DE102010062035A1

DE102010062035A1 - Verfahren zur Herstellung eines Szintillator-Fotosensor-Sandwich, Szintillator-Fotosensor-Sandwich und Strahlungsdetektor

Info

Publication number: DE102010062035A1
Application number: DE102010062035A
Authority: DE
Inventors: Manfred Fuchs; Klaus Lowack; Adelbert Preissler
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens Healthcare GmbH
Priority date: 2010-11-26
Filing date: 2010-11-26
Publication date: 2012-05-31
Anticipated expiration: 2030-11-27
Also published as: CN102590849B; US20120132812A1; DE102010062035B4; US8692207B2; CN102590849A

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Szintillator-Fotosensor-Sandwich, einen Szintillator-Fotosensor-Sandwich und einen Strahlungsdetektor mit einem Szintillator-Fotosensor-Sandwich, wobei der Szintillator-Fotosensor-Sandwich erzeugt wird: – durch Aufkleben eines ersten Tragrahmens (2) auf eine, mindestens einseitig mit einer zweiten Schutzfolie (1.3) abgedeckte, Klebstoffschicht (1.2) auf der Seite der Klebstoffschicht, wobei der Rahmen (2) eine Größe aufweist, die in der Fläche den zu fertigende Szintillator-Fotosensor-Sandwich umschließt, – Auflegen des ersten Tragrahmens (2) auf eine flache, eine erste Funktionsschicht (3) tragende, Unterlage (9), – flächiges Zusammenfügen der auf dem ersten Tragrahmen (2) verspannten Klebstoffschicht (1.2) und der ersten Funktionsschicht (3), – Abziehen der zweiten Schutzfolie (1.3) von der Klebstoffschicht (1.2), und – Zusammenfügen der zweiten Funktionsschicht (7) mit der ersten Funktionsschicht (3) mit der dazwischen liegenden Klebstoffschicht (1.2).

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Szintillator-Fotosensor-Sandwich, einen Szintillator-Fotosensor-Sandwich und einen Strahlungsdetektor mit einem Szintillator-Fotosensor-Sandwich, wobei der Szintillator-Fotosensor-Sandwich durch Verkleben einer Szintillatorschicht mit einer Fotosensorschicht hergestellt wird.
Bei der Herstellung von Detektoren zur bildgebenden Darstellung mit Hilfe von ionisierender Strahlung für medizinische Anwendungen oder für NDT (= Non Destructive Testing = nicht-zerstörendes Testen) werden Szintillatoren, beispielsweise CsI:Tl auf Al-Substraten oder GOS-Verstärkerfolien (GOS = Gadoliniumoxysulfid = Gd₂O₂S), über Fotosensoren, wie CMOS-Arrays (CMOS = Complementary Metal Oxide Semiconductor = Komplementärer Metalloxyid-Halbleiter) oder CCD-Arrays (CCD = Charge Coupled Device = lichtempfindliches elektronisches Bauelement), insbesondere mit amorpher Siliciumtechnologie (a-Si), angeordnet. Entweder wird die Szintillatorschicht nur angepresst oder verklebt. Das Verkleben hat den Vorteil, dass mehr Licht aus dem Szintillator in den Fotosensor eingekoppelt wird.
Ein der Erfindung ähnliches Herstellungsverfahren, ein ähnlicher Szintillator-Fotosensor-Sandwich und ein ähnlicher Strahlungsdetektor sind aus der Druckschrift US 2008/0206917 A1 bekannt. In dieser Druckschrift wird ein Herstellungsprozess eines solchen Szintillator-Fotosensor-Sandwich zur Verwendung in einem Strahlungsdetektor für ionisierende Strahlung im Rahmen einer bildgebenden Darstellung offenbart, bei dem mit Hilfe eines Transferklebebandes eine Klebstoffschicht ohne Vakuum auf eine Fotosensorschicht laminiert wird, wobei im unmittelbar auf den Laminierprozess folgenden Verarbeitungsprozess die verbleibende Schutzfolie des Transferklebebandes von der Klebstoffschicht abgezogen wird und darauf die Szintillatorschicht unter Vakuum auf die mit einer Klebstoffschicht versehene Fotosensorschicht aufgelegt und mit dieser geklebt wird.
Problematisch ist hierbei, dass der dort offenbarte Arbeitsprozess, insbesondere wegen des teilweise unter Vakuum durchgeführten Herstellungsprozesses, aufwendig ist.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein alternatives Herstellungsverfahren für einen Röntgendetektor oder ein Röntgendetektorelement zu finden, bei dem die Kombination zwischen Szintillatorschicht und Fotosensorschicht einfacher hergestellt wird.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand untergeordneter Ansprüche.
Erfindungsgemäß erfolgt die Herstellung eines Szintillator-Fotosensor-Sandwich für einen Detektor beispielsweise mittels eines Transferklebebandes, bestehend aus einem Schichtaufbau aus Schutzfolie – Klebstoffschicht – optional Schutzfolie, in drei Schritten. In einem ersten Schritt wird nach Entfernung der gegebenenfalls vorhandenen unteren Schutzfolie die restliche Klebefolie mit Klebstoffschicht auf einen Trägerrahmen laminiert, der größer als der Szintillator beziehungsweise der Fotosensor ist. In einem zweiten Schritt wird der Rahmen mit der Folie über den Szintillator oder den Fotosensor gelegt und die Klebefolie darauf laminiert oder in Kontakt gebracht, wobei für diesen Fall der Rahmen als Vakuumgefäß dient. Das Vakuum wird erfindungsgemäß durch einen Lochboden, welcher gleichzeitig den Szintillator oder Fotosensor ansaugt und ebnet, in das vom Rahmen und Folie umschlossene Volumen erzeugt. Nach Entfernung der zweiten Schutzfolie vom berahmten Szintillator beziehungsweise Fotosensor wird auf diesen Rahmen ein zweiter Rahmen geklebt, welcher dann über den Fotosensor beziehungsweise den Szintillator gelegt wird und entweder wieder laminiert oder, vorzugsweise unter Vakuum, in Kontakt gebracht wird. Später erfolgt das Abschneiden der Rahmen vom Paket Szintillator/Klebefolie/Fotosensor. Es kann jedoch auch der Rahmen nach dem ersten Klebeschritt entfernt und dann auf das jeweilige Gegenstück, also den Szintillator beziehungsweise den Fotosensor, laminiert werden. Auch ist es möglich, durch zunächst aufkleben auf den Rahmen und entfernen der zweiten Schutzfolie, den Szintillator und den Fotosensor in einem Verarbeitungsschritt zu laminieren.
Durch den Rahmen ergibt sich bei den beschriebenen Vakuumlösungen eine deutliche Vereinfachung gegenüber dem Stand der Technik. Auch ist es damit möglich, beide Klebeverbindungen einfach unter Vakuum – zur Vermeidung von Lufteinschlüssen – herzustellen. Beim Laminieren bietet der Rahmen die Möglichkeit, beide zusammenzufügende Funktionsschichten in einem Arbeitsschritt zu verkleben. Ein weiterer Vorteil ist, dass ein abgeschlossener kleiner Raum geschaffen werden kann und vorteilhafterweise die klebende Seite – ohne die abgezogene Schutzfolie – stets nach unten gerichtet ist. Somit wird die Möglichkeit störender Partikeleinschlüsse auf der Funktionsschicht deutlich reduziert.
Ergänzend wird darauf hingewiesen, dass unter einer Szintillatorschicht im Sinne dieser Anmeldung eine Kombination aus einem Substrat mit einem darauf abgeschiedenen Szintillatormaterial, beispielsweise CsI:Tl, zu verstehen ist. Entsprechend ist unter einer Fotosensorschicht im Sinne dieser Anmeldung jeglicher Schichtaufbau zu verstehen, welcher pixelweise aus optischen Signalen elektronische Signale erzeugt. Beide Schichten werden in dieser Anmeldung mit dem Begriff „Funktionsschicht” benannt, die später die Funktion der Umwandlung von ionisierender Strahlung auf Lichtimpulse beziehungsweise die Funktion der Registrierung dieser Lichtimpulse inne haben.
Demgemäß schlagen die Erfinder ein Verfahren zur Herstellung eines Szintillator-Fotosensor-Sandwich zur Verwendung in einem pixelauflösenden Strahlungsdetektor für ionisierende Strahlung vor, wobei als erste und zweite Funktionsschicht wechselweise eine Szintillatorschicht beziehungsweise eine Fotosensorschicht verwendet wird und zumindest die folgenden Verfahrensschritte durchgeführt werden:

– Aufkleben eines ersten Tragrahmens auf eine, mindestens einseitig mit einer zweiten Schutzfolie abgedeckte, Klebstoffschicht auf der Seite der Klebstoffschicht, wobei der erste Rahmen eine Größe aufweist, die in der Fläche den zu fertigende Szintillator-Fotosensor-Sandwich umschließt,
– Auflegen des ersten Tragrahmens auf eine flache, eine erste Funktionsschicht tragende, Unterlage,
– flächiges Zusammenfügen der auf dem ersten Tragrahmen verspannten Klebstoffschicht und der ersten Funktionsschicht,
– Abziehen der zweiten Schutzfolie von der Klebstoffschicht, und
– Zusammenfügen der zweiten Funktionsschicht mit der ersten Funktionsschicht mit der dazwischen liegenden Klebstoffschicht.

Durch diese Verwendung eines Tragrahmens bei der Verbindung zur mindestens einer Seite der Klebstoffschicht mit einer Funktionsschicht vereinfacht sich das Herstellungsverfahren wesentlich, insbesondere ist es von Vorteil, dass die Klebschicht beim Aufbringen der Funktionsschicht nach unten gerichtet ist, wodurch eine wesentlich geringere Verschmutzungswahrscheinlichkeit für die Sensoroberfläche besteht.
Vorteilhaft kann anstelle eines zweischichtigen Transferklebebandes, bestehend aus einer einzigen Schutzfolie und einer darauf befindlichen Klebstoffschicht, auch ein dreischichtiges Transferklebeband verwendet werden, bei dem die Klebstoffschicht zwischen zwei Schutzfolien sandwichartig eingebunden ist. Hierbei wird es dann im erfindungsgemäßen Verfahren notwendig, dass vor dem Aufkleben des ersten Tragrahmens eine erste Schutzfolie von der Klebstoffschicht abgezogen wird.
Des Weiteren kann das flächige Zusammenfügen der Klebstoffschicht und der ersten Funktionsschicht beispielsweise durch ein Überrollen oder Überrakeln der zweiten Schutzfolie mit der darunter liegenden Klebstoffschicht ausgeführt werden.
Günstiger ist es allerdings, wenn das flächige Zusammenfügen der Klebstoffschicht und der ersten Funktionsschicht unter Vakuum, zumindest im Bereich zwischen der Klebstoffschicht und der ersten Funktionsschicht, stattfindet.
Durch die Verwendung eines Tragrahmens ergibt sich dabei erfindungsgemäß die vorteilhafte Möglichkeit, dass der erste Tragrahmen mit seiner freien Seite auf eine abdichtende Oberfläche einer Unterlage und über die erste Funktionsschicht gelegt wird, so dass die Klebstoffschicht die erste Funktionsschicht nicht berührt, wobei ein abgeschlossener Raum geschaffen wird und anschließend unter dem ersten Tragrahmen ein Vakuum erzeugt wird. Das Vakuum kann beispielsweise durch die Entnahme von Luft durch Öffnungen in der Oberfläche der Unterlage im Bereich des abgeschlossenen Raumes erzeugt werden. Alternativ besteht jedoch auch die Möglichkeit, den Rahmen selbst mit einem Anschluss an eine Vakuum erzeugende Vorrichtung zu versehen, so das bezüglich der Arbeitsfläche auf der die gesamte Herstellungsprozedur stattfindet keine besonderen Maßnahmen notwendig sind.
Vorteilhaft kann das erfindungsgemäß Verfahren auch dahingehend erweitert werden, dass nach dem Abziehen der zweiten Schutzfolie von der Klebstoffschicht dem ersten Tragrahmen gegenüber auf der frei gewordenen Seite der Klebstoffschicht ein zweiter Tragrahmen auf die Klebstoffschicht aufgeklebt wird.
Dieser zweite Tragrahmen kann dann ebenso mit seiner freien Seite auf eine abdichtende Oberfläche der Unterlage und über die zweite Funktionsschicht gelegt werden, so dass die Klebstoffschicht die zweite Funktionsschicht gerade nicht berührt, wobei wiederum ein neuer abgeschlossener Raum geschaffen wird und anschließend im neuen abgeschlossenen Raum ein Vakuum erzeugt wird. Auch dieses Vakuum kann wiederum durch Entnahme von Luft aus dem abgeschlossenen Raum, beispielsweise durch die Auflageoberfläche für den zweiten Tragrahmen oder auch über einen entsprechenden Vakuumanschluss am Tragrahmen selbst, durchgeführt werden.
Nach dem Verkleben der Funktionsschichten können der beziehungsweise die Tragrahme(n) einschließlich der überstehenden Klebstoffschicht vom Szintillator-Fotosensor-Sandwich abgetrennt werden, so dass lediglich der Szintillator-Fotosensor-Sandwich als herzustellendes Produkt übrig bleibt.
Werden zwei Tragrahmen im Herstellungsprozess verwendet, so ist es vorteilhaft, wenn diese Tragrahmen bezüglich ihrer Größe so ausgestaltet werden, dass sie in der Projektion auf ihre flächige Ausdehnung deckungsgleich sind. Außerdem können günstiger Weise Tragrahmen verwendet werden, welche in der Projektion auf ihre flächige Ausdehnung rechteckig oder quadratisch beziehungsweise elliptisch oder rund ausgebildet sind.
Schließlich wird noch vorgeschlagen, dass mindestens ein Tragrahmen verwendet wird, welcher in seiner Höhe zumindest teilweise elastisch oder nachgiebig ausgebildet ist, so dass, sobald ein Vakuum innerhalb des Tragrahmens angelegt wird, sich die Höhe aufgrund der entstehenden Druckdifferenz vermindert und damit automatisch die am Tragrahmen befestigte Klebschicht sich auf die darunter liegende zu beklebende Funktionsschicht auflegt.
Entsprechend dem erfindungemäßen Herstellungsverfahren wird durch die vorliegende Erfindung auch ein Szintillator-Fotosensor-Sandwich beansprucht, welcher nach dem zuvor beschriebenen Herstellungsverfahren erzeugt wurde.
Außerdem wird ein Strahlungsdetektor für ionisierende Strahlung für bildgebende Untersuchungsverfahren beansprucht, welcher mindestens einen erfindungemäß hergestellten Szintillator-Fotosensor-Sandwich beinhaltet.
Im Folgenden wird die Erfindung mit Hilfe der Figuren näher beschrieben, wobei nur die zum Verständnis der Erfindung notwendigen Merkmale dargestellt sind. Es werden folgende Bezugszeichen verwendet: 1: Transferklebeband; 1.1: erste Schutzfolie; 1.2: Klebstoffschicht; 1.3: zweite Schutzfolie; 2: erster Tragrahmen; 3: erste Funktionsschicht; 4: Vakuumverbindungen; 5: Vakuumpumpe; 6: zweiter Tragrahmen; 7: zweite Funktionsschicht; 8: Szintillator-Fotosensor-Sandwich; 9: Unterlage.
Es zeigen im Einzelnen: 1a, 1b–9a,9b: Ablauf des Herstellungsverfahrens in einzelnen Verfahrenschritten, wobei die mit a benannten Figuren eine Aufsicht und die mit b benannten Figuren eine Seitenansicht des jeweiligen Verfahrensschritts zeigen.
Eine bevorzugte Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist in den 1a, 1b bis 9a, 9b dargestellt. Die 1a bis 9a zeigen jeweils eine Aufsicht, während die Figuren 1b bis 9b jeweils eine Seitenansicht darstellen.
In den 1a und 1b ist ein Transferklebeband 1 gezeigt, bei dem eine Klebstoffschicht 1.2 durch zwei Schutzfolien 1.1 und 1.3 beidseitig abgedeckt wird. Ausgehend von einem solchen Transferklebeband 1 wird in den 2a und 2b gezeigt, wie die erste Schutzfolie 1.1 von der Klebstoffschicht 1.2 abgehoben wird, während die Schutzfolie 1.3 weiterhin auf der Klebstoffschicht 1.2 verbleibt.
Die 3a und 3b zeigen nun einen auf der Klebstoffschicht 1.2 aufgelegten ersten Tragrahmen 2, der dafür sorgt, dass bei der weiteren Verarbeitung das restliche Transferklebeband, bestehend aus der Klebstoffschicht 1.2 und der zweiten Schutzfolie 1.3, immerhin in einer definiert gestreckten Ausrichtung verharrt.
Nach dem Aufkleben des ersten Tragrahmens 2 kann das gesamt Gebilde bestehend aus dem ersten Tragrahmen 2, der darauf befindlichen Klebstoffschicht 1.2 und der Schutzfolie 1.3 um eine 180° gewendet werden und, wie es in den 4a und 4b gezeigt ist, über eine Funktionsschicht 3 gestülpt werden, wobei der Tragrahmen mit der Auflageoberfläche luftdicht abschließt und die über dem Tragrahmen gespannte Klebstoffschicht 1.2 die Oberfläche der Funktionsschicht 3 gerade nicht berührt. Wird nun durch entsprechende Vakuumleitungen 4, die mit einer Vakuumpumpe 5 verbunden sind, innerhalb des durch den Tragrahmen begrenzten Raumes ein Vakuum erzeugt, so senkt sich geringfügig die Klebstoffschicht 1.2 auf die Oberfläche der Funktionsschicht 3 ab und geht mit dieser eine feste Verbindung ein.
In den 5a und 5b ist zu erkennen, dass die erste Funktionsschicht 3 bereits an der Klebstoffschicht 1.2 anhaftet. Nach dem dieses Anhaften geschehen ist, kann nun die zweite Schutzfolie 1.3 von der Klebstoffschicht 1.2 abgezogen werden. Anschließend wird auf der nun freien Klebstoffschicht, wie es in den 6a und 6b gezeigt ist, ein zweiter Tragrahmen 6 auf die Klebstoffschicht 1.2 aufgebracht und danach das gesamte Gebilde mit den zwei deckungsgleich angeordneten Tragrahmen gewendet und über einer zweiten Funktionsschicht 7 platziert. Diese Situation ist in den 7a und 7b dargestellt. Danach wird wieder innerhalb des zweiten Tragrahmens 6 ein Vakuum erzeugt, durch welches sich wieder die Klebstoffoberfläche an die Oberfläche der zweiten Funktionsschicht 7 anlegt und damit eine feste Verbindung zwischen der Funktionsschicht 7 und der Klebstoffschicht 1.2 erzeugt.
In den 8a und 8b ist schließlich die gesamt Kombination zwischen der Klebstoffschicht 1.2, den darauf aufgeklebten Tragrahmen 2 und 6, einschließlich der auf der Klebstoffschicht 1.2 verklebten Funktionsschichten 3 und 7 dargestellt.
Schließlich kann die über die Funktionsschichten hinaus stehende Klebstoffschicht 1.2 mit den damit verbundenen Tragrahmen 2 und 6 abgeschnitten werden, so dass das in den 9a und 9b gezeigte Sandwich 8 entsteht, das aus einer ersten Funktionsschicht 3 mit einer darauf folgenden Klebstoffschicht 1.2 und einer zweiten Funktionsschicht 7 besteht.
Erfindungsgemäß kann wahlweise als erste Funktionsschicht eine Szintillatorschicht oder eine Fotosensorschicht und entsprechend als zweite Funktionsschicht eine Fotosensorschicht beziehungsweise eine Szintillatorschicht verwendet werden, so dass letztendlich ein Szintillator-Fotosensor-Sandwich 8, wie es in der 9b gezeigt ist, hergestellt wird.
Insgesamt wird also mit der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Szintillator-Fotosensor-Sandwich, ein Szintillator-Fotosensor-Sandwich und ein Strahlungsdetektor mit einem solchen Szintillator-Fotosensor-Sandwich vorgeschlagen, bei dem das Szintillator-Fotosensor-Sandwich durch Aufkleben eines ersten Tragrahmens auf eine, mindestens einseitig mit einer zweiten Schutzfolie abgedeckte, Klebstoffschicht auf der Seite der Klebstoffschicht, Auflegen des ersten Tragrahmens auf eine flache, eine erste Funktionsschicht tragende, Unterlage, flächiges Zusammenfügen der auf dem ersten Tragrahmen verspannten Klebstoffschicht und der ersten Funktionsschicht, Abziehen der zweiten Schutzfolie von der Klebstoffschicht, und Zusammenfügen der zweiten Funktionsschicht mit der ersten Funktionsschicht mit der dazwischen liegenden Klebstoffschicht, erzeugt wird.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten Merkmale der Erfindung nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung, verwendbar sind, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

US 2008/0206917 A1 [0003]

Claims

Verfahren zur Herstellung eines Szintillator-Fotosensor-Sandwich (8) zur Verwendung in einem pixelauflösenden Strahlungsdetektor für ionisierende Strahlung, wobei als erste und zweite Funktionsschicht (3, 7) wechselweise eine Szintillatorschicht beziehungsweise eine Fotosensorschicht verwendet wird, aufweisend die folgenden Verfahrensschritte: 1.1. Aufkleben eines ersten Tragrahmens (2) auf eine, mindestens einseitig mit einer zweiten Schutzfolie (1.3) abgedeckte, Klebstoffschicht (1.2) auf der Seite der Klebstoffschicht (1.2), wobei der erste Rahmen (2) eine Größe aufweist, die in der Fläche den zu fertigende Szintillator-Fotosensor-Sandwich (8) umschließt, 1.2. Auflegen des ersten Tragrahmens (2) auf eine flache, eine erste Funktionsschicht (3) tragende, Unterlage (9), 1.3. flächiges Zusammenfügen der auf dem ersten Tragrahmen (2) verspannten Klebstoffschicht (1.2) und der ersten Funktionsschicht (3), 1.4. Abziehen der zweiten Schutzfolie (1.3) von der Klebstoffschicht (1.2), 1.5. Zusammenfügen der zweiten Funktionsschicht (7) mit der ersten Funktionsschicht (3) mit der dazwischen liegenden Klebstoffschicht (1.2).
Herstellungsverfahren gemäß dem voranstehenden Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufkleben des ersten Tragrahmens (2) eine erste Schutzfolie (1.1) von der Klebstoffschicht (1.2) abgezogen wird.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass das flächige Zusammenfügen der Klebstoffschicht (1.2) und der ersten Funktionsschicht (3) durch Überrollen oder Überrakeln der zweiten Schutzfolie (1.3) mit der darunter liegenden Klebstoffschicht (1.2) geschieht.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass das flächige Zusammenfügen der Klebstoffschicht (1.2) und der ersten Funktionsschicht (3) unter Vakuum, zumindest im Bereich zwischen der Klebstoffschicht (1.2) und der ersten Funktionsschicht (3) stattfindet.
Herstellungsverfahren gemäß dem voranstehenden Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Tragrahmen (2) mit seiner freien Seite auf eine abdichtende Oberfläche einer Unterlage (9) und über die erste Funktionsschicht (3) gelegt wird, so dass die Klebstoffschicht (1.2) die erste Funktionsschicht (3) nicht berührt, wobei ein abgeschlossener Raum geschaffen wird und anschließend unter dem ersten Tragrahmen (2) ein Vakuum erzeugt wird.
Herstellungsverfahren gemäß dem voranstehenden Patentanspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum erzeugt wird, durch Entnahme von Luft durch Öffnungen (4) in der Oberfläche der Unterlage (9) im Bereich des abgeschlossenen Raumes.
Herstellungsverfahren gemäß dem voranstehenden Patentanspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum erzeugt wird, indem der Tragrahmen (2) selbst an eine Vakuum erzeugende Vorrichtung angeschlossen wird.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Abziehen der zweiten Schutzfolie (1.3) von der Klebstoffschicht (1.2) dem ersten Tragrahmen (2) gegenüber auf der nun frei gewordenen Seite der Klebstoffschicht (1.2) ein zweiter Tragrahmen (6) auf die Klebstoffschicht (1.2) aufgeklebt wird.
Herstellungsverfahren gemäß dem voranstehenden Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Tragrahmen (6) mit seiner freien Seite auf eine abdichtende Oberfläche der Unterlage (9) und über die zweite Funktionsschicht (7) gelegt wird, so dass die Klebstoffschicht (1.2) die zweite Funktionsschicht (7) nicht berührt, wobei ein neuer abgeschlossener Raum geschaffen wird und anschließend im neuen abgeschlossenen Raum ein Vakuum erzeugt wird.
Herstellungsverfahren gemäß dem voranstehenden Patentanspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum durch Entnahme von Luft aus dem neuen abgeschlossenen Raum erzeugt wird.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Verkleben der Funktionsschichten (3, 7) der beziehungsweise die Tragrahmen (2, 6) einschließlich der überstehenden Klebstoffschicht vom Szintillator-Fotosensor-Sandwich (8) abgetrennt wird.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass Tragrahmen (2, 6) verwendet werden, welche in der Projektion auf ihre flächige Ausdehnung deckungsgleich sind.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass Tragrahmen (2, 6) verwendet werden, welche in der Projektion auf ihre flächige Ausdehnung rechteckig oder quadratisch ausgebildet sind.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass Tragrahmen (2, 6) verwendet werden, welche in der Projektion auf ihre flächige Ausdehnung elliptisch oder rund ausgebildet sind.
Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Patentansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Tragrahmen (2, 6) verwendet wird, welcher in seiner Höhe zumindest teilweise elastisch oder nachgiebig ist, so dass sich die darauf befindliche Klebstoffschicht (1.2) beim Anlegen eines Vakuums automatisch auf die zu beklebende Funktionsschicht (3, 7) auflegt.
Szintillator-Fotosensor-Sandwich, dadurch gekennzeichnet, dass er nach einem Herstellungsverfahren gemäß einem der voranstehenden Herstellungsansprüche hergestellt wurde.
Strahlungsdetektor für ionisierende Strahlung für bildgebende Untersuchungsverfahren, dadurch gekennzeichnet, dass er mindestens einen Szintillator-Fotosensor-Sandwich gemäß dem voranstehenden Patentanspruch aufweist.