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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Antrieb mit
einer Verformungsschicht, welche auf einer Seite an eine piezoelektrische Schicht
gekoppelt ist, die zur elektrischen Versorgung mit mindestens einem
Elektrodenpaar aus zwei gegenpoligen Elektroden versehen ist. Ein
solcher Antrieb eignet sich insbesondere aber nicht ausschließlich
für die Verstellung eines Mikroventils, wobei dessen Membran
die Verformungsschicht des piezoelektrischen Antriebs bildet.
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Mikroventile
und die zugehörigen Antriebe werden im Bereich der Mikrofluidik
eingesetzt, um Flüssigkeits- oder Gasströme zu
steuern. Die Mikroventile nehmen dabei üblicherweise nur
einen geöffneten oder geschlossenen Zustand ein, sodass
sie eine Ein-/Ausschaltfunktion erfüllen. Für
die Steuerung einer Durchflussmenge können solche Mikroventile
mit kurzen Zykluszeiten getaktet werden. Das Stellelement des Mikroventils
wird dabei durch eine Membran gebildet, die bei entsprechender Auslenkung
einen Ventilkanal freigibt bzw. schließt. Bei herkömmlichen
Mikroventilen wird der Fluidweg durch den Ventilkanal normalerweise
im nicht ausgelenkten Zustand der Membran unterbrochen. Zur Auslenkung der
Membran ist ein Mikroantrieb erforderlich.
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In
der Mikrotechnik werden elektrostatische und piezoelektrische Antriebe
verwendet. Piezoelektrische Antriebe basieren auf dem hinlänglich
bekannten piezoelektrischen Prinzip, wobei durch Anlegen einer elektrischen
Spannung an eine Piezokeramik eine Längenänderung
im Material hervorgerufen wird. Bei der Nutzung des so genannten
Längseffektes tritt eine als Antrieb nutzbare Verformung
des Piezomaterials in einer Richtung auf, die mit der Richtung des
elektrischen Feldes zwischen zwei gegenpoligen Elektroden übereinstimmt.
Sogenannte Hochleistungspiezoelektrika (PZT), bei denen eine bezogen
auf die Materialstärke relativ große Längenänderung
feststellbar ist, basieren auf diesem Längseffekt, bei
welchem die Polarisationsrichtung des Piezomaterials mit der elektrischen
Feldrichtung übereinstimmt. Um beispielsweise eine Membran
mit einem derartigen Antrieb zu bewegen, wird das Piezomaterial
an einer Seite fest gelagert und an der anderen Seite mit der Membran
verbunden.
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Der
erreichbare Verstellweg liegt bei diesen Anwendungen etwa bei 1/1000
der Dicke des Piezomaterials. Um einen mechanischen Hub von 1 μm
zu erreichen, wird daher mindestens eine Piezomaterialdicke von
1 mm benötigt. Wenn ein größerer mechanischer
Hub benötigt wird, steigt die Piezomaterialdicke entsprechend,
was sich negativ für eine Anwendung dieser Antriebe in
der Mikrotechnik auswirkt. Außerdem werden Ansteuerspannungen
mit einer Feldstärke von etwa 3.000 V/mm zur Versorgung
des Piezomaterials benötigt, die in mikrotechnischen Anwendungen
schnell zu unerwünschten elektrischen Überschlägen
führen können. Die für derartige Ansteuerspannungen
benötigten Steuergeräte lassen sich in mikrotechnischen
Lösungen kaum integrieren.
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In
der
EP 0 914 563 B1 ist
ein piezoelektrisch betätigtes Mikroventil beschrieben,
welches sich den genannten piezoelektrischen Längseffekt
zu Nutze macht. Dabei ist eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
an den Rahmen einer Aufhängungsvorrichtung gekoppelt. Die
Aufhängungsvorrichtung trägt außerdem
einen Stößel, der eine Durchlassöffnung
im Ventil verschließt. Bei Spannungsbeaufschlagung der
piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung kommt es zu einer
Längenänderung des Piezomaterials, die eine Verformung
der Aufhängungsvorrichtung zur Folge hat, wodurch der Stößel
senkrecht zur Längenänderung des Piezomaterials
verschoben wird.
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Piezoelektrische
Materialien zeigen außerdem den so genannten Quereffekt,
der eine Verformung des Piezomaterials senkrecht zur Richtung des elektrischen
Feldes zwischen den Elektroden hervorruft. Beim Anlegen einer Spannung
an das Piezomaterial zieht sich dieses quer zur Feldrichtung zusammen.
Die durch den Quereffekt erreichbare Verformung ist in jedem Fall
kleiner als 1/1000 der Piezomaterialausdehnung.
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Die
DE 36 18 107 A1 zeigt
einen Tintenschreibkopf mit piezoelektrisch anregbarer Membran,
wobei der Antrieb von dem erwähnten piezoelektrischen Quereffekt
Gebrauch macht. Der Antrieb der Membran ist durch einen typischen
Schichtenaufbau realisiert. Eine metallische Stützschicht
ist an einem Grundsubstrat befestigt und erstreckt sich über
eine flüssigkeitsführenden Kanalöffnung.
Die metallische Stützschicht trägt eine polarisierte
Schicht aus Piezokeramik auf der der Kanalöffnung abgewandten
Seite. Die Stützschicht wirkt als Massenelektrode zum Aufbau
des das Piezomaterial anregenden elektrischen Feldes. An der gegenüberliegenden
Seite der Piezokeramik sind Ansteuerelektroden vorgesehen, welche
eine lokal begrenzte Aktivierung des Piezomaterials ermöglichen.
Das benötigte elektrische Feld baut sich somit zwischen
der Massenelektrode und der jeweiligen Ansteuerelektrode auf, welche
an gegenüberliegenden Seiten des Piezomaterials positioniert
sind. Durch Ansteuerung der Elektroden kommt es zur Verformung der
piezoelektrischen Keramikschicht und der daran befestigten metallischen Stützschicht,
die als Membran wirkt. Durch die spezielle Anordnung der mehreren
Ansteuerelektroden lässt sich eine Verformung der Stützschicht
in Richtung zum Piezomaterial erreichen. Allerdings müssen
dazu in bestimmten Bereichen Feldrichtungen aufgebaut werden, die
entgegen der Polarisationsrichtung im Piezomaterial gerichtet sind.
Ein Betrieb von Piezomaterial gegen die Polarisationsrichtung führt
erfahrungsgemäß zu einer Entpolarisierung des Piezomaterials,
was mittelfristig einen Verlust der piezoelektrischen Eigenschaften
zur Folge hat. Problematisch ist außerdem, dass die metallische
Stützschicht unmittelbar in Kontakt mit der Flüssigkeit
in dem zu steuernden Kanal steht, was zur Korrosion der Stützschicht
und zu elektrischen Problemen führen kann. Für
viele mikrotechnische Anwendungen ist ein derartiger Aufbau daher
nicht gewünscht.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, einen piezoelektrischen
Antrieb bereit zu stellen, der sich insbesondere für mikrotechnische
Anwendungen eignet und die Ankopplung einer piezoelektrischen Schicht
an eine Verformungsschicht, insbesondere eine Membran gestattet,
welche keine Elektrodenfunktion für die Ansteuerung des
Piezomaterials übernehmen muss. Eine Teilaufgabe besteht
darüber hinaus darin, ein Mikroventil mit einer Membran
bereit zu stellen, wobei die Membran bei Aktivierung einer angekoppelten
piezoelektrischen Schicht mit nennenswertem Hub verformbar ist und
gleichzeitig aus einem Material besteht, welches nicht die Funktion
einer Elektrode für die piezoelektrische Schicht übernimmt.
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Diese
Aufgabe wird zunächst durch einen piezoelektrischen Antrieb
mit den Merkmalen des beigefügten Anspruchs 1 gelöst.
Dieser Antrieb zeichnet sich vor allem dadurch aus, dass die beiden
gegenpoligen Elektroden, die für den Aufbau eines sich durch
das piezoelektrische Material erstreckenden elektrischen Feldes
benötigt werden, auf ein und derselben Seite der piezoelektrischen
Schicht angebracht sind und zwar an der der Verformungsschicht abgewandten
Seite der piezoelektrischen Schicht. Die herkömmliche Schichtenstruktur,
bei welcher die piezoelektrische Schicht zwischen zwei Elektrodenschichten
eingeschlossen ist, wird erfindungsgemäß aufgegeben.
Durch die Anordnung der gegenpoligen Elektroden auf einer gemeinsamen
Seite der piezoelektrischen Schicht kommt es zu einer Überlagerung von
Längs- und Quereffekt, die eine flächenhafte Dehnung
der piezoelektrischen Schicht zur Folge hat.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform zeichnet sich dadurch aus, dass
die Elektroden die piezoelektrische Schicht im Wesentlich vollständig
bedecken. Insbesondere ist es zweckmäßig, wenn
die äußere Begrenzung der piezoelektrischen Schicht
im Wesentlichen deckungsgleich mit der äußeren
Begrenzung der aufgebrachten Elektroden ist. Es hat sich nämlich
gezeigt, dass die gewünschte, nach Außen gerichtete
Verformung der piezoelektrischen Schicht, die auf der den Elektroden
gegenüberliegenden Seite an die Verformungsschicht übertragen
werden kann, vorwiegend in Bereichen entsteht, die von den Elektroden
bedeckt sind. In Bereichen, die entfernt von den Elektroden liegen,
lässt die nach Außen gerichtete Verformung der
piezoelektrischen Schicht zunehmend nach. Bevorzugte Ausführungsformen besitzen
daher eine piezoelektrische Schicht, die nicht mehr als die doppelte
Breite der äußeren Elektrode über die
von den Elektrodenstrukturen bedeckte Fläche hinausreicht.
Ebenso ist es zweckmäßig, wenn die zwischen den
gegenpoligen Elektroden verbleibenden Flächen, die nicht
von einer Elektrode bedeckt sind, nicht größer
als die durchschnittliche doppelte Breite der angrenzenden Elektroden
ist. Es ist darauf hinzuweisen, dass die an der gegenüberliegenden
Seite der piezoelektrischen Schicht angebrachte Verformungsschicht natürlich
flächenmäßig größer
sein kann als die piezoelektrische Schicht bzw. die von den Elektroden
bedeckte Fläche.
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Die
Verformungsschicht kann vorzugsweise aus nicht elektrisch leitfähigem
Material bestehen, da sie keine Elektrodenfunktion übernehmen
muss. Damit kann an die Verformungsschicht auch mit aggressiven
Medien in Kontakt kommen, ohne dass eine Korrosion der Elektroden
befürchtet werden muss.
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Bei
Ansteuerung der Elektroden in Polarisationsrichtung dehnt sich die
piezoelektrische Schicht aus, so dass eine daran angekoppelte Verformungsschicht
oder Membran je nach Gestaltung der Elektroden entweder in Richtung
zur piezoelektrischen Schicht oder auch von dieser weg verformt
wird.
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Die
oben genannte Aufgabe wird darüber hinaus durch ein Mikroventil
gemäß dem beigefügten Anspruch 11 gelöst.
Die Membran des Mikroventils bildet zugleich die Verformungsschicht
des genannten piezoelektrischen Antriebs. Durch die erwähnte Ausdehnung
der piezoelektrischen Schicht bei Ansteuerung der Elektroden kann
die Membran einen Ventilkanal bzw. Fluidweg freigeben und beim Abschalten
der Versorgungsspannung sperren. Durch die Anordnung der Elektroden
ist außerdem sichergestellt, dass sie nicht mit dem im
Mikroventil geführten Fluid in Kontakt kommen.
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Die
gegenpoligen Elektroden können unterschiedlich strukturiert
sein, wobei sie vorzugsweise in Form zahlreicher, nebeneinander
verlaufender Streifen mit alternierender Polarität ausgebildet
sind. Bei kreisförmigen piezoelektrischen Schichten verlaufen die
Elektroden beispielsweise Strahlenförmig in radialer Richtung.
Um einen möglichst gleichförmigen Feldstärkenverlauf
zu erhalten, können zahlreiche Elektrodenabschnitte im
Wesentlichen parallel zueinander verlaufen. Ein abschnittweise paralleler
Elektrodenverlauf ist auch durch Verwendung von sinusförmigen
Elektrodenstreifen erreichbar, welche die zu aktivierende Fläche
des piezoelektrischen Materials bedecken.
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Bei
einer bevorzugten Ausführungsform ist die piezoelektrische
Schicht unmittelbar auf der Verformungsschicht aufgebracht. Dies
gestattet eine verlustfreie Kraftübertragung und ermöglicht
die Herstellung des piezoelektrischen Antriebs durch Verwendung
von in der Mikrotechnik üblichen Verfahren.
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Weitere
Vorteile, Einzelheiten und Weiterbildungen der vorliegenden Erfindung
ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen,
unter Bezugnahme auf die Zeichnungen. Es zeigen:
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1 eine
prinzipielle Querschnittsansicht des Grundaufbaus eines erfindungsgemäßen
piezoelektrischen Antriebs;
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2 eine
schematische Draufsicht auf eine piezoelektrische Schicht des Antriebs
mit strahlenförmigem Verlauf von Elektroden, wobei eine
der Elektrodengruppen über einen im Zentrum liegenden Anschluss
kontaktiert ist;
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3 eine
schematische Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform
der Elektrodenanordnung an der piezoelektrischen Schicht mit zwei
im Außenbereich kontaktierten Elektrodengruppen;
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4 eine
schematische Draufsicht auf eine dritte Ausführungsform
der Elektrodenstruktur mit parallel zueinander verlaufenden Streifenelektroden;
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5 eine
schematische Draufsicht einer vierten Ausführungsform der
Elektrodenstruktur der piezoelektrischen Schicht mit streifenförmigen
und keilförmigen Elektroden;
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6 eine
schematische Draufsicht einer fünften Ausführungsform
mit sinusförmigen Elektrodenstreifen;
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7 zwei
prinzipielle Schnittansichten eines Mikroventils mit dem erfindungsgemäßen
piezoelektrischen Antrieb in einer geöffneten und einer
geschlossenen Stellung.
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In 1 ist
der prinzipielle Aufbau eines erfindungsgemäßen
piezoelektrischen Antriebs im Querschnitt gezeigt. Als aktives Antriebselement agiert
eine piezoelektrische Schicht 01, die an ihrer Oberseite
mindestens ein gegenpoliges Elektrodenpaar 03 zur Beaufschlagung
mit einer Versorgungsspannung trägt. Es ist darauf hinzuweisen,
dass ein wesentlicher Aspekt der Erfindung darin zu sehen ist, dass
beide das Elektrodenpaar 03 bildende Elektroden an einer
gemeinsamen Seite der piezoelektrischen Schicht angeordnet sind.
Ein wie im Stand der Technik gegenüberliegendes Elektrodenpaar
ist hier nicht vorgesehen. Vielmehr ist im dargestellten Beispiel
an der den Elektroden abgewandten Seite der piezoelektrischen Schicht 01 unmittelbar
eine Membran 04 angeordnet, die eine Verformungsschicht
des Antriebs bildet. Die Elektroden sind bevorzugt als Gruppen aus
zahlreichen Einzelelektrodenstreifen gebildet, die alternierend
auf der zu aktivierenden Fläche der piezoelektrischen Schicht
angebracht sind.
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Die
Membran 04 ist in ihrem Randbereich an einer Membranauflage 05 befestigt,
die beispielsweise ringförmig gestaltet ist. Soweit der
piezoelektrische Antrieb nicht in einem Mikroventil eingesetzt wird,
können über die Verformungsschicht 04 andere Antriebsaufgaben
erfüllt werden, beispielsweise die Positionierung eines
optischen Elements.
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Der
piezoelektrische Antrieb ist in 1 in einem
aktivierten Zustand dargestellt, d. h. über das Elektrodenpaar 03 wird
die piezoelektrische Schicht 01 mit einer Versorgungsspannung
beaufschlagt, wodurch eine flächenhafte Dehnung der piezoelektrischen
Schicht 01 hervorgerufen wird. Dies führt zu einer
Verformung der piezoelektrischen Schicht und der daran angekoppelten
Membran 04 bzw. Verformungsschicht in Richtung zur piezoelektrischen Schicht.
Diese Verformung wird durch Erzeugung eines inhomogenen elektrischen
Feldes erreicht, welches aufgrund einer speziellen Strukturierung
bzw. Anordnung der Elektroden aufgebaut wird. Dafür werden
nachfolgend bevorzugte Ausführungsformen beschrieben. Es
wird jedoch darauf hingewiesen, dass durch veränderte Anordnung
zueinander und Strukturierung der Elektroden auch eine Verformung der
piezoelektrischen Schicht und der daran angekoppelten Membran bzw.
Verformungsschicht in entgegen gesetzter Richtung, also hin zur
Verformungsschicht erreichbar ist, was ebenfalls im Rahmen der vorliegenden
Erfindung liegt.
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2 zeigt
in einer schematischen Draufsicht eine erste Ausführungsform
der prinzipiellen Strukturierung des Elektrodenpaars an der Oberseite der
piezoelektrischen Schicht 01. Die zahlreichen Elektroden
verlaufen hier als gerade Streifen im Wesentlichen radial zwischen
dem Zentrum und dem Rand der piezoelektrischen Schicht 01 und
der darunter liegenden Membran 04. Die Elektroden sind
zu zwei Gruppen unterschiedlicher Polarität zusammengefasst
und können damit elektrisch als zwei in Abschnitte zergliederte
Elektroden betrachtet werden.
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Jeder
Elektrode erster Polarität liegt eine Elektrode zweiter
Polarität gegenüber, sodass ein elektrisches Feld
entsteht, wenn eine Versorgungsspannung angelegt wird. Aufgrund
der Verteilung der einzelnen Elektroden ist dieses Feld weitgehend
inhomogen. Die Elektroden bestehen aus elektrisch gut leitfähigem
Material und können durch in der Mikrotechnik übliche
Verfahren hergestellt werden.
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Die
aktive Fläche der piezoelektrischen Schicht 01 ist
bei der in 2 gezeigten Ausführung kreisförmig
ausgebildet, wobei der äußere Rand des aktiven
Bereichs durch die darunter liegende Membranauflage 05 (1)
definiert ist, an welcher die Membran 04 eingespannt ist.
Die ersten Elektroden des Elektrodenpaars 03 gehen von
einer äußeren, kreisförmigen Kontaktierungsstelle 06 aus
und die zweiten Elektroden gehen von einer im Zentrum der piezoelektrischen
Schicht 01 angeordneten zweiten Kontaktierungsstelle 07 aus.
Der minimale Elektrodenabstand zwischen den gegenpoligen Elektroden muss
an jeder Stelle so groß sein, dass ein elektrischer Überschlag
bei den verwendeten Versorgungsspannungen vermieden wird. Durch
Erhöhung der alternierenden Elektrodenzahl und damit einhergehender
Reduzierung des Elektrodenabstands kann die erforderliche Versorgungsspannung
reduziert werden.
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3 zeigt
eine zweite Ausführungsform der Strukturierung der Elektroden
auf der piezoelektrischen Schicht 01. Bei dieser Ausführung
verläuft die erste Kontaktierungsstelle 06 wiederum
kreisförmig am äußeren Rand des aktiven
Bereichs der piezoelektrischen Schicht 01. Die zweite Kontaktierungsstelle 07 ist
vom Zentrum weg ebenfalls in den äußeren Randbereich
verlagert. Von der zweiten Kontaktierungsstelle 07 wird
das angelegte Spannungspotential zum Zentrum geführt und
von dort an die mehreren zweiten Elektroden verteilt, die wiederum strahlenförmig
nach außen und alternierend zu den ersten Elektroden verlaufen.
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4 zeigt
eine dritte Ausführungsform strukturierter Elektroden auf
der piezoelektrischen Schicht 01. Anders als bei den beiden
zuvor beschriebenen Ausführungsformen, bei denen die elektrischen
Feldstärken zwischen den Elektroden vom Zentrum zum äußeren
Rand hin aufgrund des größer werdenden Elektrodenabstandes
abnehmen, können hier im wesentlichen gleich bleibende
Feldstärken generiert werden. Dazu werden parallel verlaufende Streifenelektroden
verwendet, die wiederum über erste und zweite Kontaktierungsstellen 06, 07 an
die Versorgungsspannung angelegt werden. Durch die Vielzahl der
Elektrodenstreifen kommt es beim Anlegen der Versorgungsspannung
zu einer piezoelektrischen Reaktion der unter den Elektroden liegenden Piezomaterialschicht.
Aufgrund der Interaktionen zwischen piezoelektrischen Längs-
und Quereffekt wird unter den Elektroden eine Flächendehnung
hervorgerufen.
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5 zeigt
eine vierte Ausführungsform der Elektrodenstruktur, bei
welcher sich die gegenpoligen Elektroden wiederum an parallelen
Grenzflächen gegenüberstehen. Dazu sind streifenförmige
erste Elektroden ausgebildet, die mit der ersten Kontaktierungsstelle 06 verbunden
sind, und zwischenliegende keilförmige zweite Elektroden,
die mit der zweiten Kontaktierungsstelle 07 verbunden sind.
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Sofern
anstelle einer piezoelektrischen Schicht und einer darunter liegenden
kreisförmigen Membran eine andere Membrangeometrie bevorzugt wird,
muss die Elektrodenstruktur angepasst werden. Es können
ebenfalls streifenförmige Elektroden eingesetzt werden,
die auf der aktiven Fläche der piezoelektrischen Schicht
zu verteilen sind.
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6 zeigt
dazu eine fünfte Ausführungsform der Elektrodenstruktur,
die auf einer rechteckigen piezoelektrischen Schicht 01 angebracht
ist, welche an eine ebenfalls rechteckige Membran angekoppelt ist.
Wie bereits oben erwähnt wurde, lässt sich die
Versorgungsspannung reduzieren, wenn möglichst viele parallel
verlaufende Elektrodenabschnitte realisiert werden. In der dargestellten
Ausführungsform geschieht dies durch sinusförmige Elektroden,
die alternierend angeordnet sind und über die erste bzw.
zweite Kontaktierungsstelle 06, 07 versorgt werden.
Damit sind große Feldstärken in Oberflächennähe
erreichbar, die große Dehnungen der oberflächennahen
Gebiete in der piezoelektrischen Schicht hervorrufen.
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Durch
die erfindungsgemäße Anordnung beider Elektrodengruppen
auf ein und derselben Seite der piezoelektrischen Schicht wird ein
inhomogenes elektrisches Feld aufgebaut. Diese inhomogene Feldverteilung
führt zu unterschiedlichen Dehnungen und Kontraktionen
im gesamten vom Feld durchdrungenen Bereich der piezoelektrischen
Schicht. Wenn die Elektroden in der beschriebenen Weise angeordnet
werden, dominiert der Längseffekt im Piezomaterial, was
zu einer Dehnung dieser Gebiete führt. Die Dicke des piezoelektrischen
Materials spielt dabei nur eine untergeordnete Rolle, denn das erzeugte elektrische
Feld dringt nur in geringe Tiefen des Piezomaterials vor, so dass
in den nicht vom elektrischen Feld beeinflussten Materialbereichen
kaum piezoelektrische Effekte auftreten.
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7 zeigt
zwei Querschnittsansichten des prinzipiellen Aufbaus eines Mikroventils,
welches den zuvor erläuterten piezoelektrischen Antrieb
verwendet. In der Abb. A) ist das Mikroventil im geschlossenen Zustand
gezeigt, während Abb. B) den geöffneten Zustand
des Ventils zeigt. Die Membran 04 und die daran angebrachte
piezoelektrische Schicht 01 überdecken einen Zulaufkanal 08 und
einen Ablaufkanal 09 des Ventils. Im geschlossenen Zustand
sind beide Kanäle durch die Membran 04 verschlossen, so
dass kein Fluid zwischen dem Zulaufkanal und dem Ablaufkanal strömen
kann. Bei Aktivierung der piezoelektrischen Schicht 01 kommt
es zur beschriebenen Flächendehnung, so dass sich die Membran 04 in
Richtung zur piezoelektrischen Schicht 01 wölbt und
damit die Kanäle 08, 09 freigibt. Ein
zu steuerndes Fluid kann dann zwischen den Kanälen über
einen sich ausbildenden Ventilraum 10 strömen.
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Für
den Fachmann ist ersichtlich, dass unter Verwendung des erfindungsgemäßen
piezoelektrischen Antriebs unterschiedliche Mikroventile aufgebaut
werden können. Ebenso ist der piezoelektrische Antrieb
für andere Antriebsfälle einsetzbar.
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- 01
- piezoelektrische
Schicht
- 02
-
- 03
- Elektrodenpaar
- 04
- Membran/Verformungsschicht
- 05
- Membranauflage
- 06
- erste
Kontaktierungsstelle
- 07
- zweite
Kontaktierungsstelle
- 08
- Zulaufkanal
- 09
- Ablaufkanal
- 10
- Ventilraum
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - EP 0914563
B1 [0005]
- - DE 3618107 A1 [0007]