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Die
DE 102 32 731 A1 beschreibt ebenso wie die
DE 10 2010 017 082 eine Ladeplatte, die einen Waferträger ausbildet, der eine in der Horizontalen liegende Tragfläche ausbildet, auf die eine im folgenden Wafer genannte Scheibe aus einem Halbleitermaterial auflegbar ist. Mit dem Waferträger wird der Wafer in eine Prozesskammer einer Beschichtungsanlage gebracht, wo auf dem Wafer ein oder mehrere Schichten abgeschieden werden. Dies erfolgt mit Handhabungsautomaten, wie sie beispielsweise in den
US 5,162,047 ,
US 5,334,257 ,
US 5,626,456 oder
US 6,318,957 beschrieben werden. Um eine optimale, d. h. gleichförmige Beschichtung zu erzielen, ist es vorteilhaft, wenn nicht zu vermeidende Spalten insbesondere entlang der Ränder der in Taschen eines Suszeptors einliegenden Wafer möglichst klein gehalten werden. Es besteht ferner das Bedürfnis, einen Suszeptor mit einer Vielzahl von jeweils Wafer tragenden Waferträgern zu bestücken.
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Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, die automatisierte Ladung eines Suszeptors mit Wafern zu verbessern.
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Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung besitzt ein Grundelement zum Aufsetzen des Waferträgers, wobei das Grundelement einen Zentrierabschnitt aufweist, der mit einem Gegenzentrierabschnitt des Waferträgers derart zusammenwirkt, dass der Waferträger eine vorbestimmte Lage zum Grundelement einnimmt. Bei dem Grundelement kann es sich beispielsweise um eine Grundplatte handeln. Auf dieser Grundplatte befindet sich der Zentrierabschnitt. In einer einfachsten Form kann der Zentrierabschnitt von einem Zentriersockel, beispielsweise mit schräg verlaufenden Wänden gebildet sein. Bevorzugt wird der Zentrierabschnitt von einem kegelstumpfförmigen Vorsprung ausgebildet, der sich vertikal nach oben aus der Grundplatte erstreckt. Es ist aber auch möglich den Zentrierabschnitt anders zu gestalten. Der Gegenzentrierabschnitt, der der Unterseite des Waferträgers zugeordnet ist, kann eine dem Zentrierabschnitt entsprechende Negativform (Höhlung) aufweisen. Die Aufgabe des Zentrierabschnittes im Zusammenspiel mit dem Gegenzentrierabschnitt ist eine reproduzierbare Lagepositionierung des Waferträgers am Grundelement. Es ist ferner ein oberhalb des Grundelementes angeordnetes Zentrierelement vorgesehen. Dieses kann fest mit dem Grundelement verbunden sein. Es ist aber auch vorgesehen, dass das Zentrierelement lösbar am Grundelement sitzt. In jedem Fall besitzt das am Grundelement befestigte Zentrierelement aber eine vorbestimmte Lagebeziehung zum Grundelement. Das Zentrierelement weist einen Justierelementeträger auf. Der Justierelementeträger kann in Art eines spaltoffenen Ringes gestaltet sein. Der Ring kann zu seinem Rand hin offen sein. Er kann beispielsweise in der Draufsicht die Form eines Hufeisens, eines U oder eines C ausbilden. Er kann eine Öffnung (Durchtrittsfreiraum) umgeben, deren Durchmesser größer ist als der Durchmesser des Wafers. Da die Wafer üblicherweise eine Kreisscheibengestalt aufweisen, hat die Öffnung des Justierelementeträgers bevorzugt einen auf einer Kreisbogenlinie verlaufenden Rand. Der Justierelementeträger trägt Justierelemente. Diese sind in einer der Umrisskontur des Wafers entsprechenden Anordnung angeordnet. Die Justierelemente sind so ausgelegt, dass sie den Wafer in einer Ebene parallel zur Tragfläche des Wafers ausrichten können. Die Ausrichtung des Wafers erfolgt vertikal oberhalb des Waferträgers. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung besitzen die Justierelemente Schrägflanken. Die Schrägflanken weisen dabei zur Öffnung. Die Schrägflanken bilden Gleitflächen aus, an denen der Rand eines durch die Öffnung des Zentrierelementes abgesenkten Wafers abgleiten kann.
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Dabei wird der Wafer in einer Richtung quer zur Absenkbewegung in eine vorbestimmte Zentrierstellung verschoben. Die Öffnung wird nur über eine Teilumfangslänge vom Justierelementeträger umgeben. Es verbleibt ein Eingriffsbereich für den Handhabungsarm. Bei einer derartigen Ausgestaltung liegt der Wafer auf einem zum Wafertransport geeigneten Handhabungsarm auf. Dabei überragen Randabschnitte des Wafers den Handhabungsarm. Diese Randabschnitte des Wafers können bei der Absenkbewegung an den Schrägflanken der Justierelemente entlang gleiten, wobei sich der Wafer dann in Horizontalrichtung auf dem Handhabungsarm verschieben kann. Die Bewegung des Handhabungsarms ist dabei eine reine Vertikalabwärtsverlagerung. Die Justierelemente können lösbar und quer zum Rand der Öffnung verschiebbar am Justierelementeträger befestigt sein. Zufolge dieser Ausgestaltung lassen sich die Justierelemente in eine vorbestimmte Position kalibrieren. Vom Grundelement können in Richtung auf die Öffnung Tragstifte vertikal nach oben abragen. Die Höhe der Tragstifte ist größer als die vertikale Höhe des Waferträgers, so dass die Tragstifte durch den Ringfreiraum oder durch separate Bohrungen des ringförmigen Waferträgers hindurchragen können. Die Enden der Tragstifte überragen dabei die Tragfläche des Waferträgers. Andererseits ist der Abstand zwischen den freien Enden der Tragstifte und der Unterseite des Justierelementeträgers ausreichend groß, um den Waferträger durch diesen Freiraum hindurchbringen zu können. Mit einem dem Waferträger zugeordneten Handhabungsarm kann der Waferträger somit durch den Zwischenraum zwischen den Tragstiften und der Unterseite des Justierelementeträgers hindurch gebracht werden und auf das Grundelement aufgesetzt werden, wobei die Tragstifte entweder durch individuelle Bohrungen oder durch einen Ringfreiraum des Waferträgers hindurchragen. Bevorzugt besitzt der Handhabungsarm zum Transport des Waferträgers eine Gabelform. Die beiden Gabelzinken können einen ringförmigen Kragen des Waferträgers untergreifen. Wird der Wafer mit dem ihm zugeordneten Waferträger durch die Ausrichtöffnung des Justierelementes hindurch gebracht, so wird der Wafer in Horizontalrichtung ausgerichtet. Im Zuge der weiteren Absenkbewegung des Handhabungsarmes wird der Wafer auf die Enden der Tragstifte aufgelegt. Mit dem dem Waferträger zugeordneten Handhabungsarm wird der Waferträger anschließend angehoben. Das Anheben des Waferträgers erfolgt exakt in Vertikalrichtung, so dass der Waferträger den Wafer in einer vorbestimmten, durch die Lage der Justierelemente definierten Position aufnimmt. Dabei legt sich der Wafer in eine Vertiefung der Tragfläche, deren Rand nur einen minimalen Abstand zum Rand des Wafers hat. Um die Lage der Justierelemente zu kalibrieren ist ein Kalibrierwerkzeug vorgesehen. Das Kalibrierwerkzeug besitzt einen Gegenzentrierabschnitt, mit dem es auf den Zentrierabschnitt des Grundelementes aufsetzbar ist. Auf Höhe der Justierelemente besitzt das Kalibrierwerkzeug einen Kalibrierabschnitt. Dieser kann von einer Stufe ausgebildet sein, beispielsweise von einer Zylindermantelwand, die auf der Umrisskontur eines Wafers verläuft. Dieser Kalibrierabschnitt liegt auf Höhe der Justierelemente, so dass die Justierelemente gegen den Kalibrierabschnitt in Anlage gebracht werden können. Die Justierelemente sind quer zu einer Tangentiale zum Rand des Kalibrierabschnittes verlagerbar am Justierelementeträger befestigt. Der Justierelementeträger kann hierzu radial bezogen auf das Zentrum des Wafers bzw. der Öffnung des Justierelementeträgers ausgerichtete Nuten oder Rippen aufweisen, die zur Führung der Justierelemente dienen. Eine Lagefixierung eines Justierelementes kann mit Hilfe einer Klemmschraube erfolgen.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
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1 eine perspektivische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels einer Ausrichtvorrichtung,
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2 eine perspektivische Darstellung eines Waferträgers,
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2a eine perspektivische Darstellung eines als Transferring gestalteten Waferträgers;
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3 eine Explosionsdarstellung der Ausrichtvorrichtung mit Waferträger,
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4 eine Prinzipdarstellung der Vorrichtung als Seitenansicht auf eine Ausrichtvorrichtung,
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5 eine Darstellung gemäß 4 mit in die Ausrichtvorrichtung eingesetztem Kalibrierwerkzeug 9,
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6 eine Draufsicht gemäß Pfeil VI in 5,
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7 eine Darstellung gemäß 4 mit einem Waferträger 11, der von einem Handhabungsarm 12 auf das Grundelement 2 aufgesetzt wird,
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8 eine Folgedarstellung zu 7, wobei der Waferträger 11 auf das Grundelement 2 abgesetzt worden ist,
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9 eine Folgedarstellung zu 3, wobei ein Handhabungsarm 14 einen Wafer 13 absenkt, der in einer strichpunktierten Darstellung mit einem Randabschnitt gegen eine Schrägflanke 16 eines Justierelementes 6 tritt;
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10 eine weitere Folgedarstellung, bei der der Wafer 13 auf den Tragstiften 4 oberhalb des Waferträgers 11 aufliegt, nachdem er (in strichpunktierter Darstellung) von den Justierelementen 6 justiert worden ist;
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11 eine Schnittdarstellung ähnlich 10 eines zweiten Ausführungsbeispiels;
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12 eine Schnittdarstellung ähnlich 10 eines dritten Ausführungsbeispiels und
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13 eine Draufsicht auf das Zentrierelement 1 mit sich zwischen den Justierelementen 6 befindlichem Wafer 13.
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Die in den Zeichnungen dargestellte Ausrichtvorrichtung besitzt ein Grundelement 2 mit einer Grundplatte 7. Die Grundplatte 7 hat eine im Wesentlichen kreisscheibenförmige Gestalt. Von einem Randbereich der Grundplatte 7 entspringt eine Tragwand 20, die ein Zentrierelement 1 trägt. Das Zentrierelement 1 besitzt einen im Wesentlichen ringförmigen Justierelementeträger 5.
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Im Zentrum der Bodenfläche der Grundplatte 7 befindet sich ein Zentrierabschnitt 3 in Form eines kegelstumpfförmigen Sockels. Der kegelstumpfförmige Sockel 3 ist mit der Grundplatte verschraubt. Durch den kegelstumpfförmigen Sockel 3 ragen insgesamt drei Tragstifte in Vertikalrichtung von der Grundplatte 7 ab.
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Der Justierelementeträger 5 umschließt nur teilbereichsweise eine Öffnung 17. Der Justierelementeträger 5 besitzt einen Eingriffsbereich 19, so dass der in Draufsicht etwa die Form eines C, eines Hufeisens oder eines U aufweist. Durch den Eingriffsbereich 19 kann ein Handhabungsarm 14 zum Handhaben eines Wafers 13 in Vertikalrichtung hindurchfahren.
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Auf der oberen Seite des Justierelementeträgers 5 sind mit im Wesentlichen gleicher Umfangsverteilung um das Zentrum der im Ausführungsbeispiel kreisförmigen Öffnung 17 mehrere Justierelemente 6 angeordnet. Jedes der Justierelemente 6 ist dabei in einer Nut angeordnet und in Radialrichtung bezogen auf das Zentrum der Öffnung 17 verschieblich, sofern eine Befestigungsschraube 8 gelöst ist. Bei angezogener Befestigungsschraube 8 ist das Justierelement 6 ortsfest.
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Jedes der dort insgesamt acht Justierelemente 6 besitzt eine zum Zentrum der Öffnung 17 hinweisende Schrägflanke 16.
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Die 2 und 2a beschreiben jeweils einen Waferträger, der im Wesentlichen eine Ringform aufweist. Die nach oben weisende Oberseite des Waferträgers 11 bildet eine Tragfläche 11' aus, auf die ein Wafer 13 abzulegen ist. Der Waferträger 11 besitzt an seiner Unterseite einen Hohlraum, der einen Gegenzentrierabschnitt 10 ausbildet. Wird der Gegenzentrierabschnitt 10 auf den Zentrierabschnitt 3 aufgesetzt, so nimmt der Waferträger 11 eine definierte Lage gegenüber dem Justierelementeträger 5 bzw. den Justierelementen 6 ein. In einer einfachsten Ausgestaltung (2a) ist der Waferträger als Transferring ausgebildet. Er besitzt einen ringsumlaufenden Kragen 21, der von den Gabelzinken eines gabelförmigen Handhabungsarms 12 untergriffen werden kann.
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Die beiden in den 2, 2a dargestellten Waferträger 11 besitzen auf Ihrer Oberseite eine Tasche mit einem kreisrunden Rand 11''. Der Boden der Tasche bildet die Tragfläche 11' aus. Die beiden Waferträger 11 unterscheiden sich im Wesentlichen lediglich in der Größe des Durchmessers der Ringöffnung 23. Der in der 2 dargestellte Waferträger 11 besitzt einen geringen Durchmesser der Ringöffnung 23, so dass für die Tragstifte eigene Bohrungen 22 vorgesehen sind. Bei dem in der 2a dargestellten Waferträger 11 erstreckt sich die Tragfläche 11' lediglich über einen schmalen Randbereich, der an den Rand 11'' der Tasche angrenzt.
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Die 4 zeigt in einer Prinzipdarstellung im Querschnitt die wesentlichen Elemente einer erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung, nämlich ein Grundelement 2 mit einer Grundplatte 7, die einen Zentrierabschnitt 3 trägt und von der Tragstifte 4 nach oben hin abragen. Das Zentrierelement 1 ist mit nicht dargestellten Mitteln fest mit dem Grundelement 2 verbunden. Es besitzt einen Justierelementeträger 5, der in der Prinzipdarstellung lediglich vier Justierelemente 6 trägt. Jedes Justierelement 6 besitzt eine Schrägflanke 16, wobei der Schrägenwinkel der Schrägflanke 16 so verläuft, dass die Schräge nach unten in Richtung auf die Öffnung 17 weisen. Die Justierelemente 6 besitzen Schlitze, durch die jeweils eine Befestigungsschraube 8 hindurchragt, die in eine Gewindebohrung des Justierelementeträgers 5 eingeschraubt ist.
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Die 5 und 6 zeigen die Verwendung eines Kalibrierwerkzeuges 9. Das Kalibrierwerkzeug 9 ist im Ausführungsbeispiel ein im Wesentlichen zylinderförmiger Körper, dessen Unterseite eine Höhlung 15 ausbildet, die einen Gegenzentrierabschnitt bildet, der auf dem Zentrierabschnitt 3 aufgesetzt werden kann, so dass das Kalibrierwerkzeug 9 eine definierte Position gegenüber den Justierelementen 6 einnimmt. Die spitzen Enden der Schrägflanken 16 werden bei gelösten Schrauben 8 gegen einen Kalibrierabschnitt 18 des Kalibrierwerkzeuges 9 gebracht. Der Kalibrierabschnitt 18 wird von einer Zylindermantelwand ausgebildet, die auf einer Umrisskontur verläuft, die der Umrisskontur eines Wafers 13 entspricht.
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Die Bestückung eines Waferträgers 11 mit einem Wafer 13 wird anhand der 7 bis 10 erläutert:
Zunächst wird mittels eines Handhabungsarmes 12 ein Waferträger 11, bei dem es sich um einen Transferring handeln kann, auf die Grundplatte 7 aufgesetzt. Dabei greift der Zentrierabschnitt 3 in den Gegenzentrierabschnitt 10 und bringt den Waferträger 11 in eine lateral zentrierte Position. Der Waferträger 11 wird dabei von dem Handhabungsarm 12 unter den Justierelementeträger 5 hindurch in eine Position oberhalb der Tragstifte 4 gebracht und dann gemäß 7 abgesenkt, so dass er die in 8 dargestellte Position einnimmt.
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Ein anders gestalteter Handhabungsarm 14 untergreift einen im Wesentlichen kreisförmigen Wafer 13, bei dem es sich um ein Halbleitersubstrat handelt, welches auf den Waferträger 11 aufgelegt werden soll. Es kann sich dabei um eine flache Kreisscheibe handeln, die aus Silizium, Germanium, Galliumarsenid, Indiumphosphit oder aus einem anderen Material besteht. Der Wafer 13 besitzt eine undefinierte Position gegenüber dem Handhabungsarm 14. Der Handhabungsarm 14 wird – wie es die 9 zeigt – durch den Eingriffsbereich 19 vertikal abwärts verlagert, wobei der Wafer 13 durch die Öffnung 17 hindurchtritt. Da der Wafer 13 eine unbestimmte Lage auf dem Handhabungsarm 14 besitzt, treten im Zuge der Abwärtsbewegung Abschnitte des Randes des Wafers 13 gegen die Schrägflanken 16. Daraus entwickelt sich eine horizontale Kraftkomponente, die den Wafer 13 in Richtung auf das Zentrum der Öffnung 17 verlagert. Dies ist in der 9 strichpunktiert dargestellt.
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Die 10 zeigt strichpunktiert den Wafer 13 beim Austritt aus dem Zentrierelement 1, in dem sein Rand die schneidenartigen Spitzen der Schrägflanken 16 verlässt. Durch eine weitere Absenkbewegung des Handhabungsarmes 14 wird der Wafer 13 auf die Enden der Tragstifte 4 abgelegt.
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Mit dem Handhabungsarm 12 für den Waferträger wird sodann der Waferträger 12 vertikal nach oben angehoben, wobei der Wafer 13 in einer ausgerichteten Position auf der Tragfläche 11' des Waferträgers 11 zur Auflage kommt. Die Tragfläche 11' des Waferträgers kann eine Tasche ausbilden, deren Umfangskontur der Umfangskontur des Wafers 13 entspricht und deren Tiefe in etwa der Materialstärke des Wafers. Zufolge der zentrierenden Ausrichtfunktion der Vorrichtung wird der Wafer derart gegenüber der Tasche in der Tragfläche 11' des Waferträgers 11 ausgerichtet, dass er genau in die Tasche hineinpasst. Der Rand 11'' der Tasche braucht somit nur ein minimales Übermaß zu besitzen, so dass der Spalt zwischen Taschenwand und Waferrand minimiert ist.
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Die 11 zeigt eine Darstellung gemäß 10 eines zweiten Ausführungsbeispiels. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Tragstifte 4 verlängert und in Vertikalrichtung bewegbar. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Tragstifte 4 Bestandteile einer Hubvorrichtung. Es sind nicht dargestellte Antriebsmittel vorgesehen, um die Tragstifte 4 in vertikaler Richtung zu verlagern. Die Tragstifte 4 haben eine Länge, die größer ist als der Abstand zwischen dem Zentrierelement 1 und dem Grundelement 2. Die Länge der Tragstifte ist um soviel größer als dieser Abstand, dass die nach oben weisenden Stirnflächen der Tragstifte 4 über die höchste Erhebung des Zentrierelementes 1, also insbesondere über die Justierelemente 6 ragen. Mittels der nicht dargestellten Hubvorrichtung lassen sich die Tragstifte 4 von der in 11 dargestellten Beladeposition absenken, um den Wafer 13 auf den Waferträger 11 zu legen.
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Mittels eines Handhabungsarmes kann ein unzentrierter Wafer 13 auf die Enden der durch die Öffnung 17 nach oben hin durchgeschobenen Tragstifte 4 aufgelegt werden. Die Tragstifte 4 werden dann in Richtung des Pfeils abwärts verlagert. Dabei gleiten Randabschnitte des unzentriert auf den Tragstiften 4 aufliegenden Wafers 13 an den Schrägflanken 16 entlang, bis der Wafer 13 seine in 13 dargestellte zentrierte Stellung erreicht hat.
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Es erfolgt dann eine weitere Abwärtsverlagerung des Wafers 13, bis der Wafer auf dem Waferträger 11 aufliegt. Dies ist in der 11 mit strichpunktierten Linien dargestellt. Die Tragstifte 4 ragen in dieser Endstellung lediglich in den Waferträger 11 hinein, jedoch nicht über dessen Tragfläche 11' hinaus.
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Bei dem in der 12 dargestellten Ausführungsbeispiel befindet sich im Zentrum der Grundplatte 7 ein vertikal verlagerbarer Stempel 24. Hierzu ist ein Hubantrieb vorgesehen, der in den Zeichnungen nicht dargestellt ist. Die Hubeinrichtung ist in der Lage, den Stempel 24 zwischen zwei Endpositionen zu verlagern. In der ersten Endposition liegt die nach oben weisende Stirnfläche des Stempels 24 oberhalb der Schrägflanken 16 der Justierelemente 6. In einer zweiten Stellung liegt die Stirnfläche des Stempels 24 unterhalb der Stirnflächen von Tragstiften 4 bzw. unterhalb eines Waferträgers 11, je nachdem ob der Wafer 13 auf die Stirnflächen von Tragstiften 4 oder direkt auf den Waferträger 11 abgelegt werden soll. Der Stempel 24 ist im Zentrum der Öffnung 17 angeordnet, so dass er lediglich das Zentrum des Wafers 13 unterstützt. Die Randbereiche des Wafers 13 liegen radial außerhalb des Stempels 24.
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Aus der nach unten verlagerten Position kann der Stempel 24 derart in Vertikalrichtung hoch gefahren werden, dass sein oberes Ende oberhalb des Zentrierelementes 1 liegt. Auf die Stirnfläche des Stempels 24 kann mittels eines Handhabungsarmes ein Wafer 13 aufgelegt werden. Der Wafer 13 ist nicht zentriert. Wird der Stempel 24 in Richtung des Pfeils abwärts verlagert, so gleiten die Ränder des unzentrierten Wafers 13 an den Schrägflanken 16 entlang, wobei der Wafer in die in 13 dargestellte Zentrierstellung gebracht wird. Ein weiteres Absenken des Stempels 24 führt dazu, dass der Wafer 13 auf die Enden der Tragstifte 4 aufgelegt wird, wie es in der 12 dargestellt ist.
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Die 13 zeigt, dass zufolge der Anordnung der Justierelemente 6 die Orientierung eine Abflachung 13' eines Wafers 13 unerheblich ist. Die Justierelemente 6 sind so angeordnet, dass die Abflachung 13' auch vor einem oder zwei Justierelementen 6 liegen kann. Die Justierelemente 6 sind in Umfangsrichtung in einer derartigen Vielzahl angeordnet, dass zumindest drei Justierelemente 6 eine Zentrierwirkung entfalten und hierzu mit dem auf einer Kreisbogenlinie verlaufenden Randabschnitt des Wafers 13 zusammenwirken.
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Alle offenbarten Merkmale sind (für sich) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren in ihrer fakultativ nebengeordneten Fassung eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Zentrierelement
- 2
- Grundelement
- 3
- Zentrierabschnitt
- 4
- Tragstift
- 5
- Justierelementeträger
- 6
- Justierelement
- 7
- Grundplatte
- 8
- Schraube
- 9
- Kalibrierwerkzeug
- 10
- Gegenzentrierabschnitt
- 11
- Waferträger
- 11'
- Tragfläche
- 11''
- Rand
- 12
- Handhabungsarm für Ring
- 13
- Wafer
- 13'
- Abflachung
- 14
- Handhabungsarm für Wafer
- 15
- Gengenzentrierabschnitt
- 16
- Schrägflanke
- 17
- Öffnung
- 18
- Kalibrierabschnitt
- 19
- Eingriffsbereich
- 20
- Tragwand
- 21
- Kragen
- 22
- Öffnung für Tragstift
- 23
- Ringöffnung
- 24
- Stempel
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 10232731 A1 [0001]
- DE 102010017082 [0001]
- US 5162047 [0001]
- US 5334257 [0001]
- US 5626456 [0001]
- US 6318957 [0001]
