DE102010007841A1 - Photovoltaikmodul mit einer photoaktiven Schicht oder Solarkollektor mit einem Solarabsorber - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Photovoltaikmodul auf Metallbandsubstratbasis, welches über den Schichtaufbau eine monolithische Verschaltung ermöglicht, wobei die Substratoberfläche so strukturiert ist, dass durch eine Oberflächenvergrößerung und eine Verminderung der Reflexion bzw. eine gezielte Reflexion eine Wirkungsgradsteigerung von bis zu 20% erreicht wird. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Solarabsorbermodul auf Metallbandsubstratbasis, wo der lichtoptische Effekt in gleicher Weise genutzt und damit der Wirkungsgrad in gleicher Weise gesteigert wird.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Photovoltaikmodul mit einer photoaktiven Schicht gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 oder einen Solarkollektor mit einem Solarabsorber gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 12.
- Möglichkeiten, Oberflächen durch Walzen zu strukturieren sind bereits aus der Aluminium- und der Stahlindustrie bekannt, wo Aluminium- und Stahlbleche für den Einsatz als Karosseriekomponenten so strukturiert werden, dass beim anschließenden Streckziehen keine Fließlinien auf der Karosserieoberfläche nach der Lackierung sichtbar sind. Beispiele für Strukturierungsverfahren der Oberflächen der Arbeitswalzen oder der Bänder direkt sind das Lasertexturieren, Schleifen oder Strahlen. Auch die sogenannten EBT-Verfahren (electron beam texturing) oder EDT-Verfahren (electro discharge texturing) sind bereits bekannte Herstellungsverfahren für texturierte Oberflächen. Diese Art der Walzenstrukturierung führt jedoch zu sehr rauen Oberflächen mit unregelmäßigen geometrischen Formen, die bei manchen Anwendungen den Anforderungen an die optischen bzw. mechanischen Eigenschaften nicht genügen.
- Aus der Druckschrift
EP 1 146 971 B1 ist ein mechanisch texturiertes Blech aus einer Aluminiumlegierung bekannt, das sich für Reflektorsysteme in Beleuchtungen eignet. Für diese Anwendungen müssen die Bleche entsprechende photometrische Eigenschaften aufweisen. Zu den im Vordergrund stehenden photometrischen Eigenschaften gehört eine hohe Gesamtreflexion, durch die ein möglichst hoher Anteil des einfallenden Lichts an der Oberfläche reflektiert wird. Zu den bevorzugten Eigenschaften der Blechoberfläche gehört darüber hinaus eine diffuse oder ungerichtete Lichtreflexion. Derartige Eigenschaften werden durch Walzen des Blechmaterials mit zumindest einer texturierten Arbeitswalze erzielt. Es entsteht eine ungerichtete, diffus reflektierende Blechoberfläche, auf deren gesamten Oberfläche zufällig geformte, mikroskopische Vertiefungen ausgebildet sind. Bevorzugt sollten die Vertiefungen eine ineinander greifende Form von dicht nebeneinander liegenden oder sich überlappenden, dachziegelartigen Strukturen ausbilden. - Weitere Anwendungen sind aus der Druckschrift
EP 1 368 140 B1 bekannt. Bei dem beschriebenen Verfahren wird ein Metallblech oder Metallband zwischen Walzen durchgeführt, die ein texturiertes Muster auf der Oberfläche aufweisen und dieses Muster über mehrere Walzstiche auf das Blech oder Band übertragen. Die durch jeden Walzstich eingeprägten Strukturen überlappen sich zum endgültigen texturierten Muster. Auch kann mittels eines Walzstiches zwischen einer Vielzahl von aufeinander angeordneten Walzenpaaren eine derartige Struktur erzeugt werden. Das Texturieren eines Aluminiumbandes umfasst nach einer Vielzahl an Walzstichen ein mikroskopisches Oberflächenmuster. Durch einen möglichst geringen Umformgrad werden weitgehend durch die Walzen vorgegebene originäre und unverzerrte Strukturen angestrebt. Derartig hergestellte Metallbleche finden bevorzugt einen Einsatz als lithographische Platte oder als Automobil-Reflektorblech. - Weitere lithographische Platten sind aus der Druckschrift
WO 97/31783 A1 - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Photovoltaikmodule und Solarkollektoren derart weiterzubilden, dass über eine Vergrößerung der wirksamen Oberfläche und eine Verminderung der Reflexion eine Wirkungsgradsteigerung erzielt wird.
- Die Erfindung wird bezüglich Photovoltaikmodulen durch die Merkmale des Anspruchs 1 und bezüglich Solarkollektoren durch die Merkmale des Anspruchs 12 wiedergegeben. Die weiteren rückbezogenen Ansprüche betreffen vorteilhafte Aus- und Weiterbildungen der Erfindung.
- Die Erfindung schließt ein Photovoltaikmodul mit einer photoaktiven Schicht ein, die auf ein gewalztes Metallsubstrat aus einem Metallband oder einem daraus hergestellten Blech aufgebracht ist, welches aus einem Cu- oder Cu-Legierungsband, einem Al- oder Al-Legierungsband, einem Fe- oder Fe-Legierungsband, einem Ti- oder Ti-Legierungsband, einem Ni oder Ni-Legierungsband oder einem Edelstahlband besteht. Das Metallsubstrat weist eine Oberflächenstruktur mit einer Rauheit im Bereich von Ra = 0,01–5 μm und/oder Rz = 0,01–20 μm auf. Die Oberflächenstruktur weist Vertiefungen mit einem Durchmesser von 0,3–300 μm auf. Die Vertiefungen sind in einer offenen Struktur mit einer parallel zur Bandoberfläche verlaufenden lateralen Ausdehnung mit einem Längen-/Breitenverhältnis von 3:1 bis 1:3 angeordnet, wobei die Länge in Walzrichtung und die Breite senkrecht zur Walzrichtung gemessen ist.
- Die Erfindung geht dabei von der Überlegung aus, dass die Oberfläche eines gewalzten Metallsubstrats in Form eines Metallbands oder Metallblechs zur Verwendung in einem Photovoltaikmodul oder einem Solarkollektor einer Feingestaltung der Oberfläche unterzogen wird. Diese Strukturen prägen sich bis auf die photoaktiven Schichten einer Solarzelle durch und optimieren die Lichtausbeute durch verminderte Streuung und einer gerichteten Reflexion, so dass reflektiertes Sonnenlicht erneut auf die Solarzellenoberfläche trifft.
- Die Feinstruktur kann in eine unbeschichtete Band- oder Blechoberfläche oder auch bereits in eine zumindest mit einer Schicht bedeckte Oberfläche eingebracht sein. Die hierfür erforderlichen Walzen zur Erzeugung der Feinblechstrukturen sind im Karosseriebau bereits bekannt. Es handelt sich beispielsweise um Walzenoberflächen mit elektrolytisch erzeugter Struktur und Hartverchromung.
- Als offene Strukturen wird im Sinne der Erfindung auf dem Substratmaterial eine Oberflächengestaltung angesehen, die auf einer noch erkennbaren glatten Oberfläche einzelne Vertiefungen aufweist. Benachbarte Vertiefungen können sich beispielsweise auch berühren oder geringfügig überlagern, fließen allerdings als Strukturelemente nicht so ineinander, dass die Topographie der Oberfläche nur noch als einheitliche Rauheit erkennbar ist. Es handelt sich demnach um eine durch Walzen aus einer Substratoberfläche herausgebildete Feinstruktur mit einem mehr oder weniger glatten unverformten originären Restbestandteil der ursprünglichen Oberflächentopographie. Beispielhaft ist hier die unter dem Markennamen verbreitete PRETEX-Walzstruktur zu verstehen. Bei derartigen Oberflächen ist es von Bedeutung, dass durch den originären Restbestandteil der Oberfläche ein hoher Flächentraganteil vorhanden ist.
- Prinzipiell sind Vertiefungen in der offenen Struktur mit einer parallel zur Bandoberfläche verlaufenden lateralen Ausdehnung mit einem Längen-/Breitenverhältnis von 3:1 bis 1:3 angeordnet, wobei die Länge in Walzrichtung und die Breite senkrecht zur Walzrichtung gemessen ist. In der Regel werden Längen-/Breitenverhältnisse von 1:1 angestrebt. Je nach Ausgestaltung der Vertiefungen und durch Bandzug beim Walzen kann es allerdings zu gewissen Verstreckungen führen. Je nach Lichteinfall können die angegebenen Längen-/Breitenverhältnisse der Strukturen eine höhere Effizienz in der Lichtausbeute aufweisen.
- Der besondere Vorteil besteht darin, dass die erfindungsgemäßen Strukturen bei Photovoltaikmodulen wesentlich zu einer Wirkungsgradsteigerung beitragen, die bis zu 20% betragen kann. Auch wird bei der Herstellung und Verarbeitung der Module mittels optischer Fügeverfahren, beispielsweise unter Anwendung von Laserschweißverfahren, durch die geringere Reflektivität der Oberfläche die Strahleinkopplung positiv beeinflusst. Ebenso wird die Lötbarkeit durch die Verbesserung der Be- und Entnetzungseigenschaften gesteigert.
- In bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung können auf dem Metallsubstrat eine cte-Ausgleichsschicht und/oder eine Diffusionssperrschicht aufgebracht sein. Mit cte-Ausgleichsschichten wird das unterschiedliche Wärmeausdehnungsverhalten der jeweils miteinander in Kontakt stehenden Schichten entsprechend angepasst. Der Begriff cte leitet sich aus den Anfangsbuchstaben der in Fachkreisen gebräuchlichen englischen Bezeichnung „coefficient of thermal expansion” ab. Hierdurch wird das Substratmaterial in Bezug auf darauf aufgebrachte photoaktive Schichten angepasst.
- Vorteilhafterweise kann die Ausgleichsschicht bzw. Diffusionssperrschicht aus TiC, WC, TiN, TiNOx, TiOx, Mo, Cr, Co, NiCo, Ni oder Invar und/oder Kombinationen davon aufgebaut sein. Durch derartige Schichtkombinationen können auch Anpassungen von Substrat und Isolierschicht bezüglich der Wärmeausdehnung und Haftfähigkeit vorgenommen werden. Um eine zuverlässige Anpassung zu gewährleisten, kann die cte-Ausgleichs- bzw. Diffusionssperrschicht eine Schichtdicke von 100 nm bis 100 μm aufweisen.
- Der Aufbau herkömmlicher CIS-Solarmodule auf Metallbasis erfolgt mit einer Verschaltung in der sogenannten Schindeltechnik, welche vergleichsweise aufwändig und platzintensiv ist. Um bei der Herstellung der Solarmodule eine direkte bzw. monolithische Verschaltung zu erreichen, kann in vorteilhafter Ausführungsform der Erfindung auf dem Metallsubstrat oder auf der cte-Ausgleichsschicht oder auf der Diffusionssperrschicht eine elektrisch isolierende Beschichtung aufgebracht sein. Hierbei kann die elektrisch isolierende Beschichtung zumindest eine keramische Schicht aus Al2O3, ZrO2, SiO2, SiOH, Si3N4 oder AlN oder Kombinationen aus diesen Schichten sein. Um eine zuverlässige elektrische Isolation zu gewährleisten, kann die Schichtdicke der Beschichtung 100 nm bis 100 μm, vorzugsweise 500 nm bis 100 μm betragen.
- In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung kann auf die isolierende Beschichtung und/oder auf die Band- oder Blechrückseite eine Molybdänschicht aufgebracht sein. Diese Schicht dient als metallischer Rückseitenkontakt für eine auf dieser Struktur angeordnete photoaktive Schicht einer Solarzelle, über die der erzeugte Strom geführt wird. Die Schichtdicke der Molybdänschicht, die beispielsweise mittels Sputtern aufgebracht wird, kann 5 μm bis 200 μm betragen.
- In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung können auf der Molybdänschicht als photoaktive Beschichtung eine CIS-Schicht mit entsprechender Frontkontaktschicht aus ZnO und einer Zwischenschicht aus CdS aufgebracht sein, welche durch geeignete Strukturierung im vorgegebenen Schichtaufbau zu monolitisch miteinander verschalteten CIS-Solarzellen angeordnet sind. Mit Hilfe der Molybdänschicht als metallischer Rückseitenkontakt können einzelne Solarzellen im Modul miteinander verschaltet werden. Durch das Aufbringen der einzelnen Schichten und Schichtsysteme mittels CVD, PVD oder galvanischen Beschichtungsverfahren können sich die erfindungsgemäßen Vertiefungen bei der Feingestaltung der Substratoberfläche bis auf die photoaktiven Schichten einer Solarzelle durchprägen und so die Lichtausbeute durch eine geringere oder gezielte Reflexion in Verbindung mit einer Vergrößerung der nutzbringenden Oberfläche optimieren. Die Herstellung derartiger Solarzellen aus Verbindungshalbleitern sind bereits bekannt und können, gegebenenfalls auf der Grundlage des fachmännischen Wissens, auf das Substratmaterial entsprechend angepasst werden. Hierdurch lässt sich ein Photovoltaikmodul auf Metallbandsubstratbasis realisieren, welches über den Schichtaufbau eine monolithische Verschaltung ermöglicht, wobei die Substratoberfläche so strukturiert ist, dass durch eine Oberflächenvergrößerung und eine Verminderung der Reflexion bzw. eine gezielte Reflexion eine Wirkungsgradsteigerung von bis zu 20% erreicht wird.
- Vorteilhafterweise können auf der Rückseite des Metallsubstrats Rohre oder Kanäle aus Kupfer oder einer Kupferlegierung zur Kühlung der Zellen aufgeschweißt oder aufgelötet sein. Der Flüssigkeitskreislauf auf der Rückseite der Solarzellen sorgt aufgrund der Kühlwirkung für einen höheren Stromertrag. Zudem kann die erwärmte Flüssigkeit zur Heizungsunterstützung genutzt werden. Das hierbei gebildete Photovoltaik-Solarthermie-Kombimodul weist eine wesentliche Wirkungsgradsteigerung gegenüber herkömmlichen Systemen auf.
- Ein weiterer Aspekt der Erfindung schließt einen Solarkollektor mit einem Solarabsorber ein, bestehend aus einem gewalzten Metallsubstrat aus einem Metallband oder einem daraus hergestellten Blech aus Cu- oder Cu-Legierungsband, einem Al- oder Al-Legierungsband, einem Fe- oder Fe-Legierungsband, einem Ti- oder Ti-Legierungsband, einem Ni oder Ni-Legierungsband oder einem Edelstahlband. Das Metallsubstrat, auf welches die Absorberschicht aufgebracht wird, weist eine Oberflächenstruktur, welche isotrop sein kann, mit einer Rauheit im Bereich von Ra = 0,01–5 μm und/oder Rz = 0,01–20 μm auf. Die Oberflächenstruktur weist Vertiefungen mit einem Durchmesser von 0,3–300 μm auf. Die Vertiefungen sind in einer offenen Struktur mit einer parallel zur Bandoberfläche verlaufenden lateralen Ausdehnung mit einem Längen-/Breitenverhältnis von 3:1 bis 1:3 angeordnet, wobei die Länge in Walzrichtung und die Breite senkrecht zur Walzrichtung gemessen ist.
- Diesem Aspekt der Erfindung liegen dieselben Überlegungen und Vorteile zugrunde, wie bereits vorstehend zu Anspruch 1 ausgeführt ist. Hierdurch lässt sich ein Solarabsorbermodul auf Metallbandsubstratbasis realisieren, bei dem der lichtoptische Effekt in gleicher Weise genutzt und damit der Wirkungsgrad in gleicher Weise gesteigert wird.
- Im Folgenden werden gemeinsame vorteilhafte Ausgestaltungen zu Photovoltaikmodulen und Solarkollektoren als Teilaspekte der Erfindung näher ausgeführt.
- Bevorzugt kann bei den Photovoltaikmodulen und Solarkollektoren das Verhältnis von Breite zu Tiefe der Vertiefungen zumindest 1:12 betragen. So sind für kleine Verhältnisse auch Vertiefungen angedacht, deren Tiefe die laterale Ausdehnung parallel zur Substratoberfläche deutlich übersteigen. Für größere Verhältnisse werden in die Substratoberfläche wesentlich flachere Strukturen eingebracht, die allerdings noch so gestaltet werden, dass eine effiziente Lichtausbeute stattfindet. Bevorzugt lassen sich herstellungstechnisch wie auch in ihrer Effizienz günstige Verhältnisse von Breite zu Tiefe im Bereich von 1:3 bis 3:1 gestalten.
- Vorteilhafterweise können bei den Photovoltaikmodulen und Solarkollektoren die Vertiefungen halbkugelförmig, pyramidal oder mit polygonalen Flächen ausgebildet sein. Derartige Geometrien sorgen für eine besonders effiziente Lichtausbeute und lassen sich mit Walzverfahren gut realisieren.
- Bevorzugt können die Vertiefungen der Oberflächenstruktur mittels Walzen mit strukturierten Arbeitswalzen erzeugt sein, die eine Oberfläche mit kalottenförmigen, pyramidalen oder polygonalen Erhebungen aufweist. Die Walzenoberfläche bildet das Negativ der in eine Band- oder Blechoberfläche einzubringenden Feinstruktur.
- Vorteilhafterweise kann die Struktur stochastisch oder regelmäßig-periodisch ausgebildet sein. Bei regelmäßig-periodischen Strukturen können flächige inselförmige Bereiche unter einer Solarabsorberschicht das Sonnenlicht besonders effizient nutzen, wohingegen zwischen den periodischen Strukturen, beispielsweise glatte Zonen, für elektrische Leiterbahnen oder weitere Strukturierungselemente vorhanden sein können.
- In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung kann die zu strukturierende Bandoberfläche blank sein. Bevorzugt können als Beschichtungsverfahren nach dem Walzen galvanische Beschichtung, PVD-, CVD-Verfahren, Plasmapolymerisation oder eine nasschemische Beschichtung zur Anwendung kommen.
- Vorteilhafterweise kann der Profil-Leeregrad λp im Bereich von 0,25 bis 0,85 ausgebildet sein, bevorzugt jedoch im Bereich von 0,5 bis 0,8 liegen. In vorteilhafter Weise kann der räumliche Leeregrad λr im Bereich von 0,49 bis 0,8 ausgebildet sein.
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Claims (20)
- Photovoltaikmodul mit einer photoaktiven Schicht, die auf ein gewalztes Metallsubstrat aus einem Metallband oder einem daraus hergestellten Blech aufgebracht ist, welches aus einem Cu- oder Cu-Legierungsband, einem Al- oder Al-Legierungsband, einem Fe- oder Fe-Legierungsband, einem Ti- oder Ti-Legierungsband, einem Ni oder Ni-Legierungsband oder einem Edelstahlband besteht, dadurch gekennzeichnet, – dass das Metallsubstrat eine Oberflächenstruktur mit einer Rauheit im Bereich von Ra = 0,01–5 μm und/oder Rz = 0,01–20 μm aufweist, – dass die Oberflächenstruktur Vertiefungen mit einem Durchmesser von 0,3–300 μm aufweist und, – dass die Vertiefungen in einer offenen Struktur mit einer parallel zur Bandoberfläche verlaufenden lateralen Ausdehnung mit einem Längen-/Breitenverhältnis von 3:1 bis 1:3 angeordnet sind, wobei die Länge in Walzrichtung und die Breite senkrecht zur Walzrichtung gemessen ist.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Metallsubstrat eine cte-Ausgleichsschicht und/oder eine Diffusionssperrschicht aufgebracht ist.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die cte-Ausgleichsschicht bzw. die Diffusionssperrschicht aus TiC, WC, TiN, TiNOx, TiOx, Mo, Cr, Co, NiCo, Ni oder Invar und/oder Kombinationen davon aufgebaut ist.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die cte-Ausgleichs- bzw. Diffusionssperrschicht eine Schichtdicke von 100 nm bis 100 μm aufweist.
- Photovoltaikmodul nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Metallsubstrat oder auf der cte-Ausgleichsschicht oder auf der Diffusionssperrschicht eine elektrisch isolierende Beschichtung aufgebracht ist.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrisch isolierende Beschichtung zumindest eine keramische Schicht aus Al2O3, ZrO2, SiO2, SiOH, Si3N4 oder AlN oder Kombinationen aus diesen Schichten ist.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtdicke der elektrisch isolierenden Beschichtung 100 nm bis 100 μm, vorzugsweise 500 nm bis 100 μm beträgt.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass auf die isolierende Beschichtung und/oder auf die Band- oder Blechrückseite eine Molybdänschicht aufgebracht ist.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtdicke der Molybdänschicht 5 μm bis 200 μm beträgt.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Molybdänschicht als photoaktive Beschichtung eine CIS-Schicht mit entsprechender Frontkontaktschicht aus ZnO und einer Zwischenschicht aus CdS aufgebracht ist, welche durch geeignete Strukturierung im vorgegebenen Schichtaufbau zu monolitisch miteinander verschalteten CIS-Solarzellen angeordnet sind.
- Photovoltaikmodul nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Rückseite des Metallsubstrats Rohre oder Kanäle aus Kupfer oder einer Kupferlegierung zur Kühlung der Zellen aufgeschweißt oder aufgelötet sind.
- Solarkollektor mit einem Solarabsorber, bestehend aus einem gewalzten Metallsubstrat aus einem Metallband oder einem daraus hergestellten Blech aus Cu- oder Cu-Legierungsband, einem Al- oder Al-Legierungsband, einem Fe- oder Fe-Legierungsband, einem Ti- oder Ti-Legierungsband, einem Ni oder Ni-Legierungsband oder einem Edelstahlband, dadurch gekennzeichnet, – dass das Metallsubstrat, auf welches die Absorberschicht aufgebracht wird, eine Oberflächenstruktur mit einer Rauheit im Bereich von Ra = 0,01–5 μm und/oder Rz = 0,01–20 μm aufweist, – dass die Oberflächenstruktur Vertiefungen mit einem Durchmesser von 0,3–300 μm aufweist und, – dass die Vertiefungen in einer offenen Struktur mit einer parallel zur Bandoberfläche verlaufenden lateralen Ausdehnung mit einem Längen-/Breitenverhältnis von 3:1 bis 1:3 angeordnet sind, wobei die Länge in Walzrichtung und die Breite senkrecht zur Walzrichtung gemessen ist.
- Produkt nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis von Breite zu Tiefe der Vertiefungen zumindest 1:12 beträgt.
- Produkt nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen halbkugelförmig, pyramidal oder mit polygonalen Flächen ausgebildet sind.
- Produkt nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen der Oberflächenstruktur mittels Walzen mit strukturierten Arbeitswalzen erzeugt ist, die eine Oberfläche mit kalottenförmigen, pyramidalen oder polygonalen Erhebungen aufweist.
- Produkt nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur stochastisch oder regelmäßig-periodisch ausgebildet ist.
- Produkt nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die zu strukturierende Bandoberfläche blank ist.
- Produkt nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass als Beschichtungsverfahren nach dem Walzen galvanische Beschichtung, PVD-, CVD-Verfahren, Plasmapolymerisation oder eine nasschemische Beschichtung zur Anwendung kommen.
- Produkt nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Profil-Leeregrad λp im Bereich von 0,25 bis 0,85 ausgebildet ist, bevorzugt jedoch im Bereich von 0,5 bis 0,8 liegt.
- Produkt nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der räumliche Leeregrad λr im Bereich von 0,49 bis 0,8 ausgebildet ist.
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