Die Erfindung betrifft eine Anlage zum Plasmahärten von Gegenständen mit
- a) wenigstens einer evakuierbaren Behandlungskammer, welche einen Behandlungsraum vorgibt, in dem eine Plasmagasatmosphäre erzeugbar ist;
- b) einem Fördersystem, mittels welchem die Gegenstände durch die Anlage förderbar sind.
The invention relates to a system for plasma curing of objects with - a) at least one evacuable treatment chamber, which defines a treatment space in which a plasma gas atmosphere can be generated;
- b) a conveyor system by means of which the objects are conveyed through the system.
In der Behandlungskammer von derartigen vom Markt her bekannten Behandlungsanlagen wird beispielsweise ein auf die Oberfläche von Gegenständen aufgebrachter Lack getrocknet, worunter auch ein Härten, Vernetzen oder ähnliches zu verstehen ist. Bei den Gegenständen kann es sich beispielsweise um Fahrzeugfelgen handeln.In the treatment chamber of such treatment plants known from the market, for example, a paint applied to the surface of articles is dried, which also means hardening, crosslinking or the like. The objects may be, for example, vehicle rims.
Im Hinblick auf mittels UV-Strahlung härtbare Lacke hat sich in jüngerer Zeit etabliert, auf der Lackoberfläche ein Plasma zu erzeugen, welches UV-Strahlung emittiert. Dazu wird die Behandlungskammer mit dem oder den lackierten Gegenständen beschickt und eine Gasatmosphäre bei stark vermindertem Druck erzeugt. Zwischen den Gegenständen und einer Gegenelektrode, welche mit den Polen einer Hochfrequenzquelle verbunden sind, wird ein starkes elektrisches Wechselfeld aufgebaut, wodurch das UV-Licht emittierende Plasma entsteht.With regard to curable by UV radiation paints has recently established on the paint surface to produce a plasma which emits UV radiation. For this purpose, the treatment chamber is charged with the painted article (s) and a gas atmosphere is generated at a greatly reduced pressure. Between the objects and a counter electrode, which are connected to the poles of a high frequency source, a strong alternating electric field is built up, whereby the UV light emitting plasma is formed.
Nun muss gewartet werden, bis der Trockenprozess abgeschlossen ist, bevor die Gegenstände wieder aus der Behandlungskammer herausgenommen und diese wieder mit unbehandelten Gegenständen beladen werden kann. In der Zeit während des Ent- und Beladens der Behandlungskammer kann dagegen kein Behandlungsprozess durchgeführt werden. Hierdurch wird der Gesamtdurchsatz der Anlage begrenzt.Now it is necessary to wait until the drying process is complete before removing the objects from the treatment chamber and re-loading them with untreated objects. By contrast, no treatment process can be carried out during the time during loading and unloading of the treatment chamber. This limits the overall throughput of the system.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Anlage der eingangs genannten Art zu schaffen, bei welcher der Durchsatz erhöht ist.It is therefore an object of the invention to provide a system of the type mentioned, in which the throughput is increased.
Diese Aufgabe wird bei einer Anlage der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass
- c) die wenigstens eine Behandlungskammer ortveränderlich ist und als Einheit wenigstens zwei Arbeitspositionen einnehmen kann, wobei die wenigstens eine Behandlungskammer derart eingerichtet ist, dass Behandlungsparameter in der Behandlungskammer auch bei deren Ortsveränderung aufrecht erhalten sind.
This object is achieved in a system of the type mentioned in that - c) the at least one treatment chamber is ortveränderlich and can take as a unit at least two working positions, wherein the at least one treatment chamber is arranged such that treatment parameters are maintained in the treatment chamber even when their location change.
Erfindungsgemäß wird so beispielsweise ermöglicht, dass die Behandlungskammer von einer Umladeposition, wo sie zunächst mit zu behandelnden Gegenständen beladen wurde, zu einer Prozessposition bewegt wird, die von der Umladeposition beabstandet ist. Da die Behandlungsparameter in der Behandlungskammer aufrechterhalten sind, kann der gewünschte Behandlungsprozess in dieser Prozessposition ablaufen oder weiter ablaufen, sofern der Prozess in der Umladeposition bereits eingeleitet wurde. Nun kann eine weitere Behandlungskammer in die jetzt freie Umladeposition gebracht und dort mit zu behandelnden Gegenständen beladen werden, während der Behandlungsprozess in der anderen Behandlungskabine bereits abläuft.In accordance with the invention, it is thus possible, for example, for the treatment chamber to be moved from a reloading position, where it was initially loaded with objects to be treated, to a processing position that is spaced from the reloading position. Since the treatment parameters are maintained in the treatment chamber, the desired treatment process can proceed or continue in this process position, if the process has already been initiated in the reloading position. Now another treatment chamber can be brought into the now free transfer position and loaded there with objects to be treated, while the treatment process in the other treatment cabin is already running.
Wenn die wenigstens eine Behandlungskammer mittels des Fördersystems von einer Umladeposition zu wenigstens einer Prozessposition und wieder zu einer Umladeposition förderbar ist, können zwei Behandlungskammern im Wechsel beladen und entladen werden. In diesem Fall kann in der einen Behandlungskammer der Behandlungsprozess ablaufen, während die andere Ent- bzw. Beladen wird, und umgekehrt.If the at least one treatment chamber can be conveyed by the conveyor system from a transfer position to at least one process position and again to a transfer position, two treatment chambers can be alternately loaded and unloaded. In this case, in one treatment chamber, the treatment process may proceed while the other is being loaded or unloaded, and vice versa.
Dazu ist es günstig, wenn das Fördersystem ein Bewegungselement umfasst, welches den Kammerboden bildet oder zumindest den Kammerboden mit sich führt. Dies ist insbesondere günstig, wenn im Kammerboden die notwendigen Anschlüsse vorhanden sind, über welche die Behandlungskammer mit Energie versorgt oder mit Medien gespeist werden kann, die für den Behandlungsprozess notwendig sind.For this purpose, it is advantageous if the conveyor system comprises a movement element which forms the chamber floor or at least leads the chamber floor with it. This is particularly favorable if the necessary connections are present in the chamber bottom, via which the treatment chamber can be supplied with energy or fed with media which are necessary for the treatment process.
Im Hinblick auf die aufrecht zu erhaltende Versorgung der Behandlungskammer ist es von Vorteil, wenn der Kammerboden zwischen zwei aufeinander folgenden Arbeitspositionen translatorisch bewegt wird. Notwendige Leitungen können dann leichter verlegt oder mitgeführt werden, als es bei komplexeren Bewegungsabläufen der Fall ist.With regard to the supply of the treatment chamber to be maintained, it is advantageous if the chamber floor is moved translationally between two successive working positions. Necessary cables can then be easily moved or carried along, as it is the case with more complex movements.
Für einen kontinuierlichen Prozessablauf kann es gegebenenfalls günstig sein, wenn das Bewegungselement ein Drehelement ist, welches den Kammerboden nach Art eines Karussells mit sich führt.For a continuous process flow, it may possibly be favorable if the movement element is a rotary element which carries the chamber bottom in the manner of a carousel with it.
Ein leichteres Be- und Entladen der Behandlungskammer wird ermöglicht, wenn die wenigstens eine Behandlungskammer mehrere Gehäuseteile umfasst, welche gasdicht miteinander verbindbar sind. Im Gegensatz zu einer meist bezogen auf die Kammerabmessungen kleine Zugangsöffnung kann so ein guter Zugang zum Behandlungsraum erreicht werden.An easier loading and unloading of the treatment chamber is made possible if the at least one treatment chamber comprises a plurality of housing parts which can be connected to one another in a gastight manner. In contrast to a small access opening, which is usually small in relation to the chamber dimensions, good access to the treatment room can thus be achieved.
Vorzugsweise umfasst die wenigstens eine Behandlungskammer dabei einen Kammerboden und eine Kammerhaube, die lösbar miteinander verbindbar sind.Preferably, the at least one treatment chamber comprises a chamber bottom and a chamber hood, which are detachably connectable to each other.
Alternativ kann die wenigstens eine Behandlungskammer auch ein aufklappbares Gehäuse umfassen. Alternatively, the at least one treatment chamber may also comprise a hinged housing.
Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. In diesen zeigen:Embodiments of the invention will be explained in more detail with reference to the drawings. In these show:
1 schematisch eine Seitenansicht einer Anlage zum Aushärten von UV-Lack mit einem drehbaren Prozesstisch, der zwei ortsveränderliche Behandlungskammern mit sich führt; 1 schematically a side view of a plant for curing UV varnish with a rotatable process table, which carries two portable treatment chambers with it;
2 stark schematisch eine Ansicht von oben auf die Anlage von 1, wobei lediglich der Prozesstisch und ein Zufuhrbereich mit einem Umsetzroboter gezeigt ist; 2 very schematically a view from above on the plant of 1 showing only the process table and a feed area with a transfer robot;
3 eine der 2 entsprechende stark schematische Ansicht von oben auf eine Anlage gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel mit einem drehbaren Prozesstisch, der drei ortsveränderliche Behandlungskammern mit sich führt; 3 one of the 2 corresponding highly schematic view from above of a plant according to a second embodiment with a rotatable process table, which carries three portable treatment chambers with it;
4 eine stark schematische Ansicht von oben auf eine Anlage gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel mit Behandlungskammern, die auf einem stationären Prozesstisch verfahren werden können; 4 a highly schematic top view of a system according to a third embodiment with treatment chambers that can be moved on a stationary process table;
5 eine stark schematische Ansicht von oben auf eine Anlage gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel mit verfahrbaren Behandlungskammern, die aufeinander folgend zu mehreren Prozesspositionen verfahren werden können; 5 a highly schematic view from above of a system according to a fourth embodiment with movable treatment chambers, which can be moved sequentially to multiple process positions;
6 eine stark schematische Ansicht von oben auf ein fünftes Ausführungsbeispiel in Abwandlung der Anlage von 5; 6 a highly schematic view from above of a fifth embodiment in a modification of the system of 5 ;
7 eine stark schematische Ansicht von oben auf eine Anlage gemäß einem sechsten Ausführungsbeispiel mit verfahrbaren Behandlungskammern, die auf einem Prozesskarussel angeordnet sind; 7 a highly schematic top view of a system according to a sixth embodiment with movable treatment chambers, which are arranged on a process carousel;
8 eine stark schematische Ansicht von oben auf ein siebtes Ausführungsbeispiel in Abwandlung der Anlage von 7. 8th a highly schematic view from above of a seventh embodiment in a modification of the system of 7 ,
In 1 ist mit 10 insgesamt eine Anlage zur Oberflächenbehandlung von Gegenständen 12 bezeichnet, die nur in 1 schematisch als kugelförmige Gegenstande gezeigt sind, welche auf einem ebenfalls nur in 1 gezeigten Werkstückträger 14 gelagert sind.In 1 is with 10 altogether a plant for the surface treatment of objects 12 referred to only in 1 are shown schematically as spherical objects which on a likewise only in 1 shown workpiece carrier 14 are stored.
Die Oberflächenbehandlungsanlage 10 umfasst einen Prozessbereich 16 und einen Umsetzbereich 18. Die Gegenstände 12 werden mittels eines Fördersystems 19 durch die Anlage 10 gefördert. Hierzu ist unter anderem in dem Umsetzbereich 18 ein in 2 gezeigter Umsetzroboter 20 angeordnet. Werkstückträger 14 mit noch unbehandelten Gegenständen 12 werden mittels eines Zuführförderers 22 zu dem Umsetzroboter 20 gefördert, von welchem dieser die Gegenstände 12 aufnehmen und an den Prozessbereich 16 übergeben kann. Werkstückträger 14 mit bereits behandelten Gegenständen 12 werden von dem Umsetzroboter 20 wieder aus dem Prozessbereich 16 entnommen und an einen Abgabeförderer 24 übergeben, mit dem die Gegenstände 12 dann zur weiteren Behandlung oder Bearbeitung zu einer nachgelagerten Behandlungsstation gefördert werden.The surface treatment plant 10 includes a process area 16 and a transfer area 18 , Things 12 be by means of a conveyor system 19 through the plant 10 promoted. This is among others in the implementation area 18 a in 2 shown transfer robot 20 arranged. Workpiece carrier 14 with still untreated objects 12 be by means of a feed conveyor 22 to the transfer robot 20 from which of these the objects 12 record and to the process area 16 can pass. Workpiece carrier 14 with already treated objects 12 are from the Umsetzroboter 20 back from the process area 16 taken and to a discharge conveyor 24 pass, with which the objects 12 then be conveyed to a downstream treatment station for further treatment or processing.
Abhängig von der Bauart und Geometrie des Umsetzroboters 20 und abhängig davon, was für ein Arbeitsbereich von ihm abgedeckt werden muss, kann der Umsetzroboter 20 stationär angeordnet oder entlang einer Bewegungsachse verfahrbar sein, wie es an und für sich bekannt ist.Depending on the design and geometry of the conversion robot 20 and depending on what kind of workspace has to be covered by it, the transposition robot 20 be arranged stationary or movable along a movement axis, as it is known per se.
Im Prozessbereich 16 befindet sich ein Prozesstisch 26 mit einer Aufnahmeplatte 28, welche an ihrer Unterseite zentriert mit einem antreibbaren Drehzapfen 30 verbunden ist, der seinerseits um eine vertikale Achse verdrehbar von einem am Boden 32 der Anlage 10 stationär befestigten Sockel 34 gelagert ist. Der Drehzapfen 30 kann über einen nicht eigens gezeigten Motor verdreht werden, der beispielsweise im Sockel 34 untergebracht ist, wobei sich die Aufnahmeplatte 28 bei einer Drehung des Drehzapfens 30 entsprechend mitdreht. Die Aufnahmeplatte 28 bildet so ein Bewegungselement bzw. konkreter ein Drehelement.In the process area 16 there is a process table 26 with a receiving plate 28 , which is centered on its underside with a drivable pivot 30 which in turn is rotatable about a vertical axis of a on the ground 32 the plant 10 stationary pedestal 34 is stored. The pivot 30 can be rotated by a not specially shown motor, for example, in the base 34 is housed, with the receiving plate 28 upon rotation of the pivot 30 rotates accordingly. The receiving plate 28 thus forms a movement element or more specifically a rotary element.
Die Oberseite der Aufnahmeplatte 28 gibt zwei Bereiche vor, die jeweils einen Kammerboden 36a, 36b einer ersten evakuierbaren Behandlungskammer 38a und einer zweiten evakuierbaren Behandlungskammer 38b definieren, die bei einer Drehung der Aufnahmeplatte 28 mitgeführt werden.The top of the receiving plate 28 specifies two areas, each with a chamber floor 36a . 36b a first evacuatable treatment chamber 38a and a second evacuatable treatment chamber 38b define that upon rotation of the receiving plate 28 be carried along.
Die Behandlungskammern 38a, 38b sind gebildet, wenn die jeweiligen Kammerböden 36a, 36b mit einer Kammerhaube 40 abgedeckt sind, welche gasdicht auf der Aufnahmeplatte 28 des Prozesstisches 26 oder mit dem Kammerboden 36a, 36b arretiert werden können und dann gemeinsam mit dem zugehörigen Kammerboden 36a, 36b einen Behandlungsraum 42 begrenzen. Der jeweilige Kammerboden 36 und die jeweilige Kammerhaube 40 bilden somit Gehäuseteile der gebildeten Behandlungskammer 38.The treatment chambers 38a . 38b are formed when the respective chamber bottoms 36a . 36b with a chamber hood 40 are covered, which gas-tight on the receiving plate 28 of the process table 26 or with the bottom of the chamber 36a . 36b can be locked and then together with the associated chamber floor 36a . 36b a treatment room 42 limit. The respective chamber floor 36 and the respective chamber hood 40 thus form housing parts of the formed treatment chamber 38 ,
Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Kammerböden 36a, 36b bezogen auf den Drehzapfen 30 auf gegenüberliegenden Seiten der Aufnahmeplatte 28 angeordnet.In the present embodiment, the chamber bottoms 36a . 36b based on the pivot 30 on opposite sides of the mounting plate 28 arranged.
In den Behandlungsräumen 42 soll ein frisch auf die Gegenstände 12 aufgebrachter UV-Lack ausgehärtet werden, indem auf der Lackoberfläche ein UV-Strahlung emittierendes Plasma erzeugt wird, wie es eingangs erläutert wurde. In the treatment rooms 42 should be a fresh on the items 12 applied UV paint are cured by a UV-emitting plasma is generated on the paint surface, as explained above.
Um dies zu ermöglichen, weist die Aufnahmeplatte 28 an ihrem Umfangsrand 44 auf gegenüberliegenden Seiten, die der Lage der Kammerböden 36a, 36b entsprechen, Anschlusseinheiten 46 auf, von denen jede über durch die Aufnahmeplatte 28 verlaufende Leitungen und Kanäle mit dem jeweils zugehörigen Kammerboden 36a, 36b kommuniziert. Die Anschlusseinheiten 46 umfassen jeweils nicht eigens bezeichnete Einzelanschlüsse zum Verbinden des jeweils zugehörigen Kammerbodens 36a, 36b mit einer Vakuumpumpe 48 sowie einem Plasmagasreservoir 50. In jedem Kammerboden 36a, 36b sind als Kammeranschlüsse entsprechend eine Pumpenöffnung und eine Plasmagasöffnung vorhanden. Die Einzelanschlüsse der Anschlusseinheiten 46 und der Kammeranschlüsse konnen separat verschlossen oder freigegeben werden.To make this possible, the receiving plate has 28 at its peripheral edge 44 on opposite sides, the location of the chamber bottoms 36a . 36b correspond, connection units 46 on, each of which passes through the receiving plate 28 extending lines and channels with the respective associated chamber floor 36a . 36b communicated. The connection units 46 each comprise not specifically designated individual connections for connecting the respectively associated chamber floor 36a . 36b with a vacuum pump 48 and a plasma gas reservoir 50 , In every chamber floor 36a . 36b are present as chamber connections corresponding to a pump opening and a plasma gas opening. The individual connections of the connection units 46 and the chamber connections can be closed or released separately.
Im Übergangsbereich zwischen dem Prozessbereich 16 und dem Umsetzbereich 18 befindet sich eine Andockstation 52, welche einen verfahrbaren Schlitten 54 umfasst, der in einer Führungsstruktur 56 zwischen einer Anschlussposition und einer Freigabeposition verfahren werden kann. Der Schlitten 54 führt eine Andockanschlusseinheit 58 mit sich, die zu den Anschlusseinheiten 46 am Prozesstisch 26 komplementär und ihrerseits über eine Plasmagasleitung 60 mit dem Plasmagasreservoir 50 und über eine Pumpleitung 62 mit der Vakuumpumpe 48 verbunden ist. Dem Plasmagasreservoir 50 ist eine Gasförderpumpe 64 zugeordnet, die bezogen auf die Behandlungskammern 38 sowohl als Zuführ- als auch als Saugpumpe arbeiten kann. Hierdurch kann entweder Plasmagas aus dem Plasmagasreservoir 50 in den Behandlungsraum 42 hinein oder wieder aus diesem abgesaugt und zurück in das Plasmagasreservoir 50 gefördert werden.In the transition area between the process area 16 and the transfer area 18 there is a docking station 52 which a movable carriage 54 that includes in a leadership structure 56 between a connection position and a release position can be moved. The sled 54 leads a docking unit 58 with you, to the connection units 46 at the process table 26 complementary and in turn via a plasma gas line 60 with the plasma gas reservoir 50 and via a pumping line 62 with the vacuum pump 48 connected is. The plasma gas reservoir 50 is a gas pump 64 assigned to the treatment chambers 38 can work both as a feed and as a suction pump. This allows either plasma gas from the plasma gas reservoir 50 in the treatment room 42 sucked in or out of this and back into the plasma gas reservoir 50 be encouraged.
Die Plasmagasleitung 60 und die Pumpleitung 62 sind im dem dem Schlitten 54 benachbarten Bereich in einer Pufferschlaufe geführt, so dass die Leitungen dort Spiel haben und der Bewegung des Schlittens 54 folgen können.The plasma gas line 60 and the pumping line 62 are in the sled 54 led adjacent area in a buffer loop, so that the lines have play there and the movement of the carriage 54 can follow.
Wenn die Aufnahmeplatte 28 des Prozesstisches 26 eine Drehstellung einnimmt, bei der eine der Anschlusseinheiten 46 gegenüber dem Schlitten 54 der Andockstation 52 ausgerichtet ist und dieser seine Anschlussstellung einnimmt, sind die betreffende Anschlusseinheit 46 und die Andockanschlusseinheit 58 miteinander gekoppelt. In der Freigabestellung des Schlittens 54 sind die Anschlusseinheit 46 am Prozesstisch 26 und die Andockanschlusseinheit 58 der Andockstation 52 entsprechend voneinander getrennt.If the receiving plate 28 of the process table 26 assumes a rotational position, in which one of the connection units 46 opposite the sled 54 the docking station 52 is aligned and this assumes its connection position, are the relevant connection unit 46 and the docking connection unit 58 coupled together. In the release position of the carriage 54 are the connection unit 46 at the process table 26 and the docking connection unit 58 the docking station 52 separated accordingly.
Um eine Kammerhaube 40 auf der Aufnahmeplatte 28 des Prozesstisches 26 abzusetzen oder von dieser abzuheben, umfasst die Anlage 10 außerdem noch eine Hub-/Senk-Einheit 66 mit einem Greifer 68, welcher vertikal verfahrbar ist und die Kammerhaube 40 greifen kann.To a chamber hood 40 on the receiving plate 28 of the process table 26 sell or withdraw from this includes the investment 10 also a lifting / lowering unit 66 with a gripper 68 which is vertically movable and the chamber hood 40 can grab.
In den Kammerböden 36a, 36b sind Kontakte vorhanden, welche die Werkstückträger 14 berühren, wenn diese auf den Kammerböden 36a, 36b angeordnet sind, und die Werkstückträger 14 und darüber die Gegenstände 12 mit einem ersten Pol einer Hochfrequenzquelle 70 verbinden, die am Prozesstisch 26 vorhanden ist. Die Kammerhaube 40 ist als Gegenelektrode ausgebildet und über einen weiteren Kontakt des jeweiligen Kammerbodens 36a, 36b mit dem anderen Pol der Hochfrequenzquelle 70 verbunden, wenn sie auf den Kammerboden 36a bzw. 36b aufgesetzt ist. Bei einer Abwandlung wird eine Gegenelektrode von der Kammerhaube 40 mitgeführt, welche mit dem zugehörigen Kontakt im jeweiligen Kammerboden 36a, 36b verbunden werden kann.In the chamber bottoms 36a . 36b There are contacts, which are the workpiece carriers 14 Touch when these are on the chamber bottoms 36a . 36b are arranged, and the workpiece carrier 14 and above that the objects 12 with a first pole of a high frequency source 70 connect to the process table 26 is available. The chamber hood 40 is designed as a counter electrode and via a further contact of the respective chamber floor 36a . 36b with the other pole of the high frequency source 70 connected when on the chamber floor 36a respectively. 36b is attached. In a modification, a counterelectrode from the chamber hood 40 entrained, which with the associated contact in the respective chamber floor 36a . 36b can be connected.
Die Anlage 10 funktioniert nun wie folgt, wobei als Ausgangssituation davon ausgegangen werden soll, dass die Aufnahmeplatte 28 des Prozesstisches 26 unbeladen ist und der Anschlussschlitten 54 der Andockstation 52 seine Freigabestellung einnimmt. Die Kammerhaube 40 der ersten Behandlungskammer 38a sei von der Hub-/Senk-Einheit 66 aufgenommen, wie es in 1 gezeigt ist. Der Kammerboden 36a der ersten Prozesskammer 38a befindet sich in einer Umladeposition, die beim vorliegenden Ausführungsbeispiel auf der dem Umsetzroboter 20 zugewandten Seite des Prozesstisches 26 liegt. Die Prozesskammern 38 werden in der Umladeposition sowohl entladen als auch beladen.The attachment 10 works as follows, starting from the assumption that the recording plate 28 of the process table 26 unloaded and the connection slide 54 the docking station 52 takes his release position. The chamber hood 40 the first treatment chamber 38a be from the lifting / lowering unit 66 recorded as it is in 1 is shown. The chamber floor 36a the first process chamber 38a is in a reloading position, which in the present embodiment on the Umsetzroboter 20 facing side of the process table 26 lies. The process chambers 38 are both unloaded and loaded in the transhipment position.
Die zweite Behandlungskammer 38b nimmt eine Prozessposition ein, welche beim vorliegenden Ausführungsbeispiel auf der vom Umsetzroboter 20 abliegenden Seite des Prozesstisches 26 liegt.The second treatment chamber 38b assumes a process position, which in the present embodiment on the conversion robot 20 remote side of the process table 26 lies.
Auf dem Zuführförderer 22 gelangt nun ein Werkstückträger 14 mit Gegenständen 12 zu dem Umsetzroboter 20, die frisch mit einem UV-Lack beschichtet worden sind. Der Umsetzroboter 20 ergreift diesen Werkstückträger 14 und übergibt ihn an einen vorgegebene Abstellort auf dem Kammerboden 36a der ersten Behandlungskammer 38a. Gegebenfalls ermöglichen die Behandlungskammern 38a, 38b, dass mehrere Werkstückträger 14 mit Gegenständen 12 gleichzeitig behandelt werden. In diesem Fall wiederholt der Umsetzroboter 20 den Vorgang, bis alle Behandlungsplätze am Kammerboden 36a der ersten Behandlungskammer 38a belegt sind.On the feed conveyor 22 Now comes a workpiece carrier 14 with objects 12 to the transfer robot 20 which have been freshly coated with a UV varnish. The transfer robot 20 takes this workpiece carrier 14 and hands it over to a designated location on the chamber floor 36a the first treatment chamber 38a , Optionally, the treatment chambers allow 38a . 38b that several workpiece carriers 14 with objects 12 treated simultaneously. In this case, repeats the Umsetzroboter 20 the process until all treatment places on the chamber floor 36a the first treatment chamber 38a are occupied.
Dann wird die Kammerhaube 40 über die Gegenstände 12 geführt und gasdicht mit der Aufnahmeplatte 28 oder dem Kammerboden 36a verbunden. Der Schlitten 54 der Andockstation 52 wird in seine Anschlussstellung verfahren, so dass alle erforderlichen Verbindungen etabliert sind. Then the chamber hood 40 about the objects 12 guided and gas-tight with the receiving plate 28 or the chamber floor 36a connected. The sled 54 the docking station 52 is moved into its connection position, so that all necessary connections are established.
Der oder die Werkstückträger 14 sind nun mit dem ersten Pol und die Kammerhaube 40 als Gegenelektrode ist nun mit dem zweiten Pol der Hochfrequenzquelle 70 verbunden.The one or more workpiece carriers 14 are now with the first pole and the chamber hood 40 as a counter electrode is now with the second pole of the high frequency source 70 connected.
Zunächst wird jetzt die erste Behandlungskammer 38a mit der Vakuumpumpe 48 evakuiert. Dann wird der evakuierten Behandlungskammer 38a unter geringem Druck ein Plasmagas aus dem Plasmagasreservoir 50 mittels der Förderpumpe 64 zugeführt. So ist in der Behandlungskammer 38a eine Arbeitsatmosphäre für die Behandlung der Gegenstände 12 erzeugt.First, now the first treatment chamber 38a with the vacuum pump 48 evacuated. Then the evacuated treatment chamber 38a At low pressure, a plasma gas from the plasma gas reservoir 50 by means of the feed pump 64 fed. So is in the treatment chamber 38a a working atmosphere for the treatment of the objects 12 generated.
Dann wird mittels der Hochfrequenzquelle 70 zwischen den Gegenständen 12 und der Gegenelektrode, die gegebenenfalls durch die Kammerhaube 40 gebildet ist, ein starkes elektrisches Wechselfeld aufgebaut, was zum Aufbau des Plasmas führt, welches die gewünschte UV-Strahlung emittiert. Nun sind alle Behandlungsparameter in der Behandlungskammer 38a eingestellt.Then by means of the high frequency source 70 between the objects 12 and the counter electrode, optionally through the chamber hood 40 is formed, built a strong alternating electric field, which leads to the construction of the plasma, which emits the desired UV radiation. Now all treatment parameters are in the treatment chamber 38a set.
Bis der Lack vollständig gehärtet ist, muss das Plasma eine bestimmte Zeit aufrechterhalten werden. Diese Prozessdauer wird nun überbrückt und dafür genutzt, die zweite Behandlungskammer 38b mit Gegenständen 12 zu beschicken, wobei diese gegebenenfalls zuvor entladen wird.Until the paint is completely cured, the plasma must be maintained for a certain time. This process time is now bridged and used for the second treatment chamber 38b with objects 12 to feed, which may be previously discharged.
Hierfür werden zunächst die Anschlusseinheit 46 und die Kammeranschlüsse abgeriegelt, der Schlitten 54 der Andockstation 52 in seine Freigabestellung gefahren und die Aufnahmeplatte 28 des Prozesstisches 26 um 180° gedreht, indem dessen Drehzapfen 30 entsprechend angetrieben wird. Nun befindet sich die zweite Behandlungskammer 38b neben der Andockstation 52, während in der ersten Behandlungskammer 38a in der Prozessposition der Härtungsprozess abläuft.For this purpose, first the connection unit 46 and the chamber connections sealed off, the sledge 54 the docking station 52 moved to its release position and the receiving plate 28 of the process table 26 rotated by 180 ° by turning its pivot 30 is driven accordingly. Now there is the second treatment chamber 38b next to the docking station 52 while in the first treatment chamber 38a in the process position the hardening process expires.
Die Behandlungskammern 38a, 38 sind somit ortsveränderlich und können jeweils als Einheit zwei Arbeitspositionen einnehmen, nämlich hier die Umladeposition oder die Prozessposition. Dabei bleiben die Behandlungsparameter in der jeweiligen Behandlungskabine 38a, 38b auch bei deren Bewegung erhalten.The treatment chambers 38a . 38 are thus mobile and can each occupy two working positions as a unit, namely here the transshipment position or the process position. The treatment parameters remain in the respective treatment cabin 38a . 38b also obtained during their movement.
Die Hub-/Senk-Einheit 66 nimmt die Kammerhaube 40 der zweiten Behandlungskammer 38b auf und hebt dies nach oben ab, so dass der Kammerboden 36b der Behandlungskammer 38b für den Umsetzroboter 20 zugänglich wird. Dann wird so vorgegangen, wie es oben zur ersten Behandlungskammer 38a erläutert wurde.The lifting / lowering unit 66 takes the chamber hood 40 the second treatment chamber 38b on and lifts this upwards, leaving the chamber floor 36b the treatment chamber 38b for the transfer robot 20 becomes accessible. Then the procedure is the same as the one above the first treatment chamber 38a was explained.
Wenn die zweite Behandlungskammer 38b mit Gegenständen 12 beschickt und das notwendige Plasma aufgebaut worden ist, wird die Aufnahmeplatte 28 erneut um 180° gedreht, so dass nun wieder die erste Behandlungskammer 38a neben der Andockstation 52 zu liegen kommt. Während der Trockenprozess in der zweiten Behandlungskammer 38b abläuft, können nun die getrockneten Gegenstände 12 aus der ersten Behandlungskammer 38a entnommen und diese mit neuen Gegenständen 12 beladen werden.If the second treatment chamber 38b with objects 12 is charged and the necessary plasma has been established, the receiving plate 28 again rotated by 180 °, so that again the first treatment chamber 38a next to the docking station 52 to come to rest. During the drying process in the second treatment chamber 38b Now, the dried objects can be used 12 from the first treatment chamber 38a taken and these with new items 12 be loaded.
Bevor die Kammerhaube 40 der ersten Behandlungskammer 38a jedoch entfernt wird, wird zunächst noch in der Behandlungskammer 38a befindliches Plasmagas mittels der Förderpumpe 64 aus der Behandlungskammer 38a abgesaugt und in das Plasmagasreservoir 50 zurückgeführt. Anschließend wird die erste Behandlungskammer 38a belüftet und die Kammerhaube 40 mit Hilfe der Hub-/Senkeinrichtung 66 angehoben. Die Werkstückträger 14 mit den nun getrockneten Gegenständen 12 werden von dem Umsetzroboter 20 an den Abgabeförderer 24 übergegeben und ihrer weiteren Bearbeitung zugeführt. Hierauf wiederholt sich der Zyklus.Before the chamber hood 40 the first treatment chamber 38a however, it is first removed from the treatment chamber 38a located plasma gas by means of the feed pump 64 from the treatment chamber 38a sucked off and into the plasma gas reservoir 50 recycled. Subsequently, the first treatment chamber 38a ventilated and the chamber hood 40 with the help of the lifting / lowering device 66 raised. The workpiece carriers 14 with the now dried objects 12 are from the Umsetzroboter 20 to the delivery conveyor 24 handed over and forwarded to their further processing. Hereupon the cycle is repeated.
Die 3 bis 8 zeigen weitere Ausführungsbeispiele der Anlage 10, bei welchen Komponenten, die denjenigen der Anlage 10 nach den 1 und 2 entsprechen, dieselben Bezugzeichen tragen. Der Übersichtlichkeit halber sind dort einige Komponenten nicht gezeigt.The 3 to 8th show further embodiments of the system 10 , in which components, those of the plant 10 after the 1 and 2 correspond, bear the same reference numerals. For the sake of clarity, some components are not shown there.
In 3 ist eine Anlage 10 mit einem abgewandelten Aufnahmetisch 28 gezeigt, bei dem drei Kammerböden 36a, 36b, 36c vorhanden sind, durch die drei Behandlungskammern 38a, 38b und 38c möglich sind. Mehr als zwei Behandlungskammern 38 sind beispielsweise dann hilfreich, wenn der Aushärtungsprozess länger dauert als das Ent- und Beladen einer einzelnen Behandlungskammer 38.In 3 is a plant 10 with a modified shooting table 28 shown, in which three chamber bottoms 36a . 36b . 36c are present through the three treatment chambers 38a . 38b and 38c possible are. More than two treatment chambers 38 For example, they are useful when the curing process takes longer than unloading and loading a single treatment chamber 38 ,
Die in 4 gezeigte Anlage 10 umfasst statt eines drehbaren Prozesstisches einen stationären Prozesstisch 72, auf welchem zwei Kammerböden 36a, 36b mit allen jeweils zugehörigen Anschlüssen und Verbindungen translatorisch verfahrbar gelagert sind.In the 4 shown attachment 10 includes a stationary process table instead of a rotatable process table 72 on which two chamber floors 36a . 36b are mounted translationally movable with all associated connections and connections.
Der erste Kammerboden 36a kann in einer Führungsschiene 74a zwischen einer an einem ersten Ende des Prozesstisches 72 angesiedelten Umladeposition A1 und einer in der Mitte des Prozesstisches 72 vorgesehenen Prozessposition B verfahren werden. Der zweite Kammerboden 36b kann in entsprechender Art und Weise in einer Führungsschiene 74b zwischen einer am gegenüberliegenden zweiten Ende des Prozesstisches 72 angesiedelten Umladeposition A2 und der Prozessposition B verfahren werden. Dies ist in 4 durch zwei Doppelpfeile angedeutet. Somit bilden bei diesem Ausführungsbeispiel die Kammerböden 36a, 36b selbst ein jeweiliges Bewegungselement.The first chamber floor 36a can in a guide rail 74a between one at a first end of the process table 72 relocating position A1 and one in the middle of the process table 72 process position B are moved. The second chamber floor 36b can in a corresponding manner in a guide rail 74b between one at the opposite second end of the process table 72 settled reloading position A2 and the process position B are moved. This is in 4 indicated by two double arrows. Thus, in this embodiment form the chamber bottoms 36a . 36b itself a respective movement element.
Die Kopplung der Kontakte der Kammerböden 36a, 36b mit der Hochspannungsquelle bleibt auch beim Verfahren der Behandlungskabinen 38a, 38b erhalten, wozu beispielsweise Schleifleitungen entlang der Führungsschienen 74 vorhanden sind, wie sie an und für sich bekannt sind.The coupling of the contacts of the chamber bottoms 36a . 36b with the high voltage source remains even when moving the treatment cabins 38a . 38b including, for example, conductor rails along the guide rails 74 are present, as they are known in and of themselves.
Jedem Ende des Prozesstisches 72 und damit der jeweiligen Umsetzposition A1, A2 der Behandlungskammern 38a, 38b ist ein einzelner Umsetzroboter 20a, 20b in einem Umsetzbereich 18a, 18b zugeordnet.Each end of the process table 72 and thus the respective conversion position A1, A2 of the treatment chambers 38a . 38b is a single conversion robot 20a . 20b in a transfer area 18a . 18b assigned.
Die Behandlungskammern 38a und 38b werden bei diesem Ausführungsbeispiel ebenfalls im Wechsel be- und entladen. Wenn sich beispielsweise die erste Behandlungskammer 38a in der Prozessposition B befindet und der Trockenprozess abläuft, befindet sich die zweite Behandlungskammer 38b in der Umladeposition A2 und kann mit Werkstückträgern 14 beladen, evakuiert und mit Plasmagas beschickt werden.The treatment chambers 38a and 38b are also loaded and unloaded alternately in this embodiment. For example, if the first treatment chamber 38a is in the process position B and the drying process is running, there is the second treatment chamber 38b in the reloading position A2 and can work with workpiece carriers 14 loaded, evacuated and fed with plasma gas.
Nachdem der Prozess in der ersten Behandlungskammer 38a abgeschlossen und das Plasma in der zweiten Behandlungskammer 38b ausgebildet ist, wird die erste Behandlungskammer 38a aus der Prozessposition B in ihre Umladeposition A1 und die zweite Behandlungskammer 38b aus deren Umladeposition A2 in die Prozessposition B verfahren.After the process in the first treatment chamber 38a completed and the plasma in the second treatment chamber 38b is formed, the first treatment chamber 38a from the process position B to its reloading position A1 and the second treatment chamber 38b move from the reloading position A2 in the process position B.
Das Plasma aus der ersten Behandlungskammer 38a wird abgesaugt, die Kammerhaube 40 der ersten Behandlungskammer 38a wird entfernt und die Werkstückträger 14 mit den Gegenständen 12 werden mittels des ersten Umsetzroboters 20a an den Abgabeförderer 24 übergeben. Dann wird der erste Kammerboden 36a wieder neu bestückt und die Behandlungskammer 38a verschlossen und wie oben erläutert für den Plasmaprozess vorbereitet.The plasma from the first treatment chamber 38a is sucked off, the chamber hood 40 the first treatment chamber 38a is removed and the workpiece carrier 14 with the objects 12 be using the first Umsetzroboters 20a to the delivery conveyor 24 to hand over. Then the first chamber floor 36a again refitted and the treatment chamber 38a closed and prepared for the plasma process as explained above.
Wenn der Prozess in der zweiten Behandlungskammer 38b abgeschlossen ist, werden die Behandlungskammern 38a, 38b in der Prozessposition wieder ausgetauscht und die zweite Behandlungskammer 38b dann in ihrer Umladeposition A2 von dem ersten Umsetzroboter 20a ent- und wieder beladen.If the process in the second treatment chamber 38b is completed, the treatment chambers 38a . 38b exchanged again in the process position and the second treatment chamber 38b then in its reloading position A2 of the first Umsetzroboter 20a unloaded and reloaded.
Bei dem in 5 gezeigten Ausführungsbeispiel können mehrere Bewegungselemente in Form der Kammerböden 36a bis 36i im Umlauf auf einer Förderbahn 76 bewegt werden und dabei Arbeitspositionen A bis J einnehmen. Dabei bleibt stets eine Arbeitsposition A bis J unbesetzt, wodurch die Kammerböden 36a bis 36i taktweise bewegt werden können. Zwischen jeweils zwei aufeinander folgenden Arbeitpositionen A bis J werden die Kammerböden 36a bis 36i dort jeweils translatorisch bewegt.At the in 5 embodiment shown, several movement elements in the form of the chamber bottoms 36a to 36i in circulation on a conveyor track 76 be moved and occupy working positions A to J. It always remains a working position A to J unoccupied, causing the chamber bottoms 36a to 36i can be moved in cycles. Between two consecutive working positions A to J become the chamber bottoms 36a to 36i there each translational moved.
Die Versorgung der einzelnen Behandlungskammern 38a bis 38i, deren Kammerhauben 40 und Behandlungsräume 42 nicht alle mit Bezugzeichen versehen sind, erfolgt auch hier über oben erwähnte Schleifleitungen. Die Position A definiert hier eine Umladeposition zum Beladen, wogegen die Behandlungskammern 38a bis 38i in der Umladeposition J entladen werden. Diese Umladepositionen A und J sind so dicht nebeneinander angesiedelt, dass sich die Kammerböden 36 in beiden Umladepositionen A, J jeweils im Arbeitsbereich eines einzigen Umsetzroboters 20 befinden.The supply of the individual treatment chambers 38a to 38i whose chamber hoods 40 and treatment rooms 42 not all provided with reference numerals, also takes place here via the above-mentioned contact lines. The position A defines here a reloading position for loading, whereas the treatment chambers 38a to 38i unloaded in the reloading position J. These reloading positions A and J are located so close together that the chamber bottoms 36 in both reloading positions A, J respectively in the working area of a single Umsetzroboters 20 are located.
Bei der Umlaufvariante können einzelne Verfahrensschritte in den Prozesspositionen B bis I taktweise durchgeführt werden, wobei die Behandlungskammern 38a bis 38i für jeden Schritt um jeweils eine Position weiter bewegt werden. So kann beispielsweise auch das Beladen eines Kammerbodens 36 zeitlich und räumlich von dem Aufbau der Plasmaatmosphäre getrennt erfolgen. Hierzu kann ein Kammerboden 36 nach dem Beladen mit Werkstückträgern 14 von der Beladeposition A zur Position B bewegt werden, wo die Kammerhaube 40 mittels der Hub-/Senkeinheit 66 aufgesetzt und gasdicht mit dem Kammerboden 36 verbunden wird. In der Position B wird dann in der oben erläuterten Weise das Plasma etabliert. Dann wird die jeweilige Behandlungskammer 38 über die folgenden Prozesspositionen C, D, E, F, G und H weitergeführt.In the circulation variant, individual process steps in the process positions B to I can be performed intermittently, the treatment chambers 38a to 38i for each step to move one position further. Thus, for example, the loading of a chamber floor 36 temporally and spatially separated from the structure of the plasma atmosphere. This can be a chamber floor 36 after loading with workpiece carriers 14 be moved from the loading position A to position B, where the chamber hood 40 by means of the lifting / lowering unit 66 fitted and gas-tight with the bottom of the chamber 36 is connected. In position B, the plasma is then established in the manner explained above. Then the respective treatment chamber 38 via the following process positions C, D, E, F, G and H.
Entsprechend kann dann bereits in der Position I die Kammerhaube 40 entfernt werden, nachdem dort das Plasma abgesaugt und die Behandlungskammer 38 belüftet worden ist. Der fragliche Kammerboden 36 wird dann mit den behandelten Gegenständen 12 zur Entladeposition J verfahren und die Werkstückträger 14 mittels des Umsetzroboters 20 entnommen.Accordingly, then in the position I, the chamber hood 40 be removed after there sucked the plasma and the treatment chamber 38 has been ventilated. The floor of the chamber in question 36 is then treated with the items 12 move to the unloading position J and the workpiece carrier 14 by means of the conversion robot 20 taken.
Unter Umständen kann es der UV-Prozess erfordern, dass das Plasmagas in der Behandlungskammer 38 nach einer gewissen Zeit ausgetauscht wird. Dies kann beispielsweise in der Position E erfolgen, wozu dort entsprechende Anschlüssen zum Kammerboden 36 vorhanden sind, die insbesondere mit einer Vakuumpumpe und einem Reservoir für die Austauschatmosphäre verbunden werden können.Under certain circumstances, it may require the UV process that the plasma gas enters the treatment chamber 38 is exchanged after a certain time. This can be done for example in the position E, including there corresponding connections to the chamber floor 36 are present, which can be connected in particular with a vacuum pump and a reservoir for the exchange atmosphere.
Bei dem in 6 gezeigten Ausführungsbeispiel können die Behandlungskammern 38 entlang der Förderbahn 76 nach der Position C über die vier Positionen D, E, F und G zur Position H bewegt werden, wie dies auch bei der Variante nach 5 der Fall ist. Darüber hinaus können die Behandlungskammern 38 jedoch nach der Position C auch wahlweise entlang eines zusätzlichen Förderbahnabschnitts 78a einer Förderbahn 78 über nur zwei Prozesspositionen K und L zur Position H bewegt werden, die hier unbesetzt gezeigt sind. Entlang dieser Förderbahn 78 sind dann als Arbeitspositionen die Umladepositionen A und J und die Prozesspositionen B, C, K, L, H sowie I angeordnet. Die Anzahl der Prozessschritte bezogen auf die Prozesspositionen, die innerhalb der Anlage 10 von den Behandlungskammern 38 durchlaufen werden können, kann somit wahlweise verringert oder erhöht werden. Hierdurch ist eine sofortige Anpassung und Optimierung der für jeweilige Gegenstände notwendigen Prozessschritte möglich, wenn aufeinander folgend unterschiedliche Gegenstände behandelt werden müssen, ohne das zeitraubende Umstellungen an der Anlage durchgeführt werden müssen.At the in 6 embodiment shown, the treatment chambers 38 along the conveyor track 76 to the position C over the four positions D, E, F and G are moved to position H, as in the variant according to 5 the case is. In addition, the treatment chambers 38 however, according to the position C also optionally along an additional conveyor track section 78a a conveyor belt 78 be moved over only two process positions K and L to position H, which are shown here unoccupied. Along this conveyor track 78 are then arranged as working positions Umladepositionen A and J and the process positions B, C, K, L, H and I. The number of process steps related to the process items within the plant 10 from the treatment chambers 38 can thus be optionally reduced or increased. As a result, an immediate adaptation and optimization of the necessary process steps for each item is possible if consecutively different objects must be treated without the time-consuming changes must be made to the system.
Auch bei diesem Ausführungsbeispiel werden die Kammerböden 36a bis 36i zwischen jeweils zwei aufeinander folgenden Arbeitpositionen A bis J, K oder L jeweils translatorisch bewegt.Also in this embodiment, the chamber bottoms 36a to 36i between each two consecutive working positions A to J, K or L are each translationally moved.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel der Anlage 10 ist in 7 gezeigt, wo Kammerböden 36a bis 36h von einem Prozesskarussell 80 mitgeführt werden, das um eine zentrale Achse verdreht werden kann. Das Prozesskarussell 80 bildet wie die Aufnahmeplatte 28 des Prozesstisches 26 ein Drehelement, das die Kammerboden 36 mit sich führt. Das Prozesskarussell 80 wird dabei taktweise verdreht, wobei die Kammerböden 36 aufeinander folgend Positionen A bis H einnehmen. Bei der Anordnung, wie sie in 7 gezeigt ist, bildet die Position A eine Umladeposition zum Beladen und die Position G eine Umladeposition zum Entladen, bei denen die Umsetzroboter 20a, 20b Zugriff auf die Kammerböden 36 haben.Another embodiment of the plant 10 is in 7 shown where chamber bottoms 36a to 36h from a process carousel 80 be entrained, which can be rotated about a central axis. The process carousel 80 forms like the receiving plate 28 of the process table 26 a rotary element that covers the chamber floor 36 with you. The process carousel 80 is thereby cyclically twisted, the chamber bottoms 36 take positions A to H consecutively. In the arrangement, as in 7 is shown, the position A forms a Umladeposition for loading and the position G a Umladeposition for unloading, in which the Umsetzroboter 20a . 20b Access to the chamber bottoms 36 to have.
Die Kammerhauben 40 können in den Umladepositionen A und G von der Hub-/Senkeinheit 66 aufgenommen und wieder auf die Kammerböden 36 abgesetzt werden, wo dann auch das Plasma in den Behandlungskammern 38 etabliert bzw. beendet wird. Alternativ kann dies auch erst in den Positionen B und F erfolgen.The chamber hoods 40 can in the reloading positions A and G of the lifting / lowering unit 66 picked up and returned to the chamber bottoms 36 be discontinued, where then the plasma in the treatment chambers 38 is established or terminated. Alternatively, this can only be done in positions B and F.
In der Position H ist die Kammerhaube 40 dementsprechend stets entfernt. Anstelle von separaten Zuführ- und Abgabeförderern ist hier ein durchgehender Förderer 82 vorhanden, der an beiden Umladepositionen A und G vorbeiführt und von dem jeweiligen Umsetzroboter 20a, 20b erreichbar ist.In position H is the chamber hood 40 accordingly always removed. Instead of separate feed and discharge conveyors here is a continuous conveyor 82 present, which leads past both reloading positions A and G and of the respective Umsetzroboter 20a . 20b is reachable.
In 8 ist ein Ausführungsbeispiel der Anlage 10 gezeigt, bei dem Behandlungskammern 84 von dem Prozesskarussell 80 mitgeführt werden, die anders als die oben erläuterten Behandlungskammern 38 aufgebaut sind. Nicht alle Behandlungskammern 84 sind in 8 mit einem Bezugszeichen versehen.In 8th is an embodiment of the plant 10 shown at the treatment chambers 84 from the process carousel 80 be carried along, unlike the above-mentioned treatment chambers 38 are constructed. Not all treatment chambers 84 are in 8th provided with a reference numeral.
Während die oben beschriebenen Behandlungskammern 38 aus dem jeweiligen Kammerboden 36 mit der zugehörigen Kammerhaube 40 gebildet sind, umfassen die Behandlungskammern 84 ein zweiteiliges Klappgehäuse 86, welches zwei um eine vertikale Schwenkachse 88 verschwenkbar miteinander gekoppelte Gehäuseteile 86a, 86b aufweist, welche jeweils einen Bodenteil 90a, 90b eines Kammerbodens 90 und Wände und einen Deckenteil der Behandlungskammer 84 vorgeben, die nicht eigens mit Bezugszeichen versehen sind.While the treatment chambers described above 38 from the respective chamber floor 36 with the associated chamber hood 40 are formed, include the treatment chambers 84 a two-part folding housing 86 which two about a vertical pivot axis 88 pivotally coupled housing parts 86a . 86b each having a bottom part 90a . 90b a chamber floor 90 and walls and a ceiling portion of the treatment chamber 84 pretend that are not specially provided with reference numerals.
Die Schwenkachse 88 ist auf der zur zentralen Drehachse des Prozesskarussells 80 weisenden Seite des Klappgehäuses 86 angeordnet. Das Klappgehäuse 86 umfasst die zu Ausbildung des Plasmas erforderlichen Kontakteinrichtungen zur Kontaktierung der Werkstückträger 14 und bildet die Gegenelektrode oder führt eine Gegenelektrode mit sich.The pivot axis 88 is on the to the central axis of rotation of the process carousel 80 facing side of the folding housing 86 arranged. The folding housing 86 comprises the contact devices required for forming the plasma for contacting the workpiece carriers 14 and forms the counter electrode or carries a counter electrode with it.
Die Werkstückträger 14 mit den hier nicht eigens gezeigten Gegenständen sind als Tragspindel ausgebildet und werden mittels eines Prozessförderers 92 bewegt, wobei sie während des Prozesses im Prozessbereich 16 nicht von dem Prozessförderer 92 getrennt werden. Hierzu laufen die Werkstückträger 14 auf einer Förderbahn 94, die bereichsweise dem Umlaufweg der Behandlungskammern 84 bei der Drehung des Prozesskarussells 80 folgt.The workpiece carriers 14 with the items not specifically shown here are designed as a support spindle and are by means of a process conveyor 92 being moved while being in the process area during the process 16 not from the process promoter 92 be separated. For this the workpiece carriers run 14 on a conveyor track 94 , in some cases the circulation path of the treatment chambers 84 during the rotation of the process carousel 80 follows.
Es sind keine Umsetzroboter vorhanden; die Positionen A und G definieren dennoch auch hier die Umladepositionen zum Be- bzw. Entladen der Behandlungskammern 84.There are no Umsetzroboter available; the positions A and G nevertheless define the reloading positions for loading and unloading of the treatment chambers 84 ,
Wie in 8 zu erkennen ist, ist das Klappgehäuse 86 in der Position H auseinandergeklappt. Die Förderbahn 94 ist an die Drehbewegung des Prozesskarussells 80 angepasst. Während sich das Prozesskarussell 80 dreht, wird ein Werkstückträger 14 auf einem Weg zur Beladeposition A gefördert, der den Bewegungsweg der geöffneten Behandlungskammer 84 derart kreuzt, dass der Werkstückträger 14 gleichsam in die offene Behandlungskammer 84 eingefädelt wird und mittig im Klappgehäuse 86 angeordnet ist, wenn die Beladeposition A erreicht ist. Das Klappgehäuse 86 wird dann geschlossen, wozu in den gegenuberliegenden Innenrändern der Bodenteile 90a, 90b jedes Gehäuseteils 86a, 86b Ausnehmungen vorhanden sind, die jeweils einen unteren Spindelabschnitt der Werkstückträger 14 umgreifen können. Die Werkstückträger 14 sind so ausgebildet, dass die Gegenstände 12 auf einen Höhenniveau oberhalb des hier aus den beiden Bodenteilen 90a, 90b der Gehäuseteile 86a, 86b gebildeten Kammerbodens 90 getragen sind. Die Ausnehmungen bilden bei geschlossener Behandlungskammer 84 einen Durchgang 96 im Kammerboden 90 und sind mit Dichtmitteln 98 versehen, so dass die geschlossene Behandlungskammer 84 insgesamt gasdicht und evakuierbar ist.As in 8th can be seen, is the folding housing 86 unfolded in the H position. The conveyor track 94 is due to the rotary motion of the process carousel 80 customized. While the process carousel 80 turns, becomes a workpiece carrier 14 promoted on a path to the loading position A, the movement path of the open treatment chamber 84 so crosses that the workpiece carrier 14 as it were in the open treatment chamber 84 is threaded and centrally in the folding housing 86 is arranged when the loading position A is reached. The folding housing 86 is then closed, including in the opposite inner edges of the floor parts 90a . 90b each housing part 86a . 86b Recesses are present, each having a lower spindle portion of the workpiece carrier 14 can embrace. The workpiece carriers 14 are designed so that the objects 12 to a height above the here from the two parts of the ground 90a . 90b the housing parts 86a . 86b formed chamber bottom 90 are worn. The recesses form when the treatment chamber is closed 84 a passage 96 in the chamber floor 90 and are with sealants 98 provided so that the closed treatment chamber 84 total gas-tight and evacuated.
Nachdem in der oben erläuterten Art und Weise das Plasma im Behandlungsraum 42 ausgebildet ist, wird das Prozesskarussell 80 weiterbewegt, wobei die Drehung des Prozesskarussells 80 und die Bewegung der Werkstückträger 14 synchronisiert und gleichförmig erfolgen. Die Behandlungskammern 84 erreichen dann gemeinsam mit den Werkstückträgern 14 und den Gegenständen 12 die einzelnen Prozesspositionen auf dem Prozesskarussell 80.After in the manner explained above, the plasma in the treatment room 42 is formed, becomes the process carousel 80 Moving further, the rotation of the process carousel 80 and the movement of the workpiece carriers 14 synchronized and uniform. The treatment chambers 84 then reach together with the workpiece carriers 14 and the objects 12 the individual process positions on the process carousel 80 ,
Bei diesem Ausführungsbeispiel kann die Förderung der Prozesskammern 84 und der Werkstückträger 14 über den gesamten Prozessablauf kontinuierlich erfolgen. Im einfachsten Fall führt das Prozesskarussell 80 hierzu alle erforderlichen Versorgungsquellen und Betriebsmittel, d. h. vorliegend das Plasmagasreservoir 50, die Vakuumpumpe 48 und die Hochfrequenzquelle 70, mit sich, die über Anschluss-/Ventileinheiten mit allen Prozesskammern 84 verbunden sind. In diesem Fall ist z. B. auch jeder Prozesskammer 84 eine eigene Gasförderpumpe 64 zugeordnet, so dass jede Prozesskammer 84 individuell mit Plasmagas gespeist werden kann.In this embodiment, the promotion of the process chambers 84 and the workpiece carrier 14 continuously throughout the entire process. In the simplest case, the process carousel leads 80 For this purpose, all the necessary sources of supply and resources, ie in this case the plasma gas reservoir 50 , the vacuum pump 48 and the high frequency source 70 , with itself, the connection / valve units with all process chambers 84 are connected. In this case, z. B. also every process chamber 84 its own gas pump 64 assigned so that each process chamber 84 individually with plasma gas can be fed.
In einer Abwandlung kann die Förderung auch taktweise erfolgen. In diesem Fall kann die Versorgung der Prozesskabinen 84 über eine Andockstation erfolgen, wie es oben beschrieben wurde.In a modification, the promotion can also be done intermittently. In this case, the supply of the process cabins 84 via a docking station, as described above.
In der Entladeposition G wird die Behandlungskammer 84 dann in der oben erläuterten Weise in einen Entladezustand gebracht und das Klappgehäuse 86 geöffnet. Hierauf wird der Werkstückträger 14 gegenüber dem weiter auf der Drehbahn des Karussells geführten offenen Klappgehäuse 86 derart bewegt, dass dieser gleichsam aus dem Klappgehäuse 86 ausgefädelt wird.In the unloading position G, the treatment chamber 84 then brought in the manner explained above in a discharge state and the folding housing 86 open. Then the workpiece carrier becomes 14 opposite to the further on the lane of the carousel run open folding housing 86 moved so that this as it were from the folding housing 86 is threaded out.
Die Werkstückträger 14 mit den nun behandelten Gegenständen 12 werden dann ihrer weiteren Bestimmung zugeführt und der Umlaufzyklus, der mit dem Beladen einer Behandlungskammer 84 beginnt, wird wiederholt.The workpiece carriers 14 with the now treated items 12 are then fed to their further destination and the circulation cycle associated with loading a treatment chamber 84 begins, is repeated.
Bei einer Abwandlung ist lediglich der Kammerboden 90 zweiteilig als Klappboden ausgebildet und die Behandlungskammer 84 wird ausgebildet, indem die Kammerhaube 40 auf den zusammengeklappten und den Werkstückträger 14 umgreifenden Kammerboden 90 aufgesetzt wird.In a modification, only the chamber floor is 90 formed in two parts as folding floor and the treatment chamber 84 is formed by the chamber hood 40 on the folded and the workpiece carrier 14 encompassing chamber floor 90 is put on.
Bei allen oben beschriebenen Ausführungsbeispielen ist die Arbeitsatmosphäre durch das Plasmagas gebildet, das unter geringem Druck in den Behandlungskammern 38 oder 84 vorliegt.In all the embodiments described above, the working atmosphere is formed by the plasma gas, which under low pressure in the treatment chambers 38 or 84 is present.
In jedem Fall verhindern die Behandlungskabinen 38, 84 stets, dass eine möglicherweise bei einer Behandlung der Gegenstände gebildete schädliche Atmosphäre von der Umgebung isoliert in dem Behandlungsraum 42 bleibt. Zusätzlich zu dem Plasmagasreservoir 50 kann dann eine Absauganlage vorhanden sein, die mit dem Kammerboden 36, 90 verbunden ist und mittels welcher die schädliche Atmosphäre aus dem Behandlungsraum 42 abgesaugt und einer Aufbereitung zugeführt werden kann, nachdem der Behandlungsprozess abgeschlossen ist.In any case, the treatment cabins prevent 38 . 84 always that a potentially harmful atmosphere formed during treatment of the articles is isolated from the environment in the treatment room 42 remains. In addition to the plasma gas reservoir 50 Then there may be an extraction system that is connected to the chamber floor 36 . 90 is connected and by means of which the harmful atmosphere from the treatment room 42 aspirated and can be fed to a treatment after the treatment process is completed.
