DE102012018698A1

DE102012018698A1 - Hochaperturiges Immersionsobjektiv

Info

Publication number: DE102012018698A1
Application number: DE201210018698
Authority: DE
Inventors: Rolf Wartmann
Original assignee: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Current assignee: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority date: 2012-09-21
Filing date: 2012-09-21
Publication date: 2014-03-27
Anticipated expiration: 2032-09-22
Also published as: DE102012018698B4; WO2014044537A1; US20150219887A1; US9645380B2

Abstract

Die Erfindung betrifft ein hochaperturiges Immersionsobjektiv, insbesondere für Anwendungen in der konfokalen Mikroskopie unter Verwendung von Öl als Immersionsflüssigkeit, welches aus drei Linsen und/oder Linsengruppen umfassenden Teilsystemen (T1, T2, T3) zusammengesetzt ist. Durch die Spezifikation der optischen Bauteile wird bei hochauflösenden numerischen Aperturen von 1.3 bis 1.4 und einem Objektfeld vom 0.4 bis 0.625 mm eine apochromatische Korrektion in einem Bereich von 365 bis 900 mm erreicht. Darüber hinaus weist das Immersionsobjektiv bis zu einer Wellenlänge von 340 nm eine hinreichend gute Transparenz auf.

Description

Die Erfindung betrifft ein hochaperturiges Immersionsobjektiv, insbesondere für Anwendungen in der konfokalen Mikroskopie unter Verwendung von Öl als Immersionsflüssigkeit, welches aus drei Linsen und/oder Linsengruppen umfassenden Teilsystemen zusammengesetzt ist.
Die Leistungsfähigkeit eines Mikroskops hängt im Wesentlichen von den Leistungsdaten und der Korrektionsgüte des verwendeten Mikroskopobjektivs ab.
In der konfokalen Mikroskopie legt man dabei sehr großen Wert auf eine möglichst perfekte Parfokalität über einem extrem großen Spektralbereich von 365 nm bis 900 nm. Diese anzustrebende Eigenschaft sollte möglichst auch mit der ebenfalls bedeutungsvollen Forderung nach großen Objektfeldern kombiniert werden.
Ein apochromatisch korrigiertes Mikroskopobjektiv mit einer hohen Apertur, einem großen Objektfeld und einer apochromatischen Korrektur in einem Wellenlängenbereich von Ultraviolett bis Infrarot wird beispielsweise in DE 10 2005 027 423 A1 beschrieben. Allerdings wird an dieser Stelle Wasser als Immersionsmedium verwendet.
Bekannte Immersionsobjektive, die bekannten Lösungen Wasser als Immersionsmedium verwenden, haben den Nachteil, dass die numerische Apertur auf ca. 1.2 begrenzt ist. Höhere numerische Aperturen und damit auch ein höheres Auflösungsvermögen verlangen aber zwangsläufig eine Ölimmersion.
In DE 10 2009 037 743 A1 wird ein hochaperturiges Immersionsobjektiv mit einer Ölimmersion für konfokale Anwendungen in der Mikroskopie beschrieben, welches aus drei Linsen und/oder Linsengruppen umfassenden Teilsystemen besteht. Nachteilig bei dieser Lösung ist, dass im UV Bereich von 400 nm bis 365 nm keine Parfokalität erreicht wird.
Ausgehend von diesen Nachteilen liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein hochaperturiges Immersionsobjektiv mit Öl als Immersionsflüssigkeit, insbesondere für konfokale Mikroskopieanwendungen, dahingehend weiter zu bilden, dass bei hochauflösenden numerischen Aperturen von 1.3 bis 1.4 und einem Objektfeld vom 0.4 bis 0.625 mm eine apochromatische Korrektion in einem Bereich von 365 bis 900 mm vorhanden ist und das Immersionsobjektiv darüber hinaus bis zu einer Wellenlänge von 340 nm eine hinreichend gute Transparenz aufweist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Immersionsobjektiv der eingangs beschriebenen Art durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst, wobei das Immersionsobjektiv aus drei optischen Teilsystemen zusammengesetzt ist. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 11 angegeben.
Ausgehend von der Objektseite umfasst das

– erste Teilsystem ein Kittglied, gefolgt von zwei Sammellinsen, wobei das Kittglied zur Objektseite hin eine plane Fläche aufweist und aus einer Sammellinse und einem zur Objektseite hin durchgebogenen Meniskus mit negativer Brechkraft besteht,
– das zweite Teilsystem drei optischen Glieder, wobei das erste optische Glied sammelnd ausgebildet ist und aus einer Sammellinse und einer Zerstreuungslinse besteht, das zweite optische Glied aus einem zerstreuenden Dreifachkittglied mit einer Sammellinse, die von zwei hochbrechenden Zerstreuungslinsen eingeschlossen ist, besteht und das dritte optische Glied sammelnd ausgeführt ist und aus einer Zerstreuungslinse und einer Sammellinse besteht und
– das dritte Teilsystem zwei Menisken, deren hohle Flächen einander zugewandt sind, wobei der erste Meniskus als Kittglied mit einer Sammellinse und einer Zerstreuungslinse ausgebildet ist und der zweite Meniskus aus einem, eine Zerstreuungslinse und eine Sammellinse aufweisenden, aufgespaltenen Kittglied besteht.

Vorteilhafterweise besitzt das Kittglied des ersten Teilsystems eine schwache negative Brechkraft, wobei beide Sammellinsen aus einem Fluorkronglas bestehen.
Weiterhin ist es von Vorteil, wenn die Sammellinse des ersten optischen Gliedes vom zweiten Teilsystem aus Flussspat (CaF2) oder einem Fluorkronglas besteht.
Ebenso vorteilhaft ist es, die Sammellinse des zweiten optischen Gliedes vom zweiten Teilsystem aus Flussspat (CaF2) oder aus einem Fluorkronglas zu fertigen.
Zweckmäßigerweise bestehen die Zerstreuungslinsen des zweiten optischen Gliedes vom zweiten Teilsystem aus einem hochbrechenden Lanthanglas.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung besteht die Zerstreuungslinse des dritten optischen Gliedes vom zweiten Teilsystem aus einem Kurzflintglas.
Weiterhin ist es Vorteil, die Sammellinse (S4) des dritten optischen Gliedes (G3) vom zweiten Teilsystem (T2) aus Flussspat (CaF2) oder einem Fluorkronglas zu fertigen.
Sinnvollerweise weisen die Menisken vom dritten Teilsystem schwache Brechkräfte auf, wobei die letzte Sammellinse vom zweiten Meniskus eine Abbezahl kleiner 34 hat.
Das erfindungsgemäße Immersionsobjektiv ermöglicht bei hochauflösenden numerischen Aperturen von 1.3 bis 1.4 und einem Objektfeld vom 0.4 bis 0.625 mm eine apochromatische Korrektion in einem Bereich von 365 bis 900 mm. Darüber hinaus weist es bis zu einer Wellenlänge von 340 nm eine hinreichend gute Transparenz auf.
Nachstehend soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Dazu zeigen:
1: eine Darstellung der Teilsysteme des erfindungsgemäßen Immersionsobjektivs nach einem ersten Ausführungsbeispiel,
2: eine Darstellung des erfindungsgemäßen Immersionsobjektivs nach 1 mit den Konstruktionsdatenbezugszeichen,
3: eine Darstellung der Teilsysteme des erfindungsgemäßen Immersionsobjektivs nach einem zweiten Ausführungsbeispiel,
4: eine Darstellung des erfindungsgemäßen Immersionsobjektivs nach 3 mit den Konstruktionsdatenbezugszeichen,
5: eine Darstellung der Teilsysteme des erfindungsgemäßen Immersionsobjektivs nach einem dritten Ausführungsbeispiel und
6: eine Darstellung des erfindungsgemäßen Immersionsobjektivs nach 5 mit den Konstruktionsdatenbezugszeichen.
Die 1, 3 und 5 zeigen die Linsenanordnungen der drei optischen Teilsysteme von allen drei Ausführungsbeispielen, von der Objektseite aus betrachtet mit T1, T2 und T3 bezeichnet.
Das erste Teilsystem T1 besteht aus einem Kittglied, gefolgt von zwei Sammellinsen S2 und S3, wobei das Kittglied zur Objektseite OS hin eine plane Fläche aufweist und aus einer Sammellinse S1 und einem zur Objektseite OS hin durchgebogenen Meniskus M1 mit negativer Brechkraft besteht.
Das zweite Teilsystem T2 ist durch drei optische Glieder G1, G2 und G3 charakterisiert, wobei das erste optische Glied G1 sammelnd ausgebildet ist und aus einer Sammellinse S4 und einer Zerstreuungslinse Z1 besteht.
Das zweite optische Glied G2 besteht aus einem zerstreuenden Dreifachglied mit einer Sammellinse S3, die von zwei hochbrechenden Zerstreuungslinsen Z2 und Z3 eingeschlossen ist. Das dritte optische Glied G3 ist sammelnd ausgeführt und besteht aus einer Zerstreuungslinse Z4 und einer Sammellinse S4.
Das dritte Teilsystem T3 besteht aus zwei Menisken M2 und M3, deren hohle Flächen einander zugewandt sind, wobei der erste Meniskus M2 als Kittglied mit einer Sammellinse S5 und einer Zerstreuungslinse Z5 ausgebildet ist. Der zweite Meniskus M3 ist durch eine Zerstreuungslinse Z6 und eine Sammellinse S6, die ein aufgespaltenes Kittglied darstellen, charakterisiert.
Die 2, 4 und 6 zeigen die Linsenanordnungen der 1, 3 und 5 mit den Krümmungsradien r1 bis r24 und den Dicken, beziehungsweise Luftabständen d1 bis d23 der Anordnungen nach den 1, 3 und 5.

Für das erste Ausführungsbeispiel nach den 1 und 2 ergeben sich bei einer Vergrößerung von 40x, einem Bildfelddurchmesser von 25 mm, einer numerischen Apertur von 1.3, einem Arbeitsabstand von 0,247 mm, einer Deckglasdicke von 0,17 mm, den Brechzahlen ne, den Abbezahlen νe sowie einer Ölimmersion folgende Konstruktionsdaten:

Fläche FL	Krümmungsradius r1 bis r24 (mm)	Dicke d1 bis d24 (mm)	Brechzahl n_e	Abbezahl ν_e
			Ölimmersion
1	unendlich	0.570	1.54212	59.44
2	–0.707	3.990	1.88815	40.52
3	–3.868	0.228
4	–11.546	2.810	1.59446	68.00
5	–6.633	0.264
6	–172.777	3.000	1.59446	68.00
7	–13.433	0.100
8	10.366	6.670	1.43985	94.49
9	–21.597	1.300	1.82017	46.37
10	–68.294	0.100
11	18.566	1.000	1.88815	40.52
12	6.541	5.200	1.43985	94.49
13	–11.799	1.000	1.73234	54.45
14	–23.039	0.600
15	–15.181	0.900	1.64132	42.20
16	9.442	5.150	1.43985	94.49
17	–9.576	0.100
18	6.876	5.190	1.43985	94.49
19	–14.962	1.000	1.56082	53.83
20	5.495	4.700
21	–4.870	0.960	1.43985	94.49
22	–9.442	0.278
23	–9.576	2.620	1.65222	33.56
24	–7.079

Bei Verwendung folgender Konstruktionsdaten einer nicht näher dargestellten Tubuslinseneinheit:

Fl.-Nr.	Krümmungsradius r (mm)	Dicke d (mm)	Brechzahl n_e	Abbezahl ν_e
		126.5
1	189.417	10.9	1.582	53.6
2	–189.417	60
3	unendlich	80	1.519	64.0
4	unendlich	48.2
5	Zwischenbildebene

Für das zweite Ausführungsbeispiel nach den 2 und 3 ergeben sich bei einer Vergrößerung von 63x, einem Bildfelddurchmesser von 25 mm, einer numerischen Apertur von 1.4, einem Arbeitsabstand von 0,201 mm, einer Deckglasdicke von 0,17 mm, den Brechzahlen ne, den Abbezahlen νe sowie einer Ölimmersion folgende Konstruktionsdaten:

Fläche FL	Krümmungsradius r1 bis r24 (mm)	Dicke d1 bis d23 (mm)	Brechzahl n_e	Abbezahl ν_e
			Ölimmersion
1	unendlich	0.680	1.56605	60.55
2	–0.792	3.414	1.88815	40.52
3	–3.449	0.299
4	–6.684	2.800	1.59446	68.00
5	–5.495	0.349
6	286.521	3.280	1.59446	68.00
7	–14.642	0.100
8	10.820	7.400	1.43985	94.49
9	–16.549	0.900	1.56082	53.83
10	–61.305	0.100
11	27.384	0.900	1.88815	40.52
12	7.285	6.460	1.43985	94.49
13	–8.292	0.900	1.82017	46.37
14	–29.430	0.100
15	18.553	0.900	1.64132	42.20
16	7.393	6.190	1.43985	94.49
17	–11.380	0.100
18	5.465	5.410	1.43985	94.49
19	–18.566	0.800	1.56082	53.83
20	3.163	3.400
21	–3.400	0.640	1.71616	53.61
22	–15.181	0.614
23	–9.173	2.150	1.65222	33.56
24	–4.665

Bei Verwendung folgender Konstruktionsdaten der nicht näher dargestellten qTubuslinseneinheit:

Fl.-Nr.	Krümmüngsradius r (mm)	Dicke d (mm)	Brechzahl n_e	Abbezahl ν_e
		126.5
1	189.417	10.9	1.582	53.6
2	–189.417	60
3	unendlich	80	1.519	64.0
4	unendlich	48.2
5	Zwischenbildebene

Für das dritte Ausführungsbeispiel nach den 5 und 6 ergeben sich bei einer Vergrößerung von 63x, einem Bildfelddurchmesser von 25 mm, einer numerischen Apertur von 1.4, einem Arbeitsabstand von 0,173 mm, einer Deckglasdicke von 0,17 mm, den Brechzahlen ne, den Abbezahlen νe sowie einer Ölimmersion folgende Konstruktionsdaten:

Fläche FL	Krümmungs-radius r1 bis r24 (mm)	Dicke d1 bis d23 (mm)	Brechzahl n_e	Abbezahl ν_e
			Ölimmersion
1	unendlich	0.665	1.56605	60.55
2	–0.761	3.520	1.88815	40.52
3	–3.449	0.297
4	–7.606	3.000	1.53019	76.58
5	–5.662	0.335
6	–243.131	3.100	1.59446	68.00
7	–14.331	0.100
8	11.060	7.900	1.43985	94.49
9	–15.396	0.900	1.56082	53.83
10	–53.861	0.100
11	26.994	0.900	1.88815	40.52
12	7.606	6.498	1.43985	94.49
13	–9.005	0.900	1.82017	46.37
14	–44.344	0.100
15	14.747	0.900	1.64132	42.20
16	6.979	5.700	1.43985	94.49
17	–12.771	0.100
18	5.386	5.400	1.43985	94.49
19	–17.151	0.750	1.56082	53.83
20	3.116	3.467
21	–3.387	0.560	1.71616	53.61
22	–13.820	0.628
23	–9.576	2.100	1.65222	33.56
24	–4.665

Bei Verwendung folgender Konstruktionsdaten der nicht näher dargestellten Tubuslinseneinheit:

Bezugszeichenliste

S1 bis S6

Sammellinse

Z1 bis Z6

Zerstreuungslinse

d1 bis d23

Dicke/Luftabstand

r1 bis r24

Radius

G1, G2, G3

optisches Glied

M1, M2, M3

Meniskus

T1, T2, T3

Teilsystem

FL

Fläche

OS

Objektseite

ne

Brechzahl

νe

Abbezahl

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

DE 102005027423 A1 [0004]
DE 102009037743 A1 [0006]

Claims

Hochaperturiges Immersionsobjektiv, insbesondere für Anwendungen in der konfokalen Mikroskopie unter Verwendung von Öl als Immersionsflüssigkeit, welches aus drei Linsen und/oder Linsengruppen umfassenden Teilsystemen (T1, T2, T3) zusammengesetzt ist, gekennzeichnet dadurch, dass ausgehend von der Objektseite (OS) das – erste Teilsystem (T1) aus einem Kittglied, gefolgt von zwei Sammellinsen (S2, S3) besteht, wobei das Kittglied zur Objektseite (OS) hin eine plane Fläche aufweist und aus einer Sammellinse (S1) und einem zur Objektseite (OS) hin durchgebogenen Meniskus (M1) mit negativer Brechkraft besteht, – das zweite Teilsystem (T2) drei optischen Glieder (G1, G2, G3) aufweist, wobei das erste optische Glied (G1) sammelnd ausgebildet ist und aus einer Sammellinse (S4) und einer Zerstreuungslinse (Z1) besteht, das zweite optische Glied (G2) aus einem zerstreuenden Dreifachkittglied mit einer Sammellinse (S3), die von zwei hochbrechenden Zerstreuungslinsen (Z2, Z3) eingeschlossen ist, besteht und das dritte optische Glied (G3) sammelnd ausgeführt ist und aus einer Zerstreuungslinse (Z4) und einer Sammellinse (S4) besteht und – das dritte Teilsystem (T3) aus zwei Menisken (M2, M3), deren hohle Flächen einander zugewandt sind, besteht, wobei der erste Meniskus (M2) als Kittglied mit einer Sammellinse (S5) und einer Zerstreuungslinse (Z5) ausgebildet ist und der zweite Meniskus (M3) aus einem, eine Zerstreuungslinse Z6 und einer Sammellinse S6 aufweisenden, aufgespaltenen Kittglied besteht.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Kittglied des ersten Teilsystems eine schwache negative Brechkraft besitzt und beide Sammellinsen (S1, S2) aus einem Fluorkronglas bestehen.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sammellinse (S4) des ersten optischen Gliedes (G1) vom zweiten Teilsystem (T2) aus Flussspat (CaF2) oder einem Fluorkronglas besteht.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sammellinse (S3) des zweiten optischen Gliedes (G2) vom zweiten Teilsystem (T2) aus Flussspat (CaF2) oder einem Fluorkronglas besteht.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zerstreuungslinsen (Z2, Z3) des zweiten optischen Gliedes (G2) vom zweiten Teilsystem (T2) aus einem hochbrechenden Lanthanglas bestehen.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zerstreuungslinse (Z4) des dritten optischen Gliedes (G3) vom zweiten Teilsystem (T2) aus einem Kurzflintglas besteht.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sammellinse (S4) des dritten optischen Gliedes (G3) vom zweiten Teilsystem (T2) aus Flussspat (CaF2) oder einem Fluorkronglas besteht.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Menisken (M2, M3) schwache Brechkräfte aufweisen und die letzte Sammellinse (S7) vom zweiten Meniskus (M3) eine Abbezahl kleiner 34 aufweist.
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche gekennzeichnet durch folgende Konstruktionsdaten mit Krümmungsradien r1 bis r24 in mm, den Dicken, beziehungsweise Luftabständen d1 bis d23 in mm, den Brechzahlen ne, den Abbezahlen νe und der Verwendung einer Ölimmersion, bei einem Bildfelddurchmesser von 25 mm, einer Vergrößerung von 40x, einer numerischen Apertur von 1.3, einem Arbeitsabstand von 0,247 mm sowie einer Deckglasdicke von 0,17 mm: Fläche FL Krümmungsradius r1 bis r24 (mm) Dicke d1 bis d24 (mm) Brechzahl n_e Abbezahl ν_e Olimmersion 1 unendlich 0.570 1.54212 59.44 2 –0.707 3.990 1.88815 40.52 3 –3.868 0.228 4 –11.546 2.810 1.59446 68.00 5 –6.633 0.264 6 –172.777 3.000 1.59446 68.00 7 –13.433 0.100 8 10.366 6.670 1.43985 94.49 9 –21.597 1.300 1.82017 46.37 10 –68.294 0.100 11 18.566 1.000 1.88815 40.52 12 6.541 5.200 1.43985 94.49 13 –11.799 1.000 1.73234 54.45 14 –23.039 0.600 15 –15.181 0.900 1.64132 42.20 16 9.442 5.150 1.43985 94.49 17 –9.576 0.100 18 6.876 5.190 1.43985 94.49 19 –14.962 1.000 1.56082 53.83 20 5.495 4.700 21 –4.870 0.960 1.43985 94.49 22 –9.442 0.278 23 –9.576 2.620 1.65222 33.56 24 –7.079
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche gekennzeichnet durch folgende Konstruktionsdaten mit Krümmungsradien r1 bis r24 in mm, den Dicken, beziehungsweise Luftabständen d1 bis d23 in mm, den Brechzahlen ne, den Abbezahlen νe und der Verwendung einer Ölimmersion, bei einem Bildfelddurchmesser von 25 mm, einer Vergrößerung von 63x, einer numerischen Apertur von 1.4, einem Arbeitsabstand von 0,201 mm sowie einer Deckglasdicke von 0,17 mm: Fläche FL Krümmungs-radius r1 bis r24 (mm) Dicke d1 bis d23 (mm) Brechzahl n_e Abbezahl ν_e Ölimmersion 1 unendlich 0.680 1.56605 60.55 2 –0.792 3.414 1.88815 40.52 3 –3.449 0.299 4 –6.684 2.800 1.59446 68.00 5 –5.495 0.349 6 286.521 3.280 1.59446 68.00 7 –14.642 0.100 8 10.820 7.400 1.43985 94.49 9 –16.549 0.900 1.56082 53.83 10 –61.305 0.100 11 27.384 0.900 1.88815 40.52 12 7.285 6.460 1.43985 94.49 13 –8.292 0.900 1.82017 46.37 14 –29.430 0.100 15 18.553 0.900 1.64132 42.20 16 7.393 6.190 1.43985 94.49 17 –11.380 0.100 18 5.465 5.410 1.43985 94.49 19 –18.566 0.800 1.56082 53.83 20 3.163 3.400 21 –3.400 0.640 1.71616 53.61 22 –15.181 0.614 23 –9.173 2.150 1.65222 33.56 24 –4.665
Hochaperturiges Immersionsobjektiv nach einem der vorgenannten Ansprüche gekennzeichnet durch folgende Konstruktionsdaten mit Krümmungsradien r1 bis r24 in mm, den Dicken, beziehungsweise Luftabständen d1 bis d23 in mm, den Brechzahlen ne, den Abbezahlen νe und der Verwendung einer Ölimmersion, bei einem Bildfelddurchmesser von 25 mm, einer Vergrößerung von 63x, einer numerischen Apertur von 1.4, einem Arbeitsabstand von 0,173 mm sowie einer Deckglasdicke von 0,17 mm: Fläche FL Krümmungs-radius r1 bis r24 (mm) Dicke d1 bis d23 (mm) Brechzahl n_e Abbezahl ν_e Ölimmersion 1 unendlich 0.665 1.56605 60.55 2 –0.761 3.520 1.88815 40.52 3 –3.449 0.297 4 –7.606 3.000 1.53019 76.58 5 –5.662 0.335 6 –243.131 3.100 1.59446 68.00 7 –14.331 0.100 8 11.060 7.900 1.43985 94.49 9 –15.396 0.900 1.56082 53.83 10 –53.861 0.100 11 26.994 0.900 1.88815 40.52 12 7.606 6.498 1.43985 94.49 13 –9.005 0.900 1.82017 46.37 14 –44.344 0.100 15 14.747 0.900 1.64132 42.20 16 6.979 5.700 1.43985 94.49 17 –12.771 0.100 18 5.386 5.400 1.43985 94.49 19 –17.151 0.750 1.56082 53.83 20 3.116 3.467 21 –3.387 0.560 1.71616 53.61 22 –13.820 0.628 23 –9.576 2.100 1.65222 33.56 24 –4.665

Bei Verwendung folgender Konstruktionsdaten der nicht näher dargestellten Tubuslinseneinheit: Fl.-Nr. Krümmungsradius r (mm) Dicke d (mm) Brechzahl n_e Abbezahl ν_e 126.5 1 189.417 10.9 1.582 53.6 2 –189.417 60 3 unendlich 80 1.519 64.0 4 unendlich 48.2 5 Zwischenbildebene