eingespeist, der effektive Kreisströme verursacht. In der Empfängerspule 40 bzw. der Kompensationsspule 41 wird dadurch eine Wechselspannung induziert. Wenn keine Maßverkörperung vorhanden wäre, wären diese Wechselspannungen betragsmäßig gleich jedoch mit entgegen gesetztem Vorzeichen, so dass sie sich exakt aufheben. Markierungen verursachen in der Empfängerspule 40 veränderte Wechselspannungen, wodurch zusammen mit der Kompensationsspule ein Nutzsignal entsteht, das am Verstärker 81 entsprechend verarbeitet werden kann. In the excitation coils 30 . 31 When operating the position measuring device in each case a transmitter alternating current (eg 100 kHz) by means of the power source 85 fed, which causes effective circulating currents. In the receiver coil 40 or the compensation coil 41 This will induce an AC voltage. If no material measure were present, these alternating voltages would be equal in magnitude, however, with opposite sign, so that they cancel each other exactly. Markers cause in the receiver coil 40 changed AC voltages, which together with the compensation coil generates a useful signal, the amplifier 81 can be processed accordingly.

Die Sensoranordnung 20 kann allerdings auch mehrere Empfängerspulen 40, Kompensationsspulen 41 und zugeordnete Senderspulen 30, 31 umfassen, je nach bevorzugter Anwendung, d.h. wie viele Markierungen auf der absoluten Maßverkörperung gleichzeitig überdeckt und/oder ausgelesen werden sollen. The sensor arrangement 20 but can also have multiple receiver coils 40 , Compensation coils 41 and associated transmitter coils 30 . 31 include, depending on the preferred application, ie how many marks on the absolute measuring scale should be concealed and / or read out at the same time.

In 2 sind schematisch eine Sensoranordnung 20 und eine Auswerteelektronik 80 eines Abtastkopfes in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung dargestellt. In 2 are schematically a sensor arrangement 20 and an evaluation 80 a scanning head shown in a further preferred embodiment.

Im Wesentlichen stimmt die Ausgestaltung mit der der 1 überein, mit der Ausnahme, dass die Senderspulen 30, 31 von verschiedenen Stromquellen 86, 85 versorgt werden. Hier werden zwar zwei Stromquellen, benötigt, jedoch kann damit die Kompensation, was einer Offset-Minimierung entspricht, genauer angepasst werden, d.h. die Signale können optimal aufeinander abgestimmt werden. In essence, the design agrees with that of 1 match, except that the transmitter coils 30 . 31 from different power sources 86 . 85 be supplied. Although two current sources are needed here, the compensation, which corresponds to offset minimization, can be adjusted more precisely, ie the signals can be optimally matched to one another.

In 3 sind schematisch eine Sensoranordnung 20 und eine Auswerteelektronik 80 eines Abtastkopfes in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung dargestellt. In 3 are schematically a sensor arrangement 20 and an evaluation 80 a scanning head shown in a further preferred embodiment.

Die Sensoranordnung 20 umfasst beispielhaft mehrere Empfängerspulen 40 und eine Kompensationsspule 41. Die Auswerteelektronik 80 umfasst einen Verstärker 81 sowie einen Multiplexer 82 und eine Stromquelle 85. Den Empfängerspulen 40 und der Kompensationsspule 41 sind jeweils Senderspulen 30, 31 zugordnet, die in Reihe geschaltet und an eine Spannungsversorgung 85 angeschlossen sind. The sensor arrangement 20 exemplifies several receiver coils 40 and a compensation coil 41 , The evaluation electronics 80 includes an amplifier 81 as well as a multiplexer 82 and a power source 85 , The receiver coils 40 and the compensation coil 41 are each transmitter coils 30 . 31 assigned, which are connected in series and to a power supply 85 are connected.

Die Kompensationsspule 41 kann mittels des Multiplexers 82 abwechselnd mit einer der Empfängerspulen 40 in Reihe geschaltet und mit einem Verstärker 81 verbunden werden. Somit wird eine Kompensation jeweils für eine Empfängerspule ermöglicht, welche daher abwechselnd ausgelesen werden. Das Funktionsprinzip der Kompensation ist wie bei den zuvor genannten Positionsmessvorrichtungen. Die Kompensationsspule 41 und die zugeordnete Senderspule 31 sind räumlich entfernt von den Markierungen der Maßverkörperung angeordnet, so dass sie von diesen nicht beeinflusst werden. The compensation coil 41 can by means of the multiplexer 82 alternating with one of the receiver coils 40 connected in series and with an amplifier 81 get connected. Thus, a compensation is made possible for a receiver coil, which are therefore read out alternately. The operating principle of the compensation is the same as with the previously mentioned position measuring devices. The compensation coil 41 and the associated transmitter coil 31 are arranged spatially distant from the marks of the material measure, so that they are not affected by these.

In 4 sind schematisch eine Maßverkörperung 50 und eine Sensoranordnung 20 einer in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung dargestellt. In 4 are schematically a material measure 50 and a sensor arrangement 20 one shown in a further preferred embodiment.

Die Maßverkörperung 50 weist zwei parallele Bereiche 53, 54 auf, wobei in einem Markierungsbereich 53 in Messrichtung 11 Markierungen 51 der Länge λ ausgebildet sind. In einem markierungsfreien Bereich 54 sind keine Markierungen ausgebildet. Die Markierungen 51 stellen einen von zwei möglichen Informationszuständen dar, je nachdem ob an einer Stelle eine Markierung, bspw. ein Loch, vorhanden ist oder nicht. Die verschiedenen Informationszustände sind mit 0 bzw. 1 unter der Maßverkörperung bezeichnet. The measuring standard 50 has two parallel areas 53 . 54 on, being in a marking area 53 in measuring direction 11 marks 51 the length λ are formed. In a mark free area 54 There are no markings. The marks 51 represent one of two possible states of information, depending on whether at one point a mark, for example a hole, is present or not. The different Information states are denoted by 0 or 1 under the material measure.

Die Sensoranordnung 20 umfasst drei ebene Schichten von elektrischen Leiterbahnen, die entgegen der Darstellung übereinander angeordnet sind, wobei sie elektrisch voneinander isoliert sind. Die Schicht, die links dargestellt ist, umfasst beispielhaft drei Empfängerspulen 40 und drei Kompensationsspulen 41, wobei je eine Empfängerspule und die zugehörige Kompensationsspule als Teile ein und derselben Spule, die jeweils eine Teilung λ in Messrichtung 11 lang ist, ausgebildet sind. Mit den Bezugszeichen a, b, c sind die Positionen der drei Empfängerspulen 40 und Kompensationsspulen 41 innerhalb der Sensoranordnung 20 gekennzeichnet. Die Empfängerspulen 40 und Kompensationsspulen 41 können zusammen jeweils als eine einfache Windung in einer Schicht bzw. Lage einer Mehrschicht- bzw. Mehrlagenanordnung ausgebildet sein. The sensor arrangement 20 comprises three planar layers of electrical conductors, which are arranged opposite to each other, wherein they are electrically insulated from each other. The layer shown on the left comprises, for example, three receiver coils 40 and three compensation coils 41 , wherein each one receiver coil and the associated compensation coil as parts of the same coil, each having a pitch λ in the measuring direction 11 is long, educated. With the reference symbols a, b, c are the positions of the three receiver coils 40 and compensation coils 41 within the sensor array 20 characterized. The receiver coils 40 and compensation coils 41 can each be formed as a single turn in a layer or layer of a multilayer or multilayer arrangement.

Weiter umfasst die Sensoranordnung 20 Senderspulen 30, 31, die hier als sog. Mäanderwindungen ausgebildet sind. Jeweils zwei Mäanderwindungen 30a und 30 b bzw. 31a und 31b bilden zusammen die Senderspulen 30 und 31, wobei die beiden Mäanderwindungen in zwei verschiedenen Schichten der Mehrschichtanordnung ausgebildet sind. Der Übersichtlichkeit halber sind die beiden Mäanderwindungen 30a, 30b bzw. 31a, 31b nebeneinander dargestellt, in praktischer Ausführung liegen jedoch 30a und 30b bzw. 31a und 31b übereinander. Die genaue Lage ist mit den Bezugszeichen a, b, c angedeutet. Ebenso liegen die Mäanderwindungen und somit die Senderspulen 30, 31 in praktischer Ausführung über oder unter den Empfängerspulen 40 und Kompensationsspulen 41. Die genaue Lage ist wiederum mit den Bezugszeichen a, b, c angedeutet. Jede der Mäanderwindungen 30a, 30b, 31a, 31b hat abwechselnd zwei Rechtskurven und zwei Linkskurven, die eckige 90°-Kurven sind.. Zwischen den Kurven liegen gerade Bereiche. Furthermore, the sensor arrangement comprises 20 transmitter coils 30 . 31 , which are designed here as so-called. Mäanderwindungen. Two meander turns each 30a and 30 b or 31a and 31b together form the transmitter coils 30 and 31 wherein the two meander turns are formed in two different layers of the multilayer assembly. For the sake of clarity, the two meander turns 30a . 30b respectively. 31a . 31b shown side by side, but in practical execution are 30a and 30b respectively. 31a and 31b one above the other. The exact position is indicated by the reference symbols a, b, c. Likewise, the meander turns and thus the transmitter coils 30 . 31 in practical execution above or below the receiver coils 40 and compensation coils 41 , The exact position is again indicated by the reference symbols a, b, c. Each of the meander turns 30a . 30b . 31a . 31b alternately has two right-hander turns and two left-hander turns, which are squared 90 ° curves. There are straight sections between the curves.

Mittels Durchkontaktierungen 33 sind die Mäanderwindungen der beiden Schichten jeweils miteinander elektrisch leitend verbunden und mittels Anschlüssen 34 sind die Mäanderwindungen und somit die Senderspulen an eine Stromversorgung angeschlossen. Through vias 33 the meander turns of the two layers are each electrically connected to each other and by means of connections 34 the meander windings and thus the transmitter coils are connected to a power supply.

Die Funktionsweise der Positionsmessmessvorrichtung ist ansonsten im Wesentlichen wie die der anderen bisher dargestellten absoluten Positionsmessvorrichtungen in den 1 bis 3. Eine Beeinflussung der in den Empfängerspulen 40 induzierten Spannung erfolgt durch die Markierungen 51, indem das von den Senderspulen erzeugte magnetische Wechselfeld beeinflusst wird. Die Kompensationsspulen 41 werden nicht beeinflusst, da an der ihnen zugeordneten Stelle auf der Maßverkörperung 50, dem markierungsfreien Bereich 54, keine Markierungen ausgebildet sind. The operation of the position measuring device is otherwise substantially the same as that of the other previously shown absolute position measuring devices in the 1 to 3 , An influence on the receiver coils 40 induced voltage is carried by the markers 51 by influencing the alternating magnetic field generated by the transmitter coils. The compensation coils 41 are not affected because at their assigned location on the material measure 50 , the mark-free area 54 , no marks are formed.

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Claims (12)

Positionsmessvorrichtung mit einer Maßverkörperung (50) und einem Abtastkopf, der eine Auswerteelektronik (80) und eine Sensoranordnung (20) zur Abtastung der Maßverkörperung aufweist, wobei auf der Maßverkörperung (50) in Messrichtung ein Markierungsbereich (53) mit Markierungen (51) ausgebildet ist, wobei der Abtastkopf wenigstens eine Empfängerspule (40) und eine Kompensationsspule (41), die seriell geschaltet sind und denen jeweils eine Senderspule (30, 31) zugeordnet ist, aufweist, wobei die Empfängerspule (40) und die ihr zugeordnete Senderspule (30) dem Markierungsbereich (53) zugeordnet sind, wobei die Kompensationsspule (41) und die ihr zugeordnete Senderspule (31) nicht dem Markierungsbereich (53) zugeordnet sind. Position measuring device with a material measure ( 50 ) and a scanning head, the evaluation electronics ( 80 ) and a sensor arrangement ( 20 ) for scanning the material measure, wherein on the material measure ( 50 ) in the measuring direction a marking area ( 53 ) with markings ( 51 ), wherein the scanning head at least one receiver coil ( 40 ) and a compensation coil ( 41 ), which are connected in series and each with a transmitter coil ( 30 . 31 ), wherein the receiver coil ( 40 ) and its associated transmitter coil ( 30 ) the marking area ( 53 ), the compensation coil ( 41 ) and its associated transmitter coil ( 31 ) not the marking area ( 53 ) assigned. Positionsmessvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kompensationsspule (41) einem markierungsfreien Bereich (54) auf der Maßverkörperung, der frei von Markierungen ist, zugeordnet ist. Position measuring device according to claim 1, wherein the compensation coil ( 41 ) a label-free area ( 54 ) is assigned to the material measure which is free of markings. Positionsmessvorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Empfängerspule (40) und die Kompensationsspule (41) zusammen als eine Spule ausgebildet sind. Position measuring device according to claim 2, wherein the receiver coil ( 40 ) and the compensation coil ( 41 ) are formed together as a coil. Positionsmessvorrichtung nach Anspruch 3, wobei die der Empfängerspule (40) und der Kompensationsspule (41) zugeordneten Senderspulen (30, 31) einen entgegengesetzten Wicklungssinn aufweisen. Position measuring device according to claim 3, wherein the receiver coil ( 40 ) and the compensation coil ( 41 ) associated transmitter coils ( 30 . 31 ) have an opposite sense of winding. Positionsmessvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Empfängerspule (40) Teil der Sensoranordnung (20) und die Kompensationsspule (41) Teil der Auswerteelektronik (80) ist. Position measuring device according to claim 1, wherein the receiver coil ( 40 ) Part of the sensor arrangement ( 20 ) and the compensation coil ( 41 ) Part of the evaluation electronics ( 80 ). Positionsmessvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die der Empfängerspule (40) zugeordnete Senderspule (30) und die der Kompensationsspule (41) zugeordnete Senderspule (31) in Serie geschaltet und mit derselben Stromquelle verbunden sind. Position measuring device according to one of the preceding claims, wherein the receiver coil ( 40 ) associated with transmitter coil ( 30 ) and the compensation coil ( 41 ) associated with transmitter coil ( 31 ) are connected in series and connected to the same power source. Positionsmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die der Empfängerspule (40) zugeordnete Senderspule (30) und die der Kompensationsspule (41) zugeordnete Senderspule (31) mit unterschiedlichen Stromquellen verbunden sind. Position measuring device according to one of claims 1 to 5, wherein the receiver coil ( 40 ) associated with transmitter coil ( 30 ) and the compensation coil ( 41 ) associated with transmitter coil ( 31 ) are connected to different power sources. Positionsessvorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Stromquelle der der Kompensationsspule (41) zugeordneten Senderspule (31) zur Reduzierung einer Offsetspannung in einem Messsignal einstellbar ist. Position measuring device according to claim 7, wherein the current source is the one of the compensation coil ( 41 ) associated transmitter coil ( 31 ) is adjustable to reduce an offset voltage in a measurement signal. Positionsmessvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Kompensationsspule (41) und die ihr zugeordnete Senderspule (31) einen Kompensationsübertrager bilden. Position measuring device according to one of the preceding claims, wherein the compensation coil ( 41 ) and its associated transmitter coil ( 31 ) form a compensation transformer. Positionsmessvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Empfängerspule (40), die Kompensationsspule (41) und die ihnen zugeordneten Senderspulen (30, 31) so geschaltet sind, dass eine in der Kompensationsspule (41) von einem Magnetfeld induzierte Spannung eine in der Empfängerspule (40) von demselben Magnetfeld induzierte Spannung reduziert. Position measuring device according to one of the preceding claims, wherein the receiver coil ( 40 ), the compensation coil ( 41 ) and their associated transmitter coils ( 30 . 31 ) are switched so that one in the compensation coil ( 41 ) induced voltage by a magnetic field in the receiver coil ( 40 ) is reduced by the same magnetic field induced voltage. Positionsmessvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Abtastkopf wenigstens zwei Empfängerspulen (40) aufweist, die jeweils mit einer Kompensationsspule (41) verbunden sind, wobei jeder der Empfängerspulen (40) und jeder der Kompensationsspulen (41) je eine Senderspule (30, 31) zugeordnet ist. Position measuring device according to one of the preceding claims, wherein the scanning head at least two receiver coils ( 40 ), each with a compensation coil ( 41 ), each of the receiver coils ( 40 ) and each of the compensation coils ( 41 ) one transmitter coil each ( 30 . 31 ) assigned. Positionsmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei der Abtastkopf wenigstens zwei Empfängerspulen (40) umfasst, die mittels eines Multiplexers (82) jeweils abwechselnd mit der Kompensationsspule (41) verbindbar sind, wobei jeder der Empfängerspulen (40) und der Kompensationsspule (41) je eine Senderspule (30, 31) zugeordnet ist. Position measuring device according to one of claims 1 to 10, wherein the scanning head at least two receiver coils ( 40 ), which by means of a multiplexer ( 82 ) alternately with the compensation coil ( 41 ) are connectable, each of the receiver coils ( 40 ) and the compensation coil ( 41 ) one transmitter coil each ( 30 . 31 ) assigned.
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