DE102008063464A1 - Verfahren zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums, wobei Strahlung (12) aus einer Lichtquelle (14) auf eine Messprobe (16) fällt und ein Probenintensitätsspektrum von einem Spektraldetektor (20) gemessen wird, angegeben, bei dem folgende Schritte vorgesehen sind: Eine Strahlung (12) zu oder von der Messprobe (16) wird abgeschaltet und eine Strahlung (12) in einem Referenzkanal (22) wird als Referenzintensitätsspektrum gemessen. Das Referenzintensitätsspektrum wird in mindestens zwei spektrale Regionen (56-62) unterteilt. Ein Sperrbandfilter (36) oder ein Bandpassfilter (38), das ein Wellenlängenband der Strahlung (12) innerhalb einer der spektralen Regionen (56-62) sperrt bzw. passieren lässt, wird in den Referenzkanal (22) eingebracht und eine erste Messung einer Intensität (54) über den Referenzkanal (22) mit aktivem Sperrbandfilter (36) bzw. Bandpassfilter (38) wird durchgeführt. Zumindest eine weitere, von der ersten Messung unabhängige Messung der Intensität (54) mit zumindest einem weiteren Sperrbandfilter (36) bzw. Bandpassfilter (38), das innerhalb einer anderen der mindestens zwei spektralen Regionen (56-62) aktiv ist, wird durchgeführt.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Sie betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
  • Derartige Verfahren sind allgemein bekannt. Beispielsweise werden in der Spektrometrie Stoffkonzentrationen über wellenlängenabhängige Dämpfungseffekte in einem Medium bestimmt. Eine wichtige Vorraussetzung für diese und andere Aufgabenstellungen ist die korrekte Ermittlung des Transmissions- oder Reflexionsspektrums. Dazu stehen gemäß dem Stand der Technik zur Ermittlung einer spektralen Charakteristik verschiedene Methoden zur Verfügung. Ein relevanter Störeinfluss für spektrometrische Systeme ist das nichtlineare Übertragungsverhalten aufgrund von Streulicht. Der Einfluss des Streulichts führt je nach Systemaufbau z. B. bei Diodenzeilenspektrometern ab Extinktionswerten von 1,5 AU bis 2,5 AU (AU = Absorbance Unit; dt.: Extinktionseinheit; 1 AU entspricht einem Lichtverlust von 90 Prozent, 2 AU entsprechen 99 Prozent und 3 AU 99,9 Prozent) zu relevanten Abweichungen zwischen einem gemessenen und einem tatsächlichen Spektrum des Mediums oder einer spezifischen Komponente innerhalb des Mediums. Aus diesem Grund ist der Messbereich vieler spektrometrischer Systeme auf diese Maximalwerte begrenzt oder das optische Design von Spektrometern muss auf Kosten anderer Optimierungsparameter, z. B. Größe des Spektrometers, eine ausreichende Streulichtreduzierung aufweisen.
  • Der Zusammenhang zwischen Streulicht und Linearitätsabweichungen ist durch die folgende Gleichung mathematisch erfassbar: ΔA(λ) = Aideal(λ) – Amess(λ), wobei gilt: Aideal(λ) = log(I(λ)/I0(λ)) und Amess(λ) = log((I(λ) + ISP(λ))/(I0(λ) + ISref(λ))). (1)
  • Dabei ist I(λ) eine Intensität eines idealen Probenintensitätsspektrum ohne Streulichteffekte, I0(λ) eine Intensität eines idealen Referenzintensitätsspektrums ohne Streulichteffekte, ISP(λ) eine Intensität des Streulichts bei einer Messung des Probenintensitätsspektrums und ISref(λ) eine Intensität des Streulichts bei einer Messung des Referenzintensitätsspektrums. Es fehlt jedoch die Kenntnis des Streulichts bei veränderbaren Umgebungsbedingungen. Bisher wird für Spektrometer daher lediglich ein maximaler Streulichtwert angegeben.
  • Streulichtmessungen, z. B. mittels Wasserküvette, monochromatischer Anregung bei einer Wellenlänge durch einen Laser, Einsatz eines einzelnen Sperrbandfilters, Hochpass, Tiefpass oder Bandpass, werden u. a. in den Standard Test Methoden der ASTM E387 beschrieben.
  • Außerdem ist aus der JP 11030552 A ein Verfahren bekannt, bei dem Strahlung einer bestimmten Wellenlänge auf einen Photodetektor gerichtet wird und das Verhältnis der Intensität der Strahlung, die von jedem der Photoelemente des Photodetektors gemessen wird, zu der Intensität, die auf einem dieser Wellenlänge entsprechenden Photoelement gemessen wird, bestimmt wird. Dabei wird eine Streulichtkomponente für jedes Photoelement bestimmt und der Vorgang für Licht verschiedener Wellenlängen wiederholt, so dass eine Summe der Streulichtkomponenten für jede Wellenlänge bei einem Messergebnis berücksichtigt werden kann.
  • Die EP 0 729 017 B1 beschreibt ein Verfahren, bei dem ein Sperrbandfilter zur Blockierung eines bestimmten Wellenlängenbandes eines Lichtquellenspektrums eingesetzt wird und ein Proben- oder ein Referenzintensitätsspektrum mit und ohne dieses Sperrbandfilter gemessen wird. Die jeweils mit und ohne Sperrbandfilter erhaltenen Intensitätsspektren werden voneinander subtrahiert, um ein verbessertes Proben- oder Referenzintensitätsspektrum zu erhalten. Zusätzlich kann beispielsweise noch ein Streulichtmultiplikator berechnet werden, indem eine Fläche des ohne Sperrbandfilter gemessenen Proben- oder Referenzintensitätsspektrums über alle Wellenlängen durch eine Fläche des mit Sperrbandfilter gemessenen Proben- oder Referenzintensitätsspektrum über alle Wellenlängen geteilt wird. Das mit Sperrbandfilter gemessene Intensitätsspektrum der Probe oder Referenz wird dann mit dem Streulichtmultiplikator multipliziert, bevor es von dem ohne Sperrbandfilter gemessenen Proben- bzw. Referenzintensitätsspektrum angezogen wird.
  • Nachteilig bei den o. g. Verfahren ist jedoch, dass sie ungeeignet für Echtzeitmessungen und/oder Korrekturen zur Berücksichtigung von Einflüsse durch veränderbaren Umgebungsbedingungen des Streulichts sind. Es wird außerdem ein zweites Spektrometer benötigt oder eine Streulichtaufnahme ist direkt an der Probe notwendig. Der Einfluss verschiedener spektraler Regionen auf das Streulicht wird außer Acht gelassen.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, mit dem die oben genannten Nachteile vermieden werden können.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Dazu sind bei einem Verfahren zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums, wobei Strahlung aus einer Lichtquelle auf eine Messprobe fällt und ein Probenintensitätsspektrum von einem Spektraldetektor gemessen wird, folgende Schritte vorgesehen: Nach Messung des Probenintensitätsspektrums wird eine Strahlung zu oder von der Messprobe abgeschaltet und eine Strahlung in einem Referenzkanal wird als Referenzintensitätsspektrum gemessen. Das Referenzintensitätsspektrum wird in mindestens zwei spektrale Regionen unterteilt. Ein Sperrbandfilter oder ein Bandpassfilter, das ein Wellenlängenband der Strahlung innerhalb einer der spektralen Regionen sperrt bzw. passieren lässt, wird in den Referenzkanal eingebracht und eine erste Messung einer Intensität über den Referenzkanal mit aktivem Sperrbandfilter bzw. Bandpassfilter wird durchgeführt. Zumindest eine weitere, von der ersten Messung unabhängige Messung der Intensität mit zumindest einem weiteren Sperrbandfilter bzw. Bandpassfilter, das innerhalb einer anderen der mindestens zwei spektralen Regionen aktiv ist, wird durchgeführt. Die o. g. Aufgabe wird weiterhin gelöst mit einer Vorrichtung mit einem Mittel zum Abschalten einer Strahlung zu oder von der Messprobe, einem Mittel zur Erzeugung eines optischen Referenzkanals zur Messung eines Referenzintensitätsspektrums mit dem Spektraldetektor und mit einem Filterträger für ein Sperrbandfilter oder ein Bandpassfilter.
  • Ein Vorteil der Erfindung ist, dass eine Echtzeitmessung des Streulichts möglich ist, da die Streulichtintensität durch Messungen über den Referenzkanal bestimmt werden kann. Verändern sich die Umgebungsbedingungen bei einer Messung des Probenintensitätsspektrums, z. B. die Helligkeit der Lichtquelle oder die Temperatur, ist davon auch die Messung über den Referenzkanal betroffen, so dass die dadurch beeinflusste Streulichtintensität direkt berücksichtigt werden kann. Ein weiterer Vorteil ergibt sich durch das Sperren bestimmter Bereiche mit dem Sperrbandfilter oder dem Bandpassfilter, wodurch sich eine Streulichtintensität in diesen Bereichen aus der Strahlung in den nicht gesperrten Bereichen ergibt. Durch die Einteilung in mehrere spektrale Regionen und Messungen der Intensität mit jeweils einem Sperrbandfilter in einer der spektralen Regionen, kann jeweils der Einfluss der Strahlung der einzelnen spektralen Regionen auf die Streulichtintensität in den gesperrten Bereich einer der spektralen Regionen bestimmt werden. Bei den Messungen mit einem Bandpassfilter kann der Einfluss der Strahlung in dem auf wenige Wellenlängen eingeschränkten Bereich, den der Bandpassfilter passieren lässt, auf eine Streulichtintensität in den anderen spektralen Regionen bestimmt werden. Das Streulicht kann so auch in Abhängigkeit von der Wellenlänge der Strahlung bestimmt werden. Mit den Intensitäten, die in den einzelnen spektralen Regionen unter Verwendung des Sperrbandfilters oder des Bandpassfilters gemessen werden, lassen sich dann die Streulichteffekte bei der Erfassung des Probenintensitätsspektrums und des Referenzintensitätsspektrums bestimmen. Die Einbeziehung unterschiedlicher Streulichteffekte aus verschiedenen spektralen Bereichen ermöglicht eine genauere Anpassung der Proben- und Referenzintensitätsspektren, indem das gemessene Proben- und Referenzintensitätsspektrum mit der ermittelten Streulichtintensität beaufschlagt wird. Eine Messzeit einer Messung des Probenintensitätsspektrums wird zudem nicht beeinflusst, da die Streulichtbestimmung mit der gleichen Messapparatur unter gleichen Umgebungsbedingungen über den Referenzkanal erfolgen und auf jedes der gemessenen Probenintensitätsspektren angewandt werden kann. Ein weiterer Vorteil ist, dass sich die Erfindung ohne großen Aufwand in bestehende Messkonzepte integrieren lässt, da als Mittel zur Erzeugung eines Referenzkanals beispielsweise ein Reflexionsstandard zur Reflexion eines Teils der Strahlung aus der Lichtquelle, als Mittel zum Abschalten einer Strahlung von oder zu der Messprobe z. B. ein Shutter und zur Bestimmung der Streulichtintensitäten ein Filterträger für ein Sperrbandfilter bzw. Bandpassfilter an entsprechender Stelle in einen Strahlengang der Strahlung eingebracht werden.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Dabei verwendete Rückbeziehungen weisen auf die weitere Ausbildung des Gegenstandes des Hauptanspruches durch die Merkmale des jeweiligen Unteranspruches hin; sie sind nicht als ein Verzicht auf die Erzielung eines selbständigen, gegenständlichen Schutzes für die Merkmalskombinationen der rückbezogenen Unteransprüche zu verstehen. Des Weiteren ist im Hinblick auf eine Auslegung der Ansprüche bei einer näheren Konkretisierung eines Merkmals in einem nachgeordneten Anspruch davon auszugehen, dass eine derartige Beschränkung in den jeweils vorangehenden Ansprüchen nicht vorhanden ist.
  • Bevorzugt wird jede Messung während jeweils einer vorgegebenen oder vorgebbaren ersten Zeitspanne durchgeführt und jede Messung erneut während einer vorgegebenen oder vorgebbaren zweiten Zeitspanne durchgeführt, die größer als die erste Zeitspanne ist. Durch die Messung der Intensität für eine verlängerte zweite Zeitspanne kann eine höhere, zur Auswertung vorteilhaftere Intensität in den Bereichen, die von dem Sperrbandfilter oder dem Bandpassfilter gesperrt werden, in denen eine Intensität hauptsächlich von Streulichteffekten herrührt und daher geringer als in den anderen spektralen Regionen ist, gemessen werden. Die mit der ersten Zeitspanne gemessenen Intensitäten ergeben dagegen ausreichend hohe Intensitäten in den nicht gesperrten spektralen Regionen. Außerdem sind störende Einflüsse, z. B. durch einen Dunkelstrom des Spektraldetektors, der durch thermisch ausgelöste Ladungen im Spektraldetektor entsteht, während einer Messung mit kürzerer Zeitspanne geringer und das Verhältnis der Intensität gegenüber Rauschwerten ist höher. Bei einer Auswertung der Intensitäten werden die verschiedenen Zeitspannen entsprechend berücksichtigt.
  • Wenn für jede spektrale Region eine in der jeweiligen spektralen Region liegende minimale und maximale Wellenlänge bestimmt werden und jede Messung mit Wirkung für jede spektrale Region in Bezug auf die minimale und maximale Wellenlänge durchgeführt wird, können die von Streulichteffekten beeinflussten Bereiche genauer eingegrenzt werden. Dazu grenzen die minimale und maximale Wellenlänge bevorzugt für jedes Sperrbandfilter oder Bandpassfilter einen Sperrbereich bzw. Passbereich ein, innerhalb bzw. außerhalb welchem eine Transmissionseigenschaft des Sperrbandfilters bzw. Bandpassfilters einen vorgegebenen oder vorgebbaren Schwellwert nicht überschreitet. In dem Sperrbereich des Sperrbandfilters bzw. außerhalb des Passbereichs des Bandpassfilters wird die gemessene Intensität daher nicht durch direkt in den Sperrbereich bzw. außerhalb des Passbereichs transmittierte Strahlung von der Lichtquelle verfälscht.
  • Bevorzugt wird eine Wichtungsmatrix bestimmt, in der jeder Eintrag einen Wichtungsfaktor bildet, der auf Basis einer Intensität innerhalb des Sperrbereichs des Sperrbandfilters bzw. außerhalb des Passbereichs des Bandpassfilters in Bezug auf die spektralen Regionen bestimmt wird. Dabei wird eine Streulichtintensität des Probenintensitätsspektrums und des Referenzintensitätsspektrum durch Multiplikation der Wichtungsmatrix mit dem gemessenen Probenintensitätsspektrum und dem gemessenen Referenzintensitätsspektrum bestimmt. Die Wichtungsmatrix stellt bei Verwendung von Sperrbandfiltern eine Matrix mit nur einer Spalte (Spaltenvektor), dar. Die Anzahl der Zeilen entspricht der Anzahl der spektralen Regionen bzw. der Anzahl der Sperrbandfilter. In jedem Eintrag des Spaltenvektors wird ein Verhältnis der Intensität in einem Sperrbereich eines der Sperrbandfilter zu der Intensität in einer der spektralen Regionen bestimmt. Dabei wird durch Multiplikation mit einem aus der ersten und zweiten Zeitspanne (T1 und T2) gebildeten Quotienten T1/T2 berücksichtigt, dass die Intensität in dem Sperrbereich eines Sperrbandfilters während einer längeren, zweiten Zeitspanne (T2) gemessen wurde. Außerdem wird berücksichtigt, dass der Sperrbereich nicht eine gesamte spektrale Region sperrt, sondern nur einen Bereich innerhalb der spektralen Region. Bei dem Bandpassfilter entspricht die Wichtungsmatrix einer quadratischen Matrix, deren Zeilen- bzw. Spaltenanzahl der Anzahl (pmax) der spektralen Regionen bzw. der Anzahl (kmax) der Bandpassfilter entspricht. Jeder Eintrag einer Spalte der Wichtungsmatrix stellt einen Wichtungsfaktor dar, in dem ein Verhältnis einer Intensität in einer der spektralen Regionen zu einer Intensität in der spektralen Region, in der sich ein bestimmtes Bandpassfilter befindet, bestimmt wird. Beispielsweise wird in der ersten Spalte in jeweils einem Zeileneintrag das Verhältnis der Intensität in der ersten, zweiten, ..., pmax-ten spektralen Region zu der Intensität in der ersten spektralen Region, in der sich der Passbereich des Bandpassfilters befindet, bestimmt. In der zweiten Spalte wird dann in jeweils einem Zeileneintrag das Verhältnis der Intensität in der ersten, zweiten, ..., pmax-ten spektralen Region zu der Inten sität in der zweiten spektralen Region, in der sich der Passbereich des Bandpassfilters befindet, bestimmt, usw. Dabei werden, wie auch in Bezug auf das Sperrbandfilter beschrieben, die unterschiedliche Länge der ersten und zweiten Zeitspanne (T1 und T2) sowie der jeweilige Passbereich des Bandpassfilters berücksichtigt. Eine Berücksichtigung des Passbereichs ist in den Wichtungsfaktoren notwendig, in denen die gewichtete spektrale Region den Passbereich des jeweiligen Bandpassfilters umfasst. Dazu wird im Zähler dieser Wichtungsfaktoren eine innerhalb des Passbereichs gemessenen Intensität von der innerhalb der gesamten spektralen Region gemessenen Intensität subtrahiert. Durch Multiplikation der Wichtungsmatrix mit dem gemessenen Proben- und Referenzintensitätsspektrums erhält man dann eine Streulichtintensität des jeweiligen Spektrums, die die Einflüsse des Streulichts auf unterschiedliche spektrale Regionen berücksichtigt.
  • Weiter bevorzugt wird durch eine Subtraktion der Streulichtintensität des Probenintensitätsspektrums von dem gemessenen Probenintensitätsspektrum ein erster Wert bestimmt und durch Subtraktion der Streulichtintensität des Referenzintensitätsspektrums von dem gemessenen Referenzintensitätsspektrum ein zweiter Wert bestimmt. Der erste und zweite Wert entsprechen einem streulichtkorrigierten Proben- bzw. Referenzintensitätsspektrum. Aus dem ersten und zweiten Wert wird dann ein Quotient als ein Maß für einen unter Berücksichtigung von Streulichteffekten korrigierten Extinktionswert der auf die Messprobe einfallenden Strahlung bestimmt. Eine solche Korrektur des Extinktionswerts ist vorteilhaft, da die Extinktionswerte aufgrund von Streulichteffekten ab einem bestimmten Schwellwert (ca. 1,5 AU bis 2,5 AU) nicht mehr linear ansteigen. Entsprechende Messungen sind daher fehlerbehaftet. Durch die Korrektur kann der Linearitätsbereich des Extinktionswerts erweitert werden, so dass auch Extinktionswerte oberhalb des Schwellwerts korrekt bestimmt werden können. Der korrigierte Extinktionswert ergibt sich wie folgt: Akorr(λ,T1) = log((IP(λ,T1) + ISP(λ,T1))/(IRef(λ,T1) + ISref(λ,T1))), wobei IP(λ,T1) einem während der ersten Zeitspanne T1 gemessenen Probenintensitätsspektrum, ISP(λ,T1) einer während der ersten Zeitspanne T1 gemessenen Intensität des Streulichts bei einer Messung eines Probenintensitätsspektrums, IRef(λ,T1) einem während der Zeitspanne T1 gemessenen Referenzintensitätsspektrum und ISref(λ,T1) einer während der Zeitspanne T1 gemessenen Intensität des Streulichts bei einer Messung eines Referenzintensitätsspektrums entspricht. Alle Intensitäten sind außerdem von einer Wellenlänge abhängig.
  • Die oben bereits erwähnte Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, mit der die o. g. Aufgabe mit dem vorstehend beschriebenen Verfahren und dessen Ausgestaltungen gelöst wird, zeichnet sich im Wesentlichen durch Mittel aus, die zum Ausführen einzelner Verfahrensschritte, die von dem Verfahren und dessen Ausgestaltungen umfasst sind, vorgesehen sind. Insoweit kann im Wesentlichen auch auf die vorangehende Beschreibung des Verfahrens und dessen Ausgestaltungen verwiesen werden. Bei dem Mittel zur Erzeugung eines optischen Referenzkanals zur Messung eines Referenzintensitätsspektrums kann es sich z. B. um einen Reflexionsstandard handeln, der in einen Teilbereich der Strahlung aus der Lichtquelle eingebracht wird und somit einen Teil der Strahlung reflektiert, bevor er die Messprobe erreicht. Dieser Reflexionsstandard kann z. B. ein Weißstandard sein, der die darauf einfallende Strahlung vollständig reflektiert. Die Messung des Proben- und Referenzintensitätsspektrums und entsprechend auch der Streulichtintensität ist sowohl in Reflexion als auch in Transmission möglich. Bei einer Messung in Transmission ist eine Erzeugung eines optischen Referenzkanals beispielsweise mit einer Messzelle, die keine Messprobe enthält, und in einen Teilbereich der Strahlung eingebracht wird, möglich. Bei dem Mittel zum Abschalten einer Strahlung von oder zu der Messprobe kann es sich z. B. um einen Shutter handeln, der zwischen Lichtquelle und Messprobe oder zwischen Messprobe und dem Spektraldetektor angeordnet sein kann und bei entsprechender Stellung die Strahlung von oder zu der Messprobe sperrt und dabei die Strahlung in den Referenzkanal passieren lässt. Als Mittel zum Abschalten der Strahlung von der Messprobe kann auch ein Multiplexer verwendet werden. Der Filterträger, mit dem ein Sperrbandfilter oder ein Bandpassfilter in den Referenzkanal eingebracht werden kann, kann vor oder hinter dem Mittel zur Erzeugung des Referenzkanals und vor oder hinter dem Mittel zum Abschalten einer Strahlung von oder zu der Messprobe angeordnet sein oder z. B. auch in das Mittel zum Abschalten der Strahlung von oder zu der Messprobe integriert sein. Der Filterträger kann z. B. drehbar ausgeführt sein und dabei mehrere Flächen mit unterschiedlichen Transmissionseigenschaften aufweisen, mit denen je nach Stellung beispielsweise eine vollständige Transmission zur Messung des Referenzintensitätsspektrums, eine Abschaltung zur Messung des Probenintensitätsspektrums oder eine Sperrung bestimmter Wellenlängenbereiche zur Messung des Streulichts realisiert werden kann. Der Filterträger kann z. B. auch als Verlaufsfilter ausgelegt sein, wodurch eine Vielzahl spektraler Regionen ermöglicht wird.
  • Das weiter oben skizzierte und nachfolgend näher erläuterte Verfahren wird bevorzugt in Software und/oder Firmware implementiert, so dass die Erfindung auch ein Computerprogramm mit durch einen Computer ausführbaren Programmcodeanweisungen betrifft. Insoweit betrifft die Erfindung dann auch ein Speichermedium mit einem durch einen Computer ausführbaren derartigen Computerprogramm.
  • Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Einander entsprechende Gegenstände oder Elemente sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Das oder jedes Ausführungsbeispiel ist nicht als Einschränkung der Erfindung zu verstehen. Vielmehr sind im Rahmen der vorliegenden Offenbarung zahlreiche Abänderungen und Modifikationen möglich, insbesondere solche Varianten und Kombinationen, die zum Beispiel durch Kombination oder Abwandlung von einzelnen in Verbindung mit den im allgemeinen oder speziellen Beschreibungsteil beschriebenen sowie in den Ansprüchen und/oder der Zeichnung enthaltenen Merkmalen bzw. Elementen oder Verfahrensschritten für den Fachmann im Hinblick auf die Lösung der Aufgabe entnehmbar sind und durch kombinierbare Merkmale zu einem neuen Gegenstand oder zu neuen Verfahrensschritten bzw. Verfahrensschrittfolgen führen.
  • Es zeigen
  • 1 ein Beispiel für einen Aufbau einer Vorrichtung zur Messung eines Proben- und Referenzintensitätsspektrums zur Erkennung von Streulichteffekten in Reflexion,
  • 2 ein Beispiel für einen Aufbau einer Vorrichtung zur Messung eines Proben- und Referenzintensitätsspektrums zur Erkennung von Streulichteffekten in Transmission mit einem Multiplexer,
  • 3 ein Beispiel für einen Aufbau einer Vorrichtung zur Messung eines Proben- und Referenzintensitätsspektrums zur Erkennung von Streulichteffekten in Transmission mit einem Shutter,
  • 46 vereinfachte Beispiele für ein mit verschiedenen Sperrbandfiltern gemessenes Referenzintensitätsspektrum,
  • 7 ein Beispiel für ein mit einem Bandpassfilter gemessenes Referenzintensitätsspektrum,
  • 8 eine graphisch Darstellung eines Zusammenhangs zwischen Extinktionswerten gemessener, fehlerbehafteter Intensitätsspektren und idealen, nicht durch Streulichteffekte beeinflussten Intensitätspektren und
  • 9 eine graphische Darstellung mit Beispielen für eine Abweichung von einer Linearität eines Extinktionswerts aufgrund von Streulicht.
  • 1 zeigt ein Beispiel für eine Vorrichtung 10 zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums in Reflexion. Dabei fällt Strahlung 12 aus einer Lichtquelle 14 auf eine Messprobe 16 und wird dort reflektiert. Die von der Messprobe 16 reflektierte Strahlung 12 muss einen Shutter 18 als Mittel zum Abschalten der Strahlung 12 von der Messprobe 16 passieren, damit ein Probenintensitätsspektrum von einem Spektraldetektor 18 detektiert wird. Ist der Shutter 18 in einer Stellung wie in 1 gezeigt, ist die Strahlung 12 von der Messprobe 16 abgeschaltet. Stattdessen wird ein Teil der Strahlung 12, der z. B. an einem Reflexionsstandard 24 als Mittel zur Erzeugung eines Referenzkanals 22 vollständig reflektiert wird, als Referenzintensitätsspektrum gemessen. Die Strahlung 12 in dem Referenzkanal 22 passiert dazu zunächst den geöffneten Shutter 18. Hinter dem Shutter 18 ist ein drehbarer Filterträger 26 in dem Referenzkanal 22 angeordnet, der mehrere Flächen 28, 30, 32, 34 mit verschiedenen Transmissionseigenschaften umfasst, die jeweils als ein Sperrbandfilter 36 oder Bandpassfilter 38 verwendet werden, sowie eine schwarze Fläche 40 und eine vollständig transparente Fläche 42 umfasst. Zur Messung des Referenzintensitätsspektrums weist der Filterträger 26 eine Stellung auf, in der sich die vollständig transparente Fläche 42 im Referenzkanal 22 befindet. Die Strahlung 12 in dem Referenzkanal 22 passiert also zur Messung des Referenzintensitätsspektrums die vollständig transparente Fläche 42 und wird dann über eine Optik 44 in eine optische Faser 46 gebrochen, über die die Strahlung 12 zum Spektraldetektor 20 weitergeleitet wird. Durch eine Drehung des Filterträgers 26 kann jeweils eine Fläche 2834 als Sperrbandfilter 36 oder Bandpassfilter 38 in den Referenzkanal 22 eingebracht werden und damit Messungen durchgeführt werden, die eine Auswertung zur Bestimmung der Streulichteffekte ermöglichen.
  • 2 zeigt ein Beispiel für eine Vorrichtung 10 zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums in Transmission. Ein Teil der Strahlung 12 passiert eine Messprobe 16, ein anderer Teil einen Referenzkanal 22. Bei der Messung in Transmission kann als Mittel zur Erzeugung des Referenzkanals 22 z. B. eine Messzelle 48 ohne Messprobe 16 verwendet werden. Eine von der Messprobe 16 transmittierte und durch den Referenzkanal 22 geleitete Strahlung 12 treffen auf einen Multiplexer 50 und können jeweils als einzelnes Signal 52 dem Spektraldetektor 20 zugeführt werden, mit dem die Messung eines Proben- und Referenzintensitätsspektrums erfolgt. Hier wird somit der Multiplexer 50 als Mittel zum Abschalten der Strahlung 12 von der Messprobe 16 eingesetzt. In einem Teilbereich der Strahlung 12, die durch den Referenzkanal 22 transmittiert wird, ist, z. B. auf einem Filterträger 26 wie in 1 gezeigt, das Sperrbandfilter 36 oder das Bandpassfilter 38 angeordnet. Der Filterträger kann z. B. drehbar ausgeführt sein. Die Strahlung 12, die den Filterträger 26 mit dem Sperrbandfilter 36 oder dem Bandpassfilter 38 passiert, wird zur Messung einer Intensität 54 (4) zur Bestimmung des Streulichts verwendet. Der Filterträger 26 kann auch direkt hinter der Lichtquelle 14 angeordnet sein.
  • 3 zeigt ein weiteres Beispiel für eine Vorrichtung 10 zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums in Transmission. Statt des Multiplexers 50 (2) wird hier wie in 1 ein Shutter 18 als Mittel zum Abschalten der Strahlung 12 zu der Messprobe 16 oder in den Referenzkanal 22 verwendet, der hinter der Lichtquelle 14 angeordnet ist. Damit wird die Strahlung 12 entweder nur zur Messprobe 16 zur Messung des Probenintensitätsspektrums, wie in 3 dargestellt, oder nur in den Referenzkanal 22 zur Messung des Referenzintensitätsspektrums mit und ohne Sperrbandfilter 36 oder Bandpassfilter 38 durchgelassen. Der Filterträger 26 mit dem Sperrband- oder Bandpassfilter 36, 38 wird zur Messung der Intensität zur Bestimmung des Streulichts in den gesamten Strahlengang der Strahlung 12 in dem Referenzkanal 22 eingebracht. Auch hier ist eine drehbare Ausführung des Filterträgers 26 möglich. Alternativ kann der Filterträger 26 auch direkt vor oder hinter dem Shutter 18 angeordnet sein oder in den Shutter 18 integriert sein. Bei einem in den Shutter 18 integrierten Filterträger 26 umfasst dieser eine schwarze und eine vollständig transparente Fläche 40, 42 (1), mit der die Strahlung 12 zur Messprobe 16 oder in den Referenzkanal 22 komplementär an- und abgeschaltet werden kann.
  • 4, 5 und 6 zeigen jeweils ein vereinfachtes Beispiel für Messungen der Intensität 54 mit einem Sperrbandfilter 36 (1) in einem Referenzkanal 22 (1) in Abhängigkeit von einer Wellenlänge λ. Das Spektrum der Intensität 54 ist in eine erste, zweite, dritte und vierte spektrale Region 56, 58, 60, 62 eingeteilt. Das Sperrbandfilter 36 sperrt in diesen Beispielen jeweils ein Wellenlängenband innerhalb der zweiten spektralen Regionen 58. 4 stellt dabei eine Messung mit einem üblichen Sperrbandfilter 36, 5 eine Messung mit einem Sperrbandfilter 36 für Laseranwendungen und 6 eine Messung mit einem Sperrbandfilter 36 zur Realisierung von Multibandpässen dar. Zur Auswertung der Streulichteffekte wird eine Messung der Intensität 54 außerdem mit drei weiteren Sperrbandfiltern 36 durchgeführt, die jeweils ein Wellenlängenband in einer der anderen spektralen Regionen 56, 60, 62 sperren. Die Messung der Intensität wird hier für eine erste Zeitspanne T1 durchgeführt. In die gesperrte zweite spektrale Region 58 gelangt hauptsächlich Streulicht, weshalb in diesem Bereich ein so geringe Intensität 54 gemessen wird, dass sie in 4-6 im Vergleich zu der Intensität 54 in der ersten, dritten und vierten spektralen Region 56, 60, 62 nicht darstellbar ist. Die Messung der Intensität 54 kann deshalb für eine zweite Zeitspanne T2 wiederholt werden, die größer als die erste Zeitspanne T1 ist. Mithilfe der Messungen der Intensität 54 wird ein Sperrbereich 64 ermittelt, der durch eine minimale und eine maximale Wellenlänge 66, 68 einen Bereich innerhalb der zweiten spektralen Region 58 eingrenzt, in dem eine Transmissionseigenschaft des Sperrbandfilters 36 einen vorgegebenen Schwellwert nicht überschreitet. Dieser Schwellwert ist so festgelegt, dass eine in dem Sperrbereich 64 aufgrund von Streulicht gemessene Inten sität 54 nicht durch eine durch das Sperrbandfilter 36 transmittierte Strahlung 12 verfälscht oder überdeckt wird. Ein solcher Sperrbereich 64 wird für jede spektrale Region 5662 für die dafür verwendeten Sperrbandfilter 36 bestimmt. Eine Größe des Sperrbereichs 64 innerhalb einer spektralen Region 56-62 ist abhängig von dem verwendeten Sperrbandfilter 36 und der jeweiligen Anwendung, wie 4-6 zeigen. Bei Verwendung eines Sperrbandfilters 36 entsteht eine Intensität 54 in dessen Sperrbereich 64 hauptsächlich durch Streulicht von der Strahlung 12 der ersten, dritten und vierten Region 56, 60, 62. Durch Messung der Intensität 54 in den spektralen Regionen 5662 unter Verwendung eines Sperrbandfilters 36 für jeweils eine Messung und für jede spektrale Region 5662 können Streulichteinflüsse der unterschiedlichen spektralen Regionen 5662 bestimmt werden. Sie werden in einer Wichtungsmatrix eingetragen, mit der das Proben- und Referenzintensitätsspektrum multipliziert wird, um eine Streulichtintensität des Proben- bzw. Referenzintensitätsspektrums zu erhalten.
  • 7 zeigt eine vereinfachte graphische Darstellung einer Intensität 54 in Abhängigkeit von der Wellenlänge λ, wobei die Messung mit einem Bandpassfilter 38 (1) in der zweiten spektralen Region 58 und während einer ersten Zeitspanne T1 durchgeführt wurde. Im Gegensatz zu dem Sperrbandfilter 36, das Strahlung 12 (1) in einer der spektralen Regionen 5662 sperrt, wird bei dem Bandpassfilter 38 nur Strahlung 12 in eine spektrale Region 5662, in diesem Fall in die zweite spektrale Region 58 durchgelassen und die übrigen spektralen Regionen 56, 60, 62 gesperrt. In diesen spektralen Regionen 56, 60, 62 lässt sich nun ein Einfluss des Streulichts, das durch Strahlung 12 in die zweite spektrale Region 58, entsteht, messen. Der Streulichteinfluss einer spektralen Region 5662 auf die anderen spektralen Regionen 5662 ist meist so gering, dass eine Messung während einer längeren, zweiten Zeitspanne T2 erforderlich ist, um auswertbare Intensitäten 54 zu erhalten. Auch für das Bandpassfilter 38 wird ein Bereich bestimmt, der von einer minimalen und maximalen Wellen länge 66, 68 eingegrenzt wird. Dies ist der Passbereich 70 des Bandpassfilters 38, welcher einen Bereich definiert, außerhalb welchem eine Transmissionseigenschaft des Bandpassfilters 38 einen vorgegebenen Schwellwert nicht überschreitet. Wie schon in Bezug auf 46 und das Sperrbandfilter beschrieben, werden Messungen mit insgesamt vier Bandpassfiltern 38 durchgeführt, die jeweils einen Passbereich 70 innerhalb einer der spektralen Regionen 5662 aufweisen. Mit diesen Messungen der Intensität 54 kann das Streulicht in Abhängigkeit von einer Wellenlänge definiert werden. Eine Streulichtintensität des Proben- und Referenzintensitätsspektrums wird wiederum durch Multiplikation des Proben- bzw. Referenzintensitätsspektrums mit einer Wichtungsmatrix bestimmt werden, wobei jeder Eintrag der Wichtungsmatrix einen Wichtungsfaktor darstellt, in dem das Verhältnis einer Intensität 54 in einer der spektralen Regionen 5662 zu einer Intensität 54 im Passbereich 70 des Bandpassfilters 38 ausgewertet wird.
  • 8 zeigt eine graphisch Darstellung eines Zusammenhangs zwischen Extinktionswerten gemessener, fehlerbehafteter Intensitätsspektren und idealer, nicht durch Streulichteffekte beeinflusster Intensitätsspektren für eine erste und zweite Messung 72, 74 mit verschiedenen Streulichtpegeln. Auf der Abszisse sind die idealen Extinktionswerte in AU und auf der Ordinate gemessene Extinktionswerte in AU aufgetragen. Bei der ersten Messung 72 entspricht das Streulicht der Messung 0,05 Prozent, bei der zweiten Messung 74 entspricht es 0,1 Prozent. Bis etwa 1,5 AU ist der Zusammenhang zwischen den idealen und den gemessenen Extinktionswerten linear, danach bleiben die gemessenen Extinktionswerte unterhalb der idealen. Je größer dabei der Streulichtpegel ist, desto größer ist die Abweichung von der Linearität. Bei der zweiten Messung 74 fällt die Abweichung ab etwa 2,5 AU deutlicher aus als bei der ersten Messung 72.
  • Auch in 9 wird die Abweichung der Extinktionswerte von einer Linearität deutlich. In der graphischen Darstellung sind die idealen Extinktionswerte in AU auf der Abszisse und die Abweichung der gemessenen zu den idealen Werten aufgrund von Streulicht auf der Ordinate für die bereits in 8 dargestellten Messungen 72, 74 aufgetragen. Je höher der Streulichtpegel ist, desto größer ist auch die Abweichung von den idealen Extinktionswerten. Extinktionswerte ab 2,5 AU weisen, vor allem bei der zweiten Messung 74, bereits deutliche Abweichungen auf.
  • Die Messungen der Streulichtintensität des Proben- und Referenzintensitätsspektrums ermöglichen eine Korrektur des Extinktionswerts, da sie bei der Berechnung des Extinktionswerts berücksichtigt werden. Dadurch kann der Bereich, in dem der Zusammenhang zwischen den idealen und gemessenen Extinktionswerten linear ist, auf höhere Extinktionswerte ausgedehnt werden.
  • Damit lässt sich die Erfindung kurz wie folgt darstellen: Es wird ein Verfahren zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums, wobei Strahlung 12 aus einer Lichtquelle 14 auf eine Messprobe 16 fällt und ein Probenintensitätsspektrum von einem Spektraldetektor 20 gemessen wird, angegeben, bei dem folgende Schritte vorgesehen sind: Eine Strahlung 12 zu oder von der Messprobe 16 wird abgeschaltet und eine Strahlung 12 in einem Referenzkanal 22 wird als Referenzintensitätsspektrum gemessen. Das Referenzintensitätsspektrum wird in mindestens zwei spektrale Regionen 5662 unterteilt. Ein Sperrbandfilter 36 oder ein Bandpassfilter 38, das ein Wellenlängenband der Strahlung 12 innerhalb einer der spektralen Regionen 5662 sperrt bzw. passieren lässt, wird in den Referenzkanal 22 eingebracht und eine erste Messung einer Intensität 54 über den Referenzkanal 22 mit aktivem Sperrbandfilter 36 bzw. Bandpassfilter 38 wird durchgeführt. Zumindest eine weitere, von der ersten Messung unabhängige Messung der Intensität 54 mit zumindest einem weiteren Sperrbandfilter 36 bzw. Bandpassfilter 38, das innerhalb einer anderen der mindestens zwei spektralen Regionen 5662 aktiv ist, wird durchgeführt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 11030552 A [0006]
    • - EP 0729017 B1 [0007]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - ASTM E387 [0005]

Claims (9)

  1. Verfahren zur Erkennung von Streulichteffekten bei der Erfassung eines Intensitätsspektrums, wobei Strahlung (12) aus einer Lichtquelle (14) auf eine Messprobe (16) fällt und ein Probenintensitätsspektrum von einem Spektraldetektor (20) gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, dass nach Messung des Probenintensitätsspektrums eine Strahlung (12) von der Messprobe (16) abgeschaltet wird und eine Strahlung (12) in einem Referenzkanal (22) als Referenzintensitätsspektrum gemessen wird, dass das Referenzintensitätsspektrum in mindestens zwei spektrale Regionen (56, 58, 60, 62) unterteilt wird, dass ein Sperrbandfilter (36) oder ein Bandpassfilter (38) in den Referenzkanal (22) eingebracht wird, das ein Wellenlängenband der Strahlung (12) innerhalb einer der spektralen Regionen (5662) sperrt bzw. passieren lässt, und eine erste Messung einer Intensität (54) über den Referenzkanal (22) mit aktivem Sperrbandfilter (36) oder Bandpassfilter (38) durchgeführt wird, dass zumindest eine weitere, von der ersten Messung unabhängige Messung der Intensität (54) mit zumindest einem weiteren Sperrbandfilter (36) bzw. Bandpassfilter (38), das innerhalb einer anderen der mindestens zwei spektralen Region (5662) aktiv ist, durchgeführt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei jede Messung während jeweils einer vorgegebenen oder vorgebbaren ersten Zeitspanne durchgeführt wird und wobei jede Messung erneut während einer vorgegebenen oder vorgebbaren zweiten Zeitspanne durchgeführt wird, die größer als die erste Zeitspanne ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei für jede spektrale Region eine in der jeweiligen spektralen Region (5662) liegende minimale und maximale Wellenlänge (66, 68) bestimmt werden und jede Messung mit Wirkung für jede spektrale Region (5662) in Bezug auf die minimale und maximale Wellenlänge (66, 68) durchgeführt wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die minimale und maximale Wellenlänge (66, 68) für jedes Sperrbandfilter (36) oder jedes Bandpassfilter (38) einen Sperrbereich (64) bzw. Passbereich (70) eingrenzen, innerhalb bzw. außerhalb welchem eine Transmissionseigenschaft des Sperrbandfilters (36) bzw. Bandpassfilters (38) einen vorgegebenen oder vorgebbaren Schwellwert nicht überschreitet.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei eine Wichtungsmatrix bestimmt wird, in der jeder Eintrag einen Wichtungsfaktor bildet, der auf Basis einer Intensität (54) innerhalb des Sperrbereichs (64) bzw. außerhalb des Passbereichs (70) in Bezug auf die spektralen Regionen (5662) bestimmt wird, wobei eine Streulichtintensität des Probenintensitätsspektrums und des Referenzintensitätsspektrum durch Gewichtung, insbesondere Multiplikation, des gemessenen Probenintensitätsspektrums und des gemessenen Referenzintensitätsspektrums mit der Wichtungsmatrix bestimmt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei durch eine Subtraktion der Streulichtintensität des Probenintensitätsspektrums von dem gemessenen Probenintensitätsspektrum ein erster Wert bestimmt wird und durch Subtraktion der Streulichtintensität des Referenzintensitätsspektrums von dem gemessenen Referenzintensitätsspektrum ein zweiter Wert bestimmt wird und wobei ein Quotient aus dem ersten und dem zweiten Wert als ein Maß für einen korrigierten Extinktionswert der auf die Messprobe (16) einfallenden Strahlung (12) bestimmt wird.
  7. Vorrichtung (10) zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, mit einem Mittel (24, 48) zur Erzeugung eines optischen Referenzkanals (22) zur Messung eines Referenzintensitätsspektrum mit dem Spektraldetektor (20), mit einem Mittel (18, 50) zum Abschalten einer Strahlung von der Messprobe (16) und mit einem Filterträger (26) für ein Sperrbandfilter (36) oder ein Bandpassfilter (38).
  8. Computerprogramm mit durch einen Computer ausführbaren Programmcodeanweisungen zur Implementierung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wenn das Computerprogramm auf einem Computer ausgeführt wird.
  9. Computerprogrammprodukt, insbesondere Speichermedium, mit einem durch einen Computer ausführbaren Computerprogramm gemäß Anspruch 8.
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