DE102012212354A1

DE102012212354A1 - Messvorrichtung zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Laserstrahls sowie Verwendung einer derartigen Messvorrichtung

Info

Publication number: DE102012212354A1
Application number: DE201210212354
Authority: DE
Inventors: Dr. Dinger Udo; Matthias Manger; Florian Baumer; Dr. Schlemmer Harry; Hans-Ulrich Wieland; Alexa Schilling; Tanja Neumann; Bas van Dorp; Martin Lambert; Andreas Enzmann
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH; Trumpf Laser und Systemtechnik GmbH; Carl Zeiss Optronics GmbH; ASML Netherlands BV
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH; Trumpf Laser und Systemtechnik GmbH; Hensoldt Optronics GmbH; ASML Netherlands BV
Priority date: 2012-07-13
Filing date: 2012-07-13
Publication date: 2014-01-16

Abstract

Eine Messvorrichtung (2a) dient zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Laserstrahls (1f, 1h). Die Messvorrichtung hat mindestens eine Richtungs-Überwachungseinrichtung (9a, 19a, 29b, 43a) zur Vermessung und Überwachung einer Richtung des Laserstrahls (1f, 1h). Eine Orts-Überwachungseinrichtung (43a) dient zur Vermessung und Überwachung eines Laserstrahl-Ortes in einer Überwachungsebene (69a). Eine Energie-Überwachungseinrichtung (29a) dient zur Vermessung und Überwachung einer Laserstrahl-Energie. Zumindest eine dieser Überwachungseinrichtungen umfasst eine Präzisions-Überwachungseinheit (9a, 43a) zur präzisen Überwachung einer zu überwachenden Größe und eine Schnellinformations-Überwachungseinheit (19a, 29a, 29b) zur schnellen Überwachung der zu überwachenden Größe. Es resultiert eine Messvorrichtung, bei der eine effektive Vermessung und Überwachung des mindestens einen Laserstrahls gegeben ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Laserstrahls. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung einer derartigen Messvorrichtung sowie ein Strahlführungssystem zur Führung mindestens eines Laserstrahls hin zu einer derartigen Messvorrichtung.
Für viele optische Anwendungen ist es erforderlich, Parameter eines Laserstrahls einerseits zu vermessen, also hinsichtlich ihrer Größe möglichst gut zu kennen, und andererseits zu überwachen, also deren zeitlichen Verlauf zu kennen.
Derartige Messvorrichtungen sind in vielfacher Ausführung durch offenkundige Vorbenutzungen bekannt.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Messvorrichtung der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, dass eine effektive Vermessung und Überwachung des mindestens einen Laserstrahls gegeben ist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine Messvorrichtung mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass das Vermessen und Überwachen einer Richtung, eines Orts und einer Energie eines Laserstrahls diesen Laserstrahl hinsichtlich wesentlicher Parameter für viele Anwendungen ausreichend charakterisieren. Ferner wurde erkannt, dass je nach einer momentanen Anforderung in gewissen Situationen eine präzise Überwachungs- bzw. Messinformation gewünscht ist, wohingegen in anderen Informationen eine Schnellinformation zum jeweiligen Laserparameter ausreicht. Die erfindungsgemäße Messvorrichtung stellt zumindest für eine zu überwachende Größe sowohl eine Präzisions-Überwachungseinheit als auch eine Schnellinformations-Überwachungseinheit zur Verfügung. Mit der Präzisions-Überwachungseinheit lässt sich die zu überwachende Größe, also beispielsweise die Strahlrichtung, ein Strahlort, z. B. eine laterale Fokusposition, oder eine Strahlenergie präzise bestimmen. Mit der Schnellinformations-Überwachungseinheit lässt sich diese Größe, wenn beispielsweise Informationen zur zu überwachenden Größe innerhalb eines Zeitraums von weniger 0,1 s zugänglich sein müssen, entsprechend schnell erhalten. Messfrequenzen in den Größenordnungen 10 Hz, 100 Hz, 1 kH, 10 kH sind, je nach Auslegung der Schnellinformations-Überwachungseinheit, zugänglich. Die Präzisions-Überwachungseinheit kann zum Beispiel eine Messfrequenz bis 50 Hz realisieren. Die Schnellinformations-Überwachungseinheit kann dann entsprechend eine Messfrequenz realisieren, die größer ist als 50 Hz und auch noch größer sein kann, beispielsweise größer sein kann als 3 kHz.
Eine Präzisionsmessung einerseits und eine Schnellmessung andererseits können bei einer entsprechenden Ausführung der Messvorrichtung simultan erfolgen. Die erfindungsgemäße Messvorrichtung kann zur Überwachung mindestens eines Laserstrahls mit einem Wellenlängenbereich zwischen 10,3 µm und 10,6 µm ausgelegt sein. Eine derartige Auslegung ermöglicht die Überwachung eines CO₂-Lasers. Derartige Laser finden beispielsweise bei der Materialbearbeitung oder auch als Anregungslaser für die Erzeugung von EUV-Licht Verwendung. Die Energie-Überwachungseinrichtung der Messvorrichtung kann mindestens einen pyroelektrischen bzw. pyroelektromagnetischen Detektor bzw. Sensor aufweisen. Die Energie-Überwachungseinreichung kann einen vorgelagerten und insbesondere mehrstufigen Diffusor aufweisen. Die Energie-Überwachungseinrichtung kann Teil einer Schnellinformationsmessung sein.
Eine Messvorrichtung nach Anspruch 2 kann in Subsysteme zur Überwachung der einzelnen Laserstrahlen unterteilt sein. Diese Subsysteme können zueinander separierbar ausgelegt sein.
Eine Auslegung nach Anspruch 3 ermöglicht es, wellenlängenspezifische Parameter zu bestimmen und zu überwachen.
Eine Kamera nach Anspruch 4 als Bestandteil einer Präzisions-Überwachungseinheit kann als Mikro-Bolometer-Kamera zur Vermessung von langwelliger IR-Strahlung ausgeführt sein. Alternativ oder zusätzlich kann eine CCD-Kamera oder Pyrometerkamera zum Einsatz kommen. Eine Kamera als Bestandteil der Messvorrichtung kann je nach entsprechender Vorsatz-Optik zur Richtungsüberwachung oder zur Ortsüberwachung, z. B. durch Abbildung einer Systempupille in die Messebene, oder auch zur Wellenfrontmessung genutzt werden. Die Kamera stellt eine Funktionseinheit zur pixelbasierten, ortsaufgelösten Intensitätsmessung dar.
Ein Quadrantendetektor nach Anspruch 5 erlaubt eine hochfrequente Auslegung. Dem Quadrantendetektor kann eine Aperturblende vorgelagert sein. Hierbei kann eine Beugung am Blendenrand dazu genutzt werden, um einen Durchmesser des zu vermessenden Laserstrahls auf den Quadrantendetektor zu vergrößern. Alternativ oder zusätzlich zu einem Quadrantendetektor kann ein halbleiterbasierter positionssensitiver Detektor (PSD) zum Einsatz kommen.
Ein Drehkeil-Paar nach Anspruch 6 kann zum Ausgleich oder zur Verringerung von Eingangs-Richtungsfehlern genutzt werden.
Ein Einengungs-Teleskop nach Anspruch 7 ermöglicht es, den mindestens einen zu vermessenden bzw. zu überwachenden Laserstrahl handhabbar in der nachgelagerten Messvorrichtung zu führen. Das Einengungs-Teleskop kann als Galilei-Teleskop ausgeführt sein.
Ein weiteres Teleskop nach Anspruch 8 kann zur Vermeidung von Messverfälschungen eingesetzt werden. Dieses weitere Teleskop kann als Kepler-Teleskop ausgeführt sein.
Mit Hilfe einer Divergenz-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 9 kann eine Fokalebene des mindestens einen zu vermessenden und zu überwachenden Laserstrahls bestimmt werden. Es kann also überwacht werden, ob der Laserstrahl zu einer vorgegebenen Fokalebene einen Defokus aufweist. Die Divergenz-Überwachungseinrichtung kann eine astigmatische Abbildungsoptik aufweisen. Die Divergenz-Überwachungseinrichtung kann Teil der Präzisionsmessung der Messvorrichtung sein.
Eine Wellenfront-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 10 komplettiert die Informationen zu dem mindestens einen zu vermessenden und zu überwachenden Laserstrahl. Die Wellenfront-Überwachungseinrichtung kann Teil der Präzisionsmessung sein.
Eine Verwendung nach Anspruch 11 ermöglicht eine sachgerechte Vermessung und Überwachung der Anregung für ein Plasmamedium einer EUV-Plasma-Lichtquelle, das in Form eines Targets, z. B. eines Zinntröpfchens, vorliegen kann. Die Messvorrichtung kann dabei sicherstellen, dass das Target, das eine Größe von etwa 50 µm haben kann, mit der notwendigen Genauigkeit, also einer Richtungsstabilität und einer Ortsstabilität sowie mit einer Energiestabilität, getroffen wird. Eine Richtungsmessung kann dabei im Rahmen der Schnellinformations-Überwachung mit einer Wiederholrate z. B. im Bereich einiger Kilohertz ermittelt werden. Neben der Richtungs- und der Ortsinformation kann mit der Messvorrichtung auch eine Fokalinformation einer Targetbestrahlung ermittelt werden.
Bei einer Verwendung nach Anspruch 12 kann über die Vermessung des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls beispielsweise eine Fokallage im Target bestimmt werden. Die Fokallage kann in Strahlrichtung (Defokus) und auch lateral zur Strahlrichtung bestimmt werden. Diese Fokuslagebestimmung kann wiederum Teil der Schnellinformations-Überwachung der Messvorrichtung sein.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein Strahlführungssystem bereitzustellen, über welches mindestens ein zu vermessender und zu überwachender Laserstrahl hin zur Messvorrichtung geführt werden kann.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch ein Strahlführungssystem mit den im Anspruch 13 angegebenen Merkmalen.
Die Auskoppelplatte kann aus einem für eine Wellenlänge im Bereich zwischen 10,3 µm und 10,6 µm transparenten Material gefertigt sein. Die Auskoppelplatte kann aus Diamant, insbesondere aus durch CVD (Chemical Vapor Deposition) hergestelltem Diamant, gefertigt sein. Die Auskoppelplatte kann als Keilplatte ausgeführt sein. Ein Keilwinkel der Auskoppelplatte kann größer sein als 1,5’ (Bogenminuten). Die Auskoppelplatte kann eine dichroitische Beschichtung aufweisen. Dies ermöglicht es, spezifisch bestimmte Wellenlängen des Laserstrahls gegenüber anderen Wellenlängen hinsichtlich ihrer Reflexion an der Auskoppelplatte zu bevorzugen. Die Auskoppelplatte kann im Strahlführungssystem so angeordnet sein, dass ein Umgebungsdruck auf beiden Seiten der Auskoppelplatte gleich groß ist. Dies vermeidet eine unerwünschte Durchbiegung der Auskoppelplatte. Die Auskoppelplatte kann in einer insgesamt abgedichteten Kammer untergebracht sein. In diesem Fall kann noch mindestens ein weiteres Kammerfenster vorgesehen sein, über welches der zu vermessende und zu überwachende Laserstrahl ausgekoppelt wird. Das weitere Kammerfenster kann aus ZnSe gefertigt sein.
Bei einer Anordnung nach Anspruch 14 kann als zweiter Haupt-Laserstrahl ein Rückreflex des ersten Haupt-Laserstrahls genutzt werden. Die Auskopplung der beiden zu vermessenden und zu überwachenden Laserstrahlen kann über die gleiche Reflexionsfläche, also über eine Rückseite oder über eine Vorderseite, der Auskoppelplatte geschehen. Dies erzwingt für den Fall, dass der zweite Haupt-Laserstrahl exakt gegenläufig zum ersten Haupt-Laserstrahl, also antiparallel zu diesem, verläuft, einen zwingend antiparallelen Verlauf der beiden durch Reflexion an der Auskoppelplatte ausgekoppelten, zu vermessenden und zu überwachenden Laserstrahlen.
Ein Retroreflektor nach Anspruch 15 kann als Tripelspiegel ausgeführt sein oder kann drei nach Art eines Tripelspiegels angeordnete reflektierende Flächen aufweisen. Die drei Flächen können zum Beispiel durch einen Spiegel und ein Dachkantenprisma gebildet werden. Ein derartiges Strahlführungs-Subsystem ermöglicht eine exakt parallele Führung der beiden zu vermessenden und zu überwachenden Laserstrahlen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:
1 stark schematisch einen Strahlengang eines Strahlführungssystems für einen Anregungs-Laserstrahl einer EUV-Plasmaquelle;
2 ebenfalls schematisch eine Übersichtsdarstellung einer Messvorrichtung zur Vermessung und Überwachung sowohl eines Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls als auch eines Reflexions-Anregungs-Laserstrahls der EUV-Plasmaquelle nach 1;
3 schematisch eine Aufsicht auf verschiene Formen eines Laserspots in einer Messebene einer Präzisions-Überwachungseinrichtung der Messvorrichtung zur Divergenz-Überwachung des Anregungs-Laserstrahls; und
4 in einer zu 1 ähnlichen Darstellung einen Strahlengang eines alternativen Strahlführungssystems für den Anregungs-Laserstrahl.
Ein Anregungs-Laser 1a in Form eines CO₂-Lasers erzeugt einen Anregungs-Laserstrahl 1b mit mehreren Wellenlängen λ1, λ2 im Bereich von 10,3 µm und 10,6 µm. Der Anregungs-Laserstrahl 1b wird von einem Umlenkspiegel 1c umgelenkt und trifft auf ein Target 1d zur Erzeugung von EUV-Nutzlicht 1e. Das EUV-Nutzlicht 1e hat eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm und hat insbesondere eine Wellenlänge von 13,5 nm. Das EUV-Nutzlicht 1e hat eine Leistung im Bereich von 200 W.
Der Umlenkspiegel 1c ist für den Anregungs-Laserstrahl 1b teildurchlässig. Das Target 1d wird dabei von einem Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f durchtreten. Das Target 1d ist ein Zinntröpfchen mit einem Durchmesser in der Größenordnung von etwa 10 µm.
Die Umlenkspiegel des Strahlführungssystems einerseits und der Messvorrichtung 2a andererseits können als Kupferspiegel ausgeführt sein.
Schematisch ist in der 1 noch ein Kollektor 1g für das EUV-Nutzlicht 1d dargestellt.
Das Target 1d stellt ein Plasmamedium einer EUV-Plasma-Lichtquelle dar, zu der der CO₂-Laser 1a und der Kollektor 1g gehören.
Vom Target 1d rückreflektiert wird ein Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h. Derjenige Teil des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h, der den Umlenkspiegel 1c durchtritt, wird von zwei weiteren Umlenkspiegeln 1i, 1j umgelenkt und verläuft im Anschluss hieran parallel beabstandet zum Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f.
Die beiden Anregungs-Laserstrahlen, also der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f und der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h, durchtreten im weiteren Verlauf Eintrittsfenster 1 und 2 einer Messvorrichtung 2a zur Vermessung und Überwachung der Laserstrahlen 1f und 1h.
Im weiteren Verlauf des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f ist ein teildurchlässiger Strahlteiler 3 angeordnet. Ein durch den Strahlteiler 3 durchgelassener Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f passiert eine Vorsatzoptik 4a und trifft dann eine Strahlfalle 5a, in der dieser durchgelassene Teil kontrolliert entsorgt wird.
Nach dem Durchtritt durch das Eintrittsfenster 1 trifft der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h ebenfall auf einen Strahlteiler 6, wobei ein durchgelassener Teil des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h über eine Vorsatzoptik 4b auf eine weitere Strahlfalle 5b gelenkt wird. Der vom Strahlteiler 6 umgelenkte Teil des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h durchtritt zunächst ein Drehkeil-Paar 7. Die beiden Drehkeile 7a, 7b des Drehkeil-Paars 7 sind jeweils um eine zentrale Drehachse 7c, die mit der Strahlachse des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h zusammenfällt, drehbar. Über eine Relativverdrehung der beiden Drehkeile 7a, 7b lassen sich justierbedingte oder thermisch bedingte Richtungsfehler des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h auf einen Wert von beispielsweise wenigen Zehntel mrad verkleinern, die von den weiteren Komponenten der Messvorrichtung 2a toleriert werden.
Nach Durchtritt durch das Drehkeil-Paar 7 durchtritt der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h ein Galilei-Teleskop 8. Das Galilei-Teleskop 8 dient als Einengungs-Teleskop. Dort wird ein Bündeldurchmesser des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h um einen Faktor 10 verkleinert.
Nach dem Austritt aus dem Galilei-Teleskop 8 tritt der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h in ein Reflexions-Substystem 8a der Messvorrichtung 2a ein, welches zum Vermessen und Überwachen des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h ausgeführt ist.
Ein Strahlteiler 9 nach dem Galilei-Teleskop 8 teilt den Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h auf in einen reflektieren Anteil hin zu einer Präzisions-Überwachungseinheit 9a zur Divergenz-Überwachung und zur Richtungs-Überwachung des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h und in einem durchgelassenen Anteil, der im weiteren Verlauf noch beschrieben wird. Die Präzisions-Überwachungseinheit 9a dient zur präzisen Überwachung einer Fokalebene des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h, d. h. zur Überwachung, ob ein Defokus relativ zu einer vorgegebenen Fokalebene im Bereich des Targets 1d vorliegt.
Nach der Reflexion am Strahlteiler 9 durchtritt der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h zunächst eine erste Linse 11 eines Kepler-Teleskops. Anschließend wird der reflektierte Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h von einem Umlenkspiegel 12 reflektiert und durchtritt eine Feldblende 13 im Bereich einer Fokalebene der Linse 11. Nach Durchtritt durch die Feldblende 13 durchtritt der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h einen als Shutter ausgeführten Verschluss 10 und dann eine zweite Linse 14 des Kepler-Teleskops. Im Anschluss hieran durchtritt der reflektierte Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h einen Filter 15, bei dem es sich um einen Kurzpassfilter oder wahlweise auswechselbar um einen Langpass-Filter handelt. Der Filter 15 lässt also genau eine der beiden Wellenlängen λ1, λ2 des reflektierten Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h durch. Bei der Ausbildung als Kurzfilter kann der Filter 15 beispielsweise die Wellenlänge 10,3 µm durchlassen und die Wellenlänge 10,6 µm blocken. Bei der Auslegung als Langpassfilter kann der Filter 15 beispielsweise die Wellenlänge 10,6 µm durchlassen und die Wellenlänge 10,3 µm blocken.
Nach dem Filter 15 durchtritt der reflektierte Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h einen Abschwächer, der Teil eines Filterrades 16 ist. Im Filterrad 16 sind mehrere verschiedene neutrale Abschwächer wahlweise in den Strahlengang des reflektierten Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h einsetzbar, so dass eine Strahlungsleistung des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h auf einen vorgegebenen Messpegel eingestellt werden kann. Anschließend durchtritt der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h eine astigmatische Abbildungsoptik 17a, 17b. Nach der astigmatischen Abbildungsoptik 17a, 17b trifft der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h auf eine Kamera 18 in Form einer Mikro-Bolometer-Kamera.
Bei perfekt kollimiertem Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h ist ein Laserspot 18a in einer Messebene 18d der Kamera 18 kreisrund (vgl. 3).
Bei konvergentem oder divergentem Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h ist der Laserspot (vgl. Spots 18b, 18c) durch den über die astigmatische Abbildungsoptik 17a, 17b erzeugten Astigmatismus eine stehende oder liegende Ellipse, aus dessen Aspektverhältnis eine Defokussierung des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h, also dessen Divergenz, quantitativ ermittelt werden kann.
Das Kepler-Teleskop 11, 14 bildet eine Austrittspupille des Galilei-Teleskops 8 in eine Eintrittspupille der Kamera 18 ab. Dies vermeidet eine Verfälschung des Messergebnisses. Insbesondere verhindert das Kepler-Teleskop 11, 14, dass bei stärker divergenten Eingangsstrahlen, die beispielsweise die Folge einer stärkeren lateralen Fokusverschiebung sein können, der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h nicht randseitig von Strahlführungsoptiken der Messvorrichtung 2, beispielsweise von nachgelagerten Linsen, abgeschnitten wird.
Mit der Präzisions-Überwachungs-Einheit 9a wird zudem eine Strahlrichtung des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h vermessen und überwacht.
Für die Richtungsinformation wird eine Lage eines Zentrums des Laserspots 18a, 18b, 18c auf einer Detektorfläche der Kamera 18 ausgewertet.
Zum Reflexions-Subsystem 8a gehört weiterhin eine Schnellinformations-Überwachungseinheit 19a zum Vermessen und Überwachen der Strahlrichtung des Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h. Die Schnellinformations-Überwachungseinheit 19a nutzt den durch den Strahlteiler 9 hindurchgelassenen Teil des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h. Dieser durchtritt zunächst eine Linse 20 eines weiteren Kepler-Teleskops. Im Zwischenfokus dieses Kepler-Teleskops angeordnet ist eine weitere Feldblende 21. Dieser nachgeordnet ist eine weitere Linse 22 des Kepler-Teleskops. Dem Kepler-Teleskop 20, 22 nachgeordnet, ist wiederum ein Kurzpass-/Langpass-Filter 23 und ein Neutralfilter 19. Diesem nachgeordnet ist eine Objektivlinse 24. Letzterer nachgeordnet ist eine Aperturblende 25. Der Aperturblende 25 nachgeordnet ist ein Quadranten-Detektor 26.
Eine Beugung des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h am Blendenrand der Aperturblende 25 führt zu einem größeren Strahldurchmesser des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h auf dem Quadranten-Detektor 26.
Das Kepler-Teleskop 20, 22 bildet eine Austrittspupille des Galilei-Teleskops 8 auf eine Eintrittspupille des Objektivs 24 ab. Dies hilft eine Messverfälschung vermeiden.
Für die Richtungsinformation des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h wird die Lage eines Laserspots 26a auf den vier Quadranten 26b des Quadrantendetektors 25 ermittelt, von denen in der schematischen Darstellung der 2 nur zwei Quadranten 26b sichtbar sind. Zur Richtungsinformationsermittlung werden, wie dies grundsätzlich aus dem Stand der Technik bekannt ist, die entsprechenden Signaldifferenzen und -quotienten der Quadrantensignale des Quadrantendetektors 26 ausgewertet.
Das Reflexions-Subsystem 8a ist zur Überwachung mehrerer Laserstrahl-Wellenlängen ausgelegt, zwischen denen durch Wechsel der Filter 15 bzw. 23 gewechselt werden kann.
Der Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f, der vom Strahlteiler 3 reflektiert wird, durchtritt zunächst ein Drehkeil-Paar 27 mit zwei Drehkeilen 27a, 27b und ein Galilei-Teleskop 28, deren Funktion den Komponenten 7 und 8, die vorstehend bereits erläutert wurden. Anschließend tritt der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f in ein Durchgangs-Subsystem 28 zum Vermessen und Überwachen des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f ein. Das Durchgangs-Subsystem 28a kann grundsätzlich vom Reflexions-Subsystem 8a getrennt angeordnet sein, kann von diesem also separierbar sein.
Nach dem Galilei-Teleskop 28 ist zunächst ein Strahlteiler 29 angeordnet. Ein vom Strahlteiler 29 durchgelassener Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f tritt in einen Teilast des Durchgangs-Subsystems 28a ein, der einerseits eine Energie-Überwachungseinrichtung in Form einer Schnellinformations-Überwachungseinheit 29a und andererseits eine Richtungs-Überwachungseinrichtung in Form einer Schnellinformations-Überwachungseinheit 29b aufweist.
Zur Auswahl zwischen den beiden Überwachungseinrichtungen 29a, 29b dient ein weiterer Strahlteiler 31. Zwischen den beiden Strahlteilern 29 und 31 ist eine Linse 30 eines Kepler-Teleskops angeordnet. Der vom Strahlteiler 31 durchgelassene Anteil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f durchtritt zunächst eine Feldblende 32 am Ort eines Zwischenfokus des Kepler-Teleskops und anschließend eine zweite Linse 33 des Kepler-Teleskops, zu dem auch die Linse 30 gehört. Anschließend durchtritt der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f einen Kurzpass-/Langpass-Filter 34 und einen Neutralfilter 35. Die Funktion des Kurzpass-/Langpass-Filters 34 und des Neutralfilters 35 entsprechen der Funktion der Komponenten 23, 19, die vorstehend im Zusammenhang mit der Schnellinformations-Überwachungseinheit 19a bereits erläutert wurden.
Nach dem Neutralfilter 35 durchtritt der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f eine Objektivlinse 36 und eine weitere Aperturblende 37 und trifft anschließend auf einen Quadrantendetektor 38. Die Funktion der Richtungs-Überwachungseinrichtung 29b entspricht derjenigen der Richtungs-Überwachungseinrichtung 19a.
Der vom Strahlteiler 31 reflektierte Anteil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f wird zunächst von einem Umlenkspiegel 39 reflektiert und durchtritt dann eine weitere Linse 40, die ebenfalls zusammen mit der Linse 30 ein Kepler-Teleskop bildet. Anschließend durchtritt der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f einen Neutralfilter 41 und einen mehrstufigen Diffusor 42 und trifft schließlich auf einen pyroelektrischen Detektor 43. Der Diffusor 42 dient dazu, einen möglichst großen und homogenen beleuchteten Spot auf dem Detektor 43 zu erreichen. Das Kepler-Teleskop mit den Linsen 30 und 40 bildet wiederum eine Austrittspupille des Galilei-Teleskops 28 auf den Diffusor 42 ab. Dies hilft, eine Messverfälschung zu vermeiden.
Der vom Strahlteiler 29 reflektierte Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f tritt in einen weiteren Messast des Durchgangs-Subsystems 28a ein. Dieser weitere Messast beinhaltet eine Präzisions-Überwachungseinheit 43a mit einer Kombinations-Überwachungseinrichtung, beinhaltend eine Richtungs-Überwachungseinrichtung und eine Orts-Überwachungseinrichtung für den Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f, und eine weitere Präzisions-Überwachungseinheit 43b, ausgeführt als Wellenfront-Überwachungseinrichtung.
Der vom Strahlteiler 29 reflektierte Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f durchtritt zunächst einen Neutralfilter eines Filterrades 46, welches vom grundsätzlichen Aufbau her dem Filterrad 16 entspricht. Anschließend trifft der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f auf einen Strahlteiler 48. Der von diesem reflektierte Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f durchtritt eine Linse 47 eines Kepler-Teleskops und anschließend einen als Shutter ausgebildeten Verschluss 44. Anschließend trifft der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f auf einen weiteren Strahlteiler 78. Der von diesem durchgelassene Anteil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f durchtritt einen Kurzpass-/Langpassfilter 49 und eine Feldblende 51, die am Ort einer Fokalebene der Linse 47 des Kepler-Teleskops angeordnet ist.
Zur Ortsbestimmung mit der Präzisions-Überwachungseinheit 43a wird die Lage einer Systempupille einer Targetbeleuchtung durch den Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f ermittelt. Hierzu durchtritt der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f einen weiteren Strahlteiler 50 und eine Linse 77 sowie einen Neutralfilter 54. Anschließend wird dieser Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f von einem Umlenkspiegel 53 reflektiert und durchtritt eine weitere Linse 56 und wird schließlich von einem weiteren Strahlteiler 66 reflektiert.
Zur Ortsüberwachung durchtritt der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f sodann eine Objektivlinse 67 und wird anschließend von einem Umlenkspiegel 68 hin zu einer weiteren Mikro-Bolometer-Kamera 69 reflektiert.
Der von der ersten Kepler-Linse 47 erzeugte Zwischenfokus in der Ebene der Feldblende 51 wird von den nachfolgenden Linsen 77 und 56 in einem weiteren Zwischenfokus in der Nähe des Umlenkspiegels 66 abgebildet. Die nachfolgende Linse 67 kollimiert die von diesem Fokus ausgehende Strahlung des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f und erzeugt ein Bild der Austrittspupille des Galilei-Teleskops 28 auf einer Messebene 69a der Kamera 69. Dies ermöglicht eine Positionsbestimmung der Systempupille und damit eine Überwachung desjenigen Ortes, auf dem der Anregungs-Laserstrahl 1c auf das Target 1d fällt.
Die Präzisions-Überwachungseinheit 43a erlaubt weiterhin eine simultane Richtungsüberwachung für zwei Wellenlängen innerhalb des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f, also beispielsweise für die Wellenlängen 10,3 µm und 10,6 µm. Für die Überwachung einer ersten Wellenlänge λ1 wird der Teil des Durchgangs-Anregungs-Lichtstrahls 1f, der vom Strahlteiler 48 reflektiert wird. Dieser wird zunächst von einem Umlenkspiegel 45 reflektiert und durchtritt dann einen Spektralfilter 59 und einen Neutralfilter 63. Anschließend durchtritt dieser Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f einen Strahlteiler 64 und eine zweite Linse 65, die zusammen mit der Linse 47 ein Kepler-Teleskop bildet. Anschließend durchtritt dieser Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f den Strahlteiler 66 und die Objektivlinse 67. Ein auf die Kamera 69 auftreffender Laserspot dieses Teils des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f mit Wellenlänge λ1 ist mit seiner Position ein Maß für eine Strahlrichtung des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f mit Wellenlänge λ1. Das Kepler-Teleskop mit den Linsen 47 und 65 bildet wiederum die Austrittspupille des Galilei-Teleskops 28 auf das Abbildungsobjektiv 67 ab.
Zur Richtungsüberwachung der Wellenlänge λ2 wird derjenige Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f verwendet, der vom Strahlteiler 78 durchgelassen wird. Dieser durchtritt zunächst einen Spektralfilter 49, die Feldblende 51 und wird vom Strahlteiler 50 reflektiert. Anschließend durchtritt dieser reflektierte Anteil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f mit der Wellenlänge λ2 einen Neutralfilter 57 und wird vom Strahlteiler 64 reflektiert. Im Anschluss hieran passiert dieser Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f mit Wellenlänge λ2 die Linse 65, die wiederum die zweite Linse des Kepler-Teleskops darstellt, durchtritt den Strahlteiler 66 und die Objektivlinse 67 und wird auf einen weiteren Punkt auf der Kamera 69 fokussiert, der stellvertretend für eine Richtung des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f mit der Wellenlänge λ2 ist.
Zur Vermessung in der Präzisions-Überwachungseinheit 43b, mit der eine Wellenfront des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f vermessen wird, dient der Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f, der vom Strahlteiler 48 durchgelassen wird. Dieser Teil durchtritt zunächst einen als Shutter ausgeführten Verschluss 89 und eine erste Linse 88 eines Kepler-Teleskops. Anschließend wird dieser Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f von einem Umlenkspiegel 83 reflektiert. Ein Strahlteiler 79 folgt im Anschluss hieran für die Aufteilung des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f in zwei Teiläste, deren Wellenfronten für unterschiedliche Wellenlängen λ1, λ2 separat mit der Präzisions-Überwachungseinheit 43b vermessen werden.
Ein vom Strahlteiler 79 reflektierter Anteil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f durchtritt zunächst eine Feldblende 90 in einer Fokalebene der Linse 88 und wird anschließend von einem Umlenkspiegel 84 reflektiert und durchtritt sodann eine zweite Linse 70 des Kepler-Teleskops. Anschließend durchtritt dieser Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f einen Spektralfilter 82 und einen Neutralfilter 72 und wird sodann von einem Umlenkspiegel 71 und einem Prisma 87 hin zu einem Wellenfrontsensor 76 abgelenkt.
Ein durch den Strahlteiler 79 hindurchgelassener Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f durchtritt eine weitere Feldblende 61 am Ort einer Fokalebene der Linse 88 und wird sodann von zwei weiteren Umlenkspiegeln 74 und 85 umgelenkt, durchtritt im Anschluss hieran eine zweite Linse 73 des Kepler-Teleskops, einen Spezialfilter 80 und einen Neutralfilter 75. Im Anschluss hieran wird dieser Teil des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f von einem Umlenkspiegel 86 und dem Prisma 87 hin zum Wellenfrontsensor 76 umgelenkt.
In einer Messebene 76a des Wellenfrontsensors 76 können die Wellenfrontmessungen der beiden Teilstrahlen des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f separat voneinander ausgewertet werden.
Diese Fokalebene innerhalb des Targets 1d, die mit der Reflexions-Überwachungseinheit 9a bei der Defokus-Messung vermessen und überwacht wird, ist in der 1 mit der Bezugsziffer 69b bezeichnet.
Anhand der 4 wird nachfolgend ein alternatives Strahlführungssystem 92 zur Führung des Anregungs-Laserstrahls 1b und zur Generierung sowohl des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f als auch des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h und zu deren Führung hin zur Messvorrichtung 2a erläutert. Komponenten, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit dem Strahlführungssystem mit den Spiegeln 1c, 1i und 1j der 1 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Der Anregungs-Laserstrahl 1b durchtritt beim Strahlführungssystem 92 zunächst eine für den Anregungs-Laserstrahl 1b teildurchlässige Auskoppelplatte 93. Der von der Auskoppelplatte 93 durchgelassene Anregungs-Laserstrahl 1b durchtritt im weiteren Verlauf ein Vakuumfenster 94. Der das Vakuumfenster 94 durchtretende Anregungs-Laserstrahl 1b trifft im weiteren Verlauf, nach entsprechender Fokussierung, auf das Target 1d, das in der 4 nicht näher dargestellt ist. Das Innere einer Vakuumkammer, in dem auch das Target 1d vorliegt, ist evakuiert.
Die Auskoppelplatte 93 ist aus einem für einen Wellenlängenbereich zwischen 10,3 µm und 10,6 µm im Wesentlichen transparenten Material. Bei der dargestellten Ausführung ist die Auskoppelplatte 93 aus Diamant. Die Auskoppelplatte 93 kann mit Hilfe eines CVD (Chemical Vapor Deposition)-Verfahrens hergestellt sein. Eine Normale auf die Auskoppelplatte 93 ist zum einfallenden Anregungs-Laserstrahl 1b um einen Winkel im Bereich zwischen 10° und 30°, im gezeigten Ausführungsbeispiel um einen Winkel von 17,5°, geneigt.
Die Auskoppelplatte 93 ist Bestandteil einer Sicherheitskammer, deren sich fortsetzende Sicherheitskammer-Wand 95 in der 4 gestrichelt angedeutet ist. Die Auskoppelplatte 93 stellt also ein Fenster dieser Sicherheitskammer dar. Auf beiden Seiten der Auskoppelplatte 93 liegt im Normalbetrieb des Strahlführungssystems 92 Normaldruck vor. Ein Druck ist also auf beiden Seiten der Auskoppelplatte 93 gleich groß.
Der Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f wird durch Reflexion von einer Rückseite 96 der Auskoppelplatte 93, also von einer dem Target 1d zugewandten Seite der Auskoppelplatte 93, erzeugt. Diese Rückseite 96 trägt eine dichroitische Beschichtung. Für eine Wellenlänge von 10,6 µm hat diese Beschichtung der Rückseite 96 eine Reflektivität von 0,15 %. Für eine Wellenlänge 10,3 µm hat die dichroitische Beschichtung der Rückwand 96 eine Reflektivität von 1,05 %. Ein in der Regel schwächerer Vor-Impuls des Anregungs-Laserstrahls 1b mit einer Wellenlänge von 10,3 µm wird daher mit höherer Reflektivität von der Rückwand 96 reflektiert als ein stärkerer Haupt-Impuls des Anregungs-Laserstrahls 1b bei 10,6 µm. Der Vor-Impuls kann eine Leistung von 3 kW haben. Der Haupt-Impuls kann eine Leistung von 18 kW haben.
Die Auskoppelplatte 93 ist als Keilplatte ausgeführt. Die Rückseite 96 und eine Vorderseite 97 haben einen Winkel zueinander, der größer ist als eine Bogenminute und der bei der beschriebenen Ausführung 1,5’ beträgt. Die Keilplatten-Ausführung ermöglicht eine Auskopplung von Störreflexen, die an der Vorderseite 97 erzeugt werden.
Der an der Rückseite 96 reflektierte Durchgangs-Anregungs-Laserstrahl 1f wird von einem Umlenkspiegel 98 umgelenkt und tritt über das Eintrittsfenster 2 in die Messvorrichtung 2a ein, wie vorstehend im Zusammenhang mit der 2 bereits erläutert.
Das Vakuumfenster 94 ist Bestandteil einer Vakuumkammer, wobei ein Abschnitt einer Vakuumkammer-Wand 99 in der 4 schematisch und gestrichelt angedeutet ist. Auch das Vakuumfenster 94 ist geneigt zum Anregungs-Laserstrahl 1b angeordnet. Reflexe des Anregungs-Laserstrahls 1b von einer Vorder- und einer Rückseite des Vakuumfensters 94 werden hin zu einer Strahlfalle 100 geleitet.
Der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h, der vom Target 1d reflektiert wird, durchtritt zunächst das Vakuumfenster 94. Ein Reflex des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h am Vakuumfenster 94 wird über eine Strahlfalle 101 entsorgt. Der das Vakuumfenster 94 durchtretende Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h wird sodann mit einem Messanteil an der Rückseite 96 der Auskoppelplatte 93 reflektiert. Dieser reflektierte Messanteil des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h verläuft exakt antiparallel, also in Gegenrichtung, zum ebenfalls von der Rückseite 96 der Auskoppelplatte 93 reflektierten Anteil des hinlaufenden Anregungs-Laserstrahls 1b.
Die Anordnung der Auskoppelplatte 93 ist also derart, dass ein erster Laserstrahl in Form des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f, aus dem die Auskoppelplatte 93 in einem hinlaufdurchtretenden Anregungs-Laserstrahl 1b reflektiv ausgekoppelt wird, und dass der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h aus einem zweiten Haupt-Laserstrahl, nämlich dem vom Target 1d rückreflektierten Anregungs-Laserstrahl, der die Auskoppelplatte 93 in einem Rücklauf entgegen der einfallenden Strahlrichtung des Anregungs-Laserstrahl 1b durchtritt, jeweils reflektiv ausgekoppelt werden.
Der von der Auskoppelplatte 93 reflektierte Anteil des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h durchtritt zunächst ein Kammerfenster 102. Hierbei handelt es sich um ein Fenster entweder in der Sicherheitskammer oder um ein Fenster in der Vakuumkammer. Das Kammerfenster 102 ist aus ZnSe gefertigt.
Die die Anregungs-Laserstrahlen durchlassenden Komponenten des Strahlführungssystems zum Hinführen zur Messvorrichtung 2a bzw. innerhalb der Messvorrichtung 2a sind aus Diamant oder aus ZnSe gefertigt.
Nach Durchtritt durch das Kammerfenster 102 wird der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h über einen Retroreflektor 103 geführt, der drei nach Art eines Tripelspiegels angeordnete reflektierende Flächen aufweist. Eine erste dieser drei reflektierenden Flächen ist durch einen Umlenkspiegel 104 gebildet. Eine zweite und eine dritte reflektierende Fläche des Retroreflektors 103 ist gebildet von einem Dachkantenprisma 105 mit in der Zeichenebene der 4 verlaufender Dachkante 106. Das Dachkantenprisma 105 lenkt den Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h zunächst in eine Strahlrichtung um, die im Wesentlichen senkrecht zur Zeichenebene der 4 verläuft. Die nachfolgende zweite reflektierende Fläche des Dachkantenprismas 105 lenkt den Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h in eine zur Strahlrichtung direkt nach der Reflexion an der Rückseite 96 der Auskoppelplatte 93 antiparallele Strahlrichtung um.
Im Anschluss an die Reflexion am Retroreflektor 103 wird der Reflexions-Anregungs-Laserstrahl 1h an einem weiteren Umlenkspiegel 107 reflektiert. Eine Normale auf einer Reflexionsfläche des Umlenkspiegels 107 verläuft exakt parallel zu einer Normalen auf einer Reflexionsfläche des Umlenkspiegels 98. Kombiniert mit der Funktion des Retroreflektors 103 ergibt sich ein Strahlengang des Reflexions-Anregungs-Laserstrahls 1h, der beim Eintritt in das Eintrittsfenster 1 der Messvorrichtung 2a exakt parallel zum Strahlengang des Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls 1f bei dessen Eintritt in das Eintrittsfenster 2 der Messvorrichtung 2a verläuft. Zusammen mit dem Retroreflektor 103 stellt der Umlenkspiegel 107 ein Strahlführungs-Subsystem des Strahlführungssystems 92 dar.

Claims

Messvorrichtung (2a) zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Laserstrahls (1b; 1f, 1h), – mit mindestens einer Richtungs-Überwachungseinrichtung (9a, 19a, 29b, 43a) zur Vermessung und Überwachung einer Richtung des Laserstrahls (1b; 1f, 1h), – mit mindestens einer Orts-Überwachungseinrichtung (43a) zur Vermessung und Überwachung eines Laserstrahl-Ortes in einer Überwachungsebene (69a), – mit mindestens einer Energie-Überwachungseinrichtung (29a) zur Vermessung und Überwachung einer Laserstrahl-Energie, – wobei zumindest eine der Einrichtungen aus der Gruppe Richtungs-Überwachungseinrichtung (9a, 19a, 29b, 43a), – Orts-Überwachungseinrichtung (43a), – Energie-Überwachungseinrichtung (29a), eine Präzisions-Überwachungseinheit (9a, 43a) zur präzisen Überwachung einer zu überwachenden Größe und eine Schnellinformations-Überwachungseinheit (19a, 29a, 29b) zur schnellen Überwachung der zu überwachenden Größe aufweist.
Messvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung (2a) zur Überwachung mindestens zweier Laserstrahlen (1f, 1h) ausgelegt ist.
Messvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung (2a) zur Überwachung mindestens zweiter Laserstrahl-Wellenlängen (λ1, λ2) ausgelegt ist.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Präzisions-Überwachungseinheit (9a, 43a) eine Kamera (18, 69) in einer Messebene (18d, 69a) aufweist.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnellinformations-Überwachungseinheit (19a, 29b) einen Quadrantendetektor (26, 38) in einer Messebene (18d, 69a) aufweist.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung (2a) eingangsseitig mindestens ein Drehkeil-Paar (7; 27) aufweist.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung (2a) eingangsseitig mindestens ein Einengungs-Teleskop (8; 28) zur Reduktion eines Eingangs-Durchmessers eines Laserstrahl-Bündels des mindestens einen zu vermessenden Laserstrahls (1f; 1h) aufweist.
Messvorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch mindestens ein weiteres Teleskop (11, 14; 20, 22; 30, 33; 30, 40; 47, 65; 88, 70; 88, 73) zur Abbildung einer Austrittspupille des Einengungs-Teleskops (8; 28) in eine Eintrittspupille einer Messebene (18b; 69a; 76a) einer der Überwachungseinheiten (9a; 43a; 43b) der Messvorrichtung (2a).
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch mindestens eine Divergenz-Überwachungseinrichtung (9a) zur Vermessung und Überwachung einer Laserstrahl-Divergenz.
Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch mindestens eine Wellenfront-Überwachungseinrichtung (43b) zur Vermessung und Überwachung einer Laserstrahl-Wellenfront.
Verwendung einer Messvorrichtung (2a) nach einem der Ansprüche 1 bis 10 zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Anregungs-Laserstrahls (1b; 1f, 1h) einer EUV-Plasmaquelle.
Verwendung einer Messvorrichtung (2a) nach einem der Ansprüche 2 bis 10 zur Vermessung und Überwachung – eines Durchgangs-Anregungs-Laserstrahls (1f) einer EUV-Plasma-Lichtquelle, der ein Plasmamedium (1b) der Linse durchtritt und – eines Reflexions-Anregungs-Laserstrahls (1h) der EUV-Plasma-Lichtquelle, der vom Plasmamedium (1b) der Lichtquelle reflektiert wird.
Strahlführungssystem (92) zur Führung mindestens eines Laserstrahls (1f, 1h) hin zu einer Messvorrichtung (2a) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, – mit einer für den Laserstrahl (1f, 1h) teildurchlässigen Auskoppelplatte (93) zum reflektiven Auskoppeln des mindestens einen Laserstrahls (1f, 1h) aus einem Haupt-Laserstrahl (1b).
Strahlführungssystem nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Anordnung derart, dass – sowohl ein erster Laserstrahl (1f) aus einem ersten Haupt-Laserstrahl (1b), der die Auskoppelplatte (93) in einem Hinlauf durchtritt, – als auch ein zweiter Laserstrahl (1h) aus einem zweiten Haupt-Laserstrahl (1b), der die Auskoppelplatte (93) in einem Rücklauf entgegen der Strahlrichtung des ersten Haupt-Laserstrahls (1b) durchtritt, über die Auskoppelplatte (93) reflektiv ausgekoppelt werden.
Strahlführungssystem nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch ein Strahlführungs-Subsystem (103, 107), welches den zweiten Laserstrahl (1h), der zunächst antiparallel zum ersten Laserstrahl (1f) verläuft, in einen zum ersten Laserstrahl (1f) parallel beabstandeten Strahlengang überführt, – wobei das Strahlführungs-Subsystem (103, 107) einen Retroreflektor (103) aufweist.