DE102010019402A1 - Screw vacuum pump - Google Patents

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Dr.-Ing. Dreifert Thomas
Magnus Janicki
Peter Birch
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Abstract

Eine Schraubenvakuumpumpe weist in einem Schöpfraum (10) angeordnete Schraubenrotoren (12, 14) auf. Die Schraubenrotoren (12, 14) sind jeweils über zwei Lageelemente (20) in dem Pumpengehäuse gelagert und weisen ein Verhältnis von Rotorlänge (l) zum Abstand der Rotorachsen (d) auf, das größer als 3,0 ist. Ferner weisen die Schraubenrotoren (12, 14) eine variable Steigung, mindestens 7 Windungen und ein eingebautes Verdichtungsverhältnis von mindestens 4,5 auf. Die Steigung ist nach der Hälfte der Windungen kleiner als die zweifache Steigung am druckseitigen Rotorauslass (24).A screw vacuum pump has screw rotors (12, 14) arranged in a suction chamber (10). The screw rotors (12, 14) are each mounted in the pump housing via two position elements (20) and have a ratio of rotor length (l) to the distance between the rotor axes (d) that is greater than 3.0. Furthermore, the screw rotors (12, 14) have a variable pitch, at least 7 turns and a built-in compression ratio of at least 4.5. Half the turns, the pitch is smaller than twice the pitch at the pressure-side rotor outlet (24).

Description

Die Erfindung betrifft eine Schrauben-Vakuumpumpe.The invention relates to a screw vacuum pump.

Schrauben-Vakuumpumpen weisen in einem durch ein Pumpengehäuse ausgebildeten Schöpfraum zwei Schraubenrotoren auf. Die Schraubrotoren sind üblicherweise zweiseitig gelagert und können unterschiedlich ausgebildete Steigungsprofile aufweisen. Die Rotoren können ein symmetrisches oder asymmetrisches Zahnprofil aufweisen wie beispielsweise in ”Wutz”, Handbuch Vakuumtechnik, 10. Auflage, 2010 S. 270–277 beschrieben. Derartige Rotoren weisen i. d. R. ein eingebautes Verdichtungsverhältnis, d. h. ein Verhältnis des Kammervolumens der saugseitigen Kammer zur druckseitigen Kammer von weniger als 4 auf. Höhere Verdichtungsverhältnisse führen zu sehr hohen Leistungsaufnahmen bei hohen Ansaugdrücken. Dies würde den Einsatz unverhältnismäßig großer Antriebsmotoren erfordern (s. ”Wutz” a. a. O. S. 276 ). Ferner besteht bei der Erhöhung der Verdichtung das Problem, dass hohe Temperaturen im druckseitigen Bereich der Schraubenrotoren auftreten. Die Wärmeabfuhr ist hierbei über das Pumpengehäuse nicht mehr möglich, sodass eine Wärmeabfuhr über eine Innenkühlung der Schraubenrotoren erfolgen müsste. Dies ist technisch aufwändig und erhöht die Herstellungs- und Wartungskosten der Schraubenvakuumpumpe.Screw vacuum pumps have two screw rotors in a pump chamber formed by a pump chamber. The screw rotors are usually mounted on two sides and may have differently shaped pitch profiles. The rotors may have a symmetrical or asymmetrical tooth profile, such as in FIG "Wutz", Handbook Vacuum Technology, 10th edition, 2010 pp. 270-277 described. Such rotors usually have a built-in compression ratio, ie a ratio of the chamber volume of the suction-side chamber to the pressure-side chamber of less than 4. Higher compression ratios lead to very high power consumption at high suction pressures. This would require the use of disproportionately large drive motors (s. "Wutz" aa OS 276 ). Furthermore, there is the problem in increasing the compression that high temperatures occur in the pressure-side region of the screw rotors. The heat removal is in this case no longer possible via the pump housing, so that a heat dissipation via an internal cooling of the screw rotors would have to be done. This is technically complex and increases the manufacturing and maintenance costs of the screw vacuum pump.

Um hohe eingebaute Verdichtungsverhältnisse zu ermöglichen ist in VDI-Bericht Nr. 1932, 2006 beschrieben, die Spalthöhe zu variieren. Hierbei ist beschrieben die Spalthöhe, d. h. insbesondere den Abstand zwischen dem Schraubenrotor und dem Pumpengehäuse, derart auszugestalten, dass er saugseitig größer als druckseitig ist. Aufgrund der druckabhängigen Strömungsarten, die viskos oder molekular sind, ist ein saugseitig größerer Spalt akzeptabel. In Kombination mit einer Absenkung der Rotordrehzahl bewirkt dieser bei hohen Ansaugdrücken eine Verminderung der inneren Verdichtung. Dies hat eine geringere Verdichtungsleistung zur Folge woraus eine geringere Wärmeerzeugung resultiert. Nachteilig ist jedoch, dass die Verminderung der inneren Verdichtung auch eine Verringerung des Saugvermögens zur Folge hat.In order to allow high built-in compression ratios is in VDI Report No. 1932, 2006 described to vary the gap height. Here, the gap height, ie in particular the distance between the screw rotor and the pump housing, is described in such a way that it is greater on the suction side than on the pressure side. Due to the pressure-dependent flow types, which are viscous or molecular, a larger gap on the suction side is acceptable. In combination with a reduction in the rotor speed, this causes a reduction in internal compression at high intake pressures. This results in lower compaction performance resulting in lower heat generation. The disadvantage, however, is that the reduction in internal compression also has a reduction in the pumping capacity result.

Ferner sind einseitig, bzw. fliegend gelagerte Rotoren bekannt. Dies hat den wesentlichen Vorteil, dass nur ein Lager vorgesehen sein muss. Dies ist druckseitig, bzw. auf der Seite des Getriebes angeordnet. Das zweite Lager, das im Bereich der niedrigen Drücke saugseitig angeordnet ist, kann hierbei entfallen. Fliegend gelagerte Schraubenrotoren müssen jedoch kurz bauende Rotoren aufweisen, da ansonsten die Gefahr des Berührens der Rotoren im Betrieb besteht. Die relativ geringe Baulänge der Rotoren hat zur Folge, dass die Anzahl der Windungen gering ist. Ferner weisen fliegend gelagerte Rotoren einen verhältnismäßig großen Durchmesser auf. Das Verhältnis der Rotorlänge zum Abstand der Rotorachsen ist hierbei üblicherweise kleiner als 2,5.Furthermore, one-sided, or overhung rotors are known. This has the significant advantage that only one bearing must be provided. This is arranged on the pressure side, or on the side of the transmission. The second bearing, which is arranged on the suction side in the region of low pressures, can be omitted here. Flying rotors mounted on the fly must, however, have short rotors, otherwise there is a risk of contact between the rotors during operation. The relatively short length of the rotors has the consequence that the number of turns is small. Furthermore, overhung rotors have a relatively large diameter. The ratio of the rotor length to the distance between the rotor axes is usually less than 2.5.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Schraubenvakuumpumpe mit einem ”eingebauten Verdichtungsverhältnis” von mindestens 4,5 zu schaffen, wobei eine einfache Wärmeabfuhr realisiert ist.The object of the invention is to provide a screw vacuum pump with a "built-in compression ratio" of at least 4.5, wherein a simple heat dissipation is realized.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The object is achieved according to the invention by the features of claim 1.

Die erfindungsgemäße Schraubenvakuumpumpe weist ein einen Schöpfraum ausbildendes Pumpengehäuse auf. In dem Pumpengehäuse sind zwei Schraubenrotoren angeordnet. Da die erfindungsgemäßen Schraubenrotoren lang sind, handelt es sich um jeweils beidseitig gelagerte Schraubenrotoren, sodass je Schraubenrotor zwei Lagerelemente vorgesehen sind. Ferner weisen die Schraubenrotoren einen relativ geringen Durchmesser auf, sodass das Verhältnis der Länge des Schraubenrotors zum Abstand der Rotorachsen größer als 3,0 insbesondere größer als 3,5 und besonders bevorzugt größer als 4,0 ist. Des Weiteren weisen die erfindungsgemäßen Schraubenrotoren eine variable Steigung und mindestens 7, insbesondere mindestens 9 und besonders bevorzugt mindestens 11 Windungen auf. Das erfindungsgemäße Verdichtungsverhältnis beträgt mindestens 4,5 vorzugsweise mindestens 5. Um bei einem erfindungsgemäß großen Verdichtungsverhältnis ein Überhitzen des Rotors zu vermeiden, weist der Rotor druckseitig mehrere Windungen auf, deren Steigung nur geringfügig oder nicht variiert. Erfindungsgemäß ist daher die Steigung nach der Hälfte der Windungen kleiner als die zweifache Steigung am Rotorauslass. Insbesondere ist die Steigung nach der Hälfte der Windungen kleiner als die 2-fache Steigung, besonders bevorzugt kleiner als die 1,5-fache Steigung am Rotorauslass. Aufgrund der erfindungsgemäßen geringen Steigungsänderung auf der Druckseite der Rotoren und der vorzugsweise entsprechend gewählten Spalthöhe erfolgt die Kompression über einen längeren Bereich des Rotors. Dies hat den erfindungsgemäßen wesentlichen Vorteil, dass eine bessere Wärmeabfuhr möglich ist. Dies ist darin begründet, dass die Verdichtungsarbeit und somit die Abwärme im Wesentlichen im Bereich der hohen Drücke auftritt und aufgrund des erfindungsgemäß deutlich verlängerten Bereichs, in dem diese hohen Drücke auftreten, die Gehäusefläche zur Wärmeaufnahme größer ist. Bei einer bevorzugten Weiterbildung der erfindungsgemäßen Schrauben-Vakuumpumpe sind Schraubenrotoren vorgesehen, die jeweils nur einen Gewindegang aufweisen.The screw vacuum pump according to the invention has a pump housing forming a pump chamber. In the pump housing two screw rotors are arranged. Since the screw rotors according to the invention are long, it is in each case mounted on both sides screw rotors, so that each screw rotor two bearing elements are provided. Furthermore, the screw rotors have a relatively small diameter, so that the ratio of the length of the screw rotor to the spacing of the rotor axes is greater than 3.0, in particular greater than 3.5 and particularly preferably greater than 4.0. Furthermore, the screw rotors according to the invention have a variable pitch and at least 7, in particular at least 9 and particularly preferably at least 11 turns. The compression ratio according to the invention is at least 4.5, preferably at least 5. In order to avoid overheating of the rotor in a large compression ratio according to the invention, the rotor has several windings on the pressure side, whose pitch varies only slightly or not. According to the invention, therefore, the slope after half of the turns less than twice the slope at the rotor outlet. In particular, the pitch after half of the turns is smaller than the 2-fold pitch, more preferably smaller than the 1.5-fold pitch at the rotor outlet. Due to the small pitch change according to the invention on the pressure side of the rotors and the preferably correspondingly selected gap height, the compression takes place over a relatively long region of the rotor. This has the significant advantage according to the invention that better heat dissipation is possible. This is due to the fact that the compression work and thus the waste heat essentially occurs in the region of high pressures and, due to the invention significantly extended range in which these high pressures occur, the housing surface for heat absorption is greater. In a preferred embodiment of the screw vacuum pump according to the invention screw rotors are provided, each having only one thread.

Aufgrund des erfindungsgemäß vorgesehenen druckseitig langen Bereichs, in dem die Schraubenrotoren eine geringe Steigungsänderung aufweisen, ist es somit möglich, Verdichtungsverhältnisse von mindestens 4,5 zu realisieren und die hierbei auftretende Wärme abzuführen, sodass ein Überhitzen der Rotoren vermieden ist. Hierbei muss berücksichtigt werden, dass die Wärmeabfuhr nur im druckseitigen Bereich erfolgen kann, da in Bereichen niedriger Drücken bzw. hohen Vakuums aufgrund der geringen Gasdichte eine ausreichende Wärmeübertragung auf das Gehäuse nicht möglich ist.Due to the inventively provided pressure side long area in which the screw rotors a small change in slope Thus, it is thus possible to realize compression ratios of at least 4.5 and dissipate the heat occurring thereby, so that overheating of the rotors is avoided. It must be taken into account here that the heat removal can only take place in the pressure-side area, since in areas of low pressures or high vacuum due to the low gas density sufficient heat transfer to the housing is not possible.

Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Schraubenrotoren mit einem hohen eingebautem Volumenverhältnis weist ferner den Vorteil auf, dass bei geringen Drücken die Leistungsaufnahme gering ist. Es kann hierdurch eine Leistungsaufnahme bezogen auf das Saugvermögen von unter 12 W/(m3h) für Ausgangsdrücke unter 10 mbar realisiert werden.The inventive design of the screw rotors with a high volume ratio built-in also has the advantage that at low pressures, the power consumption is low. As a result, a power consumption based on the pumping speed of less than 12 W / (m 3 h) for outlet pressures below 10 mbar can be realized.

In besonders bevorzugter Ausführungsform erfolgt die Wärmeabfuhr ausschließlich über das Pumpengehäuse. Neben der Wärmeabfuhr, die über das Medium selbst erfolgt, erfolgt somit die Wärmeabfuhr vorzugsweise ausschließlich über das Pumpengehäuse. Eine Rotor-Innenkühlung, die technisch aufwändig ist, muss somit nicht vorgesehen werden.In a particularly preferred embodiment, the heat dissipation takes place exclusively via the pump housing. In addition to the heat dissipation, which takes place via the medium itself, the heat dissipation therefore preferably takes place exclusively via the pump housing. A rotor internal cooling, which is technically complex, must therefore not be provided.

Ferner weist das erfindungsgemäße Vorsehen mehrerer Windungen mit geringer Steigungsänderung im druckseitigen Bereich der Rotoren den Vorteil auf, dass die Geräuschentwicklung deutlich verringert ist. Dies liegt darin begründet, dass die Kompression über einen längeren Bereich erfolgt und somit der Druckunterschied zwischen der letzten Kammer und dem Bereich des Gasaustritts geringer ist. Hierdurch ist die Rückbelüftung verringert, wobei bei der Rückbelüftung Druckwellen entstehen, die die Geräuschentwicklung hervorrufen. Aufgrund der geringeren Rückbelüftung ist auch die Geräuschentwicklung bei freiem Ausblasen um 3 bis 6 dB(A) verringert. Dies hat den wesentlichen Vorteil, dass ein kleineres Schall-Dämpfungselement vorgesehen werden kann. Aufgrund der Möglichkeit, das Bauvolumen des Dämpfers zu reduzieren, kann somit die Vergrößerung der Baulänge der Vakuumpumpe aufgrund der längeren Schraubenrotoren zumindest teilweise wieder kompensiert werden.Furthermore, the provision according to the invention of a plurality of turns with a small change in pitch in the pressure-side region of the rotors has the advantage that the noise development is markedly reduced. This is due to the fact that the compression takes place over a longer range and thus the pressure difference between the last chamber and the region of the gas outlet is lower. As a result, the re-venting is reduced, with the re-venting pressure waves that cause the noise. Due to the lower recirculation, the noise of free blowing is reduced by 3 to 6 dB (A). This has the significant advantage that a smaller sound-damping element can be provided. Due to the possibility of reducing the overall volume of the damper, the increase in the overall length of the vacuum pump due to the longer screw rotors can thus be at least partially compensated again.

Ferner ist es bevorzugt, dass das Profil der Schraubenrotoren im Wesentlichen symmetrisch ist. Bevorzugt sind hierbei beispielsweise trapezartige Profile, Zykloidenprofile oder Evolventenprofile. Bevorzugt ist es, dass die Spalthöhe, d. h. insbesondere der Abstand zwischen den Schraubenrotoren und der Gehäuseinnenwand so gewählt ist, dass sich die Kompression über einen längeren Bereich an der Auslassseite des Rotors erstreckt. Besonders bevorzugt ist hierbei im kalten Zustand der Turbomolekularpumpe ein Verhältnis Kaltspalthöhe/Achsabstand > 2/1000. Ferner bevorzugt ist es, dass im Betriebszustand, d. h. bei Erreichen der Betriebstemperatur ein Verhältnis von Kaltspalthöhe/Achsabstand > 12/1000 besteht. Erfindungsgemäß werden die Spalthöhen vorzugsweise so gewählt, dass bei Enddruckbetrieb ein mittlerer Kammerdruck von 100 mbar erst nach etwa 20% der Rotorlänge, von der Anlassseite aus gemessen, unterschritten wird.Furthermore, it is preferred that the profile of the screw rotors is substantially symmetrical. For example, trapezoidal profiles, cycloidal profiles or involute profiles are preferred here. It is preferred that the gap height, i. H. in particular, the distance between the screw rotors and the housing inner wall is selected such that the compression extends over a relatively long area on the outlet side of the rotor. Particularly preferred here in the cold state of the turbomolecular pump is a ratio cold gap height / axial distance> 2/1000. Furthermore, it is preferred that in the operating state, d. H. when the operating temperature reaches a ratio of cold gap height / center distance> 12/1000. According to the invention, the gap heights are preferably selected such that, during final pressure operation, an average chamber pressure of 100 mbar is not reached until after about 20% of the rotor length has been reached, measured from the starting side.

In bevorzugter Ausführungsform weist die erfindungsgemäße Schrauben-Vakuumpumpe eine Nenndrehzahl Drehzahl von mehr als 5000 Umdrehungen pro Minute auf. Ferner kann zur Vermeidung von Überkompressionen im druckseitigen Bereich der Schraubenrotoren ein Überdruckventil vorgesehen sein. Anstatt oder zusätzlich zu dem Vorsehen eines Überdruckventils ist es möglich, eine Drehzahlsteuerung vorzusehen. Durch ein entsprechendes Absenken der Drehzahl kann ebenfalls eine Überkompression vermieden werden. Durch beide Maßnahmen kann die Leistungsaufnahme bei hohen Ansaugdrücken und damit die installierte Motorleistung wirksam reduziert werden.In a preferred embodiment, the screw vacuum pump according to the invention has a rated speed of more than 5000 revolutions per minute. Furthermore, to avoid over-compression in the pressure-side region of the screw rotors, a pressure relief valve may be provided. Instead of or in addition to the provision of a relief valve, it is possible to provide a speed control. By a corresponding lowering of the speed also over-compression can be avoided. By both measures, the power consumption at high intake pressures and thus the installed engine power can be effectively reduced.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.The invention will be explained in more detail with reference to a preferred embodiment with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen:Show it:

1 eine schematische Draufsicht zweier erfindungsgemäß ausgebildeten Schraubenrotoren und 1 a schematic plan view of two inventively designed screw rotors and

2 eine schematische Darstellung eines Schraubenrotors nach dem Stand der Technik im Vergleich zu dem erfindungsgemäßen Schraubenrotor in Verbindung mit einem schematischen Diagramm des Druckverlaufs. 2 a schematic representation of a screw rotor according to the prior art compared to the screw rotor according to the invention in conjunction with a schematic diagram of the pressure curve.

Die beiden in 1 dargestellten Schraubenrotoren sind in einem nicht dargestellten Pumpengehäuse angeordnet. Durch das Pumpengehäuse ist der Schöpfraum 10 ausgebildet, in dem die beiden Schraubenrotoren 12, 14 angeordnet sind. Die beiden Schraubenrotoren weisen beidseitig Wellenansätze 16, 18 auf, die jeweils über Lagerelemente 20 in dem Pumpengehäuse drehbar gelagert sind. Zum Antrieb der beiden Schraubenrotoren 12, 14 ist üblicherweise ein Wellenansatz 18 oder alternativ ein Wellenansatz 16 unmittelbar oder über ein Getriebe mit einem Antriebsmotor verbunden. Der zweite Schraubenrotor wird über eine entsprechende Verzahnung (nicht dargestellt) durch denselben Antriebsmotor angetrieben, sodass die beiden Schraubenrotoren 12, 14 miteinander synchronisiert sind und sich in entgegengesetzte Richtung drehen. Durch die Schraubenrotoren erfolgt ein Ansaugen des zu fördernden Mediums auf einer Saugseite (Pfeil 22) und ein Ausstoßen des Mediums auf einer Druckseite (Pfeil 24).The two in 1 shown screw rotors are arranged in a pump housing, not shown. Through the pump housing is the pump chamber 10 formed in which the two screw rotors 12 . 14 are arranged. The two screw rotors have shaft extensions on both sides 16 . 18 on, each with bearing elements 20 are rotatably mounted in the pump housing. To drive the two screw rotors 12 . 14 is usually a wave approach 18 or alternatively a shaft approach 16 directly or via a gearbox connected to a drive motor. The second screw rotor is driven by a corresponding toothing (not shown) by the same drive motor, so that the two screw rotors 12 . 14 synchronized with each other and rotate in opposite directions. Through the screw rotors suction of the medium to be pumped takes place on a suction side (arrow 22 ) and an ejection of the medium on a pressure side (arrow 24 ).

Die Steigung der Schraubenrotoren ist durch die schräg verlaufenden Linien 26 dargestellt. Aus 1 ist ersichtlich, dass die Steigung über die Länge l des Rotors variiert. Im druckseitigen Bereich 28 ist die Steigung deutlich geringer als im saugseitigen Bereich 30. Die Steigung im druckseitigen Bereich 28 ist hierbei erfindungsgemäß derart ausgebildet, dass die Steigung im Bereich 31 bei der Hälfte der Windungen maximal das Zweifache der Steigung am Rotorauslass 24 beträgt. Dies hat zur Folge, dass ein verhältnismäßig langer druckseitiger Bereich 28 ausgebildet ist, indem sich die Steigung nur geringfügig ändert. In dem druckseitigen Bereich 28 erfolgt die Kompression über den Großteil der Druckdifferenz zwischen Ein- und Auslass. Somit wird in dem Bereich 28 auch ein Großteil der Verdichtungsarbeit geleitet. Dies hat zur Folge, dass im Wesentlichen in diesem Bereich die abzuführende Wärme erzeugt wird. Hierbei erfolgt das Abführen der Wärme erfindungsgemäß durch das die Schraubenrotoren 12, 14 in dem druckseitigen Bereich umgebende Gehäuse. The pitch of the screw rotors is due to the slanted lines 26 shown. Out 1 it can be seen that the pitch varies over the length l of the rotor. In the pressure-side area 28 The slope is significantly lower than in the suction side area 30 , The slope in the pressure-side area 28 in this case according to the invention is designed such that the slope in the area 31 at half of the turns a maximum of twice the slope at the rotor outlet 24 is. This has the consequence that a relatively long pressure side area 28 is formed by the slope changes only slightly. In the pressure-side area 28 the compression takes place over the majority of the pressure difference between inlet and outlet. Thus, in the field 28 also directed much of the compaction work. As a result, the heat to be dissipated is generated essentially in this area. In this case, the heat is dissipated according to the invention by the screw rotors 12 . 14 in the pressure-side area surrounding housing.

Erfindungsgemäß handelt es sich um langbauende Schraubenrotoren 12, 14. Das Verhältnis der Länge l der Schraubenrotoren 12, 14 zu dem Abstand d der Rotorachsen ist daher erfindungsgemäß größer als 3,0.According to the invention are long-lasting screw rotors 12 . 14 , The ratio of the length l of the screw rotors 12 . 14 to the distance d of the rotor axes is therefore greater than 3.0 according to the invention.

In 2 ist im oberen Bereich ein erfindungsgemäßer Schraubenrotor 12 dargestellt, der dem Schraubenrotor 12, 14 in 1 entspricht. Darunter ist ein Schraubenrotor 32 nach dem Stand der Technik dargestellt. Der Schraubenrotor 32 ist kürzer und weist in dem druckseitigen Bereich eine geringere Anzahl an Windungen auf, bei denen sich die Steigung nur geringfügig ändert. Bei dem Rotor 32 gemäß dem Stand der Technik ergibt sich ein Druckverlauf, wie schematisch durch die Linie 34 dargestellt. Hieraus ist ersichtlich, dass im druckseitigen Bereich 36 des Schraubenrotors 32 ein starker Druckanstieg erfolgt.In 2 is in the upper part of an inventive screw rotor 12 shown, the the screw rotor 12 . 14 in 1 equivalent. Underneath is a screw rotor 32 represented according to the prior art. The screw rotor 32 is shorter and has a smaller number of turns in the pressure-side area, in which the pitch changes only slightly. At the rotor 32 According to the prior art results in a pressure curve, as shown schematically by the line 34 shown. It can be seen that in the pressure-side area 36 of the screw rotor 32 a strong pressure increase takes place.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung des Rotors 12 ist der druckseitige Bereich 28 deutlich länger. Ferner ist die Spalthöhe entsprechend gewählt (Kaltspalthöhe/Achsabstand > 2/1000 und Warmspalthöhe/Achsabstand > 12/1000). Hierdurch ergibt sich der Druckanstieg entsprechend der Linie 38 im Diagramm, der flacher verläuft.Due to the inventive design of the rotor 12 is the pressure-side area 28 much longer. Furthermore, the gap height is selected accordingly (cold gap height / axial distance> 2/1000 and hot gap height / axial distance> 12/1000). This results in the pressure increase according to the line 38 in the diagram, which is flatter.

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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

  • ”Wutz”, Handbuch Vakuumtechnik, 10. Auflage, 2010 S. 270–277 [0002] "Wutz", Handbook Vacuum Technology, 10th edition, 2010 pp. 270-277 [0002]
  • ”Wutz” a. a. O. S. 276 [0002] "Wutz" aa OS 276 [0002]
  • VDI-Bericht Nr. 1932, 2006 [0003] VDI Report No. 1932, 2006 [0003]

Claims (10)

Schraubenvakuumpumpe, mit einem einen Schöpfraum (10) ausbildenden Pumpengehäuse, zwei in dem Schöpfraum (10) angeordneten Schraubenrotoren (12, 14), die über jeweils zwei Lagerelemente (20) in dem Pumpengehäuse gelagert sind und deren Verhältnis der Rotorlänge (l) zum Abstand der Rotorachsen (d) größer als 3,0 ist, wobei die Schraubenrotoren (12, 14) eine variable Steigung, mindestens 7 Windungen und ein eingebautes Verdichtungsverhältnis von mindestens 4,5 aufweisen und wobei die Steigung nach der Hälfte der Windungen kleiner als die zweifache Steigung am druckseitigen Rotorauslass (24) ist.Screw vacuum pump, with a pump chamber ( 10 ) forming pump housing, two in the pump chamber ( 10 ) arranged screw rotors ( 12 . 14 ), each of which has two bearing elements ( 20 ) are mounted in the pump housing and whose ratio of the rotor length (l) to the distance of the rotor axes (d) is greater than 3.0, wherein the screw rotors ( 12 . 14 ) have a variable pitch, at least 7 turns and a built-in compression ratio of at least 4.5, and wherein the pitch after half of the turns is less than twice the pitch at the pressure-side rotor outlet ( 24 ). Schraubenvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Schraubenrotor (12, 14) nur einen Gewindegang aufweist.Screw vacuum pump according to claim 1, characterized in that each screw rotor ( 12 . 14 ) has only one thread. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Profil der Schraubenrotoren (12, 14) im Wesentlichen symmetrisch oder asymmetrisch ist.Screw vacuum pump according to one of claims 1 or 2, characterized in that the profile of the screw rotors ( 12 . 14 ) is substantially symmetric or asymmetric. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass zur Wärmeabfuhr ausschließlich das Pumpengehäuse aktiv gekühlt wird.Screw vacuum pump according to one of claims 1-3, characterized in that for heat dissipation exclusively the pump housing is actively cooled. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Rotorlänge (l) zum Abstand der Rotorachsen (d) größer 3,5 insbesondere größer 4 ist.Screw vacuum pump according to one of claims 1-4, characterized in that the ratio of the rotor length (l) to the distance of the rotor axes (d) is greater than 3.5, in particular greater than 4. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens 9, vorzugsweise mindestens 11 Windungen je Schraubenrotor (12, 14) vorgesehen sind.Screw vacuum pump according to one of claims 1-5, characterized in that at least 9, preferably at least 11 turns per screw rotor ( 12 . 14 ) are provided. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, dass das Verdichtungsverhältnis mindestens 5, vorzugsweise mindestens 6 beträgt.Screw vacuum pump according to one of claims 1-6, characterized in that the compression ratio is at least 5, preferably at least 6. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–7, dadurch gekennzeichnet, dass die Spalthöhen so gewählt sind, dass sich ein Enddruck der Vakuumpumpe von mindestens 5 Pa ergibt.Screw vacuum pump according to one of claims 1-7, characterized in that the gap heights are selected so that a final pressure of the vacuum pump of at least 5 Pa results. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–8, dadurch gekennzeichnet, dass die maximale Drehzahl mehr als 5000 Umdrehungen pro Minute beträgt.Screw vacuum pump according to one of claims 1-8, characterized in that the maximum speed is more than 5000 revolutions per minute. Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung von Überkompression im druckseitigen Bereich (28) ein oder mehrere Überdruckventile angeordnet sind und/oder die Rotordrehzahl durch eine Drehzahlsteuerung steuerbar ist.Screw vacuum pump according to one of claims 1-9, characterized in that to avoid over-compression in the pressure-side region ( 28 ) One or more pressure relief valves are arranged and / or the rotor speed is controlled by a speed control.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202016005209U1 (en) * 2016-08-30 2017-12-01 Leybold Gmbh Screw vacuum pump
DE102016216279A1 (en) 2016-08-30 2018-03-01 Leybold Gmbh Vacuum-screw rotor
CN109162927A (en) * 2018-08-28 2019-01-08 安徽省华欣能源装备科技有限公司 A kind of supporting arrangement of helical-lobe compressor
DE202018000178U1 (en) * 2018-01-12 2019-04-15 Leybold Gmbh compressor

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015109048A1 (en) * 2014-01-15 2015-07-23 Eaton Corporation Method of optimizing supercharger performance
CN109139471B (en) * 2018-09-03 2019-07-02 东北大学 A kind of horizontal rotors for dry double-screw vacuum pump having over-voltage degassing function

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2329800A1 (en) * 1972-07-06 1974-01-17 H & H Licensing Corp METHOD AND DEVICE FOR COMPRESSING GAS-FORM MEDIA IN SCREW COMPRESSORS
DE69000990T2 (en) * 1989-06-05 1993-06-09 Cit Alcatel TWO-STAGE DRY PRIMARY PUMP.
US5478210A (en) * 1992-01-31 1995-12-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Multi-stage vacuum pump
DE19800711A1 (en) * 1998-01-10 1999-07-29 Hermann Dipl Ing Lang Mostly dry working screw spindle vacuum pump
EP1070848A1 (en) * 1999-07-19 2001-01-24 Sterling Fluid Systems (Germany) GmbH Positive displacement machine for compressible fluids
DE10111525A1 (en) * 2001-03-09 2002-09-12 Leybold Vakuum Gmbh Screw vacuum pump with rotor inlet and rotor outlet
US6672855B2 (en) * 1999-12-23 2004-01-06 The Boc Group Plc Vacuum pumps
DE10334484A1 (en) * 2003-07-29 2005-03-24 Steffens, Ralf, Dr. Dry compressing spindle vacuum pump with contra-rotating rotor pair has inlet side rotor pitch producing nominal displacement capacity first increasing to maximum value and then changing with constant drop to outlet side pitch

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3049793B2 (en) * 1991-03-04 2000-06-05 松下電器産業株式会社 Fluid rotating device
JPH094580A (en) * 1995-06-16 1997-01-07 Dia Shinku Kk Screw vacuum pump
JP2000136786A (en) * 1998-10-30 2000-05-16 Teijin Seiki Co Ltd Vacuum pump
JP2001182679A (en) * 1999-12-22 2001-07-06 Asuka Japan:Kk Screw fluid machine
JP2001193677A (en) * 2000-01-11 2001-07-17 Asuka Japan:Kk Screw fluid machine
CH694339A9 (en) * 2000-07-25 2005-03-15 Busch Sa Atel Twin screw rotors and those containing Ve rdraengermaschinen.
KR200273392Y1 (en) 2002-01-11 2002-05-03 남기일 Screw type Vacuum pump having variable lead
JP2004263629A (en) * 2003-03-03 2004-09-24 Tadahiro Omi Screw vacuum pump
CN2893231Y (en) * 2005-09-15 2007-04-25 梁伯顺 Variable pitch screw vacuum pump
JP2007262906A (en) 2006-03-27 2007-10-11 Nabtesco Corp Two-stage type vacuum pump
CN201159172Y (en) * 2008-02-01 2008-12-03 梁伯顺 Improved structure of screw vacuum pump

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2329800A1 (en) * 1972-07-06 1974-01-17 H & H Licensing Corp METHOD AND DEVICE FOR COMPRESSING GAS-FORM MEDIA IN SCREW COMPRESSORS
DE69000990T2 (en) * 1989-06-05 1993-06-09 Cit Alcatel TWO-STAGE DRY PRIMARY PUMP.
US5478210A (en) * 1992-01-31 1995-12-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Multi-stage vacuum pump
DE19800711A1 (en) * 1998-01-10 1999-07-29 Hermann Dipl Ing Lang Mostly dry working screw spindle vacuum pump
EP1070848A1 (en) * 1999-07-19 2001-01-24 Sterling Fluid Systems (Germany) GmbH Positive displacement machine for compressible fluids
US6672855B2 (en) * 1999-12-23 2004-01-06 The Boc Group Plc Vacuum pumps
DE10111525A1 (en) * 2001-03-09 2002-09-12 Leybold Vakuum Gmbh Screw vacuum pump with rotor inlet and rotor outlet
DE10334484A1 (en) * 2003-07-29 2005-03-24 Steffens, Ralf, Dr. Dry compressing spindle vacuum pump with contra-rotating rotor pair has inlet side rotor pitch producing nominal displacement capacity first increasing to maximum value and then changing with constant drop to outlet side pitch

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Wutz" a. a. O. S. 276
"Wutz", Handbuch Vakuumtechnik, 10. Auflage, 2010 S. 270-277
VDI-Bericht Nr. 1932, 2006

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202016005209U1 (en) * 2016-08-30 2017-12-01 Leybold Gmbh Screw vacuum pump
DE102016216279A1 (en) 2016-08-30 2018-03-01 Leybold Gmbh Vacuum-screw rotor
WO2018041614A1 (en) * 2016-08-30 2018-03-08 Leybold Gmbh Screw-type vacuum pump
US11293435B2 (en) 2016-08-30 2022-04-05 Leybold Gmbh Vacuum pump screw rotors with symmetrical profiles on low pitch sections
US11300123B2 (en) 2016-08-30 2022-04-12 Leybold Gmbh Screw vacuum pump without internal cooling
DE202018000178U1 (en) * 2018-01-12 2019-04-15 Leybold Gmbh compressor
CN109162927A (en) * 2018-08-28 2019-01-08 安徽省华欣能源装备科技有限公司 A kind of supporting arrangement of helical-lobe compressor

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CN102884324B (en) 2016-06-08
KR101855398B1 (en) 2018-05-08
WO2011138318A2 (en) 2011-11-10

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