DE102014107637B4 - Vacuum chamber - Google Patents

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Abstract

Vakuumkammer (100) aufweisend:• ein Kammergehäuse (102) mit einer Deckel-Öffnung (103) ;• einen Kammerdeckel (104) zum Abdecken der Deckel-Öffnung (103);• ein Transportsystem zum Transportieren eines Substrats (120) innerhalb der Vakuumkammer (100);• mindestens eine Spaltschleusenanordnung zum Bereitstellen eines Gasseparationsspalts (111) innerhalb der Vakuumkammer (100), durch welchen das Substrat (120) mittels des Transportsystems hindurch transportiert werden kann,• wobei zumindest ein Teil (106) der mindestens einen Spaltschleusenanordnung an dem Kammerdeckel (104) derart befestigt ist, dass beim Öffnen des Kammerdeckels (104) der Gasseparationsspalt (111) vergrößert wird, wobei ein Bereich zwischen dem am Kammerdeckel (104) befestigten Teil (106) und dem Kammerdeckel (104) gasdicht abgedichtet ist;• wobei die Vakuumkammer (100) neben der mindestens einen Spaltschleusenanordnung mindestens einen Evakuier-Bereich (308) aufweist zum Evakuieren der Vakuumkammer (100);• mindestens eine Flanschöffnung (320) in der Vakuumkammer (100), wobei die mindestens eine Flanschöffnung (320) derart an dem mindestens einen Evakuier-Bereich (308) positioniert ist, dass der mindestens eine Evakuier-Bereich (308) mittels der Flanschöffnung (320) zugänglich ist; und• eine an die mindestens eine Flanschöffnung (320) gekuppelte Hochvakuumpumpe.Vacuum chamber (100) having: a chamber housing (102) with a lid opening (103), a chamber lid (104) for covering the lid opening (103), a transport system for transporting a substrate (120) within the vacuum chamber (100); • at least one gap lock arrangement for providing a gas separation gap (111) within the vacuum chamber (100) through which the substrate (120) can be transported by means of the transport system, • at least one part (106) of the at least one gap lock arrangement the chamber cover (104) is fastened in such a way that when the chamber cover (104) is opened, the gas separation gap (111) is enlarged, a region between the part (106) fastened to the chamber cover (104) and the chamber cover (104) being sealed in a gas-tight manner; • wherein the vacuum chamber (100) has at least one evacuation area (308) in addition to the at least one slit lock arrangement for evacuating the vacuum chamber (100); e flange opening (320) in the vacuum chamber (100), wherein the at least one flange opening (320) is positioned on the at least one evacuation area (308) in such a way that the at least one evacuation area (308) by means of the flange opening (320) is accessible; and • a high vacuum pump coupled to the at least one flange opening (320).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer.The invention relates to a vacuum chamber.

Im Allgemeinen kann eine Vakuumprozessieranlage oder eine Vakuumbeschichtungsanlage dazu genutzt werden, Substrate, wie beispielsweise plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu prozessieren bzw. zu beschichten. Dabei kann eine Vakuumprozessieranlage eine oder mehrere Vakuumkammern (auch bezeichnet als Sektionen (Kompartments) oder Prozesskammern) aufweisen sowie ein Transportsystem zum Transportieren des jeweils zu beschichtenden Substrats durch die Vakuumprozessieranlage bzw. durch die mindestens eine Vakuumkammer hindurch. Zum Einschleusen eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Vakuumprozessieranlage heraus, können beispielsweise eine oder mehrere Schleusenkammern, eine oder mehrere Pufferkammern und/oder eine oder mehrere Transferkammern verwendet werden.In general, a vacuum processing system or a vacuum coating system can be used to process or coat substrates, such as, for example, plate-shaped substrates, glass panes, wafers or other carriers. A vacuum processing system can have one or more vacuum chambers (also referred to as sections (compartments) or process chambers) and a transport system for transporting the respective substrate to be coated through the vacuum processing system or through the at least one vacuum chamber. For example, one or more lock chambers, one or more buffer chambers and / or one or more transfer chambers can be used to transfer a substrate into the vacuum processing system or to transfer a substrate out of the vacuum processing system.

Zum Einschleusen mindestens eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein kann beispielsweise das mindestens eine Substrat in eine belüftete Schleusenkammer eingebracht werden, anschließend kann die Schleusenkammer mit dem mindestens einen Substrat evakuiert werden, und das Substrat kann schubweise aus der evakuierten Schleusenkammer heraus in eine angrenzende Vakuumkammer (z.B. in die Pufferkammer) der Vakuumprozessieranlage transportiert werden. Mittels der Pufferkammer kann beispielsweise ein Substrat vorgehalten werden und ein Druck kleiner als in der Schleusenkammer bereitgestellt werden. Mittels der Transferkammer können die schubweise eingebrachten Substrate zu einem so genannten Substratband (einer z.B. gleichförmig transportierten kontinuierlichen Folge von Substraten) zusammengeführt werden, so dass zwischen den Substraten nur kleine Lücken verbleiben, während die Substrate in mindestens einer entsprechend eingerichteten Prozesskammer der Vakuumprozessieranlage prozessiert (z.B. beschichtet) werden.To transfer at least one substrate into the vacuum processing system, for example, the at least one substrate can be introduced into a ventilated lock chamber, then the lock chamber with the at least one substrate can be evacuated, and the substrate can be pushed out of the evacuated lock chamber into an adjoining vacuum chamber (e.g. into the buffer chamber) of the vacuum processing system. By means of the buffer chamber, for example, a substrate can be held and a pressure lower than in the lock chamber can be provided. By means of the transfer chamber, the substrates introduced in batches can be brought together to form a so-called substrate belt (e.g. a uniformly transported continuous sequence of substrates) so that only small gaps remain between the substrates while the substrates are processed in at least one appropriately equipped process chamber of the vacuum processing system (e.g. coated).

DE 10 2005 001 334 A1 und DE 101 22 310 A1 beschreiben jeweils eine längserstreckte Vakuumbeschichtungsanlage, in der sich Beschichtungskompartments und Evakuierungskompartments abwechseln. DE 10 2005 001 334 A1 and DE 101 22 310 A1 each describe an elongated vacuum coating system in which coating compartments and evacuation compartments alternate.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumkammer bereitgestellt, welche modulartig aufgebaut ist bzw. welche Teil einer modulartig aufgebauten Vakuumprozessieranlage sein kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer ein Kammergehäuse aufweisen, wobei das Kammergehäuse derart eingerichtet ist, dass eine Deckel-Öffnung des Kammergehäuses mit einem Kammerdeckel abgedeckt werden kann. Anschaulich kann die Vakuumkammer geöffnet werden, indem der Kammerdeckel abgenommen oder aufgeklappt (geöffnet) wird, und geschlossen werden, indem der Kammerdeckel aufgelegt oder zugeklappt (geschlossen) wird.According to various embodiments, a vacuum chamber is provided which is constructed in a modular manner or which can be part of a modularly constructed vacuum processing system. According to various embodiments, the vacuum chamber can have a chamber housing, the chamber housing being set up in such a way that a cover opening of the chamber housing can be covered with a chamber cover. The vacuum chamber can clearly be opened by removing the chamber cover or folding it open (opening) and closing it by placing the chamber cover on top or folding it shut (closed).

Das Kammergehäuse kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass dieses als Grundkammer (Rezipient) für verschiedene Vakuumkammern genutzt werden kann, z.B. kann das Kammergehäuse für eine Schleusenkammer genutzt werden, wobei die Schleusenkammer beispielsweise im Hochvakuumbereich (z.B. im Bereich des Prozessvakuums, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-5 mbar) betrieben werden kann. Ferner kann das Kammergehäuse für eine Pufferkammer oder Transferkammer genutzt werden. Dabei kann die Funktionsweise oder die Betriebsart der jeweiligen Vakuumkammer aufgrund des mit dem Kammergehäuse verwendeten Kammerdeckels definiert sein. Beispielsweise kann die Grundkammer mit einem Kammerdeckel als Schleusenkammer verwendet werden und mit einem anderen Kammerdeckel als Pufferkammer oder Transferkammer (oder Prozesskammer). Damit das Kammergehäuse universell eingesetzt werden kann, kann das Kammergehäuse mindestens einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Vorvakuumpumpe oder einer Vorvakuumpumpen-Anordnung aufweisen. Somit kann in dem mittels des Kammerdeckels abgedichteten Kammergehäuse zumindest ein Vorvakuum erzeugt werden oder bereitgestellt sein. Wenn in dem abgedichteten Kammergehäuse ein Hochvakuum erzeugt werden soll, kann das mittels eines geeigneten Kammerdeckels erfolgen, wobei der Kammerdeckel beispielsweise einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe oder einer Hochvakuumpumpen-Anordnung aufweisen kann, oder das Kammergehäuse selbst kann einen Anschlussflansch aufweisen zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe oder einer Hochvakuumpumpen-Anordnung, z.B. kann der Anschlussflansch in einer seitlichen Kammerwand des Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden.The chamber housing can, for example, be set up in such a way that it can be used as a basic chamber (recipient) for various vacuum chambers, e.g. the chamber housing can be used for a lock chamber, the lock chamber, for example, in the high vacuum range (e.g. in the process vacuum range, e.g. in a range of approximately 10 -3 mbar to approximately 10 -7 mbar, for example in a range from approximately 10 -3 mbar to approximately 10 -5 mbar). Furthermore, the chamber housing can be used for a buffer chamber or transfer chamber. The mode of operation or the operating mode of the respective vacuum chamber can be defined on the basis of the chamber cover used with the chamber housing. For example, the basic chamber can be used with a chamber cover as a lock chamber and with another chamber cover as a buffer chamber or transfer chamber (or process chamber). So that the chamber housing can be used universally, the chamber housing can have at least one connection flange for connecting a backing pump or a backing pump arrangement. Thus, at least a forevacuum can be generated or provided in the chamber housing sealed by means of the chamber cover. If a high vacuum is to be generated in the sealed chamber housing, this can be done by means of a suitable chamber cover, wherein the chamber cover can for example have a connecting flange for connecting a high vacuum pump or a high vacuum pump arrangement, or the chamber housing itself can have a connecting flange for connecting a high vacuum pump or a high vacuum pump arrangement, for example the connection flange can be provided in a lateral chamber wall of the chamber housing.

Ein Aspekt verschiedener Ausführungsformen kann anschaulich darin gesehen werden, eine Gasseparation in einer Vakuumkammer (gebildet aus einem Kammergehäuse und Kammerdeckel zum Verschließen des Kammergehäuses) bereitzustellen, wobei sich beim Schließen des Kammerdeckels ein Gasseparationsspalt bildet und wobei beim Öffnen des Kammerdeckels der Gasseparationsspalt vergrößert wird oder geöffnet wird. Anschaulich kann beispielsweise das Bereitstellen und Trennen des Gasseparationsspalts automatisch beim Schließen bzw. Öffnen des Kammerdeckels erfolgen.One aspect of various embodiments can clearly be seen in providing a gas separation in a vacuum chamber (formed from a chamber housing and chamber cover for closing the chamber housing), a gas separation gap being formed when the chamber cover is closed and the gas separation gap being enlarged or opened when the chamber cover is opened becomes. For example, the gas separation gap can be provided and separated automatically when the chamber cover is closed or opened.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen weist eine Vakuumkammer Folgendes auf: ein Kammergehäuse mit einer Deckel-Öffnung, einen Kammerdeckel zum Abdecken der Deckel-Öffnung; ein Transportsystem zum Transportieren eines Substrats innerhalb der Vakuumkammer; mindestens eine Spaltschleusenanordnung zum Bereitstellen eines Gasseparationsspalts innerhalb der Vakuumkammer, durch welchen das Substrat mittels des Transportsystems hindurch transportiert werden kann, wobei zumindest ein Teil der mindestens einen Spaltschleusenanordnung an dem Kammerdeckel derart befestigt ist, dass beim Öffnen des Kammerdeckels der Gasseparationsspalt vergrößert wird, wobei ein Bereich zwischen dem am Kammerdeckel befestigten Teil und dem Kammerdeckel gasdicht abgedichtet ist; wobei die Vakuumkammer neben der mindestens einen Spaltschleusenanordnung mindestens einen Evakuier-Bereich aufweist zum Evakuieren der Vakuumkammer; mindestens eine Flanschöffnung in der Vakuumkammer, wobei die mindestens eine Flanschöffnung derart an dem mindestens einen Evakuier-Bereich positioniert ist, dass der mindestens eine Evakuier-Bereich mittels der Flanschöffnung zugänglich ist; und eine an die mindestens eine Flanschöffnung gekuppelte Hochvakuumpumpe.According to various embodiments, a vacuum chamber has the following: a chamber housing with a cover opening, a chamber cover for covering the cover opening; a transport system for transporting a substrate within the vacuum chamber; at least one gap lock arrangement for providing a gas separation gap within the vacuum chamber, through which the substrate can be transported by means of the transport system, at least part of the at least one gap lock arrangement being attached to the chamber cover in such a way that the gas separation gap is enlarged when the chamber cover is opened, with a The area between the part fastened to the chamber cover and the chamber cover is sealed in a gas-tight manner; wherein the vacuum chamber has, in addition to the at least one slit lock arrangement, at least one evacuation area for evacuating the vacuum chamber; at least one flange opening in the vacuum chamber, wherein the at least one flange opening is positioned on the at least one evacuation area in such a way that the at least one evacuation area is accessible by means of the flange opening; and a high vacuum pump coupled to the at least one flange opening.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Substrat mittels des Transportsystems in einer Transportebene transportiert werden. Ferner kann der am Kammerdeckel befestigte Teil der mindestens einen Spaltschleusenanordnung bei geschlossenem Kammerdeckel oberhalb der Transportebene angeordnet sein. Ferner kann ein weiterer Teil der mindestens einen Spaltschleusenanordnung unterhalb der Transportebene angeordnet sein, z.B. sowohl bei geöffnetem als auch bei geschlossenem Kammerdeckel.According to various embodiments, the substrate can be transported in a transport plane by means of the transport system. Furthermore, the part of the at least one slit lock arrangement fastened to the chamber cover can be arranged above the transport plane when the chamber cover is closed. Furthermore, a further part of the at least one slit lock arrangement can be arranged below the transport level, e.g. both when the chamber lid is open and when it is closed.

Anschaulich kann sich ein oberer Teil der Spaltschleusenanordnung beim Bewegen des Kammerdeckels mitbewegen, z.B. kann die Spaltschleusenanordnung dadurch bereitgestellt werden, dass der Kammerdeckel geschlossen wird, also wenn der Kammerdeckel das Kammergehäuse abdichtet. Ferner kann ein unterer Teil der Spaltschleusenanordnung derart eingerichtet sein, dass dieser unabhängig von der Bewegung des Kammerdeckels ist, z.B. kann der untere Teil der Spaltschleusenanordnung fest in dem Kammergehäuse montiert sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die beiden Teile der Spaltschleusenanordnung gemeinsam den Gasseparationsspalt bilden. Mit anderen Worten kann die Spaltschleusenanordnung mindestens zweistückig eingerichtet sein.An upper part of the gap lock arrangement can clearly move with the movement of the chamber cover, e.g. the gap lock arrangement can be provided in that the chamber cover is closed, i.e. when the chamber cover seals the chamber housing. Furthermore, a lower part of the gap lock arrangement can be set up in such a way that it is independent of the movement of the chamber cover, e.g. the lower part of the gap lock arrangement can be fixedly mounted in the chamber housing. According to various embodiments, the two parts of the gap lock arrangement can jointly form the gas separation gap. In other words, the slit lock arrangement can be set up in at least two parts.

Anschaulich kann ein Gasseparationsspalt tunnelförmig eingerichtet sein, so dass ein Substrat den Gasseparationsspalt passieren kann, jedoch so wenig wie möglich Gas den Gasseparationsspalt passieren kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Gasseparationsspalt an den Querschnitt des durch den Gasseparationsspalt hindurch zu transportierenden Substrats angepasst sein oder werden, wobei der Gasseparationsspalt das durch den Gasseparationsspalt hindurch zu transportierende Substrat so eng wie möglich umgibt, ohne den Substrattransport zu behindern.A gas separation gap can clearly be set up in the shape of a tunnel, so that a substrate can pass through the gas separation gap, but as little gas as possible can pass through the gas separation gap. According to various embodiments, the gas separation gap can be adapted to the cross section of the substrate to be transported through the gas separation gap, the gas separation gap surrounding the substrate to be transported through the gas separation gap as closely as possible without hindering the substrate transport.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Spaltschleusenanordnung mehrere Spaltschleusenanordnungen aufweisen. Mit anderen Worten können mehrere Spaltschleusenanordnungen entlang des Substrattransportweges in der Vakuumkammer bereitgestellt sein, so dass das Substrat in der Vakuumkammer mehrere Gasseparationsspalte passiert.According to various embodiments, the at least one gap lock arrangement can have a plurality of gap lock arrangements. In other words, several gap lock arrangements can be provided along the substrate transport path in the vacuum chamber, so that the substrate passes several gas separation gaps in the vacuum chamber.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Spaltschleusenanordnungen entlang einer Transportrichtung der Substrate in der Transportebene angeordnet sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich die Transportebene durch die mehreren Gasseparationsspalte hindurch erstrecken.According to various embodiments, the plurality of slit lock arrangements can be arranged along a transport direction of the substrates in the transport plane. According to various embodiments, the transport plane can extend through the plurality of gas separation gaps.

Ferner weist die Vakuumkammer neben der mindestens einen Spaltschleusenanordnung mindestens einen Evakuier-Bereich auf zum Evakuieren der Vakuumkammer. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Evakuier-Bereich einen Zugriff von Hochvakuumpumpen in das Innere der Vakuumkammer ermöglichen.In addition to the at least one slit lock arrangement, the vacuum chamber also has at least one evacuation area for evacuating the vacuum chamber. According to various embodiments, the evacuation area can enable high vacuum pumps to access the interior of the vacuum chamber.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer die mindestens eine Flanschöffnung in dem Kammergehäuse oder in dem Kammerdeckel aufweisen, wobei die mindestens eine Flanschöffnung derart positioniert ist, dass der mindestens eine Evakuier-Bereich mittels der Flanschöffnung zugänglich ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mittels der Flanschöffnung ein Zugriff der Hochvakuumpumpen in den Evakuier-Bereich der Vakuumkammer bereitgestellt sein oder werden.According to various embodiments, the vacuum chamber can have the at least one flange opening in the chamber housing or in the chamber cover, the at least one flange opening being positioned such that the at least one evacuation area is accessible by means of the flange opening. According to various embodiments, the high vacuum pumps can access the evacuation area of the vacuum chamber by means of the flange opening.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen weist die Vakuumkammer mindestens eine an die mindestens eine Flanschöffnung gekuppelte Hochvakuumpumpe auf. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer mehrere Hochvakuumpumpen aufweisen, welche an mehrere Flanschöffnungen gekuppelt sein können, z.B. jeweils eine Hochvakuumpumpe der mehreren Hochvakuumpumpen an jeweils eine Flanschöffnung der mehreren Flanschöffnungen.According to various embodiments, the vacuum chamber has at least one high vacuum pump coupled to the at least one flange opening. According to various embodiments, the vacuum chamber can have a plurality of high vacuum pumps which can be coupled to a plurality of flange openings, e.g. one high vacuum pump of the plurality of high vacuum pumps each to one flange opening of the plurality of flange openings.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Deckel-Öffnung, einen Kammerdeckel zum Abdecken der Deckel-Öffnung in einem Geschlossen-Zustand des Kammerdeckels und zum zumindest teilweisen Freigelegen der Deckel-Öffnung in einem Offen-Zustand des Kammerdeckels; eine erste Spaltschleusenstruktur, welche an dem Kammerdeckel beweglich montiert ist, eine zweite Spaltschleusenstruktur, welche in dem Kammergehäuse montiert ist, wobei die erste Spaltschleusenstruktur und die zweite Spaltschleusenstruktur derart eingerichtet sind, dass diese im Geschlossen-Zustand des Kammerdeckels mindestens einen Gasseparationsspalt innerhalb der Vakuumkammer bilden.According to various embodiments, a vacuum chamber can have the following: a chamber housing with a cover opening, a Chamber lid for covering the lid opening in a closed state of the chamber lid and for at least partially exposing the lid opening in an open state of the chamber lid; a first gap lock structure which is movably mounted on the chamber cover, a second gap lock structure which is mounted in the chamber housing, wherein the first gap lock structure and the second gap lock structure are set up in such a way that they form at least one gas separation gap within the vacuum chamber when the chamber cover is closed .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Spaltschleusenstruktur mittels Federn oder federnder Elemente an dem Kammerdeckel beweglich montiert sein.According to various embodiments, the first slit lock structure can be movably mounted on the chamber cover by means of springs or resilient elements.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer ferner ein Justierelement zum Fixieren der ersten Spaltschleusenstruktur in einer mittels des Justierelements vordefinierten Position aufweisen.According to various embodiments, the vacuum chamber can furthermore have an adjustment element for fixing the first slit lock structure in a position predefined by means of the adjustment element.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Spaltschleusenstruktur derart eingerichtet sein, dass diese bei geschlossenem Kammerdeckel auf dem Justierelement aufliegt und/oder mittels des Justierelements seitlich fixiert ist.According to various embodiments, the first slit lock structure can be set up in such a way that it rests on the adjustment element when the chamber cover is closed and / or is laterally fixed by means of the adjustment element.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der im Geschlossen-Zustand des Kammerdeckels bereitgestellte Gasseparationsspalt eine Spalthöhe aufweisen, welche eine Dicke des durch den Gasseparationsspalt hindurch zu transportierenden Substrats berücksichtigt. Anschaulich kann die Spalthöhe des Gasseparationsspalts geringfügig größer sein als die Substratdicke des durch den Gasseparationsspalt hindurch zu transportierenden Substrats.According to various embodiments, the gas separation gap provided in the closed state of the chamber cover can have a gap height which takes into account a thickness of the substrate to be transported through the gas separation gap. Clearly, the gap height of the gas separation gap can be slightly greater than the substrate thickness of the substrate to be transported through the gas separation gap.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Spaltschleusenstruktur derart verstellbar an dem Kammerdeckel befestigt sein, dass der Abstand oder die Lage der ersten Spaltschleusenstruktur relativ zum Kammerdeckel eingestellt werden kann. Anschaulich kann die Spalthöhe des Gasseparationsspalts dadurch angepasst werden, dass die erste Spaltschleusenstruktur entsprechend am Kammerdeckel fixiert wird.According to various embodiments, the first slit sluice structure can be adjustably attached to the chamber cover in such a way that the distance or the position of the first slit sluice structure relative to the chamber cover can be adjusted. The gap height of the gas separation gap can clearly be adapted in that the first gap lock structure is correspondingly fixed on the chamber cover.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.Embodiments of the invention are shown in the figures and are explained in more detail below.

Es zeigen

  • 1A eine Vakuumkammer mit geöffnetem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 1B die Vakuumkammer mit geschlossenem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 2A eine Vakuumkammer mit geöffnetem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 2B die Vakuumkammer mit geschlossenem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 3A eine Vakuumkammer mit geöffnetem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 3B die Vakuumkammer mit geschlossenem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
  • 4 eine Vakuumkammer mit geöffnetem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und
  • 5 eine Spaltschleusenanordnung bei geschlossenem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
Show it
  • 1A a vacuum chamber with the chamber lid open in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments;
  • 1B the vacuum chamber with the chamber lid closed in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments;
  • 2A a vacuum chamber with the chamber lid open in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments;
  • 2 B the vacuum chamber with the chamber lid closed in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments;
  • 3A a vacuum chamber with the chamber lid open in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments;
  • 3B the vacuum chamber with the chamber lid closed in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments;
  • 4th a vacuum chamber with the chamber lid open in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments; and
  • 5 a slit lock arrangement with the chamber lid closed in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which there is shown, for purposes of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "back", etc. is used with reference to the orientation of the character (s) being described. Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is used for purposes of illustration and is in no way limiting. It goes without saying that other embodiments can be used and structural or logical changes can be made without departing from the scope of protection of the present invention. It goes without saying that the features of the various exemplary embodiments described herein can be combined with one another, unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.In the context of this description, the terms "connected", "connected" and " coupled “used to describe both a direct and an indirect connection, a direct or indirect connection and a direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference symbols, insofar as this is appropriate.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer dadurch bereitgestellt sein oder werden, dass ein Kammergehäuse mit einer Deckel-Öffnung mittels eines entsprechend passenden Kammerdeckels abgedichtet (verschlossen) wird. Der Kammerdeckel kann beispielsweise auf das Kammergehäuse aufgelegt sein oder werden und somit das Kammergehäuse vakuumdicht abschließen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel nicht fest mit dem Kammergehäuse verbunden sein und somit beispielsweise nach oben abgehoben werden. Alternativ kann der Kammerdeckel mittels eines Lagers schwenkbar an dem Kammergehäuse montiert sein und somit beispielsweise aufgeklappt werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse seitlich (in einer Seitenwand des Kammergehäuses) angeordnete Flansche zum Anschließen einer Vorvakuumpumpenanordnung und/oder einer Hochvakuumpumpenanordnung aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse in einer Seitenwand des Kammergehäuses mindestens einen Flansch aufweisen zum Anschließen einer Hochvakuumpumpenanordnung, z.B. zum Anschließen mindestens einer Turbomolekularpumpe. Ferner kann mindestens ein Flansch zum Anschließen einer Hochvakuumpumpenanordnung in dem Kammerdeckel eingerichtet sein, z.B. zum Anschließen mindestens einer Turbomolekularpumpe.According to various embodiments, a vacuum chamber can be or can be provided in that a chamber housing with a cover opening is sealed (closed) by means of a correspondingly matching chamber cover. The chamber cover can, for example, be placed on the chamber housing and thus close the chamber housing in a vacuum-tight manner. According to various embodiments, the chamber cover cannot be firmly connected to the chamber housing and can thus be lifted upwards, for example. Alternatively, the chamber cover can be mounted pivotably on the chamber housing by means of a bearing and can thus be opened, for example. According to various embodiments, the chamber housing can have flanges arranged laterally (in a side wall of the chamber housing) for connecting a backing pump arrangement and / or a high vacuum pump arrangement. According to various embodiments, the chamber housing can have at least one flange in a side wall of the chamber housing for connecting a high vacuum pump arrangement, e.g. for connecting at least one turbo-molecular pump. Furthermore, at least one flange can be set up for connecting a high vacuum pump arrangement in the chamber cover, e.g. for connecting at least one turbo-molecular pump.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die hierin beschriebene Vakuumkammer eine Schleusenkammer oder eine Transferkammer für eine Vakuumprozessieranlage sein.According to various embodiments, the vacuum chamber described herein can be a lock chamber or a transfer chamber for a vacuum processing system.

1A veranschaulicht eine Vakuumkammer 100 in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Die Vakuumkammer 100 kann beispielsweise ein Kammergehäuse 102 aufweisen, wobei das Kammergehäuse 102 ferner eine Deckel-Öffnung 103 in einer Oberseite des Kammergehäuses 102 aufweisen kann. Ferner kann ein Kammerdeckel 104 passend zu dem Kammergehäuse 102 und passend zu der Deckel-Öffnung 103 des Kammergehäuses 102 eingerichtet sein. Beispielsweise kann der Kammerdeckel 104 einen Dichtbereich 104d oder eine Dichtfläche 104d aufweisen, welche passend zu einem Dichtbereich 102d oder einer Dichtfläche 102d des Kammergehäuses 102 eingerichtet ist, so dass der Kammerdeckel 104 das Kammergehäuse 102 vakuumdicht oder gasdicht verschließen kann. Ferner kann der Kammerdeckel 104 derart eingerichtet sein, dass dieser sich bei geschlossenem Kammerdeckel 104 durch die Deckel-Öffnung 103 hindurch teilweise in das Kammergehäuse 102 hinein erstreckt, z.B. kann der Kammerdeckel 104 eine Vertiefung oder einen Abschnitt aufweisen, welche/welcher sich bei geschlossenem Kammerdeckel 104 durch die Deckel-Öffnung 103 hindurch in das Kammergehäuse 102 hinein erstreckt. 1A illustrates a vacuum chamber 100 in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments. The vacuum chamber 100 can for example be a chamber housing 102 have, the chamber housing 102 also a lid opening 103 in an upper side of the chamber housing 102 may have. Furthermore, a chamber lid 104 matching the chamber housing 102 and to match the lid opening 103 of the chamber housing 102 be set up. For example, the chamber lid 104 a sealing area 104d or a sealing surface 104d have which match a sealing area 102d or a sealing surface 102d of the chamber housing 102 is set up so that the chamber lid 104 the chamber housing 102 can seal vacuum-tight or gas-tight. Furthermore, the chamber lid 104 be set up in such a way that this is when the chamber lid is closed 104 through the lid opening 103 through partially into the chamber housing 102 extends into it, for example the chamber lid 104 have a recess or a section, which / which is when the chamber lid is closed 104 through the lid opening 103 through into the chamber housing 102 extends into it.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Dichtbereich 104d oder die Dichtfläche 104d des Kammerdeckels 104 eine Vakuumdichtung aufweisen (z.B. umlaufen entlang des Dichtbereichs 104d oder der Dichtfläche 104d). Ferner kann der Dichtbereich 102d oder die Dichtfläche 102d des Kammergehäuses 102 eine Vakuumdichtung aufweisen (z.B. umlaufen entlang des Dichtbereichs 102d oder der Dichtfläche 102d). Die Vakuumdichtung kann beispielsweise eine Lippendichtung oder eine andere flexible Dichtstruktur aufweisen.According to various embodiments, the sealing area 104d or the sealing surface 104d of the chamber lid 104 have a vacuum seal (e.g. running around the sealing area 104d or the sealing surface 104d ). Furthermore, the sealing area 102d or the sealing surface 102d of the chamber housing 102 have a vacuum seal (e.g. running around the sealing area 102d or the sealing surface 102d ). The vacuum seal can, for example, have a lip seal or some other flexible sealing structure.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 eine Breite entlang der Richtung 103 aufweisen in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 5 m. Ferner kann die Vakuumkammer 100 eine Höhe entlang der Richtung 105 aufweisen in einem Bereich von ungefähr 0,3 m bis ungefähr 2 m, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,5 m bis ungefähr 1 m. Ferner kann die Vakuumkammer 100 eine Länge (quer zu den Richtungen 103, 105) aufweisen in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 5 m.According to various embodiments, the vacuum chamber 100 a width along the direction 103 have in a range from about 1 m to about 5 m. Furthermore, the vacuum chamber 100 a height along the direction 105 have in a range from approximately 0.3 m to approximately 2 m, for example in a range from approximately 0.5 m to approximately 1 m 100 a length (across the directions 103 , 105 ) range from approximately 1 m to approximately 5 m.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in der Vakuumkammer 100 bzw. in dem Kammergehäuse 102 ein Transportsystem bereitgestellt sein zum Transportieren eines Substrats 120 innerhalb der Vakuumkammer 100, zum Transportieren eines Substrats 120 durch die Vakuumkammer 100 hindurch, zum Transportieren eines Substrats 120 in die Vakuumkammer 100 hinein und/oder zum Transportieren eines Substrats 120 aus der Vakuumkammer 100 heraus. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Transportsystem derart bereitgestellt sein, z.B. mittels einer Vielzahl von Transportrollen, dass ein Substrat 120 entlang einer Transportrichtung (quer zu den Richtungen 103, 105) transportiert werden kann. Das Transportsystem kann eine Transportebene bereitstellen, in welcher das Substrat 120 oder das Substratband 120 transportiert wird.According to various embodiments, in the vacuum chamber 100 or in the chamber housing 102 a transport system can be provided for transporting a substrate 120 inside the vacuum chamber 100 , for transporting a substrate 120 through the vacuum chamber 100 therethrough, for transporting a substrate 120 into the vacuum chamber 100 in and / or for transporting a substrate 120 from the vacuum chamber 100 out. According to various embodiments, the transport system can be provided in such a way, for example by means of a multiplicity of transport rollers, that a substrate 120 along a transport direction (transverse to the directions 103 , 105 ) can be transported. The transport system can provide a transport level in which the substrate 120 or the substrate tape 120 is transported.

Anschaulich kann die Vakuumkammer 100 derart eingerichtet sein, dass eine Spaltschleusenanordnung die Transportebene umgibt, so dass ein Gasseparationsspalt innerhalb der Vakuumkammer bereitgestellt werden kann, durch welchen das Substrat mittels des Transportsystems hindurch transportiert werden kann. Somit kann beispielsweise ein Druckunterschied oder eine Gasseparation zwischen verschiedenen Bereichen in der Vakuumkammer 100 entlang der Transportrichtung erfolgen.The vacuum chamber is clear 100 be set up in such a way that a slit lock arrangement surrounds the transport plane, so that a gas separation gap can be provided within the vacuum chamber through which the substrate can be transported by means of the transport system. Thus, for example, a Pressure difference or a gas separation between different areas in the vacuum chamber 100 take place along the transport direction.

Wie in 1A veranschaulicht ist, kann ein erster Teil 106 (eine erste Spaltschleusenstruktur) einer Spaltschleusenanordnung an dem Kammerdeckel 104 befestigt sein. Ferner kann ein zweiter Teil 110 (eine zweite Spaltschleusenstruktur) einer Spaltschleusenanordnung in dem Kammergehäuse 102 bereitgestellt sein. Dabei kann die zweite Spaltschleusenstruktur 110 unterhalb der Transportebene angeordnet sein, in welcher das Substrat durch die Vakuumkammer 100 hindurch transportiert wird. Die zweite Spaltschleusenstruktur 110 kann beispielsweise zumindest teilweise zwischen den Transportrollen bereitgestellt sein oder werden.As in 1A illustrated can be a first part 106 (a first gap lock structure) of a gap lock arrangement on the chamber lid 104 be attached. Furthermore, a second part 110 (a second gap lock structure) of a gap lock arrangement in the chamber housing 102 be provided. The second slit sluice structure can 110 be arranged below the transport plane in which the substrate through the vacuum chamber 100 is transported through. The second split lock structure 110 can for example be or will be provided at least partially between the transport rollers.

Anschaulich kann bei geöffnetem Kammerdeckel 104 oder bei geöffneter Vakuumkammer 100 kein geschlossener Gasseparationsspalt bereitgestellt sein. Bei geöffnetem Kammerdeckel 104 oder bei geöffneter Vakuumkammer 100 kann das Transportsystem und/oder das Substrat 120 von der Deckel-Öffnung 103 aus zugänglich sein.It can be clearly seen when the chamber lid is open 104 or with the vacuum chamber open 100 no closed gas separation gap must be provided. With the chamber lid open 104 or with the vacuum chamber open 100 can be the transport system and / or the substrate 120 from the lid opening 103 be accessible from.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Spaltschleusenstruktur 106 mittels einer Halterung 106h an dem Kammerdeckel 104 befestigt (montiert) sein. Ferner kann der Bereich zwischen der ersten Spaltschleusenstruktur 106 und dem Kammerdeckel 104 gasdicht abgedichtet sein, so dass beispielsweise kein (oder nur in unwesentlichen Mengen) Gas durch den Spalt zwischen der ersten Spaltschleusenstruktur 106 und dem Kammerdeckel 104 strömen kann.According to various embodiments, the first slit lock structure 106 by means of a bracket 106h on the chamber lid 104 attached (mounted). Furthermore, the area between the first gap lock structure 106 and the chamber lid 104 be sealed gas-tight, so that, for example, no (or only in insignificant quantities) gas through the gap between the first gap lock structure 106 and the chamber lid 104 can flow.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Spaltschleusenstruktur 106 an dem Kammerdeckel 104 befestigt sein, so dass beim Öffnen des Kammerdeckels 104 der Gasseparationsspalt vergrößert wird und/oder so dass beim Öffnen des Kammerdeckels 104 die erste Spaltschleusenstruktur 106 der Spaltschleusenanordnung von der zweiten Spaltschleusenstruktur 110 der Spaltschleusenanordnung abgehoben (oder weggeklappt, vgl. 4) wird.According to various embodiments, the first slit lock structure 106 on the chamber lid 104 be attached so that when you open the chamber lid 104 the gas separation gap is enlarged and / or so that when the chamber lid is opened 104 the first slit lock structure 106 the split lock assembly from the second split lock structure 110 lifted off the slit lock arrangement (or folded away, cf. 4th ) becomes.

1B veranschaulicht die in 1A in geöffnetem Zustand dargestellte Vakuumkammer 100 im geschlossenen Zustand, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Dabei kann der Kammerdeckel 104 lose auf das Kammergehäuse 102 aufgelegt sein oder auch mittels einer zusätzlichen Befestigungsstruktur an dem Kammergehäuse 102 fixiert sein oder werden. Beim Schließen des Kammerdeckels 104 werden die entsprechenden Dichtflächen des Kammerdeckels 104 und des Kammergehäuses 102 aneinander gebracht, so dass eine vakuumdichte Vakuumkammer 100 bereitgestellt sein kann oder werden kann. Ferner kann sich die am Kammerdeckel 104 montierte erste Spaltschleusenstruktur 106 bei geschlossenem Kammerdeckel 104 zumindest teilweise durch die Deckel-Öffnung 103 hindurch erstrecken. 1B illustrates the in 1A Vacuum chamber shown in the open state 100 in the closed state, according to various embodiments. The chamber lid 104 loosely on the chamber housing 102 be placed or by means of an additional fastening structure on the chamber housing 102 be or become fixated. When closing the chamber lid 104 become the corresponding sealing surfaces of the chamber cover 104 and the chamber housing 102 brought together so that a vacuum-tight vacuum chamber 100 may or may be provided. Furthermore, the on the chamber lid 104 installed first slit lock structure 106 with the chamber lid closed 104 at least partially through the lid opening 103 extend through.

Wie in 1B veranschaulicht ist, können die erste Spaltschleusenstruktur 106 und die zweite Spaltschleusenstruktur 110 bei geschlossenem Kammerdeckel 104 einen Gasseparationsspalt 111 oder einen Gasseparationsbereich 111 bilden. Der Gasseparationsspalt 111 oder der Gasseparationsbereich 111 kann sich anschaulich tunnelförmig zwischen den beiden Spaltschleusenstrukturen 106, 110 erstrecken.As in 1B is illustrated, the first gap lock structure 106 and the second split lock structure 110 with the chamber lid closed 104 a gas separation gap 111 or a gas separation area 111 form. The gas separation gap 111 or the gas separation area 111 can vividly form a tunnel between the two slit sluice structures 106 , 110 extend.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Gasseparationsspalt 111 (der Gasseparationsbereich 111) eine Spalthöhe (entlang der Richtung 105) in einem Bereich von ungefähr 2 mm bis ungefähr 70 mm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 3 mm bis ungefähr 50 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 3 mm bis ungefähr 30 mm. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Gasseparationsspalt 111 eine räumliche Ausdehnung entlang der Transportrichtung in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 600 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 300 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 100 cm.According to various embodiments, the gas separation gap can 111 (the gas separation area 111 ) a gap height (along the direction 105 ) in a range from approximately 2 mm to approximately 70 mm, for example in a range from approximately 3 mm to approximately 50 mm, for example in a range from approximately 3 mm to approximately 30 mm. According to various embodiments, the gas separation gap can 111 have a spatial extent along the transport direction in a range from approximately 20 cm to approximately 600 cm, for example in a range from approximately 20 cm to approximately 300 cm, for example in a range from approximately 20 cm to approximately 100 cm.

Anschaulich kann die Spalthöhe des Gasseparationsspalts 111 eingestellt werden, z.B. mittels der Halterung 106h mittels der die erste Spaltschleusenstruktur 106 an dem Kammerdeckel 104 befestigt ist. Ferner kann die Spaltschleusenstruktur 106 beweglich an dem Kammerdeckel 104 befestigt sein, wobei die erste Spaltschleusenstruktur 106 mittels eines zusätzlichen Justierelements beim Schließen des Kammerdeckels 104 in eine Position gebracht werden kann, in welcher die erste Spaltschleusenstruktur 106 den entsprechenden Gasseparationsspalt bereitstellt.The gap height of the gas separation gap can be illustrated 111 can be adjusted, for example by means of the bracket 106h by means of which the first slit sluice structure 106 on the chamber lid 104 is attached. Furthermore, the slit lock structure 106 movable on the chamber lid 104 be attached, the first slit lock structure 106 by means of an additional adjustment element when closing the chamber lid 104 can be brought into a position in which the first slit lock structure 106 provides the corresponding gas separation gap.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Spalthöhe des Gasseparationsspalt 111 derart bereitgestellt sein, dass ein Substrat mit einer Substratdicke durch den Gasseparationsspalt 111 hindurch transportiert werden kann, und dass die erste Spaltschleusenstruktur 106 (und die zweite Spaltschleusenstruktur 110) einen geringen Abstand (entlang der Richtung 103 und/oder der Richtung 105) zum durch den Gasseparationsspalt 111 hindurch transportierten Substrat aufweist, z.B. einen Abstand in einem Bereich von ungefähr 1 mm bis ungefähr 5 mm, z.B. einen Abstand von weniger als ungefähr 3 mm.According to various embodiments, the gap height of the gas separation gap 111 be provided in such a way that a substrate with a substrate thickness through the gas separation gap 111 can be transported through, and that the first slit lock structure 106 (and the second slit-lock structure 110 ) a small distance (along the direction 103 and / or the direction 105 ) to through the gas separation gap 111 has transported through substrate, for example a distance in a range of about 1 mm to about 5 mm, for example a distance of less than about 3 mm.

Im Folgenden werden verschiedene Modifikationen und Konfigurationen der Vakuumkammer 100 und Details zu der Spaltschleusenanordnung 106, 110 beschrieben, wobei sich die bezüglich der 1A und 1B beschriebenen grundlegenden Merkmale und Funktionsweisen analog einbeziehen lassen. Ferner können die nachfolgend beschriebenen Merkmale und Funktionsweisen analog auf die in den 1A und 1B beschriebene Vakuumkammer 100 übertragen werden oder mit der in den 1A und 1B beschriebenen Vakuumkammer 100 kombiniert werden.The following are various modifications and configurations of the vacuum chamber 100 and details of the split lock assembly 106 , 110 described, with regard to the 1A and 1B The basic features and functions described can be included in the same way. Furthermore, the features and modes of operation described below can be applied analogously to those in the 1A and 1B described vacuum chamber 100 be transferred or with the in the 1A and 1B described vacuum chamber 100 be combined.

2A veranschaulicht eine Vakuumkammer 100 in geöffnetem Zustand und 2B veranschaulicht die Vakuumkammer 100 in geschlossenem Zustand, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei der Gasseparationsspalt 111 seitlich mittels zusätzlicher Spaltschleusenstrukturen 210 begrenzt wird. Mit anderen Worten kann die Spaltschleusenanordnung einer erste Spaltschleusenstruktur 106 aufweisen, welche den Gasseparationsspalt 111 nach oben (entlang der Höhenrichtung 105) begrenzt, sowie eine zweite Spaltschleusenstrukturen 110, welche den Gasseparationsspalt 111 nach unten (entlang der Höhenrichtung 105) begrenzt, sowie zwei dritte Spaltschleusenstrukturen 210, welche den Gasseparationsspalt 111 seitlich (entlang der Breitenrichtung 103) begrenzt. 2A illustrates a vacuum chamber 100 when open and 2 B illustrates the vacuum chamber 100 in the closed state, according to various embodiments, wherein the gas separation gap 111 laterally by means of additional slit sluice structures 210 is limited. In other words, the gap lock arrangement can have a first gap lock structure 106 have which the gas separation gap 111 upwards (along the height direction 105 ) as well as a second slit sluice structure 110 , which the gas separation gap 111 downwards (along the height direction 105 ) as well as two third slit sluice structures 210 , which the gas separation gap 111 laterally (along the width direction 103 ) limited.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Spaltschleusenstrukturen 106, 110, 210 formschlüssig und/oder kraftschlüssig aneinander gebracht sein oder werden, wenn der Kammerdeckel 104 geschlossen ist bzw. wird, z.B. wenn der Kammerdeckel 104 auf dem Kammergehäuse 102 aufliegt bzw. aufgelegt wird oder wenn der Kammerdeckel 104 zugeklappt ist bzw. zugeklappt wird.According to various embodiments, the gap lock structures 106 , 110 , 210 be or will be brought together positively and / or non-positively if the chamber lid 104 is or is closed, e.g. when the chamber lid 104 on the chamber housing 102 rests or is placed or if the chamber lid 104 is or is being closed.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Spaltschleusenstruktur 106 beweglich an dem Kammerdeckel 104 montiert sein, wobei die beiden dritten Spaltschleusenstrukturen 210 die erste Spaltschleusenstruktur 106 seitlich fixieren können, und/oder wobei die beiden dritten Spaltschleusenstrukturen 210 derart eingerichtet sein können, dass die erste Spaltschleusenstruktur 106 beim Schließen des Kammerdeckels 104 von selbst in die entsprechend vordefinierte Position gebracht wird. Ferner kann ein zusätzliches Justierelement beim Schließen des Kammerdeckels 104 einen Abstand zwischen der ersten Spaltschleusenstruktur 106 und der zweiten Spaltschleusenstruktur 110 definieren.According to various embodiments, the first slit lock structure 106 movable on the chamber lid 104 be mounted, with the two third slit sluice structures 210 the first slit lock structure 106 Can fix laterally, and / or wherein the two third slit lock structures 210 can be set up in such a way that the first slit lock structure 106 when closing the chamber lid 104 is automatically brought into the corresponding predefined position. Furthermore, an additional adjusting element can be used when closing the chamber cover 104 a distance between the first gap lock structure 106 and the second gap lock structure 110 define.

3A und 3B veranschaulichen eine Vakuumkammer 100 in geöffnetem Zustand und in geschlossenem Zustand in einer schematischen Querschnittsansicht entlang der Transportrichtung 101, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. 3A and 3B illustrate a vacuum chamber 100 in the open state and in the closed state in a schematic cross-sectional view along the transport direction 101 , according to various embodiments.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 zwei an gegenüberliegenden Seitenwänden der Vakuumkammer 100 angeordnete Substrat-Transfer-Öffnungen 302 aufweisen, so dass ein Substrat in die Vakuumkammer 100 hinein und aus der Vakuumkammer 100 heraus transportiert werden kann. Mit anderen Worten kann das Kammergehäuse 102 zwei an gegenüberliegenden Seitenwänden des Kammergehäuses 102 angeordnete Substrat-Transfer-Öffnungen 302 aufweisen, so dass ein Substrat in das Kammergehäuse 102 hinein und aus dem Kammergehäuse 102 heraus transportiert werden kann. Anschaulich können somit mehrere der Vakuumkammern 100 in einer Reihe zu einer Durchlauf-Prozessieranlage (z.B. einer Durchlauf-Beschichtungsanlage oder so genannten In-Line-Beschichtungsanlage) angeordnet sein oder werden, wobei die Vakuumkammern 100 zu einem gemeinsamen Vakuumsystem (zu einer 3-Kammer-Anlage mit drei Vakuumbereichen oder zu einer 5-Kammer-Anlage mit fünf Vakuumbereichen) gekoppelt sein können. Mit anderen Worten können mehrere der Kammergehäuse 102 in einer Reihe zu einer Durchlauf-Prozessieranlage angeordnet sein oder werden, wobei die Kammergehäuse 102 zu einem gemeinsamen Vakuumsystem (zu einer 3-Kammer-Anlage oder einer 5-Kammer-Anlage) gekoppelt sein können oder werden können.According to various embodiments, the vacuum chamber 100 two on opposite side walls of the vacuum chamber 100 arranged substrate transfer openings 302 have so that a substrate in the vacuum chamber 100 in and out of the vacuum chamber 100 can be transported out. In other words, the chamber housing 102 two on opposite side walls of the chamber housing 102 arranged substrate transfer openings 302 have so that a substrate in the chamber housing 102 in and out of the chamber housing 102 can be transported out. Several of the vacuum chambers can thus be clearly illustrated 100 be arranged in a row to form a continuous processing system (for example a continuous coating system or so-called in-line coating system), the vacuum chambers 100 can be coupled to a common vacuum system (to a 3-chamber system with three vacuum areas or to a 5-chamber system with five vacuum areas). In other words, several of the chamber housings can 102 be arranged in a row to form a continuous processing system, with the chamber housing 102 can be or can be coupled to a common vacuum system (to a 3-chamber system or a 5-chamber system).

Das Kammergehäuse 102 kann beispielsweise mindestens einen Anschlussflansch aufweisen zum Anschließen einer Vorvakuumpumpe oder Vorvakuumpumpen-Anordnung an das Kammergehäuse 102. Eine Vorvakuumpumpen-Anordnung kann beispielsweise mindestens eine Schraubenpumpe und/oder mindestens eine Rootspumpe (oder eine andere Vorvakuumpumpe) aufweisen. Anschaulich kann zum Evakuieren der Vakuumkammer 100 bis in den Vorvakuumbereich (z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 mbar bis ungefähr 10-2 mbar) der entsprechende Anschlussflansch in einer Seitenwand des Kammergehäuses 102 angeordnet sein (als Durchgangsöffnung), wobei sich die Seitenwand entlang der Transportrichtung 101 erstreckt. Beispielsweise kann die Seitenwand eine Kammerwand in der Ebene 101, 105 sein, wie in 3A und 3B veranschaulicht ist. Somit kann in der Vakuumkammer 100 (in dem mittels des Kammerdeckels 104 abgedichteten Kammergehäuse 102) ein Druck in einem Bereich des Vorvakuums bereitgestellt sein oder werden. Zusätzlich kann die Vakuumkammer 100 mittels mindestens einer angekoppelten Hochvakuumpumpe bis zu einem Druck im Hochvakuumbereich (z.B. in einem Bereich von ungefähr 10-3 mbar bis ungefähr 10-7 mbar) evakuiert werden.The chamber housing 102 can for example have at least one connection flange for connecting a backing pump or backing pump arrangement to the chamber housing 102 . A backing pump arrangement can, for example, have at least one screw pump and / or at least one Roots pump (or another backing pump). Clearly can be used to evacuate the vacuum chamber 100 the corresponding connection flange in a side wall of the chamber housing up to the fore-vacuum range (for example in a range from approximately 100 mbar to approximately 10 -2 mbar) 102 be arranged (as a through opening), the side wall along the transport direction 101 extends. For example, the side wall can be a chamber wall in the plane 101 , 105 be like in 3A and 3B is illustrated. Thus, in the vacuum chamber 100 (in which by means of the chamber lid 104 sealed chamber housing 102 ) a pressure can be or will be provided in a region of the fore-vacuum. In addition, the vacuum chamber 100 evacuated by means of at least one coupled high vacuum pump up to a pressure in the high vacuum range (for example in a range from approximately 10 -3 mbar to approximately 10 -7 mbar).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 104 mindestens einen Flansch aufweisen zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel 104. Als eine Hochvakuumpumpe kann beispielsweise eine Turbomolekularpumpe (oder eine andere Hochvakuumpumpe) verwendet werden.According to various embodiments, the chamber cover 104 have at least one flange for connecting a high vacuum pump to the chamber cover 104 . As a high vacuum pump, for example, a Turbomolecular pump (or other high vacuum pump) can be used.

Wie in 3A und 3B veranschaulicht ist, kann die Vakuumkammer 100 mehrere Spaltschleusenanordnungen aufweisen. Mit anderen Worten können mehrere erste Spaltschleusenstrukturen 106 an dem Kammerdeckel 104 bereitgestellt sein, und mehrere zweite Spaltschleusenstrukturen 110 in dem Kammergehäuse 102. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Spaltschleusenanordnungen 106, 110 entlang der Transportrichtung 101 in der Transportebene 101t angeordnet sein.As in 3A and 3B illustrated, the vacuum chamber 100 have several slit lock assemblies. In other words, several first slit lock structures can 106 on the chamber lid 104 be provided, and a plurality of second split lock structures 110 in the chamber housing 102 . According to various embodiments, the plurality of slit lock arrangements 106 , 110 along the direction of transport 101 in the transport level 101t be arranged.

Mittels der mehreren Spaltschleusenanordnungen können entlang der Transportrichtung 101 mehrere Gasseparationsspalte 111 bereitgestellt werden, so dass in der Vakuumkammer 100 mehrere Druckbereiche eingerichtet sein können. Neben den mehreren Spaltschleusenanordnungen oder jeweils zwischen zwei benachbarten Spaltschleusenanordnungen kann mindestens ein Evakuier-Bereich 308 bereitgestellt sein zum Evakuieren der Vakuumkammer 100.By means of the several slit lock arrangements, it is possible to move along the transport direction 101 several gas separation gaps 111 be provided so that in the vacuum chamber 100 multiple pressure areas can be set up. In addition to the multiple slit lock arrangements or between two adjacent slit sluice arrangements, at least one evacuation area 308 be provided for evacuating the vacuum chamber 100 .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Evakuier-Bereich 308 notwendig oder hilfreich sein, die Vakuumkammer 100 schneller in den Hochvakuumbereich zu evakuieren, z.B. mittels Turbomolekularpumpen. Diese können beispielsweise eine Fläche ausreichender Größe (z.B. einen Flansch mit einem Durchmesser von mehr als 10 cm, z.B. mit einem Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 40 cm) benötigen, welche zum Inneren der Vakuumkammer 100 hin freiliegt. Anschaulich muss die Turbomolekularpumpe in die Vakuumkammer 100 zugreifen können, da die Gas-Teilchenbewegung in dem Druckbereich des Hochvakuums mit einer großen mittleren freien Weglänge erfolgt.According to various embodiments, the evacuation area 308 necessary or helpful, the vacuum chamber 100 to evacuate faster into the high vacuum range, for example by means of turbo molecular pumps. These can, for example, require an area of sufficient size (for example a flange with a diameter of more than 10 cm, for example with a diameter in a range from approximately 10 cm to approximately 40 cm) leading to the interior of the vacuum chamber 100 is exposed. The turbo-molecular pump must clearly be in the vacuum chamber 100 can access, since the gas-particle movement takes place in the pressure range of the high vacuum with a large mean free path.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mindestens eine Flanschöffnung 320 in der Vakuumkammer 100 bereitgestellt sein, z.B. in dem Kammergehäuse 102 oder im Kammerdeckel 104, wobei die mindestens eine Flanschöffnung 320 derart positioniert ist, dass der bereitgestellte Evakuier-Bereich 308 mittels der Flanschöffnung 320 zugänglich ist. An die mindestens eine Flanschöffnung 320 kann eine Hochvakuumpumpe gekuppelt sein zum Evakuieren der Vakuumkammer 100. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Flanschöffnung 320 zum Anschließen der Hochvakuumpumpe in der Seitenwand (in der Ebene 101, 105) des Kammergehäuses 102 bereitgestellt sein oder werden.According to various embodiments, at least one flange opening 320 in the vacuum chamber 100 be provided, for example in the chamber housing 102 or in the chamber lid 104 , wherein the at least one flange opening 320 is positioned such that the evacuation area provided 308 by means of the flange opening 320 is accessible. To the at least one flange opening 320 A high vacuum pump can be coupled to evacuate the vacuum chamber 100 . According to various embodiments, the at least one flange opening can 320 for connecting the high vacuum pump in the side wall (on the level 101 , 105 ) of the chamber housing 102 be or will be provided.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann an jedem Evakuier-Bereich 308 mindestens eine Flanschöffnung 320 bereitgestellt sein zum Anschließen einer Turbomolekularpumpe.According to various embodiments, each evacuation area 308 at least one flange opening 320 be provided for connecting a turbo molecular pump.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können jeweils mindestens eine Flanschöffnung zum Anschließen einer Vorvakuumpumpe und mindestens eine Flanschöffnung 320 zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe in der Seitenwand (in der Ebene 101, 105) des Kammergehäuses 102 bereitgestellt sein oder werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können jeweils mehrere Flanschöffnungen zum Anschließen einer Vorvakuumpumpenanordnung und mehrere Flanschöffnungen 320 zum Anschließen mehrerer Hochvakuumpumpen in der Seitenwand (in der Ebene 101, 105) des Kammergehäuses 102 bereitgestellt sein oder werden. Ferner kann können die entsprechenden Flanschöffnungen beidseitig (an gegenüberliegenden Seitenwänden) an der Vakuumkammer 100 bereitgestellt sein oder werden.According to various embodiments, at least one flange opening for connecting a backing pump and at least one flange opening can be used 320 for connecting a high vacuum pump in the side wall (in the plane 101 , 105 ) of the chamber housing 102 be or will be provided. According to various embodiments, a plurality of flange openings for connecting a backing pump arrangement and a plurality of flange openings can in each case 320 for connecting several high vacuum pumps in the side wall (on the plane 101 , 105 ) of the chamber housing 102 be or will be provided. Furthermore, the corresponding flange openings can be on both sides (on opposite side walls) on the vacuum chamber 100 be or will be provided.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 zwischen einer Schleusenkammer und einer Prozesskammer einer Vakuumprozessieranlage sein, wobei die Gasseparationsspalte 111 oder Spaltschleusen 106, 110 einen Gasfluss durch die Vakuumkammer 100 hindurch verhindern oder reduzieren können und wobei die Vakuumkammer 100 mittels der Evakuier-Bereiche 308 effizient bis in den Hochvakuumbereich evakuiert werden kann.According to various embodiments, the vacuum chamber 100 be between a lock chamber and a process chamber of a vacuum processing system, the gas separation gaps 111 or slit locks 106 , 110 a gas flow through the vacuum chamber 100 can prevent or reduce through it and wherein the vacuum chamber 100 by means of the evacuation areas 308 can be efficiently evacuated up to the high vacuum range.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumkammer 100 bereitgestellt, wobei die für eine Druckabstufung genutzten Spaltschleusen 106, 110 oder Gasseparationsspalte 111 nicht vollständig an dem Kammergehäuse 102 befestigt sind, sondern wobei nur die Unterteile 110 der Spaltschleusen unterhalb des Transportniveaus 101t an dem Kammergehäuse 102 montiert sein können oder in dem Kammergehäuse 102 bereitgestellt sein können. Dagegen können die Oberteile 106 der Spaltschleusen am Kammerdeckel 104 montiert sein, wobei die Oberteile 106 der Spaltschleusen beim Öffnen der Vakuumkammer 100 mit entnommen werden oder zumindest von den Unterteilen 110 wegbewegt werden. Somit kann beispielsweise ein sofortiger Zugang zu einem Substrat 120 in der Vakuumkammer 100 oder ein sofortiger Zugang zum Transportsystem der Vakuumkammer 100 gewährleistet sein, wenn der Kammerdeckel 104 der Vakuumkammer 100 geöffnet wird. Somit kann eine schnelle Wartung der Vakuumkammer 100 erfolgen. Ferner kann somit eine hohe Arbeitssicherheit gewährleistet werden, da die Oberteile 106 der Spaltschleusen an dem Deckel 104 montiert sind. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Spaltschleusen optimal abgedichtet sein oder werden, z.B. können Bereiche zwischen dem Kammerdeckel 104 und den am Kammerdeckel 104 montierten Oberteilen 106 der Spaltschleusen gasdicht abgedichtet sein oder werden.According to various embodiments, a vacuum chamber 100 provided, the gap locks used for a pressure gradation 106 , 110 or gas separation gap 111 not completely on the chamber housing 102 are attached, but with only the lower parts 110 the slit locks below the transport level 101t on the chamber housing 102 can be mounted or in the chamber housing 102 can be provided. On the other hand, the tops 106 the sluice gates on the chamber lid 104 be mounted with the tops 106 the slit locks when opening the vacuum chamber 100 be removed with or at least from the lower parts 110 be moved away. Thus, for example, immediate access to a substrate 120 in the vacuum chamber 100 or immediate access to the vacuum chamber transport system 100 be guaranteed when the chamber lid 104 the vacuum chamber 100 is opened. This enables quick maintenance of the vacuum chamber 100 respectively. Furthermore, a high level of work safety can be guaranteed, since the upper parts 106 the slit locks on the lid 104 are mounted. According to various embodiments, the gap sluices can be or become optimally sealed, for example areas between the chamber cover 104 and the one on the chamber lid 104 mounted upper parts 106 the gap locks be or will be sealed gas-tight.

4 veranschaulicht eine Vakuumkammer mit geöffnetem Kammerdeckel in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei der Kammerdeckel 104 schwenkbar 400s an dem Kammergehäuse 102 montiert ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 104 der Vakuumkammer 100 aufgeklappt 400s und zugeklappt 400s werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 104 mittels eines Lagers 402 an dem Kammergehäuse 102 schwenkbar 400s montiert sein oder werden. Wenn der Kammerdeckel 104 zugeklappt ist, kann dieser das Kammergehäuse 102 vakuumdicht abdichten oder gasdicht verschließen. 4th illustrates a vacuum chamber with the chamber lid open in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments, wherein the chamber lid 104 pivotable 400s on the chamber housing 102 is mounted. According to various embodiments, the chamber cover 104 the vacuum chamber 100 opened 400s and closed 400s. According to various embodiments, the chamber cover 104 by means of a warehouse 402 on the chamber housing 102 be or will be mounted swiveling 400s. When the chamber lid 104 is closed, this can the chamber housing 102 Seal vacuum-tight or close gas-tight.

5 veranschaulicht eine Spaltschleusenanordnung 500 bei geschlossenem Kammerdeckel 104 in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Die erste Spaltschleusenstruktur 106 kann beispielsweise beweglich an dem Kammerdeckel 104 befestigt sein, z.B. mittels Federn 106h oder federnder Elemente 106h, oder mittels einer anderen Befestigungsstruktur 106h, welche ein Spiel (einen Bewegungsfreiraum) der ersten Spaltschleusenstruktur 106 zulässt. 5 Figure 3 illustrates a split lock arrangement 500 with the chamber lid closed 104 in a schematic cross-sectional view, according to various embodiments. The first slit lock structure 106 can, for example, be movable on the chamber lid 104 be attached, for example by means of springs 106h or resilient elements 106h , or by means of another fastening structure 106h showing a game (a space for movement) of the first slit lock structure 106 allows.

Ferner kann die Spaltschleusenanordnung derart eingerichtet sein, dass ein vordefinierter Gasseparationsspalt 111 bereitgestellt wird. Beispielsweise kann die erste Spaltschleusenstruktur 106 beim Zuklappen des Kammerdeckels 104 in einer Position fixiert werden, welche beispielsweise mittels eines Justierelements 504 vordefiniert sein kann. Das Justierelement 504 und die erste Spaltschleusenstruktur 106 können beispielsweise derart eingerichtet sein, dass das Justierelement 504 formschlüssig in die erste Spaltschleusenstruktur 106 eingreift.Furthermore, the gap lock arrangement can be set up in such a way that a predefined gas separation gap 111 provided. For example, the first slit lock structure 106 when closing the chamber lid 104 be fixed in a position, which for example by means of an adjusting element 504 can be predefined. The adjustment element 504 and the first slit lock structure 106 can for example be set up in such a way that the adjusting element 504 form-fit in the first slit lock structure 106 intervenes.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Spaltschleusenstruktur 106 den Gasseparationsspalt 111 durch Formschluss bilden. Die erste Spaltschleusenstruktur 106 kann beispielsweise auf dem Justierelement 504 aufliegen und/oder mittels des Justierelements 504 seitlich fixiert werden.According to various embodiments, the first slit lock structure 106 the gas separation gap 111 form by form fit. The first slit lock structure 106 can for example on the adjustment element 504 rest and / or by means of the adjusting element 504 be fixed laterally.

Ferner kann die erste Spaltschleusenstruktur 106 teilweise auf einem Abstandshalter 504 oder einem anderen Element 504 aufliegen, wenn der Kammerdeckel 104 geschlossen ist.Furthermore, the first slit lock structure 106 partly on a spacer 504 or another element 504 rest when the chamber lid 104 closed is.

Claims (10)

Vakuumkammer (100) aufweisend: • ein Kammergehäuse (102) mit einer Deckel-Öffnung (103) ; • einen Kammerdeckel (104) zum Abdecken der Deckel-Öffnung (103); • ein Transportsystem zum Transportieren eines Substrats (120) innerhalb der Vakuumkammer (100); • mindestens eine Spaltschleusenanordnung zum Bereitstellen eines Gasseparationsspalts (111) innerhalb der Vakuumkammer (100), durch welchen das Substrat (120) mittels des Transportsystems hindurch transportiert werden kann, • wobei zumindest ein Teil (106) der mindestens einen Spaltschleusenanordnung an dem Kammerdeckel (104) derart befestigt ist, dass beim Öffnen des Kammerdeckels (104) der Gasseparationsspalt (111) vergrößert wird, wobei ein Bereich zwischen dem am Kammerdeckel (104) befestigten Teil (106) und dem Kammerdeckel (104) gasdicht abgedichtet ist; • wobei die Vakuumkammer (100) neben der mindestens einen Spaltschleusenanordnung mindestens einen Evakuier-Bereich (308) aufweist zum Evakuieren der Vakuumkammer (100); • mindestens eine Flanschöffnung (320) in der Vakuumkammer (100), wobei die mindestens eine Flanschöffnung (320) derart an dem mindestens einen Evakuier-Bereich (308) positioniert ist, dass der mindestens eine Evakuier-Bereich (308) mittels der Flanschöffnung (320) zugänglich ist; und • eine an die mindestens eine Flanschöffnung (320) gekuppelte Hochvakuumpumpe.Vacuum chamber (100) having: • a chamber housing (102) with a cover opening (103); • a chamber lid (104) for covering the lid opening (103); • a transport system for transporting a substrate (120) within the vacuum chamber (100); • at least one gap lock arrangement for providing a gas separation gap (111) within the vacuum chamber (100) through which the substrate (120) can be transported by means of the transport system, • wherein at least a part (106) of the at least one gap lock arrangement is fastened to the chamber cover (104) in such a way that the gas separation gap (111) is enlarged when the chamber cover (104) is opened, with an area between the part fastened to the chamber cover (104) (106) and the chamber cover (104) is sealed gas-tight; • wherein the vacuum chamber (100) has at least one evacuation area (308) in addition to the at least one slit lock arrangement for evacuating the vacuum chamber (100); • at least one flange opening (320) in the vacuum chamber (100), wherein the at least one flange opening (320) is positioned on the at least one evacuation area (308) in such a way that the at least one evacuation area (308) by means of the flange opening ( 320) is accessible; and • a high vacuum pump coupled to the at least one flange opening (320). Vakuumkammer gemäß Anspruch 1, wobei das Substrat (120) mittels des Transportsystems in einer Transportebene (101t) transportiert wird, und wobei der am Kammerdeckel (104) befestigte Teil (106) der mindestens einen Spaltschleusenanordnung bei geschlossenem Kammerdeckel (104) oberhalb der Transportebene (101t) angeordnet ist.Vacuum chamber according to Claim 1 , wherein the substrate (120) is transported by means of the transport system in a transport plane (101t), and the part (106) of the at least one slit lock arrangement fastened to the chamber cover (104) is arranged above the transport plane (101t) when the chamber cover (104) is closed . Vakuumkammer gemäß Anspruch 2, wobei ein weiterer Teil (110) der mindestens einen Spaltschleusenanordnung unterhalb der Transportebene (101t) angeordnet ist.Vacuum chamber according to Claim 2 wherein a further part (110) of the at least one slit lock arrangement is arranged below the transport plane (101t). Vakuumkammer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die mindestens eine Spaltschleusenanordnung mehrere Spaltschleusenanordnungen aufweist.Vacuum chamber according to one of the Claims 1 to 3 wherein the at least one gap lock arrangement has a plurality of gap lock arrangements. Vakuumkammer gemäß Anspruch 4, wobei die mehreren Spaltschleusenanordnungen entlang einer Transportrichtung (101) der Substrate in der Transportebene (101t) angeordnet sind.Vacuum chamber according to Claim 4 wherein the plurality of slit lock arrangements are arranged along a transport direction (101) of the substrates in the transport plane (101t). Vakuumkammer (100) aufweisend: • ein Kammergehäuse (102) mit einer Deckel-Öffnung (103) ; • einen Kammerdeckel (104) zum Abdecken der Deckel-Öffnung (103) in einem Geschlossen-Zustand des Kammerdeckels (104) und zum zumindest teilweisen Freigelegen der Deckel-Öffnung (103) in einem Offen-Zustand des Kammerdeckels (104); • eine erste Spaltschleusenstruktur (106), welche an dem Kammerdeckel (104) beweglich montiert ist; • eine zweite Spaltschleusenstruktur (110), welche in dem Kammergehäuse (102) montiert ist, wobei die erste Spaltschleusenstruktur (106) und die zweite Spaltschleusenstruktur (110) derart eingerichtet sind, dass diese im Geschlossen-Zustand des Kammerdeckels (104) mindestens einen Gasseparationsspalt 110 innerhalb der Vakuumkammer (100) bilden.A vacuum chamber (100) comprising: a chamber housing (102) with a cover opening (103); A chamber lid (104) for covering the lid opening (103) when the chamber lid (104) is closed and for at least partially exposing the lid opening (103) when the chamber lid (104) is open; • a first gap lock structure (106) which is movably mounted on the chamber cover (104); • a second gap lock structure (110) which is mounted in the chamber housing (102), the first gap lock structure (106) and the second gap lock structure (110) being set up in such a way that they have at least one gas separation gap when the chamber cover (104) is closed 110 form within the vacuum chamber (100). Vakuumkammer gemäß Anspruch 6, wobei die erste Spaltschleusenstruktur (106) mittels Federn (106h) oder federnder Elemente (106h) an dem Kammerdeckel (104) beweglich montiert ist.Vacuum chamber according to Claim 6 wherein the first slit lock structure (106) is movably mounted on the chamber cover (104) by means of springs (106h) or resilient elements (106h). Vakuumkammer gemäß Anspruch 6 oder 7, ferner aufweisend: ein Justierelement (504) zum Fixieren der ersten Spaltschleusenstruktur (106) in einer mittels des Justierelements (504) vordefinierten Position.Vacuum chamber according to Claim 6 or 7th , further comprising: an adjusting element (504) for fixing the first slit lock structure (106) in a position predefined by means of the adjusting element (504). Vakuumkammer gemäß Anspruch 8, wobei die erste Spaltschleusenstruktur (106) derart eingerichtet ist, dass diese bei geschlossenem Kammerdeckel auf dem Justierelement (504) aufliegt und/oder mittels des Justierelements (504) seitlich fixiert ist.Vacuum chamber according to Claim 8 , wherein the first slit lock structure (106) is set up in such a way that it rests on the adjustment element (504) when the chamber cover is closed and / or is laterally fixed by means of the adjustment element (504). Vakuumkammer gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei der im Geschlossen-Zustand des Kammerdeckels (104) bereitgestellte Gasseparationsspalt (111) eine Spalthöhe aufweist, welche eine Dicke des durch den Gasseparationsspalt (111) hindurch zu transportierenden Substrats (120) berücksichtigt.Vacuum chamber according to one of the Claims 6 to 9 wherein the gas separation gap (111) provided in the closed state of the chamber lid (104) has a gap height which takes into account a thickness of the substrate (120) to be transported through the gas separation gap (111).
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