DE102011083718A1 - Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer - Google Patents

Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer Download PDF

Info

Publication number
DE102011083718A1
DE102011083718A1 DE102011083718A DE102011083718A DE102011083718A1 DE 102011083718 A1 DE102011083718 A1 DE 102011083718A1 DE 102011083718 A DE102011083718 A DE 102011083718A DE 102011083718 A DE102011083718 A DE 102011083718A DE 102011083718 A1 DE102011083718 A1 DE 102011083718A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light source
light
spectrometer
reflected light
detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102011083718A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Anton Schick
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to DE102011083718A priority Critical patent/DE102011083718A1/de
Priority to EP12769615.1A priority patent/EP2737288A1/de
Priority to JP2014532306A priority patent/JP6084620B2/ja
Priority to PCT/EP2012/067421 priority patent/WO2013045250A1/de
Priority to US14/348,514 priority patent/US20140218731A1/en
Publication of DE102011083718A1 publication Critical patent/DE102011083718A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2823Imaging spectrometer
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/10Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2803Investigating the spectrum using photoelectric array detector
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J2003/425Reflectance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE102011083718A 2011-09-29 2011-09-29 Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer Ceased DE102011083718A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011083718A DE102011083718A1 (de) 2011-09-29 2011-09-29 Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer
EP12769615.1A EP2737288A1 (de) 2011-09-29 2012-09-06 Konfokales spektrometer und verfahren zur bildgebung in einem konfokalen spektrometer
JP2014532306A JP6084620B2 (ja) 2011-09-29 2012-09-06 共焦点分光計および共焦点分光計における画像形成方法
PCT/EP2012/067421 WO2013045250A1 (de) 2011-09-29 2012-09-06 Konfokales spektrometer und verfahren zur bildgebung in einem konfokalen spektrometer
US14/348,514 US20140218731A1 (en) 2011-09-29 2012-09-06 Confocal spectrometer and method for imaging in confocal spectrometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011083718A DE102011083718A1 (de) 2011-09-29 2011-09-29 Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102011083718A1 true DE102011083718A1 (de) 2013-04-04

Family

ID=47002830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102011083718A Ceased DE102011083718A1 (de) 2011-09-29 2011-09-29 Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20140218731A1 (enExample)
EP (1) EP2737288A1 (enExample)
JP (1) JP6084620B2 (enExample)
DE (1) DE102011083718A1 (enExample)
WO (1) WO2013045250A1 (enExample)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108020171A (zh) * 2017-12-25 2018-05-11 东莞市三姆森光电科技有限公司 基于光谱共焦技术的手机曲面外壳轮廓测量方法及其测量设备
CN109945797A (zh) * 2017-12-20 2019-06-28 北京卓立汉光仪器有限公司 一种表面形貌测量装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6928623B2 (ja) 2016-07-01 2021-09-01 シライト プロプライエタリー リミテッド 分散型構造化照明を使用する共焦点顕微鏡法のための装置及び方法
US9606000B1 (en) * 2016-08-10 2017-03-28 Essential Products, Inc. Ambient light sensor
TWI653440B (zh) 2017-12-27 2019-03-11 國立臺灣大學 光譜影像相關比對式共焦形貌量測系統及方法
US10753734B2 (en) 2018-06-08 2020-08-25 Dentsply Sirona Inc. Device, method and system for generating dynamic projection patterns in a confocal camera
CN111879239B (zh) * 2020-06-11 2022-09-02 东莞市神州视觉科技有限公司 光谱共焦测量装置及测量方法
CN112147622B (zh) * 2020-09-02 2024-02-06 Oppo广东移动通信有限公司 测距装置、测距方法、摄像头及电子设备
CN115060363A (zh) * 2022-07-04 2022-09-16 凌云光技术股份有限公司 光谱共焦成像装置、系统及检测方法
CN115560854B (zh) * 2022-10-28 2025-05-30 北京京仪博电光学技术有限责任公司 窄带干涉滤光片全自动批量检测的分光光度计及检测方法
CN115876447B (zh) * 2023-02-17 2023-06-06 聚时科技(深圳)有限公司 一种单波长光学器件检测装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040184960A1 (en) * 1999-05-28 2004-09-23 Yokogawa Electric Corporation, A Japan Corporation Biochip reader and electrophoresis system
DE69730030T2 (de) 1997-11-17 2005-07-21 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Konfokales Spektroskopiesystem und -verfahren
EP1984770B1 (de) 2006-02-08 2009-09-09 Sirona Dental Systems GmbH Verfahren und anordnung zur schnellen und robusten, chromatisch-konfokalen 3d-messtechnik

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5257086A (en) * 1992-06-09 1993-10-26 D.O.M. Associates Int'l Optical spectrophotometer having a multi-element light source
DE19510102C1 (de) * 1995-03-20 1996-10-02 Rainer Dr Uhl Konfokales Fluoreszenzmikroskop
JP2000321138A (ja) * 1999-05-07 2000-11-24 Suzuki Motor Corp 分光計
JP2001041821A (ja) * 1999-08-02 2001-02-16 Hamamatsu Photonics Kk スリット像検出装置
GB2380344B (en) * 2000-04-26 2005-04-06 Arete Associates Very fast time resolved imaging in multiparameter measurement space
GB0221014D0 (en) * 2002-09-11 2002-10-23 Medical Res Council Spectral discrimination apparatus and method
CA2554222A1 (en) * 2004-01-21 2005-12-22 Optical Insights, Llc Method and apparatus for multi-mode spectral imaging
DE102004031049A1 (de) * 2004-06-25 2006-01-12 Leica Microsystems Cms Gmbh Optische Anordnung zum spektralselektiven Nachweis von Licht eines Lichtstrahls
DE102006007172B4 (de) * 2006-02-08 2013-01-17 Universität Stuttgart Verfahren und Anordnung zur schnellen, ortsaufgelösten, flächigen, spektroskopischen Analyse, bzw. zum Spectral Imaging oder zur 3D-Erfassung mittels Spektroskopie
DE102007019267A1 (de) * 2007-04-24 2008-10-30 Degudent Gmbh Messanordnung sowie Verfahren zum dreidimensionalen Messen eines Objekts
DE102011083726A1 (de) * 2011-09-29 2013-04-04 Siemens Aktiengesellschaft Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69730030T2 (de) 1997-11-17 2005-07-21 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Konfokales Spektroskopiesystem und -verfahren
US20040184960A1 (en) * 1999-05-28 2004-09-23 Yokogawa Electric Corporation, A Japan Corporation Biochip reader and electrophoresis system
EP1984770B1 (de) 2006-02-08 2009-09-09 Sirona Dental Systems GmbH Verfahren und anordnung zur schnellen und robusten, chromatisch-konfokalen 3d-messtechnik

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109945797A (zh) * 2017-12-20 2019-06-28 北京卓立汉光仪器有限公司 一种表面形貌测量装置
CN109945797B (zh) * 2017-12-20 2024-03-26 北京卓立汉光仪器有限公司 一种表面形貌测量装置
CN108020171A (zh) * 2017-12-25 2018-05-11 东莞市三姆森光电科技有限公司 基于光谱共焦技术的手机曲面外壳轮廓测量方法及其测量设备
CN108020171B (zh) * 2017-12-25 2023-06-20 东莞市三姆森光电科技有限公司 基于光谱共焦的手机曲面外壳轮廓测量方法及其测量设备

Also Published As

Publication number Publication date
EP2737288A1 (de) 2014-06-04
WO2013045250A1 (de) 2013-04-04
JP2014532173A (ja) 2014-12-04
JP6084620B2 (ja) 2017-02-22
US20140218731A1 (en) 2014-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102011083718A1 (de) Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer
DE102011083726A1 (de) Konfokales Spektrometer und Verfahren zur Bildgebung in einem konfokalen Spektrometer
EP3177957B1 (de) Hochauflösende scanning-mikroskopie mit der unterscheidung mindestens zweier wellenlängenbereiche
EP2860566B1 (de) Hochauflösende Scanning-Mikroskopie
DE102013015931B4 (de) Mikroskop und Verfahren zur hochauflösenden Scanning-Mikroskope
EP2350618B1 (de) Fluoreszenzmikroskop mit phasenmaske
EP3033646B1 (de) Hochauflösende scanning-mikroskopie
EP2137488B1 (de) Verfahren und anordnung zur optischen abbildung mit tiefendiskriminierung
DE102012204128B4 (de) Hochauflösende Scanning-Mikroskopie
EP2904442B1 (de) Konfokales mikroskop mit frei einstellbarer probenabtastung
WO2012034852A1 (de) Optisches abbildungssystem zur multispektralen bildgebung
DE102006007172B4 (de) Verfahren und Anordnung zur schnellen, ortsaufgelösten, flächigen, spektroskopischen Analyse, bzw. zum Spectral Imaging oder zur 3D-Erfassung mittels Spektroskopie
WO2018234453A1 (de) Hochauflösende scanning-mikroskopie mit der unterscheidung mindestens zweier wellenlängenbereiche
DE10038049A1 (de) Optische Anordnung zur Selektion und Detektion des Spektalbereichs eines Lichtstrahls
EP3271694A1 (de) Lichtemissionsmessgerät und verfahren zur messung von lichtemission
EP4189358B1 (de) Verfahren zum detektieren von emissionslicht, detektionsvorrichtung und laserscanning-mikroskop
WO2017013033A1 (de) Hochauflösende, spektral selektive scanning-mikroskopie einer probe
DE102019135521A1 (de) Messanordnung, Lichtmikroskop und Messverfahren zur bildgebenden Tiefenmessung
DE102005044842A1 (de) Konfokalmikroskop
DE102016008884A1 (de) Spektroskopievorrichtung und -verfahren
WO2024153476A1 (de) Mikroskop
DE102015112769B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Probenuntersuchung
DE102013112376B4 (de) Spektrometersystem
DE10206004A1 (de) Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse
DE102006011277A1 (de) Laser-Scanning-Mikroskop und Laser-Scanning-Mikroskopierverfahren

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final

Effective date: 20130501