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Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Reinigen
einer wässrigen Kaliumhydroxidlösung, die reich
an Siliciumverunreinigungen ist, und genauer gesagt auf ein Verfahren,
welches einen kohlenstoffarmen Alkohol zum Extrahieren der wässrigen
Kaliumhydroxidlösung verwendet und die Bildung einer Schicht
mit einer wässrigen Phase und einer Schicht mit einer Phase
kohlenstoffarmen Alkohols ermöglicht, welche die wässrige
Kaliumhydroxidlösung mit verringerten Siliciumverunreinigungen
enthält.
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Beschreibung des Standes der
Technik
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Heutzutage
ist das chemisch-mechanische Polierverfahren (CMP-Verfahren) wegen
seiner umfangreichen Anwendung in dem Herstellungsverfahren von
Siliciumwafern für die Halbleiterindustrie sehr wichtig geworden.
Eine entscheidende Komponente in dem CMP-Verfahren ist die zum Fördern
des Gesamtverfahrens verwendete Kaliumhydroxidlösung, welche
zu einer verringerten Effizienz des chemischen Polierens führen
könnte, wenn sich ihre Konzentration von Siliciumverunreinigungen
durch kontinuierliche Ansammlung erhöht. Deshalb muss die
Kaliumhydroxidlösung ersetzt werden, wenn sich ihre Siliciumverunreinigungen
bis zu einer bestimmten Konzentration ansammeln. Wenn jedoch der
Verbrauch der Kaliumhydroxidlösung in die richtige Perspektive
gerückt wird, stellt die Kaliumhydroxidlösung,
welche aufgrund tatsächlicher Anwendungen verbraucht worden
ist, nur einen kleinen Anteil der gesamten Kaliumhydroxidlösung
dar, während ein Hauptanteil der Kaliumhydroxidlösung
lediglich deshalb als Abfall verworfen wird, weil die Konzentration
von Siliciumverunreinigungen übermäßig
hoch geworden ist, so dass sie die Effizienz des CMP-Verfahrens
verringert. Die von dem CMP-Verfahren herrührenden Abfälle
machen einen ziemlich hohen Anteil der Gesamtabfälle aus,
die von einer Halbleiterfabrik freigesetzt werden, und sind schwierig
zu verarbeiten. Infolgedessen ist es plausibel vorzuschlagen, dass
Kosten und Ressourcen in signifikantem Umfang eingespart werden
können durch Entfernen der Siliciumverunreinigungen aus
der Kaliumhydroxidlösung, welche andernfalls als Abfall von
dem CMP-Verfahren behandelt werden würde, wobei folglich
die Kaliumhydroxidlösung so gereinigt wird, dass sie weiter
verwendet werden kann.
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Es
gibt jedoch zur Zeit nur wenige Untersuchungen über die
Reinigung von Kaliumhydroxidabfällen und das Fehlen von
effizienten und kosteneffektiven Verfahren zum Erreichen des vorstehend
erwähnten Ziels stellt bisher die größte
Herausforderung dar. Zum Beispiel werden in dem
US-Patent Nr. 6747065 B1 Ionenaustausch-,
Ultrafiltrations- und Elektrodialyseverfahren verwendet, um eine
gereinigte Kaliumhydroxidlösung zu erhalten. Die Verfahren
sind jedoch kompliziert und verursachen bei der Durchführung
hohe Kosten.
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Nach
unablässigem Forschen haben die Erfinder der vorliegenden
Erfindung festgestellt, dass eine wässrige Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, durch die Verwendung
eines kohlenstoffarmen Alkohols (insbesondere Ethanol) in Schichten
aufgeteilt und gereinigt werden kann. Diese Feststellung steht im
Widerspruch zu dem allgemein bekannten Phänomen, dass Ethanol
und Wasser in beliebigen Anteilen ineinander gelöst werden
können, ohne sich in Schichten aufzuteilen. Nach wiederholten
Versuchen ist ein einfaches und kosteneffektives Herstellungsverfahren,
welches die vorstehend erwähnte Feststellung ausnutzt,
für tatsächliche gewerbliche Anwendungen entwickelt
worden.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Eine
primäre Aufgabe der Erfindung ist, ein Verfahren zum Reinigen
einer wässrigen Kaliumhydroxidlösung, die reich
an Siliciumverunreinigungen ist, bereitzustellen.
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Eine
weitere Aufgabe der Erfindung ist, ein Verfahren zum Extrahieren
von Kaliumhydroxid aus einer wässrigen Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, durch Verwenden eines
kohlenstoffarmen Alkohols bereitzustellen.
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Eine
weitere Aufgabe der Erfindung ist, ein Verfahren zum Verringern
einer Konzentration von Siliciumverunreinigungen in einer wässrigen
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, durch Verwenden eines kohlenstoffarmen Alkohols bereitzustellen.
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Die
Erfindung offenbart ein Verfahren zum Reinigen einer wässrigen
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, umfassend die folgenden Schritte:
das Vermischen eines
kohlenstoffarmen Alkohols als Extraktionsmittel mit einer wässrigen
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, um die wässrige Kaliumhydroxidlösung zu extrahieren,
anschließend das Ermöglichen der Bildung einer
Schicht mit einer wässrigen Phase als eine untere Schicht
und einer Schicht mit einer Phase kohlen stoffarmen Alkohols, welche
die wässrige Kaliumhydroxidlösung mit verringerten
Siliciumverunreinigungen enthält, als eine obere Schicht,
aus der resultierenden Mischung;
das Gewinnen der Schicht mit
einer Phase kohlenstoffarmen Alkohols; und
das Entfernen des
kohlenstoffarmen Alkohols aus der oberen Schicht mit einer Phase
kohlenstoffarmen Alkohols, um eine gereinigte wässrige
Kaliumhydroxidlösung zu erhalten.
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In
dem vorstehend erwähnten Verfahren zum Reinigen einer wässrigen
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, können die zum Entfernen des kohlenstoffarmen Alkohols
verwendeten Verfahren beliebige der bereits bekannten Methoden sein,
die zum Entfernen eines kohlenstoffarmen Alkohols aus einer Lösung
verwendet werden, die aus dem kohlenstoffarmen Alkohol und Wasser
gebildet ist, einschließlich: Verdampfung, Destillation,
Adsorption, Umkehrosmose unter Verwendung einer Membran, Flüssigextraktion,
superkritische Fluidextraktion und Perstraktion. Die Beispiele für
die vorstehend erwähnten Verfahren sind in dem taiwanesischen
Patent Nr.
TW-057382 beschrieben.
Die bevorzugten Verfahren von diesen sind die Verdampfung und die
Destillation.
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Der
vorstehend erwähnte kohlenstoffarme Alkohol bezieht sich
auf einen kohlenstoffhaltigen Alkohol mit einer Kohlenstoffzahl
von zwei bis vier oder eine Mischung davon, wie etwa Ethanol, n-Propanol,
Isopropanol, n-Butanol oder eine Mischung davon. Außerdem
ist der kohlenstoffarme Alkohol mehr bevorzugt Ethanol, eine Mischung
aus Ethanol und n-Propanol oder eine Mischung aus Ethanol und Isopropanol
und am meisten bevorzugt ist er Ethanol.
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Außerdem
sollte ein Vol./Gew.-Verhältnis (Volumen-Gewichts-Verhältnis
von ml zu g) zwischen dem vorstehend erwähnten Ethanol
und der wässrigen Kaliumhydroxidlösung, die reich
an Siliciumverunreinigungen ist, nicht weniger als 0,5 oder nicht
weniger als 1,0 oder sogar nicht weniger als 2,0 betragen.
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In
dem vorstehend erwähnten Verfahren zum Reinigen einer wässrigen
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, kann reines Ethanol oder eine wässrige Ethanollösung
verwendet werden, wobei die Effizienz der Extraktion um so schlechter
ist, je niedriger der Gewichtsprozentsatz von Ethanol in der wässrigen
Ethanollösung ist, die in dem Reinigungsverfahren verwendet
wird. Im Allgemeinen beträgt die Konzentration von Ethanol
vorzugsweise nicht weniger als 50 Gew.-%, mehr bevorzugt beträgt
sie 70 Gew.-%–95 Gew.-% und meisten bevorzugt beträgt
sie 95 Gew.-%.
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Ausführliche Beschreibung
von bevorzugten Ausführungsformen
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Die
vorstehend erwähnten Aufgaben der vorliegenden Erfindung
sind klarer verständlich, wenn sie in Verbindung mit den
beigefügten Ausführungsformen betrachtet werden.
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Beispiele 1–7:
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19,9
g (Beispiel 1), 29,4 g (Beispiel 2), 35,4 g (Beispiel 3), 39,6 g
(Beispiel 4), 60,4 g (Beispiel 5), 79,2 g (Beispiel 6) bzw. 100
g (Beispiel 7) einer 95 gew.-%igen wässrigen Ethanollösung
wurden in 50 g einer wässrigen Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, gegeben und gründlich
vermischt. Mit anderen Worten beträgt das Vol./Gew.-Verhältnis
(ml/g) zwischen dem Ethanol und der wässrigen Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, 0,5, 0,75, 0,9, 1,0,
1,5, 2,0 bzw. 2,5; wie in Tabelle 1 gezeigt ist. Die vorstehend
erwähnte wässrige Kaliumhydroxidlösung
weist eine Konzentration von Siliciumverunreinigungen von 2040 ppm
sowie eine Konzentration von Kaliumhydroxid von 52,24 Gew.-% auf.
Nach gründlichem Vermischen der Ethanollösung
und der wässrigen Kaliumhydroxidlösung, die reich
an Siliciumverunreinigungen ist, wurde die resultierende Mischung
ohne Rühren bei Raumtemperatur stehen gelassen, so dass
sich eine obere Schicht und eine untere Schicht bildeten. Die obere
Schicht ist eine Schicht mit einer Ethanolphase, welche die wässrige
Kaliumhydroxidlösung mit verringerten Siliciumverunreinigungen
enthält, während die untere Schicht eine Schicht
mit einer wässrigen Phase ist. Anschließend wurde
die obere Schicht mit der Ethanolphase aus der geschichteten Mischung
gewonnen und Ethanol wurde durch Destillation daraus entfernt, um
eine wässrige Kaliumhydroxidlösung mit verringerten
Siliciumverunreinigungen zu erhalten. Die Konzentrationen von Kaliumhydroxid
und Siliciumverunreinigungen in der Kaliumhydroxidlösung
nach dem Entfernen von Ethanol sind jeweils in nachstehender Tabelle
1 aufgeführt. Tabelle 1: Eine wässrige Kaliumhydroxidlösung
von 50 g, 52,24 Gew.-%, die eine Siliciumkonzentration von 2040
ppm aufweist, hat nach einer Reinigung unter Verwendung einer Ethanollösung
die aufgeführte Siliciumkonzentration.
| Bsp. | Ethanol/KOH-Lösung-(Vol./Gew.) | Ethanol-Extraktionslösung (g) | Die obere
Schicht (nach dem Entfernen von Ethanol) | Wässrige
KOH-Lösung mit einer auf 45 Gew.-% eingestellten Konzentration |
| Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) | Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) |
| 1 | 0,5 | 19,9 | 11,7 | 70,0 | 297 | 18,2 | 45 | 191 |
| 2 | 0,75 | 29,4 | 20,8 | 58,3 | 357 | 26,6 | 45 | 276 |
| 3 | 0,9 | 35,4 | 23,4 | 60,7 | 379 | 31,6 | 45 | 281 |
| 4 | 1,0 | 39,6 | 25,0 | 64,0 | 535 | 35,6 | 45 | 376 |
| 5 | 1,5 | 60,4 | 37,2 | 55,4 | 701 | 45,8 | 45 | 569 |
| 6 | 2,0 | 79,2 | 44,2 | 54,8 | 879 | 53,8 | 45 | 723 |
| 7 | 2,5 | 100,0 | 46,6 | 54,2 | 890 | 56,1 | 45 | 739 |
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Die
Ergebnisse von den Beispielen 1–7 zeigen, dass nach der
Reinigung die Konzentration von Siliciumverunreinigungen in der
wässrigen Kaliumhydroxidlösung signifikant verringert
ist. Außerdem erhöht sich das Volumen der gereinigten
wässrigen Kaliumhydroxidlösung, wenn sich das
Volumen der Ethanol-Extraktionslösung erhöht.
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Beispiele 8–13:
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20,4
g (Beispiel 8), 30,0 g (Beispiel 9), 40,2 g (Beispiel 10), 60,6
g (Beispiel 11), 79,8 g (Beispiel 12) bzw. 84,8 g (Beispiel 13)
einer 95 gew.-%igen wässrigen Ethanollösung wurden
in 50 g einer wässrigen Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, gegeben und gründlich
vermischt. Mit anderen Worten beträgt das Vol./Gew.-Verhältnis
(ml/g) zwischen dem Ethanol und der wässrigen Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, 0,5, 0,75, 1,0, 1,5,
2,0 bzw. 2,5, wie in Tabelle 2 gezeigt ist. Die vorstehend erwähnte
wässrige Kaliumhydroxidlösung weist eine Konzentration
von Siliciumverunreinigungen von 1,85 Gew.-% sowie eine Konzentration
von Kaliumhydroxid von 39 Gew.-% auf. Nach dem gründlichen Zusammenmischen
der Ethanollösung und der wässrigen Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, wurde die resultierende
Mischung ohne Rühren bei Raumtemperatur stehen gelassen,
so dass sich eine obere Schicht und eine untere Schicht bildeten.
Die obere Schicht ist eine Schicht mit einer Ethanolphase, welche
die wässrige Kaliumhydroxidlösung mit verringerten
Siliciumverunreinigungen einschließt, während
die untere Schicht eine Schicht mit einer wässrigen Phase
ist. Anschließend wurde die obere Schicht mit der Ethanolphase
aus der geschichte ten Mischung gewonnen und Ethanol wurde durch
Destillation daraus entfernt, um eine wässrige Kaliumhydroxidlösung
mit verringerten Siliciumverunreinigungen zu erhalten. Die Konzentration
von Kaliumhydroxid und Siliciumverunreinigungen in der Kaliumhydroxidlösung
nach dem Entfernen von Ethanol sind jeweils in nachstehender Tabelle
2 aufgeführt. Tabelle 2: Eine wässrige Kaliumhydroxidlösung
von 50 g, 39 Gew.-%, die eine Siliciumkonzentration von 1,85 Gew.-%
aufweist, hat nach einer Reinigung unter Verwendung einer Ethanollösung
die aufgeführte Siliciumkonzentration.
| Bsp. | Ethanol/KOH-Lösung (Vol./Gew.) | Ethanol-Extraktionslösung (g) | Die obere
Schicht (nach dem Entfernen von Ethanol) | Wässrige
KOH-Lösung mit einer auf 45 Gew.-% eingestellten Konzentration |
| Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) | Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) |
| 8 | 0,5 | 20,4 | 12 | 38,3 | 3020 | 10,2 | 45 | 3553 |
| 9 | 0,75 | 30,0 | 16,8 | 35,9 | 3184 | 13,4 | 45 | 3992 |
| 10 | 1,0 | 40,2 | 21,8 | 35,2 | 2234 | 17,1 | 45 | 2848 |
| 11 | 1,5 | 60,6 | 29,2 | 32,5 | 2269 | 21,1 | 45 | 3140 |
| 12 | 2,0 | 79,8 | 33,4 | 29,5 | 2016 | 21,9 | 45 | 3075 |
| 13 | 2,5 | 84,8 | 35 | 25,0 | 1734 | 19,4 | 45 | 3128 |
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Das
Ergebnis für die Beispiele 8–13 zeigt, dass die
Konzentration von Siliciumverunreinigungen in der wässrigen
Kaliumhydroxidlösung signifikant verringert ist, nachdem
sie unter Verwendung von Ethanol gereinigt wurde. Wenn das Volumen
des für die Extraktion verwendeten Ethanols erhöht
wird, erhöht sich auch das Volumen der gereinigten wässrigen
Kaliumhydroxidlösung. Außerdem beträgt
das Vol./Gew.-Verhältnis zwischen dem Ethanol und der wässrigen
Kaliumhydroxidlösung vorzugsweise nicht weniger als 0,5,
wobei das Vol./Gew.-Verhältnis zwischen dem Ethanol und
der wässrigen Kaliumhydroxidlösung mehr bevorzugt
nicht weniger als 1,0 beträgt.
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Außerdem
würde die Effizienz der Extraktion reduziert, wenn das
Vol./Gew.-Verhältnis zwischen dem Ethanol und der wässrigen
Kaliumhydroxidlösung auf Werte zwischen 0,3 und 0,5 verringert
wäre. Je geringer das Vol./Gew.-Verhältnis ist,
desto schlechter ist die Effizienz der Extraktion.
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Wenn
die wässrige Ethanollösung, die in die wässrige
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, hineingemischt wird, einen Gewichtsprozentsatz von weniger
als 50 Gew.-% aufweist, kann außerdem die wässrige
Kaliumhydroxidlösung nicht wirksam in zwei verschiedene
Schichten aufgeteilt werden, was verhindert, dass die Extraktion
der gereinigten wässrigen Kaliumhydroxidlösung
erfolgreich stattfindet. Deshalb beträgt die Konzentration
der wässrigen Ethanollösung, die für
die Extraktion verwendet wird, vorzugsweise nicht weniger als 50
Gew.-%.
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Beispiele 14–17:
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78
g einer gemischten Lösung aus 95 Gew.-% Ethanol und 5 Gew.-%
Isopropanol (IPA, Beispiel 14) oder 78 g einer gemischten Lösung
aus 90 Gew.-% Ethanol und 10 Gew.-% Isopropanol (Beispiel 15) oder
78 g einer gemischten Lösung aus 85 Gew.-% Ethanol und
15 Gew.-% Isopropanol (Beispiel 16) oder 78 g einer gemischten Lösung
aus 80 Gew.-% Ethanol und 20 Gew.-% Isopropanol (Beispiel 17), als
eine Extraktionslösung aus kohlenstoffarmen Alkoholen,
wurden in 50 g einer wässrigen Kaliumhydroxidlösung,
die reich an Siliciumverunreinigungen ist, gegeben und gründlich
vermischt. Die vorstehend erwähnte Kaliumhydroxidlösung weist
eine Konzentration von Siliciumverunreinigungen von 1,85 Gew.-%
sowie eine Konzentration von Kaliumhydroxid von 39 Gew.-% auf. Nach
gründlichem Vermischen der Extraktionslösung mit
der wässrigen Kaliumhydroxidlösung, die reich
an Siliciumverunreinigungen ist, wurde die resultierende Mischung
ohne Rühren bei Raumtemperatur stehen gelassen, so dass
sich eine obere Schicht und eine untere Schicht bildeten. Die obere
Schicht ist eine Schicht mit einer Phase kohlenstoffarmen Alkohols,
welche die wässrige Kaliumhydroxidlösung mit verringerten
Siliciumverunreinigungen einschließt, während
die untere Schicht eine Schicht mit einer wässrigen Phase
ist. Die obere Schicht wurde aus der Schichtmischung gewonnen und
die kohlenstoffarmen Alkohole wurden durch Destillation daraus entfernt,
um eine wässrige Kaliumhydroxidlösung mit verringerten
Siliciumverunreinigungen zu erhalten. Die Konzentrationen von Kaliumhydroxid
und Siliciumverunreinigungen in der Kaliumhydroxidlösung
nach dem Entfernen der kohlenstoffarmen Alkohole sind jeweils in
nachstehender Tabelle 3 aufgeführt. Tabelle 3: Eine wässrige Kaliumhydroxidlösung
von 50 g, 39 Gew.-%, die eine Siliciumkonzentration von 1,85 Gew.-%
aufweist, hat nach einer Reinigung unter Verwendung eines Lösungsmittelgemisches
aus Ethanol und Isopropanol die aufgeführte Siliciumkonzentration.
| Bsp. | Extraktionslösung
78 g | Die obere
Schicht (nach dem Entfernen der Alkohole) | Wässrige
KOH-Lösung mit einer auf 45 Gew.-% eingestellten Konzentration |
| Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) | Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) |
| 14 | 95
Gew.-% Ethanol + 5 Gew.-% IPA | 31,4 | 44,2 | 1638 | 30,8 | 45 | 1609 |
| 15 | 90
Gew.-% Ethanol + 10 Gew.-% IPA | 26,8 | 47,7 | 1822 | 28,4 | 45 | 1931 |
| 16 | 85
Gew.-% Ethanol + 15 Gew.-% IPA | 26,6 | 48,8 | 1738 | 28,8 | 45 | 1884 |
| 17 | 80
Gew.-% Ethanol + 20 Gew.-% IPA | 26,2 | 48,5 | 1690 | 28,2 | 45 | 1821 |
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Die
Ergebnisse der Beispiele 14–17 zeigen, dass die Konzentration
von Siliciumverunreinigungen in der wässrigen Kaliumhydroxidlösung
signifikant verringert ist, nachdem sie unter Verwendung einer gemischten
Lösung aus Ethanol und Isopropanol gereinigt wurde.
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Beispiele 18–21:
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100
g von 95 Gew.-% Ethanol mit 5 Gew.-% n-Propanol (Beispiel 18) oder
90 Gew.-% Ethanol mit 10 Gew.-% n-Propanol (Beispiel 19) oder 85
Gew.-% Ethanol mit 15 Gew.-% n-Propanol (Beispiel 20) oder 80 Gew.-%
Ethanol mit 20 Gew.-% n-Propanol (Beispiel 21), als eine Extraktionslösung
aus kohlenstoffarmen Alkoholen, wurden in 50 g einer wässrigen
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, gegeben und gründlich vermischt. Die vorstehend erwähnte
wässrige Kaliumhydroxidlösung weist eine Konzentration
von Siliciumverunreinigungen von 1,85 Gew.-% sowie eine Konzentration
von Kaliumhydroxidlösung von 39 Gew.-% auf. Nach gründlichem
Vermischen der Extraktionslösung mit der wässrigen
Kaliumhydroxidlösung, die reich an Siliciumverunreinigungen
ist, wurde die resultierende Mischung ohne Rühren bei Raumtemperatur
stehen gelassen, so dass sich eine obere Schicht und eine untere
Schicht bildeten. Die obere Schicht ist eine Schicht mit einer Phase
kohlenstoffarmen Alkohols, welche die wässrige Kaliumhydroxidlösung
mit verringerten Siliciumverunreinigungen einschließt,
wogegen die untere Schicht eine Schicht mit einer wässrigen
Phase ist. Die obere Schicht wurde aus der geschichteten Mischung
gewonnen und die Alkohole wurden durch Destillation daraus entfernt,
um eine wässrige Kaliumhydroxidlösung mit verringerten
Siliciumverunreinigungen zu erhalten. Die Konzentrationen von Kaliumhydroxid
und Siliciumverunreinigungen in der Kaliumhydroxidlösung
nach dem Entfernen der Alkohole sind in nachstehender Tabelle 4
aufgeführt. Tabelle 4: Eine wässrige Kaliumhydroxidlösung
von 50 g, 39 Gew.-%, die eine Siliciumkonzentration von 1,85 Gew.-%
aufweist, hat nach einer Reinigung unter Verwendung eines Lösungsmittelgemisches
aus Ethanol und n-Propanol die aufgeführte Siliciumkonzentration.
| Bsp. | Extraktionslösung
100 g | Die obere
Schicht (nach dem Entfernen der Alkohole) | Wässrige
KOH-Lösung mit einer auf 45 Gew.-% eingestellten Konzentration |
| Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) | Gewicht (g) | KOH-Konz. (Gew.-%) | Si-Konz. (ppm) |
| 18 | 95
Gew.-% Ethanol + 5 Gew.-% n-Propanol | 34,2 | 46,7 | 3053 | 35,5 | 45 | 2941 |
| 19 | 90
Gew.-% Ethanol + 10 Gew.-% n-Propanol | 32,6 | 45,1 | 2758 | 32,7 | 45 | 2750 |
| 20 | 85
Gew.-% Ethanol + 15 Gew.-% n-Propanol | 31,6 | 44,6 | 2345 | 31,3 | 45 | 2367 |
| 21 | 80
Gew.-% Ethanol + 20 Gew.-% n-Propanol | 30,8 | 45,4 | 2060 | 31,1 | 45 | 2040 |
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Das
Ergebnis von den Beispielen 18–21 zeigt, dass im Vergleich
mit der unbehandelten wässrigen Kaliumhydroxidlösung
die unter Verwendung einer gemischten Lösung aus Ethanol
und n-Propanol gereinigte wässrige Kaliumhydroxidlösung
eine signifikant niedrigere Konzentration von Siliciumverunreinigungen
aufweist. Außerdem erhöht sich die Konzentration
von gereinigtem Kaliumhydroxid leicht, wenn der Anteil von Ethanol
erhöht wird.
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Wenngleich
verschiedene Ausführungsformen der Erfindung für
Zwecke der Veranschaulichung ausführlich beschrieben worden
sind, ist dem Fachmann klar, dass zahlreiche Abwandlungen an den
offenbarten Ausführungsformen möglich sind, ohne über
den Umfang der Erfindung, wie in den Ansprüchen offenbart,
hinauszugehen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 6747065
B1 [0003]
- - TW 057382 [0009]