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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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GEBIET DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Wirbelstromdämpfer mit mindestens einer Magnetanordnung mit einer Rückschlussplatte, auf welcher mindestens ein Magnet angeordnet ist, wobei die Rückschlussplatte eine Magnetanordnungsseite aufweist, an der der oder die Magnete angeordnet sind. Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem entsprechenden Wirbelstromdämpfer sowie ein Verfahren zur Montage mindestens eines Magneten auf einer Rückschlussplatte zur Bildung einer entsprechenden Magnetanordnung.
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STAND DER TECHNIK
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Wirbelstromdämpfer werden im Stand der Technik in vielen Bereichen eingesetzt. Beispielsweise können sie auch zur schwingungsgedämpften Lagerung von Komponenten in einer Projektionsbelichtungsanlage eingesetzt werden. Die Wirbelstromdämpfer nutzen dabei das physikalische Prinzip, dass bei einer Bewegung einer leitfähigen Platte in einem Magnetfeld Wirbelströme in der Platte induziert werden, die ein Gegenmagnetfeld und somit eine Gegenkraft zur Bewegungsrichtung aufbauen. Dadurch kann ein Dämpfungseffekt bewirkt werden.
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Bei einem üblichen Aufbau eines Wirbelstromdämpfers, wie er in der 1 dargestellt ist, werden Magnetanordnungen verwendet, bei denen Magnete an einer Rückschlussplatte angeordnet sind. Um eine möglichst effektive Dämpfung zu bewerkstelligen, soll die Anordnung der Magnete möglichst exakt und präzise erfolgen. Allerdings ergeben sich durch die magnetischen Kräfte zwischen den Magneten und der Rückschlussplatte Schwierigkeiten hinsichtlich einer exakten Anordnung, da die Magnete unter Aufbringung großer Kräfte positioniert werden müssen, wobei zusätzlich die Gefahr besteht, dass die Magnete bei der Anordnung Schaden nehmen, da die Magnete üblicherweise aus seltenen Erden gebildet sind und deshalb ein sprödes Verhalten zeigen.
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OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
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AUFGABE DER ERFINDUNG
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Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Magnetanordnung, insbesondere für einen Wirbelstromdämpfer, sowie einen Wirbelstromdämpfer und ein Verfahren zur Herstellung einer Magnetanordnung bereitzustellen, die eine einfachere und sichere sowie exakte Montage ermöglichen. Gleichzeitig soll der Aufbau der Magnetanordnung bzw. des Wirbelstromdämpfers einfach sein und die erforderliche Funktion voll umfänglich gewährleistet werden. Darüber hinaus soll das Verfahren zur Montage entsprechend zuverlässig durchführbar sein.
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TECHNISCHE LÖSUNG
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Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Magnetanordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, einen Wirbelstromdämpfer mit den Merkmalen des Anspruchs 5 sowie ein Verfahren zur Montage einer Magnetanordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 7. Eine Projektionsbelichtungsanlage ist Gegenstand des Anspruchs 6. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
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Die Erfindung schlägt zur einfacheren Montage von Magneten an einer Rückschlussplatte vor, die Rückschlussplatte mehrteilig auszuführen, und zwar insbesondere in einer Richtung quer zur Magnetanordnungsseite der Rückschlussplatte. Durch die mehrteilige Ausbildung können der oder die Magnete an abgetrennten Teilen der Rückschlussplatte angeordnet werden, sodass die magnetischen Kräfte zwischen den separaten Teilen der Rückschlussplatte und der Magneten gering gehalten werden können. Dies erleichtert die Montage und vermindert die Gefahr der Beschädigung der Magnete durch zu hohe Kräfte, die bei der Montage zur Positionierung auf die Magnete aufgebracht werden müssen.
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Nach Anordnung der Magnet auf einem abgetrennten Teil der Rückschlussplatte (Teilrückschlussplatte) können die verschiedenen Teile der Rückschlussplatte zusammengesetzt werden, wobei die Handhabung ausschließlich über die Teilrückschlussplatten erfolgen kann, sodass Krafteinwirkungen auf die Magnete vermieden wird. Auf diese Weise lassen sich die Magnete ohne Gefährdung ihrer Unversehrtheit exakt positionieren.
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Die Unterteilung der Rückschlussplatte in mehrere Teilrückschlussplatten kann so erfolgen, dass die Teilrückschlussplatte aus einem Stapel von mindestens zwei oder mehr Teilplatten gebildet ist, die parallel zu einer Magnetanordnungsseite der Rückschlussplatte gegenseitig aneinander anliegen.
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Die Teilrückschlussplatten können insbesondere in unterschiedlichen Dicken ausgebildet sein, um die Magnetkräfte bei der Anordnung der Magnete bzw. der Teilrückschlussplatten gegeneinander entsprechend gering zu halten. Durch eine geeignete Unterteilung der Rückschlussplatte können die Montagekräfte angepasst und eingestellt werden. Insbesondere kann die Teilrückschlussplatte, an der die Magnete angeordnet werden, ausreichend dünn ausgebildet sein, um durch die geringe Dicke die magnetischen Kräfte zwischen Teilrückschlussplatte und Magnete gering zu halten. Gleichzeitig kann jedoch die Teilrückschlussplatte, an der die Magnete direkt angeordnet sind, ausreichend dick dimensioniert werden, um der Montageeinheit aus Teilrückschlussplatte und Magneten insbesondere auch für die anschließende Montage an einer oder mehreren weiteren Teilrückschlussplatten die erforderliche Stabilität zu verleihen.
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Die Teilrückschlussplatten können insbesondere aus dem gleichen Material gebildet sein, sodass die gleichen magnetischen Eigenschaften sowie weitere Materialeigenschaften identisch gegeben sind.
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Eine derartige Magnetanordnung kann insbesondere bei Wirbelstromdämpfern sowie vorzugsweise bei Wirbelstromdämpfern, die in Projektionsbelichtungsanlagen eingesetzt werden, Verwendung finden, da dort eine exakte Positionierung der Magnete besonders vorteilhaft ist.
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KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
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Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise in
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1 den Aufbau eines herkömmlichen Wirbelstromdämpfers; und in
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2 einen entsprechenden Aufbau eines Wirbelstromdämpfers gemäß der vorliegenden Erfindung.
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AUSFÜHRUNGSBEISPIEL
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Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung eines Ausführungsbeispiels deutlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf dieses Ausführungsbeispiel beschränkt.
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Die 1 zeigt ein Beispiel eines Wirbelstromdämpfers nach dem Stand der Technik, bei welchem zwei Magnetanordnungen 1 mit jeweils einer Rückschlussplatte 2 und mehreren, auf der Rückschlussplatte 2 angeordneten Magneten 3, 4, 5, 6 einen Zwischenraum einschließen, in dem eine leitfähige Platte (Finne) 7 bewegbar ist. Durch die Bewegung der leitfähigen Platte 7 in den Magnetfeldern, die durch die Magnete 3, 4, 5, 6 erzeugt werden, werden Wirbelströme in der Platte 7 induziert, die wiederum ein Gegenmagnetfeld und damit eine Gegenkraft zur Bewegungsrichtung aufbauen. Dadurch wird die Bewegung der leitfähigen Platte 7 gedämpft und eine entsprechende Anordnung kann als Wirbelstromdämpfer beispielsweise in einer Projektionsbelichtungsanlage zur gedämpften Lagerung von Komponenten eingesetzt werden, wobei dann lediglich eine Verbindung der entsprechenden Komponente mit der Finne 7 erforderlich ist.
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Die 2 zeigt einen Wirbelstromdämpfer, der einen ähnlichen Aufbau wie der der 1 aufweist. Der Wirbelstromdämpfer der 2 wird ebenfalls durch zwei Magnetanordnungen 10 mit einer Rückschlussplattenanordnung 12 und Magneten 13, 14, 15, 16 gebildet, die an der Rückschlussplattenanordnung 12 angeordnet sind. Die Magnetanordnungen 10 schließen wiederum einen Zwischenraum ein, in dem eine Finne 17 bewegbar angeordnet ist. Allerdings unterscheidet sich die erfindungsgemäße Ausführungsform der 2 von der Ausführungsform gemäß dem Stand der Technik der 1 dahingehend, dass anstelle einer einstückigen Rückschlussplatte 2 eine Rückschlussplattenanordnung 12 mit zwei Teilrückschlussplatten 18, 19 vorgesehen ist. Durch die Verwendung von zwei Teilrückschlussplatten anstelle einer einzigen Rückschlussplatte 2 kann die Montage der Magneten 13, 14, 15, 16 einfacher und somit exakter bewerkstelligt werden, sodass eine exaktere, effektivere und platzsparende Bauweise des Wirbelstromdämpfers ermöglicht wird.
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Die Montage der Magnete 13, 14, 15, 16 an der Rückschlussplattenanordnung 12 erfolgt nämlich in der Weise, dass zunächst die Magnete 13, 14, 15, 16 an der Teilrückschlussplatte 18 angeordnet werden. Die Teilrückschlussplatte 19 wird hierbei so gestaltet, dass die Kräfte zwischen der Teilrückschlussplatte 19 und der Magneten 13, 14, 15, 16 möglichst gering ausfallen, sodass eine leichte Montage der Magnete 13, 14, 15, 16 auf der Teilrückschlussplatte 19 möglich ist. Dies wird insbesondere dadurch erreicht, dass die Dicke der Teilrückschlussplatte 19 entsprechend klein dimensioniert wird. Die Dickenrichtung ist hierbei die Richtung quer, insbesondere senkrecht, zur Seite der Teilrückschlussplatte 19, an der die Magnete 13, 14, 15, 16 angeordnet werden (Magnetanordnungsseite). Allerdings wird die Teilrückschlussplatte 19 so ausreichend dick dimensioniert, dass die Baugruppe aus den Magneten 13, 14, 15, 16 und der Teilrückschlussplatte 19 eine ausreichende Stabilität aufweist. Insbesondere wird die Teilrückschlussplatte 19 so dimensioniert, dass eine ausreichende Stabilität für eine anschließende Montage der Teilrückschlussplatte 19 mit den Magneten 13, 14, 15, 16 an der Teilrückschlussplatte 18 gewährleistet ist. Hierbei wird die Handhabung bei der Montage von Teilrückschlussplatte 18 und Teilrückschlussplatte 19 so durchgeführt, dass die Handhabung ausschließlich über die Teilrückschlussplatten 18, 19 erfolgt, sodass auf die Magnete 13, 14, 15 keine Kräfte ausgeübt werden müssen. Da die Magnete üblicherweise aus seltenen Erden bestehen, wie beispielsweise SmCo-Magnete, und dadurch spröde sind, kann dadurch vermieden werden, dass die Magnete 13, 14, 15 bei der Handhabung Schäden erleiden. Die Teilrückschlussplatte 18 kann dann entsprechend in einer Dicke gewählt werden, die für die erforderlichen magnetischen Eigenschaften der Magnetanordnung 10 notwendig ist. Allerdings kann die Teilrückschlussplatte 18 auch in weitere Teilrückschlussplatten unterteilt werden, um die Montagekräfte entsprechend anzupassen.
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Durch das erfindungsgemäße Design ist somit eine einfachere Montage der Magnetanordnung 10 sowie des Wirbelstromdämpfers möglich, wobei insbesondere eine potentielle Beschädigung der Magnete weitgehen vermieden werden kann.
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Obwohl die vorliegende Erfindung anhand des Ausführungsbeispiels detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann klar, dass die Erfindung nicht auf dieses Ausführungsbeispiel beschränkt ist, sondern dass vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale weggelassen oder andersartige Kombinationen von Merkmalen verwirklicht werden können, solange der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche nicht verlassen wird. Insbesondere schließt die vorliegende Offenbarung sämtliche Kombinationen der vorgestellten Einzelmerkmale ein.
