DE102009022912A1 - Korrelative optische und Teilchenstrahl-Mikroskopie - Google Patents

Korrelative optische und Teilchenstrahl-Mikroskopie Download PDF

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Abstract

Es wird beschrieben ein System zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe (3, 17), das umfaßt: ein SPI-Mikroskop (1) zur optischen Abbildung der Probe (3), das die Probe (3) entlang einer z-Richtung abbildet und im wesentlichen senkrecht dazu beleuchtet, wobei das SPI-Mikroskop eine Probenbewegungseinrichtung (12), welche die Probe (3) so bewegt, daß verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, zur Abbildung kommen, und eine Steuereinrichtung (13) aufweist, die Koordinatendaten erfaßt, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe (3) detektierten Strukturen zugeordnet sind, eine Probenschneidevorrichtung (10, 11; 19, 20), die auf Basis der Koordinatendaten die Probe (3) schneidet, und ein Teilchenstrahlmikroskop (15) zur Teilchenstrahlmikroskopie der nach dem Abschneiden verbliebenen Probe (17).

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf das Mikroskopieren eines Objektes mit einer Kombination aus optischer Mikroskopie und Teilchenstrahlenmikroskopie.
  • Unter dem Begriff optische Mikroskopie wird im Sinne dieser Beschreibung ein Mikroskopieverfahren verstanden, das zur Abbildung den optischen Gesetzen gehorchende Strahlung, insbesondere im sichtbaren Bereich, also Licht, verwendet. Teilchenstrahlenmikroskopie im Sinne dieser Beschreibung ist dann gegeben, wenn eine Abbildung mittels einem Strahl geladener Teilchen erfolgt, beispielsweise in Form der Elektronenstrahlmikroskopie. Soweit in dieser Beschreibung von Lichtmikroskopie oder Elektronenstrahlmikroskopie die Rede ist, ist dies lediglich beispielhaft für optische Mikroskopie bzw. Teilchenstrahlmikroskopie zu verstehen.
  • Insbesondere für biologische und materialwissenschaftliche Proben ist oftmals eine Untersuchung sowohl mit optischer Mikroskopie, z. B. mit Lichtmikroskopie, und mit Teilchenstrahlenmikroskopie, z. B. Elektronenmikroskopie, wünschenswert. Im Stand der Technik verwendet man dazu aufwendige Mikroskope, die beide Mikroskopieverfahren durchführen können. Ein solches Mikroskop ist beispielsweise aus der EP 0849765 A2 oder der US 6683316 B2 bekannt. Solche Kombinationsmikroskope sind insbesondere deshalb aufwendig, weil das optische Mikroskop vollständig in die Vakuumkammer, die für die Teilchenstrahlenmikroskopie benötigt wird, eingebaut werden muß, und ein Probentisch vorgesehen werden muß, der die Probe zwischen beiden Mikroskopen im Vakuum verschiebt. Die Folge sind ein relativ großes Vakuumvolumen und zudem ein hoher Aufwand bei der Fertigung des optischen Mikroskops, das dann in vakuumtauglicher Bauweise erstellt werden muß. Verzichtet man bei der Teilchenstrahlmikroskopie auf Anordnung des Objektes im Vakuum, wie z. B. im Kombinationsmikroskop gemäß US 20080308731 A1 , leidet die Abbildungsqualität, da die Elektronen an einer Membran sowie an Luft gestreut werden.
  • Eine Alternative für die Verwendung solcher Kombinationsmikroskope ist der sequentielle Einsatz von Einzelgeräten. Dies ist beispielsweise bekannt aus der Veröffentlichung: M. S. Lucas, P. Gasser, M. Günthert, J. Mercer, A. Helenius and R. Wepf: Correlative 3D microscopy: LSM and FIB/SEM tomography used to study cellular entry of vaccinia virus, A. Aretz, B. Hermanns-Sachweh, J. Mayer (Eds.): EMC 2008, Vol. 3: Life Science, pp. 361–362, Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2008. Dort erfolgt zuerst die optische Abbildung der Probe beispielsweise mit konfokaler Laser-Scanningmikroskopie. Anschließend wird versucht, den bereits auf diese Weise optisch abgebildeten Probenbereich (auch als region of interest – ROI bezeichnet), mit einem Elektronenmikroskop aufzunehmen. Die Abbildung der meist voluminösen Probe erfolgt dabei dadurch, daß die Probe mittels eines fokussierten Ionenstrahls schichtweise abgetragen und mit dem Elektronenmikroskop abgebildet wird.
  • Die sequentielle Verwendung des konfokalen Laser-Scanning-Mikroskops und des Elektronenstrahlmikroskops hat den Nachteil, daß die Position, insbesondere die axiale Position des im jeweiligen Mikroskop untersuchten Probenbereichs nicht exakt der entsprechenden Position der Untersuchung im anderen Mikroskop zugeordnet werden kann. Die Korrelation der jeweils gewonnenen Daten ist also nur schwer möglich oder zumindest sehr stark fehlerbehaftet. Eine korrelative optische 3D-Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie ist damit nicht oder nur eingeschränkt möglich. In einem weiteren bekannten Ansatz wird eine Probe eingebettet. Die Untersuchung lebender biologischer Proben ist damit nicht mehr möglich. Dann wird, wie in K. D. Micheva and Stephen J. Smith: Array Tomography: A New Tool for Imaging the Molecular Architecture and Ultrastructure of Neural Circuits, Neuron 55, 25–36, July 5, 2007, beschrieben, die Probe mit einem Ultramikrotom in Dünnschnitte zerlegt. Geht man von einer typischen Probenabmessung von 5 bis 10 μm aus, entstehen so bei einer Schnittdicke von 100 nm ca. 50 bis 100 Schnitte, die nacheinander zuerst im Lichtmikroskop und anschließend im Elektronenmikroskop analysiert werden müssen. Die dadurch erhaltenen 2D-Bildserien werden anschließend zu einem 3D-Bilddatensatz fusioniert. Anschließend werden die 3D-Bilddatensätze aus der optischen Mikroskopie und der Teilchenstrahlmikroskopie überlagert. Der Nachteil dieses Ansatzes besteht darin, daß Serienschnitte erzeugt werden müssen, was bislang automatisiert nicht möglich ist, sondern zeitaufwendige, fehleranfällige und mühsame Handarbeit erfordert. Aufgrund dieser Handarbeit ist darüber hinaus die Zusammenfügung der 2D-Bildserien zu einem 3D-Bilddatensatz sehr aufwendig, da einzelne Schnitte zueinander verdreht sein können und auf jeden Fall zueinander verschoben sind.
  • Die einzige bisher bekannte Lösung zur Herstellung einer Korrelation der Bilddaten aus den beiden Mikroskopen verwendet eine zusätzliche Mechanik, die einen spitzen Gegenstand, z. B. eine Nadel in die Probe drückt, um so einen sich verengenden Abdruck in der Probe zu erzeugen. Zum einen muß dabei in das optische Mikroskop eine entsprechende Mechanik integriert werden, was für sich schon nachteilig ist. Zum anderen muß der Abdruck außerhalb des Bildfeldes erfolgen, um die eigentliche Probeninformation nicht zu zerstören. Damit ist aber automatisch die Übertragung der Information auf den Probenbereich fehlerhaft. Ein weiterer Nachteil besteht in dem zusätzlichen Zeitaufwand, der mit der Zuordnung des Abdruckes zur eigentlich interessierten Probenstruktur verbunden ist. Schließlich ist dieser Ansatz auf in Harz oder Plastik eingebettete Proben beschränkt.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine korrelative optische und Teilchenstrahlmikroskopie zu schaffen, mit der die Bildinformationen aus den beiden Mikroskopieverfahren optimal zueinander in Korrelation gebracht werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit einem System zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe, das umfaßt: ein SPI-Mikroskop zur optischen Abbildung der Probe, das die Probe entlang einer z-Richtung abbildet und im wesentlichen senkrecht dazu beleuchtet, wobei das SPI-Mikroskop eine Probenbewegungseinrichtung, welche die Probe so bewegt, daß verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, zur Abbildung kommen, und eine Steuereinrichtung aufweist, die Koordinatendaten erfaßt, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe detektierten Strukturen zugeordnet sind, eine Probenschneidevorrichtung, die auf Basis der Koordinatendaten die Probe schneidet, und ein Teilchenstrahlmikroskop zur Teilchenstrahlmikroskopie der nach dem Schneiden verbliebenen Probe.
  • Die Aufgabe wird weiter gelöst mit einem Verfahren zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe, das umfaßt: die Probe wird zuerst mittels SPI-Mikroskopie in optisch abgebildet, wobei die Probe entlang einer z-Richtung abgebildet und im wesentlichen senkrecht dazu beleuchtet, die Probe derart bewegt wird, daß verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, abgebildet und Koordinatendaten erfaßt werden, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe detektierten Strukturen zugeordnet sind, auf Basis der Koordinatendaten die geschnitten wird, und die nach dem Schneiden verbliebene Probe mittels Teilchenstrahlmikroskopie abgebildet wird. Erfindungsgemäß sind also mehrere Vorrichtungen vorgesehen, die zu einem System zusammengefaßt sind. Unter den Systembegriff können dabei auch noch weitere Verfahrensmerkmale im Sinne von Verwendungs- oder Benutzungsvorschriften für die Vorrichtungen verstanden werden.
  • Die Erfindung kombiniert also ein SPI-Mikroskop mit einem Teilchenstrahlmikroskop und sieht weiter eine Probenschneidevorrichtung bzw. das (Be-)Schneiden der Probe zwischen den beiden Mikroskopievorgängen bzw. bei mindestens einem der Mikroskopievorgänge vor.
  • In einer Probe, insbesondere in einer biologischen Probe, ist die Brechungszahl in der Regel nicht örtlich konstant, sondern gehorcht einer Verteilung, die mit der Probenstruktur zusammenhängt. Aufgrund dieser Verteilung kann die axiale Position nicht über die Fokuslage des optischen Mikroskops bestimmt werden, da die Variationen der Brechzahl in einer entsprechenden Variation der z-Lage des Fokus bei ansonsten gleicher optischer Anordnung resultieren. Da die Brechzahl in der Probe nicht dreidimensional erfaßt werden kann, läßt sich die Variation des Fokuspunktes nicht korrigieren. Somit ist die Lage von in der Probe zu detektierenden oder detektierten Strukturen in z-Richtung nicht hinreichend präzise angebbar.
  • Die Verwendung eines an und für sich bekannten SPI-Mikroskops, wie es beispielsweise in der WO 2004/053558 beschrieben ist, erlaubt eine exakte Bestimmung der axialen Position eines zu untersuchenden Probenbereichs. Die Abbildung der Probe mit dem SPI-Mikroskop vermeidet diese Nachteile der variierenden Brechzahl dadurch, daß die Beleuchtung der Probe quer zur Abbildungsrichtung erfolgt. Wie in der zitierten WO 2004/053558 , deren Offenbarungsgehalt hier vollumfänglich einbezogen ist, beleuchtet das SPI-Mikroskop die Probe durch ein Lichtblatt, welches die Fokusebene des quer darin abbildenden Objektivs durchdringt. Die Beleuchtung wird durch eine Optik erreicht, deren optische Achse im wesentlichen senkrecht auf der optischen Achse des Beobachtungsobjektivs steht, und die beispielsweise eine Zylinderlinse o. ä. aufweist, welche das Lichtblatt erzeugt. Das Lichtblatt ist gegenüber dem Mikroskopobjektiv, d. h. der Fokusebene fixiert, so daß die z-Koordinate der abgebildeten Probenebene hochpräzise bekannt ist – und dies völlig unabhängig von der Brechzahlvariation der Probe. Bewegt man nun die Probe längs der z-Richtung, kann man die Tiefenstruktur der Probe aufnehmen und erhält so eine dreidimensionale Abbildung. Durch eine zusätzliche Drehbewegung um eine zu den Achsen von Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlengang im wesentlichen senkrechte Achse kann eine isotrope Probenabbildung erreicht werden.
  • Die so erzeugten Bilddaten über die Probenstruktur sind, wie bereits erwähnt, hochgenau und unabhängig von der Variation der Brechzahl der Probe.
  • Nach der derart erreichten optischen Abbildung erfolgt ein Schneiden der Probe. Dies kann in einer Ausbildungsform der Erfindung dadurch erfolgen, daß in eine Probenkammer des SPI-Mikroskopes ein Mikrotom ans Probenschneidevorrichtung integriert ist. Natürlich sind auch andere Probenschneidevorrichtungen in der Probenkammer möglich. Die Integration der Probenschneidevorrichtung in die Probenkammer hat den Vorteil, daß die zuvor ermittelten Koordinaten der Probenstrukturen beim Schneiden der Probe berücksichtigt werden können. Dieses Schneiden der Probe bewirkt eine Verkleinerung der Probe auf Probenbereiche, die nachfolgend dann in der Teilchenstrahlenmikroskopie abgebildet werden. Aufgrund der in der optischen Mikroskopie zuvor ermittelten Koordinaten kann also ein bestimmter Probenbereich noch in der Probenkammer des SPI-Mikroskops definiert herausgeschnitten werden.
  • Alternativ oder zusätzlich kann das Abschneiden des Teiles der Probe auch durch Ablation im Teilchenstrahlenmikroskop erfolgen, wenn dies eine geeignete Doppelteilchenstrahlquelle aufweist, die einen entsprechenden Teilchenstrahl zur Probenablation abgibt. Dies bietet sich als alleiniges Schneiden dann an, wenn die zu untersuchende Probe bereits so klein ist, daß sie im Teilchenstrahlmikroskop untersucht werden kann, bzw. die mit Teilchenstrahlablation erreichbaren Abtragsdicken ausreichen.
  • Es wird also in einer Ausführungsform der Erfindung folgender Ablauf ausgeführt:
    • a) Aufnahme eines 3D-Bildes mittels SPI-Mikroskop (entweder durch dreidimensionale Probenverschiebung oder durch zweidimensionale Abbildung und Verschiebung der Probe in z-Richtung),
    • b) ggf. Bestimmung der Bildlage relativ zum Probenhalter,
    • c) ggf. chemische Fixierung der Probe,
    • d) Ermitteln eines interessierenden Probenbereichs aus den gewonnenen Bilddaten,
    • e) Herausschneiden des interessierenden Bereiches mittels des Mikrotoms,
    • f) Entnahme der verbleibenden bzw. durch Schneiden gewonnenen Probe,
    • g) gegebenenfalls Einbetten der Probe,
    • h) Transfer in das Teilchenstrahlmikroskop,
    • i) Übergabe der Koordinaten des interessierenden Probenbereichs an das Teilchenstrahlmikroskop,
    • j) Aufnahme eines 3D-Bildes durch Abbilden der Probe mit Teilchenstrahlmikroskopie, ggf. unter Ablation der Probe mit Teilchenstrahl.
  • Durch die Erfindung wird eine Reduktion biologischer Proben auf ein Volumen erreicht, das mit der Teilchenstrahlmikroskopie einfach abgebildet werden kann, ohne daß die Koordinaten von interessierenden Probenbereichen verloren gingen oder nicht mehr korrigiert werden könnten. Manuelle Serienschnitte sind nicht mehr erforderlich. Damit lassen sich auch lebende biologische Proben mit einer korrelativen optischen und Teilchenstrahl-Mikroskopie abbilden.
  • Insbesondere ist es natürlich möglich, die Probe im SPI-Mikroskop in mehrere Schnitte zu zerlegen und diese elektronenmikroskopisch zu untersuchen.
  • Eine isotrope Abbildung im SPI-Mikroskop kann dabei insbesondere durch eine Rotation der Probe um eine im wesentlichen senkrecht zur z-Richtung liegende Achse erreicht werden.
  • Wesentlich für die Korrelation der Bilddaten aus SPI-Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie ist, daß die Probe nach der SPI-Mikroskopie in ihrer Struktur zumindest im interessierenden Probenbereich nicht mehr geändert wird. Es findet lediglich eine Verkleinerung auf in der Teilchenstrahlmikroskopie brauchbare Abmessungen statt, ggf. mehrmals.
  • Die Korrelation der in den beiden Mikroskopen gewonnenen Bilddaten ist besonders einfach, wenn ein Datenkommunikationskanal zwischen SPI-Mikroskop und Teilchenstrahlmikroskop vorgesehen ist, über den vom SPI-Mikroskop zum Teilchenstrahlmikroskop Koordinaten von Bereichen und/oder Strukturen in der Probe bzw. ein- oder mehrdimensionale Bilder der Probe übertragen werden.
  • Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine Schemadarstellung eines SPI-Mikroskops im erfindungsgemäßen System,
  • 2 ein Teilchenstrahlmikroskop des erfindungsgemäßen Systems,
  • 3 die perspektivische Darstellung einiger Elemente des Mikroskops der 1,
  • 4 eine Schemadarstellung von Probenkammer, Probenhalterung und Mikrotom des SPI-Mikroskops der 1 in einer Ansicht längs der optischen Abbildungsachse und
  • 5 eine Darstellung der in 4 gezeigten Elemente in einer bezüglich der auf die 4 von oben erfolgenden Ansicht.
  • Nachfolgend werden Vorrichtungen beschrieben, die zu einem System zusammengefaßt sind. Die 1 und 2 zeigen schematisch zwei Vorrichtungen, die das System bilden können. In 1 ist ein SPI-Mikroskop 1 dargestellt, das eine Selective Plane Illumination verwendet (daher die Abkürzung SPI), um eine Probe abzubilden, vorzugsweise dreidimensional. Das Mikroskop 1 weist dazu eine Probenkammer 2 auf, in der eine zu untersuchende biologische Probe 3 angeordnet ist. Die Probenkammer 2 ist in perspektivischer Darstellung teilweise nochmals in 3 sowie den 4 und 5 zu sehen. In allen Figuren wurden für strukturell und/oder funktionell gleiche Elemente gleiche Bezugszeichen verwendet.
  • Wie in der WO 2004/053558 beschrieben ist, bewirkt das SPIM-Mikroskop 1 eine Probenabbildung dadurch, daß die Probe 3 mit Beleuchtungsstrahlung quer zur Abbildungsrichtung beleuchtet wird. Dazu weist das Mikroskop 1 eine Lichtquelle 4 auf, die durch ein Beleuchtungsfenster 5 in der Probenkammer 2 die Probe 3 mit in Form eines Lichtblattes 6 gebildeter Beleuchtungsstrahlung beleuchtet. Dadurch entsteht in der Probe 3 ein Lichtschnitt 7. Orthogonal dazu wird die Probe mit einer Abbildungseinrichtung 8, welche ein in die Probenkammer 2 ragendes Objektiv 9 hat, die Probe abgebildet. Die optische Achse dieser Abbildung sei nachfolgend als z-Richtung oder z-Achse bezeichnet und liegt im wesentlichen senkrecht zum Lichtblatt 6. Wesentlich für das Mikroskop 1 ist, daß der Abstand zwischen Fokus des Objektivs 9 und Lichtschnitt 7, der durch das Lichtblatt 6 erzeugt wird, räumlich fixiert ist. Es ist für das SPI-Mikroskop also immer bekannt, in welcher räumlichen Lage, d. h. z-Koordinate, ein aufgenommenes Bild liegt. Diese Zuordnung ist unabhängig von der Brechzahl in der Probe.
  • Eine dreidimensionale Aufnahme von der Probe wird erhalten, indem die Probe 2 entlang der optischen Achse des Objektivs 9 verschoben wird. Dazu ist in der Probenkammer 2 ein geeignet verstellbarer Probentisch 12 vorgesehen, der wie das gesamte Mikroskop 1 über nicht näher bezeichnete bzw. dargestellte Datenverbindungen mit einem Steuergerät 13 verbunden ist. Durch die Verschiebung der Probe 3 wandert die Beobachtungsebene, d. h. der Lichtschnitt 7 durch die Probe. Falls die Abbildungseinrichtung 8 mit dem Objektiv 9 ein zweidimensionales Bild erzeugt, genügt zur 3D-Abbildung eine Verschiebung des Lichtschnittes 7 durch Probenbewegung entlang der z-Achse, d. h. der Beobachtungsachse. Verwendet die Abbildungseinrichtung 8 hingegen eine konfokale Detektion, ist für eine dreidimensionale Abbildung noch zusätzlich eine Verschiebung der Probe 3 längs der Ebene des Lichtschnittes 7 vorzusehen. Auf zusätzlich mögliche Probenbewegungen wird später noch anhand der 3 genauer eingegangen.
  • Die Probe 3 soll nicht nur im optischen SPI-Mikroskop 1 untersucht werden, sondern auch in einem Teilchenstrahlmikroskop 15, wie es beispielsweise in 2 dargestellt ist. Hierfür ist vorgesehen, daß aus der Probe 3 ein interessierender Probenbereich 17 ab- oder herausgeschnitten wird. Damit dies bezogen auf das erzeugte dreidimensionale Probenbild bewerkstelligt werden kann, ist in der Probenkammer 2 ein Mikrotom 10 vorgesehen, das ein zum Schneiden der Probe 3 geeignetes Messer 11 aufweist. Auch dieses Mikrotom ist vom Steuergerät 13 angesteuert. Mit ihm wird z. B. durch Ansteuerung des Probentisches 12 ein bestimmter, interessierender Probenbereich aus der Probe 3 heraus- oder von dieser abgeschnitten. Bei diesem Schneiden wird Bezug auf die zuvor erzeugte (idealer Weise dreidimensionale) Probenabbildung genommen, so daß Probentisch und Mikrotom relativ in eine bestimmte Lage gebracht werden und dann durch ggf. automatische Mikrotombetätigung ein hochpräzises Herausschneiden des interessierenden Probenbereiches erfolgt.
  • Dieser Probenbereich 17 (z. B. Probenschnitt) wird dann in eine Vakuumkammer 18 des Elektronenstrahlmikroskops 15 (vgl. 2) eingebracht und dort auf einen entsprechenden Probenhalter oder Probentisch 18 gelegt. Das Elektronenstrahlmikroskop ist in dieser Ausführungsform als Doppelstrahlmikroskop ausgebildet. Es verfügt über zwei Strahlquellen, nämlich eine Ionenstrahlquelle 19, welche einen Ionenstrahl 20 auf den nun als Probe dienenden Probenbereich 17 richtet, und ein elektronenoptisches System in Form einer Elektronenstrahleinrichtung 21, die einen Elektronenstrahl 22 auf die Probe richtet, sowie einen Detektor 14 zum Nachweis von Elektronen, die von der Probe rückgestreut werden. Der Ionenstrahl 20 bewirkt aufgrund seiner hohen Energie den Abtrag von Probenmaterial, wie es der Fachmann aus dem Stand der Technik kennt. Die Anordnung wird nun dazu benutzt, durch im Wechsel stattfindende Abbildung mit dem Elektronenstrahl 22 und Abtragung mit dem Ionenstrahl 20 die Probe im Volumen abzubilden. Dabei wird die Probe 17 natürlich zerstört.
  • Aufgrund der dreidimensionalen Bildgebung im Mikroskop 1 mit insbesondere hochpräzisen Angaben über z-Koordinaten von Probenbereichen kann im System ein interessierender Probenbereich 17, beispielsweise durch das Mikrotom 10, derart isoliert werden, daß die Bilddaten aus dem Mikroskop 1 und dem Elektronenstrahlmikroskop 15 hochpräzise zueinander korreliert werden können, wodurch aus beiden Mikroskopen maximale gut zueinander zugeordnete Bildinformationen über die Probe 3 gewonnen werden. Durch die zuvor bewirkte (3D-)Bildgebung im Mikroskop 1 kennt man die Lage, welche der im Teilchenstrahlmikroskop abgebildete Probenbereich 17 in der ursprünglichen Probe 3 hatte, genau und kann so die elektronenmikroskopisch gewonnenen Bilddaten zu den optischen Bilddaten korrelieren.
  • 3 zeigt, wie bereits erwähnt, schematisch den Bereich der Probenkammer 2 des Mikroskops 1. In dieser Ausführungsform befindet sich der (nicht weiter gezeigte) Probentisch unter der Probe 3, welche sich in einem Zylinder befindet, der senkrecht zu den optischen Achsen von Beleuchtungs- und Abbildungsoptik drehbar ist. Eine dreidimensionale Aufnahme der Probe 3 wird nun dadurch erhalten, daß die Probe entlang der optischen z-Achse durch eine in 3 schematisch dargestellte z-Verschiebung verschoben wird. Zusätzlich wird die Probe ggf. nach einer solchen Verschiebung nochmals gedreht und die Abbildung wird wiederholt. Dadurch erhält man mehrere Datensätze, die geeignet zu einem isotropen und hochaufgelösten Bilddatensatz fusioniert werden.
  • Bei der Probe 3 handelt es sich hier um ein biologisches Material, das exemplarisch in ein Agarose-Gel 26 eingebettet ist. Weiter ist die Probe im der Probenkammer 2 mit Wasser umspült, was eine Anpassung an die Brechzahl der Probe erreicht und die optische Auflösung verbessert.
  • Der Vorgang des Schneidens der Probe ist in den 4 und 5 schematisch dargestellt. Die Darstellung der 4 entspricht dabei im wesentlichen einer Ansicht der 1 von unten (bezogen auf die Darstellung der 1). 5 zeigt hingegen eine Darstellung, die im wesentlichen der 1 entspricht. Die Probenkammer 2 hat einen Zugang für die Probe 3, welche in das bereits erwähnte Agarose-Gel 26 eingebettet ist. Sie befindet sich weiter in einem Zylinder 29, der beispielsweise aus einem Glasröhrchen besteht. Im Zylinder geführt kann die Probe längs der Zylinderachse verschoben werden, wodurch der Agarose-Gel-Zylinder in die bzw. aus der Probenkammer 2 transferiert werden kann.
  • Bei der hier dargestellten Ausführungsform wird eine biologische Probe 3 untersucht. Für hochauflösende Untersuchungen ist es dabei erforderlich, den Zustand der Probe zu fixieren. Dies erfolgt in der Regel durch Zugabe eines chemischen Fixiermittels. Hierfür sind im Zylinder 29 Zuleitungen 30, die beispielsweise als Kapillaren ausgebildet sein können, vorgesehen. Über sie kann das Fixiermittel zugegeben werden, und nach der Fixierung ändert sich die Probe nicht.
  • Nach der Fixierung soll die Probe 3 elektronenmikroskopisch weiter untersucht werden. Aufgrund der wesentlich höheren Auflösung eines Elektronenmikroskops und der regelmäßig geringen Abtragsrate eines Ionenstrahls, ist es bei den meisten Proben 3 vorteilhaft bzw. notwendig, nur einen interessierenden Probenbereich 17 der Probe 3 zur Elektronenmikroskopie zu bringen, also zum Elektronenmikroskop zu transferieren. Folglich muß in den meisten Fällen die Probe, gegebenenfalls nach der Fixierung, auf den interessierenden Probenbereich 17 zugeschnitten werden. Um die Bilddaten des Elektronenmikroskops mit den Bilddaten des optischen Mikroskops perfekt korrelieren zu können, muß der Zuschnitt natürlich in exakter und bekannter Position erfolgen. Dazu ist in der Probenkammer 2 ein Zugang für das bereits erwähnte Mikrotom 10 vorgesehen. Es wird vorzugsweise auf der dem Beleuchtungsfenster 5 gegenüberliegenden Seite zugeführt und umfaßt neben dem Messer 11 eine Auffangplatte 10, auf der abgeschnittene Scheiben der Probe zu liegen kommen. Für jeden Schnitt ist dabei aufgrund der vorherigen Bildgebung zumindest die z-Koordinate der Schnittgrenzen bekannt. Durch Entnahme der Auffangplatte 32 kann dann der Schnitt aus der Probenkammer 2 entnommen werden. Zum Erzeugen eines Schnittes wird dabei das Messer 11 in Richtung des Pfeiles 31 vorgeschoben.
  • Soweit vorgehend Bezug auf einen zylindrischen Probenhalter genommen wurde, kann dieser insbesondere so ausgebildet sein, daß er nicht nur im optischen Mikroskop 1 verwendet werden kann, sondern auch in das Elektronenmikroskop 15 eingesetzt werden kann.
  • Die erwähnte Fixierung der Probe ist für bestimmte Probentypen vorteilhaft. Bei anderen Probentypen hingegen ist eine direkte, zeitnahe Fixierung der Probe während er Beobachtung im Mikroskop 1 nicht erforderlich.
  • Die Abbildung der Probe mit Teilchenstrahlenmikroskopie kann natürlich besonders bevorzugt mit einem Elektronenstrahlmikroskop erfolgen. Alternativ kann jedoch auch eine Ionenquelle, z. B. mit Heliumionen arbeitend, verwendet werden. Gleiches gilt für den Abtrag des Probenbereichs 17 im Teilchenstrahlmikroskop 15. Hierfür kommen verschiedenste Ionenquellen in Frage.
  • Die optische Mikroskopie der Probe kann sowohl in Fluoreszenzmikroskopie als auch im Hellfeld-Verfahren erfolgen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - EP 0849765 A2 [0003]
    • - US 6683316 B2 [0003]
    • - US 20080308731 A1 [0003]
    • - WO 2004/053558 [0012, 0012, 0030]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - M. S. Lucas, P. Gasser, M. Günthert, J. Mercer, A. Helenius and R. Wepf: Correlative 3D microscopy: LSM and FIB/SEM tomography used to study cellular entry of vaccinia virus, A. Aretz, B. Hermanns-Sachweh, J. Mayer (Eds.): EMC 2008, Vol. 3: Life Science, pp. 361–362, Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2008 [0004]
    • - K. D. Micheva and Stephen J. Smith: Array Tomography: A New Tool for Imaging the Molecular Architecture and Ultrastructure of Neural Circuits, Neuron 55, 25–36, July 5, 2007 [0005]

Claims (11)

  1. System zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe (3, 17), das umfaßt: – ein SPI-Mikroskop (1) zur optischen Abbildung der Probe (3), das die Probe (3) entlang einer z-Richtung abbildet und im wesentlichen senkrecht dazu beleuchtet, wobei das SPI-Mikroskop eine Probenbewegungseinrichtung (12), welche die Probe (3) so bewegt, daß verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, zur Abbildung kommen, und eine Steuereinrichtung (13) aufweist, die Koordinatendaten erfaßt, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe (3) detektierten Strukturen zugeordnet sind, – eine Probenschneidevorrichtung (10, 11; 19, 20), die auf Basis der Koordinatendaten die Probe (3) beschneidet, und – ein Teilchenstrahlmikroskop (15) zur Teilchenstrahlmikroskopie der nach dem Beschneiden verbliebenen Probe (17).
  2. System nach Anspruch 1, wobei das Teilchenstrahlmikroskop (15) eine Doppelteilchenstrahlquelle aufweist (19, 21), wobei einer der Teilchenstrahlen (20) die Probe (17) abladiert und somit die Probenschneidevorrichtung verwirklicht.
  3. System nach einem der obigen Ansprüche, wobei in eine Probenkammer (2) des SPI-Mikroskops (1) ein Mikrotom (10, 11) als Probenschneidevorrichtung integriert ist.
  4. System nach einem der obigen Ansprüche, wobei das SPI-Mikroskop (1) eine Fixiereinrichtung (29, 30) zur chemischen Fixierung der Probe (3) umfaßt, wobei vorzugsweise die Fixiereinrichtung (29, 30) in eine Probenkammer (2) des SPI-Mikroskops (1) integriert ist.
  5. System nach einem der obigen Ansprüche, wobei die Probenbewegungseinrichtung (12) dazu ausgebildet ist, die Probe (3) im wesentlichen längs der z-Richtung zu verschieben und/oder die Probe um eine im wesentlichen senkrecht zur z-Richtung liegende Achse zu rotieren.
  6. System nach einem der obigen Ansprüche, wobei ein Datenkommunikationskanal zwischen SPI-Mikroskop (1) und Teilchenstrahlmikroskop (15) vorgesehen ist, über den vom SPI-Mikroskop (1) zum Teilchenstrahlmikroskop (15) Koordinaten von Bereichen in der Probe übertragen werden.
  7. Verfahren zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe (3, 17), das umfaßt: – die Probe (3) wird zuerst mittels SPI-Mikroskopie in optisch abgebildet, wobei die Probe (3) entlang einer z-Richtung abgebildet und im wesentlichen senkrecht dazu beleuchtet, die Probe (3) derart bewegt wird, daß verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, abgebildet und Koordinatendaten erfaßt werden, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe detektierten Strukturen zugeordnet sind, – auf Basis der Koordinatendaten die Probe (3) beschnitten wird, und – die nach dem Beschneiden verbliebene Probe (17) mittels Teilchenstrahlmikroskopie abgebildet wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei ein Teil von der Probe (3) mittels Teilchenstrahlablation im Teilchenstrahlmikroskop (15) abgeschnitten wird.
  9. Verfahren nach einem der obigen Verfahrensansprüche, wobei ein Teil von der Probe (3) mittel eines in das SPI-Mikroskop (1) integrieren Mikrotoms (10, 11) abgeschnitten wird.
  10. Verfahren nach einem der obigen Verfahrensansprüche, wobei die Probe nach dem Abbilden mit dem SPI-Mikroskop (1) und vor dem Beschneiden der Probe (3) chemisch fixiert wird, vorzugsweise noch in einer Probenkammer (2) des SPI-Mikroskops (1).
  11. Verfahren nach einem der obigen Verfahrensansprüche, wobei die Probe (3) im wesentlichen längs der z-Richtung verschoben und/oder um eine im wesentlichen senkrecht zur z-Richtung liegende Achse rotiert wird.
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