DE102010038747B4

DE102010038747B4 - Cooling unit of a continuous treatment plant for disc-shaped substrates

Info

Publication number: DE102010038747B4
Application number: DE102010038747.9A
Authority: DE
Inventors: Andrej WOLF; Matthias KLOOSS; von der Waydbrink Hubertus; Dr. Smolke Matthias; Reinhard Jaeger
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2010-07-30
Filing date: 2010-07-30
Publication date: 2016-06-16
Anticipated expiration: 2030-07-31
Also published as: DE102010038747A1

Abstract

Kühleinheit einer Durchlaufbehandlungsanlage für scheibenförmige Substrate, mit einer Substrattransporteinrichtung (5), mit einem oberen Kühlsystem (8) oberhalb der Substrattransporteinrichtung (5), das Finnen (11) mit stirnseitigen Luftaustrittsdüsen (10) aufweist, die von einem oberen Zuluftkanal (13) zu der Substrattransporteinrichtung (5) gerichtet sind, und mit einem unteren Kühlsystem (9) unterhalb der Substrattransporteinrichtung (5), das Finnen (11) mit stirnseitigen Luftaustrittsdüsen (10) aufweist, die von einem unteren Zuluftkanal (12) zu der Substrattransporteinrichtung (5) gerichtet sind, wobei sowohl das obere (8) als auch das untere Kühlsystem (9) in mindestens je zwei Segmente (14–18) geteilt sind, deren Luftdurchsatz jeweils getrennt einstellbar ist und dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Segment (14, 15) des oberen Kühlsystems (8) in einer Richtung von der Substrattransporteinrichtung (5) weg schwenkbar ist.Cooling unit of a continuous-flow processing system for disc-shaped substrates, comprising a substrate transport device (5), with an upper cooling system (8) above the substrate transport device (5) having fins (11) with frontal air outlet nozzles (10) leading from an upper supply air duct (13) the substrate transport means (5) are directed, and with a lower cooling system (9) below the substrate transport means (5) having fins (11) with frontal air outlet nozzles (10) from a lower supply air duct (12) to the substrate transport means (5) in which both the upper (8) and the lower cooling system (9) are divided into at least two segments (14-18), the air flow rate of each being separately adjustable and characterized in that at least one segment (14, 15) of the upper cooling system (8) is pivotable in a direction away from the substrate transporting device (5).

Description

Die Erfindung betrifft eine Kühleinheit einer Durchlaufbehandlungsanlage für scheibenförmige Substrate, mit einer Substrattransporteinrichtung, mit einem oberen Kühlsystem oberhalb der Substrattransporteinrichtung, das Finnen mit stirnseitigen Luftaustrittsdüsen aufweist, die von einem oberen Zuluftkanal zu der Substrattransporteinrichtung gerichtet sind, und mit einem unteren Kühlsystem unterhalb der Substrattransporteinrichtung, das Finnen mit stirnseitigen Luftaustrittsdüsen aufweist, die von einem unteren Zuluftkanal zu der Substrattransporteinrichtung gerichtet sind. Dabei sind sowohl das obere als auch das untere Kühlsystem in mindestens je zwei Segmente, deren Luftdurchsatz jeweils getrennt einstellbar ist, geteilt. The invention relates to a cooling unit of a continuous-flow processing system for disk-shaped substrates, comprising a substrate transport device having an upper cooling system above the substrate transport device, which has fins with frontal air outlet nozzles, which are directed from an upper supply air channel to the substrate transport device, and with a lower cooling system below the substrate transport device, the fin having frontal air outlet nozzles, which are directed from a lower supply air duct to the substrate transport device. In this case, both the upper and the lower cooling system in at least two segments, the air flow rate is each separately adjustable divided.

Scheibenförmige Substrate, insbesondere Glasscheiben, werden in Vakuumbehandlungsanlagen verschiedenen Prozessschritten, zur modifizierenden, additiven und substraktiven Behandlung unterzogen, d.h. Prozessschritte, bei denen das Substrat oder auf dem Substrat vorhandene Schichten strukturell oder energetisch verändert, Material auf dem Substrat abgeschieden oder vom Substrat entfernt werden. Neben der Substratbeschichtung mit verschiedenen Schichten und Schichtsystemen sind darunter beispielsweise Plasmabehandlungen oder Sputterätzen zu verstehen. Die Behandlung erfolgt dabei in einem Durchlauf und damit in Vakuumfolge, wobei verschiedene Behandlungen nacheinander in einem Durchlauf erforderlich sein können. Die Substrate werden dabei von einer Eingangsseite zu einer Ausgangsseite bewegt und dort über eine Ausgangsschleuse ausgegeben. Disc-shaped substrates, in particular glass panes, are subjected in vacuum treatment plants to various process steps for modifying, additive and subtractive treatment, i. Process steps in which the substrate or layers present on the substrate structurally or energetically changed, material deposited on the substrate or removed from the substrate. In addition to the substrate coating with different layers and layer systems, these include, for example, plasma treatments or sputter etching. The treatment is carried out in one pass and thus in a vacuum sequence, wherein different treatments can be required in succession in a single pass. The substrates are moved from an input side to an output side and output there via an output lock.

Für einige Anwendungsfälle, beispielsweise bei der Herstellung photovoltaischer Schichten ist erforderlich, die Behandlungen am heißen Substrat, d.h. am aktiv erhitzten oder durch den Behandlungsschritt erhitzten Substrat vorzunehmen. For some applications, for example in the manufacture of photovoltaic layers, it is necessary to have the treatments on the hot substrate, i. to carry out actively heated or heated by the treatment step substrate.

Am Ende der Behandlung, d.h. am Ausgang einer Durchlaufbehandlungsanlage, insbesondere nach der Ausgangsschleuse einer Durchlauf-Vakuumbehandlungsanlage, ist es erforderlich, das Substrat zu kühlen. Da es sich bei den Substraten sehr häufig um Glassubstrate handelt, ist es erforderlich, bestimmte Rahmenbedingungen einzuhalten. So ist es beispielsweise erforderlich, das Substrat schnell einer Kühlung zuzuführen, es dann aber nach Möglichkeit langsam abkühlen zu lassen. Dabei kann die Kühlung in Transportrichtung des Substrats durchaus progressiv verlaufen, d.h. am Anfang wird weniger stark gekühlt als am Ende des Kühlprozesses. Außerdem ist ein Temperaturgradient zwischen Ober- und Unterseite des Substrats zu beachten. Dabei kann es erforderlich sein, dass kein Temperaturgradient auftritt, und beide Seiten in gleichem Maße gekühlt werden sollen. In anderen Anwendungsfällen kann ein Temperaturgradient gezielt eingestellt und ausgeglichen werden. In diesem Falle führt dies zu einem unterschiedlichen Kühlen zwischen Unter- und Oberseite. At the end of the treatment, i. at the exit of a continuous treatment plant, in particular after the outlet lock of a continuous vacuum treatment plant, it is necessary to cool the substrate. Since the substrates are very often glass substrates, it is necessary to comply with certain conditions. Thus, for example, it is necessary to quickly supply the substrate to a cooling, but then let it slowly cool down if possible. In this case, the cooling in the transport direction of the substrate can be quite progressive, i. At the beginning, it is cooled less than at the end of the cooling process. In addition, a temperature gradient between the top and bottom of the substrate is observed. It may be necessary that no temperature gradient occurs, and both sides should be cooled to the same extent. In other applications, a temperature gradient can be set and compensated for. In this case, this leads to a different cooling between bottom and top.

In der DE 29 42 738 A1 wird eine Kühleinheit für scheibenförmige Substrate offenbart, die eine Substrattransporteinrichtung mit Transportrollen und Luftdüsen oberhalb und unterhalb der Transportbahn der Transporteinrichtung aufweist, wobei die Luftdüsen in Finnen angeordnet sind, die einerseits an einem Zuluftkanal angeordnet sind und andererseits so angeordnet sind, dass sie sich in vertikaler Richtung jeweils zwischen den Transportrollen befinden. Diese Anordnung wird durch die Transportrollen auf der Unterseite des Substrats bestimmt, da es somit möglich wird, dass die Kühlluft zwischen die Transportrollen auf die Unterseite des Substrats geblasen wird. Zur Vermeidung eines Temperaturgradienten zwischen Ober- und Unterseite des Substrats ist es zweckmäßig, dass dann die Finnen der Oberseite den Finnen der Unterseite genau gegenüberstehen. In the DE 29 42 738 A1 discloses a cooling unit for disk-shaped substrates, which has a substrate transport device with transport rollers and air nozzles above and below the transport path of the transport device, wherein the air nozzles are arranged in fins, which are arranged on one hand on a supply air duct and on the other hand arranged so that they are in vertical Direction between the transport rollers. This arrangement is determined by the transport rollers on the underside of the substrate, as it is thus possible that the cooling air is blown between the transport rollers on the underside of the substrate. To avoid a temperature gradient between the top and bottom of the substrate, it is expedient that then the fins of the top face the fins of the bottom exactly.

Eine solche Kühleinheit ist in der DE 29 42 738 A1 für das Kühlen von Glasscheiben an einer Vorrichtung zum Biegen von Glastafeln vorgesehen. Eine individuelle Behandlung bei der Kühlung von Substraten, wie sie insbesondere am Ausgang von Durchlaufbehandlungsanlagen oder zwischen Modulen der Durchlaufbehandlungsanlagen erforderlich ist, kann damit nicht erreicht werden. Such a cooling unit is in the DE 29 42 738 A1 intended for the cooling of glass sheets on a device for bending glass sheets. An individual treatment in the cooling of substrates, as required in particular at the outlet of continuous treatment plants or between modules of the continuous treatment plants, can not be achieved with it.

Die US 4 518 411 A beschreibt eine Kühlvorrichtung von Glasscheiben nach einem Deformierungsprozess, die eine Substrattransporteinrichtung aufweist und mit einem Kühlsystem ausgestattet ist. Dabei weist das Kühlsystem oberhalb der Substrattransporteinrichtung Finnen mit stirnseitigen Luftaustrittsöffnungen auf, die von einem oberen Zuluftkanal zu der Substrattransporteinrichtung gerichtet sind. Unterhalb der Substrattransporteinrichtung sind Finnen mit stirnseitigen Luftaustrittsdüsen vorgesehen, die von einem unteren Zuluftkanal versorgt werden. Bei Wartungs- und Einrichtungsarbeiten muss hier stets der gesamte obere Kammerdeckel, der die Kühleinrichtung enthält, geschwenkt werden. Dieses erzeugt einen erheblichen manuellen Kraftaufwand, der zwar kompensiert werden kann, dies jedoch nur mit einem nicht unerheblichen mechanischen Aufwand. The US Pat. No. 4,518,411 describes a cooling device of glass sheets after a deformation process, which has a substrate transport device and is equipped with a cooling system. In this case, the cooling system above the substrate transport device has fins with end-side air outlet openings, which are directed from an upper supply air channel to the substrate transport device. Below the substrate transport means Finns are provided with frontal air outlet nozzles, which are supplied by a lower supply air duct. During maintenance and installation work, the entire upper chamber lid, which contains the cooling device, must always be swiveled. This generates a considerable manual effort, which can indeed be compensated, but only with a considerable mechanical effort.

Die DE 101 22 310 A1 beschreibt eine längserstreckte Vakuumbeschichtungsanlage, die Beschichtungssektionen aufweist. Um die Wartung einfacher zu gestalten, weist diese Anlage für eine Beschichtungssektion ein Kammerunterteil und ein Kammeroberteil auf, die in Arbeitsstellung vakuumdicht verschließbar und in Wartungsstellung relativ zueinander beweglich sind. So kann beispielsweise das Kammeroberteil bei einer Wartung nach oben geschwenkt werden, wodurch sich der Zugang erheblich erleichtert. The DE 101 22 310 A1 describes an elongate vacuum coating machine having coating sections. In order to simplify maintenance, this system has a chamber lower part and a chamber upper part for a coating section, which can be closed vacuum-tight in the working position and relatively in the maintenance position are movable to each other. For example, the chamber upper part can be pivoted upwards during maintenance, which makes access much easier.

In der DE 10 2005 001 334 A1 ist eine mittels eines Deckels verschließbare Vakuumkammer offenbart. Dabei ist die Kammer an ihrer Oberseite mit einer Öffnung versehen, die mit einem Deckel verschlossen ist. An diesem Deckel sind Wandungsteile der Vakuumkammer befestigt, die bei einer Wartung zusammen mit dem Deckel herausgehoben werden können, wodurch der Zugang zum Kammerinneren bei Wartungsarbeiten ebenfalls erheblich erleichtert ist. In the DE 10 2005 001 334 A1 is disclosed by means of a lid closable vacuum chamber. The chamber is provided on its upper side with an opening which is closed by a lid. On this cover wall parts of the vacuum chamber are fixed, which can be lifted with a maintenance together with the lid, whereby the access to the chamber interior during maintenance is also greatly facilitated.

Die DE 10 2005 024 180 A1 offenbart eine Transferkammer und eine Pumpkammer am Eingang und Ausgang einer Vakuumbeschichtungsanlage. Darin ist vorgesehen, das Passing Band in der Pumpkammer anzuordnen, die sich in Nachbarschaft zu den Beschichtungskompartments befindet. Das Passing Band stellt eine Gruppe von Walzen der Transporteinrichtung für die Substrate dar, die separat von der übrigen Transporteinrichtung angetrieben werden und der Anpassung der Transportgeschwindigkeit in dem benachbarten Beschichtungskompartment dienen. The DE 10 2005 024 180 A1 discloses a transfer chamber and a pumping chamber at the entrance and exit of a vacuum coating equipment. It is intended to arrange the Passing Band in the pumping chamber which is in proximity to the coating compartments. The Passing Band represents a group of rollers of the transport means for the substrates which are driven separately from the rest of the transport means and which serve to adjust the transport speed in the adjacent coating compartment.

Die Aufgabe der Erfindung besteht nun darin, eine Kühleinheit einer Durchlaufbehandlungsanlage für scheibenförmige Substrate anzugeben, die wartungsfreundlich gestaltet ist. The object of the invention is therefore to provide a cooling unit of a continuous treatment plant for disk-shaped substrates, which is designed to be maintenance-friendly.

Die Aufgabe wird durch eine Kühleinheit mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Darin ist bei einer Kühleinheit einer Durchlaufbehandlungsanlage der eingangs genannten Art gemäß der Erfindung vorgesehen, dass zumindest ein Segment des oberen Kühlsystems in einer Richtung von der Substrattransporteinrichtung weg schwenkbar ist. The object is achieved by a cooling unit with the features of claim 1. It is provided in a cooling unit of a continuous treatment plant of the type mentioned according to the invention that at least one segment of the upper cooling system in a direction away from the substrate transport device is pivotable.

Die Erfindung wird hier anhand einer horizontalen Durchlaufbehandlungsanlage beschrieben, bei denen das Substrat horizontal auf der Substrattransporteinrichtung aufliegt. Sie kann aber durchaus auch bei vertikalen Durchlaufbehandlungsanlagen, bei denen das Substrat im wesentlichen senkrecht steht und durch geeignete Mittel, beispielsweise durch Carrier, gehalten wird, eingesetzt werden. Dann ist sinngemäß unter "oben" die Seite neben der Substrattransporteinrichtung zu verstehen, auf der die Substrate an der Substrattransporteinrichtung anliegen und unter "unten" dementsprechend die substratabgewandte Seite der Substrattransporteinrichtung. The invention is described here with reference to a horizontal continuous treatment plant in which the substrate rests horizontally on the substrate transport device. However, it can certainly also be used in vertical continuous treatment plants in which the substrate is substantially vertical and is held by suitable means, for example by means of carriers. Then, mutatis mutandis, "top" is to be understood as the side next to the substrate transport device on which the substrates rest against the substrate transport device and, below "below", the substrate side facing away from the substrate transport device.

In den Ansprüchen 2 bis 3 sind Merkmale günstiger Ausgestaltungen der Erfindung angegeben. In the claims 2 to 3 features of favorable embodiments of the invention are given.

In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Segmente der Kühlsysteme aus je einem Teil des jeweiligen Zuluftkanals mit den zugehörigen Finnen bestehen, wobei die Teile der Zuluftkanäle voneinander lufttechnisch getrennt sind und je eine eigene Zuluftsteuerung aufweisen. Diese Lösung ermöglicht es die Stärke der Kühlung der einzelnen Segmente unterschiedlich einzustellen, wobei eine Rückwirkung der Einstellung eines Segmentes auf die andere Segmente minimiert oder eliminiert ist. In one embodiment of the invention, it is provided that the segments of the cooling systems each consist of a part of the respective supply air duct with the associated fins, wherein the parts of the supply air ducts are separated from each other by air technology and each have their own Zuluftsteuerung. This solution makes it possible to set the intensity of the cooling of the individual segments differently, with the effect of minimizing or eliminating the effect of setting one segment on the other segments.

Weiterhin ist in einer Ausführung vorgesehen, dass zumindest ein Segment des oberen Kühlsystems in einer Richtung von der Substrattransporteinrichtung weg bewegbar ist. Insbesondere kann das Segment schwenkbar ausgebildet sein. Diese Lösung wird einerseits durch die Segmentierung möglich, da damit bewegbare handhabbare Einheiten geschaffen werden. Andererseits wird es dadurch möglich, die Substrattransporteinrichtung leichter zugänglich zu machen, beispielsweise bei Wartungsarbeiten oder beim Bruch von Substraten. Furthermore, it is provided in an embodiment that at least one segment of the upper cooling system is movable in a direction away from the substrate transport device. In particular, the segment can be designed to be pivotable. On the one hand, this solution is made possible by the segmentation, since this creates movable manageable units. On the other hand, this makes it possible to make the substrate transport device more easily accessible, for example during maintenance work or when substrates are broken.

Auch die Substrattransporteinrichtung kann segmentiert werden, indem sie in mindestens zwei Segmente geteilt ist, deren Transportgeschwindigkeiten jeweils getrennt einstellbar sind. So wird es möglich, das Substrat schnell einer Kühlung zuzuführen, indem es beispielsweise mit dem vorderen Transportsegment schnell aus der Ausgangsschleuse entnommen wird und es dann durch das hintere Segment langsam weiter zu transportieren. The substrate transport device can also be segmented by being divided into at least two segments whose transport speeds can each be set separately. This makes it possible to quickly supply the substrate to cooling, for example, by quickly removing it from the exit lock with the front transport segment and then slowly transporting it further through the rear segment.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigt The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. In the accompanying drawings shows

1 eine Kühleinheit nach dem Stand der Technik in einer Prinzipdarstellung, 1 a cooling unit according to the prior art in a schematic diagram,

2 eine perspektivische Darstellung einer Finne nach dem Stand der Technik, 2 a perspective view of a fin according to the prior art,

3 eine erfindungsgemäße Kühleinrichtung in einer Prinzipdarstellung quer zur Transportrichtung, 3 a cooling device according to the invention in a schematic representation transversely to the transport direction,

4 eine erfindungsgemäße Kühleinrichtung in einer Prinzipdarstellung entgegen der Transportrichtung und 4 a cooling device according to the invention in a schematic representation opposite to the transport direction and

5 die Kühleinrichtung nach 4 mit nach oben geschwenkten oberen Kühlsegmenten. 5 the cooling device after 4 with upwardly pivoted upper cooling segments.

Wie in 1 dargestellt, ist es erforderlich, nach der Ausgangsschleuse 1 einer Durchlauf-Vakuumbehandlungsanlage 2, das Substrat 3, hier in Form einer Glasscheibe, zu kühlen. Hierfür ist die Kühleinheit 4 vorgesehen. As in 1 shown, it is necessary after the exit lock 1 a pass-through vacuum treatment facility 2 , the substrate 3 , here in the form of a glass pane, to cool. This is the cooling unit 4 intended.

Diese weist eine Substrattransporteinrichtung 5 auf. Die Substrattransporteinrichtung 5 ist mit Transportrollen 6 versehen, die in einem Rahmen 7 gelagert und mit einem nicht näher dargestellten Antriebssystem, mit dem zumindest einige der Transportrollen 6 in Rotation versetzt werden, verbunden. This has a substrate transport device 5 on. The substrate transport device 5 is with transport wheels 6 provided in a frame 7 stored and with a drive system, not shown, with which at least some of the transport rollers 6 in rotation, connected.

Oberhalb der Substrattransporteinrichtung 5 ist ein oberes Kühlsystem 8 und unterhalb der Substrattransporteinrichtung 5 ein unteres Kühlsystem 9 vorgesehen, die jeweils Luftdüsen 10 aufweisen, die in Finnen 11 angeordnet sind, wie dies in 2 dargestellt ist. Above the substrate transport device 5 is an upper cooling system 8th and below the substrate transport 5 a lower cooling system 9 provided, each air nozzles 10 show in fins 11 are arranged as in 2 is shown.

Die Finnen 11 sind jeweils an einem unteren Zuluftkanal 12 und einem oberen Zuluftkanal 13 angeordnet und mit diesen lufttechnisch verbunden, d.h. die Luft strömt von den Luftführungskanälen 12 und 13 in die Finnen 11 und von dort aus den Luftdüsen 10 aus. Finns 11 are each at a lower supply air duct 12 and an upper supply air duct 13 arranged and associated with these ventilation technology, ie, the air flows from the air ducts 12 and 13 in the Finns 11 and from there the air jets 10 out.

Die Finnen 11 des unteren Zuluftkanals 12 sind so angeordnet, dass sie sich in vertikaler Richtung jeweils zwischen den Transportrollen 6 befinden, wodurch die Kühlluft zwischen den Transportrollen 6 auf die Unterseite des Substrats 3 strömt. Die Finnen 11 des oberen Zuluftkanals 13 stehen den Finnen 11 des unteren Zuluftkanals 12 genau gegenüber. Finns 11 of the lower supply air duct 12 are arranged so that they are in the vertical direction respectively between the transport rollers 6 which causes the cooling air between the transport rollers 6 on the bottom of the substrate 3 flows. Finns 11 of the upper supply air duct 13 stand the Finns 11 of the lower supply air duct 12 exactly opposite.

Wie in 3 dargestellt, ist das obere Kühlsystem 8 in zwei Segmente 14, 15 geteilt, einem in Transportrichtung 16 gesehenem vorderen Segment 14 und einem in Transportrichtung 16 gesehenem hinterem Segment 15. Auch das untere Kühlsystem 9 ist in zwei Segmente 17, 18 geteilt, nämlich einem in Transportrichtung 16 gesehenem vorderen Segment 17 und einem in Transportrichtung 16 gesehenem hinteren Segment 18. Die Segmente 14 bis 18 der Kühlsysteme 8, 9 bestehen aus je einem Teil 19 bis 22 des jeweiligen Zuluftkanals 12, 13 mit den zugehörigen Finnen 11, wobei die Teile 19 bis 22 der Zuluftkanäle 12, 13 voneinander lufttechnisch getrennt sind und je eine eigene Zuluftsteuerung 23 bis 26 aufweisen, wodurch deren Luftdurchsatz jeweils getrennt einstellbar ist. As in 3 shown, is the upper cooling system 8th in two segments 14 . 15 divided, one in the direction of transport 16 seen front segment 14 and one in the transport direction 16 seen rear segment 15 , Also the lower cooling system 9 is in two segments 17 . 18 divided, namely one in the transport direction 16 seen front segment 17 and one in the transport direction 16 seen rear segment 18 , The segments 14 to 18 the cooling systems 8th . 9 each consist of one part 19 to 22 of the respective supply air duct 12 . 13 with the associated fins 11 , where the parts 19 to 22 the supply air ducts 12 . 13 are separated from each other by ventilation technology and each have their own supply air control 23 to 26 have, whereby the air flow rate is separately adjustable.

Die Substrattransporteinrichtung 5 ist in drei Segmente 27 bis 29 geteilt, deren Transportgeschwindigkeit jeweils getrennt einstellbar sind. The substrate transport device 5 is in three segments 27 to 29 divided, the transport speed are each separately adjustable.

Wie in 4 und 5 dargestellt, sind die Segmente 14 und 15 des oberen Kühlsystems 8 mit Schwenklagern 30 an einem Gestell 31 der Kühleinheit 4 schwenkbar angeordnet. Hierdurch wird es möglich, die Segmente 14 und 15 im Falle von Wartungsarbeiten oder ähnlichem hochzuheben, wie dies in 5 dargestellt ist. Um die Schwenkbewegung zu ermöglichen, sind die Segmente 14 und 15 des oberen Zuluftkanals 13 über einen flexiblen Kanal 32 mit einer nicht näher dargestellten Druckluftquelle, z.B. mit einem Lüfter, verbunden. As in 4 and 5 shown are the segments 14 and 15 of the upper cooling system 8th with pivot bearings 30 on a rack 31 the cooling unit 4 arranged pivotally. This makes it possible for the segments 14 and 15 in the case of maintenance or the like, as in 5 is shown. To enable the pivoting movement, the segments are 14 and 15 of the upper supply air duct 13 via a flexible channel 32 with a compressed air source, not shown, for example, connected to a fan.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1: Ausgangsschleuse exit lock
2 2: Durchlauf-Vakuumbehandlungsanlage Continuous vacuum treatment plant
3 3: Substrat, Glasscheibe Substrate, glass pane
4 4: Kühleinheit cooling unit
5 5: Substrattransporteinrichtung Substrate shuttle
6 6: Transportrolle transport roller
7 7: Rahmen frame
8 8th: oberes Kühlsystem upper cooling system
9 9: unteres Kühlsystem lower cooling system
1010: Luftdüse air nozzle
1111: Finne fin
1212: unterer Zuluftkanal lower supply air duct
1313: oberer Zuluftkanal Upper supply air duct
1414: vorderes Segment des oberen Kühlsystems front segment of the upper cooling system
1515: hinteres Segment des oberen Kühlsystems Rear segment of the upper cooling system
1616: Transportrichtung transport direction
1717: vorderes Segment des unteren Kühlsystems front segment of the lower cooling system
1818: hinteres Segment des unteren Kühlsystems Rear segment of the lower cooling system
1919: vorderer Teil des oberen Zuluftkanals front part of the upper supply air duct
2020: hinterer Teil des oberen Zuluftkanals rear part of the upper supply air duct
2121: vorderer Teil des unteren Zuluftkanals front part of the lower supply air duct
2222: hinterer Teil des unteren Zuluftkanals rear part of the lower supply air duct
2323: Zuluftsteuerung des oberen Zuluftkanals Supply air control of the upper supply air duct
2424: Zuluftsteuerung des oberen Zuluftkanals Supply air control of the upper supply air duct
2525: Zuluftsteuerung des unteren Zuluftkanals Supply air control of the lower supply air duct
2626: Zuluftsteuerung des unteren Zuluftkanals Supply air control of the lower supply air duct
2727: vorderes Segment der Substrattransporteinrichtung front segment of the substrate transport device
2828: mittleres Segment der Substrattransporteinrichtung middle segment of the substrate transport device
2929: hinteres Segment der Substrattransporteinrichtung Rear segment of the substrate transport device
3030: Schwenklager pivot bearing
3131: Gestell frame
3232: flexibler Kanal flexible channel

Claims

Cooling unit of a continuous-flow processing system for disk-shaped substrates, comprising a substrate transport device ( 5 ), with an upper cooling system ( 8th ) above the substrate transport device ( 5 ), the Finns ( 11 ) with front-side air outlet nozzles ( 10 ), which from an upper supply air duct ( 13 ) to the substrate transport device ( 5 ) and with a lower cooling system ( 9 ) below the substrate transport device ( 5 ), the Finns ( 11 ) with front-side air outlet nozzles ( 10 ), which from a lower supply air duct ( 12 ) to the substrate transport device ( 5 ), where both the upper ( 8th ) as well as the lower cooling system ( 9 ) into at least two segments each ( 14 - 18 ) whose air flow rate can be set separately and which is characterized in that at least one segment ( 14 . 15 ) of the upper cooling system ( 8th ) in one direction from the substrate transport device ( 5 ) is pivotable away.

Cooling unit according to claim 1, characterized in that the segments ( 14 - 18 ) of the cooling systems ( 8th . 9 ) from one part each ( 19 - 22 ) of the respective supply air duct ( 12 - 13 ) with the associated fins ( 11 ), the parts ( 19 - 22 ) of the supply air ducts ( 12 - 13 ) separate air streams and each have their own Zuluftsteuerung 23 - 26 exhibit.

Cooling unit according to claim 1 or 2, characterized in that the substrate transport device ( 5 ) into at least two segments ( 27 . 28 . 29 ), whose transport speeds are each separately adjustable.