DE102014106466B4 - vacuum processing plant - Google Patents

vacuum processing plant Download PDF

Info

Publication number
DE102014106466B4
DE102014106466B4 DE102014106466.6A DE102014106466A DE102014106466B4 DE 102014106466 B4 DE102014106466 B4 DE 102014106466B4 DE 102014106466 A DE102014106466 A DE 102014106466A DE 102014106466 B4 DE102014106466 B4 DE 102014106466B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum
chamber
fore
supply structure
chamber housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102014106466.6A
Other languages
German (de)
Other versions
DE102014106466A1 (en
Inventor
Jochen Krause
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Original Assignee
Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Asset GmbH and Co KG filed Critical Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority to DE102014106466.6A priority Critical patent/DE102014106466B4/en
Priority to CN201520295524.8U priority patent/CN204644463U/en
Publication of DE102014106466A1 publication Critical patent/DE102014106466A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102014106466B4 publication Critical patent/DE102014106466B4/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • C23C14/566—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Vakuumprozessieranlage (100) aufweisend:• ein Kammergehäuse (102) mit einer Öffnung (111) in der Oberseite des Kammergehäuses (102) zum Aufnehmen eines Kammerdeckels (104);• einen Kammerdeckel (104) zum Abdecken der Öffnung (111) des Kammergehäuses (102);• eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) an dem Kammergehäuse (102);• eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) an dem Kammerdeckel (104),• wobei die erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) derart eingerichtet sind, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels (104) selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden.Vacuum processing system (100) comprising:• a chamber housing (102) with an opening (111) in the upper side of the chamber housing (102) for receiving a chamber cover (104);• a chamber cover (104) for covering the opening (111) of the chamber housing ( 102);• a first fore-vacuum supply structure (108a) on the chamber housing (102);• a second fore-vacuum supply structure (108b) on the chamber cover (104),• wherein the first fore-vacuum supply structure (108a) and the second fore-vacuum supply structure (108b) are set up in such a way that that these are automatically coupled to one another in a vacuum-tight manner when the chamber cover (104) is closed.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumprozessieranlage.The invention relates to a vacuum processing system.

Im Allgemeinen kann eine Vakuumprozessieranlage dazu genutzt werden, Substrate, wie beispielsweise plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu prozessieren, z.B. kann eine Vakuumprozessieranlage als Vakuumbeschichtungsanlage eingerichtet sein zum Beschichten eines Substrats innerhalb der Vakuumbeschichtungsanlage. Dabei kann eine Vakuumprozessieranlage mehrere Kammern, Sektionen (Kompartments) oder Prozesskammern aufweisen sowie ein Transportsystem zum Transportieren des zu beschichtenden Substrats durch die Vakuumprozessieranlage hindurch. Verschiedene Kammern einer Vakuumprozessieranlage können mittels so genannter Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf-Beschichtungsanlagen (In-Line-Anlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw. vertikaler Schottwände. Dabei kann jede Kammerwand (oder Schottwand) eine Substrat-Transfer-Öffnung (einen Substrat-Transfer-Spalt) derart aufweisen, dass ein Substrat durch die Kammerwand hindurch transportiert werden kann, z.B. von einer ersten Kammer einer Vakuumprozessieranlage in eine zweite Kammer einer Vakuumprozessieranlage.In general, a vacuum processing system can be used to process substrates such as plate-shaped substrates, glass panes, wafers or other carriers, e.g. a vacuum processing system can be set up as a vacuum coating system for coating a substrate within the vacuum coating system. A vacuum processing system can have a number of chambers, sections (compartments) or process chambers and a transport system for transporting the substrate to be coated through the vacuum processing system. Different chambers of a vacuum processing system can be separated from one another by means of so-called chamber walls or bulkheads, for example in horizontal continuous coating systems (in-line systems) by means of vertical chamber walls or vertical bulkheads. Each chamber wall (or bulkhead) can have a substrate transfer opening (a substrate transfer gap) such that a substrate can be transported through the chamber wall, e.g. from a first chamber of a vacuum processing system into a second chamber of a vacuum processing system.

DE 100 04 786 A1 betrifft eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten plattenförmiger Substrate mit mehreren nebeneinander angeordneten Sektionen, mit mehreren Vakuumpumpen und mit einer Einrichtung zum Transport des Substrates durch die Sektionen. Die Sektionen sind dabei über Schleusen miteinander verbunden und über Saugöffnungen evakuierbar. Eine Sektion weist eine Saugöffnung auf. Weiterhin weist die Sektion an ihrem oberen Wandteil eine Öffnung auf, die mit einem auf dem Rand der Öffnung aufliegenden Deckel verschlossen ist. Dieser Deckel ist mit einem die Öffnung umschließenden Dichtflansch versehen. DE 100 04 786 A1 relates to a vacuum coating system for coating plate-shaped substrates with a plurality of sections arranged next to one another, with a plurality of vacuum pumps and with a device for transporting the substrate through the sections. The sections are connected to one another via locks and can be evacuated via suction openings. One section has a suction port. Furthermore, the section has an opening on its upper wall part, which is closed with a cover resting on the edge of the opening. This cover is provided with a sealing flange surrounding the opening.

DE 20 2011 002 012 U1 betrifft eine Vakuumanlage zur Beschichtung von flachen Substraten umfassend nebeneinander angeordnete Sektionen, mindestens eine Vakuumpumpe, eine Transportvorrichtung zum Transport der Substrate entlang einer horizontalen Transportebene durch die Sektionen hindurch, ein Magnetron in einer Sektion zur Beschichtung der Substrate - Beschichtungssektion - und eine Öffnung in der oberen Wand der Beschichtungssektion, die mit einem auf dem Rand der Öffnung aufliegenden Deckel verschlossen wird. DE 20 2011 002 012 U1 relates to a vacuum system for coating flat substrates, comprising sections arranged next to one another, at least one vacuum pump, a transport device for transporting the substrates along a horizontal transport plane through the sections, a magnetron in a section for coating the substrates - coating section - and an opening in the upper Wall of the coating section, which is closed with a lid resting on the edge of the opening.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammer (Kompartment) mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden, oder mehrere Kammern (Kompartments) können in einem gemeinsamen Kammergehäuse bereitgestellt sein oder werden, wobei das Kammergehäuse beispielsweise mehrere Kammerwände aufweisen kann, welche die eine Kammer begrenzen bzw. die mehreren Kammern begrenzen und voneinander separieren.According to various embodiments, a chamber (compartment) can be or will be provided by means of a chamber housing, or several chambers (compartments) can be or will be provided in a common chamber housing, wherein the chamber housing can have, for example, several chamber walls which delimit one chamber or the delimit several chambers and separate them from each other.

Ein Kammergehäuse einer Vakuumprozessieranlage kann beispielsweise Bestandteil (ein Grundkörper) einer Vakuumkammer sein, z.B. einer Schleusenkammer, einer Pufferkammer, einer Transferkammer oder einer Prozesskammer (z.B. einer Beschichtungskammer). Dabei kann die jeweilige Funktionsweise oder die Betriebsart der Vakuumkammer aufgrund des mit dem Kammergehäuse verwendeten Kammerdeckels definiert sein. Beispielsweise kann das Kammergehäuse mit einem Kammerdeckel als Schleusenkammer verwendet werden und mit einem anderen Kammerdeckel als Pufferkammer oder Transferkammer (oder Prozesskammer), und mit einem noch anderen Kammerdeckel als Beschichtungskammer. Damit das Kammergehäuse evakuiert werden kann, kann das Kammergehäuse mit einer Vorvakuumpumpen-Anordnung und/oder einer Hochvakuumpumpen-Anordnung gekoppelt sein. Somit kann in dem mittels des Kammerdeckels abgedichteten Kammergehäuse zumindest ein Vorvakuum (oder auch ein Hochvakuum) erzeugt werden oder bereitgestellt sein.A chamber housing of a vacuum processing system can, for example, be a component (a base body) of a vacuum chamber, e.g. a lock chamber, a buffer chamber, a transfer chamber or a process chamber (e.g. a coating chamber). The respective functioning or the operating mode of the vacuum chamber can be defined on the basis of the chamber cover used with the chamber housing. For example, the chamber housing can be used with one chamber lid as a load lock chamber, and with another chamber lid as a buffer chamber or transfer (or process) chamber, and with yet another chamber lid as a coating chamber. So that the chamber housing can be evacuated, the chamber housing can be coupled to a fore-vacuum pump arrangement and/or a high-vacuum pump arrangement. At least one pre-vacuum (or also a high vacuum) can thus be generated or provided in the chamber housing sealed by means of the chamber cover.

Anschaulich können ein Kammergehäuse und ein zugehöriger Kammerdeckel eine Vorvakuumversorgung aufweisen zum Ermöglichen des Evakuierens zumindest einer Vakuumkammer der Prozessieranlage oder der gesamten Prozessieranlage. Beispielsweise kann ein Kammerdeckel eine Hochvakuumpumpen-Anordnung aufweisen, welche mit Vorvakuum versorgt werden muss, um den Betrieb der Hochvakuumpumpen zu ermöglichen. Die Versorgung des Kammerdeckels mit Vorvakuum kann mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur erfolgen, welche mit einer Vorvakuumpumpen-Anordnung gekoppelt sein kann. Ferner kann die Vorvakuumpumpen-Anordnung zusätzlich direkt an das Kammergehäuse gekoppelt sein zum Bereitstellen eines Vorvakuums in der Vakuumkammer der Prozessieranlage.Clearly, a chamber housing and an associated chamber cover can have a pre-vacuum supply to enable at least one vacuum chamber of the processing system or the entire processing system to be evacuated. For example, a chamber cover can have a high-vacuum pump arrangement, which must be supplied with a fore-vacuum in order to enable the operation of the high-vacuum pumps. The chamber cover can be supplied with fore-vacuum by means of a fore-vacuum supply structure which can be coupled with a fore-vacuum pump arrangement. Furthermore, the fore-vacuum pump arrangement can also be coupled directly to the chamber housing in order to provide a fore-vacuum in the vacuum chamber of the processing system.

Ferner kann die Vakuumprozessieranlage ein Transportsystem aufweisen zum Transportieren der Substrate durch die Vakuumprozessieranlage hindurch, z.B. kann ein Transportsystem eine Vielzahl von Transportrollen und einen entsprechend mit den Transportrollen gekoppelten Antrieb aufweisen.Furthermore, the vacuum processing system can have a transport system for transporting the substrates through the vacuum processing system, e.g. a transport system can have a large number of transport rollers and a drive which is correspondingly coupled to the transport rollers.

Zum Einschleusen eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Vakuumprozessieranlage heraus, können beispielsweise eine oder mehrere Schleusenkammern, eine oder mehrere Pufferkammern und/oder eine oder mehrere Transferkammern verwendet werden. Zum Einschleusen mindestens eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein kann beispielsweise das mindestens eine Substrat in eine belüftete Schleusenkammer eingebracht werden, anschließend kann die Schleusenkammer mit dem mindestens einen Substrat evakuiert werden, und das Substrat kann schubweise aus der evakuierten Schleusenkammer heraus in eine angrenzende Vakuumkammer (z.B. in die Pufferkammer) der Vakuumprozessieranlage transportiert werden. Mittels der Pufferkammer kann beispielsweise ein Substrat vorgehalten werden und ein Druck kleiner als in der Schleusenkammer bereitgestellt werden. Mittels der Transferkammer können die schubweise eingebrachten Substrate zu einem so genannten Substratband zusammengeführt werden, so dass zwischen den Substraten nur kleine Lücken verbleiben, während die Substrate in entsprechenden Prozesskammern der Vakuumprozessieranlage prozessiert (z.B. beschichtet) werden. Alternativ kann ein Substrat auch direkt aus der Schleusenkammer in die Transferkammer eingebracht werden, ohne eine Pufferkammer zu verwenden, was beispielsweise eine verlängerte Taktzeit (die zum Einbringen eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein benötigte Zeitdauer) verursachen kann.For introducing a substrate into or out of the vacuum processing system lock a substrate out of the vacuum processing system, for example one or more lock chambers, one or more buffer chambers and/or one or more transfer chambers can be used. To introduce at least one substrate into the vacuum processing system, for example, the at least one substrate can be introduced into a ventilated lock chamber, then the lock chamber with the at least one substrate can be evacuated, and the substrate can be transported in batches out of the evacuated lock chamber into an adjacent vacuum chamber (e.g into the buffer chamber) of the vacuum processing system. By means of the buffer chamber, for example, a substrate can be held in reserve and a pressure lower than in the lock chamber can be provided. The substrates introduced in batches can be combined into a so-called substrate band by means of the transfer chamber, so that only small gaps remain between the substrates while the substrates are processed (eg coated) in the corresponding process chambers of the vacuum processing system. Alternatively, a substrate can also be introduced directly from the load-lock chamber into the transfer chamber without using a buffer chamber, which can cause, for example, an increased cycle time (the time required to introduce a substrate into the vacuum processing system).

In einer Prozesskammer können die eingeschleusten Substrate beispielsweise prozessiert werden, wobei die Prozesskammer beispielsweise einen Prozesskammerdeckel aufweisen kann, welcher das entsprechende Kompartment in dem Kammergehäuse abdecken und vakuumdicht verschließen kann. An dem Prozesskammerdeckel kann beispielsweise ein Magnetron oder können beispielsweise mehrere Magnetrons befestigt sein, z.B. kann der Prozesskammerdeckel mindestens ein Rohrmagnetron oder Doppelrohr-Magnetron oder mindestens ein Planarmagnetron oder Doppel-Planarmagnetron aufweisen.The introduced substrates can, for example, be processed in a process chamber, wherein the process chamber can have a process chamber cover, for example, which can cover the corresponding compartment in the chamber housing and close it in a vacuum-tight manner. For example, a magnetron or several magnetrons can be attached to the process chamber cover, e.g. the process chamber cover can have at least one tube magnetron or double tube magnetron or at least one planar magnetron or double planar magnetron.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse beispielsweise mittels eines entsprechenden Kammerdeckels als Schleusenkammer genutzt werden, wobei die Schleusenkammer beispielsweise im Vorvakuumbereich (z.B. bis 10-2 mbar) betrieben werden kann. Ferner kann das Kammergehäuse beispielsweise mittels eines entsprechenden Kammerdeckels als Prozesskammer oder Beschichtungskammer genutzt werden, wobei die Prozesskammer oder Beschichtungskammer beispielsweise im Hochvakuumbereich (z.B. im Bereich des Prozessvakuums, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar) betrieben werden kann. Dabei kann der Hochvakuumbereich beispielsweise mittels mindestens einer Turbomolekularpumpe erzeugt werden, welche in den Kammerdeckel integriert sein kann und mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur mit Vorvakuum versorgt werden kann.According to various embodiments, a chamber housing can be used as a sluice chamber, for example by means of a corresponding chamber cover, with the sluice chamber being able to be operated, for example, in the pre-vacuum range (eg up to 10 -2 mbar). Furthermore, the chamber housing can be used as a process chamber or coating chamber, for example by means of a corresponding chamber cover, with the process chamber or coating chamber being operated, for example, in the high vacuum range (e.g. in the range of the process vacuum, e.g. in a range from approximately 10 -3 mbar to approximately 10 -7 mbar). can. The high-vacuum area can be generated, for example, by means of at least one turbomolecular pump, which can be integrated into the chamber cover and can be supplied with a fore-vacuum by means of a fore-vacuum supply structure.

Ein Aspekt verschiedener Ausführungsformen kann anschaulich darin gesehen werden, eine Vorvakuumversorgung eines Kammerdeckels zu ermöglichen, wobei diese automatisch bereitgestellt wird, wenn der Kammerdeckel geschlossen wird, d.h. wenn der Kammerdeckel auf das entsprechende Kammergehäuse oder zumindest auf eine Kammer des Kammergehäuses aufgelegt wird. Anschaulich kann eine Vorvakuumversorgung für eine Vakuumkammer in zwei separate Vorvakuumversorgungsstrukturen unterteilt sein, welche sich automatisch voneinander trennen, wenn der Kammerdeckel geöffnet wird und welche sich automatisch miteinander verbinden, wenn der Kammerdeckel geschlossen wird. Somit kann der Kammerdeckel mit einem Teil der Vorvakuumversorgung von dem Kammergehäuse entfernt werden.One aspect of various embodiments can clearly be seen as enabling a pre-vacuum supply to a chamber cover, this being provided automatically when the chamber cover is closed, i.e. when the chamber cover is placed on the corresponding chamber housing or at least on a chamber of the chamber housing. Clearly, a fore-vacuum supply for a vacuum chamber can be divided into two separate fore-vacuum supply structures, which automatically separate from one another when the chamber cover is opened and which automatically connect with one another when the chamber cover is closed. Thus, the chamber cover can be removed from the chamber housing with part of the fore-vacuum supply.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumprozessieranlage Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Öffnung in der Oberseite des Kammergehäuses zum Aufnehmen eines Kammerdeckels, den Kammerdeckel zum Abdecken der Öffnung des Kammergehäuses; eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur, welche an dem Kammergehäuse befestigt ist oder welche zumindest ortsfest zum Kammergehäuse angeordnet ist, eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur, welche an dem Kammerdeckel befestigt ist, wobei die erste Vorvakuumversorgungsstruktur und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur derart eingerichtet sind, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden.According to various embodiments, a vacuum processing system may include: a chamber housing having an opening in the top of the chamber housing for receiving a chamber lid, the chamber lid for covering the opening of the chamber housing; a first fore-vacuum supply structure which is attached to the chamber housing or which is at least arranged in a stationary manner in relation to the chamber housing, a second fore-vacuum supply structure which is attached to the chamber cover, the first fore-vacuum supply structure and the second fore-vacuum supply structure being set up in such a way that they are automatically vacuum-tight when the chamber cover is closed be coupled together.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumprozessieranlage mindestens eine Hochvakuumpumpe aufweisen, welche an dem Kammerdeckel befestigt ist und mit der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur gekoppelt ist.According to various embodiments, the vacuum processing system can have at least one high-vacuum pump, which is attached to the chamber cover and is coupled to the second fore-vacuum supply structure.

Anschaulich kann mittels der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur ein Vorvakuum für einen Betrieb der mindestens einen Hochvakuumpumpe bereitgestellt werden. Die mindestens eine Hochvakuumpumpe kann beispielsweise eine Turbomolekularpumpe sein oder aufweisen.Clearly, a fore-vacuum for operation of the at least one high-vacuum pump can be provided by means of the second fore-vacuum supply structure. The at least one high-vacuum pump can be or have a turbomolecular pump, for example.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Vorvakuumversorgungsstruktur einen ersten Dichtungsflansch aufweisen und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur kann einen zweiten Dichtungsflansch aufweisen. Dabei können die beiden Dichtungsflansche derart eingerichtet sein, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden. Anschaulich können die beiden Dichtungsflansche (z.B. die beiden freiliegenden Stirnflächen der beiden Dichtungsflansche) beim Schließen des Kammerdeckels derart aneinander angenähert werden, dass sich zwischen den beiden Dichtungsflanschen ein Dichtungsspalt erstreckt, welcher mittels einer Dichtstruktur abgedichtet sein kann, beispielsweise mittels einer Lippendichtung.According to various embodiments, the first fore-vacuum supply structure can have a first sealing flange and the second fore-vacuum supply structure can have a second sealing flange. The two sealing flanges can be set up in this way be that these are automatically coupled to one another in a vacuum-tight manner when the chamber lid is closed. Clearly, the two sealing flanges (e.g. the two exposed end faces of the two sealing flanges) can be brought together when the chamber cover is closed in such a way that a sealing gap extends between the two sealing flanges, which can be sealed by means of a sealing structure, for example by means of a lip seal.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können/kann der erste Dichtungsflansch und/oder der zweite Dichtungsflansch mindestens ein Dichtungselement aufweisen zum Abdichten eines Spalts zwischen den beiden Dichtungsflanschen bei geschlossenem Kammerdeckel.According to various embodiments, the first sealing flange and/or the second sealing flange can have at least one sealing element for sealing a gap between the two sealing flanges when the chamber cover is closed.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das mindestens eine Dichtungselement mindestens eine Lippendichtung sein oder aufweisen.According to various embodiments, the at least one sealing element can be or have at least one lip seal.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Vorvakuumversorgungsstruktur und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur im Wesentlichen rohrförmig eingerichtet sein. Dabei kann das Vorvakuum innerhalb der rohrförmigen Vorvakuumversorgungsstruktur bereitgestellt sein oder werden.According to various embodiments, the first fore-vacuum supply structure and the second fore-vacuum supply structure can be configured in a substantially tubular manner. The fore-vacuum can be provided within the tubular fore-vacuum supply structure.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Lippendichtung Silikon aufweisen oder aus Silikon bestehen.According to various embodiments, the at least one lip seal can have or consist of silicone.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel schwenkbar gelagert sein und derart eingerichtet sein, dass dieser mittels einer Schwenkbewegung geöffnet und/oder geschlossen werden kann. Beim Öffnen und/oder Schließen des Kammerdeckels (mittels der Schwenkbewegung) können der erste Dichtungsflansch der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur und der zweite Dichtungsflansch der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur relativ zueinander auf einer Kreisbahn bewegt werden. Beim Öffnen und/oder Schließen des Kammerdeckels (mittels der Schwenkbewegung) kann die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur zumindest abschnittsweise relativ zu der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur auf einer Kreisbahn bewegt werden.According to various embodiments, the chamber cover can be pivoted and set up in such a way that it can be opened and/or closed by means of a pivoting movement. When opening and/or closing the chamber cover (by means of the pivoting movement), the first sealing flange of the first fore-vacuum supply structure and the second sealing flange of the second fore-vacuum supply structure can be moved relative to one another on a circular path. When the chamber cover is opened and/or closed (by means of the pivoting movement), the second fore-vacuum supply structure can be moved on a circular path, at least in sections, relative to the first fore-vacuum supply structure.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel in einem Endabschnitt des Kammerdeckels an dem Kammergehäuse drehbar gelagert sein.According to various embodiments, the chamber cover can be rotatably mounted on the chamber housing in an end section of the chamber cover.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel derart eingerichtet sein, dass dieser in geschlossenem Zustand lose auf dem Kammergehäuse aufliegt. Beim Auflegen und/oder Abnehmen des Kammerdeckels von dem Kammergehäuse können der erste Dichtungsflansch der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur relativ und der zweite Dichtungsflansch der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur relativ zueinander geradlinig bewegt werden. Beim Auflegen und/oder Abnehmen des Kammerdeckels von dem Kammergehäuse kann die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur zumindest abschnittsweise relativ zu der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur gradlinig bewegt werden.According to various embodiments, the chamber cover can be set up in such a way that, in the closed state, it rests loosely on the chamber housing. When placing and/or removing the chamber cover from the chamber housing, the first sealing flange of the first fore-vacuum supply structure and the second sealing flange of the second fore-vacuum supply structure can be moved in a straight line relative to one another. When the chamber cover is placed on and/or removed from the chamber housing, the second fore-vacuum supply structure can be moved in a straight line, at least in sections, relative to the first fore-vacuum supply structure.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumprozessieranlage mindestens eine Vorvakuumpumpenanordnung aufweisen, wobei die mindestens eine Vorvakuumpumpenanordnung mit der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur verbunden ist zum Bereitstellen eines Vorvakuums an dem Kammergehäuse mittels der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur. Bei geschlossenem Deckel kann somit auch die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur mit der mindestens einen Vorvakuumpumpenanordnung verbunden sein.According to various embodiments, a vacuum processing system can have at least one fore-vacuum pump arrangement, wherein the at least one fore-vacuum pump arrangement is connected to the first fore-vacuum supply structure for providing a fore-vacuum at the chamber housing by means of the first fore-vacuum supply structure. When the cover is closed, the second fore-vacuum supply structure can thus also be connected to the at least one fore-vacuum pump arrangement.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumprozessieranlage Folgendes aufweisen: Schließen eines Kammerdeckels eines Kammergehäuses, wobei zumindest eine Öffnung des Kammergehäuses mittels des Kammerdeckels vakuumdicht verschlossen wird; wobei beim Schließen des Kammerdeckels eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur des Kammergehäuses und eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur des Kammerdeckels selbsttätig miteinander gekuppelt werden; und Evakuieren des geschlossenen Kammergehäuses unter Verwendung der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur und/oder der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur.According to various embodiments, a method for operating a vacuum processing system can have the following: closing a chamber cover of a chamber housing, at least one opening of the chamber housing being closed in a vacuum-tight manner by means of the chamber cover; wherein when the chamber cover is closed, a first fore-vacuum supply structure of the chamber housing and a second fore-vacuum supply structure of the chamber cover are automatically coupled to one another; and evacuating the closed chamber housing using the first fore-vacuum supply structure and/or the second fore-vacuum supply structure.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.Exemplary embodiments of the invention are shown in the figures and are explained in more detail below.

Es zeigen

  • 1A eine Vakuumprozessieranlage in einer schematischen Querschnittsansicht in einem geöffneten Zustand, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 1B und 1c jeweils eine Vakuumprozessieranlage in einer schematischen Querschnittsansicht mit geöffnetem bzw. geschlossenem Kammerdeckel, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 2 eine beispielhafte schematische Detailansicht einer Vorvakuumversorgung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 3 eine Vakuumprozessieranlage in einer schematischen Querschnittsansicht mit einem klappbaren Kammerdeckel, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und
  • 4 eine Vakuumprozessieranlage in einer schematischen Querschnittsansicht in geschlossenem Zustand, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
Show it
  • 1A a vacuum processing system in a schematic cross-sectional view in an open state, according to various embodiments;
  • 1B and 1c a vacuum processing system in each case in a schematic cross-sectional view with the chamber cover open or closed, according to various embodiments;
  • 2 an exemplary schematic detailed view of a fore-vacuum supply, according to various embodiments;
  • 3 a vacuum processing system in a schematic cross-sectional view with a hinged chamber cover, according to various embodiments; and
  • 4 a vacuum processing system in a schematic cross-sectional view in the closed state, according to various embodiments.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings that form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the figure(s) being described. Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is used for purposes of illustration and is in no way limiting. It is understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It is understood that the features of the various exemplary embodiments described herein can be combined with one another unless specifically stated otherwise. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.Within the scope of this description, the terms "connected", "connected" and "coupled" are used to describe both a direct and an indirect connection, a direct or indirect connection and a direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference symbols, insofar as this is appropriate.

Bei einer herkömmlichen Vakuumprozessieranlage kann ein trennbares Vorvakuumsystem kraftschlüssig mittels einer Klemme (z.B. mittels einer Pratze oder Ähnlichem) zusammengehalten werden. Dies erfordert einen Montageaufwand beim Öffnen und Schließen des Kammerdeckels.In a conventional vacuum processing system, a separable fore-vacuum system can be held together by means of a clamp (e.g. by means of a claw or the like). This requires assembly effort when opening and closing the chamber lid.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird ein zwischen einem Kammerdeckel und einem Kammergehäuse trennbares Vorvakuumsystem für eine Vakuumprozessieranlage bereitgestellt, wobei sich das Vorvakuumsystem selbsttätig trennt, wenn der Kammerdeckel von dem Kammergehäuse abgehoben oder von dem Kammergehäuse weg bewegt (z.B. geschwenkt) wird, und wobei sich das Vorvakuumsystem selbsttätig vakuumdicht verbindet oder verbinden kann, wenn der Kammerdeckel an dem Kammergehäuse montiert oder auf das Kammergehäuse aufgelegt ist oder wird. Dazu kann das Vorvakuumsystem mindestens eine Trennstelle aufweisen, an der ein Deckelflansch des Vorvakuumsystems mit einem zugehörigen Gehäuseflansch des Vorvakuumsystems kuppeln kann, wobei der Deckelflansch an dem Kammerdeckel befestigt sein kann und wobei der Gehäuseflansch an dem Kammergehäuse befestigt sein kann. Zum vakuumdichten kuppeln können/kann der Deckelflansch und/oder der Gehäuseflansch eine Dichtungslippe (eine Lippendichtung) aufweisen.According to various embodiments, a fore-vacuum system for a vacuum processing system that can be separated between a chamber cover and a chamber housing is provided, the fore-vacuum system separating automatically when the chamber cover is lifted off the chamber housing or moved away (e.g. pivoted) from the chamber housing, and the fore-vacuum system separates automatically connects or can connect in a vacuum-tight manner when the chamber cover is mounted on the chamber housing or placed on the chamber housing. For this purpose, the fore-vacuum system can have at least one separation point at which a cover flange of the fore-vacuum system can be coupled to an associated housing flange of the fore-vacuum system, wherein the cover flange can be fastened to the chamber cover and the housing flange can be fastened to the chamber housing. For vacuum-tight coupling, the cover flange and/or the housing flange can have a sealing lip (a lip seal).

Bei Inbetriebnahme der Prozessieranlage (bei Vakuumerzeugung) kann sich der Kammerdeckel an dem Kammergehäuse festsaugen und das trennbare Vorvakuumsystem kann sich vakuumdicht aufgrund der Dichtungslippe verschließen oder bereits aufgrund des geschlossenen Kammerdeckels vakuumdicht abgeschlossen sein.When the processing system is started up (when vacuum is generated), the chamber cover can attach itself to the chamber housing and the separable fore-vacuum system can close itself vacuum-tight due to the sealing lip or be vacuum-tight due to the closed chamber cover.

Anschaulich kann das Vorvakuumsystem zwischen Kammerdeckel und Kammergehäuse nur getrennt werden, wenn die Vakuumkammer (gebildet aus Kammerdeckel und Kammergehäuse) belüftet ist. Clearly, the fore-vacuum system between the chamber cover and the chamber housing can only be separated if the vacuum chamber (made up of the chamber cover and the chamber housing) is vented.

Somit kann sich eine hohe Arbeitssicherheit ergeben. Ferner kann auch eine Wartung der Prozessieranlage einfacher und schneller erfolgen.This can result in a high level of occupational safety. Furthermore, maintenance of the processing system can also be carried out more easily and quickly.

1A veranschaulicht eine Vakuumprozessieranlage 100 (bzw. eine Vakuumprozesskammer einer Vakuumprozessieranlage 100) in einer schematischen Querschnittsansicht quer zu einer Transportrichtung 101 für ein Substrat in der Vakuumprozessieranlage 100. Die Vakuumprozessieranlage 100 kann ein Kammergehäuse 102 (ein Vakuumkammergehäuse 102) und einen Kammerdeckel 104 (einen Vakuumkammerdeckel 104) aufweisen. Dabei kann das Kammergehäuse 102 eine Öffnung 111 in der Oberseite des Kammergehäuses aufweisen zum Aufnehmen des Kammerdeckels 104. Anschaulich können das Kammergehäuse 102 und der Kammerdeckel 104 derart passend zueinander eingerichtet sein, dass die Deckelöffnung 111 des Kammergehäuses 102 mittels des Kammerdeckels 104 verschlossen werden kann, z.B. vakuumdicht verschlossen werden kann. Dazu können beispielsweise das Kammergehäuse 102 und der Kammerdeckel 104 mindestens eine Dichtfläche 102d, 104d aufweisen, mittels derer das Kammergehäuse 102 und der Kammerdeckel 104 in geschlossenem Zustand eine evakuierbare Vakuumkammer bereitstellen können. Ferner kann zwischen den beiden Dichtfläche 102d, 104d des Kammergehäuses 102 und des Kammerdeckels 104 eine Dichtungsstruktur bereitgestellt sein oder werden, z.B. eine flexible Vakuumdichtung, z.B. eine Dichtungslippe. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Dichtfläche 102d des Kammergehäuses 102 umlaufend am Rand der Öffnung 111 bereitgestellt sein, und die Dichtfläche 102d des Kammerdeckels 104 kann passend zur Dichtfläche 102d des Kammergehäuses 102 eingerichtet sein. 1A illustrates a vacuum processing system 100 (or a vacuum process chamber of a vacuum processing system 100) in a schematic cross-sectional view transverse to a transport direction 101 for a substrate in the vacuum processing system 100. The vacuum processing system 100 can have a chamber housing 102 (a vacuum chamber housing 102) and a chamber cover 104 (a vacuum chamber cover 104 ) exhibit. The chamber housing 102 can have an opening 111 in the upper side of the chamber housing for accommodating the chamber cover 104. Clearly, the chamber housing 102 and the chamber cover 104 can be set up to match one another in such a way that the cover opening 111 of the chamber housing 102 can be closed by means of the chamber cover 104. eg can be closed vacuum-tight. For this purpose, for example, the chamber housing 102 and the chamber cover 104 can have at least one sealing surface 102d, 104d, by means of which the chamber housing 102 and the chamber cover 104 can provide a vacuum chamber that can be evacuated in the closed state. Furthermore, a sealing structure can be or will be provided between the two sealing surfaces 102d, 104d of the chamber housing 102 and the chamber cover 104, for example a flexible one Vacuum seal, eg a sealing lip. According to various embodiments, the sealing surface 102d of the chamber housing 102 can be provided circumferentially at the edge of the opening 111 and the sealing surface 102d of the chamber cover 104 can be set up to match the sealing surface 102d of the chamber housing 102 .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 104 auf das Kammergehäuse 102 aufgelegt sein oder werden und somit ein Evakuieren des mittels des Kammerdeckels 104 abgedichteten Kammergehäuses 102 ermöglichen.According to various embodiments, the chamber cover 104 can be placed on the chamber housing 102 and thus enable the chamber housing 102 sealed by the chamber cover 104 to be evacuated.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 102 mindestens eine Substrat-Transfer-Öffnung 102a aufweisen zum Transportieren eines Substrats oder mehrerer Substrate in die Vakuumprozessieranlage 100 hinein. Ferner kann die Vakuumprozessieranlage 100 als Durchlaufbeschichtungsanlage (als so genannte In-Line-Anlage) eingerichtet sein oder werden. Dabei kann der Substrat-Transport entlang einer Substrattransportebene 101e erfolgen, z.B. mittels eines Transportsystems. Eine beispielsweise als Durchlaufbeschichtungsanlage eingerichtete Vakuumprozessieranlage 100 kann beispielsweise mehrere Kammergehäuse 102 aufweisen. Ferner kann eine beispielsweise als Durchlaufbeschichtungsanlage eingerichtete Vakuumprozessieranlage 100 ein Kammergehäuse 102 mit mehreren Kammern (Kompartments) aufweisen oder mehrere Kammergehäuse 102 mit jeweils mehreren Kammern aufweisen. Dabei kann jedes der Kammergehäuse 102 bzw. jede Kammer der Vakuumprozessieranlage 100 zwei Substrat-Transfer-Öffnungen 102a aufweisen zum Transportieren eines Substrats oder mehrerer Substrate durch die Vakuumprozessieranlage 100 hindurch.According to various embodiments, the chamber housing 102 can have at least one substrate transfer opening 102a for transporting a substrate or a plurality of substrates into the vacuum processing system 100 . Furthermore, the vacuum processing system 100 can be set up as a continuous coating system (as a so-called in-line system). The substrate can be transported along a substrate transport plane 101e, e.g. by means of a transport system. A vacuum processing system 100 set up as a continuous coating system, for example, can have a plurality of chamber housings 102, for example. Furthermore, a vacuum processing system 100 set up, for example, as a continuous coating system can have a chamber housing 102 with a plurality of chambers (compartments) or have a plurality of chamber housings 102 each with a plurality of chambers. Each of the chamber housings 102 or each chamber of the vacuum processing system 100 can have two substrate transfer openings 102a for transporting a substrate or a plurality of substrates through the vacuum processing system 100.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 102 derart eingerichtet sein, dass die Öffnung 111 in der Oberseite des Kammergehäuses bereitgestellt ist, so dass ein Kammerdeckel 104 auf das Kammergehäuse 102 aufgelegt werden kann. Anschaulich kann die Vakuumprozessieranlage 100 mit dem Kammergehäuse 102 als horizontale Vakuumprozessieranlage 100 eingerichtet sein.According to various embodiments, the chamber housing 102 can be set up in such a way that the opening 111 is provided in the upper side of the chamber housing, so that a chamber cover 104 can be placed on the chamber housing 102 . Clearly, the vacuum processing system 100 can be set up with the chamber housing 102 as a horizontal vacuum processing system 100 .

1B veranschaulicht die Vakuumprozessieranlage 100 in einer schematischen Querschnittsansicht oder Seitenansicht in Richtung der Transportrichtung 101. Das Transportsystem zum Transportieren eines Substrats in der Transportebene 101e kann beispielsweise mittels Transportrollen 113 erfolgen. 1B 10 illustrates the vacuum processing system 100 in a schematic cross-sectional view or side view in the direction of the transport direction 101. The transport system for transporting a substrate in the transport plane 101e can take place by means of transport rollers 113, for example.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumprozessieranlage 100 eine Vorvakuumversorgung aufweisen. Dabei kann eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a an dem Kammergehäuse 102 angeordnet sein, z.B. an dem Kammergehäuse 102 befestigt sein oder ortsfest nahe des Kammergehäuses 102 bereitgestellt sein. Ferner kann eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b an dem Kammerdeckel 104 bereitgestellt sein, z.B. an dem Kammerdeckel 104 befestigt sein oder mit dem Kammerdeckel 104 gekuppelt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b derart eingerichtet sein, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels 104 selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden.According to various embodiments, the vacuum processing system 100 can have a fore-vacuum supply. A first fore-vacuum supply structure 108a can be arranged on the chamber housing 102, e.g. fastened to the chamber housing 102 or provided in a stationary manner close to the chamber housing 102. Furthermore, a second fore-vacuum supply structure 108b can be provided on the chamber lid 104, e.g. According to various embodiments, the first fore-vacuum supply structure 108a and the second fore-vacuum supply structure 108b can be set up in such a way that they are automatically coupled to one another in a vacuum-tight manner when the chamber cover 104 is closed.

Anschaulich kann die Kupplung der beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b derart eingerichtet sein, dass die Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b miteinander verbunden werden, wenn der Kammerdeckel 104 auf das Kammergehäuse 102 aufgelegt wird. Dabei kann ein Spalt zwischen den beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b mittels eines flexiblen Dichtelements, z.B. einer Lippendichtung, abgedichtet sein oder werden.Clearly, the coupling of the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b can be set up in such a way that the fore-vacuum supply structures 108a, 108b are connected to one another when the chamber cover 104 is placed on the chamber housing 102. A gap between the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b can be sealed by means of a flexible sealing element, e.g. a lip seal.

Die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b können rohrförmig bereitgestellt sein, so dass innerhalb der rohrförmigen Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b das Vorvakuum für die Vakuumprozessieranlage 100 bereitgestellt werden kann, z.B. mittels einer an die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a angekoppelten Vorvakuumpumpen-Anordnung.The two fore-vacuum supply structures 108a, 108b can be provided in tubular form, so that the fore-vacuum for the vacuum processing system 100 can be provided within the tubular fore-vacuum supply structures 108a, 108b, e.g. by means of a fore-vacuum pump arrangement coupled to the first fore-vacuum supply structure 108a.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Vorvakuum in einem Druckbereich von ungefähr 100 mbar bis ungefähr 10-2 mbar mittels einer Schraubenpumpe, einer Drehkolbenpumpe, einer Wälzkolbenpumpe (Rootspumpe) und/oder einer anderen geeigneten Vorvakuumpumpe, z.B. einer Drehschieberpumpe, bereitgestellt sein oder werden.According to various embodiments, a fore-vacuum in a pressure range from about 100 mbar to about 10 -2 mbar can be provided by means of a screw pump, a rotary lobe pump, a Roots pump and/or another suitable fore-vacuum pump, e.g. a rotary vane pump.

Ferner kann auf dem Kammerdeckel 104 eine Hochvakuumpumpe 106 bereitgestellt sein, welche beispielsweise mit der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur 108b gekoppelt sein kann, so dass beispielsweise das mittels des Kammerdeckels 104 abgedichtete Kammergehäuse 102 in einen Hochvakuumbereich (von ungefähr 10-2 mbar bis ungefähr 10-7 mbar) evakuiert werden kann.Furthermore, a high-vacuum pump 106 can be provided on the chamber cover 104, which can be coupled, for example, to the second fore-vacuum supply structure 108b, so that, for example, the chamber housing 102 sealed by means of the chamber cover 104 can be pumped into a high-vacuum range (from approximately 10 -2 mbar to approximately 10 -7 mbar ) can be evacuated.

1C veranschaulich die vorangehend beschriebene Vakuumprozessieranlage 100 in einem geschlossenen Zustand, d.h. mit geschlossenem Kammerdeckel 104, wobei der Kammerdeckel 104 die Öffnung 111 in dem Kammergehäuse 102 vakuumdicht abdichtet. Anschaulich ist bei geschlossenem Kammerdeckel 104 die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b mit der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur 108a verbunden, z.B. sind die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b in dem Kupplungsbereich 110 oder Trennbereich 110 der Vorvakuumversorgung aneinander gepresst, aneinander gesteckt oder liegen nahe aneinander, so dass ein Spalt zwischen den beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b mittels einer flexiblen Vakuumdichtung abgedichtet sein kann oder werden kann. Wie vorangehend beschrieben, kann ein Prozessierbereich 102p innerhalb des Kammergehäuses 102 bereitgestellt werden, welcher mittels der Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b (und optional mindestens einer Hochvakuumpumpe 106) evakuiert werden kann. 1C 10 illustrates the vacuum processing system 100 described above in a closed state, ie with the chamber cover 104 closed, the chamber cover 104 sealing the opening 111 in the chamber housing 102 in a vacuum-tight manner. Descriptive is at closed The chamber cover 104 connects the second fore-vacuum supply structure 108b to the first fore-vacuum supply structure 108a, e.g. the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b in the coupling area 110 or separating area 110 of the fore-vacuum supply are pressed against one another, plugged into one another or are close to one another, so that a gap between the two fore-vacuum supply structures 108a , 108b may be sealed by means of a flexible vacuum seal. As described above, a processing area 102p can be provided within the chamber housing 102, which can be evacuated by means of the fore-vacuum supply structures 108a, 108b (and optionally at least one high-vacuum pump 106).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 104 beispielsweise mittels eines Hallenkrans geöffnet und geschlossen werden.According to various embodiments, the chamber cover 104 can be opened and closed, for example, by means of an indoor crane.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 102 entlang der Transportrichtung 101 eine Länge in einem Bereich von ungefähr 40 cm bis ungefähr 1 m aufweisen. Ferner kann das Kammergehäuse 102 eine Breite entlang einer Breitenrichtung 103 quer zur Transportrichtung 101 in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 5 m aufweisen.According to various embodiments, the chamber housing 102 can have a length in a range from approximately 40 cm to approximately 1 m along the transport direction 101 . Furthermore, the chamber housing 102 can have a width along a width direction 103 transverse to the transport direction 101 in a range from approximately 1 m to approximately 5 m.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Öffnung 111 in dem Kammergehäuse 102 (und somit entsprechend der Kammerdeckel 104) eine Breite entlang einer Breitenrichtung 103 aufweisen, welche größer ist als ungefähr 70% der Breite des Kammergehäuses 102. Anschaulich kann der Kammerdeckel 104 einen Großteil des Kammergehäuses 102 abdecken, z.B. mehr als 50% der Oberseite des Kammergehäuses 102.According to various embodiments, the opening 111 in the chamber housing 102 (and thus correspondingly the chamber cover 104) can have a width along a width direction 103 which is greater than approximately 70% of the width of the chamber housing 102. Clearly, the chamber cover 104 can cover a large part of the chamber housing 102 cover, e.g. more than 50% of the top of the chamber housing 102.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 102 eine Höhe entlang der Höhenrichtung 105 quer zur Breitenrichtung 103 und quer zur Transportrichtung 101 in einem Bereich von ungefähr bis 40 cm ungefähr 150 cm aufweisen.According to various embodiments, the chamber housing 102 can have a height along the height direction 105 transverse to the width direction 103 and transverse to the transport direction 101 in a range of approximately 40 cm to approximately 150 cm.

Im Folgenden werden verschiedene Modifikationen und Konfigurationen der Vakuumprozessieranlage 100 und Details zu dem Kammergehäuse 102 und dem Kammerdeckel 104 beschrieben, wobei sich die bezüglich der 1A bis 1C beschriebenen grundlegenden Merkmale und Funktionsweisen analog einbeziehen lassen. Ferner können die nachfolgend beschriebenen Merkmale und Funktionsweisen analog auf die in den 1A bis 1C beschriebene Vakuumprozessieranlage 100 übertragen werden oder mit der in den 1A bis 1C beschriebenen Vakuumprozessieranlage 100 kombiniert werden.Various modifications and configurations of the vacuum processing system 100 and details of the chamber housing 102 and the chamber cover 104 are described below, with the reference to FIG 1A until 1C include the basic features and functionalities described in the same way. Furthermore, the features and functions described below can be analogous to those in the 1A until 1C described vacuum processing system 100 are transferred or with the in 1A until 1C described vacuum processing system 100 can be combined.

2 veranschaulicht beispielhaft eine Querschnittsansicht der beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b in dem Kupplungsbereich 110 beim Verbinden 220 der beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b miteinander. 2 10 illustrates a cross-sectional view of the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b in the coupling region 110 when connecting 220 the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b to one another.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a eine erste rohrförmige Vakuumführung 208a mit einem ersten Dichtungsflansch 210a (Gehäuseflansch) aufweisen. Analog kann die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b eine zweite rohrförmige Vakuumführung 208b mit einem zweiten Dichtungsflansch 210b (Deckelflansch) aufweisen. An zumindest einem der beiden Dichtungsflansche 210a, 210b kann ein Dichtungselement 212a, 212b, z.B. mindestens eine Lippendichtung, angeordnet sein, so dass die beiden Dichtungsflansche 210a, 210b vakuumdicht kuppeln können, wenn diese aneinander gebracht werden, z.B. beim Schließen des Kammerdeckels 104. Es versteht sich, dass die Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b an die jeweilige Vakuumprozessieranlage 100 und die bautechnischen Anforderungen angepasst sein können oder werden können.According to various embodiments, the first fore-vacuum supply structure 108a can have a first tubular vacuum guide 208a with a first sealing flange 210a (housing flange). Analogously, the second fore-vacuum supply structure 108b can have a second tubular vacuum guide 208b with a second sealing flange 210b (cover flange). A sealing element 212a, 212b, for example at least one lip seal, can be arranged on at least one of the two sealing flanges 210a, 210b, so that the two sealing flanges 210a, 210b can couple in a vacuum-tight manner when they are brought together, for example when the chamber cover 104 is closed It goes without saying that the fore-vacuum supply structures 108a, 108b can be or can be adapted to the respective vacuum processing system 100 and the structural requirements.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die rohrförmigen Vakuumführungen 208a, 208b einen Rohrinnendurchmesser in einem Bereich von ungefähr 5 cm bis ungefähr 30 cm aufweisen.According to various embodiments, the tubular vacuum guides 208a, 208b may have an inner tube diameter in a range from about 5 cm to about 30 cm.

Wie in 3 in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht dargestellt ist, kann der Kammerdeckel 104 mittels eines Lagers 304 (oder einer anderen geeigneten Haltevorrichtung) drehbar (schwenkbar) an dem Kammergehäuse 102 derart befestigt sein, dass der Kammerdeckel 104 zum Öffnen und Schließen um eine Achse 310 (mittels einer Schwenkbewegung 320) geschwenkt werden kann.As in 3 shown in a schematic side view or cross-sectional view, the chamber lid 104 can be rotatably (pivoted) attached to the chamber housing 102 by means of a bearing 304 (or another suitable holding device) in such a way that the chamber lid 104 can be opened and closed about an axis 310 (by means of a pivoting movement 320) can be pivoted.

Wie vorangehend beschrieben ist, können der Kammerdeckel 104 und das Kammergehäuse 102 derart eingerichtet sein, dass beim Schließen des Kammerdeckels 104 die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b an die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a gekoppelt wird.As described above, the chamber cover 104 and the chamber housing 102 can be set up in such a way that when the chamber cover 104 is closed, the second fore-vacuum supply structure 108b is coupled to the first fore-vacuum supply structure 108a.

Wie in 4 in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht dargestellt ist, kann die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a an dem Kammergehäuse 102 befestigt sein und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b kann an dem zum Kammergehäuse 102 passenden Kammerdeckel 104 befestigt sein, so dass beim Schließen des Kammerdeckels 104, wobei der Kammerdeckel 104 formschlüssig mit dem Kammergehäuse 102 verbunden werden kann, die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b miteinander gekuppelt werden. In dem vorgesehenen Kupplungsbereich 110 können die Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b jeweils einen Dichtungsflansch 210a, 210b (Kupplungsflansch) aufweisen, und zwischen den Dichtungsflanschen 210a, 210b kann eine Lippendichtung 212 bereitgestellt sein.As in 4 is shown in a schematic side view or cross-sectional view, the first fore-vacuum supply structure 108a can be attached to the chamber housing 102 and the second fore-vacuum supply structure 108b can be attached to the chamber cover 104 that matches the chamber housing 102, so that when the chamber cover 104 is closed, the chamber cover 104 is positively locked can be connected to the chamber housing 102, the two pre-vacuum supply structures 108a, 108b with each other to be coupled. In the coupling area 110 provided, the fore-vacuum supply structures 108a, 108b can each have a sealing flange 210a, 210b (coupling flange), and a lip seal 212 can be provided between the sealing flanges 210a, 210b.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Lippendichtung 212 erst bei einem Unterdruck innerhalb der Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b einen Spalt zwischen den Dichtungsflansch 210a, 210b abdichten. Dazu kann die Lippendichtung 212 flexibel bereitgestellt sein, z.B. kann die Lippendichtung 212 Silikon aufweisen.According to various embodiments, the lip seal 212 can only seal a gap between the sealing flanges 210a, 210b when there is a negative pressure within the fore-vacuum supply structures 108a, 108b. To this end, the lip seal 212 can be provided in a flexible manner, for example the lip seal 212 can comprise silicone.

Wie in 4 veranschaulicht ist, können mehrere Hochvakuumpumpen 106 auf dem Kammerdeckel 104 montiert sein, welche ausgangsseitig mit der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur 108b verbunden sein können und eingangsseitig durch jeweils eine in dem Kammerdeckel 104 bereitgestellte Pumpöffnung hindurch in einen Prozessierbereich 102p des Kammergehäuses 102 zugreifen können.As in 4 is illustrated, a plurality of high-vacuum pumps 106 can be mounted on the chamber cover 104, which can be connected to the second fore-vacuum supply structure 108b on the outlet side and can access a processing region 102p of the chamber housing 102 on the inlet side through a respective pump opening provided in the chamber cover 104.

Alternativ können die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b derart eingerichtet sein, dass sich die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b beim Schließen des Kammerdeckels 104 selbsttätig zumindest Abschnittsweise ineinander stecken. Beispielsweise können die Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b rohrförmig sein und zumindest Abschnittsweise unterschiedliche Rohrdurchmesser aufweisen, so dass diese ineinander gesteckt werden können. Dabei kann in dem Steckbereich eine Vakuumdichtung (z.B. eine Viton-Dichtung oder ein Dichtungsring) angeordnet sein oder werden.Alternatively, the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b can be set up in such a way that the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b automatically plug into one another at least in sections when the chamber cover 104 is closed. For example, the fore-vacuum supply structures 108a, 108b can be tubular and have different tube diameters, at least in sections, so that they can be plugged into one another. A vacuum seal (e.g. a Viton seal or a sealing ring) can be arranged in the plug-in area.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer 100 Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse 102 mit einer Öffnung 111 in der Oberseite des Kammergehäuses 102 zum Aufnehmen eines Kammerdeckels 104, einen Kammerdeckel 104 zum Abdecken der Öffnung 111 des Kammergehäuses 102; eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a an dem Kammergehäuse 102, eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b an dem Kammerdeckel 104, wobei die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b derart eingerichtet sind, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels 104 (z.B. beim Auflegen des Kammerdeckels 104 auf das Kammergehäuse 102 oder bei Zuklappen des Kammerdeckels 104) selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden.According to various embodiments, a vacuum chamber 100 may include: a chamber body 102 having an opening 111 in the top of the chamber body 102 for receiving a chamber lid 104, a chamber lid 104 for covering the opening 111 of the chamber body 102; a first fore-vacuum supply structure 108a on the chamber housing 102, a second fore-vacuum supply structure 108b on the chamber cover 104, the first fore-vacuum supply structure 108a and the second fore-vacuum supply structure 108b being set up in such a way that when the chamber cover 104 is closed (e.g. when the chamber cover 104 is placed on the chamber housing 102 or when the chamber cover 104) is closed, they are automatically coupled to one another in a vacuum-tight manner.

Das Betreiben oder das Inbetriebnehmen der Vakuumprozessieranlage 100 bzw. der Vakuumkammer 100 kann beispielsweise derart erfolgen, dass zunächst der Kammerdeckel 104 geschlossen wird, so dass die Öffnung 111 in dem Kammergehäuse 102 abgedeckt wird. Dabei kann die Öffnung 111 des Kammergehäuses 102 mittels des Kammerdeckels 104 vakuumdicht verschlossen oder abgedichtet werden. Beim Schließen des Kammerdeckels 104 können die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a des Kammergehäuses 102 und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b des Kammerdeckels 104 selbsttätig miteinander gekuppelt werden. Anschließend kann das geschlossene Kammergehäuse 102 mittels der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur 108a und/oder der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur 108b evakuiert werden.The vacuum processing system 100 or the vacuum chamber 100 can be operated or started up, for example, by first closing the chamber cover 104 so that the opening 111 in the chamber housing 102 is covered. The opening 111 of the chamber housing 102 can be closed or sealed in a vacuum-tight manner by means of the chamber cover 104 . When the chamber cover 104 is closed, the first fore-vacuum supply structure 108a of the chamber housing 102 and the second fore-vacuum supply structure 108b of the chamber cover 104 can be coupled to one another automatically. The closed chamber housing 102 can then be evacuated by means of the first fore-vacuum supply structure 108a and/or the second fore-vacuum supply structure 108b.

Ferner kann zum Öffnen der Vakuumprozessieranlage 100 bzw. der Vakuumkammer 100, z.B. bei einer Wartung, zunächst das Belüften der Vakuumprozessieranlage 100 erfolgen und anschließend der Kammerdeckel 104 von dem Kammergehäuse 102 entfernt werden, wobei automatisch (selbsttätig) die erste Vorvakuumversorgungsstruktur 108a und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur 108b voneinander getrennt werden.Furthermore, to open the vacuum processing system 100 or the vacuum chamber 100, e.g. during maintenance, the vacuum processing system 100 can first be ventilated and then the chamber cover 104 can be removed from the chamber housing 102, with the first fore-vacuum supply structure 108a and the second fore-vacuum supply structure being automatically (automatically) removed 108b are separated from each other.

Anschaulich können die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b und insbesondere die beiden Dichtungsflansche 210a, 210b relativ zueinander bewegt werden, um diese zu koppeln (kuppeln), z.B. kann eine Bewegung entlang einer Kreisbahn (Schwenkbewegung) oder entlang einer Geraden (translatorische Bewegung) erfolgen. Anschaulich können die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b und insbesondere die beiden Dichtungsflansche 210a, 210b eine Steckverbindung bereitstellen.Clearly, the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b and in particular the two sealing flanges 210a, 210b can be moved relative to one another in order to couple them (coupling), e.g. movement along a circular path (pivoting movement) or along a straight line (translational movement). Clearly, the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b and in particular the two sealing flanges 210a, 210b can provide a plug-in connection.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b und insbesondere die beiden Dichtungsflansche 210a, 210b relativ zueinander justiert sein oder werden, so dass diese beim Schließen des Kammerdeckels vakuumdicht miteinander kuppeln können.According to various embodiments, the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b and in particular the two sealing flanges 210a, 210b can be adjusted relative to one another, so that they can be coupled to one another in a vacuum-tight manner when the chamber cover is closed.

Das Justieren kann beispielsweise derart erfolgen, dass bei geschlossenem Kammerdeckel 104 (beispielsweise bei evakuierter Vakuumprozessieranlage 100) und damit bei miteinander gekuppelten Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b die entsprechende Position (Lage oder Ausrichtung) der beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b und insbesondere der beiden Dichtungsflansche 210a, 210b an dem Kammerdeckel 104 und an dem Kammergehäuse 102 definiert (fixiert) wird. Anschaulich kann ein Spalt zwischen den beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b und insbesondere zwischen den beiden Dichtungsflanschen 210a, 210b eingestellt werden, während der Kammerdeckel 104 geschlossen ist.The adjustment can be carried out, for example, in such a way that when the chamber cover 104 is closed (for example with an evacuated vacuum processing system 100) and thus with the fore-vacuum supply structures 108a, 108b coupled to one another, the corresponding position (position or orientation) of the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b and in particular the two sealing flanges 210a, 210b is defined (fixed) on the chamber lid 104 and on the chamber body 102 . Clearly, a gap can be set between the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b and in particular between the two sealing flanges 210a, 210b while the chamber cover 104 is closed.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b und insbesondere die beiden Dichtungsflansche 210a, 210b jeweils lösbar an dem Kammerdeckel 104 und an dem Kammergehäuse 102 montiert sein, so dass die beiden Vorvakuumversorgungsstrukturen 108a, 108b und insbesondere die beiden Dichtungsflansche 210a, 210b relativ zueinander justiert werden können.According to various embodiments, the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b and in particular the two sealing flanges 210a, 210b can each be detachably mounted on the chamber cover 104 and on the chamber housing 102, so that the two fore-vacuum supply structures 108a, 108b and in particular the two sealing flanges 210a, 210b relative to one another can be adjusted.

Claims (10)

Vakuumprozessieranlage (100) aufweisend: • ein Kammergehäuse (102) mit einer Öffnung (111) in der Oberseite des Kammergehäuses (102) zum Aufnehmen eines Kammerdeckels (104); • einen Kammerdeckel (104) zum Abdecken der Öffnung (111) des Kammergehäuses (102); • eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) an dem Kammergehäuse (102); • eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) an dem Kammerdeckel (104), • wobei die erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) derart eingerichtet sind, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels (104) selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden.Vacuum processing system (100) having: • a chamber housing (102) having an opening (111) in the top of the chamber housing (102) for receiving a chamber lid (104); • a chamber cover (104) for covering the opening (111) of the chamber housing (102); • a first fore-vacuum supply structure (108a) on the chamber housing (102); • a second fore-vacuum supply structure (108b) on the chamber cover (104), • wherein the first fore-vacuum supply structure (108a) and the second fore-vacuum supply structure (108b) are set up in such a way that they are automatically coupled to one another in a vacuum-tight manner when the chamber cover (104) is closed. Vakuumprozessieranlage (100) gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend: mindestens eine Hochvakuumpumpe (106) an dem Kammerdeckel (104), wobei die mindestens eine Hochvakuumpumpe (106) mit der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) gekoppelt ist.Vacuum processing plant (100) according to claim 1 , further comprising: at least one high-vacuum pump (106) on the chamber cover (104), wherein the at least one high-vacuum pump (106) is coupled to the second fore-vacuum supply structure (108b). Vakuumprozessieranlage (100) gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) einen ersten Dichtungsflansch (210a) aufweist und wobei die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) einen zweiten Dichtungsflansch (210b) aufweist, und wobei die beiden Dichtungsflansche (210a, 210b) derart eingerichtet sind, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels (104) selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden.Vacuum processing plant (100) according to claim 1 or 2 , wherein the first fore-vacuum supply structure (108a) has a first sealing flange (210a) and wherein the second fore-vacuum supply structure (108b) has a second sealing flange (210b), and wherein the two sealing flanges (210a, 210b) are set up in such a way that when the Chamber lid (104) are automatically coupled together in a vacuum-tight manner. Vakuumprozessieranlage (100) gemäß Anspruch 3, wobei der erste Dichtungsflansch (210a) und/oder der zweite Dichtungsflansch (210b) mindestens ein Dichtungselement (212) aufweisen zum Abdichten eines Spalts zwischen den beiden Dichtungsflanschen (210a, 210b) bei geschlossenem Kammerdeckel (104).Vacuum processing plant (100) according to claim 3 , wherein the first sealing flange (210a) and/or the second sealing flange (210b) have at least one sealing element (212) for sealing a gap between the two sealing flanges (210a, 210b) when the chamber lid (104) is closed. Vakuumprozessieranlage (100) gemäß Anspruch 4, wobei das mindestens eine Dichtungselement (212) mindestens eine Lippendichtung (212) aufweist.Vacuum processing plant (100) according to claim 4 , wherein the at least one sealing element (212) has at least one lip seal (212). Vakuumprozessieranlage (100) gemäß Anspruch 5, wobei die mindestens eine Lippendichtung (212) Silikon aufweist oder aus Silikon besteht.Vacuum processing plant (100) according to claim 5 , wherein the at least one lip seal (212) comprises silicone or consists of silicone. Vakuumprozessieranlage (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Kammerdeckel (104) schwenkbar gelagert ist und derart eingerichtet ist, dass dieser mittels einer Schwenkbewegung (320) geöffnet und/oder geschlossen werden kann.Vacuum processing system (100) according to one of Claims 1 until 6 , wherein the chamber cover (104) is pivotably mounted and is set up in such a way that it can be opened and/or closed by means of a pivoting movement (320). Vakuumprozessieranlage (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Kammerdeckel (104) derart eingerichtet ist, dass dieser in geschlossenem Zustand lose auf dem Kammergehäuse (102) aufliegt.Vacuum processing system (100) according to one of Claims 1 until 6 , wherein the chamber cover (104) is set up in such a way that it rests loosely on the chamber housing (102) in the closed state. Vakuumprozessieranlage (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, ferner aufweisend: mindestens eine Vorvakuumpumpenanordnung, welche mit der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) verbunden ist zum Bereitstellen eines Vorvakuums an dem Kammergehäuse (102) mittels der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) .Vacuum processing system (100) according to one of Claims 1 until 8th , further comprising: at least one fore-vacuum pump arrangement, which is connected to the first fore-vacuum supply structure (108a) for providing a fore-vacuum at the chamber housing (102) by means of the first fore-vacuum supply structure (108a). Verfahren zum Betreiben einer Vakuumprozessieranlage (100), das Verfahren aufweisend: • Schließen eines Kammerdeckels (104) eines Kammergehäuses (102), wobei zumindest eine Öffnung (111) des Kammergehäuses (102) mittels des Kammerdeckels (104) vakuumdicht verschlossen wird; • wobei beim Schließen des Kammerdeckels (104) eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) des Kammergehäuses (102) und eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) des Kammerdeckels (104) selbsttätig miteinander gekuppelt werden; • Evakuieren des geschlossenen Kammergehäuses (102) unter Verwendung der ersten Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) und/oder der zweiten Vorvakuumversorgungsstruktur (108b).Method for operating a vacuum processing system (100), the method having: • Closing a chamber cover (104) of a chamber housing (102), wherein at least one opening (111) of the chamber housing (102) is closed in a vacuum-tight manner by means of the chamber cover (104); • wherein when the chamber cover (104) is closed, a first fore-vacuum supply structure (108a) of the chamber housing (102) and a second fore-vacuum supply structure (108b) of the chamber cover (104) are automatically coupled to one another; • Evacuating the closed chamber housing (102) using the first fore-vacuum supply structure (108a) and/or the second fore-vacuum supply structure (108b).
DE102014106466.6A 2014-05-08 2014-05-08 vacuum processing plant Active DE102014106466B4 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014106466.6A DE102014106466B4 (en) 2014-05-08 2014-05-08 vacuum processing plant
CN201520295524.8U CN204644463U (en) 2014-05-08 2015-05-08 Vacuum treatment device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014106466.6A DE102014106466B4 (en) 2014-05-08 2014-05-08 vacuum processing plant

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102014106466A1 DE102014106466A1 (en) 2015-11-12
DE102014106466B4 true DE102014106466B4 (en) 2022-01-13

Family

ID=54097224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014106466.6A Active DE102014106466B4 (en) 2014-05-08 2014-05-08 vacuum processing plant

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN204644463U (en)
DE (1) DE102014106466B4 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112013612A (en) * 2020-08-17 2020-12-01 山前（珠海）医疗科技有限公司 Double-vacuum-box heat preservation system with hose

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10004786A1 (en) 1999-09-14 2001-03-15 Ardenne Anlagentech Gmbh Vacuum deposition apparatus comprises several sections arranged next to each other via a lock and evacuated via a suction opening connected directly or via a pipe system to a vacuum pump
DE202011002012U1 (en) 2011-01-27 2011-04-07 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vacuum coating system with pump and magnetron arrangement

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10004786A1 (en) 1999-09-14 2001-03-15 Ardenne Anlagentech Gmbh Vacuum deposition apparatus comprises several sections arranged next to each other via a lock and evacuated via a suction opening connected directly or via a pipe system to a vacuum pump
DE202011002012U1 (en) 2011-01-27 2011-04-07 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vacuum coating system with pump and magnetron arrangement

Also Published As

Publication number Publication date
DE102014106466A1 (en) 2015-11-12
CN204644463U (en) 2015-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102009012878B4 (en) Shower head and substrate processing device
EP1571234B1 (en) Method for using an in line coating apparatus
DE102016107830B4 (en) Vacuum chamber assembly and method of operating a vacuum chamber assembly
DE10319379A1 (en) Device for transporting a flat substrate in a vacuum chamber
DE102014106466B4 (en) vacuum processing plant
DE102014107636B4 (en) Vacuum processing system
WO2019105985A1 (en) Vacuum lock and method for transferring a substrate carrier via a lock
DE102005024180A1 (en) Transfer chamber for a vacuum coating assembly, e.g. for coating glass panes by vacuum deposition, has horizontal transport rollers in a housing with a separate roller group in a pump chamber with vacuum pumps
DE102014106451B4 (en) Vacuum chamber housing
DE202014101468U1 (en) Processing device, coating device and process chamber arrangement
DE102013106026A1 (en) Vacuum arrangement and method for operating a vacuum arrangement
DE102009021563B4 (en) Device for transporting substrates into and out of vacuum systems
EP1970467B1 (en) Flood chamber for coating installations
DE112005001539B4 (en) Vacuum processing apparatus and method for exchanging a vacuum processing chamber of such apparatus
EP3256618B1 (en) Method for operating an inline coating system and inline coating system
DE102014104363B4 (en) Process chamber assembly
DE202014102544U1 (en) Vacuum chamber assembly
DE102014107637B4 (en) Vacuum chamber
DE102014107635B4 (en) vacuum chamber
EP2238276A1 (en) Lock device for adding and removing containers to and from a vacuum treatment chamber
DE102012109830A1 (en) Load lock chamber of a vacuum treatment system useful for treating substrates in continuous process, comprises chamber wall-forming chamber container interconnected to a chamber lid which is intended for substrate transport
DE102015105911B4 (en) Processing arrangement
DE10355683B4 (en) A vacuum lock assembly, method for transporting an object with the vacuum lock assembly and use of the vacuum lock assembly for coating and cleaning objects
DE102011006462B4 (en) Schleusverfahren for a vacuum process plant
DE102018106054B4 (en) Vacuum lock chamber and vacuum processing system

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: VON ARDENNE ASSET GMBH & CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE GMBH, 01324 DRESDEN, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB PATENT- UND , DE

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R082 Change of representative