DE102011053578A1 - Counter electrode for use in device for separating contaminations e.g. oil droplets, from intake air supplied to combustion engine, has outer surface with material transmissive for part of contaminations separated from gas flow - Google Patents

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Abstract

The electrode (9) has an outer surface (21) comprising a set of apertures in form of a slot, a hole, a recess (23) and/or a punch hole. Another outer surface is provided with microporous, mesoporous and/or macroporous and/or electrically conductive material, which is transmissive for a part of contaminations separated from a flow of gas (7) supplied through a flow path, where direct voltage larger than breakdown voltage is applied between the electrode and an emission electrode (11) for formation of a stable low energy plasma. The material comprises a lattice (25), a braided fabric, a rolled material, a sintered material, a foam-like material and/or a perforated wall. An independent claim is also included for a device for separating liquid and/or particulate contaminations from a gas stream exiting a crank case of a combustion engine.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Gegenelektrode für eine Vorrichtung zum Abscheiden von flüssigen und/oder partikelförmigen Verunreinigungen aus einem Gasstrom, in der zwischen zumindest einer ersten, als die Gegenelektrode wirkenden Elektrode und einer zweiten, als Emissionselektrode wirkenden und eine in Richtung der ersten Elektrode gerichteten Spitze aufweisenden Elektrode ein Strömungsweg des Gasstroms verläuft und zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode eine die Durchschlagspannung überschreitende Gleichspannung zur Bildung eines stabilen Niedrigenergieplasmas anlegbar ist, wobei die Gegenelektrode derartig ausgebildet und anordbar ist, dass der Gasstrom zumindest teilweise über die Gegenelektrode leitbar ist ohne durch die Gegenelektrode hindurchzutreten, sowie eine Vorrichtung zum Abscheiden von flüssigen und/oder partikelförmigen Verunreinigungen aus einem Gasstrom, insbesondere von Öltröpfchen, Rußteilen oder Staub, vorzugsweise aus dem aus einem Kurbelgehäuse eines Verbrennungsmotors stammenden Blow-by-Gasstroms, umfassend zumindest eine erste, als Gegenelektrode wirkende Elektrode und zumindest eine zweite, als Emissionselektrode wirkende und eine in Richtung der ersten Elektrode gerichtete Spitze aufweisende Elektrode, wobei zwischen der ersten Elektrode und zweiten Elektrode ein Strömungsweg des Gasstroms verläuft und zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode eine die Durchschlagspannung überschreitende Gleichspannung zur Bildung eines stabilen Niedrigenergieplasma anlegbar ist. The present invention relates to a counterelectrode for a device for separating liquid and / or particulate contaminants from a gas flow, in between at least a first, acting as the counter electrode and a second, acting as an emission electrode and a directed towards the first electrode tip having a flow path of the gas flow and between the first electrode and the second electrode, a breakdown voltage exceeding DC voltage for forming a stable low-energy plasma can be applied, wherein the counter electrode is formed and arranged such that the gas flow is at least partially via the counter electrode can be conducted without passing through to pass through the counter electrode, and a device for separating liquid and / or particulate impurities from a gas stream, in particular oil droplets, soot particles or dust, preferably from the a blow-by gas stream originating from a crankcase of an internal combustion engine, comprising at least one first electrode acting as counterelectrode and at least one second electrode acting as emission electrode and having a tip directed in the direction of the first electrode, wherein a flow path between the first electrode and the second electrode of the gas flow and between the first electrode and the second electrode, a direct voltage exceeding the breakdown voltage to form a stable low-energy plasma can be applied.

Aus dem Stand der Technik sind sogenannte Plasmaabscheider bekannt, die dazu dienen, mittels eines Plasmas flüssige und/oder partikelförmige Verunreinigungen aus einem Gasstrom abzuscheiden. Insbesondere ist aus der WO 2008/145251 A1 eine gattungsgemäße Vorrichtung als auch eine gattungsgemäße Gegenelektrode bekannt. In diesem Dokument wird vorgeschlagen, dass der Plasmaabscheider insbesondere dafür eingesetzt wird, dass von einem Kurbelwellengehäuse in einen Luftansaugtrakt geführte Gase, die auch als Blow-by-Gase bezeichnet werden, gereinigt werden. So beinhalten diese Blow-by-Gase auch Ölpartikel, die vor einer Zuführung in einen Luftansaugtrakt einer Brennkraftmaschine abgeschieden werden sollten und als abgeschiedenes Öl dem Kurbelwellengehäuse wieder zugeführt werden sollten. So-called plasma separators are known from the prior art which serve to separate liquid and / or particulate impurities from a gas stream by means of a plasma. In particular, from the WO 2008/145251 A1 a generic device and a generic counter electrode known. In this document, it is proposed that the plasma separator is used in particular for the purpose of cleaning gases, which are also referred to as blow-by gases, from a crankshaft housing into an air intake tract. Thus, these blow-by gases also include oil particles that should be deposited before being fed into an air intake tract of an internal combustion engine and should be returned to the crankshaft housing as separated oil.

Die in diesem Dokument offenbarte Vorrichtung hat sich grundsätzlich bewährt, insbesondere hat es sich als hocheffektiv herausgestellt, eine Abscheidung mittels eines Niedrigenergieplasmas zu erzeugen, wobei zwischen einer ersten, als Gegenelektrode dienenden Elektrode und einer zweiten, als Emissionselektrode wirkenden Elektrode, eine Spannung angelegt wird, die größer als die Durchschlagsspannung ist. The device disclosed in this document has proven itself in principle, in particular it has proved to be highly effective to produce a deposition by means of a low-energy plasma, wherein a voltage is applied between a first electrode serving as counter-electrode and a second electrode acting as emission electrode. which is greater than the breakdown voltage.

Es hat sich jedoch gezeigt, dass der in der WO 2008/145251 A1 offenbarte Aufbau es zwar ermöglicht, effektiv partikelförmige Verunreinigungen in Richtung der Gegenelektrode abzuscheiden, dass es jedoch dazu kommt, dass Verunreinigungen, insbesondere an der Gegenelektrode abgeschiedene Flüssigkeitspartikel, wieder mit dem Gasstrom mitgerissen werden, so dass der Abscheidegrad, also die Gesamtmenge an dem Gaststrom entnommenen Verunreinigungen bei Austritt aus der Vorrichtung nicht optimal ist. However, it has been shown that in the WO 2008/145251 A1 Although disclosed construction makes it possible to effectively deposit particulate impurities in the direction of the counter electrode, but it happens that impurities, especially at the counter electrode deposited liquid particles are entrained again with the gas stream, so that the separation efficiency, so the total amount taken from the gas stream Impurities on exit from the device is not optimal.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die gattungsgemäße Gegenelektrode und die gattungsgemäße Vorrichtung derartig weiterzuentwickeln, dass der Abscheidegrad verbessert wird, insbesondere die Menge der aus der Vorrichtung austretenden Verunreinigungen in dem Gasstrom weiter minimiert wird. It is therefore an object of the present invention to further develop the generic counterelectrode and the generic device in such a way that the degree of separation is improved, in particular the amount of impurities emerging from the device in the gas flow is further minimized.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß im Hinblick auf die Gegenelektrode dadurch gelöst, dass die Gegenelektrode ferner zumindest bereichsweise durchlässig für zumindest einen Teil der aus dem Gasstrom abgeschiedenen Verunreinigungen ist.This object is achieved with regard to the counter electrode in that the counter electrode is further at least partially permeable to at least part of the deposited from the gas stream impurities.

Hierbei wird mit der Erfindung vorgeschlagen, dass die Gegenelektrode im Wesentlichen flächig ausgebildet ist und/oder der Gasstrom im Wesentlichen senkrecht zu einer Normalenrichtung zumindest eines Bereichs der Gegenelektrode über die Gegenelektrode leitbar ist.In this case, it is proposed with the invention that the counterelectrode is substantially planar and / or the gas flow can be conducted essentially perpendicular to a normal direction of at least one region of the counterelectrode via the counterelectrode.

Auch ist alternativ oder zusätzlich besonders bevorzugt, dass die Gegenelektrode einen ersten Oberflächenbereich aufweist, in dem zumindest eine Öffnung, vorzugsweise eine Mehrzahl von Öffnungen, insbesondere in Form eines Schlitzes, einer Bohrung, einer Aussparung und/oder einer Ausstanzung ausgebildet ist bzw. sind.Also, as an alternative or in addition, it is particularly preferred that the counterelectrode has a first surface area in which at least one opening, preferably a plurality of openings, in particular in the form of a slot, a bore, a recess and / or a punch-out is or are formed.

Auch wird mit der Erfindung vorgeschlagen, dass zumindest ein zweiter Oberflächenbereich, zumindest bereichsweise umfassend ein für zumindest einen Teil der Verunreinigungen im wesentlichen durchlässiges, vorzugsweise poröses, insbesondere zumindest bereichsweise mikroporöses, mesoporöses und/oder makroporöses, und/oder elektrisch leitfähiges, Material, wobei vorzugsweise der zweite Oberflächenbereich zumindest bereichsweise durch den ersten Oberflächenbereich gebildet ist und/oder der zweite Oberflächenbereich zumindest bereichsweise in der Öffnung des ersten Oberflächenbereichs angeordnet ist und/oder das Material des zweiten Oberflächenbereichs ein Gitter, ein Geflecht, ein gewalztes Material, ein gesintertes Material, ein schaumförmiges Material und/oder eine Lochwand umfasst.It is also proposed with the invention that at least a second surface area, at least partially comprising a for at least a portion of the contaminants substantially permeable, preferably porous, in particular at least partially microporous, mesoporous and / or macroporous, and / or electrically conductive material, wherein Preferably, the second surface area is at least partially formed by the first surface area and / or the second surface area is at least partially disposed in the opening of the first surface area and / or the material of the second surface area, a grid, a mesh, a rolled material, a sintered material, one foam-like material and / or a perforated wall.

Besonders bevorzugt ist bei den vorangehenden zwei Ausführungsformen, dass die Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder die Poren des zweiten Oberflächenbereichs mittels Stanzen, Schneiden, Laserschneiden, Bohren, Laserbohren und/oder Fräsen erzeugbar ist bzw. sind.It is particularly preferred in the preceding two embodiments that the opening of the first surface area and / or the pores of the second surface area can be produced by means of stamping, cutting, laser cutting, drilling, laser drilling and / or milling.

Eine erfindungsgemäße Gegenelektrode kann auch dadurch gekennzeichnet sein, dass die Gegenelektrode zumindest bereichsweise eine plane, zylindermantelförmige, kegelmantelförmige und/oder kegelstumpfmantelförmige Fläche, insbesondere eines Zylinders, Kegels und/oder Kegelstumpfs mit einer kreisförmigen, elliptischen, und/oder polygonen, vorzugsweise regelmäßig polygonen, wie dreieckigen, quadratischen, fünfeckigen, sechseckigen, siebeneckigen, achteckigen, neuneckigen, zehneckigen und/oder zwölfeckigen Querschnittsform, darbietet, die der zweiten Elektrode zugewandte Oberfläche der Gegenelektrode, vorzugweise des ersten Oberflächenbereichs und/oder des zweiten Oberflächenbereichs, zumindest bereichsweise im wesentlichen eben ist, vorzugsweise entlang der dargebotenen Fläche, die der zweiten Elektrode zugewandte Oberfläche der Gegenelektrode zumindest eine Vertiefung, vorzugsweise eine Vielzahl von Vertiefungen, aufweist, und/oder die Oberfläche der Gegenelektrode und/oder die Gegenelektrode, insbesondere in einer durch die Normalenrichtung und die Richtung des Strömungswegs aufgespannte Ebene und/oder einer durch die Normalenrichtung und eine Richtung senkrecht zur Richtung des Strömungswegs aufgespannte Ebene, profilierte Querschnittsform aufweist, wie gewellt, sägezahnförmig, sinusförmig, cosinusförmig, parabelförmig und/oder eine Kombination von, insbesondere bereichsweise plateauförmigen, Erhebungen und Vertiefungen und/oder Sicken, und/oder die einer Vielzahl von zweiten Elektroden zugewandte Oberfläche der Gegenelektrode einen im wesentlichen gleichmäßigen Abstand zu den der Gegenelektrode zugewandten Enden der einzelnen zweiten Elektroden aufweist.A counterelectrode according to the invention can also be characterized in that the counterelectrode at least in regions has a plane, cylinder jacket-shaped, cone-shaped and / or truncated cone-shaped surface, in particular a cylinder, cone and / or truncated cone with a circular, elliptical, and / or polygonal, preferably regular polygonal, such as triangular, square, pentagonal, hexagonal, heptagonal, octagonal, triangular, ten-cornered and / or dodecagonal cross-sectional shape, presents the second electrode facing surface of the counter electrode, preferably the first surface region and / or the second surface region, at least partially substantially planar , preferably along the presented surface, the surface of the counterelectrode facing the second electrode has at least one depression, preferably a plurality of depressions, and / or the surface of the counterelectrode and / or it has the counterelectrode, in particular in a plane spanned by the normal direction and the direction of the flow path and / or plane spanned by the normal direction and a direction perpendicular to the direction of the flow path, profiled cross-sectional shape, such as wavy, sawtooth, sinusoidal, cosinusoidal, parabolic and / or a combination of, in particular partially plateau-shaped, elevations and depressions and / or beads, and / or a plurality of second electrode facing surface of the counter electrode has a substantially uniform distance from the counter electrode facing ends of the individual second electrodes.

Bei den vorgenannten Ausführungsformen ist besonders bevorzugt, dass bei Ausbildung zumindest einer Vertiefung die Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder des zweiten Oberflächenbereichs zumindest bereichsweise im Bereich der Vertiefung ausgebildet ist, ein im Bezug auf die Vertiefung erhöhter Bereich der Oberfläche, insbesondere die Erhebung, der Gegenelektrode und/oder ein erhöhter Bereich der Gegenelektrode für zumindest einen Teil, vorzugsweise alle Verunreinigungen, undurchlässig ist und/oder der erhöhte Bereich, insbesondere die Erhebung, gegenüberliegend der Emissionselektrode ausbildbar ist.In the abovementioned embodiments, it is particularly preferred that, when at least one depression is formed, the opening of the first surface region and / or the second surface region is formed at least in regions in the region of the depression, an area of the surface which is elevated in relation to the depression, in particular the elevation Counter electrode and / or a raised portion of the counter electrode for at least a portion, preferably all impurities, impermeable and / or the raised area, in particular the elevation, opposite the emission electrode can be formed.

Weiterhin schlägt die Erfindung vor, dass der Abstand zwischen der der zweiten Elektrode zugewandten Oberfläche der Gegenelektrode und des der Gegenelektrode zugewandten Endes der zweiten Elektrode größer als eine geometrische Ausdehnung, insbesondere eine geometrische Ausdehnung senkrecht zur Normalenrichtung der Gegenelektrode, der Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder der Poren, insbesondere einer Maschenweite eines Gitters, des zweiten Oberflächenbereichs ist, vorzugsweise ein Vielfaches der Ausdehnung beträgt.Furthermore, the invention proposes that the distance between the surface of the counterelectrode facing the second electrode and the end of the second electrode facing the counterelectrode is greater than a geometric extension, in particular a geometric extension perpendicular to the normal direction of the counterelectrode, the opening of the first surface region and / or the pores, in particular a mesh size of a grid, of the second surface area, is preferably a multiple of the extent.

Auch ist bevorzugt, dass eine geometrische Ausdehnung, insbesondere eine geometrische Ausdehnung senkrecht zur Normalenrichtung der Gegenelektrode, der Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder der Poren, insbesondere eine Maschenweite eines Gitters, des zweiten Oberflächenbereichs größer als ein mittlerer Durchmesser der abzuscheidenden Verunreinigungen und/oder einer durch Agglomeration von Verunreinigungen entstehende Ansammlung von Verunreinigungen ist, vorzugsweise nicht mehr als ein dreifaches, vorzugsweise nicht mehr als ein zweifaches, noch bevorzugter nicht mehr als ein anderthalbfaches des mittleren Durchmessers beträgt.It is also preferred that a geometric extension, in particular a geometric extension perpendicular to the normal direction of the counterelectrode, the opening of the first surface area and / or the pores, in particular a mesh size of a grid, the second surface area greater than a mean diameter of the deposited impurities and / or is an accumulation of impurities resulting from agglomeration of impurities, preferably not more than a triple, preferably not more than a twofold, more preferably not more than one and a half times the average diameter.

Eine erfindungsgemäße Gegenelektrode kann ferner dadurch gekennzeichnet sein, dass die Gegenelektrode, insbesondere der erste Oberflächenbereich und/oder der zweite Oberflächenbereich, geebnet ist, vorzugsweise mittels Walzen und/oder Pressen.A counter electrode according to the invention can furthermore be characterized in that the counter electrode, in particular the first surface area and / or the second surface area, is leveled, preferably by means of rolling and / or pressing.

Es ist für die Gegenelektrode auch bevorzugt, dass die Gegenelektrode Materialen mit im wesentlichen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten umfasst, insbesondere der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials des ersten Oberflächenbereichs im wesentlichen gleich dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des zweiten Oberflächenbereichs ist, und/oder Bereiche der Gegenelektrode mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten, insbesondere der erste Oberflächenbereich und der zweite Oberflächenbereich, beweglich relativ zueinander, insbesondere schwimmend und/oder mittels zumindest einer Dehnungsfuge voneinander teilweise mechanisch getrennt, gelagert sind.It is also preferable for the counter electrode that the counter electrode comprises materials having substantially the same coefficient of thermal expansion, in particular, the coefficient of thermal expansion of the material of the first surface area is substantially equal to the thermal expansion coefficient of the second surface area, and / or areas of the counter electrode having different thermal expansion coefficients, especially the first one Surface area and the second surface area, movable relative to each other, in particular floating and / or by means of at least one expansion joint from each other partially mechanically separated, are stored.

Schließlich wird für die Gegenelektrode gemäß der Erfindung vorgeschlagen, dass zumindest ein Oberflächengebiet der Gegenelektrode, insbesondere ein Oberflächengebiet außerhalb eines zwischen der Gegenelektrode und der Emissionselektrode ausgebildeten Plasmas, wie eines Plasmakegels, derartig behandelt ist, vorzugsweise mittels einer Beschichtung, mittels Ausbildung einer Nanostruktur, mittels Ätzen, mittels Sputtern und/oder mittels Abtragen, dass ein Anhaften zumindest eines Teils der Verunreinigungen an der Gegenelektrode, ein Zusetzen der Öffnungen und/oder Poren mit zumindest einem Teil der Verunreinigungen und/oder eine Adhäsion zumindest eines Teils der Verunreinigungen an der Gegenelektrode verändert ist, insbesondere reduziert ist.Finally, it is proposed for the counterelectrode according to the invention that at least one surface area of the counterelectrode, in particular a surface area outside a plasma formed between the counterelectrode and the emission electrode, such as a plasma gel, is treated in this way, preferably by means of a coating, by means of a nanostructure Etching, by sputtering and / or by ablation, that adhering at least a portion of the Impurities on the counter electrode, clogging of the openings and / or pores with at least a portion of the impurities and / or an adhesion of at least a portion of the impurities on the counter electrode is changed, in particular reduced.

Die die Vorrichtung betreffende Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die erste Gegenelektrode als erfindungsgemäße Gegenelektrode ausgebildet ist. The object concerning the device is achieved according to the invention in that the first counterelectrode is designed as a counterelectrode according to the invention.

Dabei ist besonders bevorzugt, dass auf der der zweiten Elektrode abgewandten Seite der ersten Elektrode zumindest ein Sammelraum für die Verunreinigungen ausgebildet ist.It is particularly preferred that at least one collecting space for the impurities is formed on the side facing away from the second electrode of the first electrode.

Weiterhin wird mit der Erfindung vorgeschlagen, dass zumindest ein, insbesondere von der Gegenelektrode und/oder der Emissionselektrode zumindest teilweise umfasstes und/oder zumindest teilweise durch die Gegenelektrode und/oder die Emissionselektrode ausgebildetes Strömungsführungselement in dem Sammelraum und/oder dem Strömungsweg angeordnet ist, wobei mittels des Strömungsführungselementes ein Eintritt eines Teilstroms des Gasstroms durch die Gegenelektrode in den Sammelraum verhinderbar ist, ein in den Sammelraum eintretender Teilstrom des Gasstroms in den Strömungsweg zwischen Gegenelektrode und zweiter Elektrode zumindest teilweise zurückgeführt wird, aus dem Gasstrom abgeschiedene Verunreinigungen von der Gegenelektrode und/oder dem Strömungsweg des Gasstroms wegführbar sind und/oder aus dem Gasstrom abgeschiedene Verunreinigungen in Richtung der Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder der Poren des zweiten Oberflächenbereichs leitbar sind.Furthermore, it is proposed with the invention that at least one, in particular of the counter electrode and / or the emission electrode at least partially and / or at least partially formed by the counter electrode and / or the emission electrode flow guide element is arranged in the collecting space and / or the flow path, wherein by means of the flow guide element, a partial flow of the gas stream through the counter electrode is prevented in the plenum, a partial flow of the gas stream entering the plenum is at least partially returned to the flow path between the counter electrode and the second electrode, from the counter electrode and / or separated from the gas flow the flow path of the gas stream are wegführbar and / or impurities separated from the gas stream in the direction of the opening of the first surface region and / or the pores of the second surface region are conductive.

Eine Weiterentwicklung dieser Ausführungsform sieht vor, dass das Strömungsführungselement zumindest eine, vorzugsweise zumindest bereichsweise in dem Sammelraum angeordnete Schottwand umfasst, wobei insbesondere mittels der Schottwand der Sammelraum in zumindest zwei Teilsammelräume unterteilbar ist und/oder das Strömungsführungselement durch die Vertiefung zumindest teilweise gebildet ist.A further development of this embodiment provides that the flow guide element comprises at least one partition wall, preferably at least partially arranged in the collecting space, wherein in particular by means of the bulkhead the collecting space is subdivided into at least two sub-collecting chambers and / or the flow guiding element is at least partially formed by the recess.

Weiterhin wird mit der Erfindung vorgeschlagen, dass eine Vielzahl von Strömungsführungselementen, insbesondere Schottwänden und/oder Vertiefungen, wobei vorzugsweise der Sammelraum eine Vielzahl von Auslassöffnungen für abgeschiedene Verunreinigungen umfasst, vorzugsweise jeder Teilsammelraum zumindest eine Auslassöffnung umfasst.Furthermore, it is proposed with the invention that a plurality of flow guidance elements, in particular bulkhead walls and / or depressions, wherein preferably the collecting space comprises a plurality of outlet openings for separated impurities, preferably each part collecting space comprises at least one outlet opening.

Schließlich kann eine erfindungsgemäße Vorrichtung dadurch gekennzeichnet sein, dass dem Bereich des Niedrigenergieplasmas und/oder dem Bereich zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode ein mittels eines Vorabscheiders gereinigter Gasstrom zuführbar ist, insbesondere die Vorrichtung einen Vorabscheider für Verunreinigungen mit vorbestimmten Partikelgrößen umfasst, vorzugsweise beinhaltend zumindest einen Prallplattenabscheider, Zyklonabscheider, Labyrinthabscheider, Zentrifugalabscheider, Diffusionsabscheider und/oder elektromagnetischen, wie elektrostatischen und/oder magnetostatischen, Abscheider.Finally, a device according to the invention may be characterized in that a gas stream purified by means of a pre-separator can be fed to the region of the low-energy plasma and / or the region between the first electrode and the second electrode, in particular the device comprises, preferably comprising, a pre-separator for impurities with predetermined particle sizes at least one baffle plate separator, cyclone separators, labyrinth separators, centrifugal separators, diffusion separators and / or electromagnetic, such as electrostatic and / or magnetostatic, separators.

Der Erfindung liegt somit die überraschende Erkenntnis zugrunde, dass der Abscheidegrad eines Plasmaabscheiders dadurch gesteigert werden kann, dass als Gegenelektrode ein Element eingesetzt wird, welches zumindest in einem Bereich, der der zweiten Elektrode, also der Emissionselektrode, gegenüberliegt, insbesondere einer Vielzahl von Emissionselektroden gegenüberliegt, keine geschlossene Oberfläche aufweist. Hierbei sind die Begriffe Emissionselektrode und Gegenelektrode nicht derartig beschränkend auszulegen, dass stets an die Emissionselektrode eine Gleichspannung angelegt wird, während die Gegenelektrode an Masse gelegt wird. So kann die Gleichspannung auch an die Gegenelektrode angelegt werden und die Emissionselektrode an Masse gelegt werden. Diese Begriffe werden im Wesentlichen dazu verwendet, um zu beschreiben, dass das Plasma in der Emissionselektrode punktuell zusammenläuft, während es an der Gegenelektrode auf einem vergleichsweise größeren Flächenbereich auftrifft, insbesondere einen Plasmakegel ausbildet. The invention is thus based on the surprising finding that the degree of separation of a plasma separator can be increased by using as counterelectrode an element which, at least in a region opposite to the second electrode, ie the emission electrode, lies opposite a plurality of emission electrodes , does not have a closed surface. In this case, the terms emission electrode and counterelectrode are not to be construed in such a restrictive way that a DC voltage is always applied to the emission electrode while the counterelectrode is grounded. Thus, the DC voltage can also be applied to the counter electrode and the emission electrode are grounded. These terms are essentially used to describe that the plasma in the emission electrode converges at points, while it strikes the counterelectrode on a comparatively larger surface area, in particular forms a plasma cone.

So wurde überraschenderweise festgestellt, dass für die Ausbildung eines stabilen Niedrigenergieplasmas zwischen der Emissionselektrode, insbesondere einer Vielzahl von Emissionselektroden, und der Gegenelektrode die Ausbildung von Öffnungen in der Gegenelektrode auch im Bereich der Emissionselektroden nicht schädlich ist. So ist es bereits ausreichend für eine Verbesserung des Abscheidegrades, dass die abgeschiedenen Verunreinigungen nicht außerhalb des Bereichs der Gegenelektrode, der den Emissionselektroden gegenüberliegt, abgeschieden wird, sondern Öffnungen in der Gegenelektrode vorgesehen sind, die beispielsweise in Form von Bohrungen im Randbereich des Abscheidebereichs der Gegenelektrode, also des Bereichs der Gegenelektrode, der den Emissionselektroden gegenüberliegt, angeordnet ist. Thus, it was surprisingly found that for the formation of a stable low-energy plasma between the emission electrode, in particular a plurality of emission electrodes, and the counter electrode, the formation of openings in the counter electrode is not harmful even in the region of the emission electrodes. Thus, it is already sufficient for an improvement in the degree of separation that the deposited impurities are not deposited outside the region of the counterelectrode, which faces the emission electrodes, but openings are provided in the counter electrode, for example in the form of holes in the edge region of the deposition region of the counter electrode , That is, the region of the counter electrode, which is opposite to the emission electrodes, is arranged.

Eine weitere Verbesserung des Abscheidegrades kann dadurch erreicht werden, dass, im Wesentlichen quer oder längs zu einem Strömungsweg des Grasstromes, längliche Öffnungen, insbesondere Schlitze, in der Gegenelektrode ausgebildet werden. Da jedoch erkannt wurde, dass derartige in einem ersten Oberflächenbereich der Gegenelektrode ausgebildete Öffnungen zu einer Kanalisierung des Niedrigenergieplasmas in dem Bereich der Elektroden führt, der zwischen den jeweiligen Öffnungen liegt, kann zu einer weiteren Steigerung des Abscheidegrades in einem zweiten Oberflächenbereich, der insbesondere durch die Öffnungen in dem ersten Oberflächenbereich gebildet wird, ein elektrisch leitfähiges, poröses Material, wie ein Gitter, angeordnet werden. Dadurch wird erreicht, dass auch der Bereich der Öffnungen in dem ersten Oberflächenbereich zur Ausbildung eines Niedrigenergieplasmas dient, also insbesondere in den durch das poröse Material gebildeten zweiten Gitter- bzw. Oberflächenbereich ebenfalls ein Niedrigenergieplasma gezündet wird. Beispielsweise kann der erste Oberflächenbereich einen Rahmen mit einer, insbesondere zentralen, Öffnung darstellen, der den zweiten Oberflächenbereich umgibt, wobei in dem zweiten Oberflächenbereich ein Gitter durch Einspannen in dem Rahmen oder eine andere Gitterstruktur angeordnet ist. A further improvement of the degree of separation can be achieved in that, substantially transversely or longitudinally to a flow path of the grass flow, elongate openings, in particular slots, are formed in the counterelectrode. However, since it has been recognized that such in a first surface area of the counter electrode formed openings to channel the low energy plasma in the region of the electrodes, which lies between the respective openings, an electrically conductive, porous, in order to further increase the degree of separation in a second surface area, which is formed in particular by the openings in the first surface area Material, such as a grid, are arranged. It is thereby achieved that the area of the openings in the first surface area also serves to form a low-energy plasma, ie, in particular a low-energy plasma is also ignited in the second grid or surface area formed by the porous material. For example, the first surface area may constitute a frame with a, particularly central, aperture surrounding the second surface area, wherein in the second surface area a grid is arranged by clamping in the frame or another grid structure.

So herrschte das Vorurteil vor, dass durch den Einsatz einer Gitterstruktur bei einer Vielzahl von Emissionselektroden sich lediglich in lokalen Bereichen ein Plasma ausbildet, nämlich in solchen Bereichen, in denen der Abstand zwischen den Emissionselektrodenspitzen und dem Gitterbereich der Gegenelektrode minimal ist. Es wurde jedoch überraschender Weise festgestellt, dass trotz der porösen Struktur bzw. der Gitterstruktur ein über die Fläche gleichmäßiges Zünden eines Plasmas ermöglicht wird und gleichzeitig eine gute Abführung von aus dem Gasstrom abgeschiedenen Verunreinigungen ermöglicht wird, insbesondere dadurch dass durch eine entsprechende Behandlung des porösen Materials, wie ein Walzen oder Pressen, insbesondere der Gitterstruktur, eine bestmögliche Parallelität zu den Emissionselektroden(spitzen) hergestellt wird. Thus, the prejudice prevailed that the use of a lattice structure in a multiplicity of emission electrodes forms a plasma only in local areas, namely in those areas in which the distance between the emission electrode tips and the grid area of the counterelectrode is minimal. However, it has surprisingly been found that in spite of the porous structure or the lattice structure over the surface uniform ignition of a plasma is made possible and at the same time a good removal of deposited from the gas stream impurities is made possible, in particular by that by an appropriate treatment of the porous material in how a rolling or pressing, in particular of the lattice structure, a best possible parallelism to the emission electrodes (tips) is produced.

Somit wird es durch diesen Aufbau der Gegenelektrode ermöglicht, dass unterhalb des gesamten Bereichs der Gegenelektrode, der den Emissionselektroden gegenüber liegt, ein Sammelraum bzw. Rückführraum ausgebildet wird, in dem die aus dem Gasstrom durch Ablenkung in Richtung der Gegenelektrode abgeschiedenen Verunreinigungen gesammelt werden. Dadurch wird sichergestellt, dass der Gasstrom die einmal abgeschiedenen Partikel nicht mehr mitreißen kann, so dass der gesamte Abscheidegrad gesteigert wird, da der Weitertransport der Verunreinigungen im Strömungsweg verhindert wird. Somit wird es ermöglicht, dass insbesondere bei einem horizontal angeordneten Plasmaabscheider, also einem Plasmaabscheider, bei welchem die Gegenelektrode im Wesentlichen horizontal angeordnet ist, ein abgeschiedenes Medium wirkungsvoll aus dem Strömungsbereich des Gasstroms abgeführt werden kann, wenn die Gegenelektrode durchlässig für das abgeschiedene Medium ausgestaltet wird. Thus, by this construction of the counter electrode, it is possible to form, below the entire area of the counter electrode facing the emission electrodes, a collecting space in which the impurities separated from the gas flow by deflection toward the counter electrode are collected. This ensures that the gas stream can no longer entrain the once separated particles, so that the entire degree of separation is increased because the further transport of impurities in the flow path is prevented. This makes it possible, in particular in the case of a horizontally arranged plasma separator, ie a plasma separator in which the counterelectrode is arranged substantially horizontally, to effectively remove a separated medium from the flow region of the gas stream if the counterelectrode is made permeable to the separated medium ,

Dadurch wird ein permanenter Medien- bzw. Verunreinigungsabtransport sichergestellt, indem die Gegenelektrode ein für das abgeschiedene Medium durchlässige Struktur aufweist. Dies bietet insbesondere den Vorteil, dass das abgeschiedene Medium direkt im Abscheidebereich der Emissions- und Gegenelektroden aus dem Strömungsbereich in einen nicht durchströmten Sammel- bzw. Rücklaufraum überführt werden kann, so dass ein Weitertransport des einmal abgeschiedenen Mediums im Hauptströmungsbereich des Gasstroms verhindert werden kann. As a result, a permanent removal of media or contaminants is ensured by the counterelectrode having a structure that is permeable to the deposited medium. This offers in particular the advantage that the separated medium can be transferred directly from the flow area into a collecting or return space not flowed through in the separation region of the emission and counterelectrodes, so that further transport of the once separated medium in the main flow region of the gas flow can be prevented.

Zur Steigerung des Abscheidegrads kann weiterhin vorgesehen sein, dass die Oberfläche der Gegenelektrode, insbesondere in dem Bereich, in dem kein Plasma(kegel) ausgebildet wird, eine geringere Adhäsion für Verunreinigungen aufweist. Durch diese Maßnahme werden verschiedene Effekte erzielt. So wird zunächst erreicht, dass die in Richtung der Gegenelektrode abgeschiedenen Verunreinigungen nicht in dem Bereich des Strömungsweges des Gasstroms verbleiben, sondern durch die Öffnungen bzw. Poren durch die Gegenelektrode hindurchtreten. Darüber hinaus wird verhindert, dass sich durch Agglomeration eine große Ansammlung von abgeschiedenen Verunreinigungen bilden kann. Eine solche Ansammlung von Verunreinigungen würde einerseits eine größere Angriffsfläche für den Gasstrom bilden und so mit einer höheren Wahrscheinlichkeit mitgerissen werden. Andererseits können derartige Ansammlungen dazu führen, dass die Öffnungen bzw. Poren durch die Verunreinigungen verschlossen werden und so nicht durch die Gegenelektrode, insbesondere in den Sammelraum, abfließen können. Durch Verhinderung dieser Effekte kann auf einfache Weise ein erneutes Mitreißen der abgeschiedenen Verunreinigung durch den Gasstrom verhindert werden und so der Abscheidegrad wirksam verbessert werden.In order to increase the degree of separation, it can further be provided that the surface of the counterelectrode, in particular in the region in which no plasma (cone) is formed, has a lower adhesion for impurities. By this measure, various effects are achieved. Thus, it is initially achieved that the impurities deposited in the direction of the counterelectrode do not remain in the region of the flow path of the gas stream but pass through the openings or pores through the counterelectrode. In addition, agglomeration prevents a large accumulation of separated impurities from forming. On the one hand, such an accumulation of impurities would form a larger attack surface for the gas stream and thus be carried along with a higher probability. On the other hand, such accumulations can lead to the openings or pores being closed by the impurities and thus unable to flow off through the counterelectrode, in particular into the collecting space. By preventing these effects, re-entrainment of the deposited impurity by the gas flow can be prevented in a simple manner, and thus the degree of separation can be effectively improved.

Auch kann durch in dem Strömungsweg des Gasstroms oder in dem Sammelraum angeordnete Strömungsführungselemente verhindert werden, dass ein Teilstrom des Gasstroms in den Sammelraum eintritt. Ein solcher Teilstrom könnte dazu führen, dass von einem Teil des Gasstroms der Bereich, in dem das Plasma gezündet ist und Verunreinigungen abgeschieden werden, umgangen wird und/oder Verunreinigungen im Sammelbereich mitgerissen werden, wenn der Teilstrom wieder durch die Gegenelektrode in den Gasstrom eintritt.Also can be prevented by arranged in the flow path of the gas stream or in the collecting space flow guide elements that a partial flow of the gas stream enters the plenum. Such a partial flow could result in bypassing from a part of the gas flow the area in which the plasma is ignited and contaminants are separated and / or contaminants are entrained in the collecting area when the partial flow again enters the gas flow through the counterelectrode.

Hierbei ist jedoch beachtlich, dass die Verwendung der erfindungsgemäßen Gegenelektrode nicht nur auf eine Verwendung in einem Plasmaabscheider, welcher eine horizontal angeordnete Gegenelektrode aufweist, beschränkt ist. Auch ist die Erfindung nicht auf einer plane Gegenelektrode beschränkt, sondern die Gegenelektrode kann verschiedene geometrische Ausgestaltungen, insbesondere Querschnittsformen, aufweisen. So kann die Gegenelektrode zylindermantelförmig ausgebildet sein und insbesondere vertikal angeordnet sein. Durch eine entsprechende Bereitstellung eines die Gegenelektrode ringförmig umgebenden Sammelraums oder eines durch die Gegenelektrode ringförmig umgebenen Sammelraum kann so auch bei einem vertikalen Strömungsweg des Gases eine effiziente Abscheidung erreicht werden. Hierbei ist insbesondere bevorzugt, dass in dem Sammelraum Strömungsführungselemente angeordnet sind, die es ermöglichen, dass in den Sammelraum abgeschiedene Verunreinigungen von dem Gasstrom bzw. der Gegenelektrode weggeführt werden. Auch ist es möglich, dass die Gegenelektrode keine kreisförmige Querschnittsform aufweist, sondern die Querschnittsform eines Polygons, wie eines Dreiecks, eines Vierecks, insbesondere eines gleichmäßigen Polygons, aufweist. Auch kann die Gegenelektrode eine kreissegmentförmige Querschnittsform aufweisen, wobei ein Sammelraum im Inneren des Kreissegments gebildet werden kann. However, it is noteworthy that the use of the counterelectrode according to the invention is not limited to use in a plasma separator which has a horizontally arranged counterelectrode. Also, the invention is not limited to a plane counter electrode, but the counter electrode can various geometric configurations, in particular cross-sectional shapes, have. Thus, the counter electrode may be formed in the form of a cylinder jacket and, in particular, may be arranged vertically. By an appropriate provision of a circular space surrounding the counter electrode or an annular space surrounded by the counter electrode collecting chamber so an efficient separation can be achieved even with a vertical flow path of the gas. In this case, it is particularly preferred that flow guide elements are arranged in the collecting space, which allow contaminants separated into the collecting space to be led away from the gas flow or the counterelectrode. It is also possible that the counter-electrode does not have a circular cross-sectional shape but has the cross-sectional shape of a polygon, such as a triangle, of a quadrilateral, in particular of a uniform polygon. Also, the counter electrode may have a circular-segment-shaped cross-sectional shape, wherein a collecting space may be formed in the interior of the circle segment.

Desweiteren muss die Gegenelektrode, insbesondere im ersten und/oder zweiten Oberflächenbereich, nicht unbedingt eben bzw. plan sein. So kann die Gegenelektrode eine derartige Oberflächenstrukturierung aufweisen, dass Vertiefungen innerhalb der Gegenelektrode bzw. einer der Emissionselektrode zugewandten Oberfläche ausgebildet sind. Hierbei kann eine Oberflächenstrukturierung in alle Raumrichtungen der Gegenelektrode vorliegen, insbesondere in einer Richtung entlang des Hauptströmungsweges des Gasstroms, aber auch in einer Richtung senkrecht dazu. Insbesondere ist bevorzugt, dass eine regelmäßige Oberflächenstrukturierung ausgebildet ist, beispielsweise die Gegenelektrode bzw. die Oberfläche der Gegenelektrode eine gewellte Strukturierung aufweist. Hierbei kann die Strukturierung verschiedenste Querschnittsformen aufweisen, insbesondere kann die Strukturierung sinus(wellen)förmig, cosinus(wellen)förmig, parabelförmig, sägezahnförmig oder rechteckförmig sein. Diese Oberflächenstrukturierung bietet den Vorteil, dass durch die Vertiefungen Sammelbereiche für die Verunreinigungen gebildet werden, die dann außerhalb des Strömungsweges des Gasstromes gesammelt und abgeführt werden. Insbesondere ist dabei bevorzugt, dass in den Vertiefungen die entsprechenden Öffnungen bzw. Poren vorgesehen sind, durch die die Verunreinigungen durch die Gegenelektrode in den Sammelraum treten. Somit dienen die Vertiefungen selber auch als Strömungsführungselemente im Sinne der Erfindung. Zur Ausbildung eines gleichmäßigen Plasmas über die Fläche der Gegenelektrode ist besonders bevorzugt, dass die Bereiche außerhalb der Vertiefungen, insbesondere die Erhebungen im Vergleich zu den Vertiefungen, eine ebene oder plane bzw. plateauförmige Oberflächenform aufweisen. Desweiteren ist besonders bevorzugt, dass ausschließlich in dem Bereich der Erhebungen gegenüberliegend Emissionselektroden angeordnet sind. Dadurch wird erreicht, dass ein Plasma über die gesamte Oberfläche der Gegenelektrode, insbesondere in einer Ebene, die durch alle Erhebungen festgelegt wird, also ein gleichmäßiges Plasma gezündet werden kann. Die Ausbildung eines Plateaus bewirkt insbesondere, dass ein idealer „Plasmakegel“, ausgehend von der Spitze der Emissionselektrode, ausgebildet werden kann. Darüber hinaus kann vorgesehen sein, dass die Gegenelektrode im Bereich der Erhebungen undurchlässig für die Verunreinigungen ist und im Bereich der Erhebungen abgeschiedene Verunreinigungen über den Gasstrom in die Vertiefungen geführt werden bzw. mitgerissen werden, um von dort in den Sammelraum abgeführt zu werden. Furthermore, the counterelectrode, in particular in the first and / or second surface area, does not necessarily have to be flat. Thus, the counter-electrode may have such a surface structuring that depressions are formed within the counterelectrode or a surface facing the emission electrode. Here, a surface structuring in all spatial directions of the counter electrode may be present, in particular in a direction along the main flow path of the gas stream, but also in a direction perpendicular thereto. In particular, it is preferred that a regular surface structuring is formed, for example the counterelectrode or the surface of the counterelectrode has a corrugated structuring. In this case, the structuring may have a wide variety of cross-sectional shapes, in particular the structuring may be sinusoidal, cosinusoidal, parabolic, sawtooth or rectangular. This surface structuring offers the advantage that collecting areas for the contaminants are formed by the depressions, which are then collected and removed outside the flow path of the gas stream. In particular, it is preferred that the corresponding openings or pores are provided in the depressions through which the contaminants pass through the counter electrode into the collecting space. Thus, the wells themselves serve as flow guide elements in the context of the invention. To form a uniform plasma over the surface of the counterelectrode, it is particularly preferred that the regions outside the depressions, in particular the elevations in comparison to the depressions, have a flat or plane or plateau-shaped surface form. Furthermore, it is particularly preferred that emission electrodes are arranged opposite only in the region of the elevations. This ensures that a plasma over the entire surface of the counter electrode, in particular in a plane which is determined by all surveys, so a uniform plasma can be ignited. The formation of a plateau causes in particular that an ideal "plasma cone", starting from the tip of the emission electrode, can be formed. In addition, it can be provided that the counterelectrode in the region of the elevations is impermeable to the contaminants and impurities deposited in the region of the elevations are conducted via the gas flow into the depressions or entrained in order to be discharged from there into the collecting space.

Neben der Steigerung des Abscheidegrades des Plasmaabscheiders führt die Verwendung einer erfindungsgemäßen Gegenelektrode ferner zu dem Vorteil, dass eine kompakte Bauweise der gesamten Vorrichtung erreicht werden kann, da der Abführbereich für abgeschiedene Verunreinigungen in den Bereich der Ausbildung des Plasmas zwischen den Emissionselektroden und der Gegenelektrode angeordnet werden kann, insbesondere kein getrennter Abscheidebereich außerhalb dieses Plasmabereichs bereitgestellt werden muss. Mit anderen Worten wird durch die sich nahe am Abscheider stattfindende Ausleitung des abgeschiedenen Mediums eine sehr kompakte Bauweise möglich. In addition to increasing the separation efficiency of the plasma separator, the use of a counterelectrode according to the invention also leads to the advantage that a compact design of the entire device can be achieved, since the removal area for deposited impurities in the region of formation of the plasma between the emission electrodes and the counter electrode are arranged In particular, no separate separation region needs to be provided outside this plasma region. In other words, by taking place close to the separator discharge of the deposited medium, a very compact design possible.

Als für die Verunreinigungen durchlässiges Medium ist grundsätzlich jedes elektrisch leitfähige Material geeignet. So können beispielsweise als Gegenelektrode Bleche eingesetzt werden, in die mittels Stanzen, Bohren, Laserschweißens oder Fräsen entsprechende Öffnungen/Poren eingebracht werden, aber auch Gitter, beispielsweise Drahtgitter. Zur Ausbildung eines gleichmäßigen Niedrigenergieplasmas ist dabei jedoch bevorzugt, dass das Material einen gleichmäßigen Oberflächenverlauf (einen stetigen und/oder stetig differenzierbaren Oberflächenverlauf) aufweist, insbesondere eben ausgebildet ist. Dabei ist „eben“ im Sinne der Erfindung nicht mit „plan“ gleichzusetzen. So kann die Gegenelektrode beliebige Oberflächenformen aufweisen, insbesondere plan aber auch zylinderförmig oder kreisförmig bzw. elliptisch gewölbt ausgebildet sein. Unter einem ebenen Verlauf wird insbesondere verstanden, dass ein gleichbleibender Abstand zwischen der Oberfläche der Gegenelektrode und einer Vielzahl von Emissionselektroden, insbesondere zu Spitzen der Emissionselektroden, besteht. Um einen entsprechenden Grad an Ebenheit zu erzielen, ist besonders bevorzugt, dass als Ausgangsmaterial gewalzte Bleche bzw. gewalzte Gitter eingesetzt werden, um eine größtmögliche Parallelität zwischen den Spitzen der Emissionselektroden und der Oberfläche der Gegenelektrode zu erreichen. As a medium permeable to the impurities, basically any electrically conductive material is suitable. Thus, for example, metal sheets can be used as the counterelectrode, into which openings or pores are introduced by means of stamping, drilling, laser welding or milling, but also gratings, for example wire mesh. To form a uniform low-energy plasma, however, it is preferred that the material has a uniform surface course (a continuous and / or continuously differentiable surface course), in particular flat. In this case, "just" in the sense of the invention is not to be equated with "plan". Thus, the counter electrode may have any surface shapes, in particular flat but also cylindrical or circular or elliptically curved. A planar course is understood in particular to mean that there is a constant distance between the surface of the counterelectrode and a large number of emission electrodes, in particular at the tips of the emission electrodes. In order to achieve a corresponding degree of flatness, it is particularly preferred that rolled sheets or rolled grids are used as the starting material in order to maximize parallelism between the tips of the To reach emission electrodes and the surface of the counter electrode.

Als vorteilhaft hat sich ferner herausgestellt, dass die Größe entsprechender Öffnungen bzw. Poren, insbesondere eine Maschenweite des Drahtgitter, derartig dimensioniert ist, dass sie so klein wie möglich ist, um die Entstehung eines Plasmas zu ermöglichen, jedoch die Größe größer als die mittlere Größe von abgeschiedenen Verunreinigungen, insbesondere Partikeln, und/oder von durch Agglomeration von Verunreinigungen entstehende Ansammlungen von Verunreinigungen ist, insbesondere ein Vielfaches der Größe der abgeschiedenen Verunreinigungen und/oder Ansammlungen, wie ein Zweifaches oder Dreifaches, ist. Dadurch wird verhindert, dass die Gegenelektrode durch die abgeschiedenen Partikel/Verunreinigungen zugesetzt wird. It has also been found to be advantageous that the size of corresponding openings or pores, in particular a mesh width of the wire mesh, is dimensioned such that it is as small as possible in order to allow the formation of a plasma, but the size is greater than the average size of deposited impurities, in particular particles, and / or accumulations of impurities resulting from agglomeration of impurities, in particular a multiple of the size of the impurities deposited and / or accumulations, such as a twofold or a threefold. This prevents that the counter electrode is added by the deposited particles / impurities.

Überraschender Weise wurde festgestellt, dass bei Einsatz einer Vielzahl von Gegenelektroden eine Öffnungsgröße bzw. eine Maschenweite nicht unbedingt einem Vielfachen eines Abstands der Emissionselektroden zur Ausbildung eines stabilen Plasmas entsprechen muss. Insbesondere ist ein Versatz zwischen den Elektrodenspitzen und der Stegbreite der Gegenelektrode nicht schädlich für die Ausbildung eines gleichmäßigen Plasmas. Darüber hinaus hat es sich auch als vorteilhaft herausgestellt, wenn die Stegbreite, insbesondere innerhalb eines Gitters, so gewählt wird, dass diese kleiner als ein mittlerer Durchmesser der abgeschiedenen Partikel bzw. ein mittlerer Durchmesser einer durch Agglomeration von Verunreinigungen entstehender Ansammlungen von Verunreinigungen ist. Hierbei ist jedoch darauf zu achten, dass die Stegbreite noch ausreichend ist, um eine ausreichende mechanische Stabilität der Gegenelektrode, insbesondere hinsichtlich der Parallelität der Gegenelektrode zu den Emissionselektroden, sicherzustellen. Surprisingly, it has been found that when using a plurality of counterelectrodes an opening size or a mesh size does not necessarily have to correspond to a multiple of a distance of the emission electrodes to form a stable plasma. In particular, an offset between the electrode tips and the land width of the counter electrode is not detrimental to the formation of a uniform plasma. Moreover, it has also been found to be advantageous if the web width, in particular within a grid, is chosen to be smaller than a mean diameter of the deposited particles or a mean diameter of an accumulation of impurities resulting from agglomeration of impurities. In this case, however, care must be taken that the web width is still sufficient to ensure a sufficient mechanical stability of the counterelectrode, in particular with regard to the parallelism of the counterelectrode to the emission electrodes.

Weiterhin kann in einer bevorzugten Ausführungsform vorgesehen sein, dass in dem Fall, in dem die Gegenelektrode verschiedene Materialien umfasst, beispielsweise verschiedene Materialien in Form des den ersten Oberflächenbereich bildenden Rahmens und des den zweiten Oberflächenbereich bildenden Gitters, solche Materialien gewählt werden, die einen im Wesentlichen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen. So ist sichergestellt, dass auch bei Temperaturschwankungen aufgrund des Plasmas Spannungen innerhalb der Gegenelektrode, die insbesondere zu einer Auflösung der Parallelität zwischen der Gegenelektrode und den Emissionselektroden und so zu einem ungleichmäßigen Plasma führen könnte, verhindert werden. Bei Verwendung unterschiedlicher Materialien kann auch vorgesehen sein, dass die unterschiedlichen Bereiche der Gegenelektrode schwimmend gegeneinander gelagert sind, insbesondere entsprechende Dehnungsfugen vorgesehen sind, falls die Materialien unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen. Furthermore, in a preferred embodiment it can be provided that in the case where the counterelectrode comprises different materials, for example different materials in the form of the frame forming the first surface area and the grating forming the second surface area, such materials are selected as essentially one have the same coefficient of thermal expansion. This ensures that even in the case of temperature fluctuations due to the plasma, stresses within the counterelectrode, which could in particular lead to a resolution of the parallelism between the counterelectrode and the emission electrodes and thus to an uneven plasma, are prevented. When using different materials can also be provided that the different areas of the counter electrode are floatingly mounted against each other, in particular corresponding expansion joints are provided if the materials have different thermal expansion coefficients.

Wie bereits angeführt hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, dass im Strömungsweg des Gasstroms, aber auch in dem Sammelraum, entsprechende Strömungsführungselemente angeordnet werden. Durch diese Strömungsführungselemente kann einerseits verhindert werden, dass der Gasstrom in den unterhalb der Gegenelektrode angeordneten Sammelraum, also durch die Gegenelektrode hindurch, geführt wird. So wird insbesondere verhindert, dass ein durch den Sammelraum geführter Teilstrom das Plasma umgeht und so aus diesem Teilstrom keine Verunreinigungen abgeschiedenen werden. Auch kann durch die Strömungsführungselemente ein Mitreißen von Partikeln minimiert werden. As already stated, it has proven to be advantageous that corresponding flow guidance elements are arranged in the flow path of the gas flow, but also in the collecting space. By means of these flow-guiding elements, on the one hand, it can be prevented that the gas flow is guided into the collecting space arranged below the counterelectrode, that is to say through the counterelectrode. In particular, it is prevented that a partial flow guided through the collecting space bypasses the plasma and thus no impurities are separated from this partial flow. Also can be minimized by the flow guidance elements entrainment of particles.

Beispiel für derartige Strömungsführungselemente sind Schott- bzw. Trennwände innerhalb des Sammelraums, durch die eine Strömung durch den Sammelraum unterbunden wird, aber auch die zuvor beschriebenen Vertiefungen. Vorzugsweise werden durch die Trennwänden eine Vielzahl von Teilsammelräumen gebildet, aus denen die Verunreinigungen getrennt abgeführt werden. Auch kann durch die Strömungsführungselemente in dem Sammelraum sichergestellt werden, wie zuvor beschrieben, dass die in dem Sammelraum eintretenden Flüssigkeitspartikel von der Gegenelektrode weg zu einem Auslauf geleitet werden, insbesondere bei einer vertikalen Anordnung der Gegenelektrode. Ein Beispiel für in dem Gasstrom angeordnete Strömungsführungselemente sind Abweiser. Examples of such flow guide elements are bulkheads or partitions within the collecting space, through which a flow through the collecting space is prevented, but also the depressions described above. Preferably, a plurality of sub-collection spaces are formed by the partitions, from which the impurities are removed separately. Also can be ensured by the flow guide elements in the plenum, as described above, that the entering into the plenum liquid particles are directed away from the counter electrode to an outlet, especially in a vertical arrangement of the counter electrode. An example of flow guide elements disposed in the gas flow are deflectors.

Die Anordnung der Gegenelektrode in einer vertikalen Richtung ermöglicht es insbesondere, dass bei der Gegenelektrode zu einer rotationssymetrischen Ausbildung übergegangen werden kann. Dies bietet insbesondere den Vorteil, dass Blow-by-Gase, die üblicherweise über eine kreisförmige Zuleitung zugeführt werden, nicht in eine rechteckförmigen Strömung umgewandelt müssten, wie es bei einer horizontalen Anordnung der Gegenelektrode mit einer planen Oberfläche der Gegenelektrode notwendig wäre. Durch diese Maßnahme ist es also lediglich notwendig, dass eine Strömung mit einem kreisförmigen Querschnitt in eine Strömung mit einem ebenfalls kreisförmigen Querschnitt, jedoch möglicherweise einem veränderten Durchmesser, insbesondere einem größeren Durchmesser als die Zuleitung, umgewandelt werden muss, was zu einer deutlichen Reduzierung der Verwirbelungen in dem Gasstrom und damit zu einer Steigerung des Abscheidegrades führt. The arrangement of the counterelectrode in a vertical direction makes it possible, in particular, for the counterelectrode to be able to proceed to a rotationally symmetrical design. This offers the particular advantage that blow-by gases, which are usually supplied via a circular feed line, would not have to be converted into a rectangular flow, as would be necessary in the case of a horizontal arrangement of the counterelectrode with a planar surface of the counterelectrode. By this measure, it is therefore only necessary that a flow having a circular cross-section in a flow with a circular cross-section, but possibly a different diameter, in particular a larger diameter than the supply line, must be converted, resulting in a significant reduction of turbulence in the gas stream and thus leads to an increase in the degree of separation.

Bei einer vertikalen Anordnung der Gegenelektrode ist es insbesondere möglich, dass eine Gegenelektrode eine zylindermantelförmige Außenwand bildet, wobei auf einer Außenseite der Gegenelektrode die entsprechenden Emissionselektroden angeordnet sind, um im Inneren des Zylinders einen Sammelraum zu bilden. Diese Konfiguration kann jedoch auch umgekehrt werden, d.h., dass im Inneren des Zylinders die Emissionselektroden angeordnet werden und ein die Gegenelektrode koaxial umgebender Raum als Sammelraum fungiert. In a vertical arrangement of the counter electrode, it is particularly possible that a counter electrode forms a cylinder jacket-shaped outer wall, wherein on an outer side of the Counter electrode, the respective emission electrodes are arranged to form a collecting space in the interior of the cylinder. However, this configuration can also be reversed, that is, inside the cylinder, the emission electrodes are arranged and a coaxial surrounding the counter electrode space acts as a collection space.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, in der bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand von Beispielen erläutert sind. Further features and advantages of the invention will become apparent from the following description, are explained in the preferred embodiments of the invention by way of examples.

Dabei zeigt:Showing:

1 eine perspektivische Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer erfindungsgemäßen Gegenelektrode gemäß einer ersten Ausführungsform; 1 a perspective cross-sectional view of a device according to the invention with a counter electrode according to the invention according to a first embodiment;

2a eine Detailansicht der Vorrichtung der 1 gemäß dem Ausschnitt A1; 2a a detailed view of the device of 1 according to the section A 1 ;

2b eine schematische Detailansicht der Vorrichtung der 1 gemäß dem Abschnitt A2 der 2a; 2 B a schematic detail view of the device of 1 in accordance with section A 2 of 2a ;

3 eine schematische Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform; 3 a schematic cross-sectional view of a device according to the invention according to a second embodiment;

4 eine Querschnittsansicht der Vorrichtung der 3 aus Richtung B in 3; 4 a cross-sectional view of the device of 3 from direction B in 3 ;

5 eine schematische Querschnittsansicht einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; 5 a schematic cross-sectional view of a third embodiment of a device according to the invention;

5a eine Querschnittsansicht der Vorrichtung der 5 aus Richtung C gemäß einer ersten Variante; 5a a cross-sectional view of the device of 5 from direction C according to a first variant;

5b eine Querschnittsansicht der Vorrichtung der 5 aus Richtung C gemäß einer zweiten Variante; 5b a cross-sectional view of the device of 5 from direction C according to a second variant;

5c eine Querschnittsansicht der Vorrichtung der 5 aus Richtung C gemäß einer dritten Variante; 5c a cross-sectional view of the device of 5 from direction C according to a third variant;

6a eine schematische Querschnittsansicht einer Gegenelektrode mit einer Oberflächenstrukturierung gemäß einer ersten Alternative; 6a a schematic cross-sectional view of a counter electrode having a surface structuring according to a first alternative;

6b eine schematische Querschnittsansicht einer Gegenelektrode mit einer Oberflächenstrukturierung gemäß einer zweiten Alternative; und 6b a schematic cross-sectional view of a counter electrode with a surface structuring according to a second alternative; and

6c eine schematische Querschnittsansicht einer Gegenelektrode mit einer Oberflächenstrukturierung gemäß einer dritten Alternative. 6c a schematic cross-sectional view of a counter electrode with a surface structuring according to a third alternative.

In 1 ist eine perspektivische Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in Form einer Abscheidevorrichtung 1 dargestellt. Die Abscheidevorrichtung 1 weist eine Eintrittsleitung 3 und eine Austrittsleitung 5 auf. Durch die Eintrittsleitung 3 tritt insbesondere ein Gasstrom 7, insbesondere ein von Blow-by-Gasstrom, in die Vorrichtung 1 ein. Hierbei kann der Gasstrom 7 vor Eintritt in die Eintrittsleitung 3 bereits „vorgereinigt“ sein. Hierzu ist ein Vorabscheider vorgesehen, durch den Verunreinigungen, die vergleichsweise große Dimensionen aufweisen, dem Gasstrom bereits entzogen sind. So steigt der Abscheidegrad der Vorrichtung 1 deutlich, wenn in die Eintrittsleitung 3 ein Gasstrom, der lediglich Mikroverunreinigungen, insbesondere Tröpfchen oder Partikel im Nanometerbereich enthält, zugeführt wird. Der Vorabscheider kann auf allen gängigen Wirkprinzipien beruhen und Teil der Abscheidevorrichtung 1 sein oder getrennt von dieser ausgeführt sein. In 1 is a perspective cross-sectional view of a device according to the invention in the form of a deposition device 1 shown. The separation device 1 has an entry line 3 and an exit line 5 on. Through the entrance line 3 occurs in particular a gas stream 7 , in particular a blow-by gas stream, into the device 1 one. Here, the gas flow 7 before entering the entrance line 3 already "pre-cleaned" For this purpose, a pre-separator is provided, are already removed by the impurities that have comparatively large dimensions, the gas stream. Thus, the separation efficiency of the device increases 1 clearly, when in the inlet pipe 3 a gas stream containing only micropollutants, in particular droplets or particles in the nanometer range, is supplied. The pre-separator can be based on all common principles of action and part of the separator 1 be or be carried out separately from this.

In dem in die Eintrittsleitung 3 einfließenden Blow-by-Gasstrom 7 sind Verunreinigungen, insbesondere in Form fester und flüssiger Partikel, wie Ölpartikel, enthalten. Die Abscheidevorrichtung 1 ermöglicht es, diese Verunreinigungen hocheffektiv, d.h. mit einem hohen Abscheidegrad, aus dem Gasstrom 7 zu entfernen, bevor dieser durch die Austrittsleitung 5 wieder austritt. In the in the entrance line 3 inflowing blow-by gas flow 7 Contain impurities, especially in the form of solid and liquid particles, such as oil particles. The separation device 1 allows these impurities highly effective, ie with a high degree of separation, from the gas stream 7 before removing this through the outlet pipe 5 exits again.

Zu diesem Zweck sind innerhalb der Abscheidevorrichtung 1 eine erste Elektrode in Form einer Gegenelektrode 9 und eine Vielzahl von zweiten Elektroden in Form von Emissionselektroden 11 angeordnet. Dabei verläuft der Gasstrom 7 im Wesentlichen senkrecht zu einer Normalenrichtung N der Gegenelektrode 9. Mittels elektrischen Anschlüssen 13 wird an die Emissionselektroden 11 eine Gleichspannung angelegt, die höher als eine Durchschlagsspannung ist, insbesondere mindestens dem 1,2-fachen der Durchschlagsspannung entspricht. In Abhängigkeit von einer Strömungsgeschwindigkeit des Gasstroms 7 durch die Vorrichtung 1 wird darüber hinaus die an die Anschlüsse 13 angelegte Stromstärke angepasst. Wie bereits zuvor erwähnt, ist die Erfindung nicht auf die Ausführungsform beschränkt, bei welcher an die Emissionselektroden 11 die Gleichspannung angelegt wird. So kann die Gleichspannung in alternativen Ausführungsformen der Abscheidevorrichtung 1 an die Gegenelektrode 9 angelegt werden und die Emissionselektroden 11 an Masse gelegt werden. For this purpose are within the separator 1 a first electrode in the form of a counter electrode 9 and a plurality of second electrodes in the form of emission electrodes 11 arranged. The gas stream runs here 7 substantially perpendicular to a normal direction N of the counter electrode 9 , By means of electrical connections 13 gets to the emission electrodes 11 applied a DC voltage which is higher than a breakdown voltage, in particular corresponds to at least 1.2 times the breakdown voltage. Depending on a flow velocity of the gas flow 7 through the device 1 Beyond that the to the connections 13 applied current adjusted. As already mentioned above, the invention is not limited to the embodiment in which the emission electrodes 11 the DC voltage is applied. Thus, the DC voltage in alternative embodiments of the separation device 1 to the counter electrode 9 be applied and the emission electrodes 11 to be grounded.

Das Anlegen der Spannung an die Anschlüsse 13 ermöglicht es, dass ein Niedrigenergieplasma zwischen den Emissionselektroden 11 und der Gegenelektrode 9 gezündet wird. Dieses Plasma bewirkt, dass in dem Gasstrom 7 enthaltene Verunreinigungen in Richtung der Gegenelektrode 9 beschleunigt werden. Somit sammeln sich die Verunreinigungen im Bereich der Gegenelektrode 9, während der Rest des Gasstroms durch die Austrittsleitung 5 die Vorrichtung verlässt. Applying the voltage to the terminals 13 allows a low energy plasma between the emission electrodes 11 and the counter electrode 9 is ignited. This plasma causes in the gas stream 7 contained impurities in the direction of the counter electrode 9 be accelerated. Thus, the impurities accumulate in the region of the counter electrode 9 while the rest of the gas flow through the outlet line 5 the device leaves.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Gegenelektrode 9 derartig ausgebildet ist, dass sie zumindest bereichsweise durchlässig für zumindest einen Teil, vorzugsweise alle, der aus dem Gasstrom 7 abgeschiedenen Verunreinigungen ist. Dies bedeutet, dass die in Richtung der Gegenelektrode 9, also parallel zu der Normalenrichtung N beschleunigten Verunreinigungen durch die Gegenelektrode 9 hindurchtreten, um in einen Sammelraum 15 einzutreten. Der Sammelraum 15 weist ein Strömungsführungselement in Form einer Schottwand 17 auf, durch die der Sammelraum 15 in Teilsammelräume 19a und 19b unterteilt wird. According to the invention, it is provided that the counterelectrode 9 is formed such that it is at least partially permeable to at least a part, preferably all, of the gas stream 7 deposited impurities. This means that towards the counter electrode 9 , So parallel to the normal direction N accelerated impurities through the counter electrode 9 go through to a collection room 15 enter. The collection room 15 has a flow guide element in the form of a bulkhead 17 on, through which the plenum 15 in sub-collection rooms 19a and 19b is divided.

Durch die Schottwand 17 wird insbesondere erreicht, dass der Gasstrom 7 in dem Bereich zwischen der Emissionselektroden 11 und Gegenelektrode 9, also dem Strömungsweg, geführt wird, insbesondere nicht, unter Umgehung des zwischen den Emissionselektroden 11 und der Gegenelektrode 9 gezündeten Plasmas, in den Sammelraum 15 eintritt, um am Ende des Sammelraums 15 wieder in den Zwischenbereich zwischen den Emissionselektroden und der Gegenelektrode, also den Strömungsweg, einzutreten. Somit wird erreicht, dass die maximal mögliche Strecke entlang des gezündeten Plasmas durch den Gasstrom durchlaufen wird und so eine bestmögliche Abscheidung der Verunreinigungen erreicht wird. Through the bulkhead 17 is achieved in particular that the gas flow 7 in the area between the emission electrodes 11 and counter electrode 9 , So the flow path, is guided, in particular not, bypassing the between the emission electrodes 11 and the counter electrode 9 ignited plasmas, into the collection room 15 Enter to the end of the collection room 15 again in the intermediate region between the emission electrodes and the counter electrode, so the flow path to enter. It is thus achieved that the maximum possible distance along the ignited plasma is passed through the gas flow and thus the best possible separation of the impurities is achieved.

Die Gegenelektrode 9 ist insbesondere zweiteilig ausgebildet. So weist die Gegenelektrode 9 einen ersten Oberflächenbereich 21 auf. Der Oberflächenbereich 21 ist in Form eines Rahmes 22 ausgebildet, wobei der Rahmen 22 eine Öffnung 23 umgibt. Innerhalb der Öffnung 23 ist ein zweiter Oberflächenbereich 24 gebildet. Dieser umfasst ein Drahtgitter 25, das insbesondere elektrisch leitend ist und vorzugsweise in den Rahmen 22 eingespannt ist. The counter electrode 9 is in particular formed in two parts. So has the counter electrode 9 a first surface area 21 on. The surface area 21 is in the form of a cream 22 formed, the frame 22 an opening 23 surrounds. Inside the opening 23 is a second surface area 24 educated. This includes a wire mesh 25 , which is in particular electrically conductive and preferably in the frame 22 is clamped.

In dem Gasstrom 7 befindliche Verunreinigungen werden daher aufgrund des zwischen den Emissionselektroden 11 und der Gegenelektrode 9, genauer dem Drahtgitter 25, gezündeten Plasma in Richtung der Gegenelektrode 9 abgelenkt und treten durch das Drahtgitter 25 in den Sammelraum 15 ein. Von dort werden die Verunreinigungen, insbesondere das abgeschiedene Öl, über eine nicht dargestellte Abführleitung, insbesondere unter Zwischenschaltung eines Ablaufventils, in den Verbrennungsmotor zurückgeführt. In the gas stream 7 Contaminants are therefore due to the between the emission electrodes 11 and the counter electrode 9 , more precisely the wire mesh 25 , ignited plasma in the direction of the counter electrode 9 distracted and step through the wire mesh 25 in the collection room 15 one. From there, the impurities, in particular the separated oil, via a discharge line, not shown, in particular with the interposition of a drain valve, returned to the engine.

In 2a ist eine Detailansicht der Vorrichtung 1 gemäß dem Ausschnitt A1 in 1 dargestellt. In 2a is a detail view of the device 1 according to the section A 1 in 1 shown.

In 2b ist eine schematische Querschnittsansicht gemäß dem Ausschnitt A2 der der 2a dargestellt. So ist zu erkennen, dass das Drahtgitter 25 durch gekreuzt verlaufende Drahtstege 26a, 26b gebildet ist. In 2 B is a schematic cross-sectional view according to the section A 2 of the 2a shown. So it can be seen that the wire mesh 25 through crossed wire webs 26a . 26b is formed.

Eine Maschenweite b, also ein Abstand zwischen benachbarten Drahtstegen 26a des Drahtgitters 25, ist so gewählt, dass sie klein im Vergleich zu einem in 2a dargestellten Abstand a der Gegenelektrode 9 zu den Emissionselektroden 11 ist, jedoch so groß, dass die Verunreinigungen oder durch Agglomeration von Verunreinigungen entstehende Ansammlungen von Verunreinigungen durch das Drahtgitter 25 hindurchtreten, ohne dieses zu verstopfen. Hierbei ist insbesondere vorgehsehen, dass die Maschengröße b dem ein- bis zweifachen der mittleren Größe der abzuscheidenen Verunreinigungen entspricht. Beispielsweise für Abmessungen sind a ungefähr 8 mm und b ungefähr 1,5 mm. A mesh size b, so a distance between adjacent wire webs 26a of the wire grid 25 , is chosen to be small compared to an in 2a shown distance a of the counter electrode 9 to the emission electrodes 11 is, however, so large that the contaminants or agglomeration of impurities resulting accumulations of impurities through the wire mesh 25 pass through without clogging it. In this case, provision is made, in particular, for the mesh size b to correspond to one to two times the average size of the impurities to be separated off. For example, for dimensions, a is about 8 mm and b is about 1.5 mm.

Überraschenderweise wurde festgestellt, dass es keiner Anpassung des Abstands der Emissionselektroden 11 relativ zueinander und der Maschengröße b bedarf. So führt ein jeweilige Versatz zwischen den Spitzen der Emissionselektroden 11 und den Drahtstegen 26a, 26b des Drahtgitters 25 nicht zu einer Beeinträchtigung der Gleichmäßigkeit des Plasmas. So ist es von größerer Bedeutung eine bestmögliche Parallelität zwischen der Gegenelektrode 9 und den Spitzen der Emissionselektroden 11 zu erzielen. Dazu ist das Drahtgitter 25 gewalzt, was in 2b dadurch erkennbar ist, dass die jeweiligen Drahtstege 26a, 26b in einer Ebene E eine gemeinsame Oberfläche des Gitters 25 bilden. Surprisingly, it was found that there is no adjustment of the spacing of the emission electrodes 11 relative to each other and the mesh size b requires. Thus, a respective offset between the tips of the emission leads 11 and the wire webs 26a . 26b of the wire grid 25 not to affect the uniformity of the plasma. So it is of greater importance a best possible parallelism between the counter electrode 9 and the tips of the emission electrodes 11 to achieve. This is the wire mesh 25 rolled what was in 2 B It can be seen that the respective wire webs 26a . 26b in a plane E a common surface of the grid 25 form.

Um darüber hinaus Spannungen innerhalb der Gegenelektrode 9 zu vermeiden, ist das Material des Oberflächenbereichs 21, also des Rahmens 22 und das Material des Drahtgitters 25, insbesondere der Drahtstege 26a, 26b, so gewählt, dass die Materialien identisch sind, insbesondere einen gleichen bzw. vergleichbaren Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen. In alternativen Ausführungsformen kann auch vorgesehen sein, dass die Materialien unterschiedlich, insbesondere unterschiedliche Ausdehnungskoeffizienten aufweisend, ausgestaltet sind und durch eine schwimmende Lagerung des Drahtgitters 25 innerhalb des Rahmens 22 Spannungen innerhalb des Drahtgitters 25 vermieden werden. Das Vermeiden dieser Spannungen ist insbesondere wichtig, um eine größtmögliche Parallelität zwischen der Oberfläche der Gegenelektrode 9, insbesondere des Drahtgitters 25, und den Spitzen der Emissionselektroden 11 sicherzustellen. Würde eine Parallelität dadurch nicht sichergestellt sein, dass die Oberfläche des Drahtgitters 25 nicht plan ist, also nicht in einer Ebene E verläuft, so würde das Plasma nur punktuell gezündet werden, insbesondere in dem Bereich, in dem ein minimaler Abstand zwischen den Emissionselektroden 11 und der Gegenelektrode 9 besteht. Zur Vergleichmäßigung der Parallelität ist insbesondere vorgesehen, dass das Drahtgitter 25 gewalzt ist, um eine bestmögliche Ebenheit der Oberfläche zu erreichen.In addition, voltages within the counter electrode 9 to avoid is the material of the surface area 21 So the frame 22 and the material of the wire mesh 25 , in particular the wire webs 26a . 26b , chosen so that the materials are identical, in particular have a same or comparable thermal expansion coefficient. In alternative embodiments, it may also be provided that the materials are designed differently, in particular having different coefficients of expansion, and by a floating mounting of the wire grid 25 within the frame 22 Tensions within the wire grid 25 be avoided. Avoiding these stresses is particularly important to maximize parallelism between the surface of the counter electrode 9 , in particular of the wire grid 25 , and the tips of the emission electrodes 11 sure. If a parallelism would not be ensured by the fact that the surface of the wire mesh 25 is not plan, so not in one Level E runs, so the plasma would be fired only selectively, especially in the area in which a minimum distance between the emission electrodes 11 and the counter electrode 9 consists. To even out the parallelism is provided in particular that the wire mesh 25 rolled in order to achieve the best possible flatness of the surface.

In alternativen Ausführungsformen kann auch vorgesehen sein, dass die Gegenelektrode durch einen ersten Oberflächenbereich gebildet ist, in dem mittels Bohren bzw. Laserschweißen Öffnungen eingebracht sind. In alternative embodiments, it can also be provided that the counterelectrode is formed by a first surface area in which openings are introduced by means of drilling or laser welding.

Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die Ausbildung einer planen Gegenelektrode 9 beschränkt. So ist in einer alternativen Ausführungsform, die insbesondere in 3 dargestellt ist, eine hiervon abweichende Oberflächenform der Gegenelektrode 9 vorgesehen. However, the present invention is not based on the formation of a planar counterelectrode 9 limited. Thus, in an alternative embodiment, in particular in 3 is shown, a deviating surface shape of the counter electrode 9 intended.

3 und 4 zeigen eine schematische Querschnittsansicht einer Abscheidevorrichtung 101. Diejenigen Elemente, die denjenigen der Abscheidevorrichtung 1 entsprechen, tragen die gleichen Bezugszeichnen, allerdings um 100 erhöht. 3 and 4 show a schematic cross-sectional view of a separator 101 , The elements corresponding to those of the separator 1 the same reference signs, however, shall be used 100 elevated.

Wie sich insbesondere aus 4, die eine Querschnittsansicht der Vorrichtung 101 aus Richtung B in 3 darstellt, ergibt, ist eine Gegenelektrode 109 in Form eines Halbkreises ausgebildet. Dieser Halbkreis wird von entsprechenden Emissionselektroden 111, die ebenfalls auf einer Halbkreisbahn angeordnet sind, umgeben. Durch die Gegenelektrode 109 wird ein Sammelraum 115 begrenzt. Mit dieser Anordnung wird erreicht, dass eine im Wesentlichen kreisförmige Gasströmung 107 in eine zylindermantelförmige Strömung umgewandelt wird, was im Vergleich zu einer Umwandlung von einer kreisförmigen in eine rechteckförmige Strömung zu geringeren Verwirbelungen führt. Dadurch wird erreicht, dass der Abscheidegrad noch weiter erhöht wird. As can be seen in particular 4 , which is a cross-sectional view of the device 101 from direction B in 3 represents, is a counter electrode 109 formed in the form of a semicircle. This semicircle is made by corresponding emission electrodes 111 , which are also arranged on a semicircular path, surrounded. Through the counter electrode 109 becomes a collection room 115 limited. With this arrangement it is achieved that a substantially circular gas flow 107 is converted into a cylinder jacket-shaped flow, resulting in less turbulence compared to a conversion from a circular to a rectangular flow. This ensures that the degree of separation is further increased.

Darüber hinaus ist die vorliegende Erfindung auch nicht auf eine horizontale Anordnung der Vorrichtung 1 bzw. 101 beschränkt. Insbesondere muss der Gasstrom 7 bzw. 107 nicht zwangsläufig horizontal verlaufen. In 5 ist eine alternative Ausführungsform einer weiteren Abscheidevorrichtung 201 dargestellt. Diejenigen Elemente der Abscheidevorrichtung 201, die diejenigen der Abscheidevorrichtung 1 entsprechen, tragen die gleichen Bezugszeichen, allerdings um 200 erhöht.Moreover, the present invention is not limited to a horizontal arrangement of the device 1 respectively. 101 limited. In particular, the gas flow needs 7 respectively. 107 not necessarily horizontal. In 5 is an alternative embodiment of another separation device 201 shown. Those elements of the separator 201 , those of the separator 1 correspond, bear the same reference numerals, but to 200 elevated.

In der in 5 dargestellten Abwandlung sind im Vergleich zu der Abscheidevorrichtung 101 die Emissionselektroden 211 in einem von der Gegenelektrode 209 begrenzten Innenraum angeordnet. Dies bedeutet, dass der durch die Abscheidevorrichtung 201 verlaufende Gasstrom 207 dadurch gereinigt wird, dass die Verunreinigungen nach außen in Richtung der Gegenelektrode 209 durch das zwischen den Emissionselektroden 211 und der Gegenelektrode 209 gezündete Plasma bewegt werden. Selbstverständlich könnten die Emissionselektroden ähnlich der Abscheidevorrichtung 101 auf einer Außenseite der Gegenelektrode 209 angeordnet werden und durch den Innenraum der Gegenelektrode 209 der Sammelraum gebildet werden. In the in 5 illustrated modification are compared to the separator 101 the emission electrodes 211 in one of the counterelectrode 209 limited interior space arranged. This means that passing through the separator 201 running gas stream 207 is thereby cleaned, that the impurities outwards in the direction of the counter electrode 209 through that between the emission electrodes 211 and the counter electrode 209 ignited plasma to be moved. Of course, the emission electrodes could be similar to the deposition device 101 on an outside of the counter electrode 209 be arranged and through the interior of the counter electrode 209 the collection space are formed.

Der in 5 dargestellte Aufbau führt jedoch zu der Möglichkeit, einen kreisförmigen Gasstrom unverändert durch die Vorrichtung 201 hindurchzuführen, insbesondere ohne zusätzliche Verwirbelungen, die durch eine Umwandlung der Form des Gasstroms impliziert werden könnten.The in 5 However, construction shown leads to the possibility of a circular gas flow unchanged by the device 201 in particular without additional turbulence that could be implied by a conversion of the shape of the gas stream.

Die aus dem vertikal verlaufenden Gasstrom 207 in horizontaler Richtung abgeleiteten Verunreinigungen treten durch die Gegenelektrode 209 in den Sammelraum 215 ein. Um die Verunreinigungen von der Gegenelektrode 209 wegzuführen, sind innerhalb des Sammelraums 215 zusätzliche Strömungsführungselemente in Form von Ableit-Elementen 227 angeordnet. Diese bewirken, dass die aus dem Gasstrom 207 abgeschiedenen Verunreinigungen zu einem Ablauf 229 geleitet werden. Im Gegensatz zu den Abscheidevorrichtungen 1 und 101 ist die Gegenelektrode 209 bei der Abscheidevorrichtung 201 durch eine poröse, schaumförmige Wand 231 gebildet. The from the vertical gas flow 207 In the horizontal direction derived impurities pass through the counter electrode 209 in the collection room 215 one. To remove the contaminants from the counter electrode 209 are away within the plenum 215 additional flow guide elements in the form of discharge elements 227 arranged. These cause that from the gas stream 207 deposited impurities to a drain 229 be directed. In contrast to the separation devices 1 and 101 is the counter electrode 209 at the separator 201 through a porous, foam-shaped wall 231 educated.

Die in der 5 dargestellte Abscheidevorrichtung 201 kann ferner in unterschiedlichen Varianten ausgebildet sein. So sind in 5a bis 5c jeweilige Querschnittsansichten der Abscheidevorrichtung 201 aus Richtung C dargestellt. The in the 5 illustrated separating device 201 can also be designed in different variants. So are in 5a to 5c respective cross-sectional views of the separator 201 shown from direction C.

In einer ersten Variante, die in 5a dargestellt ist, weist die Abscheidevorrichtung 201 eine im Wesentlichen zylinderförmige Querschnittsform auf. Insbesondere ist die Gegenelektrode 209 bzw. die Wand 231 in Form eines zylindermantelförmigen Elementes ausgebildet, auf dessen Innenseite die Emissionselektroden 211 angeordnet sind, während auf der Außenseite ein zylindermandelförmiger Sammelraum 215 ausgebildet wird.In a first variant, the in 5a is shown, the deposition device 201 a substantially cylindrical cross-sectional shape. In particular, the counter electrode 209 or the wall 231 formed in the form of a cylinder jacket-shaped element, on the inside of the emission electrodes 211 are arranged, while on the outside of a cylindrical-shaped collecting space 215 is trained.

In der in 5b dargestellten Variante weißt die Abscheidevorrichtung 201 die Querschnittsform eines regelmäßigen Polygons in Form eines Dreiecks auf. In the in 5b variant shown know the separation device 201 the cross-sectional shape of a regular polygon in the form of a triangle.

Bei der in 5c dargestellten Variante ist die Querschnittsform diejenige eines regelmäßigen Polygons in Form eines Quadrats. At the in 5c the variant shown is that of a regular polygon in the form of a square.

Die Ausgestaltung der Querschnittsform der Abscheidevorrichtung 201 ermöglicht es, den Strömungsverlauf des Gasstroms 207 an die Querschnittsform entsprechender Ab- bzw. Zuleitungen anzupassen. Durch diese Anpassung werden zusätzliche Verwirbelungen innerhalb des Gasstroms 207 im Bereich der Abscheidevorrichtung 201 vermieden, insbesondere eine gleichmäßige Strömung im Bereich des gezündeten Plasmas zwischen den Emissionselektroden und der Gegenelektrode 209 erreicht. Durch diese Maßnahme wird der Abscheidegrad zusätzlich optimiert. The embodiment of the cross-sectional shape of the separator 201 allows the Flow of the gas flow 207 to adapt to the cross-sectional shape of appropriate discharge or supply lines. This adaptation creates additional turbulence within the gas flow 207 in the area of the separation device 201 avoided, in particular a uniform flow in the area of the ignited plasma between the emission electrodes and the counter electrode 209 reached. By this measure, the separation efficiency is further optimized.

In die 6a bis 6c sind schematische Querschnittsansichten von drei Alternativen entsprechender Gegenelektroden 309, 309‘ und 309‘‘ gezeigt. Diese Gegenelektroden 309, 309‘ und 309‘‘, insbesondere die in den 6a bis 6c dargestellte Querschnittsformen mit sinusförmigen Vertiefungen 311 und Plateaus (6a), mit einer Sägezahnform (6b) und einer Rechteckform (6c), kann bei jeder der Gegenelektroden 9, 109, 209 der voran beschriebenen Abscheidevorrichtung 1, 101, 201 realisiert sein. Bei den Gegenelektroden 309, 309‘, 309‘‘ sind Strömungsführungselemente in Form von Vertiefungen 311, 311‘, 311‘‘ ausgebildet. Diese Vertiefungen 311, 311‘, 311‘‘ sind insbesondere zwischen durch die Vertiefungen entstehende Erhebungen 313, 313‘, 313‘‘ gebildet. Durch die Erhebungen 313, 313‘, 313‘‘ wird die jeweilige Ebene E der Gegenelektrode 309, 309‘ und 309‘‘ gebildet. Die Erhebungen 313, 313‘ und 313‘‘ sind in Form von Plateaus ausgebildet, denen gegenüber die jeweiligen Emissionselektroden 315, 315‘, 315‘‘ angeordnet sind. Dadurch wird erreicht, dass der Abstand a zwischen der Ebene E und den jeweiligen Emissionselektroden 315, 315‘, 315‘‘ über die Fläche, insbesondere die Ebene E der jeweiligen Gegenelektrode 309, 309‘, 309‘‘ im Wesentlichen konstant ist und so ein gleichmäßiges Plasma ausgebildet werden kann.In the 6a to 6c FIG. 15 are schematic cross-sectional views of three alternatives of corresponding counter electrodes. FIG 309 . 309 ' and 309 '' shown. These counter electrodes 309 . 309 ' and 309 '' , especially those in the 6a to 6c illustrated cross-sectional shapes with sinusoidal depressions 311 and plateaus ( 6a ), with a sawtooth shape ( 6b ) and a rectangular shape ( 6c ), can with each of the counter electrodes 9 . 109 . 209 the above-described separation device 1 . 101 . 201 be realized. At the counter electrodes 309 . 309 ' . 309 '' are flow guide elements in the form of depressions 311 . 311 ' . 311 '' educated. These depressions 311 . 311 ' . 311 '' are in particular between raised by the wells surveys 313 . 313 ' . 313 '' educated. Through the surveys 313 . 313 ' . 313 '' becomes the respective plane E of the counter electrode 309 . 309 ' and 309 '' educated. The surveys 313 . 313 ' and 313 '' are formed in the form of plateaus, opposite which the respective emission electrodes 315 . 315 ' . 315 '' are arranged. This ensures that the distance a between the plane E and the respective emission electrodes 315 . 315 ' . 315 '' over the surface, in particular the plane E of the respective counter electrode 309 . 309 ' . 309 '' is substantially constant and so a uniform plasma can be formed.

Die Vertiefungen 311, 311‘, 311‘‘ wirken insofern als Strömungsführungselemente, als dass aus einem Gasstrom abgeschiedene Verunreinigungen von den Erhebungen bzw. Plateaus 313, 313‘, 313‘‘ in die Vertiefung 311, 311‘, 311‘‘ abgeführt werden, um sich dort zu sammeln bzw. von dort in einen in den 6a bis 6c nicht dargestellten Sammelraum abzufließen. Dabei ist bevorzugt, dass die Gegenelektroden 309, 309‘, 309‘‘ im Bereich der Vertiefungen 311, 311‘, 311‘‘ durchlässig für den Verunreinigungen sind, während sie im Bereich der Erhebungen 313, 313‘, 313‘‘ undurchlässig für die Verunreinigungen sind. Dadurch wird erreicht, dass ein bestmöglich ausgeformter, symmetrischer Plasmakegel im Bereich der Erhebungen 313, 313‘, 313‘‘ ausgebildet werden kann, um eine effektive Abscheidung bzw. Ablenkung der Verunreinigungen zu erzielen und andererseits in dem Zwischenbereich, nämlich im Bereich der Vertiefungen 311, 311‘, 311‘‘, eine bestmögliche Abführung der Verunreinigungen erfolgen kann, ohne das die Verunreinigungen mit dem Gasstrom wieder mitgerissen werden. The wells 311 . 311 ' . 311 '' act insofar as flow guide elements, as that of a gas stream deposited impurities from the elevations or plateaus 313 . 313 ' . 313 '' into the depression 311 . 311 ' . 311 '' be removed to collect there or from there into one in the 6a to 6c Drain collection space, not shown. It is preferred that the counterelectrodes 309 . 309 ' . 309 '' in the area of the depressions 311 . 311 ' . 311 '' are permeable to the impurities while they are in the area of the elevations 313 . 313 ' . 313 '' impermeable to the contaminants. This ensures that the best possible shaped, symmetrical plasma cone in the area of the surveys 313 . 313 ' . 313 '' can be formed in order to achieve an effective separation of the impurities and on the other hand in the intermediate region, namely in the region of the recesses 311 . 311 ' . 311 '' , An optimal removal of impurities can be done without the impurities are entrained with the gas flow again.

Im Gegensatz zu den in den 6a bis 6c dargestellten Alternativen kann auch nur eine Oberfläche der Gegenelektrode und nicht, wie in 6a bis 6c dargestellt, die gesamte Gegenelektrode eine Strukturierung aufweisen. Unlike in the 6a to 6c Only one surface of the counter electrode and not, as shown in 6a to 6c shown, the entire counter electrode have a structuring.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Ansprüchen und in den Zeichnungen offenbarten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination wesentlich für die Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen sein. The features disclosed in the foregoing description, claims and drawings may be material to the invention in its various embodiments, both individually and in any combination.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1, 101, 2011, 101, 201
Abscheidevorrichtungseparating
3, 103, 2033, 103, 203
Eintrittsleitung inlet line
5, 105, 2055, 105, 205
Austrittsleitung exit line
7, 107, 2077, 107, 207
Gasstrom gas flow
9, 109, 2099, 109, 209
Gegenelektrode counter electrode
11, 111, 21111, 111, 211
Emissionselektrode emitting electrode
13, 21313, 213
Anschluss connection
15, 115, 21515, 115, 215
Sammelraum plenum
17, 11717, 117
Schottwand bulkhead
19a, 19b, 119a, 119b19a, 19b, 119a, 119b
Teilsammelraum Part plenum
2121
Oberflächenbereich surface area
2222
Rahmen frame
2323
Öffnung opening
2424
Oberflächenbereich  surface area
25, 12525, 125
Drahtgitter wire mesh
26a, 26b26a, 26b
Drahtsteg wire type
227227
Ableitelement diverter
229229
Ablauf procedure
231231
Poröse Wand Porous wall
309, 309‘, 309‘‘309, 309 ', 309' '
Gegenelektrode counter electrode
311, 311‘, 311‘‘311, 311 ', 311' '
Vertiefung deepening
313, 313‘, 313‘‘313, 313 ', 313' '
Erhebung survey
315, 315‘, 315‘‘315, 315 ', 315' '
Emissionselektrode emitting electrode
A1, A2A1, A2
Ausschnitt neckline
BB
Richtung direction
CC
Richtung direction
Ee
Ebene level
NN
Normalenrichtung normal direction
aa
Abstand distance
b b
Maschenweitemesh

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • WO 2008/145251 A1 [0002, 0004] WO 2008/145251 A1 [0002, 0004]

Claims (18)

Gegenelektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) für eine Vorrichtung (1, 101, 201) zum Abscheiden von flüssigen und/oder partikelförmigen Verunreinigungen aus einem Gasstrom (7, 107, 207), in der zwischen zumindest einer ersten, als die Gegenelektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) wirkenden Elektrode und einer zweiten, als Emissionselektrode (11, 111, 211, 315, 315‘, 315‘‘) wirkenden und eine in Richtung der ersten Elektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) gerichteten Spitze aufweisenden Elektrode ein Strömungsweg des Gasstroms (7, 107, 207) verläuft und zwischen der ersten Elektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) und der zweiten Elektrode (11, 111, 211, 315, 315‘, 315‘‘) eine die Durchschlagspannung überschreitende Gleichspannung zur Bildung eines stabilen Niedrigenergieplasmas anlegbar ist, wobei die Gegenelektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) derartig ausgebildet und anordbar ist, dass der Gasstrom (7, 107, 209) zumindest teilweise über die Gegenelektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) leitbar ist ohne durch die Gegenelektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) hindurchzutreten, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (9, 109, 209, 309, 309‘, 309‘‘) ferner zumindest bereichsweise durchlässig für zumindest einen Teil der aus dem Gasstrom (7, 107, 207) abgeschiedenen Verunreinigungen ist.Counterelectrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ) for a device ( 1 . 101 . 201 ) for separating liquid and / or particulate contaminants from a gas stream ( 7 . 107 . 207 ), in between at least a first, as the counter electrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ) acting electrode and a second, as an emitting electrode ( 11 . 111 . 211 . 315 . 315 ' . 315 '' ) and one in the direction of the first electrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ) directed tip having a flow path of the gas stream ( 7 . 107 . 207 ) and between the first electrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ) and the second electrode ( 11 . 111 . 211 . 315 . 315 ' . 315 '' ) a direct voltage exceeding the breakdown voltage can be applied to form a stable low-energy plasma, the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ) is designed and can be arranged such that the gas stream ( 7 . 107 . 209 ) at least partially via the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ) is conductive without passing through the counter electrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ), characterized in that the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 . 309 . 309 ' . 309 '' ) at least partially permeable to at least part of the gas stream ( 7 . 107 . 207 ) is deposited impurities. Gegenelektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (9, 109, 209) im Wesentlichen flächig ausgebildet ist und/oder der Gasstrom (7, 107, 207) im Wesentlichen senkrecht zu einer Normalenrichtung (N) zumindest eines Bereichs der Gegenelektrode (9, 109, 209) über die Gegenelektrode (9, 109, 209) leitbar ist.Counter electrode according to claim 1, characterized in that the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 ) is substantially flat and / or the gas stream ( 7 . 107 . 207 ) substantially perpendicular to a normal direction (N) of at least one region of the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 ) via the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 ) is conductive. Gegenelektrode nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (9, 109, 209) einen ersten Oberflächenbereich (21) aufweist, in dem zumindest eine Öffnung (23), vorzugsweise eine Mehrzahl von Öffnungen, insbesondere in Form eines Schlitzes, einer Bohrung, einer Aussparung (23) und/oder einer Ausstanzung ausgebildet ist bzw. sind. Counter electrode according to claim 1 or 2, characterized in that the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 ) a first surface area ( 21 ), in which at least one opening ( 23 ), preferably a plurality of openings, in particular in the form of a slot, a bore, a recess ( 23 ) and / or a punched is or are. Gegenelektrode nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch zumindest einen zweiten Oberflächenbereich (24, 231), zumindest bereichsweise umfassend ein für zumindest einen Teil der Verunreinigungen im wesentlichen durchlässiges, vorzugsweise poröses, insbesondere zumindest bereichsweise mikroporöses, mesoporöses und/oder makroporöses, und/oder elektrisch leitfähiges, Material (25, 231), wobei vorzugsweise der zweite Oberflächenbereich (231) zumindest bereichsweise durch den ersten Oberflächenbereich (231) gebildet ist und/oder der zweite Oberflächenbereich (24) zumindest bereichsweise in der Öffnung (23) des ersten Oberflächenbereichs (21) angeordnet ist und/oder das Material des zweiten Oberflächenbereichs (24, 231) ein Gitter (25), ein Geflecht, ein gewalztes Material, ein gesintertes Material, ein schaumförmiges Material und/oder eine Lochwand umfasst.Counterelectrode according to one of the preceding claims, characterized by at least one second surface area ( 24 . 231 ), at least partially comprising at least a portion of the impurities substantially permeable, preferably porous, in particular at least partially microporous, mesoporous and / or macroporous, and / or electrically conductive material ( 25 . 231 ), wherein preferably the second surface area ( 231 ) at least partially through the first surface area ( 231 ) and / or the second surface area ( 24 ) at least partially in the opening ( 23 ) of the first surface area ( 21 ) and / or the material of the second surface area ( 24 . 231 ) a grid ( 25 ), a braid, a rolled material, a sintered material, a foam-like material and / or a perforated wall. Gegenelektrode nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (23) des ersten Oberflächenbereichs (21) und/oder die Poren des zweiten Oberflächenbereichs (25, 231) mittels Stanzen, Schneiden, Laserschneiden, Bohren, Laserbohren und/oder Fräsen erzeugbar ist bzw. sind.Counter electrode according to claim 3 or 4, characterized in that the opening ( 23 ) of the first surface area ( 21 ) and / or the pores of the second surface area ( 25 . 231 ) is by punching, cutting, laser cutting, drilling, laser drilling and / or milling generated or are. Gegenelektrode nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (9, 109, 209) zumindest bereichsweise eine plane, zylindermantelförmige, kegelmantelförmige und/oder kegelstumpfmantelförmige Fläche, insbesondere eines Zylinders, Kegels und/oder Kegelstumpfs mit einer kreisförmigen, elliptischen, und/der polygonen, vorzugsweise regelmäßig polygonen, wie dreieckigen, quadratischen, fünfeckigen, sechseckigen, siebeneckigen, achteckigen, neuneckigen, zehneckigen und/oder zwölfeckigen Querschnittsform, darbietet, die der zweiten Elektrode (11, 111, 211) zugewandte Oberfläche der Gegenelektrode (9, 109, 209), vorzugweise des ersten Oberflächenbereichs (21) und/oder des zweiten Oberflächenbereichs (24), zumindest bereichsweise im wesentlichen eben ist, vorzugsweise entlang der dargebotenen Fläche, die der zweiten Elektrode (315, 315‘, 315‘‘) zugewandte Oberfläche der Gegenelektrode (9309, 309‘, 309‘‘) zumindest eine Vertiefung (311, 311‘, 311‘‘), vorzugsweise eine Vielzahl von Vertiefungen (311, 311‘, 311‘‘), aufweist, und/oder die Oberfläche der Gegenelektrode und/oder die Gegenelektrode (309, 309‘, 309‘‘), insbesondere in einer durch die Normalenrichtung (N) und die Richtung des Strömungswegs aufgespannte Ebene und/oder einer durch die Normalenrichtung (N) und eine Richtung senkrecht zur Richtung des Strömungswegs aufgespannte Ebene, profilierte Querschnittsform aufweist, wie gewellt, sägezahnförmig, sinusförmig, cosinusförmig, parabelförmig und/oder eine Kombination von, insbesondere bereichsweise plateauförmigen, Erhebungen (313, 313‘, 313‘‘) und Vertiefungen (311, 311‘, 311‘‘) und/oder Sicken und/oder die einer Vielzahl von zweiten Elektroden (11, 111, 211) zugewandte Oberfläche der Gegenelektrode (9, 109, 209) einen im wesentlichen gleichmäßigen Abstand (a) zu den der Gegenelektrode (9, 109, 209) zugewandten Enden der einzelnen zweiten Elektroden (11, 111, 211) aufweist. Counter electrode according to one of the preceding claims, characterized in that the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 ) at least in regions a plane, cylindrical jacket-shaped, cone-shaped and / or truncated cone-shaped surface, in particular a cylinder, cone and / or truncated cone with a circular, elliptical, and / or polygons, preferably regular polygons, such as triangular, square, pentagonal, hexagonal, heptagonal, octagonal, nine-cornered, decagonal and / or dodecagonal cross-sectional shape, that of the second electrode ( 11 . 111 . 211 ) facing surface of the counter electrode ( 9 . 109 . 209 ), preferably the first surface area ( 21 ) and / or the second surface area ( 24 ) is at least partially substantially planar, preferably along the presented surface, that of the second electrode ( 315 . 315 ' . 315 '' ) facing surface of the counter electrode (9309, 309 ' . 309 '' ) at least one depression ( 311 . 311 ' . 311 '' ), preferably a plurality of depressions ( 311 . 311 ' . 311 '' ), and / or the surface of the counter electrode and / or the counter electrode ( 309 . 309 ' . 309 '' ), in particular in a plane spanned by the normal direction (N) and the direction of the flow path and / or a plane spanned by the normal direction (N) and a direction perpendicular to the direction of the flow path, profiled cross-sectional shape, such as wavy, sawtooth, sinusoidal, Cosinusförmig, parabolic and / or a combination of, in particular partially plateau-shaped surveys ( 313 . 313 ' . 313 '' ) and depressions ( 311 . 311 ' . 311 '' ) and / or beads and / or those of a plurality of second electrodes ( 11 . 111 . 211 ) facing surface of the counter electrode ( 9 . 109 . 209 ) a substantially uniform distance (a) to the counter electrode ( 9 . 109 . 209 ) facing ends of the individual second electrodes ( 11 . 111 . 211 ) having. Gegenelektrode nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass bei Ausbildung zumindest einer Vertiefung (311, 311‘, 311‘‘) die Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder des zweiten Oberflächenbereichs zumindest bereichsweise im Bereich der Vertiefung (311, 311‘, 311‘‘) ausgebildet ist, ein im Bezug auf die Vertiefung erhöhter Bereich der Oberfläche, insbesondere die Erhebung (313, 313‘, 313‘‘), der Gegenelektrode (309, 309‘, 309‘‘) und/oder ein erhöhter Bereich der Gegenelektrode (309, 309‘, 309‘‘) für zumindest einen Teil, vorzugsweise alle Verunreinigungen, undurchlässig ist und/oder der erhöhte Bereich, insbesondere die Erhebung (313, 313‘, 313‘‘), gegenüberliegend der Emissionselektrode (315, 315‘, 315‘‘) ausbildbar ist. Counterelectrode according to claim 6, characterized in that when at least one depression ( 311 . 311 ' . 311 '' ) the opening of the first surface area and / or the second surface area at least in regions in the region of the depression ( 311 . 311 ' . 311 '' ) is formed, a in terms of deepening increased area of the surface, in particular the survey ( 313 . 313 ' . 313 '' ), the counterelectrode ( 309 . 309 ' . 309 '' ) and / or a raised area of the counterelectrode ( 309 . 309 ' . 309 '' ) is impermeable to at least a part, preferably all impurities, and / or the raised area, in particular the elevation ( 313 . 313 ' . 313 '' ), opposite the emission electrode ( 315 . 315 ' . 315 '' ) can be formed. Gegenelektrode nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (a) zwischen der der zweiten Elektrode (11, 111, 211) zugewandten Oberfläche der Gegenelektrode (9, 109, 209) und des der Gegenelektrode (9, 109, 209) zugewandten Endes der zweiten Elektrode (11, 111, 211) größer als eine geometrische Ausdehnung (b), insbesondere eine geometrische Ausdehnung senkrecht zur Normalenrichtung (N) der Gegenelektrode, der Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder der Poren, insbesondere einer Maschenweite (b) eines Gitters (25), des zweiten Oberflächenbereichs (24) ist, vorzugsweise ein Vielfaches der Ausdehnung (b) beträgt. Counter electrode according to one of claims 3 to 7, characterized in that the distance (a) between that of the second electrode ( 11 . 111 . 211 ) facing surface of the counter electrode ( 9 . 109 . 209 ) and that of the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 ) facing the end of the second electrode ( 11 . 111 . 211 ) greater than a geometric extent (b), in particular a geometric extension perpendicular to the normal direction (N) of the counter electrode, the opening of the first surface area and / or the pores, in particular a mesh size (b) of a grid ( 25 ), the second surface area ( 24 ), preferably a multiple of the extent (b) is. Gegenelektrode nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine geometrische Ausdehnung (b), insbesondere eine geometrische Ausdehnung (b) senkrecht zur Normalenrichtung (N) der Gegenelektrode (9), der Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder der Poren, insbesondere eine Maschenweite (b) eines Gitters (25), des zweiten Oberflächenbereichs (24) größer als ein mittlerer Durchmesser der abzuscheidenden Verunreinigungen und/oder einer durch Agglomeration von Verunreinigungen entstehende Ansammlung von Verunreinigungen ist, vorzugsweise nicht mehr als ein dreifaches, vorzugsweise nicht mehr als ein zweifaches, noch bevorzugter nicht mehr als ein anderthalbfaches des mittleren Durchmessers beträgt.Counter electrode according to one of claims 3 to 8, characterized in that a geometric extension (b), in particular a geometric extension (b) perpendicular to the normal direction (N) of the counter electrode ( 9 ), the opening of the first surface area and / or the pores, in particular a mesh size (b) of a grid ( 25 ), the second surface area ( 24 ) is greater than a mean diameter of the impurities to be deposited and / or an accumulation of impurities resulting from agglomeration of impurities, preferably not more than a threefold, preferably not more than a twofold, more preferably not more than one and a half times the median diameter. Gegenelektrode nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (9), insbesondere der erste Oberflächenbereich und/oder der zweite Oberflächenbereich (24, 25), geebnet ist, vorzugsweise mittels Walzen und/oder Pressen.Counter electrode according to one of the preceding claims, characterized in that the counterelectrode ( 9 ), in particular the first surface area and / or the second surface area ( 24 . 25 ), preferably by means of rolling and / or pressing. Gegenelektrode nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (9) Materialen mit im wesentlichen gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten umfasst, insbesondere der Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials des ersten Oberflächenbereichs (21) im wesentlichen gleich dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des zweiten Oberflächenbereichs (25) ist, und/oder Bereiche der Gegenelektrode mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten, insbesondere der erste Oberflächenbereich und der zweite Oberflächenbereich, beweglich relativ zueinander, insbesondere schwimmend und/oder mittels zumindest einer Dehnungsfuge voneinander teilweise mechanisch getrennt, gelagert sind. Counter electrode according to one of the preceding claims, characterized in that the counterelectrode ( 9 ) Comprises materials having substantially the same coefficients of thermal expansion, in particular the thermal expansion coefficient of the material of the first surface region ( 21 ) substantially equal to the thermal expansion coefficient of the second surface area ( 25 ), and / or regions of the counterelectrode with different thermal expansion coefficients, in particular the first surface region and the second surface region, are movable relative to one another, in particular floating and / or partially mechanically separated from one another by means of at least one expansion joint. Gegenelektrode nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Oberflächengebiet der Gegenelektrode, insbesondere ein Oberflächengebiet außerhalb eines zwischen der Gegenelektrode und der Emissionselektrode ausgebildeten Plasmas, wie eines Plasmakegels, derartig behandelt ist, vorzugsweise mittels einer Beschichtung, mittels Ausbildung einer Nanostruktur, mittels Ätzen, mittels Sputtern und/oder mittels Abtragen, dass ein Anhaften zumindest eines Teils der Verunreinigungen an der Gegenelektrode, ein Zusetzen der Öffnungen und/oder Poren mit zumindest einem Teil der Verunreinigungen und/oder eine Adhäsion zumindest eines Teils der Verunreinigungen an der Gegenelektrode verändert ist, insbesondere reduziert ist. Counter electrode according to one of the preceding claims, characterized in that at least one surface area of the counter electrode, in particular a surface area outside of a formed between the counter electrode and the emission electrode plasma, such as a plasma gel, is treated in such a way, preferably by means of a coating, by means of formation of a nanostructure, by means Etching, by sputtering and / or by ablation, that an adhesion of at least a portion of the impurities to the counter electrode, clogging of the openings and / or pores with at least a portion of the impurities and / or an adhesion of at least a portion of the impurities on the counter electrode changed is, in particular, reduced. Vorrichtung (1, 101, 201) zum Abscheiden von flüssigen und/oder partikelförmigen Verunreinigungen aus einem Gasstrom (7, 107, 207), insbesondere von Öltröpfchen, Rußteilen oder Staub, vorzugsweise aus dem aus einem Kurbelgehäuse eines Verbrennungsmotors stammenden Blow-by-Gasstroms (7, 107, 207), umfassend zumindest eine erste, als Gegenelektrode wirkende Elektrode und zumindest eine zweite, als Emissionselektrode (11, 111, 211) wirkende und eine in Richtung der ersten Elektrode (9, 109, 209) gerichtete Spitze aufweisende Elektrode (11, 111, 211), wobei zwischen der ersten Elektrode (9, 109, 209) und zweiten Elektrode (11, 111, 211) ein Strömungsweg des Gasstroms (7, 107, 207) verläuft und zwischen der ersten Elektrode (9, 109, 209) und der zweiten Elektrode (11, 111, 211) eine die Durchschlagspannung überschreitende Gleichspannung zur Bildung eines stabilen Niedrigenergieplasmas anlegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrode als Gegenelektrode (9, 109, 209) nach einem der vorangehenden Ansprüche ausgebildet ist. Contraption ( 1 . 101 . 201 ) for separating liquid and / or particulate contaminants from a gas stream ( 7 . 107 . 207 ), in particular oil droplets, soot particles or dust, preferably from the blow-by gas stream originating from a crankcase of an internal combustion engine (US Pat. 7 . 107 . 207 ), comprising at least one first electrode acting as counterelectrode and at least one second, as emission electrode ( 11 . 111 . 211 ) and one in the direction of the first electrode ( 9 . 109 . 209 ) directed tip electrode ( 11 . 111 . 211 ), wherein between the first electrode ( 9 . 109 . 209 ) and second electrode ( 11 . 111 . 211 ) a flow path of the gas stream ( 7 . 107 . 207 ) and between the first electrode ( 9 . 109 . 209 ) and the second electrode ( 11 . 111 . 211 ) a DC voltage exceeding the breakdown voltage can be applied to form a stable low-energy plasma, characterized in that the first electrode is used as the counterelectrode ( 9 . 109 . 209 ) is designed according to one of the preceding claims. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass auf der der zweiten Elektrode (11, 111, 211) abgewandten Seite der ersten Elektrode (9, 109, 209) zumindest ein Sammelraum (15, 115, 215) für die Verunreinigungen ausgebildet ist. Apparatus according to claim 13, characterized in that on the second electrode ( 11 . 111 . 211 ) facing away from the first electrode ( 9 . 109 . 209 ) at least one collecting space ( 15 . 115 . 215 ) is formed for the impurities. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein, insbesondere von der Gegenelektrode und/oder der Emissionselektrode zumindest teilweise umfasstes und/oder zumindest teilweise durch die Gegenelektrode und/oder die Emissionselektrode ausgebildetes Strömungsführungselement (17, 217, 227) in dem Sammelraum (15, 115, 215) und/oder dem Strömungsweg angeordnet ist, wobei mittels des Strömungsführungselementes (17, 117) ein Eintritt eines Teilstroms des Gasstroms (7, 107) durch die Gegenelektrode (9, 109) in den Sammelraum (17, 117) verhinderbar ist, ein in den Sammelraum (15, 115) eintretender Teilstrom des Gasstroms (7, 107) in den Strömungsweg zwischen Gegenelektrode (9, 109) und zweiter Elektrode (11, 111) zumindest teilweise zurückgeführt wird, aus dem Gasstrom abgeschiedene Verunreinigungen von der Gegenelektrode (209) und/oder dem Strömungsweg des Gasstroms (207) wegführbar sind und/oder aus dem Gasstrom abgeschiedene Verunreinigungen in Richtung der Öffnung des ersten Oberflächenbereichs und/oder der Poren des zweiten Oberflächenbereichs leitbar sind.Apparatus according to claim 13 or 14, characterized in that at least one, in particular of the counter electrode and / or the emission electrode at least partially and / or at least partially formed by the counter electrode and / or the emission electrode flow guide element ( 17 . 217 . 227 ) in the collecting space ( 15 . 115 . 215 ) and / or the flow path is arranged, wherein by means of the flow guide element ( 17 . 117 ) an entrance of a Partial stream of the gas stream ( 7 . 107 ) through the counter electrode ( 9 . 109 ) into the collection room ( 17 . 117 ) is preventable, one in the collecting space ( 15 . 115 ) entering partial stream of the gas stream ( 7 . 107 ) in the flow path between the counter electrode ( 9 . 109 ) and second electrode ( 11 . 111 ) is at least partially recycled, from the gas stream deposited impurities from the counter electrode ( 209 ) and / or the flow path of the gas stream ( 207 ) can be carried away and / or impurities separated from the gas stream can be conducted in the direction of the opening of the first surface area and / or the pores of the second surface area. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Strömungsführungselement (17, 117) zumindest eine, vorzugsweise zumindest bereichsweise in dem Sammelraum (15, 115) angeordnete Schottwand (17, 117) umfasst, wobei insbesondere mittels der Schottwand (17, 117) der Sammelraum (15, 115) in zumindest zwei Teilsammelräume (19a, 19b, 119a, 119b) unterteilbar ist und/oder das Strömungsführungselement durch die Vertiefung (311, 311‘, 311‘‘) zumindest teilweise gebildet ist.Apparatus according to claim 15, characterized in that the flow guide element ( 17 . 117 ) at least one, preferably at least partially in the collecting space ( 15 . 115 ) arranged bulkhead ( 17 . 117 ), in particular by means of the bulkhead ( 17 . 117 ) the collecting space ( 15 . 115 ) into at least two sub-collection spaces ( 19a . 19b . 119a . 119b ) is divisible and / or the flow guide element through the recess ( 311 . 311 ' . 311 '' ) is at least partially formed. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, gekennzeichnet durch eine Vielzahl von Strömungsführungselementen (117, 217), insbesondere Schottwänden (117) und/oder Vertiefungen (311, 311‘, 311‘‘), wobei vorzugsweise der Sammelraum (15, 115) eine Vielzahl von Auslassöffnungen für abgeschiedene Verunreinigungen umfasst, vorzugsweise jeder Teilsammelraum (19a, 19b, 119a, 119b) zumindest eine Auslassöffnung umfasst.Apparatus according to claim 15 or 16, characterized by a plurality of flow guiding elements ( 117 . 217 ), in particular bulkheads ( 117 ) and / or depressions ( 311 . 311 ' . 311 '' ), wherein preferably the collecting space ( 15 . 115 ) comprises a plurality of outlet openings for separated impurities, preferably each partial collecting space ( 19a . 19b . 119a . 119b ) comprises at least one outlet opening. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass dem Bereich des Niedrigenergieplasmas und/oder dem Bereich zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode ein mittels eines Vorabscheiders gereinigter Gasstrom zuführbar ist, insbesondere die Vorrichtung einen Vorabscheider für Verunreinigungen mit vorbestimmten Partikelgrößen umfasst, vorzugsweise beinhaltend zumindest einen Prallplattenabscheider, Zyklonabscheider, Labyrinthabscheider, Zentrifugalabscheider, Diffusionsabscheider und/oder elektromagnetischen, wie elektrostatischen und/oder magnetostatischen, Abscheider. Device according to one of claims 13 to 17, characterized in that the region of the low energy plasma and / or the region between the first electrode and the second electrode, a purified by means of a pre-separator gas stream can be supplied, in particular the device comprises a pre-separator for impurities having predetermined particle sizes preferably comprising at least one baffle plate separator, cyclone separators, labyrinth separators, centrifugal separators, diffusion separators and / or electromagnetic, such as electrostatic and / or magnetostatic separators.
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