DE102009028412A1 - Halbleiterschalter und Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterschalters - Google Patents

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Abstract

Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterschalters und Halbleiterschalter, der einen Halbleiterelement mit einem Steueranschluss und zwei, Schaltkontakte des Halbleiterschalters bildenden Lastanschlüssen, eine Temperaturmesseinrichtung zum Messen der Temperaturen des Halbleiterelements an zwei voneinander beabstandeten Messstellen sowie eine zwischen die Temperaturmesseinrichtung und dem Steueranschluss des Halbleiterelements geschaltete Steuerschaltung mit einem den Steuerkontakt des Halbleiterelements bildenden Steuereingang aufweist, wobei vorgesehen ist: Messen der Temperaturen des Halbleiterelements an zwei voneinander beabstandeten Messstellen; Bereitstellen eines die Differenz beider Temperaturen repräsentierenden Signals; Treiben eines Ansteuerstroms bestimmter Stärke in den Steueranschluss des Halbleiterelementes, wenn ein entsprechendes Signal am Steuereingang anliegt, um das Halbleiterelement zwischen seinen Lastanschlüssen leitend zu steuern; Erhöhen des Ansteuerstroms in seiner Stärke, wenn das Halbleiterelement leitend gesteuert wird und die Temperaturdifferenz einen ersten Grenzwert überschreitet.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Halbleiterschalter sowie ein Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterschalters.
  • Insbesondere in Kraftfahrzeugen, aber auch in anderen Bereichen werden zunehmend mechanische Relais durch Halbleiterschalter wie beispielsweise Transistoren jeglicher Art ersetzt. Dabei kommen vorrangig Halbleiterschalter zur Anwendung, die zudem mit einer Logik ausgestattet sind, durch die unerwünschte Betriebszustände wie beispielsweise Kurzschluss, Überlast, Übertemperatur und/oder Open-Load diagnostiziert und verhindert werden können. Eine gebräuchliche Anwendung solcher „intelligenter” elektronischer Schalter sind z. B. Module für Automobilbeleuchtungen, wobei beispielsweise Glühlampen und ähnliche Lampen eine problematische Last für elektronische Schalter darstellen.
  • Um einerseits die Verluste im leitenden Zustand der elektronischen Schalter so gering wie möglich zu halten und andererseits dabei die Fläche des Transistors nicht wesentlich ansteigen zu lassen, werden deren flächenspezifische Einschaltwiderstände minimiert. Sie liegen derzeit beispielsweise bereits bei Werten zwischen 150 mOHm·mm2 bis 75 mOHm·mm2 bei 150°. Aufgrund des PTC-Verhaltens (PTC steht für positiver Temperaturkoeffizient) der Glühlampen kommt es anfangs zu hohen Einschaltströmen, da der Glühlampenwiderstand zunächst gering ist und erst mit zunehmender Brenndauer ansteigt. Die hohen Einschaltströme bewirken in Verbindung mit den niedrigen flächenspezifischen Einschaltwiderständen hohe Verlustleistungsdichtendichten und dadurch große Temperaturhübe im Transistor.
  • Moderne elektronische Schalter haben in der Regel einen Kurzschlussschutz, der bei zu hohen Ströme ein Abschalten der Lampe bewirkt. Insbesondere bei Kurzschlusskonzepten mit Temperaturmessung, aber auch bei solchen mit Strommessung kann es während des Einschaltvorganges von Lampen in kurzer Zeit dann wieder zum Abschalten kommen bedingt durch größere Temperaturhübe infolge der großen Einschaltströme der Lampen. Der ausgeschaltete Zustand besteht so lange fort, bis der Schalter wieder ausreichend abgekühlt ist. Daraufhin erfolgt ein erneutes Einschalten mit anschließendem temperaturbedingten (oder strombedingten) Abschalten. Somit kommt es zu einem kontinuierlichen Ein- und Ausschalten der Lampe, so dass diese nicht dauerhaft eingeschaltet und damit nicht ordnungsgemäß betrieben werden kann. Infolgedessen verringern sich die maximal schaltbaren Lasten.
  • Eine bislang praktizierte Vorgehensweise, dieses so genannte „Einschalttakten” zu vermeiden, basiert darauf, dass die Schaltverlustleistung durch Erhöhen der Schaltgeschwindigkeit verringert werden kann. Dieses Konzept ist jedoch in der Praxis insbesondere im Hinblick auf die elektromagnetische Abstrahlung und die damit verbundene EMV-Problematik (EMV = elektromagnetische Verträglichkeit) nachteilig.
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht daher darin, das Einschaltverhalten von Halbleiterschaltern insbesondere bei Lasten mit hohem Einschaltstrom demgegenüber zu verbessern.
  • Diese Aufgabe wird durch einen Halbleiterschalter gemäß Anspruch 1 bzw. durch das Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterschalters gemäß Anspruch 11 gelöst. Beispielhafte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
  • Ein Halbleiterschalter gemäß einem Beispiel der Erfindung umfasst ein Halbleiterelement, das einen Steueranschluss und zwei, Schaltkontakte des Halbleiterschalters bildende Lastanschlüsse aufweist. Ferner ist eine Temperaturmesseinrichtung vorgesehen, welche die Temperatur des Halbleiterelements misst und eine die Temperatur repräsentierendes Signal bereitstellt. Schließlich ist eine Steuerschaltung zwischen die Temperaturmesseinrichtung und dem Steueranschluss des Halbleiterelements geschaltet, welche einen den Steuerkontakt des Halbleiterschalters bildenden Steuereingang aufweist und die bei einem entsprechenden Signal am Steuereingang einen Ansteuerstrom bestimmter Stärke in den Steueranschluss des Halbleiterelementes treibt, um das Halbleiterelement zwischen seinen Lastanschlüssen leitend zu steuern. Dabei ist die Steuerschaltung dazu ausgebildet, im dem Falle, dass das Halbleiterelement leitend gesteuert wird und die Temperatur einen ersten Grenzwert überschreitet, den Ansteuerstrom in seiner Stärke zu erhöhen.
  • Das Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterschalters, der einen Halbleiterelement mit einem Steueranschluss und zwei, Schaltkontakte des Halbleiterschalters bildenden Lastanschlüssen, eine Temperaturmesseinrichtung zum Messen der Temperatur des Halbleiterelements sowie eine zwischen die Temperaturmesseinrichtung und den Steueranschluss des Halbleiterelements geschaltete Steuerschaltung mit einem den Steuerkontakt des Halbleiterelements bildenden Steuereingang aufweist, sieht gemäß einem weiteren Beispiel der Erfindung die nachfolgenden Verfahrensschritte vor: Messen der Temperatur des Halbleiterelements und Bereitstellen eines die Temperatur repräsentierenden Signals; Treiben eines Ansteuerstroms bestimmter Stärke in den Steueranschluss des Halbleiterelementes, wenn ein entsprechendes Signal am Steuereingang anliegt, um das Halbleiterelement zwischen seinen Lastanschlüssen leitend zu steuern; Erhöhen des Ansteuerstroms in seiner Stärke, wenn das Halbleiterelement leitend gesteuert wird und die Temperatur einen ersten Grenzwert überschreitet.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in den folgenden Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.
  • 1 ist ein Blockschaltbild einer allgemeinen Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Halbleiterschalters,
  • 2 ist ein Diagramm, das den Verlauf des Steuerstroms nach dem Einschalten über einer gemessenen Temperaturdifferenz zeigt,
  • 3 ist ein detailliertes Schaltbild einer weiteren Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Halbleiterschalters,
  • 4 ist ein Diagramm, das Einschaltstrom, Einschaltspannung, aufgenommene Leistung und Temperaturdifferenz über der Zeit bei herkömmlichen Leistungshalbleiterschaltern zeigt,
  • 5 ist ein Diagramm entsprechend 4, jedoch für einen erfindungsgemäßen Halbleiterschalter, und
  • 6 das anfängliche Einschaltverhalten eines erfindungsgemäßen Halbleiterschalters.
  • In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente bzw. Signale mit gleicher Bedeutung.
  • Gemäß 1 umfasst ein erfindungsgemäßer Halbleiterschalter 1 ein Halbleiterelement 2, das beispielsweise wie in 1 gezeigt ein DMOS-Feldeffekttransistor sein kann, jedoch alternativ auch durch einen beliebigen Feldeffekttransistor, einen Bipolartransistor, einen Insulated-Gate-Bipolartransistor (IGBT) oder ein sonstiges steuerbares Halbleiterelement gebildet sein kann. Das Halbleiterelement 2 weist einen Steueranschluss 3 auf, der im vorliegenden Fall durch den Gate-Anschluss des DMOS-Feldeffekttransistors gebildet wird. Weiterhin hat das Halbleiterelement 2 zwei Lastanschlüsse 4 und 5, die vorliegend durch die Drain- und Source-Anschlüsse des DMOS-Feldeffekttransistors gebildet werden.
  • Das Halbleiterelement 2 weist darüber hinaus mindestens einen Strom- oder Temperatursensor auf, um einen Überlastzustand des Halbleiterelements 2 zu detektieren. Im vorliegenden Fall sind drei Sensoren vorgesehen, von denen ein Sensor 6 zur Detektion des zwischen den Lastanschlüssen 4 und 5 fließenden Stromes sowie zwei Sensoren 7 und 8 zur Erfassung der Temperatur des Halbleiterelements 2 vorgesehen sind. Die beiden Temperatursensoren 7 und 8 sind voneinander beabstandet angeordnet und zwar derart, dass der Sensor 7 nahe der aktiven Fläche des Halbleiterelements 2 und der Sensor 8 am Rande des Halbleiterelements 2, im vorliegenden Fall auf einen Leadframe 9 wie auch das Halbleiterelement 2 montiert ist. Jedoch sind andere beabstandete Anordnungen mit geeigneten ortsabhängigen Temperaturgradienten in gleicher Weise anwendbar wie zum Beispiel solche, bei denen der zweite Sensor zwar am Rand des Halbleiterelements angeordnet ist, aber in dieses mitintegriert ist (eine derartige Anordnung liegt beispielsweise den Messungen gemäß 4 bis 6 zugrunde).
  • Ein vom Stromsensor 6 erzeugtes Signal wird dabei einer Auswerteschaltung 10 zugeführt, die den gemessenen Laststrom mit einem Grenzwert vergleicht und bei Überschreiten des Grenzwertes ein zeitverzögertes Signal einer Steuerschaltung 11 zuführt. Bei Auftreten eines zu hohen Laststroms bei leitendem Halbleiterelement 2 wird sofort oder nach einer gewissen Totzeit (beispielsweise im msec-Bereich) über die mit dem Steueranschluss 3 des Halbleiterelements 2 verbundene Steuerschaltung 11 das Halbleiterelement 2 in einen weniger leitenden Zustand (Strombegrenzung) wie beim Ausführungsbeispiel nach 1 oder in den nicht-leitenden Zustand (Abschaltung) wie beim Ausführungsbeispiel nach 3 gesteuert.
  • Die beiden Temperatursensoren 7 und 8 sind mit einer Auswerteschaltung 12 verbunden, die zum einen die Differenz der anhand der Sensoren 7 und 8 gemessenen Temperaturen ermittelt und diese Temperaturdifferenz mit einem Grenzwert vergleicht. Wird dieser Grenzwert überschritten, d. h., ist im vorliegenden Fall die Temperatur am Sensor 7 um einen bestimmten Wert höher als am Sensor 8, dann signalisiert die Auswerteschaltung 12 dies der Steuerschaltung 11, welche daraufhin den in den Steueranschluss 3 fließenden Treiberstrom und damit in den Gate-Anschluss des Halbleiterelements 2 auf ein Vielfaches des normalerweise erzeugten Treiberstroms erhöht.
  • In 2 ist dargestellt, wie sich bei dem Halbleiterschalter nach 1 der Steuerstrom, d. h. der Gate-Strom Igate verhält, nachdem an einem Steuerkontakt 13 des Halbleiterschalters 1 ein Signal zum Durchschalten (Leitendschalten) auftritt, so dass eine leitende Verbindung zwischen den Lastkontakte des Halbleiterschalters 1 bildenden Lastanschlüssen 4 und 5 des Halbleiterelements 2 hergestellt wird. Wie aus 2 zu ersehen ist, beträgt der Gate-Strom Igate zunächst etwas mehr als 100 μA, was zum Durchschalten des Halbleiterelements 2 führt. Der dabei fließende Laststrom führt zu einer Erwärmung des Halbleiterelements 2, und zwar derart, dass aufgrund des zwischen den Sensoren 7 und 8 auftretenden Wärmewiderstandes der Sensor 7 schneller erwärmt wird als der Sensor 8. Damit erhöht sich die Temperaturdifferenz zwischen beiden Sensoren und bei Überschreiten des entsprechenden Grenzwertes für die Temperaturdifferenz wird dann der Gate-Strom Igate beispielsweise auf das ca. Siebenfache erhöht. Obwohl die Erhöhung beliebig sein kann, hat sich ein Wert zwischen dem Fünf- und Zehnfachen des Wertes des normalen Treiberstromes als günstig erwiesen.
  • 3 zeigt eine andere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Halbleiterschalters 1. Dabei wird wiederum wie bei dem Ausführungsbeispiel nach 1 das Halbleiterelement 2 in Verbindung mit den Sensoren 6, 7 und 8 verwendet. Dem Stromsensor 6 ist dabei ein Verstärker 16 nachgeschaltet, der das vom Stromsensor 6 erhaltene Signal verstärkt, aufbereitet und an einen Komparator 19 weiterleitet, der wiederum das aufbereitete, vom Sensor 6 stammende Signal mit einem Grenzwert 20 vergleicht. Bei Überschreiten dieses Grenzwertes 20, d. h. ab einer gewissen Laststromstärke, gibt der Komparator ein Signal ab, das im vorliegenden Fall durch einen Wechsel vom logischen Zustand „0” zum logischen Zustand „1” gebildet wird. Dieses Signal wird zum Einen direkt, jedoch invertiert einem UND-Gatter 21 und zum Anderen mittels eines Verzögerungsgliedes 22 zeitverzögert und invertiert einem UND-Gatter 23 zugeführt.
  • Das von dem Temperatursensor 7 erzeugte Signal wird durch einen Verstärker 17 aufbereitet und sowohl einem Komparator 24 als auch einem Subtrahierer 25 zugeführt. Der Komparator 24 vergleicht das Signal vom Verstärker 17 mit einem Grenzwert 26 und erzeugt bei Signalen über dem Grenzwert 26 eine logische „1”, welche invertiert sowohl an das UND-Gatter 21 als auch das UND-Gatter 23 angelegt ist. An den Subtrahierer 25 ist das mittels eines Verstärkers 18 verstärkte und aufbereitete Signal des Temperatursensors 8 angelegt, der dabei das Signal vom Sensor 8 von dem Signal des Sensors 7 subtrahiert und die Differenz sowohl einem Komparator 27 als auch einem Komparator 28 zuführt. Beide Komparatoren 27 und 28 liefern dabei eine logische „1”, sobald ein jeweils zugehöriger Grenzwert 29 bzw. 30 überschritten wird. Dabei ist der Grenzwert 30 größer als der Grenzwert 29. Der Ausgang des Komparators 27 ist direkt mit einem Eingang des UND-Gatters 23 verbunden. Der Ausgang des Komparators 28 ist sowohl an einen Eingang des UND-Gatters 21 als auch an einen Eingang des UND-Gatters 23 invertiert angelegt. Die Ausgänge der beiden UND-Gatter 21 und 23 sind über jeweils einen Treiberverstärker 31 bzw. 32 mit dem Steueranschluss des Halbleiterelementes 2 verbunden. Dabei liefert der Treiberverstärker 32 ca. den fünffachen Strom, den der Treiberverstärker 31 bereitstellt.
  • Daraus ergibt sich ein Gesamtstrom im Falle, dass beide Treiberverstärker aktiv sind, der den sechsfachen Wert des normalen, vom Treiberverstärker 31 zum Schalten üblicherweise bereitgestellten Stromes entspricht.
  • In den 4 und 5 ist das Verhalten eines herkömmlichen Halbleiterschalters (vgl. 4) einem erfindungsgemäßen Halbleiterschalter (vgl. 5) gegenübergestellt. Wie aus dem Graphen für den Laststrom Ids links unten in 4 zu ersehen ist, steigt der Strom bis 40 A an und löst damit den Überstromschutz und/oder Übertemperaturschutz aus, was dazu führt, dass der Strom wieder auf 0 zurückgeht, dort für einige Zeit verharrt und wiederum ansteigt, bis er den jeweiligen Grenzwert erreicht hat. Diesem Verhalten folgt die Spannung Vds über dem Halbleiterelement 2, indem sie beispielsweise bei knapp 18 V verharrt, solange der Halbleiterschalter ausgeschaltet ist, und geht auf einen Wert gegen null zurück, wenn der Halbleiterschalter eingeschaltet ist. Dem entspricht ein bestimmter Verlustleistungsverlauf, der rechts unten in 4 gezeigt ist. Die Leistung P nimmt dabei mit dem Einschalten (leitender Halbleiterschalter) zu, um dann nach Erreichen des einschlägigen Grenzwertes im Wesentlichen dem Verlauf des Stroms Ids entsprechend wieder abzufallen, bis sie mit dem nächsten Einschalten wieder ihren Spitzenwert erreicht undsoweiter. Dementsprechend bilden sich gemäß 4 rechts oben Differenztemperaturverläufe dT aus, die dem Abkühlen entsprechend eine flachere abfallende Flanke haben. Wie daraus zu ersehen ist, kommt es in diesem Fall nicht dazu, dass die Last (in diesem Fall eine Glühlampe) permanent eingeschaltet bleibt, wodurch nicht die volle zur Verfügung stehende Leistung durch die Last abgenommen werden kann. Es kommt demnach auch innerhalb von 20 msec nicht zum Einschalten der Last.
  • Die entsprechenden Verläufe bei einem erfindungsgemäßen Halbleiterschalter zeigt 5. Daraus ist zu ersehen, dass bei gleicher Last dieser sich bereits nach ca. 16 msec in einen stabilen dauerhaft eingeschalteten Betriebszustand befindet. Wie daraus insbesondere zu ersehen ist, werden die Abstände zwischen den Abschaltzeitpunkten hier aufgrund einer Strombegrenzung (Ids = max.) fortwährend größer, was sich auch in den Verläufen der Spannungen Vds, der Leistung p-Last und der Differenztemperatur dT entsprechend niederschlägt. Dabei kommt es nach 16 msec nach dem Einschalten zum letzten Mal zu einer Strombegrenzung (oder alternativ zu einem in dieser Figur nicht gezeigten Abschalten) und von da an zu einem stabilen Betrieb.
  • Die in den 1 und 3 gezeigten Halbleiterschalter führen dabei die nachfolgend dargestellten Verfahrensschritte durch: Es wird die Temperatur des Halbleiterelements 2 an zwei voneinander beabstandeten Messstellen gemessen. Daraus wird eine die Differenz beider Temperaturen repräsentierendes Signal generiert. Ein Ansteuerstrom bestimmter Stärke wird in den Steueranschluss des Halbleiterelementes getrieben, wenn ein entsprechendes Signal am Steuereingang der Steuerschaltung anliegt, um das Halbleiterelement zwischen seinen Lastanschlüssen leitend zu steuern. Dabei wird der Ansteuerstrom in seiner Stärke erhöht, wenn das Halbleiterelement leitend gesteuert werden soll und die Temperaturdifferenz den zugehörigen Grenzwert überschreitet.
  • In 6 ist der erste Impuls nach dem Auftreten eines Einschaltsignals am Steuerkontakt 13 im Detail dargestellt. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird bei einer Temperaturdifferenz dT = 10 K der Treiberstrom Igate_on um einen weiteren Treiberladestrom Igate_fast_on erhöht, bis der Wert der Stromlimitierung erreicht wird. Das in 5 gezeigte Verhalten entspricht im Wesentlichen dem Verhalten des in 1 gezeigten Halbleiterschalters.

Claims (20)

  1. Halbleiterschalter (1) mit einem Halbleiterelement (2), das einen Steueranschluss (3) und zwei, Schaltkontakte des Halbleiterschalters bildende Lastanschlüsse (4, 5) aufweist, einer Temperaturmesseinrichtung (12), welche die Temperatur des Halbleiterelements misst und ein die gemessene Temperatur repräsentierendes Signal bereitstellt, und einer Steuerschaltung (11), die zwischen die Temperaturmesseinrichtung (12) und den Steueranschluss (3) des Halbleiterelements geschaltet ist, die einen den Steuerkontakt des Halbleiterschalters (1) bildenden Steuereingang (13) aufweist und die bei einem entsprechenden Signal am Steuereingang (13) einen Ansteuerstrom (Igate) bestimmter Stärke in den Steueranschluss (3) des Halbleiterelementes treibt, um das Halbleiterelement (1) zwischen seinen Lastanschlüssen (4, 5) leitend zu steuern, wobei die Steuerschaltung (11) im Falle, dass das Halbleiterelement (2) leitend gesteuert wird und das die Temperatur repräsentierende Signal einen ersten Grenzwert überschreitet, den Ansteuerstrom (Igate) in seiner Stärke erhöht.
  2. Halbleiterschalter nach Anspruch 1, bei dem die Steuerschaltung (11) auch dazu ausgebildet ist, im Falle, dass das Halbleiterelement (2) leitend gesteuert ist und das die Temperatur repräsentierende Signal einen zweiten Grenzwert überschreitet, das Halbleiterelement (2) in den nicht-leitenden Zustand zu steuern, wobei der erste Grenzwert niedriger ist als der zweite Grenzwert.
  3. Halbleiterschalter nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Temperaturmesseinrichtung (12) Temperaturen des Halbleiter elements an zwei voneinander beabstandeten Messstellen (7, 8) misst und ein die Differenz (dT) beider Temperaturen repräsentierendes Signal bereitstellt.
  4. Halbleiterschalter nach Anspruch 3, bei dem das die Differenz (dT) beider Temperaturen repräsentierende Signal als das die gemessene Temperatur repräsentierendes Signal verwendet und mit dem ersten Grenzwert verglichen wird.
  5. Halbleiterschalter nach Anspruch 3, bei dem das die Differenz (dT) beider Temperaturen repräsentierende Signal zusätzlich zu dem die gemessene Temperatur repräsentierenden Signal verwendet und mit einem dritten Grenzwert verglichen wird.
  6. Halbleiterschalter nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem zudem eine mit der Steuerschaltung (11) verbundene Strommesseinrichtung (10) vorgesehen ist, die ein Signal bereitstellt, das den zwischen den Lastanschlüssen (4, 5) fließenden Laststrom repräsentiert, und die Steuerschaltung (11) auch dazu ausgebildet ist, im Falle, dass das Halbleiterelement (2) leitend gesteuert ist und der Laststrom einen vierten Grenzwert überschreitet, das Halbleiterelement (2) in einen weniger leitenden Zustand oder den nicht-leitenden Zustand steuert.
  7. Halbleiterschalter nach Anspruch 6, bei dem die Ansteuerschaltung (11) das Überschreiten des vierten Grenzwertes zeitverzögert berücksichtigt.
  8. Halbleiterschalter nach einem der Ansprüche 2 bis 7, bei dem das Halbleiterelement (2) einen aktiven Bereich und einen Randbereich hat, wobei eine Messstelle (7) der Temperaturen im oder angrenzend an den aktiven Bereich und die andere Messstelle (7) im oder angrenzend an den Randbereich angeordnet ist.
  9. Halbleiterschalter nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die Ansteuerschaltung (11) den Ansteuerstrom (Igate) auf das zwei- bis zehnfache erhöht.
  10. Halbleiterschalter nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem das Halbleiterelement (2) ein Metalloxid-Feldeffekttransistor ist.
  11. Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterschalters (2), der ein Halbleiterelement (2) mit einem Steueranschluss (3) und zwei, Schaltkontakte des Halbleiterschalters bildenden Lastanschlüssen (7, 8) aufweist, mit den Verfahrensschritten: Messen der Temperatur des Halbleiterelements (2) und Bereitstellen eines die Temperatur repräsentierenden Signals, Treiben eines Ansteuerstroms (Igate) bestimmter Stärke in den Steueranschluss (2) des Halbleiterelementes (2), wenn ein entsprechendes Signal an einem Steuereingang (13) anliegt, um das Halbleiterelement (2) zwischen seinen Lastanschlüssen (4, 5) leitend anzusteuern, und Erhöhen des Ansteuerstroms (Igate) in seiner Stärke, wenn das Halbleiterelement (2) leitend gesteuert wird und das die Temperatur repräsentierende Signal einen ersten Grenzwert überschreitet.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem im Falle, dass das Halbleiterelement (2) leitend gesteuert ist und die Temperatur einen zweiten Grenzwert überschreitet, das Halbleiterelement (2) in den nicht-leitenden Zustand gesteuert wird, wobei der erste Grenzwert niedriger ist als der zweite Grenzwert.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, bei dem Temperaturen des Halbleiterelements an zwei voneinander beabstandeten Messstellen (7, 8) gemessen werden und ein die Differenz beider Temperaturen repräsentierendes Signal bereitgestellt wird.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, bei dem das die Differenz beider Temperaturen repräsentierende Signal als das die gemessene Temperatur repräsentierendes Signal verwendet und mit dem ersten Grenzwert verglichen wird.
  15. Verfahren nach Anspruch 13, bei dem das die Differenz beider Temperaturen repräsentierende Signal zusätzlich zu dem die gemessene Temperatur repräsentierenden Signal verwendet und mit einem zweiten Grenzwert verglichen wird.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15, bei dem ein Signal bereitgestellt wird, das den zwischen den Lastanschlüssen (4, 5) fließenden Laststrom repräsentiert, und wenn das Halbleiterelement (2) leitend gesteuert ist und der Laststrom einen vierten Grenzwert überschreitet, das Halbleiterelement (2) in den nicht-leitenden Zustand gesteuert wird.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, bei dem das Überschreiten des vierten Grenzwerts zeitverzögert berücksichtigt wird.
  18. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 17, bei dem das Halbleiterelement (2) einen aktiven Bereich und einen Randbereich hat, wobei eine der Temperaturen im oder angrenzend an den aktiven Bereich und die andere Temperatur im oder angrenzend an den Randbereich gemessen wird.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 17, bei dem der Ansteuerstrom auf das zwei- bis zehnfache erhöht wird.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 19, bei dem der Halbleiterschalter (1) eine Temperaturmesseinrichtung (12) zum Messen der Temperaturen des Halbleiterelements sowie eine zwischen die Temperaturmesseinrichtung und den Steueranschluss des Halbleiterelements geschaltete Steuerschaltung (11) mit dem den Steuerkontakt des Halbleiterelements bildenden Steuereingang (13) aufweist.
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