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Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung des Mikrowellen-Oberflächenwiderstands einer leitenden dünnen Schicht, die auf einem Substrat aufgebracht ist. Dabei wird der Mikrowellen-Oberflächenwiderstand ortsauflösend, leistungsabhängig und zerstörungsfrei mit Hilfe einer Messkammer und eines in der Messkammer eingebrachten dielektrischen Resonators ermittelt.
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Ein dielektrischer Mikrowellen-Resonator bildet ein elektrisch unabhängiges System. Hervorgerufen durch seine physikalische Struktur entstehen, wegen Reflexionen der eingespeisten elektrischen Signale an den Begrenzungsflächen und der daraus resultierenden vielfachen Überlagerung, stehende Wellen im Inneren.
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Die empfindliche Messung der äußerst geringen Oberflächenwiderstände von sehr guten Leitern, wie Silber, Gold oder Kupfer, sind mittels resonanter Methoden möglich, da sie dort auf die Resonatorcharakteristik am meisten Einfluss nehmen. Als Haupteigenschaften sind dabei zu nennen, die Lage der Resonanzfrequenzen der einzelnen ausbreitungsfähigen Feldmoden und die dort erzielbaren Güten/Bandbreiten bzw. im Resonator auftretenden Verluste, sowie die in ihm gespeicherte elektromagnetische Feldenergie. Bestimmt werden diese durch die Geometrie und die im Resonator verwendeten Materialien sowie die mit dem Resonator in Kontakt stehenden Flächen.
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In der JP 2003-2 27 855 A wird ein Messverfahren zur Bestimmung eines Oberflächenwiderstandes eines Leiters beschrieben. Ein Messobjekt mit einem zu bestimmenden Oberflächenwiderstand wird in einen Substrathalter so eingebracht, dass es parallel zu einer Referenzoberfläche mit bekanntem Oberflächenwiderstand angeordnet ist. Auf der Referenzoberfläche ist ein dielektrischer Resonator angebracht. Zur Einkopplung eines Anregungssignals ist eine Antenne radial in die Messkammer eingeschoben. An der gegenüberliegenden Seite der Messkammer ist eine zweite Antenne zur Auskopplung des Messsignals eingeschoben.
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Das Dokument ONG, C. K. et al.: „Mirror-image calibrator for resonant perturbation method in surface resistance measurements of high Tc superconducting thin films.", Review of scientific instruments, Vol. 70, Nr. 7, Juli 1999, S. 3092-3096, zeigt einen „Spiegelbild“-Kalibrator für die Oberflächenwiderstandmessung in dünnen Hochtemperatur-Supraleiter-Folien mit der Resonanz-Störungs-Methode. Zum Kalibrieren der Messkammer wird ein Kalibrator gezeigt, der mit Ausnahme der Koppelschleifen baugleich zur Messkammer ausgeführt ist. Während des Kalibriervorgangs ist der Kalibrator spiegelsymmetrisch auf die Anlagefläche die Messkammer aufgelegt.
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Die
DE 692 31 000 T2 offenbart verschiedene Ausführungen von supraleitenden dielektrischen Hochtemperatur-Resonatoren. Wie aus den Zeichnungen zu erkennen ist, ist bei sämtlichen Ausführungsformen der Resonatoren kein Abstand zwischen einer supraleitenden Schicht auf einem Substrat und einem dielektrischen Resonator vorgesehen. Die Substrate werden mit einer Federkraft direkt gegen den dielektrischen Resonator vorgespannt.
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Anordnungen zur Bestimmung des Oberflächenwiderstands mittels eines dielektrischen Resonators, der in eine metallische Messkammer eingebracht ist und mit Mikrowellenstrahlung angeregt wird, sind bereits zur Messung von supraleitenden dünnen Schichten bekannt.
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So beschreibt die
WO 2007/037626 A1 ein Verfahren zur Dickenmessung von supraleitenden dünnen Schichten, in dem als ein Verfahrensschritt der Mikrowellen-Oberflächenwiderstand bestimmt wird. Die zu messende dünne Schicht, die auf ein Substrat aufgebracht ist, liegt dabei auf der Stirnfläche eines Kupferbehälters und eines dielektrischen Resonators, der sich in dem Kupferbehälter befindet, auf. Der dielektrische Resonator steht mit seiner der Stirnfläche gegenüberliegenden Sohlenfläche auf einer mit der zu messenden Schicht identischen dünnen Schicht. Dabei wird davon ausgegangen, dass zwar die einzelnen zu untersuchenden Materialien einen unterschiedlichen Mikrowellen-Oberflächenwiderstand haben, der aber innerhalb einer Probenoberfläche der Oberflächenwiderstand nicht aufgrund von Verunreinigungen oder anderen Störstellen schwankt, sondern durch eine unterschiedliche Schichtdicke verursacht wird. Zur Kalibrierung der Messanordung werden die Verluste im dielektrischen Resonator, dem Kupferbehälter sowie den Referenzproben separat in anderen Messanordnungen ermittelt.
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Soll der Oberflächenwiderstand einer dünnen Schicht ortsaufgelöst bestimmt werden, eignet sich die in der
WO 2007/037626 A1 beschriebene Messmethode nicht. Außerdem ergeben sich durch die Kalibrierung an einer von der tatsächlichen Messanordnung abweichenden Messumgebung Messungenauigkeiten, die die Widerstands- und Ortauflösung verringern.
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Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur empfindlichen, ortsaufgelösten und zerstörungsfreien Bestimmung des Oberflächenwiderstandes von großen ebenen Proben zu schaffen. Dabei sollen alle störenden Einflüsse durch eine Kalibrierung der Messsonde, entsprechend ihrem Einsatz der späteren Messanordnung, erfasst werden.
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Die Aufgabe wird durch das erfindungsgemäße Verfahren gemäß Anspruch 1 und die erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß Anspruch 8 gelöst. Die abhängigen Ansprüche beinhalten vorteilhafte Weiterbildungen.
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Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Bestimmung des Mikrowellen-Oberflächenwiderstands wird eine leitende dünnen Schicht, die auf ein Substrat aufgebracht ist, mit Hilfe einer Messsonde mit einer Messkammer und einem in die Messkammer eingebrachten dielektrischen Resonator, auf einer Anlagefläche einer Wandung der Messkammer flächig aufgelegt. Zur Kalibrierung der Messsonde wird eine der Messkammer baugleiche Kalibriermesskammer mit dielektrischem Kalibrier-Resonator spiegelsymmetrisch auf die Anlagefläche der Messkammer aufgelegt und vermessen.
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Dadurch kann in vorteilhafter Weise die unbelastete Güte der tatsächlichen Messsonde auf einfache Weise ermittelt werden, da sich sowohl die Verluste in der Messkammer und im dielektrischen Resonator als auch die gespeicherte Energie verdoppeln und somit den gleichen Wert wie eine einzelne Messkammer annehmen. Nicht exakt bestimmbare Abstrahlungsverluste durch eine Messung an einer offenen Messsonde werden vermieden. Da bei dem erfindungsgemäßen Verfahren bzw. bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung keine Referenzprobe bei der Bestimmung des Mikrowellen-Oberflächenwiderstands notwendig ist, ist somit die Messsonde komplett kalibriert und kann für eine Vielzahl von Messungen ohne Nachkalibrierung verwendet werden.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bestimmung des Mikrowellen-Oberflächenwiderstands einer dünnen Schicht, die auf ein Substrat aufgebracht ist, umfasst eine Messsonde, die eine Messkammer, einen in die Messkammer eingebrachten dielektrischen Resonator sowie Antennenelemente zur Ein- und Auskopplung der Mikrowellen-Strahlung aufweist, wobei die Antennenelemente besonders vorteilhaft in Richtung auf den dielektrischen Resonator in der Messkammer verschiebbar sind. Die zu messende dünne Schicht liegt zur Messung auf einer Anlagefläche einer Wandung der Messkammer auf.
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Da sich die Magnetfeldstärke in Richtung auf den dielektrischen Resonator verändert, kann abhängig von der Eindringtiefe der Antennenelemente in die Messkammer bzw. Annäherung an den Resonator die Stärke der elektromagnetischen Ankopplung verändert werden. Das Antennenelement wird vorteilhafterweise in eine Zone schwacher Kopplung gebracht. Dies vereinfacht die Messung erheblich, da nur noch der Transmissionsfaktor bei der Resonanzfrequenz gemessen und der Einfluss der stark toleranzbehafteten Reflexionsmessung minimiert wird. Des weiteren können durch leistungsabhängige Messungen der Betrag und die Phase der Streuparameter der eingekoppelten Feldes gemessen werden und daraus die Lage von Störstellen exakter bestimmt werden.
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In den Unteransprüchen sind vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens und der erfinderischen Vorrichtung dargestellt.
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Besonders vorteilhaft ist das Messverfahren, wenn die zu messende dünne Schicht in einem geringen Abstand von der Stirnfläche des dielektrischen Resonators angeordnet ist. Dies verhindert ein Verletzen, wie z.B. Verkratzen der zu messenden dünnen Schicht und hat keine messbare Auswirkung auf die Messgenauigkeit.
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Zur weiteren Kalibrierung der Messsonde wird bevorzugt ein Substrat mit einer idealen Metallschicht, insbesondere Silberschicht, auf die Messsonde aufgelegt und vermessen. Der theoretische Oberflächenwiderstandswert einer idealen Silberschicht kann berechnet werden, sodass aus den Messergebnissen in einfacher Weise der Geometriefaktor der Messsonde ermittelt werden kann.
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Vorteilhafterweise wird die Mikrowellen-Strahlung über Antennenelemente eingekoppelt, die in Richtung auf den dielektrischen Resonator verschiebbar sind. Durch Verschieben der Schleifenantenne senkrecht zum dieelektrischen Resonator kann die Stärke der Ankopplung während der Messung verändert werden. Mit zunehmendem Abstand der Schleifenantenne zum Resonator erreicht man eine schwache Kopplung mit vernachlässigbaren Koppelfaktoren κi << 1. Die fehlerbehaftete Bestimmung der Koppelfaktoren aus der Reflexionsmessung kann entfallen. Es reicht die Erfassung der Transmissionskoeffizienten.
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Das Substrat mit der zu messenden dünnen Schicht wird in vorteilhafter Weise mit einer Anlagekraft beaufschlagt, um eine überall bündige dichte Auflage auf der Anlagefläche der Messkammer zu gewährleisten. Somit werden Abstrahlungsverluste durch eine undichte Anlage zwischen der zu messenden dünnen Schicht und der Wandung der Messkammer verhindert. Parasitäre Verluste werden minimiert und die gemessenen Verluste können eindeutig der Probe zugeordnet werden, sodass eine hohe Messgenauigkeit und Reproduzierbarkeit der Messungen erreicht wird.
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Die Antennenelemente sind zur induktiven Kopplung der Mikrowellen-Strahlung bevorzugt als Schleifenleiter ausgebildet. Dabei sind die Koppelschleifen im Bereich großer magnetischer Feldstärke angeordnet. Dadurch kann ein hoher magnetischer Fluss durch die Schleife im Resonator angeregt werden, was wiederum zu einer hohen Kopplung und niedriger Reflexion führt. Außerhalb der Resonanzfrequenz verhält sich der Schleifenleiter wie ein Kurzschluss, führt daher zu einer hohen Reflexion und verhindert somit eine Einspeisung von Energie in die Messkammer.
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Vorteilhaft ist ebenfalls den dielektrischen Resonator in der Mitte der Messkammer durch Verkleben mit einem dielektrischen Kleber zu befestigen. Beim Fixieren durch ein zusätzliches Bauteil, wie z.B. eine Ringscheibe, verschlechtert sich die Empfindlichkeit der Messsonde durch die zusätzliche Verlustleistung in der Ringscheibe. Des Weiteren ist der dielektrische Resonator bei einer Befestigung an der stabilen Messkammer besser gegen Vibrationen und Stöße geschützt.
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Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels und mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
- 1 eine erfindungsgemäße Messsonde in perspektivischer Schrägansicht;
- 2 eine erfindungsgemäße Messsonde mit aufgelegtem Substrat in Seitenansicht;
- 3 ein in der erfindungsgemäßen Messsonde verwendetes Antennenelement in perspektivischer Schrägansicht;
- 4 eine erfindungsgemäße Kalibrieranordnung der Messsonde in Seitenansicht;
- 5 einen Messaufbau mit Netzwerk-Analysator und Auswerteeinrichtung und
- 6 die ortsabhängige Darstellung des gemessenen ortsaufgelösten Mikrowellen-Oberflächenwiderstands Rs einer dünnen Schicht.
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Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
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1 zeigt eine der Erfindung entsprechende Messsonde 10. Die Messsonde 10 umfasst eine im Ausführungsbeispiel zylinderförmige Messkammer 11, deren Wandung 12 und Boden 13 im Ausführungsbeispiel einstückig ausgeführt sind. Die Messkammer 10 besteht aus einem gut leitenden Material, z.B. galvanisch versilbertem Aluminium. Für Schichtdicken des Silbers größer dem Vierfachen der Skintiefe bei Silber kann der Einfluss des schlechter leitenden Aluminiumgrundkörpers auf die Hochfrequenzverluste im dielektrischen Resonator 15 vernachlässigt werden. Die Wandungsstärke sollte mehr als 5 mm betragen, damit beim Aufsetzten eines Substrats die Messsonde 10 wirklich geschlossen ist, um Verluste durch Abstrahlung zu vermeiden und um die Oberfläche der Probe beim Aufdrücken nicht zu beschädigen. Unter Skintiefe wird die durch den Skineffekt begrenzte Eindringtiefe der Mikrowellenstrahlung in das Material verstanden.
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Im Zentrum des Messkammerbodens 13 ist ein dielektrischer Resonator 15 an seiner Sohlenfläche 17 mit einem für solche Zwecke geeigneten dielektrischen Kleber, z.B. Epoxitkleber, fixiert, damit dieser nicht aus seiner Position verrutscht. Der Kleber weist eine niedrige Permittivität und führt nur zu geringen Verlusten. Er wird nur sehr dünn aufgetragen und führt somit zu keiner merklichen Verschiebung der Resonanzfrequenz oder einer Erhöhung der Mikrowellenverluste.
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Um bei den verwendeten Messfrequenzen eine möglichst große Ortsauflösung und die dazu notwendige kleine Bauform des dielektrischen Resonators 15 zu erreichen, wird für den Resonator bevorzugt ein dielektrisches Material mit hoher Dielektrizitätszahl und Permittivität verwendet, z.B. Saphir oder Keramik, wie Bariumtitanat oder Zirkoniumtitanat. Des weiteren ist der dielektrische Verlust bzw. die Güte der Keramik so klein gewählt, dass eine möglichst hohe Oberflächenwiderstandsauflösung bzw. Sensibilität der Messsonde 10 erreicht wird.
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Der gewählte Saphir- oder Keramik-Resonator 15 besitzt eine hohe Stabilität der Permittivität und der Güte bzgl. Temperaturveränderung, um Drifterscheinungen und damit verbundenen Messfehler zu minimieren und die Reproduzierbarkeit der Messungen zu gewährleisten.
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Wie in 2 dargestellt, liegt die zu messende dünne Schicht 21, aufgebracht auf ein Substrat 20, auf einer Anlagefläche 14 der Messkammerwandung 12 auf. Damit die Stirnfläche 16 des dielektrischen Resonators 15 nicht von der zu messenden Schicht 21 beim Aufsetzen beschädigt wird, ist die zu messende dünne Schicht in einem geringen Abstand von der Stirnfläche 16 des dielektrischen Resonators 15 angeordnet. Im beschriebenen Ausführungsbeispiel ist die Höhe h der Messkammerwandung 12 daher um z. B. ca. 100 µm höher als der dielektrische Resonator 15. Eine Abhängigkeit zwischen der Resonanzfrequenz und der Oberflächenwiderstands-Auflösung aufgrund des absinkenden Füllfaktors für den dielektrischen Resonator 15 konnte in Simulationen nicht gefunden werden, sofern der Spalt 23 kleiner als 1/100 der Höhe des dielektrischen Resonators 15 bleibt. Die Anlagefläche 14 der Messkammer 11 ist bevorzugt poliert, um beim Aufsetzen der zu messenden dünnen Schicht eine Beschädigung durch Verkratzen, etc. zu vermeiden.
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Die Mikrowellen-Strahlung wird über ein Antennenelement 9a eingekoppelt. Ein Antennenelement 9b zur Auskopplung ist diametral gegenüberliegend angeordnet. Die Antennenelemenete 9a, 9b sind auf Manipulatoren 19a, 19b angeordnet, die in jeweils einer Durchführung 18 in der Messkammerwandung 12 geführt sind und in Richtung auf den dielektrischen Resonator 15 verschiebbar sind. Zur induktiven Ankopplung der longitudinalen magnetischen Feldkomponente der T011 Mode der Mikrowellen-Strahlung wird bevorzugt ein magnetischer Dipol verwendet. Dieser wird durch einen Schleifenleiter 30, wie in 3 dargestellt, realisiert. Dazu wird der Innenleiter 32 einer Koaxialleitung 31, welchen den Manipulator 9a bildet, an seinem Ende mit dem Außenleiter 33 über eine Drahtschleife 35 verlötet. Die Drahtschleife 35 hat eine Schleifenfläche 34. Die Schleifenleiter 30 wird mit der Flächennormalen der Schleifenfläche 34 in Richtung der Symmetrieachse 24 der Messkammer 11 ausgerichtet, welche mit der Symmetrieachse des Resonators zusammenfällt.
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Da die Hz-Komponente der magnetischen Feldstärke sich in radialer Richtung der Messkammer 11 ändert, kann die Stärke der Ankopplung während der Messung durch Verschieben des Antennenelements 9a variiert werden. Abhängig von der Eindringtiefe der Schleife 35 in die Messkammer 11 bzw. Annäherung an den Resonator 15, verändert sich die Stärke der Ankopplung. Mit zunehmendem Abstand des Schleifenleiters 30 zum dielektrischen Resonator 15 erreicht man eine schwache Kopplung mit vernachlässigbaren Koppelfaktoren κi << 1. Die fehlerbehaftete Bestimmung der Koppelfaktoren aus der Reflexionsmessung kann dabei entfallen. Nötig ist dann nur noch eine Erfassung der Transmissionskoeffizienten |S21| oder |S12|.
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Um bei der Messsonde in 2 unkontrollierte Abstrahlungsverluste, durch Spalte, die durch Unebenheiten in der großen Probenoberfläche zwischen der Messkammerwandung 12 und der zu messenden dünnen Schicht 21 zu vermeiden, wird das auf der Messsonde 10 aufliegende Substrat 20 mit einer Anlagekraft beaufschlagt und so an die Anlagefläche 14 der Messkammer 11 gedrückt. Dazu werden vorteilhafterweise ein oder mehrere Ringe, z.B. aus Aluminium, deren Innen- und Außendurchmesser dem der Messkammerwandung (11) entsprechen, auf die, der zu messenden Schicht 21 gegenüberliegende Seite des Substrats 20 aufgesetzt und mit einem Anlagegewicht belastet. Die zu messende dünne Schicht 21 wird dadurch nur auf die Anlagefläche 14 der Messkammerwandung 12 gepresst. Eine Verformung bzw. Durchbiegung in die Messkammer 11 hinein wird somit vermieden. Der dielektrischen Resonator 15 wird durch die Gewichte nicht mechanisch belastet, sodass keine Einflüsse auf die Charakteristik des Resonators 15 zu erwarten sind.
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Um die unbelastete Güte der Messsonde 10 bei Anregung der T011 Mode der Mikrowellenstrahlung zu ermitteln, wird wie folgt vorgegangen.
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Die Definition der Güte Q
0 setzt sich aus zwei Komponenten zusammen, einerseits den Verlusten aus der zu messenden dünnen Schicht
21 und andererseits den dielektrischen bzw. Leiterverlusten in der Messsonde
10 selbst:
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Setzt man den Oberflächenwiderstand Rs der dünnen Schicht 21 in dieser Relation zu Null (Rs = 0), in dem man die Güte der Messsonde 10 im unbeladenen Zustand misst, entspricht die gemessene unbelastete Güte der durch die Verluste im dielektrischen Resonator 15 definierten Güte QResonator.
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Eine entsprechende Kalibrieranordnung 40 ist in 4 dargestellt. Die Messsonde 10 ohne Probe, also ohne aufgelegte zu messende dünne Schicht 21, entspricht dabei einer unbeladenen Messsonde 10 bzw. dem dielektrischen Resonator 15. Um Abstrahlungsverluste durch die offene Messsonde 10 zu unterbinden, wird diese durch eine identische zweite Messsonde 41 (S-Kalibriernormale) abgeschlossen, indem die zweite Messsonde 4.1 spiegelsymmetrisch auf der Anlagefläche 14 der Messkammer 11 der ersten Messsonde 10 aufliegt. Wegen des zweiten elektrisch identischen dielektrischen Resonators 43 verdoppeln sich die parasitären Verluste, aber auch die in der Anordnung gespeicherte elektromagnetische Energie.
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Der noch zu bestimmende Geometriefaktor Gs definiert sich aus dem Verhältnis der in der Messsonde 10 gespeicherten Feldenergie und den in der jeweiligen Oberfläche auftretenden Verlustleistungen bezogen auf den Widerstand eines Quadrats (= Oberflächenwiderstand). Um den Geometriefaktor Gs einer zu messenden dünnen Schicht 21 im resonanten System zu erhalten, führt man eine Kalibrierung mit der Widerstands(R)-Kalibriernormalen durch, bei der eine Referenzprobe mit bekanntem Oberflächenwiderstand vermessen wird. Die Referenzprobe bildet eine ideale Metallschicht, z.B. eine Silberprobe mit elektrolytisch polierter Oberfläche. Dabei ist die mittlere Rauhigkeit der Silberschicht sehr viel kleiner und die Silberschichtdicke mehr als 6-mal so dick wie die Eindringtiefe des Stroms bei Silber bei den verwendeten Messfrequenzen.
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Nach Durchführung der beschriebenen Kalibiermessungen kann die Messsonde 10 zur Bestimmung des Mikrowellen-Oberflächenwiderstands großflächiger dünner Schichten aus unterschiedlichen Materialien verwendet werden. Eine Referenzprobe ist dazu nicht weiter nötigt.
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5 zeigt einen beispielhaften Messaufbau 50. Die zu vermessende dünne Schicht 21, aufgebracht auf ein Substrat 20, liegt fest abgeschlossen auf der Messsonde 10 auf. Zur Anregung des dielektrischen Resonators 15 wird Mikrowellenstrahlung von einem ersten Tor 53 eines Netzwerkanalysators 52 über eine Einkoppel-Anordnung 55 mit dem Antennenelement 9a in die Messkammer 10 eingespeist. Die diametral gegenüber angeordnete Auskoppel-Anordnung 56 mit dem Antennenelement 9b nimmt die Mikrowellen-Strahlung auf und führt sie einem zweiten Tor 54 des Netzwerkanalysators 52 zu. Als Verbindung zwischen Netzwerkanalysator 52 und Messsonde 10 werden hochpräzise phasenstabile Messkabel 51 verwendet. Eine Auswerteeinheit 57 verarbeitet die vom Netzwerkanalysator 52 bestimmten Messwerte und gibt sie zur Darstellung an eine Anzeigeeinheit 58 weiter. Die Auswerteinheit 57 und die Anzeigeeinheit 58 können auch Bestandteil des Netzwerkanalysators 52 sein.
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In 6 ist das Messergebnis einer ortsaufgelösten Mikrowellen-Oberflächenwiderstandsmessung in Form einer Rs-Kartierung 60 dargestellt. Dabei sind die gemessenen und ausgewerteten Mikrowellen-Oberflächenwiderstandswerte (Rs) 61 über der Fläche, beschrieben durch x- und y-Koordinaten, der gemessenen Schicht 21 aufgetragen.
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Durch das Verschieben der Antennenelemente 19a, 19b in Richtung auf den dielektrischen Resonator 15 kann der Koppelfaktor der Mikrowellen-Strahlung an den dielektrischen Resonator 15 variiert werden und damit die Empfindlichkeit der Messsonde stufenlos eingestellt werden. Die fokussierte Feldkonfiguration bei den dielektrischen Resonatoren, z.B. aus Keramik, stellt das erhöhte Ortsauflösungsvermögen dar. Dadurch lässt sich eine Störstelle exakt lokalisieren. Da neben der Probenoberfläche nur noch die Bodenfläche der Messkammer 11 einen Einfluss auf die Transmissionsgüte hat, ist es möglich auch kleinste Schwankungen im Oberflächenwiderstand aufzuspüren. Mit diesem Verfahren können z. B. Einflüsse von Beschichtungsverfahren bzw. deren Prozessparameter auf die Hochfrequenzeigenschaften von metallischen Überzügen auf z.B. Aluminiumsubstrat untersucht werden. Dies ist für die Überprüfung von Galvanisierungsschritten in der Fertigung wichtig.
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Alle beschriebenen und/oder gezeichneten Merkmale können im Rahmen der Erfindung vorteilhaft miteinander kombiniert werden. Die Erfindung ist nicht auf die Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise können anstatt von Antennenschleifen auch Dipolantennen zum Einsatz kommen.