DE102010029650A1 - Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung desselben - Google Patents

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Michael Bragard
Prof. Dr. De Doncker Rik
Florian Mura
Christian Dick
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Original Assignee
Rheinisch Westlische Technische Hochschuke RWTH
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement mit wenigstens einem Halbleiterchip, mit an zwei Flachseiten des Halbleiterchips angeordneten, die Flachseiten des Halbleiterchips zumindest abschnittsweise überdeckenden Kontaktierungsschichten und mit wenigstens einem einer ersten Flachseite des Halbleiterchips beabstandet zugeordneten Metallkörper, welcher über von der ersten Flachseite zugeordneten Kontaktierungsschicht abragende, fingerartige Verbindungsstege thermisch und elektrisch leitend mit dem Halbleiterchip verbunden ist, wobei die fingerartigen Verbindungsstege beabstandet zueinander angeordnet sind und dass die fingerartigen Verbindungsstege monolithisch mit der Kontaktierungsschicht verbunden sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement mit wenigstens einem Halbleiterchip, mit an einer ersten Flachseite und/oder an einer zweiten Flachseite des Halbleiterchips angeordneten, die Flachseiten des Halbleiterchips zumindest abschnittsweise überdeckenden Kontaktierungsschichten und mit wenigstens einem dem Halbleiterchip beabstandet zugeordneten Metallkörper, welcher über von der der ersten Flachseite zugeordneten Kontaktierungsschicht abragende, fingerartige Verbindungsstege thermisch und elektrisch leitend mit dem Halbleiterchip verbunden ist.
  • Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements enthaltend einen zumindest abschnittsweise eine metallische Kontaktierungsschicht aufweisenden Halbleiterchip, wobei die dem Halbleiterchip zugeordnete Kontaktierungsschicht über fingerartige Verbindungsstege mit einem Metallkörper verbunden wird.
  • In der Leistungshalbleitertechnik ist es bis heute ein Problem, einen Halbleiterchip, beispielsweise einen auf Siliziumbasis gefertigten Halbleiterchip, thermisch wie elektrisch dauerhaft und stabil zu kontaktieren. Aufgrund der steigenden Anforderungen hinsichtlich Leistungsdichte und Lebensdauer bildet in vielen Anwendungsfällen bereits heute nicht das Halbleitermaterial selbst die Grenze des technisch Machbaren. Vielmehr ist es die Aufbau- und Verbindungstechnik im Allgemeinen sowie die elektrische und thermische Kontaktierung des Halbleiterchips im Speziellen, die die Leistungsfähigkeit begrenzt. Üblicherweise wird der Halbleiterchip einseitig über eine vollflächige Lötverbindung auf einem Kupfersubstrat befestigt. Auf der anderen Seite des Halbleiterchips wird mittels sogenannter Bonddrähte ein elektrischer Kontakt hergestellt. Die Bonddrähte werden beispielsweise mittels Ultraschallschweißens auf einer den Halbleiterchip zumindest abschnittsweise überziehenden Kontaktierungsschicht aus Aluminium befestigt. Nachteilig hierbei ist, dass das Halbleiterbauteil insbesondere aufgrund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten der beteiligten Werkstoffe (beispielsweise Silizium für den Halbleiterchip, Kupfer und Aluminium) infolge der Temperaturwechsel einer dynamischen mechanischen Beanspruchung unterliegt, die zu Spannungen in dem Bauelement führt und eine Hauptausfallursache bei Leistungshalbleitern darstellt. Es kommt beispielsweise zu einer Bonddrahtablösung oder zu einer Substratablösung. Ferner wird durch das Kupfersubstrat lediglich eine einseitige und mitunter nicht ausreichende Kühlung des Halbleiterchips realisiert. Aufgrund der Vielzahl unterschiedlicher Verbindungsverfahren ist der Fertigungsprozess zudem zeitaufwendig und teuer. Darüber hinaus ergeben sich an den unterschiedlichen Kontaktierungsstellen erhöhte thermische und elektrische Übergangswiderstände.
  • Aus der US 5 510 650 ist ein Halbleiterbauelement bekannt, welches auf einer dem Substrat abgewandten Flachseite eines Halbleiterchips einen aus einem flachen Kupferband geformten Verbindungs- bzw. Kühlkörper aufweist. Der Verbindungskörper ist zwischen der Kontaktierungsschicht des Halbleiterchips und einem Kontaktierungsfuß der Bondverbindung angeordnet. Das Kupferband ist einseitig quer zur Bandlängsrichtung geschlitzt ausgeführt und zu einem Zylinder gewickelt. Die geschlitzte Stirnseite des gewickelten Kupferbands wird an der Kontaktierungsschicht des Halbleiterchips festgelegt. Aufgrund der geschlitzten Ausführung des Kupferbandwickels reduzieren sich die infolge der thermischen Belastung induzierten mechanischen Spannungen. Gleichwohl ist das Halbleiterbauelement komplex aufgebaut und aufwendig in der Fertigung. Darüber hinaus kommt es unverändert zu hohen thermischen und elektrischen Übergangswiderständen an den diversen Kontaktstellen.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Halbleiterbauelement und ein Verfahren zur Herstellung desselben derart anzugeben, dass die Lebensdauer und Leistungsfähigkeit des Halbleiterbauelements weiter erhöht werden.
  • Zur Lösung der Aufgabe ist die Erfindung in Verbindung mit dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 dadurch gekennzeichnet, dass die fingerartigen Verbindungsstege beabstandet zueinander angeordnet sind und dass die fingerartigen Verbindungsstege monolithisch mit der Kontaktierungsschicht verbunden sind.
  • Der besondere Vorteil der Erfindung besteht darin, dass durch die beabstandeten fingerartigen Verbindungsstege die unterschiedliche thermische Ausdehnung des Halbleiterchips und des Metallkörpers ausgeglichen werden kann. Die fingerartigen Verbindungsstege dienen hierbei als elastische, quer zu ihrer Längsrichtung vergleichsweise weich ausgeführte Ausgleichselemente zwischen dem Halbleiterchip und den Kontaktierungsschichten einerseits und dem Metallkörper andererseits. Sofern sich der Metallkörper und der Halbleiterchip infolge der Erwärmung unterschiedlich dehnen, werden die Verbindungsstege gebogen. Die unterschiedliche Längsdehnung wird ausgeglichen, und die thermisch induzierten Spannungen reduzieren sich. Der Metallkörper dient hierbei einerseits zur Kontaktierung und andererseits zur Kühlung des Halbleiterchips. Indem die fingerartigen Verbindungsstege monolithisch mit der Kontaktierungsschicht verbunden sind, ergeben sich darüber hinaus eine sehr gute elektrische Leitfähigkeit und eine sehr gute thermische Leitfähigkeit zwischen den Komponenten. Erhöhte elektrische bzw. thermische Übergangswiderstände, wie sie aus dem Stand der Technik bekannt sind, werden vermieden.
  • Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die fingerartigen Verbindungsstege regelmäßig angeordnet. Durch die regelmäßige Anordnung der Verbindungsstege vereinfacht sich zum einen die Fertigung des Halbleiterbauelements. Zum anderen kann das Verhalten des Halbleiterbauelements während des Betriebs, insbesondere bei einer wechselnden thermischen Belastung, gut vorherbestimmt und bereits im Entwurfsstadium optimiert werden. Insbesondere können die Anzahl der Verbindungsstege, ihr Abstand zueinander sowie ihre Längserstreckung und Querabmessung unter funktionalen und/oder fertigungstechnischen Gesichtspunkten festgelegt bzw. optimiert werden.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind je Quadratzentimeter des Halbleiterchips zweihundert oder mehr Verbindungsstege, bevorzugt vierhundert oder mehr Verbindungsstege angeordnet. Das Vorsehen einer Vielzahl von Verbindungsstegen steigert die elektrische und thermische Leitfähigkeit des Halbleiterbauelements. Allgemein gilt, dass unter diesen Gesichtspunkten eine hohe Dichte der fingerartigen Verbindungsstege mit geringem Abstand der Verbindungsstege zueinander anzustreben ist.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind die Verbindungsstege und der Metallkörper monolithisch miteinander verbunden. Vorteilhaft wird hierdurch die elektrische und thermische Leitfähigkeit des Halbleiterbauelements weiter verbessert. Zudem wird eine stoffschlüssige, langzeitstabile und besonders feste Verbindung aller Komponenten untereinander gewährleistet.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind die Kontaktierungsschicht und/oder die fingerartigen Verbindungsstege und/oder der Metallkörper aus einem gleichen Werkstoff gebildet. Vorteilhaft vereinfacht sich hierdurch die Herstellung, da lediglich eine Materialkomponente verarbeitet werden muss. Darüber hinaus ist die Homogenität in den Verbindungsbereichen der einzelnen Komponenten und damit die Festigkeit des Halbleiterbauelements hoch.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind wenigstens zwei die Kontaktierungsschicht aufweisende und in einer gemeinsamen Erstreckungsebene E angeordnete Halbleiterchips über die fingerartigen Verbindungsstege mit einem gemeinsamen Metallkörper verbunden. Durch das Vorsehen eines gemeinsamen Metallkörpers für zwei oder mehr Halbleiterchips reduziert sich die Streuinduktivität des gesamten Systems. Darüber hinaus sinken der elektrische und thermische Widerstand. Ferner bietet sich die Möglichkeit, Topologien der Leistungselektronik, beispielsweise Halbbrücken oder Vollbrücken, bereits auf Chipebene zu realisieren. Dies ist aus Gründen eines niederinduktiven Aufbaus von Kommutierungspfaden in Schaltzellen wünschenswert und mit den aus dem Stand der Technik bekannten Lösungen nicht oder nur eingeschränkt möglich.
  • Zur Lösung der Aufgabe ist die Erfindung in Verbindung mit dem Oberbegriff des Patentanspruchs 10 dadurch gekennzeichnet, dass zur Bildung der monolithisch aus der Kontaktierungsschicht erwachsenden und zueinander beabstandeten fingerartigen Verbindungsstege auf der metallischen Kontaktierungsschicht Metallpartikel lasergesintert werden.
  • Vorteilhaft können durch das Lasersintern nahezu beliebige dreidimensionale Geometrien hergestellt werden. Dadurch, dass sich mittels Lasersintern – anders als beispielsweise bei konventioneller maschineller oder gießtechnischer Fertigung – Hinterschneidungen erzeugen lassen, können die fingerartigen Verbindungsstege und der Metallkörper in einem gemeinsamen Fertigungsschritt erstellt werden. Dies reduziert die Fertigungszeit und die Fertigungskosten. Darüber hinaus kann die monolithische, stoffschlüssige Verbindung der Kontaktierungsschicht mit den Verbindungsstegen und die Verbindungsstege mit dem Metallkörper quasi verfahrensimmanent erzeugt werden. Das Lasersintern ist hierbei derart genau, dass auch sehr kleine Strukturen mit einer hohen Präzision gefertigt werden können.
  • Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Unteransprüchen.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Figuren näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1 eine Prinzipdarstellung eines erfindungsgemäßen Halbleiterbauelements,
  • 2 einen Querschnitt durch das Halbleiterbauelement gemäß 1 entlang des Schnitts A-A,
  • 3 eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Halbleiterbauelements mit zwei Halbleiterchips,
  • 4 eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Halbleiterbauelements mit integriertem Kondensator und
  • 5 die mittels des Halbleiterbauelements nach 4 realisierte Topologie (Halbbrücke) als elektrische Schaltkreisdarstellung.
  • Ein Halbleiterbauelement 1 gemäß der 1 und 2 besteht im Wesentlichen aus einem Halbleiterchip 2, aus zwei die gegenüberliegenden Flachseiten 3, 4 des Halbleiterchips 2 zumindest abschnittsweise überdeckenden Kontaktierungsschichten 5, 6, aus zwei den gegenüberliegenden Flachseiten 3, 4 zugeordneten Metallkörpern 7, 8 sowie aus einer Vielzahl fingerartiger Verbindungsstege 9 zum Verbinden der Metallkörper 7, 8 mit den Kontaktierungsschichten 5, 6. Das Halbleiterbauelement 1 wird beispielsweise als ein Leistungshalbleiterbauelement für Stromrichter bzw. Umrichter oder für elektrische Antriebe eingesetzt.
  • Die Metallkörper 7, 8 dienen als Kühlkörper und/oder zur elektrischen Kontaktierung des Halbleiterbauelements 1.
  • Der Halbleiterchip 2, der beispielsweise als ein Siliziumchip ausgebildet ist, ist entlang der gegenüberliegenden Flachseiten 3, 4 mit einer dünnen Kontaktierungsschicht 5, 6 überzogen. Die Kontaktierungsschicht 5, 6 ist beispielsweise als eine Aluminiummetallisierung ausgebildet. Hierbei ist ein erster Metallkörper 7 über eine erste Gruppe von beabstandet zueinander angeordneten Verbindungsstegen 9 mit einer auf einer ersten Flachseite 3 des Halbleiterbauelements 1 angeordneten ersten Kontaktierungsschicht 5 und ein zweiter Metallkörper 8 mit einer auf einer zweiten Flachseite 4 des Halbleiterchips 2 angeordneten zweiten Kontaktierungsschicht 6 elektrisch und thermisch leitend verbunden. Auf der zweiten Flachseite 4 ist außerdem ein Gatekontakt 10 zur elektrischen Konnektierung des Halbleiterchips 2 angeordnet. Im Bereich des Gatekontakts 10 ist die zweite Kontaktierungsschicht 6 durch eine Ausnehmung 11 unterbrochen. Aufgrund der Ausnehmung 11 ist der Gatekontakt 10 allein über den Halbleiterchip 2 mit den Verbindungsstegen 9 und dem zweiten Metallkörper 8 verbunden.
  • Die fingerartigen Verbindungsstege 9 ragen von den Kontaktierungsschichten 5, 6 im Wesentlichen senkrecht ab. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Verbindungsstege 9 vergleichsweise schlank ausgebildet, das heißt ihre Länge ist groß im Verhältnis zur Querabmessung der Verbindungsstege 9. Die Verbindungsstege 9 sind derart beabstandet zueinander angeordnet, dass zwischen benachbarten Verbindungsstegen 9 Freiräume 12 gebildet sind. Benachbarte Verbindungsstege 9 berühren einander nicht und sind allein über die Kontaktierungsschicht 5, 6 bzw. dem Metallkörper 7, 8 miteinander verbunden.
  • Die Verbindungsstege 9 sind nach der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung beispielhaft mit einem kreisförmigen Querschnitt ausgebildet. Der kreisförmige Querschnitt ist lediglich beispielhaft gewählt. Selbstverständlich können die Verbindungsstege jede beliebige Querschnittsgeometrie aufweisen, beispielsweise rechteckig, hexagonal, ellipsoid oder als Vieleck ausgebildet sein. Der Querschnitt der Verbindungsstege 9 kann in deren Längsrichtung – wie vorliegend – konstant sein oder variieren.
  • Wie die Darstellung gemäß 2 zeigt, ist man bestrebt, möglichst viele Verbindungsstege mit zueinander geringem Abstand anzuordnen. Beispielsweise können zweihundert oder mehr sehr schlanke Verbindungsstege 9 auf einem Quadratzentimeter des Halbleiterchips 2 angeordnet sein. Die Verbindungsstege 9 nehmen dabei beispielsweise 50 Prozent oder mehr und die Freiräume 12 50 Prozent oder weniger der Fläche des Halbleiterchips 2 ein. Durch die hohe Dichte wird einerseits eine gute elektrische Leitfähigkeit und andererseits eine gute thermische Anbindung der Metallkörper 7, 8 an den Halbleiterchip 2 gewährleistet.
  • Während des Betriebs unterliegt der Halbleiterchip 2 typischerweise starken zyklischen Temperaturschwankungen mit Phasen hoher Temperatur und mit Phasen geringerer Temperatur. Während dieser Temperaturschwankungen dehnen sich der Halbleiterchip 2 und die Metallkörper 7, 8 in sehr unterschiedlichem Maße aus. Die Hauptdehnung erfolgt hierbei in der Erstreckungsebene E des Halbleiterchips 2 bzw. der Metallkörper 7, 8. Die quer zur Erstreckungsebene E sehr schlank ausgebildeten Verbindungsstege 9 wirken als elastische Elemente zwischen dem Halbleiterchip 2 und den Metallkörpern 7, 8. Sie werden quer zu Ihrer Längsrichtung gebogen und erlauben so ein „thermisches Atmen” des Halbleiterbauelements 1 in der Erstreckungsebene E.
  • Die in dem Halbleiterbauelement 1 infolge der thermischen Wechselbelastung auftretenden mechanischen Spannungen sind aufgrund des elastischen Aufbaus ungleich geringer als bei konventionellen Halbleiterbauelementen, bei denen die Metallkörper 7, 8 unmittelbar an der Kontaktierungsschicht 5, 6 anliegen und flächig mit diesen verbunden sind. Infolge der geringeren mechanischen Belastung besitzt das Halbleiterbauelement 1 eine verbesserte Lebensdauer.
  • Die fingerartigen Verbindungsstege 9 sowie die Metallkörper 7, 8 werden mittels Lasersinterns von Metallpulver auf die Kontaktierungsschichten 5, 6 aufgebracht. Hierdurch wird eine monolithische, stoffschlüssige Verbindung der Kontaktierungsschicht 5, 6 mit den Verbindungsstegen 9 und der Verbindungsstege 9 mit den Metallkörpern 7, 8 erreicht. Aufgrund der monolithischen Struktur ergibt sich eine hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit, die dem Halbleiterbauelement 1 sehr gute funktionale Eigenschaften und insbesondere eine hohe Leistungsdichte verleiht. Besonders vorteilhaft ist der Aufbau des Halbleiterbauelements 1, wenn für die Kontaktierungsschichten 5, 6, die Verbindungsstege 9 und die Metallkörper 7, 8 ein gleicher Werkstoff, beispielsweise Aluminium, verwendet wird. In diesem Fall vereinfacht sich überdies der Fertigungsschritt des Lasersinterns, da lediglich ein Werkstoff verarbeitet werden muss.
  • Das Halbleiterbauelement 1 ist weitgehend symmetrisch bezüglich der Erstreckungsebene E ausgebildet. Lediglich im Bereich des Gatekontakts 10 ist die Symmetrie durchbrochen. Vorteilhaft wird die Kühlung des Halbleiterchips 2 durch das Vorsehen der zwei als Kühlkörper dienenden Metallkörper 7, 8 optimal unterstützt. Darüber hinaus sind die trotz der elastisch ausgebildeten Verbindungsstege 9 verbleibenden mechanischen Spannungen im Wesentlichen gleichmäßig verteilt. Die verbleibende mechanische Beanspruchung des Halbleiterbauelements 1 ist damit gut beherrschbar. Lokale Spannungsspitzen, die durch eine einseitige Kühlung des Halbleiterchips 2 hervorgerufen werden, lassen sich auf diese Weise vermeiden.
  • Nach einem nicht dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung können auf die symmetrische Ausgestaltung des Halbleiterbauelements 1 und das Vorsehen von zwei Kühlkörpern 7, 8 verzichtet werden. Es ist beispielsweise möglich, lediglich einen ersten Metallkörper 7 der ersten Flachseite 3 zuzuordnen.
  • Nach einer zweiten Ausführungsform der Erfindung gemäß 3 weist ein Halbleiterbauelement 1 zwei Halbleiterchips 2, 2' sowie zwei Metallkörpern 7, 8 auf. Ein erster Metallkörper 7 ist hierbei einer ersten Flachseite 3 eines ersten Halbleiterchips 2 und einer ersten Flachseite 3' eines zweiten Halbleiterchips 2' zugeordnet. Ein zweiter Metallkörper 8 ist entsprechend einer zweiten Flachseite 4 des erstens Halbleiterchips 2 und einer zweiten Flachseite 4' des zweiten Halbleiterchips 2' zugeordnet. Durch die gemeinsame Anordnung von zwei oder mehr Halbleiterchips 2, 2' in einem gemeinsamen Halbleiterbauelement 1 können Standardtopologien der Leistungselektronik, beispielsweise Halbbrücken oder Vollbrücken, bereits auf Chipebene realisiert werden.
  • Gleiche Bauteile oder Bauteilfunktionen der einzelnen Ausführungsbeispiele sind durch gleiche Bezugszeichen gekennzeichnet.
  • Ein alternatives Ausführungsbeispiel der Erfindung gemäß der 4 und 5 zeigt eine der wichtigsten Grundschaltungen der Leistungselektronik, eine Halbbrücke, die in der neuen Technik aufgebaut ist und als ein elektrisches Bauelement einen Kondensator 13 aufweist. Das Halbleiterbauelement 1 weist zwei Halbleiterchips 2, 2' sowie insgesamt drei Metallkörpern 7, 8, 8' auf. Der erster Metallkörper 7 ist hierbei einer ersten Flachseite 3 eines ersten Halbleiterchips 2 und einer ersten Flachseite 3' eines zweiten Halbleiterchips 2' zugeordnet. Der zweiter Metallkörper 8 ist einer zweiten Flachseite 4 des erstens Halbleiterchips 2 und der dritte Metallkörper 8' der zweiten Flachseite 4' des zweiten Halbleiterchips 2' zugeordnet.
  • Der Kondensator 13 ist über weitere Verbindungsabschnitte 14, die nach der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung als fingerartig Verbindungsstege 14 ausgebildet sind, sowie über den zweiten Metallkörper 8 und den dritten Metallkörper 8' niederinduktiv mit dem als ein erster Schalter S1 dienenden ersten Halbleiterchip 2 und mit dem als ein zweiter Schalter S2 dienenden zweiten Halbleiterchip 2' verbunden. Aufgrund der üblicherweise aus Aluminium bestehenden Stirnseitenkontakte derartiger Kondensatoren 13 ist es sehr leicht möglich, den Kondensator 13 direkt in den Sinterprozess einzubeziehen und beispielsweise ebenfalls über die Verbindungsabschnitte 14 anzubinden.
  • Die Gatekontakte 10 der Schalter S1 und S2 werden bei der Halbbrückenschaltung gegenläufig ein- bzw. ausgeschaltet, so dass der Mittelpunkt M (erster Metallkörper 7) entweder mit dem positiven Pol (zweiter Metallkörper 8) oder dem negativen Pol (dritter Metallkörper 8') verbunden ist.
  • Ferner können Gatetreiber oder andere als Hilfkomponenten dienende elektrische bzw. elektronische Bauelemente in das Halbleiterbauelement 1 integriert werden. Die kapazitiven Gateströme werden heute üblicherweise von einem Gatetreiber in Chipform bereitgestellt. Diesen Gatetreiber können mit eingesintert und somit direkt mit den Verbindungsstegen 9 leitend verbunden werden.
  • Nach einem nicht dargestellten, alternativen Ausführungsbeispiel der Erfindung kann der wenigstens eine Metallkörper 7, 8 in einem den Verbindungsstegen 9 abgewandten Bereich beliebig geformt sein. Die dargestellte Quaderform ist insofern lediglich exemplarisch gewählt. Der Metallkörper 7, 8 kann beispielsweise Rippen oder kleine Stifte aufweisen. Die Geometrie des Metallkörpers 7, 8 wird sich hierbei an dem Ziel orientieren, eine gute mechanische und thermische Anbindung zu gewährleisten und die Wärme über vorzugsweise große Oberflächen an die Umgebung abzuführen.
  • Ferner können der verbesserten Wärmeabfuhr bzw. Wärmespreizung dienenden, nicht dargestellte, kanalförmige Heatpipes bei der Herstellung der Metallkörper 7, 8, 8' in dieselben eingesintert werden. Eine Heatpipe nutzt die Verdampfungswärme eines Stoffes, der durch den Kapillareffekt transportiert wird und an einer anderen Stelle kondensiert. Im Inneren der Heatpipe können trotz kleiner Querschnittsflächen große Mengen Wärme transportiert werden. Der Wärmewiderstand der Heatpipe ist hierbei signifikant kleiner als der von massiven Metallen gleichen Durchmessers. Durch das Einsintern der Heatpipe in den Metallkörper 7, 8, 8' ergibt sich eine optimale thermische Anbindung sowie eine weitere Verbesserung der Stromtragfähigkeit und der Leistungsdichte.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • US 5510650 [0004]

Claims (13)

  1. Halbleiterbauelement mit wenigstens einem Halbleiterchip, mit an einer ersten Flachseite und/oder an einer zweiten Flachseite des Halbleiterchips angeordneten, die Flachseiten des Halbleiterchips zumindest abschnittsweise überdeckenden Kontaktierungsschichten und mit wenigstens einem dem Halbleiterchip beabstandet zugeordneten Metallkörper, welcher über von der der ersten Flachseite zugeordneten Kontaktierungsschicht abragende, fingerartige Verbindungsstege thermisch und elektrisch leitend mit dem Halbleiterchip verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die fingerartigen Verbindungsstege (9) beabstandet zueinander angeordnet sind und dass die fingerartigen Verbindungsstege (9) monolithisch mit der Kontaktierungsschicht (5, 6) verbunden sind.
  2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die fingerartigen Verbindungsstege (9) regelmäßig angeordnet sind und/oder benachbarte Verbindungsstege (9) einen gleichen Abstand zueinander aufweisen.
  3. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass je Quadratzentimeter Flachseitenfläche mindestens zweihundet Verbindungsstege (9) angeordnet sind.
  4. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungsstege (9) und der Metallkörper (7, 8, 8') monolithisch miteinander verbunden sind.
  5. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der zweiten Flachseite (4, 4') des Halbleiterchips (2, 2') ein zweiter Metallkörper (8) zugeordnet und über die fingerartigen Verbindungsstege (9) leitend mit dem Halbleiterchip (2, 2') verbunden ist, wobei eine Symmetrie im Aufbau bezüglich einer Erstreckungsebene (E) des Halbleiterchips (2, 2') lediglich im Bereich eines zur elektrischen Kontaktierung des Halbleiterchips (2, 2') dienenden und an der ersten Flachseite (3, 3') und/oder an der zweiten Flachseite (4, 4') angeordneten Gatekontakts (10) durchbrochen ist.
  6. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsschicht (5, 6) und/oder die fingerartigen Verbindungsstege (9) und/oder der Metallkörper (7, 8, 8') aus einem gleichen Werkstoff gebildet sind.
  7. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Halbleiterchip (2, 2') als ein Siliziumchip ausgebildet ist und/oder die Kontaktierungsschicht (5, 6) als eine Aluminiummetallisierung ausgebildet ist.
  8. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei jeweils mindestens eine Kontaktierungsschicht (5, 6) aufweisende und sich in der gemeinsamen Erstreckungsebene (E) erstreckende Halbleiterchips (2, 2') über die fingerartigen Verbindungsstege (9) mit einem gemeinsamen Metallkörper (7, 8, 8') verbunden sind.
  9. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Metallkörper (7, 8, 8') in einem den Verbindungsstegen 9 abgewandten Bereich Rippen und/oder Stifte aufweist zur Verbesserung der Kühlung des Halbleiterchips (2, 2').
  10. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements enthaltend einen zumindest abschnittsweise eine metallische Kontaktierungsschicht aufweisenden Halbleiterchip, wobei die dem Halbleiterchip zugeordnete Kontaktierungsschicht über fingerartige Verbindungsstege mit einem Metallkörper verbunden wird, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bildung der monolithisch aus der Kontaktierungsschicht (5, 6) erwachsenden und zueinander beabstandeten fingerartigen Verbindungsstege (9) auf der metallischen Kontaktierungsschicht (5, 6) Metallpartikel lasergesintert werden.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Formen der fingerartigen Verbindungsstege (9) der Metallkörper (7, 8, 8') mittels Lasersintern aus dem Metallpulver gebildet wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass elektronische und/oder elektronische Bauelemente (Kondensator 13) während des Lasersinterns mechanisch und elektrisch über weitere Verbindungsabschnitte (14) mit dem Halbleiterchip (2, 2') verbunden werden.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verbesserten Wärmeabfuhr und/oder Wärmespreizung eine Heatpipe mittels Lasersinterns in dem Metallkörper 7, 8, 8' gebildet wird.
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