DE102009037397B3 - Dreidimensionale Abbildung einer Probenstruktur - Google Patents

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Abstract

Es wird beschrieben ein Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe, wobei mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das mit einer ersten Ortsauflösung die Lage von Streuzentren in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem ersten optischen Verfahren einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt, mit einem zweiten optischen Verfahren ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das die Lage von Streuzentren in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem zweiten optischen Verfahren keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt und wobei das zweite Bild eine zweite Ortsauflösung hat, die geringer ist als die erste Ortsauflösung, im ersten Bild erste Vergleichsstrukturen und im zweiten Bild zweite Vergleichsstrukturen ermittelt werden, wobei die ersten und zweiten Vergleichsstrukturen sich entsprechen und von jeweils gleichen Probenstrukturen stammen, für die Probe eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung so definiert wird, dass die Brechzahlverteilung eine Korrektur des ersten Bildes derart bewirkt, dass die ersten Vergleichsstrukturen im korrigierten ersten Bild im Wesentlichen an denselben Probenorten liegen wie die zugeordneten zweiten Vergleichsstrukturen im zweiten Bild.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe.
  • Für die berührungslose und zerstörungsfreie Analyse der inneren Struktur einer Probe stehen tomographische Verfahren zur Verfügung. Die dem Fachmann bekannte konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie erlaubt eine dreidimensionale Abbildung der Probe. Exemplarisch sei hier auf die Veröffentlichung Sharpe et al. (2001), ”3D confocal reconstruction of gene expression in mouse”, Mech. Dev. 100, 59–63, verwiesen. Aber auch andere optische Verfahren werden verwendet, wie beispielsweise die optische Kohärenztomographie, die z. B. in D. Huang et al. (1991), ”Optical Coherence Tomography”, Science, 1178–81, beschrieben ist. Optische Kohärenztomographie (OCT) und Laser-Scanning-Mikroskopie (LSM) liefern ein hochaufgelöstes dreidimensionales Bild einer Probe. Nachteilig bei diesen Verfahren ist die brechzahlabhängige Verzerrung der Meßdaten in der Tiefe der Probe, die darauf beruht, daß diese Verfahren immer optische Weglängen messen, welche das Produkt aus geometrischem Weg und Brechzahl des Mediums sind.
  • Am längsten etabliert ist zur Strukturaufklärung die Verwendung von Röntgenstrahlung, wie sie beispielsweise in der Computertomographie erfolgt und beschrieben ist in Flannery B P et al. (1987), ”Three-dimensional x-ray microtomography”, Science 237, 1439–44. Analog zur röntgenstrahlbasierten Computertomographie können auch optische Verfahren aus Projektionen unter verschiedenen Blickwinkeln ein dreidimensionales Probenbild erzeugen. Dabei kommt, wie bei der Röntgenstrahlcomputertomographie auch, die inverse Radontransformation zur rechnerischen Bilderzeugung aus den verschiedenen Projektionen zur Anwendung. Ein Beispiel für eine optische Projektionstomographie findet sich in der EP 1410090 B1 oder der WO 02/095476 A2 . Eine weitere Möglichkeit für eine solche projektionsbasierte Bildgewinnung findet sich in der Tomographic Phase Microscopy (z. B. W. Choi et al. (2007), ”Tomographic Phase microscopy”, Nat. Methods 4, 717–719). Dieses Verfahren überlagert Projektionsbilder des Phasenversatzes von dünnen Proben, die unter verschiedenen Blickwinkeln gewonnen werden. Auch A. M. Zysk et al. (2003), „Projected index computed tomography”, Opt. Lett. 28, 701–703, schildert ein projektionsbasiertes Bildgebungsverfahren, die Projected Index Computed Tomography. Dort wird eine dreidimensionale Brechzahlverteilung aus der Projektion der mittleren Brechzahl der Probe erzeugt.
  • Aus der DE 19930408 A1 und der US 5795295 ist es bekannt, bei der Untersuchung des menschlichen Körpers zwei sich ergänzende tomographische Verfahren einzusetzen, wobei eines davon nicht durch Brechzahlvariationen beeinflußt wird.
  • Nachteilig bei allen Projektionsverfahren sind eingeschränkte Ortsauflösungen.
  • Für die optische Kohärenztomographie ist eine Dispersionsentzerrung in F. Büchinger, „Dispersionsentzerrung in der optischen Kohärenztomographie”, Diplomarbeit TU Wien, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2006, bekannt. Dort wird die Dispersion 1. Ordnung in OCT-Daten korrigiert, wobei eine räumliche konstante Dispersion vorausgesetzt wird. Es werden Eigenschaften der optischen Kohärenztomographie im Zusammenhang mit der Wellenlängeabhängigkeit der Brechzahl ausgenutzt, um ein OCT-Bild durch geeignete Filterung zu verbessern.
  • Die Diplomarbeit A. Dölemeyer, „Modellbasierte dreidimensionale Fundusrekonstruktion: Ein genereller Ansatz zur Integration multi-modaler Daten des menschlichen Augenhintergrundes”, Diplomarbeit RWTH Aachen, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Aachen 2005, beschreibt, wie Daten aus verschiedenen Meßverfahren lagerichtig am Auge zusammengeführt werden können. Dabei wird ein dreidimensionales Modell des Auges verwendet und Überlappstellen aus verschiedenen Messungen diesen dazu, die entsprechenden abgebildeten Teilbereiche des Auges an der richtigen Stelle eines Gesamtbildes einzugliedern. Es geht darum, verschieden liegende Bildfelder am Augenhintergrund an der richtigen Stelle bezogen auf den Fundus in das Bild einzufügen. Eine Korrektur von Bildfehlern findet nicht statt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die genannten Nachteile des Standes der Technik zu beheben und ein hochauflösendes, nicht von der Brechzahlverteilung der Probe beeinflußtes Bildgebungsverfahren anzugeben.
  • Diese Aufgabe wird in einer ersten Variante gelöst mit einem Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe, wobei mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das mit einer ersten Ortsauflösung die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem ersten optischen Verfahren einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt, mit einem zweiten optischen Verfahren ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem zweiten optische Verfahren keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt und wobei das zweite Bild eine zweite Ortsauflösung hat, die geringer ist, als die erste Ortsauflösung, bezogen auf das erste Bild bzw. im ersten Bild erste Vergleichselemente und im zweiten Bild zweite Vergleichselemente ermittelt werden, wobei die ersten und zweiten Vergleichselemente sich entsprechen und von jeweils gleichen Probenstrukturen stammen, für die Probe eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung so definiert wird, daß die Brechzahlverteilung eine Korrektur des ersten Bildes derart bewirkt, daß die ersten Vergleichselemente im korrigierten ersten Bild im wesentlichen an denselben Probenorten liegen wie die zugeordneten zweiten Vergleichselemente im zweiten Bild.
  • Diese Aufgabe wird weiter in einer zweiten Variante gelöst mit einem Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe, wobei mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das mit einer ersten Ortsauflösung die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem ersten optische Verfahren einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt, mit einem zweiten optischen Verfahren ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das die Brechzahlverteilung der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem zweiten optische Verfahren keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt und wobei das zweite Bild eine zweite Ortsauflösung hat, die geringer ist, als die erste Ortsauflösung, bezogen auf das erste Bild bzw. im ersten Bild erste Vergleichselemente und im zweiten Bild zweite Vergleichselemente ermittelt werden, wobei die ersten und zweiten Vergleichselemente sich entsprechen und von jeweils gleichen Probenstrukturen stammen, für die Probe eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung so definiert wird, daß die Brechzahlverteilung eine Korrektur des ersten Bildes derart bewirkt, daß die ersten Vergleichselemente im korrigierten ersten Bild im wesentlichen an denselben Probenorten liegen wie die zugeordneten zweiten Vergleichselemente im zweiten Bild.
  • Die Erfindung sieht also zwei alternative Varianten vor. Beiden ist gemeinsam, daß mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird. Dieses Bild gibt Strukturelemente in der Probe wieder, welche die innere Struktur der Probe kennzeichnen, und es hat eine erste Ortsauflösung. Das erste optische Verfahren unterliegt einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe. Um welche Art von Strukturelement es sich handelt, hängt im wesentlichen von der Art des Bildes ab. Ist das Bild eine Rückstreu-Intensitätsverteilung, ist das Strukturelement ein rückstreuendes Strukturelement, ist das Bild ein Absorptionsbild, handelt es sich bei dem Strukturelement um ein absorbierendes Strukturelement, usw.
  • Das erste optische Verfahren wird mit einem zweiten optischen Verfahren kombiniert, das ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gibt, welches ebenfalls die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt. Das zweite optische Verfahren unterliegt allerdings keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe und liefert ein zweites Bild mit einer zweiten Ortsauflösung, die geringer ist, als die erste Ortsauflösung, die mit dem ersten optischen Verfahren erreicht wird.
  • Die beiden Verfahren liefern also zwei Bilder der inneren Struktur der Probe. Unter einem Bild wird dabei eine dreidimensionale Abbildung der Probe verstanden, d. h. eine in drei Raumrichtungen parametrisierte Information über die Probenstruktur. Diese Information kann eine Dichteinformation, eine Phaseninformation oder eine Brechzahlinformation sein, je nach Abbildungsverfahren.
  • Das erste Bild ist jedoch aufgrund der Brechzahlvariation in der Probe verzerrt. Das erfindungsgemäße Verfahren korrigiert nun diese Brechzahlverzerrung, indem im ersten Bild erste Vergleichselemente und im zweiten Bild zweite Vergleichselemente ermittelt werden. Die ersten und zweiten Vergleichselemente stammen jeweils von gleichen Probenstrukturen. Sie liegen aufgrund der Brechzahlverzerrung im ersten Bild naturgemäß nicht unbedingt an derselben Stelle, wie im zweiten Bild. Es wird deshalb für die Probe eine Brechzahlverteilung der Probe definiert. Diese Brechzahlverteilung erlaubt es, das erste Bild zu korrigieren. Die Korrektur ist dabei derart, daß sie die ersten Vergleichselemente im korrigierten ersten Bild im wesentlichen an dieselben Probenorte rückt, wie die zugeordneten zweiten Vergleichselemente im zweiten Bild liegen.
  • Die alternative zweite Variante unterscheidet sich von dieser ersten Variante lediglich dadurch, daß das zweite Bild nicht die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt, sondern die Brechzahlverteilung. Bis auf diesen Unterschied sind die Verfahren identisch, wobei die Brechzahlverteilung der Probe natürlich von der Struktur in der Probe abhängt. Ein im ersten Bild gewähltes Strukturelement zeigt sich auch in der Brechzahlverteilung, so daß auch dort ein entsprechendes Strukturelement durch seine Brechzahlbeeinflussung auffindbar ist.
  • Die erfindungsgemäßen Verfahren erzeugen somit aus einem Vergleich zwischen erstem und zweitem Bild eine Brechzahlstruktur der Probe, die auf das erste Bild bezogen ist. Dieses Vorgehen geht von der Erkenntnis aus, daß aus dem vergleichsweise geringer aufgelösten, aber nicht brechzahlverteilungsbeeinflußten zweiten Bild eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung erhalten wird, indem die Lage der Vergleichselemente verglichen wird. Erst dieser Ansatz ermöglicht es, die brechzahlunbeeinflußte Information des zweiten Bildes zur Korrektur des ersten Bildes zu verwenden. Ohne diesen Ansatz wäre es nämlich nicht möglich, die Bilder zu korrelieren. Beispielsweise kann die in der zweiten Erfindungsvariante im zweiten Bild vorhandene Brechzahlverteilung nicht direkt auf das erste Bild angewendet werden, da die Ortskoordinaten der beiden Bilder sich aufgrund der brechzahlverteilungsbedingten Verzerrung des ersten Bildes nicht entsprechen. Der Rückgriff auf die Vergleichselemente erlaubt erst einen entsprechenden Abgleich.
  • Das erste optische Verfahren, welches der Verzerrung durch die Brechzahlverteilung in der Probe unterliegt, kann beispielweise die optische Kohärenztomographie oder die Laser-Scanning-Mikroskopie sein. Für das zweite optische Verfahren, welches nicht der Brechzahlverzeichnung unterliegt, kommt Röntgenstrahlcomputertomographie, optische Projektionstomographie oder tomographische Phasenmikroskopie oder Projected Index Computer Tomography in Frage. Wie aus dieser Aufzählung ersichtlich ist, ist ein Röntgenstrahlabbildungsverfahren ein optisches Verfahren im Sinne dieser Beschreibung.
  • Ein Bild kann besonders einfach erzeugt werden, wenn die Probe im ersten und/oder zweiten optischen Verfahren gedreht und so in verschiedenen räumlichen Stellungen abgebildet wird.
  • Die Definition der Brechzahlverteilung kann in einem einzigen Schritt möglich sein. Rechnerisch einfacher ist es jedoch, den entsprechenden Schritt für verschiedene erste und zweite Vergleichselemente zu wiederholen. Auch ist es rechnerisch vorteilhaft, die Brechzahlverteilung iterativ zu definieren. Dazu wird ein Abstandsmaß für den Abstand der ersten von den zweiten Vergleichselemente verwendet. Daten der Brechzahlverteilung werden iterativ so variiert, daß das Abstandsmaß minimiert wird.
  • Mit den erfindungsgemäßen Verfahren kann erreicht werden, daß die ersten Vergleichselemente im korrigierten ersten Bild genau an denselben Probenorten liegen, wie die zugeordneten zweiten Vergleichselemente im zweiten Bild. Exakte Identität kann jedoch mitunter ein sehr hoher Rechenaufwand bzw. eine lange Bearbeitungsdauer erfordern. Für viele Anwendungen ist es ausreichend, wenn die Lage der Vergleichselemente sich innerhalb vorgegebener Fehlergrenzen gleicht. Eine solche Gleichheit innerhalb vorgegebener Fehlergrenzen ist im Sinne dieser Beschreibung „im wesentlichen gleich”.
  • Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein Blockschaltbild eines Verfahrens zur Abbildung der inneren Struktur einer Probe;
  • 2 und 3 Schemadarstellungen von Bildern, die bei der Durchführung des Verfahrens gemäß 1 erhalten werden.
  • 1 zeigt ein Blockschaltbild eines Verfahrens zur Abbildung der inneren Struktur einer Probe. Dabei sind einzelne Schritte des Verfahrens mit dem Großbuchstaben „S” sowie einer nachfolgenden Zahl gekennzeichnet. Das Verfahren beginnt mit einem Schritt S0. Dann wird die Probe mit zwei optischen Abbildungsverfahren abgebildet, was durch Schritte S1 und S2 veranschaulicht ist. Diese Abbildungen können in frei wählbarer Reihenfolge oder auch gleichzeitig erfolgen. Die erste optische Abbildung im Schritt S1 liefert ein erstes optisches Bild B1, die zweite optische Abbildung im Schritt S2 ein optisches Bild B2. Diese Bilder sind schematisch in den Blöcken der Schritte S1 und S2 der 1 angegeben.
  • Die Bilder B1, B2 sind dreidimensionale Abbildungen einer Probe und enthalten beispielsweise eine dreidimensionale Intensitätsverteilung, welche die Absorption oder Rückstreuung aus der Probe in der Abbildung wiedergibt. Die Struktur des Bildes B1 bzw. B2 hängt vom verwendeten optischen Verfahren ab, mit dem das Bild gewonnen wurde. Wird im Schritt S1 beispielsweise eine optische Kohärenztomographie ausgeführt, enthält das Bild B1 die Rückstreuintensität entlang dreier Raumkoordinaten. Verwendet man in Schritt S2 für die zweite optische Abbildung eine optische Projektionstomographie, so sind im Bild B2 Absorptionskoeffizienten enthalten.
  • Wesentlich für das hier beschriebene Verfahren ist, daß das erste optische Verfahren, welches in Schritt S1 zum Einsatz kommt, ein Bild B1 erzeugt, das von der Brechzahlverteilung in der Probe abhängt, wohingegen das zweite Bild B2 aus dem zweiten optischen Verfahren des Schrittes S2 keiner oder einer geringeren Brechzahlbeeinflussung unterliegt. Für das erste bzw. das zweite optische Verfahren können die eingangs im allgemeinen Beschreibungsteil erläuterten Abbildungsmethoden zum Einsatz kommen.
  • In den Schritten S3 bzw. S4 werden in den Bildern Vergleichselemente gesucht. Dabei handelt es sich um besonders markante Strukturelemente in den Bildern. Je nach Art des Bildes sind dies also z. B. stark rückstreuende oder stark absorbierende Stellen im Bild. Vorzugsweise werden für jedes Bild mehrere Vergleichselemente gesucht. Mit der Zahl der Vergleichselemente steigt die Genauigkeit der Bildgebung, allerdings auch der Rechenaufwand. Exemplarisch sind im Blockschaltbild der 1 für die Bilder B1 und B2 jeweils zwei Vergleichselemente, nämlich die Vergleichselemente V1B1 sowie V2B1 für B1 und für das Bild B2 zwei analoge Vergleichselemente V1B2 bzw. V2B2, eingezeichnet. Die Auswahl der Vergleichselemente erfolgt dabei so, daß sie paarweise ausgegangen werden kann, daß diese denselben Probenstrukturen entsprechen. Wie die Schemadarstellung der 1 schon andeutet, liegen die Vergleichselemente eines Paares in den Bildern natürlich nicht an derselben Stelle, da die Vergleichselemente im Bild B1 durch die Brechzahlbeeinflussung bei der Bildgebung an anderer Stelle liegen, als es tatsächlich in der Probe der Fall ist.
  • In den Bildern B1 und B2 liegen somit Paare an Vergleichselementen vor, die sich jeweils auf ein gemeinsames Probenstrukturelement beziehen, allerdings in den Bildern an unterschiedlichen Stellen liegen.
  • In einem Schritt S5 wird nun ein Abstandsmaß ermittelt. Dabei sind verschiedene Varianten möglich. In einer einfachen Variante wird der geometrische Abstand der Vergleichselemente eines jeden Vergleichselementenpaares ermittelt. Im Beispiel der 1 wird also ein Abstandsmaß für die Vergleichselemente V1B1 und V1B2 sowie ein zweites für die Vergleichselemente V2B1 und V2B2 bestimmt. Andere Varianten verwenden nicht ein normales geometrisches Abstandsmaß, sondern eine z. B. nichtlineare Wichtung. Auch ist es in einer aufwendigeren Variante möglich, ein globales Abstandsmaß zu bestimmen, das einen einzigen Abstandsmaßwert liefert, der alle Abstände innerhalb der Vergleichselementenpaare beinhaltet.
  • In einem Schritt S6 wird dann eine Brechzahlverteilung für das Bild B1 festgelegt. Diese Brechzahlverteilung erlaubt es, das Bild B1 unter Berücksichtigung der optischen Eigenschaften des ersten optischen Abbildungsverfahrens zu korrigieren. Die Anwendung der Brechzahlverteilung auf das Bild B1 führt also zu einer Umskalierung der Koordinatenachsen im Bild B1, was bei richtiger Wahl der Brechzahlverteilung in Folge das Bild (rück-)verzerrt und damit unter anderem auch die Vergleichselemente V1B1 und V2B2 verschiebt.
  • Die Brechzahlverteilung wird nun so gewählt, daß diese Verschiebung das zuvor bestimmte Abstandsmaß reduziert – idealerweise auf Null. Um diese Wahl zu prüfen, wird im Schritt S6 das Abstandsmaß mit dem Bild B1 nach dessen (Rück-)Verzerrung durch die gewählte Brechzahlverteilung neu berechnet, und in einem Schritt S7 ermittelt, ob das Abstandsmaß (oder die Abstandsmaße jeweils) einen Schwellwert unterschreiten.
  • Ist dies nicht der Fall (N-Verzweigung) wird vor dem Schritt S6 zurückgesprungen, da die gewählte Brechzahlverteilung noch nicht den Ansprüchen genügt.
  • Die Brechzahlverteilung wird folglich in einer Schleife aus den Schritten S6 und S7 wiederholt so lange modifiziert, bis das Abstandsmaß für die Abstände, welche in den Paaren der Vergleichselemente V1B1, V1B2 und V2B1, V2B2 vorliegen, einen zuvor festgelegten Schwellwert unterschreitet. Dann (J-Verzweigung) wird in einem Schritt S8 das derart erhaltene korrigierte Bild B1 ausgegeben. Es handelt sich um ein hinsichtlich Brechzahlverteilungseinflüsse korrigiertes hochaufgelöstes Bild, also um ein Bild, das die hohe Auflösung des ersten optischen Abbildungsverfahrens mit der Brechzahlverteilungsunempfindlichkeit des niederauflösenden zweiten Verfahrens kombiniert.
  • In einem Schritt S9 ist das Verfahren dann beendet.
  • Die 2 zeigt exemplarisch die überlagerten Bilder B1 und B2 mit den jeweiligen Vergleichselementen, wobei im Unterschied zur 1 fünf Vergleichselemente eingezeichnet sind. Wie zu sehen ist, weichen diese in ihrer Lage in den Bildern B1 und B2 voneinander ab, was durch die bereits erwähnte Brechzahlempfindlichkeit der ersten optischen Abbildung des Schrittes S1 bedingt ist.
  • 3 zeigt, wie die Vergleichsstrukturen im Bild B1, also V1B1, V2B1, V3B1 und V4B1, welche in ihrer Lage von den ihnen jeweils entsprechenden Vergleichsstrukturen des zweiten Bildes B2 abweichen, durch die gefundene Brechzahlverteilung verschoben werden. Schematisch sind entsprechende Teile P1 bis P4 eingezeichnet, um dies zu verdeutlichen. Die Anwendung der Brechzahlverteilung zur Korrektur verschiebt auch Strukturelemente, die aufgrund der reduzierten Auflösung im Bild B2 gar nicht zu erkennen sind, z. B. die exemplarisch in 2 eingezeichneten Strukturelemente S1B1 und S2B1. Auch diese werden durch die ermittelte Brechzahlverteilung in Richtung der Teile P6 bzw. P7 korrigierend verschoben.
  • Für das beschriebene Verfahren zum Erzeugen eines hochauflösenden, brechzahlverteilungsunbeeinflußten Bildes kommen folgende Modifikationen alleine oder in Kombination in Betracht:
    Das erste optische Verfahren zum Erzeugen des ersten Bildes B1 hat, wie bereits erwähnt, eine höhere Auflösung als das zweite optische Verfahren. Dies hat zur Folge, daß das erste Bild B1 Strukturen zeigt, die das zweiten Bild B2 nicht auflösen kann. Um zu verhindern, daß bei der Wahl der Vergleichselemente im ersten Bild irrtümlich ein Element gewählt wird, das im zweiten Bild mangels Auflösung nicht ausreichend identifiziert oder ausgeprägt ist, kann vor der Wahl der Vergleichselemente für das erste Bild durch eine geeignete Filterung, z. B. eine Tiefpaßfilterung oder Mittelung, die Auflösung so reduziert werden, daß sie der des zweiten Bildes entspricht. In der damit erzeugten auflösungsreduzierten Variante des ersten Bildes werden dann die Vergleichselemente gesucht. Die Auflösungsreduzierung wirkt sich natürlich auch in der Auflösung aus, mit der die Brechzahlverteilung, welche zur Korrektur des ersten Bildes verwendet wird, ermittelt wird. Dies ist jedoch ohne weitere Nachteile, da eine Erhöhung der Auflösung der Brechzahlverteilung über die Auflösung, welche das zweite Bild leistet, ohnehin technisch nicht sinnvoll ist. Die Schritte S2 bis S7 werden dann mit der auflösungsreduzierten Variante des ersten Bildes ausgeführt. Um am Ende im Schritt S8 dennoch ein hochaufgelöstes erstes Bild mit entsprechender Brechzahlverzeichnungskorrektur zu erhalten, wird die Brechzahlverteilung, die natürlich ebenfalls nur in geringerer Auflösung, d. h. der Auflösung des Bildes B2 bzw. des auflösungsreduzierten Bildes B1 vorliegt, geeignet auf die Auflösung des ersten Bildes interpoliert, bevor die Originalversion des ersten Bildes mit der Brechzahlverteilung korrigiert wird, um das Bild im Schritt S8 auszugeben.
  • Dieser Variante liegt die Annahme zugrunde, daß die Brechzahlverteilung in der Probe keine wesentlichen Strukturen hat, die im ersten Bild nicht aufgelöst werden konnten, was sich in der Praxis als vernünftig und vertretbar erwiesen hat.
  • Die anhand der 1 beschriebene Iteration kann, wie bereits im allgemeinen Teil der Beschreibung erläutert, auch alternativ oder zusätzlich dahingehend ergänzt bzw. modifiziert werden, daß die Iteration nacheinander für verschiedene Vergleichselementenpaare ausgeführt wird. Die Schritte S5 bis S7 werden also beispielsweise zuerst für ein Vergleichselementenpaar ausgeführt und dann für ein anderes. Natürlich müssen die Vergleichselementepaare nicht einzeln abgearbeitet werden, es können auch beliebige Teilmengen verwendet werden, die sich auch überschneiden können.
  • Die Zahl der Vergleichselemente kann prinzipiell frei gewählt werden. Vorzugsweise ist sie jedoch größer drei, und die Vergleichselemente sind optional zusätzlich so ausgewählt, daß sie nicht in einer Ebene liegen, also eine Basis des dreidimensionalen Raumes sein können.

Claims (7)

  1. Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe, wobei a) mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das mit einer ersten Ortsauflösung die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem ersten optischen Verfahren einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt, b) mit einem zweiten optischen Verfahren ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem zweiten optischen Verfahren keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt und wobei das zweite Bild eine zweite Ortsauflösung hat, die geringer ist, als die erste Ortsauflösung, c) bezogen auf das erste Bild erste Vergleichsstrukturen und im zweiten Bild zweite Vergleichsstrukturen ermittelt werden, wobei die ersten und zweiten Vergleichsstrukturen sich entsprechen und von jeweils gleichen Probenstrukturen stammen, d) für die Probe eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung so definiert wird, daß die Brechzahlverteilung eine Korrektur des ersten Bildes derart bewirkt, daß die ersten Vergleichsstrukturen im korrigierten ersten Bild im wesentlichen an denselben Probenorten liegen wie die zugeordneten zweiten Vergleichsstrukturen im zweiten Bild.
  2. Verfahren zur Bestimmung einer inneren Struktur einer Probe, wobei a) mit einem ersten optischen Verfahren ein erstes Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das mit einer ersten Ortsauflösung die Lage von Strukturelementen in der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem ersten optische Verfahren einer Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt, b) mit einem zweiten optischen Verfahren ein zweites Bild der inneren Struktur der Probe gewonnen wird, das die Brechzahlverteilung der Probe wiedergibt, wobei die Abbildung mit dem zweiten optischen Verfahren keiner oder einer geringeren Verzerrung durch Brechzahlvariationen in der Probe unterliegt und wobei das zweite Bild eine zweite Ortsauflösung hat, die geringer ist, als die erste Ortsauflösung, c) bezogen auf das erste Bild erste Vergleichsstrukturen und im zweiten Bild zweite Vergleichsstrukturen ermittelt werden, wobei die ersten und zweiten Vergleichsstrukturen sich entsprechen und von jeweils gleichen Probenstrukturen stammen, d) für die Probe eine auf das erste Bild bezogene Brechzahlverteilung so definiert wird, daß die Brechzahlverteilung eine Korrektur des ersten Bildes derart bewirkt, daß die ersten Vergleichsstrukturen im korrigierten ersten Bild im wesentlichen an denselben Probenorten liegen wie die zugeordneten zweiten Vergleichsstrukturen im zweiten Bild.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das erste optische Verfahren die optische Kohärenztomographie oder die Laser-Scanning-Mikroskopie und/oder das zweite optische Verfahren Röntgenstrahlcomputertomographie oder optische Projektionstomographie oder tomographische Phasenmikroskopie oder Projected Index Computed Tomography umfaßt.
  4. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei die Probe im ersten und/oder zweiten optischen Verfahren gedreht und so in verschiedenen räumlichen Stellungen abgebildet wird.
  5. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei der Schritt d) für verschiedene erste und zweite Vergleichsstrukturen wiederholt wird.
  6. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei im Schritt d) die Brechzahlverteilung iterativ definiert wird, wobei ein Abstandsmaß für den Abstand der ersten von den zweiten Vergleichsstrukturen ermittelt und zuvor vorhandene Daten der Brechzahlverteilung so modifiziert werden, daß das Abstandsmaß minimiert wird.
  7. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, wobei vor der Ermittlung der ersten und zweiten Vergleichsstrukturen das erste Bild in ein Zwischenbild umgerechnet wird, dessen Ortsauflösung auf die zweite Ortsauflösung reduziert ist, und die Vergleichsstrukturen im Zwischenbild und im zweiten Bild ermittelt werden.
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