DE102012109830A1

DE102012109830A1 - Load lock chamber of a vacuum treatment system useful for treating substrates in continuous process, comprises chamber wall-forming chamber container interconnected to a chamber lid which is intended for substrate transport

Info

Publication number: DE102012109830A1
Application number: DE201210109830
Authority: DE
Inventors: Jochen Krause; Steffen Lessmann
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2012-10-16
Filing date: 2012-10-16
Publication date: 2014-04-17

Abstract

Load lock chamber (1) of a vacuum treatment system for treating substrates in a continuous process, comprises a chamber wall-forming chamber container (2) interconnected to a chamber lid (3) which is intended for substrate transport. The chamber lid has at least one cut (4) having a cut base (5) at a distance from the upper edge. A suction port is provided in the chamber lid.

Description

Die Erfindung betrifft eine Schleusenkammer, die eingangs- oder ausgangsseitiges zum Schleusen von Substraten in bzw. aus einer Vakuumbehandlungsanlage vorgesehen ist. In einer derartigen vorzugsweise horizontalen Durchlaufanlage können Substrate wie beispielsweise Glasscheiben verschiedensten Vakuumbehandlungen unterzogen werden. The invention relates to a lock chamber, the input or output side is provided for sluicing substrates in or out of a vacuum treatment plant. In such a preferably horizontal continuous system, substrates such as glass panes can be subjected to a wide variety of vacuum treatments.

Bekannt sind Verfahren zur Vakuumbehandlung, Anlagen und Vorrichtung zur Durchführung dieser Verfahren, Anlagen die im so genannten Durchlaufverfahren arbeiten und auch Vorrichtungen zum besagten Schleusen von Substrate, die als Schleusen und hier als Schleusenkammern bezeichnet werden. Methods are known for vacuum treatment, equipment and apparatus for carrying out these methods, plants which operate in the so-called continuous process and also devices for said sluice of substrates, which are referred to as sluices and here as sluice chambers.

Zu den beispielhaften Vertretern der Vakuumbehandlung zählen Plasmaätzen, Sputtern sowie Elektronenstrahlverdampfen und so weiter. Derartigen Anlagen, in deren Inneren überwiegend subatmosphärische Druckverhältnisse vorherrschen, sind vorrangig aufgrund ihrer Länge, die bis zu 100m betragen kann, aus miteinander verbundenen Vakuumkammern zusammengesetzt. Diese Kammern sind im dichten Verbund bis auf Hoch- und Feinvakuum evakuierbar, wobei in nahezu allen Vakuumkammern ein eher gleichbleibendes Vakuum angestrebt wird. Die Ausnahme davon sind Schleusen eingangs oder auch ausgangs der Anlage, über die Substrate in die beziehungsweise aus der Anlage gelangen; Air-to-Air-Anlagen. Exemplary representatives of vacuum processing include plasma etching, sputtering, and electron beam evaporation, and so on. Such plants, in the interior prevail predominantly subatmospheric pressure conditions, are primarily due to their length, which can be up to 100m, composed of interconnected vacuum chambers. These chambers are evacuated in a dense network up to high and fine vacuum, whereby in almost all vacuum chambers a rather constant vacuum is desired. The exception to this is locks at the entrance or exit of the system, through which substrates enter and exit the system; Air-to-air systems.

Bei einer Vakuumbehandlung im Durchlaufverfahren sind die Behandlungseinrichtungen einzelnen Abschnitten der Anlage fest zugeordnet und das Substrat wird an diesen Behandlungseinrichtungen vorbei bewegt. Es ist dabei unerheblich, ob es sich um diskrete Substrate wie Glasscheiben oder auch um so genannte Endlossubstrate wie Metallbänder oder Folien handelt. Für Letztere ist nicht zwingend ein fortlaufendes Ein- und Ausschleusen erforderlich, da sich hierzu auch eine Behandlung im so genannten Batch-Verfahren, bei dem ein Substratvorrat vor und nach der Behandlung im Ganzen in bzw. aus der Anlage gebracht wird, anbietet. In a continuous-flow vacuum treatment, the treatment devices are permanently assigned to individual sections of the system and the substrate is moved past these treatment devices. It is irrelevant whether they are discrete substrates such as glass panes or so-called endless substrates such as metal strips or foils. For the latter, a continuous inflow and outflow is not necessarily required, as this also offers a treatment in the so-called batch process, in which a substrate supply before and after the treatment is brought as a whole in or out of the system offers.

Das Beschriebene ist je nach Anwendungsgebiet mit horizontal, vertikal oder gekippt angelegtem Substrattransport realisiert. Bei der Beschichtung von Glasscheiben für Architekturglas (bis zu 6m lang) dominieren so genannte horizontale Anlagen (Glasscoater). The described is realized depending on the field of application with horizontally, vertically or tilted applied substrate transport. When coating glass panes for architectural glass (up to 6m long), so-called horizontal systems (glasscoaters) dominate.

Für Verfahren und Vorrichtungen für das aufgezeigte Durchlaufverfahren wurden Vorrichtungen zu Schleusenkammern gesucht und gefunden, da beispielsweise durch die Produktivität der Schleuse maßgeblich die Produktivität der Anlage vorgegeben ist. Ein Maß dafür ist die sogenannte Taktzeit; das zeitliche Intervall in dem Substrate nacheinander eingeschleust werden. Gute Taktzeiten liegen derzeit bei unter 30sec bei besagten normierten Formatgrößen aus dem Industrie- bzw. Architekturglasherstellung. Maßgeblich für die Produktivität ist die Eingangs- oder Ausgangsschleuse deshalb, weil angesichts der Substratgrößen in der besagt kurzen Taktzeit je Takt ein Druckwechsel zwischen von Normaldruck zu Hochvakuum und umgekehrt zu vollziehen ist. Zeitkritisch ist davon das Evakuieren, worauf die Pumpleistung und -wirkung der dafür erforderlichen Vakuumpumpen sowie die räumliche und geometrische Gestaltung der Schleusenkammer selbst auszulegen ist. Schleusenkammern haben daher in der Regel eine eigene Kammergestaltung und sind hinsichtlich ihrer Bauart inkompatibel mit anderen Kammern einer solchen Anlage. Es gilt Kosten zu reduzieren und das, sofern es gelingt, umfassend für verschiedene Anwendungszwecke nutzbare bauidentische Kammern zu schaffen. For methods and devices for the indicated flow method devices were sought to lock chambers and found because, for example, by the productivity of the lock significantly determines the productivity of the system. A measure of this is the so-called cycle time; the time interval in which substrates are introduced one after the other. Good cycle times are currently less than 30 seconds in the case of said standardized format sizes from industrial or architectural glass production. Decisive for the productivity of the input or output lock is because in view of the substrate sizes in the said short cycle time per clock, a pressure change between normal pressure to high vacuum and vice versa to perform. The time-critical is the evacuation, whereupon the pumping power and effect of the necessary vacuum pumps and the spatial and geometric design of the lock chamber itself is interpreted. Lock chambers therefore usually have their own chamber design and are incompatible with other chambers of such a system in terms of their design. It is necessary to reduce costs and, if successful, to create extensively usable building-identical chambers for different purposes.

Es ist bei Schleusenkammern zudem üblich, Vakuumpumpen am Kammerbehälter, also an dem feststehenden Teil der Kammer, vorzusehen. Somit sind Anschlussmöglichkeiten von Vakuumpumpen wie Flansche mit dem Aufstellen einer Anlage von vornherein festgelegt und spätere Optimierungsmaßnahmen bezüglich Saugwirkung und Strömungsverhalten ziehen einen zumeist unzumutbaren Aufwand nach sich. It is also customary in lock chambers to provide vacuum pumps on the chamber container, that is to say on the stationary part of the chamber. Thus, connection possibilities of vacuum pumps such as flanges are set up with the installation of a system from the outset, and later optimization measures with regard to suction effect and flow behavior entail a mostly unreasonable expense.

Derartige Probleme sind adäquat auch bei so genannten Pufferkammern, Kammern in denen Substrate temporär vorgehalten werden, um diese von einem diskontinuierlichen in einem kontinuierlichen Transport zu überführen, vorhanden. Weiter ist unter dem Begriff Schleusenkammer auch eine solche Pufferkammer mit zu verstehen. Such problems are also adequately present in so-called buffer chambers, chambers in which substrates are temporarily stored in order to transfer them from a discontinuous to a continuous transport. Next is the term lock chamber and such a buffer chamber to understand.

Es liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, besagte und bislang bekannte Probleme zu überwinden und eine vorteilhafte Schleusenkammer zu schaffen. It is the object of the invention to overcome said and previously known problems and to provide an advantageous lock chamber.

Die Aufgabe wird durch die Schleusenkammer mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungsformen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen. The object is achieved by the lock chamber with the features of claim 1. Advantageous embodiments of the invention are the subject of dependent claims.

Die gattungsgemäße Schleusenkammer ist vorgesehen für eine Vakuumbehandlungsanlage zum Behandeln von Substraten im Durchlaufverfahren. Zum Ausbilden der Kammerwand weist diese einen Kammerbehälter und einen Kammerdeckel auf, die miteinander verbunden sind. Für den Substrattransport bestimmt weist die Schleusenkammer eine Eingangsöffnung und eine Ausgangsöffnung sowie Transportrollen auf. Letzteres ist vorgesehen für die Bewegung des Substrates durch die Schleusenkammer in Transportrichtung. Zum Erzeugen des Vakuums ist mindestens eine Vakuumpumpe an einer jeweiligen Saugöffnung vorgesehen. The generic lock chamber is provided for a vacuum treatment plant for treating substrates in a continuous process. To form the chamber wall, this has a chamber container and a chamber lid, which are interconnected. For the transport of the substrate, the lock chamber has an inlet opening and an outlet opening as well as transport rollers. The latter is intended for the movement of the substrate through the Lock chamber in the transport direction. For generating the vacuum, at least one vacuum pump is provided at a respective suction opening.

Es kennzeichnet die Erfindung, dass der Kammerdeckel mindestens eine Absenkung mit einen Absenkboden im Abstand von der Oberkante aufweist und dass die Saugöffnung im Kammerdeckel vorgesehen ist. It is characteristic of the invention that the chamber lid has at least one depression with a lowering bottom at a distance from the upper edge and that the suction opening is provided in the chamber lid.

Mit anderen Worten ausgedrückt, besteht die Idee darin, die maßgeblichen vakuumbildenden Mittel soweit möglich, im Kammerdeckel und nicht im Behälter vorzusehen. Damit lässt sich zunächst eine weitere Uniformierung der Kammerbehälter erreichen. Der noch wesentlichere gewonnene Vorteil ist die höhere Flexibilität in Sachen der Optimierung oder Prozessanpassung an der Schleusenkammer, da Kammerdeckel allgemein leichter austauschbar oder anpassbar sind. Beim Schaffen eines neuen Kammerdeckels bot es sich gleichsam an, die Volumen- und Strömungsverhältnisse verbessert zu gestalten, worin der Vorteil der wannenförmigen Absenkung besteht. Letztere lässt es jedoch auch zu, einen ansonsten für die gesamte Anlage üblichen Kammerbehälter zu verwenden, was wiederum eine Fertigungsvorteil bietet. In other words, the idea is to provide the relevant vacuum-forming means, as far as possible, in the chamber lid and not in the container. This can initially achieve a further uniformization of the chamber container. The even more significant advantage gained is the greater flexibility in terms of optimization or process adaptation to the lock chamber, as chamber covers are generally more easily replaceable or adaptable. When creating a new chamber lid, it was almost like to make the volume and flow conditions improved, wherein the advantage of the tub-shaped lowering exists. However, the latter also makes it possible to use a chamber container otherwise customary for the entire system, which in turn offers a manufacturing advantage.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Saugöffnung im Kammerdeckel in der Absenkung derart vorgesehen, dass sich die Saugöffnung im Absenkboden befindet. Es ist durchaus vorteilhaft die Saugöffnung soweit möglich in die Nähe des Substrats zu bringen. In a preferred embodiment of the invention, the suction opening in the chamber lid in the lowering is provided such that the suction opening is located in the Absenkboden. It is quite advantageous to bring the suction opening as far as possible in the vicinity of the substrate.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist kammerinnenseitig an der Absenkung eine am Absenkboden distanziert befestigte Strömungsleitplatte vorgesehen und die Strömungsleitplatte ist flächig größer ist als der Absenkboden. Distanziert meint hier so beabstandet, dass ein Gasfluss zwischen Absenkboden und Strömungsleitplatte erfolgen kann. Die Wirkung der Strömungsleitplatte ist vorrangig für das Belüften relevant. In a preferred embodiment of the invention, a flow-guiding plate fixed at the bottom of the chamber is provided on the inside of the chamber at the depression, and the flow-guiding plate is larger in area than the lowering bottom. Distanced means here so spaced that a gas flow between Absenkboden and Strömungsleitplatte can take place. The effect of the flow baffle is primarily relevant for aeration.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist im Absenkboden mindestens ein Flansch zum Belüften vorgesehen. Angesichts des Vorstehenden ist so der bessere Schutz für das Substrat beim Belüften gegeben. In a preferred embodiment of the invention, at least one flange is provided in the Absenkboden for venting. In view of the above, there is thus better protection for the substrate during aeration.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist zwischen Vakuumpumpe und Saugöffnung ein Ventil vorgesehen. In a preferred embodiment of the invention, a valve is provided between the vacuum pump and the suction opening.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Abstand derart vorgesehen, dass das zu evakuierende Volumen der Schleusenkammer mindestens um 20%, ausgehend von einem Ausgangsvolumen bei einem Abstand gleich Null, kleiner ist. In a preferred embodiment of the invention, the distance is provided such that the volume of the lock chamber to be evacuated is at least 20% smaller, starting from an initial volume at a distance equal to zero.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist zwischen Kammerbehälter und Kammerdeckel eine Dichtung vorgesehen ist. In a preferred embodiment of the invention, a seal is provided between the chamber container and the chamber lid.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Vakuumpumpe eine Turbomolekularpumpe und andersgeartete Vorpumpen sind an der Schleusenkammer vorgesehen. Es sollte zumindest berücksichtigt werden, dass die Turbomolekularpumpe allein nicht für den Zweck geeignet ist. In a preferred embodiment of the invention, the vacuum pump is a turbomolecular pump and different types of backing pumps are provided at the lock chamber. It should at least be considered that the turbomolecular pump alone is not suitable for the purpose.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Strömungsleitplatte mindestens einen Durchbruch auf. In a preferred embodiment of the invention, the Strömungsleitplatte on at least one breakthrough.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Strömungsleitplatte in nächster Nähe einer Saugöffnung einen Durchbruch auf. In a preferred embodiment of the invention, the Strömungsleitplatte in the immediate vicinity of a suction opening on a breakthrough.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist derart der Abstand gewählt und die Strömungsleitplatte angeordnet, dass deren substratzugewandte Fläche mit Eingangsöffnung und Ausgangsöffnung fluchtet, sodass ein Sicherheitsabstand zwischen Substrat zur Strömungsleitplatte und in der Eingangsöffnung sowie Ausgangsöffnung nicht unterschritten wird. Optimalerweise könnte die Strömungsleitplatte nahezu auf dem Substrat aufliegen, wenn nicht ein Sicherheitsabstand oberhalb des Substrates einzuhalten wäre. Dieser Sicherheitsabstand ist auch an Eingangsöffnung und Ausgangsöffnung zu wahren, sodass sich beide zur Orientierung für die Lage der Strömungsleitplatte anbieten. In a preferred embodiment of the invention, the distance is selected and arranged the Strömungsleitplatte that their substrate-facing surface is aligned with the inlet opening and the outlet opening, so that a safety distance between the substrate to Strömungsleitplatte and in the inlet opening and outlet opening is not exceeded. Optimally, the Strömungsleitplatte could almost rest on the substrate, if not a safety distance above the substrate would be observed. This safety distance is also to be maintained at the inlet opening and the outlet opening, so that both offer orientation for the position of the flow guide plate.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Strömungsleitplatte, in der senkrechten Projektion auf das Substrat in seiner Ruheposition betrachtet, dieses seitlich überragend ausgeführt. Unter Ruheposition ist die des Verweilens während des Evakuieren oder des Belüftens verbunden. Wie gesagt vermindert die Strömungsleitplatte das das Substrat beim Belüften zu heftigen Spannungen ausgesetzt ist. Somit sollte es nahezu vollständig jedoch besser überstehend überdeckt sein. In a preferred embodiment of the invention, the Strömungsleitplatte, viewed in the vertical projection on the substrate in its rest position, this designed laterally outstanding. In resting position is that of staying connected during evacuation or aeration. As mentioned, the flow baffle reduces exposure of the substrate to severe stresses when vented. Thus, it should be covered almost completely but better overhanging.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben werden. Dazu ist in der 1 die Schleusenkammer 1 als Schnitt in der Senkrechten in Transportrichtung 14 dargestellt. Kammerbehälter 2 und Kammerdeckel 3 bilden die Schleusenkammer 1. Beide sind an der Dichtung 8 so miteinander verbunden, dass der Kammerdeckel 3 zumindest zu Wartungszwecken abnehmbar ist. Der Kammerbehälter 2 beherbergt die Mittel zum Transport des Substrates 12 wie beispielsweise drehbare Transportrollen 13. Beide, eine Eingangsöffnung 11 und eine Ausgangsöffnung 10, sind so gestaltet, dass das Substrat 12 in die bzw. aus der Schleusenkammer über die Transportmittel bewegt werden kann. Hier nicht dargestellt jedoch üblich sind solchen Ventilvorrichtungen, mit denen sich die beiden Öffnungen 10 und 11 auch vakuumdicht verschließen. Auch könnten sich am Kammerbehälter 2 Vorvakuumpumpen wie Schraubenpumpen befinden. Am Kammerdeckel 3 ist als wesentliche Veränderung die wannenartige Absenkung 4 vorgesehen. Zwischen Absenkboden 5 und Oberkannte 7 ist der Abstand auszumachen, der sozusagen die Tiefe der Wanne ausmacht. Die Oberkannte 7 ist ca. in der Höhe der Dichtung 8 angelegt. Hier befindet sich wie skizziert auch die Saugöffnung 16 mit einem Absperrventil 17 und der Vakuumpumpe 15 und zwar in zweifacher Ausführung. Vorteilhaft ist es allerdings, die Wanne oder Absenkung so zu gestalten, dass sich die Saugöffnung 16 genau wie die Flansche 6 im Absenkboden 5 befinden. Vom Flansch 6 ausgehend wird sich beim Belüften das einströmende Gas in der Kammer zwischen Absenkboden 5 Strömungsleitplatte 9 fließt und zunächst so seitlich ausbreiten, dass es nicht unmittelbar auf das Substrat 12 auftrifft. Sofern so etwas wenn auch geringfügig erforderlich sein sollte, kann die Strömungsleitplatte 9 Durchbrüche aufweisen. Einen solchen Durchbruch hat die Strömungsleitplatte 9 bestenfalls dort, wo die Strömungsleitplatte 9 die Saugöffnung 16 dort verschließen oder überdecken würde, wo die Pumpleistung der Vakuumpumpe 15 zur Wirkung kommt. Ein solcher Durchbruch unmittelbar vor der Saugöffnung 16 ist nicht dargestellt. Nicht dargestellt ist auch die Option, dass in der Breite des Substrates betrachtet mehrere Pumpen unterschiedlicher Art sowie Belüftungsmittel am Kammerdeckel 3 sowie in der Absenkung 4 vorgesehen sein können. The invention will be described in more detail with reference to an embodiment. This is in the 1 the lock chamber 1 as a section in the vertical in the transport direction 14 shown. chamber container 2 and chamber lid 3 form the lock chamber 1 , Both are at the seal 8th so interconnected that the chamber lid 3 at least for maintenance purposes is removable. The chamber container 2 houses the means for transporting the substrate 12 such as rotatable transport rollers 13 , Both, an entrance opening 11 and an exit port 10 , are designed to be the substrate 12 can be moved in or out of the lock chamber on the transport. Not shown here but are common such valve devices, with which the two openings 10 and 11 also close vacuum-tight. Also could be on the chamber container 2 Pre-vacuum pumps are like screw pumps. At the chamber lid 3 is a significant change the trough-like lowering 4 intended. Between lowered floor 5 and supreme 7 is the distance to be made, which makes up the depth of the tub, so to speak. The upper one 7 is about the height of the seal 8th created. Here is as sketched and the suction opening 16 with a shut-off valve 17 and the vacuum pump 15 in duplicate. It is advantageous, however, to make the tub or lowering so that the suction opening 16 just like the flanges 6 in the lower floor 5 are located. From the flange 6 starting from the venting the incoming gas in the chamber between Absenkboden 5 baffle plate 9 flows and initially spread out so that it is not directly on the substrate 12 incident. If something like that should be required, however, the flow baffle can 9 Have breakthroughs. Such a breakthrough has the Strömungsleitplatte 9 at best, where the flow baffle 9 the suction opening 16 there would close or cover where the pumping power of the vacuum pump 15 comes to effect. Such a breakthrough immediately in front of the suction opening 16 is not shown. Not shown is also the option that viewed in the width of the substrate several pumps of different types and ventilation means on the chamber lid 3 as well as in the lowering 4 can be provided.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1: Schleusenkammer lock chamber
2 2: Kammerbehälter chamber container
3 3: Kammerdeckel chamber cover
4 4: Absenkung lowering
5 5: Absenkboden Absenkboden
6 6: Flansch flange
7 7: Oberkante top edge
8 8th: Dichtung poetry
9 9: Strömungsleitplatte baffle plate
1010: Ausgangsöffnung output port
1111: Eingangsöffnung entrance opening
1212: Substrat substratum
1313: Transportrolle transport roller
1414: Transportrichtung transport direction
1515: Vakuumpumpe (Turbopumpe) Vacuum pump (turbo pump)
1616: Saugöffnung suction opening
1717: Ventil Valve

Claims

Lock chamber ( 1 ), a vacuum treatment plant for the treatment of substrates in a continuous process, chamber wall forming educative interconnected a chamber container ( 2 ) and a chamber lid ( 3 ), substrate transport-determined having an inlet opening ( 11 ) and an exit opening ( 10 ) as well as transport rollers ( 13 ), intended for the movement of the substrate ( 12 ) through the lock chamber ( 1 ) in the transport direction ( 14 ), and vacuum-generating having at least one vacuum pump ( 15 ) at a respective suction opening ( 16 ), characterized in that the chamber lid ( 3 ) at least one reduction ( 4 ) with a lowered floor ( 5 ) at a distance from the top edge ( 7 ) and that the suction opening ( 16 ) in the chamber lid ( 3 ) is provided.

Lock chamber ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the suction opening ( 16 ) in the chamber lid ( 3 ) in the lowering ( 4 ) is provided such that the suction opening ( 16 ) in the lower floor ( 5 ) is located.

Lock chamber ( 1 ) according to claim 1 or 2, characterized in that chamber inside of the lowering ( 4 ) one on the lower floor ( 5 ) distanced fixed flow guide plate ( 9 ) is provided and that the flow guide plate ( 9 ) is larger than the Absenkboden ( 5 ).

Lock chamber ( 1 ) according to one of claims 1 to 3, characterized in that in the Absenkboden at least one flange ( 6 ) is provided for venting.

Lock chamber ( 1 ) according to one of claims 1 to 4, characterized in that between vacuum pump ( 15 ) and suction opening ( 16 ) a valve ( 17 ) is provided.

Lock chamber ( 1 ) according to one of claims 1 to 5, characterized in that the distance is provided such that the volume of the lock chamber to be evacuated ( 1 ) is smaller by at least 20%, starting from an initial volume at a distance equal to zero.

Lock chamber ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that between chamber container ( 2 ) and chamber lid ( 3 ) a seal ( 8th ) is provided.

Lock chamber ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the vacuum pump ( 16 ) one Turbomolecular pump is and other types of backing pumps at the lock chamber ( 1 ) are provided.

Lock chamber ( 1 ) according to one of the preceding claims from 3, characterized in that the flow guide plate ( 9 ) has at least one breakthrough.

Lock chamber ( 1 ) according to one of the preceding claims from 3, characterized in that the flow guide plate ( 9 ) in the immediate vicinity of a suction opening ( 16 ) has a breakthrough.

Lock chamber ( 1 ) according to one of the preceding claims from 3, characterized in that the distance selected and the flow guide plate ( 9 ) is arranged such that its substrate-facing surface with inlet opening ( 11 ) and exit opening ( 10 ) is aligned so that a safety distance between substrate ( 12 ) to the flow guide plate ( 9 ) and in the entrance opening ( 11 ) as well as exit opening ( 10 ) is not fallen below.

Lock chamber ( 1 ) according to one of the preceding claims from 3, characterized in that the flow guide plate ( 9 ), in the vertical projection onto the substrate ( 12 ) considered in a rest position, this is carried out laterally outstanding.