DE102011080653A1 - CARRIER FOIL FOR A SILICONE ELEMENT AND METHOD FOR PRODUCING A CARRIER FOIL FOR A SILICONE ELEMENT - Google Patents

CARRIER FOIL FOR A SILICONE ELEMENT AND METHOD FOR PRODUCING A CARRIER FOIL FOR A SILICONE ELEMENT Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Trägerfolie (200, 210, 220, 230) zur Aufnahme eines Silikonelements (410) in einem Pressverfahren, wobei die Trägerfolie (200, 210, 220, 230) zumindest in einem Teilbereich (211, 231) derart oberflächenbehandelt ist, dass die Haftwirkung gegenüber Silikon in dem behandelten Bereich erhöht ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein System aus einer oberflächenbehandelten Trägerfolie (200, 210, 220, 230) und einem auf der Trägerfolie (200, 210, 220, 230) aufgebrachten Silikonelement (410), wobei das Silikonelement (410) zumindest teilweise auf dem oberflächenbehandelten Bereich (211, 213) aufliegt.The present invention relates to a carrier film (200, 210, 220, 230) for receiving a silicone element (410) in a pressing process, wherein the carrier film (200, 210, 220, 230) is surface-treated in such a way in at least a partial region (211, 231) in that the adhesion to silicone in the treated area is increased. Furthermore, the present invention relates to a system comprising a surface-treated carrier film (200, 210, 220, 230) and a silicone element (410) applied to the carrier film (200, 210, 220, 230), wherein the silicone element (410) at least partially the surface-treated area (211, 213) rests.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Trägerfolie zur Aufnahme eines Silikonelements in einem Presseverfahren, ein System aus einer Trägerfolie und einem auf die Trägerfolie aufgebrachten Silikonelement, ein Verfahren zum Herstellen einer Trägerfolie sowie ein Verfahren zum Herstellen eines Silikonelements mit Hilfe einer Trägerfolie in einem Pressverfahren, wobei das Silikonelement zur Verwendung in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil geeignet ist. The present invention relates to a carrier film for receiving a silicone element in a press method, a system comprising a carrier film and a silicone element applied to the carrier film, a method for producing a carrier film and a method for producing a silicone element by means of a carrier film in a pressing process, wherein Silicone element is suitable for use in an optoelectronic semiconductor device.

Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine Trägerfolie zur Aufnahme eines Silikonelements, welches beispielsweise in Form vereinzelter Silikonplättchen als Strahlungskonversionselement in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil verwendet wird. In particular, the present invention relates to a carrier film for receiving a silicone element, which is used for example in the form of isolated silicone platelets as a radiation conversion element in an optoelectronic semiconductor device.

Ein Beispiel für ein optoelektronisches Halbleiterbauteil weist einen elektrisch kontaktierten Halbleiterchip mit einem Strahlungskonversionselement auf, wobei der Halbleiterchip und das Strahlungskonversionselement in eine Vergussmasse eingebettet sein können. Der Halbleiterchip sendet im Betrieb eine Primärstrahlung aus und in dem Strahlungskonversionselement wird ein Teil der Primärstrahlung in eine Sekundärstrahlung anderer Wellenlänge konvertiert. Die resultierende Strahlung des optoelektronischen Halbleiterbauteils ergibt sich aus der Überlagerung der vom Strahlungskonversionselement transmittierten Primärstrahlung und der erzeugten Sekundärstrahlung. So lassen sich insbesondere Lichtquellen bereitstellen, die ein weißes Licht abstrahlen.An example of an optoelectronic semiconductor component has an electrically contacted semiconductor chip with a radiation conversion element, wherein the semiconductor chip and the radiation conversion element can be embedded in a potting compound. During operation, the semiconductor chip emits a primary radiation, and in the radiation conversion element part of the primary radiation is converted into secondary radiation of a different wavelength. The resulting radiation of the optoelectronic semiconductor component results from the superimposition of the primary radiation transmitted by the radiation conversion element and the secondary radiation generated. In particular, it is possible to provide light sources which emit a white light.

Das aus dem Silikonelement hergestellte Strahlungskonversionselement wird hierbei separat von dem Halbleiterchip hergestellt und anschließend mittels geeigneter Verfahren auf den Halbleiterchip aufgebracht und ggf. in ein Gehäuse eingebettet. In this case, the radiation conversion element produced from the silicone element is produced separately from the semiconductor chip and subsequently applied to the semiconductor chip by means of suitable methods and possibly embedded in a housing.

Bekanntermaßen wird das Silikonelement, aus welcher das Strahlungskonversionselement durch entsprechende Vereinzelungsvorgänge gewonnen wird, durch ein Pressverfahren hergestellt. Hierbei wird Silikongrundmasse in die Kavität eines Presswerkzeugs eingebracht und durch Pressen in Form des Silikonelements gebracht. Für die anschließende Weiterverarbeitung ist es notwendig, dass das Silikonelement an der für das Pressverfahren vorgesehenen Trägerfolie haftet und nicht an anderen Komponenten. As is known, the silicone element, from which the radiation conversion element is obtained by means of corresponding singulation processes, is produced by a pressing process. Here, silicone matrix is introduced into the cavity of a pressing tool and brought by pressing in the form of the silicone element. For the subsequent further processing, it is necessary for the silicone element to adhere to the carrier film intended for the pressing process and not to other components.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, den bekannten Stand der Technik zu verbessern. The present invention is therefore based on the object to improve the known prior art.

Des Weiteren ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Trägerfolie sowie ein System aus Trägerfolie und Silikonelement sowie ein Verfahren zum Herstellen einer Trägerfolie sowie ein Verfahren zum Herstellen eines Silikonelements mit Hilfe einer Trägerfolie anzugeben, so dass mit Hilfe der Trägerfolie die Handhabung des Silikonelements vereinfacht wird. Furthermore, it is an object of the present invention to specify a carrier film as well as a system of carrier film and silicone element as well as a method for producing a carrier film and a method for producing a silicone element with the aid of a carrier film, so that the handling of the silicone element is simplified with the aid of the carrier film becomes.

Diese Aufgabe wird durch eine Trägerfolie gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 gelöst.This object is achieved by a carrier film according to independent claim 1.

Des Weiteren wird diese Aufgabe durch ein System aus einer Trägerfolie und einem Silikonelement gemäß dem unabhängigen Anspruch 9 gelöst. Furthermore, this object is achieved by a system comprising a carrier film and a silicone element according to independent claim 9.

Des Weiteren wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zum Herstellen einer Trägerfolie gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 12 gelöst. Furthermore, this object is achieved by a method for producing a carrier film according to independent claim 12.

Des Weiteren wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zum Herstellen eines Silikonelements gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 15 gelöst. Furthermore, this object is achieved by a method for producing a silicone element according to independent claim 15.

Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängigen Patentansprüchen angegeben.Further developments and advantageous embodiments of the invention are specified in the dependent claims.

BEISPIELHAFTE AUSFÜHRUNGSFORMENEXEMPLARY EMBODIMENTS

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Trägerfolie zur Aufnahme eines Silikonelements in einem Pressverfahren, wobei die Trägerfolie zumindest in einem Teilbereich derart oberflächenbehandelt ist, dass die Haftwirkung gegenüber Silikon in dem behandelten Bereich erhöht ist. The present invention relates to a carrier film for receiving a silicone element in a pressing process, wherein the carrier film is surface-treated in at least a partial area in such a way that the adhesion to silicone in the treated area is increased.

Durch die Steigerung der Haftwirkung der Trägerfolie gegenüber Silikon wird die Verarbeitung von Silikon in einem Pressverfahren und in nachfolgenden Verfahrensschritten vereinfacht, da eine zuverlässigere Haftung des Silikonelements an der Trägerfolie erreicht werden kann. By increasing the adhesion of the carrier film to silicone, the processing of silicone in a pressing process and in subsequent process steps is simplified because a more reliable adhesion of the silicone element to the carrier film can be achieved.

Gemäß einer Ausführungsform erstreckt sich der behandelte Bereich vollständig entlang zumindest einer Seite der Trägerfolie. Hierdurch kann die Trägerfolie beliebig gegenüber dem aufzubringenden Silikonelement positioniert werden, da an jeder Stelle der Trägerfolie eine erhöhte Haftwirkung gewährleistet ist. According to one embodiment, the treated area extends completely along at least one side of the carrier film. As a result, the carrier film can be positioned as desired with respect to the silicone element to be applied, since an increased adhesive effect is ensured at every point of the carrier film.

Gemäß einer Ausführungsform bildet die Form des Teilbereichs die Form des aufzubringenden Silikonelements nach und/oder ist der Teilbereich insbesondere kreisförmig, quadratisch oder rechteckig. Da nur ein Teilbereich der Trägerfolie oberflächenbehandelt ist, ist die Herstellung einer solchen Trägerfolie materialsparender und kostengünstiger als bei einer Behandlung der gesamten Trägerfolie. According to one embodiment, the shape of the partial region imitates the shape of the silicone element to be applied and / or the partial region is in particular circular, square or rectangular. Since only a portion of the carrier film is surface-treated, the production of such a carrier film is more material-saving and less expensive than in a treatment of the entire carrier film.

Gemäß einer Ausführungsform bildet die Form des Teilbereichs die Form des Randes des aufzubringenden Silikonelements nach und/oder ist der Teilbereich insbesondere kreisringförmig oder rahmenförmig ist. Auch hier ist die Herstellung einer solchen Trägerfolie materialsparender und kostengünstiger als bei einer Behandlung der gesamten Trägerfolie, da nur ein Teilbereich der Trägerfolie oberflächenbehandelt ist. Gleichzeitig wird hier die Erkenntnis genutzt, dass ein Haften eines gesamten Silikonelements an der Trägerfolie insbesondere durch ein verbessertes Haften am Randbereich des Silikonelements erreicht wird. Hierdurch kann einerseits der zu behandelnde Teilbereich weiter verringert werden, zum anderen wird ein Ablösen des Silikonelements, wenn es in späteren Verfahrensschritten gewünscht wird, erleichtert, da die erhöhte Haftwirkung nur am Rand des Silikonelements auftritt. Hierdurch wird somit eine erhöhte Haftung während des Pressverfahrens und anschließenden Schritte gewährleistet bei gleichzeitiger Möglichkeit des einfachen Ablösens zu einem gewünschten Zeitpunkt. According to one embodiment, the shape of the partial region forms the shape of the edge of the silicone element to be applied and / or the partial region is in particular annular or frame-shaped. Again, the production of such a carrier film is more material-saving and cost-effective than in a treatment of the entire carrier film, since only a portion of the carrier film is surface-treated. At the same time, the knowledge is used here that adhesion of an entire silicone element to the carrier foil is achieved in particular by improved adhesion to the edge region of the silicone element. In this way, on the one hand, the portion to be treated can be further reduced, and on the other hand, a detachment of the silicone element, if desired in later method steps, is facilitated since the increased adhesive effect occurs only at the edge of the silicone element. As a result, an increased adhesion during the pressing process and subsequent steps is thus ensured with the simultaneous possibility of easy detachment at a desired time.

In einer Ausführungsform ist die Trägerfolie eine Polytetrafluorethylen-Folie (PTFE-Folie). Eine PTFE-Folie erfüllt alle Anforderungen zur Verwendung in einem Pressverfahren, beispielsweise Dehnbarkeit und Reißfeistigkeit, und erlaubt gleichzeitig eine Vielzahl von Möglichkeiten zu Oberflächenbehandlung, durch welche die gewünschte erhöhte Haftwirkung erreicht werden kann. In one embodiment, the carrier film is a polytetrafluoroethylene (PTFE) film. A PTFE film meets all the requirements for use in a press process, such as ductility and tear resistance, while allowing a variety of surface treatment options to achieve the desired increased adhesion.

Gemäß einer Ausführungsform ist die Trägerfolie in dem oberflächenbehandelten Bereich aufgeraut. Durch das Aufrauen kann auf einfache Art und Weise eine Oberflächenvergrößerung der Trägerfolie und damit eine erhöhte Haftwirkung erreicht werden. Ein Aufrauen der Trägerfolie ist einfach und schnell durchführbar sowie kostengünstig. Die zugehörigen Materialien und Vorrichtungen sind gut verfügbar. Des Weiteren lassen sich einfach verschiedene Varianten wählen beispielsweise hinsichtlich Geometrie und Ausführung der aufgerauten Fläche. Ein weiterer Vorteil liegt in der Möglichkeit einer einfachen Qualitätskontrolle beispielsweise durch Rauheitsmessungen oder dergleichen. According to one embodiment, the carrier film is roughened in the surface-treated area. By roughening a surface enlargement of the carrier film and thus an increased adhesive effect can be achieved in a simple manner. A roughening of the carrier film is simple and quick to carry out and inexpensive. The associated materials and devices are readily available. Furthermore, it is easy to choose different variants, for example with regard to the geometry and design of the roughened surface. Another advantage is the possibility of a simple quality control, for example by roughness measurements or the like.

Vorzugsweise beträgt die Aufrautiefe 1 μm bis 50 μm, vorzugsweise 5 μm bis 45 μm, insbesondere vorzugsweise 10 μm bis 40 μm, besonders bevorzugt 20 μm bis 30 μm. Die Aufrautiefe muss einerseits hoch genug sein, um die erhöhte Haftwirkung gegenüber Silikon zu gewährleisten, gleichzeitig muss sie jedoch niedrig genug sein, um ein späteres gewolltes Ablösen des Silikonelements zu ermöglichen. Darüber hinaus sollte die Aufrautiefe im Fall, dass das Silikonelement als konvertergefülltes Strahlungskonversionselement verwendet wird, einen maximalen Wert nicht überschreiten, da ansonsten durch die Dickenunterschiede im Silikonelement eine gleichmäßige Farbortwiedergabe nicht gewährleistet wäre. Die erfindungsgemäße Aufrautiefe basiert somit auf der Erkenntnis, wie die Haftung speziell gegenüber Silikon ausreichend verbessert werden kann ohne andere Parameter in der weiteren Verarbeitung negativ zu beeinflussen. Preferably, the roughness depth is 1 μm to 50 μm, preferably 5 μm to 45 μm, in particular preferably 10 μm to 40 μm, particularly preferably 20 μm to 30 μm. On the one hand, the roughening depth must be high enough to ensure the increased adhesion to silicone, but at the same time it must be low enough to allow a later desired detachment of the silicone element. In addition, in the case that the silicone element is used as a converter-filled radiation conversion element, the roughness depth should not exceed a maximum value, since otherwise the color differences in the silicone element would not ensure uniform color reproduction. The roughening depth according to the invention is thus based on the knowledge of how the adhesion, especially with respect to silicone, can be sufficiently improved without negatively influencing other parameters in the further processing.

Gemäß einer Ausführungsform ist die Trägerfolie in dem oberflächenbehandelten Bereich mit einer haftsteigernden Beschichtung beschichtet und die Beschichtung vorzugsweise eine Haftvermittlerbeschichtung, eine Plasmabeschichtung oder eine ausgehärtete Silikonbeschichtung. Der Vorteil einer Beschichtung liegt beispielsweise in einer hohen Reproduzierbarkeit und damit gleichbleibenden Qualität. Des Weiteren kann die Gleichmäßigkeit der Beschichtung optimal gewährleistet werden. Durch die Möglichkeit der Verwendung verschiedener Beschichtungsmaterialien bietet sich eine hohe Variabilität der Beschichtung, so dass die Beschichtung gezielt an die jeweiligen Erfordernisse angepasst werden kann. Je nach Beschichtungsverfahren und/oder Beschichtungsmaterial kann eine sehr gleichmäßige Oberfläche erzielt werden, so dass sich die Beschichtungstopologie nachfolgend nicht in dem hergestellten Silikonelement abbildet. According to one embodiment, the carrier film is coated in the surface-treated area with an adhesion-promoting coating, and the coating is preferably a primer coating, a plasma coating or a cured silicone coating. The advantage of a coating is for example in a high reproducibility and thus consistent quality. Furthermore, the uniformity of the coating can be optimally ensured. The possibility of using different coating materials offers a high variability of the coating, so that the coating can be adapted specifically to the respective requirements. Depending on the coating method and / or the coating material, a very uniform surface can be achieved so that the coating topology does not subsequently imitate in the silicone element produced.

Die Erfindung betrifft des Weiteren ein System aus einer erfindungsgemäßen Trägerfolie und einem auf der Trägerfolie aufgebrachten Silikonelement, wobei das Silikonelement zumindest teilweise auf dem oberflächenbehandelten Bereich aufliegt. The invention further relates to a system comprising a carrier film according to the invention and a silicone element applied to the carrier film, wherein the silicone element rests at least partially on the surface-treated region.

Durch das Aufliegen des Silikonelements auf dem Bereich, der speziell gegenüber Silikon eine erhöhte Haftwirkung hat, wird ein zuverlässiges Anhaften des Silikonelements an der Trägerfolie im Pressverfahren und in nachfolgenden Verfahrensschritten erreicht. By resting the silicone element on the region, which has an increased adhesive effect, in particular with respect to silicone, a reliable adherence of the silicone element to the carrier film is achieved in the pressing process and in subsequent process steps.

In einer Ausführungsform liegt zumindest der Randbereich des Silikonelements auf dem oberflächenbehandelten Bereich auf. Hier wird die Erkenntnis genutzt, dass ein Haften eines gesamten Silikonelements an der Trägerfolie insbesondere durch ein verbessertes Haften am Randbereich des Silikonelements erreicht wird. Hierdurch kann einerseits der zu behandelnde Teilbereich weiter verringert werden, zum anderen wird ein Ablösen des Silikonelements, wenn es in späteren Verfahrensschritten gewünscht wird, erleichtert, da die erhöhte Haftwirkung nur am Rand des Silikonelements auftritt. Hierdurch wird somit eine erhöhte Haftung während des Pressverfahrens und anschließender Schritte gewährleistet bei gleichzeitiger Möglichkeit des einfachen Ablösens zu einem gewünschten Zeitpunkt. In one embodiment, at least the edge region of the silicone element rests on the surface-treated area. Here, the knowledge is used that adhesion of an entire silicone element to the carrier film is achieved in particular by improved adhesion to the edge region of the silicone element. In this way, on the one hand, the portion to be treated can be further reduced, and on the other hand, a detachment of the silicone element, if desired in later method steps, is facilitated since the increased adhesive effect occurs only at the edge of the silicone element. As a result, an increased adhesion during the pressing process and subsequent steps is thus ensured with the simultaneous possibility of easy detachment at a desired time.

Vorzugsweise liegen zumindest 5% bis 15%, vorzugsweise 7% bis 13%, insbesondere vorzugsweise 9% bis 11%, besonders bevorzugt 10% der Fläche des Silikonelements auf dem oberflächenbehandelten Bereich auf. Hierdurch wird einerseits während der Pressvorgangs eine gut Haftung des Silikonelements an der Trägerfolie gewährleistet, andererseits wird ein einfaches Ablösen des Silikonelements von der Trägerfolie zu einem späteren Zeitpunkt ermöglicht. Preferably, at least 5% to 15%, preferably 7% to 13%, in particular preferably 9% to 11%, particularly preferably 10% of the Surface of the silicone element on the surface-treated area. As a result, on the one hand a good adhesion of the silicone element to the carrier film is ensured during the pressing process, on the other hand, a simple detachment of the silicone element from the carrier film is made possible at a later time.

Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zum Herstellen einer Trägerfolie, welche zur Aufnahme eines Silikonelements in einem Pressverfahren geeignet ist, aufweisend die Schritte Bereitstellen einer Trägerfolie und Behandeln der Oberfläche der Trägerfolie zumindest in einem Teilbereich derart, dass die Haftwirkung gegenüber Silikon in dem behandelten Bereich erhöht ist. The present invention further relates to a method for producing a carrier film, which is suitable for receiving a silicone element in a pressing process, comprising the steps of providing a carrier film and treating the surface of the carrier film at least in a partial region such that the adhesion to silicone in the treated Range is increased.

Durch die Steigerung der Haftwirkung der Trägerfolie gegenüber Silikon wird die Verarbeitung von Silikon in einem Pressverfahren und in nachfolgenden Verfahrensschritten vereinfacht, da eine zuverlässigere Haftung des Silikonelements an der Trägerfolie erreicht werden kann. By increasing the adhesion of the carrier film to silicone, the processing of silicone in a pressing process and in subsequent process steps is simplified because a more reliable adhesion of the silicone element to the carrier film can be achieved.

In einer Ausführungsform erfolgt der Schritt des Behandelns der Oberfläche durch Aufrauen erfolgt, vorzugsweise mittels Anätzens, mittels einer Plasmabehandlung oder mittels Abbschleifens. Neben den bereits genannten Vorteilen einer aufgerauten Oberfläche bieten die insbesondere die Verfahren des Anätzens und der Plasmabehandlung gleichzeitig die Möglichkeit, die Oberfläche der Trägerfolie zu reinigen und von unerwünschten Partikeln zu befreien, wodurch ebenfalls die Haftwirkung verbessert wird. In one embodiment, the step of treating the surface is carried out by roughening, preferably by means of etching, by means of a plasma treatment or by means of grinding. In addition to the advantages of a roughened surface already mentioned, the methods of etching and plasma treatment simultaneously offer the possibility of cleaning the surface of the carrier film and of ridding it of unwanted particles, which likewise improves the adhesive effect.

In einer Ausführungsform erfolgt der Schritt des Behandelns der Oberfläche durch Beschichten mit einer haftsteigernden Beschichtung, vorzugsweise umfasst der Schritt des Beschichtens das Aufbringen einer Plasmabeschichtung, einer Haftvermittlerbeschichtung oder einer ausgehärteten Silikonbeschichtung. Der Vorteil einer Beschichtung liegt beispielsweise in einer hohen Reproduzierbarkeit und damit gleichbleibenden Qualität. Des Weiteren kann die Gleichmäßigkeit der Beschichtung optimal gewährleistet werden. Durch die Möglichkeit der Verwendung verschiedener Beschichtungsmaterialien bietet sich eine hohe Variabilität der Beschichtung, so dass die Beschichtung gezielt an die jeweiligen Erfordernisse angepasst werden kann. Je nach Beschichtungsverfahren und/oder Beschichtungsmaterial kann eine sehr gleichmäßige Oberfläche erzielt werden, so dass sich die Beschichtungstopologie nachfolgend nicht in dem hergestellten Silikonelement abbildet.In one embodiment, the step of treating the surface is done by coating with an adhesion-promoting coating, preferably, the coating step comprises applying a plasma coating, a primer coating, or a cured silicone coating. The advantage of a coating is for example in a high reproducibility and thus consistent quality. Furthermore, the uniformity of the coating can be optimally ensured. The possibility of using different coating materials offers a high variability of the coating, so that the coating can be adapted specifically to the respective requirements. Depending on the coating method and / or the coating material, a very uniform surface can be achieved so that the coating topology does not subsequently imitate in the silicone element produced.

Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zum Herstellen eines Silikonelements mit Hilfe einer Trägerfolie in einem Pressverfahren, wobei das Silikonelement zur Verwendung in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil geeignet ist, umfassend die Schritte Bereitstellen einer Trägerfolie zur Aufnahme eines Silikonelements, wobei die Trägerfolie zumindest in einem Teilbereich derart oberflächenbehandelt ist, dass die Haftwirkung gegenüber Silikon in dem behandelten Bereich erhöht ist, Einbringen der Trägerfolie in ein Presswerkzeug, Einbringen einer Silikonmasse in das Presswerkzeug, Schließen des Presswerkzeugs und Aufpressen der Silikonmasse auf die Trägerfolie zum Bilden eines Silikonelements, wobei das Silikonelement zumindest teilweise auf dem oberflächenbehandelten Bereich aufliegt, Öffnen des Presswerkzeugs, und Entnehmen der Trägerfolie mit dem Silikonelement aus dem Presswerkzeug.The present invention further relates to a method for producing a silicone element by means of a carrier foil in a pressing method, wherein the silicone element is suitable for use in an optoelectronic semiconductor component, comprising the steps of providing a carrier foil for receiving a silicone element, wherein the carrier foil at least in a partial area is surface treated such that the adhesion to silicone in the treated area is increased, inserting the carrier sheet into a die, introducing a silicone mass into the die, closing the die and pressing the silicone mass onto the backing sheet to form a silicone member, the silicone member at least partially rests on the surface-treated area, opening the pressing tool, and removing the carrier film with the silicone element from the pressing tool.

Durch das Vorsehen eines oberflächenbehandelten Bereichs zur Haftungssteigerung und Positionieren des Silikonelements derart, dass es zumindest teilweise auf dem oberflächenbehandelten Bereich aufliegt, wird die Haftung zwischen Silikonelement und Trägerfolie im Pressverfahren gewährleistet. Hierdurch können insbesondere höhere Klemmkräfte während des Pressvorgangs verwendet werden, weil durch die erhöhte Haftwirkung auch bei höheren Klemmkräften ein Haften des Silikonelements an der Trägerfolie und nicht an anderen Komponenten gewährleistet wird. Durch höhere Klemmkräfte können wiederum werkzeugseitig Toleranzen, wie beispielsweise Verkippungen, besser kompensiert werden. Auch führen höhere Klemmkräfte zu einer homogeneren Verteilung der Silikonmasse in der Werkzeugkavität, was wiederum geringere Dickenschwankungen des hergestellten Silikonelements zur Folge hat. Die Dicke ist insbesondere im Fall von konvertergefüllten Silikonelementen, die als Strahlungskonversionselement in einem optoelektronische Halbleiterbauteil verwendet werden, von Bedeutung, da mit einer konstanten Dicke eine niedrigere Zielfarbortstreuung erreicht wird. By providing a surface-treated region for adhesion enhancement and positioning of the silicone element so that it rests at least partially on the surface-treated area, the adhesion between the silicone element and the carrier film is ensured in the pressing process. As a result, in particular higher clamping forces can be used during the pressing process, because adhering of the silicone element to the carrier foil and not to other components is ensured by the increased adhesive effect, even with higher clamping forces. Due to higher clamping forces, tolerances, such as tilting, can be compensated better on the tool side. Also, higher clamping forces lead to a more homogeneous distribution of the silicone mass in the mold cavity, which in turn results in lower thickness variations of the silicone element produced. The thickness is particularly important in the case of converter-filled silicon elements used as a radiation conversion element in an optoelectronic semiconductor device, since a lower target color gamut is achieved with a constant thickness.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

Verschiedene Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Lösung werden im Folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. In den Figuren geben die erste(n) Ziffer(n) eines Bezugszeichens die Figur an, in denen das Bezugzeichen zuerst verwendet wird. Die gleichen Bezugszeichen werden für gleichartige oder gleich wirkende Elemente bzw. Eigenschaften in allen Figuren verwendet. Various embodiments of the solution according to the invention are explained in more detail below with reference to the drawings. In the figures, the first digit (s) of a reference numeral indicate the figure in which the numeral is used first. The same reference numerals are used for similar or equivalent elements or properties in all figures.

Es zeigenShow it

1 eine schematische Darstellung eines Querschnitts eines offenen ersten Presswerkzeugs mit der erfindungsgemäßen Trägerfolie, 1 a schematic representation of a cross section of an open first pressing tool with the carrier film according to the invention,

2 eine schematische Darstellung eines Querschnitts des geschlossenen ersten Presswerkzeugs mit der erfindungsgemäßen Trägerfolie, 2 a schematic representation of a cross section of the closed first pressing tool with the carrier film according to the invention,

3 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Trägerfolie mit aufgebrachtem Silikonelement, 3 a schematic representation of the carrier film according to the invention with applied silicone element,

4 eine schematische Darstellung eines Querschnitts eines offenen zweiten Presswerkzeugs mit der erfindungsgemäßen Trägerfolie, 4 a schematic representation of a cross section of an open second pressing tool with the carrier film according to the invention,

5 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Trägerfolie mit aufgebrachtem Silikonelement, 5 a schematic representation of the carrier film according to the invention with applied silicone element,

6a eine Draufsicht auf eine Trägerfolie gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels ohne Silikonelement, 6a a top view of a carrier film according to a first embodiment without silicone element,

6b eine Draufsicht auf die Trägerfolie gemäß 6a mit aufgebrachtem Silikonelement, 6b a plan view of the carrier film according to 6a with applied silicone element,

7a eine Draufsicht auf eine Trägerfolie gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels ohne Silikonelement, 7a a top view of a carrier film according to a second embodiment without silicone element,

7b eine Draufsicht auf die Trägerfolie gemäß 7a mit aufgebrachtem Silikonelement, 7b a plan view of the carrier film according to 7a with applied silicone element,

8a eine Draufsicht auf eine Trägerfolie gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels ohne Silikonelement, 8a a top view of a carrier film according to a second embodiment without silicone element,

8b eine Draufsicht auf die Trägerfolie gemäß 7a mit aufgebrachtem Silikonelement, 8b a plan view of the carrier film according to 7a with applied silicone element,

9 ein Flussdiagramm mit den Verfahrensschritten zur Herstellung der erfindungsgemäßen Trägerfolie, und 9 a flowchart with the process steps for the preparation of the carrier film according to the invention, and

10 ein Flussdiagramm mit den Verfahrensschritten zur Herstellung eines Silikonelements mit Hilfe der erfindungsgemäßen Trägerfolie in einem Pressverfahren. 10 a flow chart with the process steps for producing a silicone element by means of the carrier film according to the invention in a pressing process.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENDETAILED DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

1 zeigt eine schematische Darstellung eines Querschnitts eines ersten Presswerkzeugs 100 in geöffnetem Zustand. Das Presswerkzeug 100 besteht aus mehreren Presswerkzeugteilen 101, 102, 103, wobei zwischen einem oberen Presswerkzeugteil 101 (englisch top mold) und einem unteren Presswerkzeugteil 102, 103 (englisch bottom mold) in geschlossenem Zustand eine Kavität 109 gebildet wird. Im vorliegenden Fall wird die Kavität 109 durch das obere Presswerkzeugteil 101 und das untere, innere Presswerkzeugteil 103 gebildet. Im unteren, inneren Presswerkzeugteil 103 wird die Kavität 109 mittels einer Vertiefung gebildet, welche randseitig durch eine umlaufende Nase 104 begrenzt ist. Die Kavität 109 ist in Draufsicht, senkrecht zu der Zeichenebene der 1, zum Beispiel kreisförmig ausgestaltet. Das untere, äußere Presswerkzeugteil 102 ist im vorliegenden Beispiel mittels einer Federung 105 federn gelagert. 1 shows a schematic representation of a cross section of a first pressing tool 100 in open condition. The pressing tool 100 consists of several press tool parts 101 . 102 . 103 wherein between an upper die part 101 (English top mold) and a lower pressing tool part 102 . 103 (English bottom mold) in the closed state, a cavity 109 is formed. In the present case, the cavity 109 through the upper die part 101 and the lower, inner pressing tool part 103 educated. In the lower, inner pressing tool part 103 becomes the cavity 109 formed by a depression, which at the edge by a circumferential nose 104 is limited. The cavity 109 is in plan view, perpendicular to the plane of the drawing 1 , designed for example circular. The lower, outer pressing tool part 102 is in the present example by means of a suspension 105 stored springs.

Das dargestellte Presswerkzeug 100 ist hierbei nur exemplarisch und die vorliegende Erfindung kann in jeder Art von Presswerkzeug 100 mit einer unterschiedlichen Anzahl und Art von Presswerkzeugteilen Anwendung finden. Insbesondere kann die Kavität 109 auch durch mehr als zwei Presswerkzeugteile begrenzt werden. Insbesondere kann die umlaufende Nase 104 auch weggelassen werden, so dass die Kavität 109 seitlich durch das untere, äußere Presswerkzeugteil 102 begrenzt wird. Bevorzugt ist das Pressverfahren ein Formpressverfahren (englisch Compression Molding), die Erfindung ist jedoch auch bei einem Spritzpressverfahren (englisch Transfer Molding) anwendbar. The illustrated pressing tool 100 is here only exemplary and the present invention can be used in any type of pressing tool 100 find application with a different number and type of press tool parts. In particular, the cavity 109 be limited by more than two pressing tool parts. In particular, the circumferential nose 104 also be omitted, leaving the cavity 109 laterally through the lower, outer die part 102 is limited. Preferably, the pressing method is a compression molding method (English compression molding), but the invention is also applicable to a transfer molding process (English Transfer Molding).

Auf die unteren Presswerkzeugteile 102, 103 wird eine Werkzeugfolie 110 (englisch Mold Release Foil) aufgebracht, die die Kavität 109 seitlich überragt. Die Werkzeugfolie 110 kann eine Form eines Teils der Kavität 109 und/oder eines die Kavität 109 definierenden unteren Presswerkzeugteils 102, 103 nachahmen. Während des Pressens kann die Werkzeugfolie 110 insbesondere auch eine durch den Pressvorgang sich ändernde Form der Kavität 109 nachbilden. On the lower pressing tool parts 102 . 103 becomes a tool foil 110 (English Mold Release Foil) applied to the cavity 109 surmounted laterally. The tool foil 110 can be a form of part of the cavity 109 and / or one the cavity 109 defining lower pressing tool part 102 . 103 imitate. During pressing, the tool foil can 110 in particular also a shape of the cavity which changes as a result of the pressing process 109 replicate.

Auf das obere Presswerkzeugteil 101 wird eine Trägerfolie 200 (englisch Carrier Foil) aufgebracht. Hierbei handelt es sich um eine von der Werkzeugfolie 110 verschiedene Folie, die während des Pressens bevorzugt nicht oder nicht signifikant verformt wird. Die Trägerfolie 200 ist insbesondere dazu eingerichtet, das mit dem Pressverfahren hergestellte Silikonelement nach dem Pressen zu tragen. Beispielsweise ist die Trägerfolie 200 eben und planar ausgebildet. Es liegt die Trägerfolie 200 bevorzugt zumindest mittelbar an einer ebenen Fläche des oberen Werkzeugteils 101 an. Die Trägerfolie 200 formt insbesondere die Kavität 109 nicht nach. On the upper pressing tool part 101 becomes a carrier film 200 (English Carrier Foil) applied. This is one of the tool foil 110 different film, which is preferably not or not significantly deformed during pressing. The carrier foil 200 is in particular adapted to carry the silicone element produced by the pressing process after pressing. For example, the carrier film 200 planar and planar. It lies the carrier foil 200 preferably at least indirectly on a flat surface of the upper tool part 101 at. The carrier foil 200 molds in particular the cavity 109 not after.

Bei dem in 1 dargestellten Presswerkzeug 100 ist die Trägerfolie 200 dazu eingereichtet, in einem Rollenprozess (englisch Roll-to-Roll-Process) gehandhabt zu werden. Die Trägerfolie 200 wird von einer oder mehreren in 1 schematisch dargestellten ersten Rollen 300 abgerollt und in das Presswerkzeug 100 eingeführt. Anschließend kann die Trägerfolie 200 an einer oder mehreren zweiten Rollen 301 wieder aufgerollt werden. Es ist möglich, dass auch die Werkzeugfolie 110 durch einen entsprechenden in 1 nicht dargstellten Rollenprozess gehandhabt wird. Hierdurch können auf einfach Weise eine oder alle im Pressvorgang verwendeten Folien zwischen zwei aufeinanderfolgenden Pressvorgängen vollständig oder teilweise ausgetauscht werden. At the in 1 illustrated pressing tool 100 is the carrier foil 200 to be handled in a roll-to-roll process. The carrier foil 200 is one or more in 1 schematically illustrated first roles 300 unrolled and into the pressing tool 100 introduced. Subsequently, the carrier film 200 on one or more second rollers 301 be rolled up again. It is possible that also the tool foil 110 through a corresponding in 1 not illustrated role process is handled. In this way, one or all of the foils used in the pressing process can be completely or partially replaced between two successive pressing operations in a simple manner.

Anschließend wird eine Silikongrundmasse 400 auf die Werkzeugfolie 110 und/oder die Trägerfolie 200 aufgebracht. Vorzugsweise wird die Silikongrundmasse 400 innerhalb der Kavität 109 aufgebracht. Bei der Silikongrundmasse 400 handelt es sich zum Beispiel um mindestens ein Polysilan, Siloxan und/oder Polysiloxan. Die Silikongrundmasse 400 stellt ein Ausgangsmaterial für das herzustellende Silikonelement dar. Es liegt die Silikongrundmasse 400 bei dem Aufbringen nicht vollständig ausgehärtet und/oder nicht vollständig vernetzt vor. Des Weiteren weist die Silikongrundmasse 400 beim Einbringen in das Presswerkzeug 100 eine vergleichsweise hohe Viskosität auf und zerläuft nicht oder nicht signifikant. Das heisst, die Silikongrundmasse 400 zerläuft nicht von selbst auf der Werkzeugfolie 110 oder der Trägerfolie 200. Insbesondere kann die Viskosität der Silikongrundmasse beim Aufbringen mindestens 10 Pa·s oder mindestens 20 Pa·s betragen.Subsequently, a silicone matrix 400 on the tool foil 110 and / or the carrier film 200 applied. Preferably, the silicone matrix 400 inside the cavity 109 applied. For the silicone base 400 These are, for example, at least one polysilane, siloxane and / or polysiloxane. The silicone matrix 400 represents a starting material for the silicone element to be produced. It lies the silicone base material 400 not fully cured on application and / or not fully crosslinked prior to application. Furthermore, the silicone base has 400 during insertion into the pressing tool 100 a comparatively high viscosity and does not or does not significantly drain. That is, the silicone matrix 400 does not melt on the tool foil by itself 110 or the carrier film 200 , In particular, the viscosity of the silicone base material during application may be at least 10 Pa · s or at least 20 Pa · s.

Der Silikongrundmasse 400 kann, bevorzugt homogen verteilt, ein Konversionsmittel beispielsweise in Form von Konversionsmittelpartikeln beigegeben sein, in den Figuren nicht gezeichnet. Das konversionsmittel ist dazu geeignet, elektromagnetische Strahlung in einem ersten Wellenlängenbereich wenigstens teilweise zu absorbieren und eine Strahlung in einem zweiten Wellenlängenbereich, der von dem ersten Wellenlängenbereich verschieden ist, umzuwandeln. Beispielsweise kann das Konversionsmittel dazu eingerichtet sein, Strahlung in einem Wellenlängenbereich zwischen einschließlich 420 nm und 490 nm zu absorbieren und in eine langwelligere Strahlung umzuwandeln. The silicone matrix 400 can, preferably homogeneously distributed, a conversion agent be added, for example in the form of conversion agent particles, not shown in the figures. The conversion means is suitable for at least partially absorbing electromagnetic radiation in a first wavelength range and for converting radiation in a second wavelength range which is different from the first wavelength range. For example, the conversion means may be adapted to absorb radiation in a wavelength range between 420 nm and 490 nm inclusive and convert it into a longer wavelength radiation.

Die Konversionsmittelpartikel weisen zum Beispiel einen Seltenerden-dotierten Granat wie YAG:Ce, ein Seltenerdendotiertes Orthosilikat wie (Ba, Sr)2SiO4:Eu oder ein Seltenerden-dotiertes Siliziumoxinitrid oder Siliziumnitrid wie (Ba, Sr)2Si5N8:Eu auf. Ein mittlerer Durchmesser der Konversionsmittelpartikel liegt zum Beispiel zwischen einschließlich 2 µm und 20 µm, insbesondere zwischen einschließlich 3 µm und 15 µm. Ein Gewichtsanteil der Konversionsmittelpartikel an dem gesamten aus der Silikongrundmasse 400 geformten Silikonlement liegt insbesondere zwischen einschließlich 5 Gewichtsprozent und 80 Gewichtsprozent, bevorzugt zwischen einschließlich 10 Gewichtsprozent und 25 Gewichtsprozent oder zwischen einschließlich 60 Gewichtsprozent und 80 Gewichtsprozent.The conversion agent particles include, for example, a rare earth doped garnet such as YAG: Ce, a rare earth doped orthosilicate such as (Ba, Sr) 2 SiO 4 : Eu, or a rare earth doped silicon oxynitride or silicon nitride such as (Ba, Sr) 2 Si 5 N 8 : Eu on. An average diameter of the conversion agent particles is, for example, between 2 μm and 20 μm inclusive, in particular between 3 μm and 15 μm inclusive. A proportion by weight of the conversion agent particles on the whole of the silicone matrix 400 in particular, between 5% and 80% by weight, preferably between 10% and 25% by weight or between 60% and 80% by weight.

Optional können der Silikongrundmasse 400 weitere bevorzugt partikelförmige Stoffe, beispielsweise zu einer Steigerung der Wärmeleitfähigkeit des Silikonelement oder als Diffusorpartikel, beigegeben sein, bevorzugt mit einem Gewichtsanteil zwischen 0 Gewichtsprozent und einschließlich 50 Gewichtsprozent. Derartige Partikel beinhalten oder bestehen insbesondere aus Oxiden oder Metallfluoriden wie Aluminiumoxid, Siliziumoxid oder Calciumfluorid. Mittlere Durchmesser der Partikel liegen bevorzugt zwischen einschließlich 2 µm und 20 µm.Optionally, the silicone matrix 400 further preferably particulate substances, for example, to increase the thermal conductivity of the silicone element or as a diffuser particles, be added, preferably with a weight fraction of between 0 percent by weight and 50 percent by weight. Such particles include or consist in particular of oxides or metal fluorides such as alumina, silica or calcium fluoride. Average diameters of the particles are preferably between 2 μm and 20 μm inclusive.

Das Presswerkzeug 100 wird anschließende geschlossen, indem beispielsweise wie in 1 durch den Pfeil B gezeigt, die unteren Presswerkzeugteile 102, 103 auf das obere Presswerkzeugteil 101 zubewegt werden. Die Bewegung kann natürlich auch in anderer Richtung oder beidseitig erfolgen. The pressing tool 100 is subsequently closed by, for example, as in 1 shown by the arrow B, the lower pressing tool parts 102 . 103 on the upper die part 101 be moved. Of course, the movement can also take place in other directions or on both sides.

In 2 ist das Presswerkzeug 100 in geschlossenem Zustand gezeigt. Beim Schließen des Presswerkzeugs 100 drückt das obere Presswerkzeugteil 101 auf die Nase 104 des unteren, inneren Presswerkzeugteils 103, wodurch die Kavität 109 geschlossen wird. In einer alternativen Ausgestaltung des Presswerkzeugs 100, bei welcher das untere, innere Presswerkzeugteil 103 planar und ohne Nase 104 ausgebildet ist, wird der Rand der Kavität 109 durch das untere, äußere Presswerkzeugteil 102 gebildet. In diesem Fall drückt beim Schließen das obere Presswerkzeugteil 101 auf das federnd gelagerte untere, äußere Presswerkzeugteil 102, das hierdurch nachgibt, wodurch sich die Kavität 109 schließt. Das Schließen des Presswerkzeugs 100 kann unter Vakuum erfolgen. Ebenso ist es möglich, dass das Presswerkzeug 100 in den Figuren nicht gezeichnete Luftauslässe aufweist. In 2 is the pressing tool 100 shown in closed condition. When closing the pressing tool 100 pushes the upper die part 101 on the nose 104 of the lower, inner pressing tool part 103 , causing the cavity 109 is closed. In an alternative embodiment of the pressing tool 100 in which the lower, inner pressing tool part 103 planar and without nose 104 is formed, the edge of the cavity 109 through the lower, outer die part 102 educated. In this case, when closing presses the upper die part 101 on the spring-mounted lower, outer pressing tool part 102 , which thereby gives way, causing the cavity 109 closes. The closing of the pressing tool 100 can be done under vacuum. It is also possible that the pressing tool 100 Having not shown in the figures air outlets.

Beim Schließen des Presswerkzeugs 100 werden die Werkzeugfolie 110 sowie die Trägerfolie 200 unmittelbar aufeinander gepresst, wodurch die Kavität 109 abgedichtet wird. Durch den Pressvorgang wird die Silikongrundmasse 400 in die Form der Kavität 109 und damit in Form des Silikonelements 410 gepresst. Die das Silikonelement 410 ausbildende Silikongrundmasse befindet sich im Wesentlichen zwischen der Trägerfolie 200 und der Werkzeugfolie 110 und steht in unmittelbarem Kontakt zu diesen. When closing the pressing tool 100 become the tool foil 110 as well as the carrier film 200 pressed directly against each other, causing the cavity 109 is sealed. By the pressing process, the silicone matrix 400 in the shape of the cavity 109 and thus in the form of the silicone element 410 pressed. The the silicone element 410 forming silicone matrix is located substantially between the carrier film 200 and the tool foil 110 and is in direct contact with them.

In geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs 100 wird das geformte Silikonelement 410 zum Beispiel thermisch oder fotochemisch vorgehärtet oder vollständig ausgehärtet. Bei einer fotochemischen Vorhärtung oder Aushärtung kann ultraviolette Strahlung zum Beispiel durch das obere Presswerkzeugteil 101 sowie durch die Trägerfolie 200 hindurch in das Silikonelement 410 eingestrahlt werden. Es kann das in Form gepresste Silikonelement 410 noch bei geschlossenen Presswerkzeug 100 vorgehärtet und erst nach dem Öffnen des Presswerkzeugs 100 vollständig ausgehärtet werden. In the closed state of the pressing tool 100 becomes the molded silicone element 410 for example, thermally or photochemically precured or fully cured. In a photochemical precure or cure, ultraviolet radiation may be through the upper die, for example 101 as well as through the carrier foil 200 through into the silicone element 410 be irradiated. It can be the molded silicone element 410 still with closed pressing tool 100 precured and only after opening the pressing tool 100 completely cured.

An die Werkzeugfolie werden spezifische Anforderungen an insbesondere die Dehnbarkeit, die Reißfestigkeit, die Abformbarkeit sowie die Oberflächenbeschaffenheit gestellt. Hierdurch ist eine Wahl von Materialien für die Werkzeugfolie stark eingeschränkt. Insbesondere kann es der Fall sein, dass die herzustellende Silikonfolie an der Werkzeugfolie eine vergleichsweise starke Haftung nach dem Pressen aufweist, was unerwünscht ist, da das Silikonelement 410 für die Weiterverarbeitung ausschließlich an der Trägerfolie 200 haften soll. Bevorzugte Materialien für die Werkzeugfolie 110 sind daher beispielsweise Ethylen-Tetrafluorethylen (ETFE), Perfluorethylenpropylen (FEP), Polyetherimid (PEI) oder Polytetrafluorethylen (PTFE). Das Entfernen der Werkzeugfolie 210 kann vor oder nach dem vollständigen Aushärten des Silikonelements 410 erfolgen. The tool film is subject to specific requirements, in particular for ductility, tear strength, moldability and surface finish. As a result, a choice of materials for the tool film is severely limited. In particular, it may be the case that the silicone film to be produced on the tool film has a comparatively strong adhesion after pressing, which is undesirable because the silicone element 410 for further processing exclusively on the carrier foil 200 to stick. Preferred materials for the tool foil 110 are therefore, for example, ethylene-tetrafluoroethylene (ETFE), perfluoroethylene propylene (FEP), polyetherimide (PEI) or polytetrafluoroethylene (PTFE). Removing the tool foil 210 may be before or after complete curing of the silicone element 410 respectively.

In 3 ist das aus dem Presswerkzeug 100 entnommene und auf der Trägerfolie 200 aufliegende Silikonelement 410 zu sehen. Die Werkzeugfolie 110 ist bereits von dem Silikonelement 410 entfernt. Dies wird insbesondere dadurch ermöglicht, dass das Silikonelement zu der Trägerfolie 200 eine stärkere Haftung aufweist als zu der Werkzeugfolie 1. In 3 is that from the pressing tool 100 removed and on the carrier film 200 Overlying silicone element 410 to see. The tool foil 110 is already from the silicone element 410 away. This is made possible in particular by the fact that the silicone element to the carrier film 200 has a stronger adhesion than to the tool foil 1.

Optional kann in einem nachfolgenden Schritt das hergestellte Silikonelement 410 noch zu einzelnen Silikonplättchen vereinzelt werden, zum Beispiel durch Stanzen, Schneiden, Wasserstrahlschneiden, Lasern. Eine Größe der Silikonplättchen liegt, in Draufsicht gesehen, zum Beispiel zwischen einschließlich 0,25 mm2 und 4 mm2, insbesondere zwischen einschließlich 1 mm2 und 2 mm2. Von dem Vereinzeln kann auch die Trägerfolie betroffen sein. Die Silikonplättchen können dann beispielsweise als Konverterelement in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil Anwendung finden. Das Halbleiterbauteil umfasst mindestens einen optoelektronischen Halbleiterchip, bevorzugt eine Leuchtdiode, kurz LED, die eine maximale Intensität insbesondere im Wellenlängenbereich zwischen einschließlich 420 nm und 490 nm emittiert. Optionally, in a subsequent step, the silicone element produced 410 can still be singulated to individual silicone platelets, for example by punching, cutting, water jet cutting, lasers. A size of the silicone platelets is, seen in plan view, for example between 0.25 mm 2 and 4 mm 2 inclusive, in particular between 1 mm 2 and 2 mm 2 inclusive. From the separation, the carrier film may be affected. The silicone platelets can then be used, for example, as a converter element in an optoelectronic semiconductor component. The semiconductor component comprises at least one optoelectronic semiconductor chip, preferably a light-emitting diode, in short LED, which emits a maximum intensity, in particular in the wavelength range between 420 nm and 490 nm inclusive.

Eine mittlere Dicke T des Silikonelements 410 liegt bevorzugt zwischen einschließlich 10 μm und 1 mm oder zwischen einschließlich 50 μm und 150 μm. Eine Härte des vollständig ausgehärteten Silikonelements 410 beträgt insbesondere zwischen Shore A30 und Shore A90. An average thickness T of the silicone element 410 is preferably between 10 μm and 1 mm inclusive or between 50 μm and 150 μm inclusive. A hardness of the fully cured silicone element 410 in particular between Shore A30 and Shore A90.

Bei dem in den 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispiel wird die Trägerfolie 200 als fortlaufende Bahn bereitgestellt und mittels des beschriebenen Rollenprozesse gehandhabt. Im Gegensatz hierzu ist in 4 ein zweites mögliches Presswerkzeug 100 dargestellt, bei welchem die Trägerfolie 200 auf einen Klemmring 310 aufgebracht ist. Der Klemmring 310 kann für den Pressvorgang in eine entsprechende Nut 111 im oberen Presswerkzeugteil 101 eingesetzt werden. Für jeden Pressvorgang wird dann der Klemmring 310 mit der Trägerfolie 200 in das Presswerkzeug 100 manuell oder automatisiert eingesetzt, nach dem Pressvorgang entnommen und durch einen neuen Klemmring 310 mit Trägerfolie 200 ersetzt. In the in the 1 and 2 illustrated embodiment, the carrier film 200 provided as a continuous web and handled by the described reel processes. In contrast, in 4 a second possible pressing tool 100 represented, in which the carrier film 200 on a clamping ring 310 is applied. The clamping ring 310 can for the pressing process in a corresponding groove 111 in the upper die part 101 be used. For each pressing process then the clamping ring 310 with the carrier foil 200 in the pressing tool 100 used manually or automatically, removed after the pressing process and by a new clamping ring 310 with carrier foil 200 replaced.

In 5 ist der Klemmring 310 mit Trägerfolie 200 nach dem Pressvorgang mit aufgebrachtem Silikonelement 410 gezeigt. Die anschließende Handhabung des Silikonelements 410 entspricht der bereits beschriebenen Handhabung für den Fall, dass die Trägerfolie 200 als fortlaufende Bahn in einem Rollenprozess bereitgestellt wird. In 5 is the clamping ring 310 with carrier foil 200 after pressing with applied silicone element 410 shown. The subsequent handling of the silicone element 410 corresponds to the handling already described in the event that the carrier film 200 is provided as a continuous web in a reel process.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Trägerfolie derart ausgestaltet, dass nach dem Pressvorgang das Silikonelement 410 auf der Trägerfolie 200 haftet und nicht auf anderen Komponenten, beispielsweise auf der Werkzeugfolie. Dies wird durch eine spezielle Trägerfolie 200 erreicht. Insbesondere ist gemäß der vorliegenden Erfindung die Trägerfolie 200 zumindest in einem Teilbereich derart oberflächenbehandelt, dass die Haftwirkung der Trägerfolie 200 gegenüber Silikon erhöht ist im Vergleich zu der unbehandelten Oberfläche der Trägerfolie. According to the present invention, the carrier film is designed such that after the pressing operation, the silicone element 410 on the carrier foil 200 sticks and not on other components, for example on the tool foil. This is done by a special carrier foil 200 reached. In particular, according to the present invention, the carrier film 200 at least in a partial area surface treated such that the adhesion of the carrier film 200 is increased compared to silicone compared to the untreated surface of the carrier film.

Mit anderen Worten wird gemäß der vorliegenden Erfindung die Trägerfolie 200 auf der mit dem Silikonelement 410 in Kontakt kommenden Seite, d. h. auf der dem oberen Presswerkzeugteil 101 abgewandten Seite, vor dem Pressvorgang derart oberflächenbehandelt, dass die Haftung zwischen der Trägerfolie 200 und dem Silikonelement 410 erhöht wird. In other words, according to the present invention, the carrier film 200 on the with the silicone element 410 coming into contact side, ie on the upper die part 101 opposite side, before the pressing process surface treated such that the adhesion between the carrier film 200 and the silicone element 410 is increased.

Die Oberflächenbehandlung der Trägerfolie 200 kann entweder durch Aufrauen der Trägerfolie 200 erfolgen oder durch Beschichten der Trägerfolie 200. Des Weiteren kann die Trägerfolie 200 vollständig, d. h. auf ihrer gesamten Fläche, oder nur teilweise vorbehandelt sein. Mit anderen Worten kann der aufgeraute oder beschichtete Bereich sich entlang der gesamten Trägerfolie 200 erstrecken oder sich nur entlang von Teilbereichen der Trägerfolie 200 erstrecken. Unter Oberflächenbehandlung oder Vorbehandlung der Trägerfolie 200 soll im Folgenden sowohl das Aufrauen als auch das Beschichten verstanden werden. The surface treatment of the carrier film 200 can either by roughening the carrier film 200 done or by coating the carrier film 200 , Furthermore, the carrier film 200 completely, ie on its entire surface, or only partially pretreated. In other words, the roughened or coated area may be along the entire carrier film 200 extend or only along subregions of the carrier film 200 extend. Under surface treatment or pretreatment of the carrier film 200 In the following, both roughening and coating should be understood.

Die Möglichkeiten der Behandlung der Trägerfolie 200 auf der gesamten dem Silikonelement 410 zugewandten Seite oder nur auf Teilbereichen dieser Seite kann dabei sowohl bei einer Trägerfolie 200 in Form einer fortlaufenden Bahn für einen Rollenprozess als auch bei einer auf einen Klemmring aufgebrachten Trägerfolie 200 Anwendung finden. The possibilities of treatment of the carrier film 200 on the whole of the silicone element 410 facing side or only on parts of this page can be both a carrier film 200 in the form of a continuous web for a reel process as well as a carrier film applied to a clamping ring 200 Find application.

Falls die Trägerfolie 200 nur in Teilbereichen behandelt ist, dann kann sich eine Teilbereich oder diese mehreren Teilbereiche in einem Ausführungsbeispiel entlang des Randes des aufzubringenden Silikonelements 410 erstrecken. Insbesondere überlappt bei aufgebrachtem Silikonelement 410 der Randbereich des Silikonelements 410 mit dem behandelten Teilbereich. Mit anderen Worten bildet die Form des Teilbereichs jeweils die Form des aufzubringenden Silikonelements 410 nach bzw. die Form des Randes des aufzubringenden Silikonelements 410 nach. Beispielsweise ist der Teilbereich im Falle eines runden Silikonelements 410 kreisringförmig und im Falle eines quadratischen oder rechteckigen Silikonelements 410 rahmenförmig. Vorzugsweise überragt dabei der Teilbereich den Rand des Silikonelements 410 in lateraler Richtung und zwar sowohl nach innen als auch nach außen. Lateral bedeutet insbesondere entlang von Haupterstreckungsrichtungen des herzustellenden Silikonelements 410. Es ist mit anderen Worten das Silikonelement 410, in Draufsicht gesehen, stellenweise oder vollständig von dem Teilbereich umrandet, insbesondere mit einer gleichmäßigen Breite. Ebenso ist der Überlappbereich zwischen dem Teilbereich und dem Silikonelement 410 in Draufsicht, d. h. der Bereich in dem das Silikonelement 410 auf dem oberflächenbehandelten Bereich aufliegt, von einer gleichmäßigen Breite.. If the carrier film 200 is treated only in sub-areas, then can a sub-area or these several sub-areas in one Embodiment along the edge of the silicone element to be applied 410 extend. In particular, overlaps with applied silicone element 410 the edge region of the silicone element 410 with the treated section. In other words, the shape of the portion in each case forms the shape of the silicone element to be applied 410 according to or the shape of the edge of the silicone element to be applied 410 to. For example, the portion is in the case of a round silicone element 410 annular and in the case of a square or rectangular silicone element 410 frame shape. In this case, the subregion preferably projects beyond the edge of the silicone element 410 in a lateral direction, both inwards and outwards. Lateral means in particular along main directions of extension of the silicone element to be produced 410 , In other words, it is the silicone element 410 Seen in plan, in places or completely bordered by the sub-area, in particular with a uniform width. Likewise, the overlap area between the portion and the silicone element 410 in plan view, ie the area in which the silicone element 410 rests on the surface-treated area, of a uniform width ..

Da das Silikonelement 410 wiederum in die Form der Kavität 109 gepresst wird und somit die Form der Kavität 109 nachbildet, kann mit anderen Worten auch gesagt werden, dass in dem eben beschriebenen Ausführungsbeispiel der behandelte Teilbereich die Form des Randes der Kavität 109 nachbildet und diesen in beidseitiger lateraler Richtung überlappt. Because the silicone element 410 again in the form of the cavity 109 is pressed and thus the shape of the cavity 109 In other words, it can also be said that, in the embodiment just described, the treated partial area is the shape of the edge of the cavity 109 imitates and overlaps this in two-sided lateral direction.

In einer weiteren Ausführungsform kann der Teilbereich auch die gesamte Form des aufzubringenden Silikonelements 410 nachbilden, so dass das Silikonelement 410 in aufgebrachter Form vollständig auf dem behandelten Teilbereich aufliegt. Vorteilhafterweise überragt dabei der behandelte Teilbereich das Silikonelement 410 in lateraler Richtung, d. h der behandelte Teilbereich hat eine größere Fläche als das Silikonelement 410. Vorteilhalfterweise ist der Bereich, in dem der Teilbereich das aufliegenden Silikonelement 410 überragt von konstanter Breite und umlaufend um das gesamte Silikonelement 410. Der Teilbereich kann je nach Form des Silikonelements 410 beispielsweise kreisförmig, rechteckig oder quadratisch sein. In a further embodiment, the partial region can also be the entire shape of the silicone element to be applied 410 emulate so that the silicone element 410 fully applied in applied form on the treated portion. Advantageously, the treated portion projects beyond the silicone element 410 in the lateral direction, d. h the treated portion has a larger area than the silicone element 410 , Vorteilhalfterweise is the area in which the subregion of the overlying silicone element 410 surmounted by a constant width and encircling around the entire silicone element 410 , The partial area may vary depending on the shape of the silicone element 410 for example, be circular, rectangular or square.

Wie oben bereits erwähnt, da das Silikonelement 410 die Form der Kavität 109 nachbildet, kann mit anderen Worten auch gesagt werden, dass der Teilbereich der Form der Kavität 109 entspricht und diese vorzugsweise in lateraler Richtung überlappt, d. h. nach außen hin übersteht. As mentioned above, since the silicone element 410 the shape of the cavity 109 In other words, it can also be said that the partial area corresponds to the shape of the cavity 109 corresponds and this preferably overlaps in the lateral direction, ie, projects outwards.

Um eine optimale Haftung des Silikonelements 410 an der Trägerfolie 200 zu gewährleisten, müssen 5% bis 15%, vorzugsweise 7% bis 13%, insbesondere vorzugsweise 9% bis 11%, besonders bevorzugt 10% der Fläche des Silikonelements 410 auf dem behandelten Bereich aufliegen. For optimal adhesion of the silicone element 410 on the carrier film 200 To ensure 5% to 15%, preferably 7% to 13%, more preferably 9% to 11%, more preferably 10% of the surface of the silicone element 410 rest on the treated area.

Eine laterale Ausdehnung der Kavität 109 und damit auch eine laterale Ausdehnung des Silikonelements 410 beträgt beispielsweise zwischen einschließlich 50 mm und 500 mm, insbesondere zwischen einschließlich 60 mm und 200 mm, zum Beispiel ungefähr 100 mm. Die minimale konstante Breite des Überlappbereichs am Rande des Silikonelements 410 zwischen dem behandelten Teilbereich der Trägerfolie 200 und dem Silikonelement 410 beträgt damit vorzugsweise zwischen 2,5 mm und 75 mm, vorzugsweise zwischen 3 mm und 50 mm, insbesondere vorzugsweise zwischen 5 mm und 30 mm, besonders bevorzugt zwischen 6 mm und 20 mm.A lateral extension of the cavity 109 and thus also a lateral extent of the silicone element 410 is, for example, between 50 mm and 500 mm, in particular between 60 mm and 200 mm, for example, about 100 mm. The minimum constant width of the overlap area at the edge of the silicone element 410 between the treated portion of the carrier film 200 and the silicone element 410 is thus preferably between 2.5 mm and 75 mm, preferably between 3 mm and 50 mm, in particular preferably between 5 mm and 30 mm, particularly preferably between 6 mm and 20 mm.

An Hand von den 6a und 6b wird nun ein erstes Ausführungsbeispiel einer auf einen Klemmring 310 aufgebrachten Trägerfolie 210 beschrieben, bei der sich der oberflächenbehandelte Bereich nur über einen Teilbereich der Trägerfolie 210 erstreckt. Exemplarisch ist hierbei ein kreisförmiger Klemmring 310 dargestellt und ein kreisförmiges Silikonelement 410, der Klemmring 310 und das Silikonelement 410 können entweder einzeln oder gemeinsam eine andere Form, beispielsweise ein quadratische oder rechteckige Form aufweisen. In der 6a ist hierbei die Trägerfolie 210 ohne Silikonelement 410 dargestellt und in 6b mit aufgebrachtem Silikonelement 410. 6a zeigt eine Draufsicht auf die mit dem Silikonelement in Kontakt kommende Seite der Trägerfolie 210. On the hand of the 6a and 6b Now, a first embodiment of a clamping ring on a 310 applied carrier film 210 described in which the surface-treated area only over a portion of the carrier film 210 extends. Exemplary here is a circular clamping ring 310 represented and a circular silicone element 410 , the clamping ring 310 and the silicone element 410 may either individually or collectively have a different shape, for example a square or rectangular shape. In the 6a Here is the carrier film 210 without silicone element 410 represented and in 6b with applied silicone element 410 , 6a shows a plan view of the coming into contact with the silicone element side of the carrier film 210 ,

Die Trägerfolie 210 ist hierbei in einem Teilbereich 211 vorbehandelt, der sich entlang des Randes 411 des aufzubringenden Silikonelements 410 erstreckt. Der Teilbereich 211 ist im Fall eines kreisförmigen Silikonelements 410 insbesondere kreisringförmig ausgebildet. Der Teilbereich 211 erstreckt sich vorzugsweise entlang des Randes 212 der Trägerfolie 210 und ist so angeordnet, dass er mit dem Silikonelement 410 in aufgebrachtem Zustand lateral überlappt. Dies ist in 6b dargestellt, bei dem das Silikonelement 410 in einem ebenfalls kreisringförmigen Randbereich 412 auf dem behandelten Teilbereich 211 der Trägerfolie 210 aufliegt. Vorzugsweise ist der Teilbereich 211 derart angeordnet, dass der kreisringförmige Überlappbereich 412 eine konstante Breite aufweist. Die in 6b dargestellte Breite D des Überlappbereichs 412 zwischen Silikonelement 410 und Trägerfolie 210 ist somit vorzugsweise konstant. Der Innenbereich 213 der Trägerfolie innerhalb des behandelten Teilbereichs 211 ist nicht oberflächenbehandelt und weist daher eine geringere Haftwirkung gegenüber Silikon auf als der behandelte Teilbereich 211. The carrier foil 210 is here in a subarea 211 pretreated, stretching along the edge 411 of the applied silicone element 410 extends. The subarea 211 is in the case of a circular silicone element 410 in particular annular. The subarea 211 preferably extends along the edge 212 the carrier film 210 and is arranged to contact the silicone element 410 laterally overlapped in the applied state. This is in 6b shown in which the silicone element 410 in a likewise annular edge area 412 on the treated section 211 the carrier film 210 rests. Preferably, the subregion 211 arranged such that the annular overlap area 412 has a constant width. In the 6b illustrated width D of the overlap area 412 between silicone element 410 and carrier film 210 is thus preferably constant. The interior 213 the carrier film within the treated portion 211 is not surface treated and therefore has one less adhesion to silicone than the treated part 211 ,

Mit anderen Worten, da das Silikonelement 410 die Form der Kavität 109 des Presswerkzeugs 100 nachbildet, ist der behandelte Teilbereich 211 auf der Trägerfolie derart angeordnet, dass er bei in das Presswerkzeug 100 eingesetztem Klemmring den Rand 108 der Kavität 109 zumindest nach innen hin, vorzugsweise auch nach außen hin lateral überlappt. Der Rand 108 der Kavität 109 wird hierbei, wie bereits erläutert, entweder von der umlaufenden Nase 104 oder dem unteren, äußeren Presswerkzeugteil 102 gebildet. In other words, because the silicone element 410 the shape of the cavity 109 of the pressing tool 100 is the treated part area 211 arranged on the carrier film such that it is in the pressing tool 100 inserted clamping ring the edge 108 the cavity 109 at least inwardly, preferably laterally overlapped outwards. The edge 108 the cavity 109 This is, as already explained, either from the circumferential nose 104 or the lower, outer die part 102 educated.

Alternativ zu dem in 6a und 6b dargestellten Ausführungsbeispiel kann der vorbehandelte Teilbereich nicht nur die Form des Randes des Silikonelements 410 nachbilden, sondern die gesamte Form des Silikonelements 410, so dass das Silikonelement 410 vollständig auf dem behandelten Bereich aufliegt. In diesem Fall wäre dann der Innenbereich 213 ebenfalls oberflächenbehandelt. Alternatively to the in 6a and 6b illustrated embodiment, the pretreated portion not only the shape of the edge of the silicone element 410 but the entire shape of the silicone element 410 so that the silicone element 410 completely resting on the treated area. In this case, then the interior would be 213 also surface treated.

In 7a ist ein zweites Ausführungsbeispiel einer Trägerfolie 220 dargestellt, bei der die gesamte mit dem Silikonelement 410 in Kontakt kommende Seite der Trägerfolie 220 vorbehandelt ist. 7b zeigt die Trägerfolie 220 mit aufgebrachten Silikonelement 410. In 7a und 7b ist hierbei exemplarisch eine auf einen Klemmring 310 aufgebrachte Trägerfolie 220 dargestellt, es kann aber natürlich auch eine fortlaufende und ein einem Rollenprozess verwendete Trägerfolie 200 vollständig auf der für den Kontakt mit dem Silikonelement 410 vorgesehenen Seite behandelt sein. Des Weiteren kann das Silikonelement 410 kreisförmig, rechteckig, quadratisch oder beliebig geformt sein. In 7a is a second embodiment of a carrier film 220 shown, in which the entire with the silicone element 410 coming in contact side of the carrier film 220 pretreated. 7b shows the carrier film 220 with applied silicone element 410 , In 7a and 7b Here is an example of a clamping ring 310 applied carrier film 220 Of course, it can also be a continuous carrier foil and a roller process used 200 completely on the for the contact with the silicone element 410 be treated. Furthermore, the silicone element 410 circular, rectangular, square or any shape.

In 8a ist ein drittes Ausführungsbeispiel einer Trägerfolie 230 dargestellt, bei der die Trägerfolie 230 eine fortlaufende Bahn für einen Rollenprozess ist und bei der die Oberfläche wiederum nur in Teilbereichen 231 behandelt ist. Vorzugsweise sind die Teilbereiche 231 derart angeordnet, dass sie sich jeweils entlang des Randes des aufzubringenden Silikonelements 410 erstrecken, wie in 8b dargestellt, wo die Trägerfolie 230 mit aufgebrachten Silikonelementen 410 dargestellt ist. In 8a is a third embodiment of a carrier film 230 shown in which the carrier film 230 is a continuous web for a reel process and in the case of the surface again only in subareas 231 is treated. Preferably, the subregions 231 arranged so that they each along the edge of the silicone element to be applied 410 extend as in 8b shown where the carrier film 230 with applied silicone elements 410 is shown.

Die Form der Teilbereiche 231 bildet hierbei die Form des Randes der Kavität 109 und damit die Form des Randes des Silikonelements 410 nach. Im vorliegenden Beispiel sind die Teilbereiche 231 kreisringförmig, da auch die Kavität 109 und damit das Silikonelement 410 kreisförmig sind, allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Form beschränkt. Vielmehr können die Teilbereiche 231 jede an die Kavität 109 bzw. das Silikonelement 410 angepasste Form aufweisen, so dass die behandelten Teilbereich 231 mit dem Randbereich des Silikonelements 410 überlappen. Beispielsweise können die Teilbereiche auch rahmenförmig sein und hierbei eine quadratische oder rechteckige Form des Silikonelements 410 nachbilden. Hierbei müssen auch in diesem Ausführungsbeispiel die Teilbereiche 231 derart angeordnet sein, dass mindestens 5% bis 15%, vorzugsweise 7% bis 13%, insbesondere vorzugsweise 9% bis 11%, besonders bevorzugt 10% des Silikonelements 410 auf dem behandelten Teilbereich 231 aufliegen. Die in 8b dargestellte Breite D des Überlappbereichs 412 zwischen Silikonelement 410 und Trägerfolie 230 ist auch wieder vorzugsweise konstant. Bei einer fortlaufenden Trägerfolie 230 für einen Rollenprozess müssen hierbei die einzelnen Teilbereiche 231 derart voneinander beanstandet sein, dass sie beim Abrollen und Aufrollen der Trägerfolie 230 jeweils über der Kavität 109 positioniert werden können, d. h. dass die Teilbereiche 231 am Rand 108 der Kavität 109 entlanglaufen und den Rand 108 sowohl zumindest nach innen hin, vorzugsweise auch nach außen hin lateral überlappen, d. h. über den Rand der Kavität 109 und damit über den Rand des Silikonelements 410 überstehen.The shape of the sections 231 in this case forms the shape of the edge of the cavity 109 and thus the shape of the edge of the silicone element 410 to. In the present example, the subareas are 231 circular, as well as the cavity 109 and thus the silicone element 410 are circular, however, the present invention is not limited to this form. Rather, the subareas 231 each to the cavity 109 or the silicone element 410 have adapted shape, so that the treated portion 231 with the edge region of the silicone element 410 overlap. For example, the subregions can also be frame-shaped and in this case a square or rectangular shape of the silicone element 410 replicate. In this case, the partial areas must also in this embodiment 231 be arranged such that at least 5% to 15%, preferably 7% to 13%, especially preferably 9% to 11%, particularly preferably 10% of the silicone element 410 on the treated section 231 rest. In the 8b illustrated width D of the overlap area 412 between silicone element 410 and carrier film 230 is again preferably constant. For a continuous carrier film 230 For a role process, the individual subareas must be used 231 be complained of each other so that they when unrolling and rolling up the carrier film 230 each above the cavity 109 can be positioned, ie that the subregions 231 on the edge 108 the cavity 109 run along and the edge 108 both overlap laterally, preferably also laterally outwards, ie over the edge of the cavity 109 and thus over the edge of the silicone element 410 survive.

Die exakte Positionierung der Teilbereiche 231 über der Kavität 109 kann durch eine entsprechende manuelle oder automatische Steuerung des Rollenprozesses gewährleistet werden. The exact positioning of the sections 231 above the cavity 109 can be ensured by a corresponding manual or automatic control of the role process.

Alternativ zu dem Ausführungsbeispiel in 8a und 8b kann der Teilbereich, wie im Zusammenhang mit 6a und 6b bereits erläutert, auch die gesamte Form des Silikonelements 410 nachbilden, so dass das Silikonelement 410 vollständig auf dem behandelten Bereich aufliegt. Alternative to the embodiment in 8a and 8b may be the subarea, as related to 6a and 6b already explained, including the entire shape of the silicone element 410 emulate so that the silicone element 410 completely resting on the treated area.

Im Folgenden wird das Verfahren zum Herstellen einer erfindungsgemäßen Trägerfolie 200, 210, 220, 230 an Hand von 9 genauer erläutert. The following is the method for producing a carrier film according to the invention 200 . 210 . 220 . 230 based on 9 explained in more detail.

Das Verfahren beginnt in Schritt S0. Im folgenden Schritt S1 wird eine unbehandelte Trägerfolie bereitgestellt, vorzugsweise eine Trägerfolie aus Polytetrafluorethylen, kurz PTFE. Die Trägerfolie kann hierbei bereits auf einen Klemmring 310 aufgebracht sein oder als fortlaufende Bahn für einen Rollenprozess vorliegen. The process starts in step S0. In the following step S1, an untreated carrier film is provided, preferably a carrier film of polytetrafluoroethylene, PTFE for short. The carrier film can in this case already on a clamping ring 310 be applied or present as a continuous web for a roll process.

Im folgenden Schritt S2 erfolgt das Behandeln zumindest eines Teilbereichs der Trägerfolie. Die Bereiche oder Teilbereiche, in denen diese Oberflächenbehandlung erfolgen kann, wurden bereits erläutert. Durch die Oberflächenbehandlung wird eine Wirkverbindung mechanischer und/oder chemischer Art zwischen behandelter Oberfläche der Trägerfolie und Silikon ermöglicht, die eine erhöhte Haftwirkung zur Folge hat. In the following step S2, the treatment of at least a portion of the carrier film takes place. The areas or subregions in which this surface treatment can take place have already been explained. The surface treatment makes possible an active compound of mechanical and / or chemical nature between the treated surface of the carrier film and silicone, which results in an increased adhesive effect.

Die Behandlung kann hierbei ein Aufrauen darstellen. Das Aufrauen kann mittels eines Schleifpapiers durchgeführt werden. Vorzugsweise erfolgt in diesem Fall noch eine anschließende Reinigung der aufgerauten Trägerfolie, um Schleifpartikel zu entfernen. Alternativ kann das Aufrauen mittels eines Ätzverfahrens erfolgen, beispielsweise unter Verwendung von PTFE-Ätzmitteln wie beispielsweise Polytetra oder Tetra-Etch. Eine weitere Möglichkeit zum Aufrauen der Trägerfolie besteht in einer Plasmabehandlung unter Verwendung von Argonplasma, Sauerstoffplasma, Ammoniakplasma oder Stickstoffplasma, wodurch die Oberfläche teilweise abgetragen und/oder aktiviert wird. Durch das Aufrauen wird die Oberfläche der Trägerfolie 200 vergrößert und somit eine erhöhte Haftwirkung erreicht. The treatment can be a roughening. The roughening can be carried out by means of an abrasive paper. Preferably, in this case, a subsequent cleaning of the roughened carrier film takes place in order to remove abrasive particles. Alternatively, the roughening can be done by means of an etching process, for example using PTFE etchants such as polytetra or tetra-etch. Another possibility for roughening the carrier film is a plasma treatment using argon plasma, oxygen plasma, ammonia plasma or nitrogen plasma, whereby the surface is partially removed and / or activated. By roughening the surface of the carrier film 200 increased and thus achieved an increased adhesive effect.

Bei einer mittleren Dicke des Silikonelements 410 von ?? beträgt eine mittlere Aufrautiefe der Oberfläche 1 μm bis 50 μm, vorzugsweise 5 μm bis 45 μm, insbesondere vorzugsweise 10 μm bis 40 μm, besonders bevorzugt 20 μm bis 30 μm. Die Aufrauung kann beispielsweise in Form von rillenförmigen Strukturen vorliegen oder in Form von verteilten, einzelnen annähernd kreisförmigen Vertiefungen. Die Aufrautiefe gibt damit die mittlere Tiefe der Rillen oder der Vertiefungen wieder. At an average thickness of the silicone element 410 from ?? an average roughening depth of the surface is 1 .mu.m to 50 .mu.m, preferably 5 .mu.m to 45 .mu.m, in particular preferably 10 .mu.m to 40 .mu.m, particularly preferably 20 .mu.m to 30 .mu.m. The roughening may, for example, be in the form of groove-like structures or in the form of distributed, individual approximately circular depressions. The roughening depth thus reflects the mean depth of the grooves or depressions.

Alternativ kann die Trägerfolie zur Erhöhung der Haftwirkung gegenüber Silikon auch mit einer haftsteigernden Schicht beschichtet sein. Beispielsweise kann mittels einer Plasmabehandlung eine Schicht auf der Trägerfolie abgeschieden werden. Mittels der Plasmabeschichtung können auch einzelne Moleküle in die Oberfläche der Trägerfolie 200 eingebaut werden. Mögliche Materialien hierfür sind SiO2, TiN oder jedes andere Material zur Plasmabeschichtung. Alternativ kann mittels Rotationsbeschichtung (englisch Spin Coating) eine Haftvermittlerschicht, beispielsweise aus Polysilan oder Spin-on-glass aufgebracht werden. Ebenfalls mittels Rotationsbeschichtung kann eine Silikonschicht aufgebracht werden, die vor dem Pressvorgang vollständig ausgehärtet ist, damit die Haftung der Silikonschicht zur Trägerfolie höher ist als zum aufzubringenden Silikonelement 410.Alternatively, the carrier film to increase the adhesion to silicone may also be coated with an adhesion-promoting layer. For example, a layer can be deposited on the carrier film by means of a plasma treatment. By means of the plasma coating also individual molecules in the surface of the carrier film 200 to be built in. Possible materials for this are SiO 2 , TiN or any other material for plasma coating. Alternatively, an adhesion promoter layer, for example of polysilane or spin-on-glass can be applied by means of spin coating (English spin coating). Also by means of spin coating, a silicone layer can be applied, which is completely cured before the pressing process, so that the adhesion of the silicone layer to the carrier film is higher than the silicone element to be applied 410 ,

Im folgenden Schritt S3 kann die behandelte Trägerfolie dann für den Pressvorgang bereitgestellt und beispielsweise in das Presswerkzeug 100 eingelegt oder eingeführt werden. In the following step S3, the treated carrier film can then be provided for the pressing process and, for example, into the pressing tool 100 be inserted or imported.

Der Prozess endet in Schritt S4. The process ends in step S4.

An Hand von 10. wird nun noch ein Verfahren zum Herstellen eines Silikonelements 410 in einem Pressverfahren mit Hilfe einer erfindungsgemäßen Trägerfolie beschrieben. Based on 10 , Now still a method for producing a silicone element 410 in a pressing process using a carrier film according to the invention described.

Der Prozess beginnt in Schritt S5. Im ersten Schritt S6 wird eine oberflächenbehandelte Trägefolie 200, 210, 220, 230 bereitgestellt, die in dem behandelten Bereich eine erhöhte Haftwirkung gegenüber Silikon aufweist als in unbehandelter Form, d. h. deren mit dem Silikonelement 410 in kommende Seite zumindest teilweise aufgeraut oder beschichtet ist. The process starts in step S5. In the first step S6 becomes a surface-treated carrier foil 200 . 210 . 220 . 230 provided that in the treated area has an increased adhesion to silicone than in untreated form, ie those with the silicone element 410 roughened or coated in the coming page at least partially.

Im folgenden Schritt S7 wird die Trägerfolie in ein Presswerkzeug 100 eingebracht. Insbesondere wird hierbei im Falle einer nur teilweise behandelten Trägerfolie der behandelte Teilbereich so positioniert, dass dieser am Rand der Kavität 109 umläuft. In the following step S7, the carrier film is in a pressing tool 100 brought in. In particular, in the case of an only partially treated carrier foil, the treated partial region is positioned in such a way that it rests on the edge of the cavity 109 circulates.

Im folgenden Schritt S8 wird die Silikongrundmasse 400 in die Kavität 109 eingebracht. Anschließend wird in Schritt S9 das Presswerkzeug 100 geschlossen und das Silikonelement 410 durch Pressen, vorzugsweise Formpressen hergestellt. Hierbei liegt das Silikonelement 410 zumindest teilweise auf dem oberflächenbehandelten Bereich auf. Im folgenden Schritt S10 wird die Trägerfolie 200, 210, 220, 230 mit dem aufgepressten Silikonelement 410 aus dem Presswerkzeug 100 entfernt. Durch die erfindungsgemäße Trägerfolie 200, 210, 220, 230 mit optimierten Haftungseigenschaften, haftet das Silikonelement 410 an der Trägerfolie 200, 210, 220, 230 und nicht an anderen Komponenten, beispielsweise an der Werkzeugfolie 110. Ein zusätzliches Vorsehen eines Trennmittels zwischen Werkzeugfolie 110 und Silikonelement 410 kann daher entfallen. In the following step S8, the silicone matrix 400 into the cavity 109 brought in. Subsequently, in step S9, the pressing tool 100 closed and the silicone element 410 produced by pressing, preferably compression molding. Here lies the silicone element 410 at least partially on the surface treated area. In the following step S10, the carrier film 200 . 210 . 220 . 230 with the pressed-on silicone element 410 from the pressing tool 100 away. By the carrier film according to the invention 200 . 210 . 220 . 230 with optimized adhesion properties, the silicone element adheres 410 on the carrier film 200 . 210 . 220 . 230 and not on other components, such as the tool foil 110 , An additional provision of a release agent between the tool foil 110 and silicone element 410 can therefore be omitted.

Im folgenden Schritt S11 wird das Silikonelement 410 verarbeitet und von der Trägerfolie abgelöst. Insbesondere kann beispielsweise eine Vereinzelung in Silikonplättchen erfolgen. Schließlich kann das Silikonelement 410 ggf. in Form von Silikonplättchen in ein optoelektronisches Halbleiterbauelement eingebracht werden. In the following step S11, the silicone element 410 processed and detached from the carrier film. In particular, for example, a separation can be done in silicone platelets. Finally, the silicone element 410 optionally in the form of silicone platelets are introduced into an optoelectronic semiconductor device.

Durch die erfindungsgemäße Trägerfolie wird die Haftung zwischen dem Silikonelement 410 und der Trägerfolie so stark erhöht, dass das Presswerkzeug 100 bis zur maschinenseitig maximal möglich Klemmkraft gefahren werden kann. Bislang war bei Überschreiten einer Klemmkraft von 20 kN ein Haftung zwischen Silikonelement 410 und Trägerfolie 200 nicht mehr gegeben, sondern das Silikonelement 410 haftete an der Werkzeugfolie 110 oder anderen Komponenten. Mit der erfindungsgemäßen Trägerfolie können nun auch höhere Klemmkräfte von beispielsweise 60 kN oder auch bis zur maximalen Klemmkraft von beispielweise 200 kN verwendet werden. Dies ist insbesondere von Bedeutung, da sich durch höhere Klemmkräfte des Prozessergebnis wesentlich verbessern lässt, da werkzeugseitige Toleranzen wie Verkippung der Presswerkzeugteile und auch Maschinentoleranzen besser kompensiert werden können. Zudem führen höhere Klemmkräfte zu einer wesentlich homogeneren Verteilung der Silikongrundmasse 400 in der Kavität 109, was wiederum geringere Dickenschwankungen innerhalb des Silikonelements 410 und damit im Falle der Verwendung als Konversionselement eine niedrigere Zielfarbortstreuung zur Folge hat. Beispielsweise beträgt unter Verwendung der erfindungsgemäßen Trägerfolie die Schwankung der Dicke über das gesamte Silikonelement 410 hinweg weniger als 10 μm. Hierdurch ist zum Beispiel eine sehr gleichmäßige Konversion von Strahlung durch aus dem Silikonelement hergestellte Silikonplättchen mit Konversionsmittelpartikeln realisierbar.By the carrier film according to the invention, the adhesion between the silicone element 410 and the carrier film increased so much that the pressing tool 100 up to the machine side maximum possible clamping force can be driven. So far, when a clamping force of 20 kN was exceeded, adhesion between the silicone element was 410 and carrier film 200 no longer given, but the silicone element 410 stuck to the tool foil 110 or other components. With the carrier film according to the invention, higher clamping forces of, for example, 60 kN or even up to the maximum clamping force of, for example, 200 kN can now also be used. This is of particular importance, as can be significantly improved by higher clamping forces of the process result, since tool-side tolerances such as tilting of the pressing tool parts and machine tolerances can be better compensated. In addition, higher clamping forces lead to a much more homogeneous distribution of the silicone base material 400 in the cavity 109 , which in turn results in lower thickness variations within the silicone element 410 and thus, when used as a conversion element, results in a lower target color scattering. For example, using the carrier film according to the invention, the variation of the thickness over the entire silicone element 410 less than 10 μm. In this way, for example, a very uniform conversion of radiation can be realized by silicone platelets made of the silicone element with conversion agent particles.

ABSCHLIESSENDE FESTSTELLUNGFINAL FINDING

Das optoelektronische Halbleiterbauteil und das Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterbauteils wurden zur Veranschaulichung des zugrundeliegenden Gedankens anhand einiger Ausführungsbeispiele beschrieben. Die Ausführungsbeispiele sind dabei nicht auf bestimmte Merkmalskombinationen beschränkt. Auch wenn einige Merkmale und Ausgestaltungen nur im Zusammenhang mit einem besonderen Ausführungsbeispiel oder einzelnen Ausführungsbeispielen beschrieben wurden, können sie jeweils mit anderen Merkmalen aus anderen Ausführungsbeispielen kombiniert werden. Es ist ebenso möglich, in Ausführungsbeispielen einzelne dargestellte Merkmale oder besondere Ausgestaltungen wegzulassen oder hinzuzufügen, soweit die allgemeine technische Lehre realisiert bleibt. Auch wenn die Schritte des Verfahrens zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterbauteils in einer bestimmten Reihenfolge beschrieben sind, so ist es selbstverständlich, dass jedes der in dieser Offenbarung beschriebenen Verfahren in jeder anderen, sinnvollen Reihenfolge durchgeführt werden kann, wobei auch Verfahrensschritte ausgelassen oder hinzugefügt werden können, soweit nicht von dem Grundgedanken der beschriebenen technischen Lehre abgewichen wird.The optoelectronic semiconductor device and the method for producing an optoelectronic semiconductor device have been described to illustrate the underlying idea based on some embodiments. The embodiments are not limited to specific feature combinations. Although some features and configurations have been described only in connection with a particular embodiment or individual embodiments, they may each be combined with other features from other embodiments. It is also possible to omit or add in individual embodiments illustrated features or particular embodiments, as far as the general technical teaching is realized. Although the steps of the method of manufacturing an optoelectronic semiconductor device are described in a particular order, it is to be understood that any of the methods described in this disclosure may be performed in any other meaningful order, including but not limited to, method steps. unless deviated from the basic idea of the technical teaching described.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

100100
Presswerkzeug press tool
101101
oberes Presswerkzeugteil Upper pressing tool part
102102
unteres, äußeres Presswerkzeugteil Lower, outer pressing tool part
103103
unteres, inneres Presswerkzeugteil lower, inner pressing tool part
104104
umlaufende Nase circumferential nose
105105
Federung suspension
108108
Rand der Kavität 109 Edge of the cavity 109
109109
Kavität cavity
110110
Werkzeugfolie tool slide
111111
Nut groove
200200
Trägerfolie support film
210210
Trägerfolie gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels Carrier film according to a first embodiment
211211
Teilbereich subregion
212212
Rand der Trägerfolie Edge of the carrier film
213213
unbehandelter Innenbereich untreated interior
220220
Trägerfolie gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels Carrier film according to a second embodiment
230230
Trägerfolie gemäß eines dritten Ausführungsbeispiels Carrier film according to a third embodiment
300300
erste Rolle first role
301301
zweite Rolle second role
310310
Klemmring clamping ring
400400
Silikongrundmasse Silicone matrix
410410
Silikonelement silicone element
411411
Rand des Silikonelements 410 Edge of the silicone element 410
412412
kreisringförmiger Randbereich des Silikonelements 410 annular edge region of the silicone element 410

Claims (15)

Trägerfolie (200, 210, 220, 230) zur Aufnahme eines Silikonelements (410) in einem Pressverfahren, wobei die Trägerfolie (200, 210, 220, 230) zumindest in einem Teilbereich (211, 231) derart oberflächenbehandelt ist, dass die Haftwirkung gegenüber Silikon in dem behandelten Bereich erhöht ist. Carrier foil ( 200 . 210 . 220 . 230 ) for receiving a silicone element ( 410 ) in a pressing process, wherein the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) at least in a subarea ( 211 . 231 ) is surface-treated such that the adhesion to silicone in the treated area is increased. Trägerfolie (200, 210, 220, 230) nach Anspruch 1, wobei sich der behandelte Bereich vollständig entlang zumindest einer Seite der Trägerfolie (200, 220) erstreckt. Carrier foil ( 200 . 210 . 220 . 230 ) according to claim 1, wherein the treated area extends completely along at least one side of the carrier film ( 200 . 220 ). Trägerfolie(200, 210, 230) nach Anspruch 1, wobei die Form des Teilbereichs (211, 231) die Form des aufzubringenden Silikonelements (410) nachbildet und/oder wobei der Teilbereich (211, 231) insbesondere kreisförmig, quadratisch oder rechteckig ist. Carrier film ( 200 . 210 . 230 ) according to claim 1, wherein the shape of the subregion ( 211 . 231 ) the shape of the silicone element to be applied ( 410 ) and / or where the subregion ( 211 . 231 ) is in particular circular, square or rectangular. Trägerfolie (200, 210, 230) nach Anspruch 1, wobei die Form des Teilbereichs (211, 231) die Form des Randes des aufzubringenden Silikonelements (410) nachbildet und/oder wobei der Teilbereich (211, 231) insbesondere kreisringförmig oder rahmenförmig ist. Carrier foil ( 200 . 210 . 230 ) according to claim 1, wherein the shape of the subregion ( 211 . 231 ) the shape of the edge of the applied silicone element ( 410 ) and / or where the subregion ( 211 . 231 ) is in particular circular or frame-shaped. Trägerfolie (200, 210, 220, 230) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trägerfolie (200, 210, 220, 230) eine Polytetrafluorethylen-Folie ist. Carrier foil ( 200 . 210 . 220 . 230 ) according to one of the preceding claims, wherein the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) is a polytetrafluoroethylene film. Trägerfolie (200, 210, 220, 230) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trägerfolie (200, 210, 220, 230) in dem oberflächenbehandelten Bereich (211, 231) aufgeraut ist. Carrier foil ( 200 . 210 . 220 . 230 ) according to one of the preceding claims, wherein the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) in the surface-treated area ( 211 . 231 ) is roughened. Trägerfolie (200, 210, 220, 230) nach Anspruch 6, wobei die Aufrautiefe 1 μm bis 50 μm, vorzugsweise 5 μm bis 45 μm, insbesondere vorzugsweise 10 μm bis 40 μm, besonders bevorzugt 20 μm bis 30 μm beträgt. Carrier foil ( 200 . 210 . 220 . 230 ) according to claim 6, wherein the roughness depth is 1 μm to 50 μm, preferably 5 μm to 45 μm, in particular preferably 10 μm to 40 μm, particularly preferably 20 μm to 30 μm. Trägerfolie (200, 210, 220, 230) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Trägerfolie (200, 210, 220, 230) in dem oberflächenbehandelten Bereich (211, 231) mit einer haftsteigernden Beschichtung beschichtet ist und die Beschichtung vorzugsweise eine Haftvermittlerbeschichtung, eine Plasmabeschichtung oder eine ausgehärtete Silikonbeschichtung ist. Carrier foil ( 200 . 210 . 220 . 230 ) according to one of claims 1 to 5, wherein the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) in the surface-treated area ( 211 . 231 ) is coated with an adhesion-promoting coating and the coating is preferably a primer coating, a plasma coating or a cured silicone coating. System aus einer Trägerfolie (200, 210, 220, 230) nach einem der vorhergehenden Ansprüche und einem auf der Trägerfolie (200, 210, 220, 230) aufgebrachten Silikonelement (410), wobei das Silikonelement (410) zumindest teilweise auf dem oberflächenbehandelten Bereich (211, 213) aufliegt. System made of a carrier foil ( 200 . 210 . 220 . 230 ) according to one of the preceding claims and one on the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) applied silicone element ( 410 ), wherein the silicone element ( 410 ) at least partially on the surface treated area ( 211 . 213 ) rests. System nach Anspruch 9, wobei zumindest der Randbereich (412) des Silikonelements (410) auf dem oberflächenbehandelten Bereich (211, 213) aufliegt. System according to claim 9, wherein at least the edge area ( 412 ) of the silicone element ( 410 ) on the surface treated area ( 211 . 213 ) rests. System nach Anspruch 9 oder 10, wobei zumindest 5% bis 15%, vorzugsweise 7% bis 13%, insbesondere vorzugsweise 9% bis 11%, besonders bevorzugt 10% der Fläche des Silikonelements (410) auf dem oberflächenbehandelten Bereich (211, 213) aufliegt. System according to claim 9 or 10, wherein at least 5% to 15%, preferably 7% to 13%, in particular preferably 9% to 11%, particularly preferably 10% of the surface of the silicone element ( 410 ) on the surface treated area ( 211 . 213 ) rests. Verfahren zum Herstellen einer Trägerfolie (200, 210, 220, 230), welche zur Aufnahme eines Silikonelements (410) in einem Pressverfahren geeignet ist, aufweisend die Schritte Bereitstellen (S1) einer Trägerfolie (200, 210, 220, 230) und Behandeln (S2) der Oberfläche der Trägerfolie (200, 210, 220, 230) zumindest in einem Teilbereich (231, 211) derart, dass die Haftwirkung gegenüber Silikon in dem behandelten Bereich erhöht ist. Method for producing a carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ), which for receiving a silicone element ( 410 ) is suitable in a pressing process, comprising the steps of providing (S1) a carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) and treating (S2) the surface of the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) at least in a subarea ( 231 . 211 ) such that the adhesion to silicone in the treated area is increased. Verfahren nach Anspruch 12, wobei der Schritt des Behandelns (S2) der Oberfläche durch Aufrauen erfolgt, vorzugsweise mittels Anätzens, mittels einer Plasmabehandlung oder mittels Abbschleifens.Method according to claim 12, the step of treating (S2) the surface by roughening, preferably by means of etching, by means of a plasma treatment or by means of grinding. Verfahren nach Anspruch 12, wobei der Schritt des Behandelns (S2) der Oberfläche durch Beschichten mit einer haftsteigernden Beschichtung erfolgt, vorzugsweise der Schritt des Beschichtens das Aufbringen einer Plasmabeschichtung, einer Haftvermittlerbeschichtung oder einer ausgehärteten Silikonbeschichtung umfasst.Method according to claim 12, the step of treating (S2) the surface by coating with an adhesion-promoting coating, preferably, the step of coating comprises applying a plasma coating, a primer coating or a cured silicone coating. Verfahren zum Herstellen eines Silikonelements (410) mit Hilfe einer Trägerfolie (200, 210, 220, 230) in einem Pressverfahren, wobei das Silikonelement (410) zur Verwendung in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil geeignet ist, umfassend die Schritte Bereitstellen (S6) einer Trägerfolie zur Aufnahme eines Silikonelements (410), wobei die Trägerfolie (200, 210, 220, 230) zumindest in einem Teilbereich (211, 231) derart oberflächenbehandelt ist, dass die Haftwirkung gegenüber Silikon in dem behandelten Bereich erhöht ist, Einbringen (S7) der Trägerfolie (200, 210, 220, 230) in ein Presswerkzeug (100), Einbringen (S8) einer Silikonmasse (400) in das Presswerkzeug (100), Schließen (S9) des Presswerkzeugs und Aufpressen der Silikonmasse (400) auf die Trägerfolie (200, 210, 220, 230) zum Bilden eines Silikonelements (410), wobei das Silikonelement (410) zumindest teilweise auf dem oberflächenbehandelten Bereich aufliegt, Öffnen des Presswerkzeugs (100), und Entnehmen (S10) der Trägerfolie (200, 210, 220, 230) mit dem Silikonelement aus dem Presswerkzeug (100).Method for producing a silicone element ( 410 ) with the aid of a carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) in a pressing process, wherein the silicone element ( 410 ) is suitable for use in an optoelectronic semiconductor component, comprising the steps of providing (S6) a carrier film for accommodating a silicone element ( 410 ), wherein the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) at least in a subarea ( 211 . 231 ) is surface-treated such that the adhesion to silicone in the treated area is increased, introducing (S7) the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) in a pressing tool ( 100 ), Introducing (S8) a silicone compound ( 400 ) in the pressing tool ( 100 ), Closing (S9) the pressing tool and pressing on the silicone compound ( 400 ) on the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) for forming a silicone element ( 410 ), wherein the silicone element ( 410 ) rests at least partially on the surface-treated area, opening of the pressing tool ( 100 ), and removing (S10) the carrier film ( 200 . 210 . 220 . 230 ) with the silicone element from the pressing tool ( 100 ).
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