DE102008063157B4

DE102008063157B4 - Conveying a solid-liquid mixture

Info

Publication number: DE102008063157B4
Application number: DE102008063157.4A
Authority: DE
Inventors: Andreas Büchner; Andreas Schöllner
Original assignee: X Fab Semiconductor Foundries GmbH
Current assignee: X Fab Semiconductor Foundries GmbH
Priority date: 2008-12-24
Filing date: 2008-12-24
Publication date: 2019-08-14
Anticipated expiration: 2028-12-25
Also published as: DE102008063157A1

Abstract

Verfahren zum Fördern eines Feststoff-Flüssigkeits-Gemisches (25) aus einer Sammelvorrichtung (3) über einen Druckbehälter (1) zu einer Entsorgungseinheit (2), wobei der Druckbehälter (1) über eine Saugleitung (4) mit der Sammelvorrichtung (3) und über eine Abflussleitung (7) mit der Entsorgungseinheit (2) strömungsverbunden ist und die Saugleitung (4) mittels einer ersten Absperrvorrichtung (5) und die Abflussleitung (7) mittels einer zweiten Absperrvorrichtung (8) gegenüber dem Druckbehälter (1) druckdicht absperrbar ist, das Verfahren mit den folgenden Schritten
a) Erzeugen eines gegenüber einem Druck in der Sammelvorrichtung (3) abgesenkten Drucks in dem Druckbehälter (1);
b) Freigeben der Saugleitung (4) durch Öffnen der ersten Absperrvorrichtung (5), wodurch das Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch (25) aufgrund der erzeugten Druckdifferenz zwischen Sammelvorrichtung (3) und Druckbehälter (1) aus der Sammelvorrichtung (3) in den Druckbehälter (1) gesaugt wird;
c) Absperren der Saugleitung (4) durch Schließen der ersten Absperrvorrichtung (5), bevor der Druckbehälter (1) das Druckniveau der Sammelvorrichtung (3) erreicht;
d) nachfolgendes Öffnen der zweiten Absperrvorrichtung (8), wobei der Druck in der Entsorgungseinheit (2) bei geöffneter zweiter Absperrvorrichtung (8) zumindest zeitweise höher ist als der Druck im Druckbehälter (1);
e) wobei nach dem Öffnen der zweiten Absperrvorrichtung (8) Gas von einem Unterdruck im Druckbehälter (1) aus der Entsorgungseinheit (2) gesaugt wird, das Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch (25) im Druckbehälter (1) durch das angesaugte Gas aus der Entsorgungseinheit (2) bewegt und durchmischt wird und in der Abflussleitung (7) das Gas aus der Entsorgungseinheit (2) und das Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch (25) aus dem Druckbehälter (1) im Gegenstrom strömen.

A method for conveying a solid-liquid mixture (25) from a collecting device (3) via a pressure vessel (1) to a disposal unit (2), wherein the pressure vessel (1) via a suction line (4) with the collecting device (3) and via a drain line (7) with the disposal unit (2) is flow-connected and the suction line (4) by means of a first shut-off device (5) and the drain line (7) by means of a second shut-off device (8) against the pressure vessel (1) pressure-tight shut off the procedure with the following steps
a) generating a relative to a pressure in the collecting device (3) lowered pressure in the pressure vessel (1);
b) releasing the suction line (4) by opening the first shut-off device (5), whereby the solid-liquid mixture (25) due to the generated pressure difference between collecting device (3) and pressure vessel (1) from the collecting device (3) in the pressure vessel (1) is sucked;
c) shutting off the suction line (4) by closing the first shut-off device (5) before the pressure vessel (1) reaches the pressure level of the collecting device (3);
d) subsequent opening of the second shut-off device (8), wherein the pressure in the disposal unit (2) at the second shut-off device (8) is at least temporarily higher than the pressure in the pressure vessel (1);
e) wherein after opening the second shut-off device (8) gas from a negative pressure in the pressure vessel (1) from the disposal unit (2) is sucked, the solid-liquid mixture (25) in the pressure vessel (1) by the sucked gas from the Disposal unit (2) is moved and mixed and in the drain line (7) the gas from the disposal unit (2) and the solid-liquid mixture (25) flow from the pressure vessel (1) in countercurrent.

Description

Die Erfindung betrifft Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Fördern eines Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs aus einer Sammelvorrichtung zu einer Entsorgungseinheit, bevorzugt im Rahmen des Herstellens oder Bearbeitens von Halbleitern.The invention relates to a method and a device for conveying a solid-liquid mixture from a collecting device to a disposal unit, preferably in the context of manufacturing or processing of semiconductors.

Zur Förderung solcher Gemische sind aus dem Stand der Technik unterschiedliche Verfahren und Vorrichtungen bekannt, beispielsweise spezielle Schmutzwasser- oder Schlammpumpen und solche verwendende Verfahren. Es ist des Weiteren bekannt, Feststoff-Flüssigkeits-Gemische zu fördern, indem in einem Druckbehälter, in den ein Gemisch eingebracht werden soll, ein Unterdruck erzeugt wird, so dass das Gemisch durch die Wirkung des Unterdrucks in den Behälter gesaugt werden kann.To promote such mixtures, different methods and devices are known from the prior art, for example special wastewater or sludge pumps and methods using such. It is further known to promote solid-liquid mixtures by creating a negative pressure in a pressure vessel into which a mixture is to be introduced, so that the mixture can be sucked into the container by the action of the negative pressure.

WO 2005/102882 A1 , EP 289 057 A1 und AT 197740 B betreffen Anlagen zur Förderung von Feststoffen oder Schlamm und entsprechende Verfahren zum Fördern der Feststoffe bzw. des Schlamms. DE 38 30 544 A1 betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur kontinuierlichen Schüttgutaufgabe in eine pneumatische Förderanlage. Bei diesem Verfahren wird das Schüttgut (Bezugszeichen von dort) in einen Einschleusbehälter 8 und von diesem in einen Senderbehälter 4 gegeben, von dem aus es über einen Dosierkörper 6 in die Förderleitung 1 abgegeben wird. In der Schrift ist nicht gesagt, dass zwischen dem Senderbehälter 4 und der Förderleitung 1 eine Druckdifferenz besteht, die es ermöglichen könnte, dass Luft oder Gas von der Förderleitung 1 in den Senderbehälter 4 fließen kann. Es besteht nicht einmal eine direkte Verbindung zwischen dem drucklosen Senderbehälter 4 und der Förderleitung 1, da das Schüttgut von dem Senderbehälter 4 über die Dosiereinheit 6 zugeführt wird. WO 2005/102882 A1 . EP 289 057 A1 and AT 197740 B relate to solids or sludge production facilities and related processes for the transport of solids or sludge. DE 38 30 544 A1 relates to a method and apparatus for continuous bulk material feeding into a pneumatic conveyor. In this method, the bulk material (reference number from there) in a Einschleusbehälter 8th and from this into a transmitter container 4 given, from which it has a dosing 6 in the promotion line 1 is delivered. In the Scriptures is not said that between the transmitter box 4 and the support line 1 There is a pressure difference that could allow air or gas from the delivery line 1 in the transmitter container 4 can flow. There is not even a direct connection between the pressureless transmitter container 4 and the support line 1 because the bulk material from the sender container 4 via the dosing unit 6 is supplied.

Problematisch bei der Förderung der genannten Gemische ist, dass es aufgrund der im Gemisch vorliegenden Feststoffe oder Feststoff-Konglomerate zu starken Verschleißerscheinungen an Pumpen und anderen Funktionseinheiten der Vorrichtung kommen kann. Zahlreiche andere Funktionsstörungen treten ebenfalls hindernd auf, beispielsweise in Form von Ablagerungen und Verstopfungen. Im Betrieb der Fördervorrichtungen kommt es daher insgesamt zu Einschränkungen bis hin zum vollständigen Versagen.The problem with the promotion of said mixtures is that it may come due to the present in the mixture solids or solid conglomerates to severe wear on pumps and other functional units of the device. Numerous other dysfunctions also occur as a hindrance, for example in the form of deposits and blockages. In the operation of the conveyors, there are therefore total restrictions to the point of complete failure.

Die Förderbarkeit von Feststoff-Flüssigkeits-Gemischen und damit die zuvor beschriebene Problematik ist stark von der Art der Feststoffe und des Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs sowie der Feststoffkonzentration abhängig. Es gibt insbesondere Gemische, bei denen die Feststoffe in nachteiliger Weise zu größeren Partikeln konglomerieren, aufgrund ihrer körperlichen Struktur stark abrasiv wirken oder sich aufgrund ihrer zur Flüssigkeits stark unterschiedlichen Dichte schnell ablagern. Derartige Gemische sind mit bekannten Pumpen und Fördereinrichtungen zumindest schwierig förderbar.The conveyance of solid-liquid mixtures and thus the problem described above is highly dependent on the nature of the solids and the solid-liquid mixture and the solids concentration. There are in particular mixtures in which the solids disadvantageously conglomerate into larger particles, have a highly abrasive effect due to their physical structure or quickly deposit due to their density, which differs greatly from the liquid. Such mixtures are at least difficult to convey with known pumps and conveyors.

Ein solches zumindest schwierig zu förderndes Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch entsteht z. B. im Rahmen einer Halbleiterfertigung bei der Reinigung von Abgasen, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entstehen. Dabei fallen unter anderem Partikel, insbes. Siliziumoxidpartikel an, die eine sehr scharfkantige Struktur bei entsprechend hoher Härte besitzen. Die Siliziumoxidpartikel sind bedingt durch das Reinigungsverfahren mit der Flüssigkeit Wasser vermengt. Um ein vollautomatisches Reinigungsverfahren zu realisieren, ist das im Wesentlichen aus Wasser und Siliziumoxidpartikeln bestehende Gemisch gleichfalls automatisch aus der Abgasreinigungsanlage zu entfernen. Das Gemisch ist jedoch aufgrund seiner vorstehend beschriebenen Eigenschaften über bekannte Schmutzwasserpumpen nicht oder nur stark eingeschränkt förderfähig, da die Partikel aufgrund ihrer scharfkantigen Struktur eine hoch abrasive Wirkung besitzen und zusätzlich zu Konglomeratsbildung mit daraus folgenden Verstopfungen und demzufolge Verfahrensstörungen neigen.Such a solid-liquid mixture which is at least difficult to convey is produced, for example, by B. in the context of a semiconductor manufacturing in the purification of exhaust gases, which arise in the manufacture of semiconductor devices. Particles, in particular silica particles, which have a very sharp-edged structure with correspondingly high hardness, are obtained. Due to the cleaning process, the silica particles are mixed with the liquid water. In order to realize a fully automatic cleaning process, the mixture consisting essentially of water and silicon oxide particles is likewise to be automatically removed from the emission control system. Due to its properties described above, however, the mixture is not or only to a limited extent capable of being promoted via known sewage pumps, since the particles have a highly abrasive effect due to their sharp-edged structure and, in addition, tend to form conglomerates with consequent blockages and consequently process disturbances.

Die Aufgabe liegt darin, Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Fördern eines Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs aus einer Sammelvorrichtung zu einer Entsorgungseinheit zu erfinden, in denen stark abrasiv wirkende und zur Konglomeratsbildung neigende Feststoffanteile vollautomatisch gefördert werden können und Störungen durch Verstopfungen oder Ablagerungen sowie übermäßiger abrasiver Verschleiß an z. B. Pumpen verhindert wird. Ein besonderes Anwendungsgebiet soll die Halbleiter-Fertigung sein.The object is to invent methods and apparatus for conveying a solid-liquid mixture from a collection device to a disposal unit in which highly abrasive solids and prone to conglomerate solids can be promoted fully automatic and interference from clogging or deposits and excessive abrasive wear at z. B. pumps is prevented. A special field of application is semiconductor manufacturing.

Nach der Erfindung ist eine Lösung dieser Aufgabe das Verfahren zum Fördern eines Gemisches aus Feststoffen und Flüssigkeit gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 16. Dies fördert aus einer Sammelvorrichtung (Sammler) über einen Druckbehälter zu einer Entsorgungseinheit.According to the invention, a solution of this object is the method for conveying a mixture of solids and liquid according to claim 1 or claim 16. This promotes from a collecting device (collector) via a pressure vessel to a disposal unit.

Nach der Erfindung ist eine weitere Lösung dieser Aufgabe eine Vorrichtung zur Förderung eines Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs aus einer Sammelvorrichtung in eine Entsorgungseinheit gemäß Anspruch 12.According to the invention, a further solution to this problem is a device for conveying a solid-liquid mixture from a collecting device into a disposal unit according to claim 12.

Durch die erfindungsgemäße Lösung wird vermieden, dass das Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch durch eine direkt mechanisch auf das Gemisch einwirkende Pumpvorrichtung gefördert werden muss. Durch die Vermeidung des direkten Kontaktes zwischen Gemisch und Pumpvorrichtung ist diese bzw. sind diese der Abrasionswirkung des Gemisches nicht ausgesetzt. Die bei der Förderung des Gemisches auftretende Problematik ist in vorteilhafter Weise auf die von ihm durchströmten Einheiten und Querschnitte der Vorrichtung beschränkt. Da es sich hierbei im Sinne der Erfindung im Wesentlichen um Leitungen (Strömungswege oder Strömungspfade) sowie Behälter handelt, die vorzugsweise keine mechanisch bewegten Bauteile besitzen und den beim Betrieb auftretenden Belastungen entsprechend konfigurierbar sind, ist die erfindungsgemäße Vorrichtung robust und kann nahezu wartungsfrei betrieben werden.By means of the solution according to the invention, it is avoided that the solid-liquid mixture must be conveyed through a pumping device acting directly on the mixture mechanically. By avoiding the direct contact between the mixture and the pumping device, this or these are the abrasive action of the mixture not exposed. The problem occurring in the promotion of the mixture is limited in an advantageous manner to the units and cross-sections of the device through which it flows. Since, in the context of the invention, these are essentially conduits (flow paths or flow paths) and containers which preferably have no mechanically moved components and can be appropriately configured for the loads occurring during operation, the device according to the invention is robust and can be operated virtually maintenance-free.

Die zur Erzeugung von Unterdruck verwendeten und damit die Förderung des Gemisches bewirkenden Mittel sind vorzugsweise übliche Vakuumpumpen, die kostengünstig, wartungsfreundlich und weitgehend störungsfrei betrieben werden können. In diesem Zusammenhang wird im Folgenden aus Gründen der Einfachheit die Bezeichnung ‚Pumpe‘ (pneumatischer Art) verwendet. Sie erzeugt zwei Druckdifferenzen, Δp₁ und Δp₂ . Zwischen Sammler (Sammeleinrichtung) und Druckbehälter und zwischen diesem und Entsorgungseinheit entsteht jeweils eine der Druckdifferenzen (Anspruch 16).The means used to generate negative pressure and thus promote the mixture are preferably conventional vacuum pumps, which can be operated inexpensively, easy to maintain and largely trouble-free. In this connection, for the sake of simplicity, the term "pump" (pneumatic type) will be used hereinafter. It generates two pressure differences, Δp ₁ and Δp ₂ , Between collector (collecting device) and pressure vessel and between this and disposal unit arises in each case one of the pressure differences (claim 16).

Bevorzugt ist der Innendruck des Druckbehälters gegenüber dem Atmosphärendruck abgesenkt, so dass die beiden anderen Behälter, der Sammler und die Entsorgungseinheit mit Atmosphärendruck arbeiten können und beide Differenzdrücke, einer entlang je einer Verbindungsleitung entstehen können. Auch eine T-Verbindung mit einem MehrwegeVentil ist möglich, wobei bestimmte Leitungsabschnitte für beide Strömungswege verwendet werden. Ebenso kann die Druckdifferenz durch einen höheren Druck in der Entsorgungseinheit und in dem Sammler (der Sammeleinrichtung oder -vorrichtung) erzeugt werden, so dass der Druckbehälter auf Atmosphärendruck verbleiben kann, beispielsweise offen sein könnte.Preferably, the internal pressure of the pressure vessel is lowered relative to the atmospheric pressure, so that the two other containers, the collector and the disposal unit can operate at atmospheric pressure and both differential pressures, one along each of a connecting line can arise. A T-connection with a multi-way valve is also possible, whereby certain line sections are used for both flow paths. Likewise, the pressure differential may be generated by a higher pressure in the disposal unit and in the collector (the collector or device) so that the pressure vessel may remain at atmospheric pressure, for example open.

Das zu entsorgende oder zu fördernde Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch befindet sich in einer Sammelvorrichtung oder wird in eine solche eingebracht, bis eine für die Entsorgung ausreichende Menge gesammelt ist. Die Sammelvorrichtung kann beliebig ausgebildet sein, beispielsweise in Form eines offenen oder geschlossenen Behälters oder als Leitung. Größe, Form und Art der Sammelvorrichtung sind auf die Art und die Menge des zu fördernden und entsorgenden Gemischs abgestimmt. Die Einbringung des Gemisches in die Sammelvorrichtung kann in beliebiger Art erfolgen.The solid-liquid mixture to be disposed or conveyed is in a collecting device or is introduced into such until a sufficient amount for disposal has been collected. The collecting device may be of any desired design, for example in the form of an open or closed container or as a conduit. Size, shape and type of collection device are matched to the type and amount of mixture to be pumped and disposed of. The introduction of the mixture into the collecting device can be done in any manner.

Die Sammelvorrichtung ist strömungstechnisch, insbesondere hydraulisch oder pneumatisch, mit dem Druckbehälter verbunden (strömungs-verbunden). Dieser ist vorzugsweise als Unterdruck- oder Vakuumbehälter ausgebildet und steht wiederum mit der Entsorgungseinheit in Verbindung, in welche das Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch gefördert werden soll.The collecting device is fluidically, in particular hydraulically or pneumatically connected to the pressure vessel (flow-connected). This is preferably designed as a vacuum or vacuum container and in turn is in communication with the disposal unit in which the solid-liquid mixture is to be promoted.

Die Entsorgungseinheit ist von beliebiger Art. Es kann sich beispielsweise um eine gespülte oder ungespülte Abflussleitung entsprechender Abmessungen, eine weitere Sammelvorrichtung der zuvor beschriebenen Art, eine Filtrations- oder Trennvorrichtung, einen Abfallbehälter oder ähnliches handeln. Insbesondere ist die Entsorgungseinheit konzipiert, ein bestimmtes Luft- oder Gasvolumen zu enthalten oder sie steht mit der Umgebung in Verbindung.The disposal unit is of any type. It can be, for example, a flushed or un-flushed discharge line of corresponding dimensions, another collection device of the type described above, a filtration or separation device, a waste container or the like. In particular, the disposal unit is designed to contain a specific volume of air or gas or communicates with the environment.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung sind Sammelvorrichtung und/oder Druckbehälter und/oder Entsorgungseinheit über Leitungen oder Rohre miteinander verbunden, können jedoch auch unmittelbar aneinander angrenzen und strömungstechnisch miteinander verbunden sein (über Strömungsverbindungen). Sammelvorrichtung, Druckbehälter, Entsorgungseinheit sowie ggf. vorhandene Leitungen oder Rohre als Verbinder (Strömungspfade oder -wege) weisen eine geeignete Widerstandsfähigkeit gegen die abrasive Wirkung des Gemisches auf, beispielsweise durch entsprechende Werkstoffauswahl, Panzerung oder Formgebung.According to one embodiment of the invention collecting device and / or pressure vessel and / or disposal unit via lines or pipes are connected to each other, but can also be directly adjacent to each other and fluidly connected to each other (via flow connections). Collecting device, pressure vessel, disposal unit and possibly existing lines or pipes as connectors (flow paths or paths) have a suitable resistance to the abrasive action of the mixture, for example by appropriate choice of materials, armor or molding.

Durch die Evakuierung des Druckbehälters wird zwischen diesem und der Sammelvorrichtung eine Druckdifferenz erzeugt (Anspruch 16). Deren Größe hängt von zahlreichen Faktoren ab und kann grundsätzlich in weiten Bereichen eingestellt werden.By evacuating the pressure vessel, a pressure difference is generated between it and the collecting device (claim 16). Their size depends on numerous factors and can generally be adjusted in a wide range.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform herrscht in der Sammelvorrichtung Umgebungsdruck, wobei der Druck im Druckbehälter auf Werte unterhalb 60 kPa, vorzugsweise zwischen 20 kPa und 40 kPa abgesenkt wird. Die Druckdifferenz zwischen Druckbehälter und Sammelvorrichtung gewährleistet vorzugsweise, dass das Gemisch mit einer ausreichenden Geschwindigkeit bewegt wird, so dass Feststoff durch die Strömung mitgesogen wird und Absetzvorgänge vermieden werden können. Dies insbesondere beim Ansaugvorgang.According to a preferred embodiment, ambient pressure prevails in the collecting device, the pressure in the pressure vessel being lowered to values below 60 kPa, preferably between 20 kPa and 40 kPa. The pressure difference between the pressure vessel and the collection device preferably ensures that the mixture is agitated at a sufficient rate so that solids are entrained by the flow and settling operations can be avoided. This particular during the intake process.

Während der Evakuierung des Druckbehälters oder dem Druckbeaufschlagen des Sammlers (der Sammelvorrichtung), ist der Druckbehälter gegenüber der Sammelvorrichtung und der Entsorgungseinheit druckdicht abgesperrt. Die Absperrung zwischen Sammelvorrichtung und Druckbehälter erfolgt mittels einer ersten Absperrvorrichtung, beispielsweise in Form eines üblichen steuerbaren Absperrventils, das in einem Strömungsweg zwischen Druckbehälter und Sammelvorrichtung angeordnet ist. Die Absperrung des Druckbehälters gegenüber der Entsorgungseinheit erfolgt mittels einer zweiten (oder einer weiteren) Absperrvorrichtung, die ähnlich oder identisch zur ersten Absperrvorrichtung ausgeführt sein kann.During the evacuation of the pressure vessel or the pressurization of the collector (the collecting device), the pressure vessel against the collecting device and the disposal unit is pressure-tight shut off. The barrier between collecting device and pressure vessel by means of a first shut-off device, for example in the form of a conventional controllable shut-off valve, which is arranged in a flow path between the pressure vessel and collecting device. The shut-off of the pressure vessel with respect to the disposal unit by means of a second (or another) shut-off device, similar or identical to the first shut-off device can be executed.

Unter einem Erzeugen eines gegenüber dem Druck in der Sammelvorrichtung abgesenkten Drucks in dem Druckbehälter nach Anspruch 1 ist auch ein Bewahren eines bereits vorliegenden Drucks verminderter Höhe zu verstehen.Producing a pressure which is reduced in relation to the pressure in the collecting device in the pressure vessel according to claim 1 is also to be understood as a preservation of an already existing pressure of reduced height.

Druckdicht im Sinne des Anspruchs 1 oder 12 bedeutet im Wesentlichen druckdicht. Es ist ausreichend, die Strömungswege so abzudichten, dass die gewünschten Druckwerte und Druckdifferenzen über eine zur Förderung des Gemisches ausreichende Zeitdauer in ausreichender Höhe aufrechterhalten werden.Pressure-tight in the sense of claim 1 or 12 means substantially pressure-tight. It is sufficient to seal the flow paths in such a way that the desired pressure values and pressure differences are maintained at a sufficient level for a sufficient time to convey the mixture.

Nach Einstellen des gewünschten Drucks im Druckbehälter respektive der ersten Druckdifferenz wird die erste Absperrvorrichtung zumindest teilweise, insbesondere schrittweise geöffnet, wodurch es aufgrund der Druckdifferenz zwischen Sammelvorrichtung und Druckbehälter zu einem Strömen, insbesondere einem Ansaugen des Gemisches aus der Sammelvorrichtung in den Druckbehälter kommt. Der Vorgang wird durch Schließen der ersten Absperrvorrichtung beendet.After setting the desired pressure in the pressure vessel respectively the first pressure difference, the first shut-off device is at least partially, in particular gradually opened, whereby it comes to flow, in particular a suction of the mixture from the collecting device into the pressure vessel due to the pressure difference between collecting device and pressure vessel. The process is terminated by closing the first shut-off device.

Die zuvor beschriebene Evakuierung des Druckbehälters kann vor dem Öffnen der ersten Absperrvorrichtung beendet werden, beispielsweise durch ein Abschalten der Pumpe oder durch ein druckdichtes Absperren der Verbindung zwischen Druckbehälter und Pumpe oder beides. Hierdurch wird vorteilhaft vermieden, dass das Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch, Feststoffpartikel oder andere Verunreinigungen aus dem Druckbehälter in die ‚Pumpe‘ gelangen und dort abrasiven Verschleiß oder andere Störungen hervorrufen können. Es ist jedoch auch möglich, den Druckbehälter über den Zeitpunkt des Öffnens der ersten Absperrvorrichtung hinaus kontinuierlich oder intermittierend während der nachfolgenden Schritte zu evakuieren, wodurch der Unterdruck (Minderdruck) im Druckbehälter oder die erste Druckdifferenz für eine längere Zeitdauer aufrechterhalten und ein Druckausgleich verzögert wird. In diesem Falle ist es vorteilhaft, zwischen dem Druckbehälter und der ‚Pumpe‘ geeignete Filtermedien vorzusehen, mit denen ein unerwünschtes Eindringen von Feststoffpartikeln in die ‚Pumpe‘ vermieden werden kann.The evacuation of the pressure vessel described above can be completed before opening the first shut-off device, for example by switching off the pump or by a pressure-tight shut-off of the connection between the pressure vessel and pump or both. In this way, it is advantageously avoided that the solid-liquid mixture, solid particles or other impurities from the pressure vessel into the 'pump' reach and there may cause abrasive wear or other disorders. However, it is also possible to continuously or intermittently evacuate the pressure vessel beyond the time of opening the first shut-off device during the subsequent steps, whereby the negative pressure (reduced pressure) in the pressure vessel or the first pressure difference is maintained for a longer period of time and a pressure compensation is delayed. In this case, it is advantageous to provide between the pressure vessel and the 'pump' suitable filter media with which an undesirable penetration of solid particles in the 'pump' can be avoided.

Das Strömen, insbesondere über ein Ansaugen, des Feststoff-Flüssigkeits-Gemisches durch Öffnen der ersten Absperrvorrichtung erfolgt über einen kurzen Zeitraum, beispielsweise 2 sec. Die Dauer des Vorganges hängt wie die Druckdifferenz zwischen Druckbehälter und Sammelvorrichtung von der Art und der Zusammensetzung des zu fördernden Gemisches ab und ist so auszuwählen, dass ein schnelles Bewegen des Gemisches ermöglicht wird. Die anzustrebende Strömungsgeschwindigkeit des Gemisches ist vorzugsweise so hoch, dass auch zum Absetzen neigende Feststoffpartikel oder Feststoffkonglomerate durch die Strömung mitgesogen werden, wodurch Verstopfungen zwischen Sammelvorrichtung und Druckbehälter vermieden werden können (Anspruch 18).The flow, in particular via suction, of the solid-liquid mixture by opening the first shut-off device takes place over a short period of time, for example 2 sec. The duration of the process depends on the type and composition of the product to be conveyed, like the pressure difference between the pressure vessel and the collecting device Mixture and is to be selected so that a rapid movement of the mixture is made possible. The aspired flow rate of the mixture is preferably so high that even for settling inclined solid particles or Feststoffkonglomerate be entrained by the flow, whereby blockages between collecting device and pressure vessel can be avoided (claim 18).

Der Ansaugvorgang kann mit Vorteil diskontinuierlich (ggf. intermittierend) periodisch erfolgen, wobei es durch die diskontinuierliche und ggf. intermittierende Strömung zu Verwirbelungen im Gemisch kommt, die eine fortwährende Durchmischung des Gemisches bewirken und Absetz- und Entmischungsvorgänge vermindern oder verhindern. In diesem Fall wird die ‚Pumpe‘ fortwährend unter Schaltung eines entsprechend angeordneten Absperrventils betrieben. Alternativ wird die pneumatische Pumpe intermittierend betrieben.The suction process can be carried out intermittently with advantage intermittently intermittently, whereby the discontinuous and possibly intermittent flow to turbulence in the mixture, which cause a continuous mixing of the mixture and reduce settling and demixing or prevent. In this case, the 'pump' is continuously operated by switching a correspondingly arranged shut-off valve. Alternatively, the pneumatic pump is operated intermittently.

Nach dem Schließen der ersten Absperrvorrichtung liegt in dem Druckbehälter eine bestimmte Menge des angesaugten Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs vor. In dem Druckbehälter herrscht zu diesem Zeitpunkt ein gegenüber der Entsorgungseinheit geringerer Druck. Dieses wird durch eine rechtzeitige Beendigung des Ansaugvorgangs vor Erreichen eines Druckgleichgewichts erzielt oder kann durch eine zumindest abschnittsweise länger anhaltende Evakuierung des Druckbehälters erzielt werden. Es wird nun die zweite Absperrvorrichtung geöffnet, die während des Ansaugens ein Abfluss vom Druckbehälter zu der Entsorgungseinheit (druckdicht) absperrte (Anspruch 1, Anspruch 16).After closing the first shut-off device, a certain amount of the sucked solid-liquid mixture is present in the pressure vessel. In the pressure vessel prevails at this time compared to the disposal unit lower pressure. This is achieved by a timely termination of the suction before reaching a pressure equilibrium or can be achieved by an at least partially longer lasting evacuation of the pressure vessel. Now, the second shut-off device is opened, the shut off a drain from the pressure vessel to the disposal unit (pressure-tight) during the suction (claim 1, claim 16).

Bei geöffneter zweiter Absperrvorrichtung herrscht zumindest zeitweise in dem Druckbehälter ein geringerer Druck als in der Entsorgungseinheit. Dieser verringerte Druck kann in der vorgenannten Weise erzeugt werden.When the second shut-off device is open, there is a lower pressure in the pressure vessel at least temporarily than in the disposal unit. This reduced pressure can be generated in the aforementioned manner.

Der Abfluss (Auslass) ist vorzugsweise im unteren Bereich des Druckbehälters und insbesondere an dessen tiefster Stelle angeordnet. Es schließt sich ein Strömungsweg an, beispielsweise als Rohr oder Leitungsabschnitt.The outflow (outlet) is preferably arranged in the lower region of the pressure vessel and in particular at its lowest point. This is followed by a flow path, for example as a pipe or line section.

Aufgrund der Druckdifferenz zwischen Entsorgungseinheit und Druckbehälter kommt es nach dem Öffnen der zweiten Absperrvorrichtung zu einem Einströmen von Luft oder Gas in den Druckbehälter. Luft- oder Gasblasen strömen durch den Abfluss entgegen der Abflussrichtung in den Druckbehälter und das dort befindliche Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch ein und steigen durch dieses auf. Es kommt hierdurch zu einer Bewegung und Durchmischung des im Druckbehälter befindlichen Gemisches, wodurch Absetzvorgänge von Feststoffpartikeln oder Konglomeratbildung eingeschränkt oder verhindert werden. Die Stärke der Bewegung des Gemisches kann durch die Höhe der Druckdifferenz eingestellt werden, da hierdurch die Einströmgeschwindigkeit der Luft oder des Gases bestimmt ist.Due to the pressure difference between the disposal unit and the pressure vessel occurs after opening the second shut-off device to an influx of air or gas into the pressure vessel. Air or gas bubbles flow through the drain against the direction of flow into the pressure vessel and the solid-liquid mixture located there and rise through this. This results in a movement and mixing of the mixture contained in the pressure vessel, whereby settling of solid particles or conglomerate formation are restricted or prevented. The The strength of the movement of the mixture can be adjusted by the height of the pressure difference, as this determines the inflow velocity of the air or the gas.

Der Abfluss des Druckbehälters ist dimensioniert, um trotz des Einströmens von Luft oder Gas (Luft-/Gas-Strömung) entgegen der Abflussrichtung des Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs aus dem Druckbehälter in die Entsorgungseinheit strömen kann. Ein Gegenstrombetrieb ist vorgesehen (Anspruch 1).The outflow of the pressure vessel is dimensioned to flow despite the inflow of air or gas (air / gas flow) against the outflow direction of the solid-liquid mixture from the pressure vessel into the disposal unit. A countercurrent operation is provided (claim 1).

Durch das Öffnen der zweiten Absperrvorrichtung wird somit ein Ausströmen des Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs aus dem Druckbehälter unter gleichzeitigem Einströmen von Luft/Gas bewirkt, so dass auch im weiteren Verlauf der Entleerung des Druckbehälters das in diesem vorliegende Gemisch bewegt wird, ein Absetzen der Feststoffe verhindert wird und diese zusammen mit der Flüssigkeitsausströmen können.By opening the second shut-off device, an outflow of the solid-liquid mixture from the pressure vessel is thus effected with simultaneous inflow of air / gas, so that even in the further course of the emptying of the pressure vessel, the present in this mixture is moved, settling the solids is prevented and these can flow out together with the liquid.

Das Einströmen von Luft/Gas und das Ausströmen des Gemischs kann auch über unterschiedliche Leitungen, also einen getrennten Abfluss und Zufluss erfolgen.The inflow of air / gas and the outflow of the mixture can also take place via different lines, ie a separate outflow and inflow.

Eine zeitliche Überdeckung zur Bewegung des Gemisches im Druckbehälter während dessen Entleerung ist vorteilhaft.A temporal overlap to the movement of the mixture in the pressure vessel during its emptying is advantageous.

Insbesondere nach der vollständigen Entleerung des Druckbehälters hat das beanspruchte Verfahren ein Schließen der zweiten Absperrvorrichtung. Vorzugsweise wird das Verfahren nach Anspruch 1, Merkmal (a) bis (e) vollständig oder teilweise periodisch wiederholt, wobei bei jeder Wiederholung des Verfahrens eine gewisse Teilmenge des Feststoff-Flüssigkeits-Gemisches aus der Sammelvorrichtung in die Entsorgungseinheit gefördert wird.In particular, after the complete emptying of the pressure vessel, the claimed method has a closing of the second shut-off device. Preferably, the method of claim 1, feature (a) to (e) is repeated completely or partially periodically, with each repetition of the process, a certain subset of the solid-liquid mixture is conveyed from the collection device into the disposal unit.

Die Evakuierung des Druckbehälters nach Merkmal (a) kann dabei jeweils zu Beginn jedes Verfahrensdurchlaufes, bei Überschreitung eines festzusetzenden Schwellen-Druckwerts im Druckbehälter (kennzeichnet nicht ausreichende Druckdifferenz), fortwährend während einzelner Verfahrensdurchläufe oder fortwährend bis zur vollständigen Entleerung der Sammelvorrichtung erfolgen (Anspruch 10).The evacuation of the pressure vessel according to feature (a) can in each case at the beginning of each process run, when exceeding a set threshold pressure value in the pressure vessel (indicates insufficient pressure difference) continuously during individual process runs or continuously until complete emptying of the collection device (claim 10) ,

Nach einer besonderen Ausführungsform ist vorgesehen, dass eine Belüftungsvorrichtung des Druckbehälters geöffnet wird, insbesondere bei geöffneter zweiter Absperrvorrichtung. Der Beginn der Belüftung des Druckbehälters sowie deren Dauer hängen von zahlreichen Verfahrensparametern ab. Die zusätzliche Belüftung des Druckbehälters soll ein schnelleres Ausströmen des Feststoff-Flüssigkeits-Gemischs aus dem Druckbehälter ermöglichen. Dabei ist je nach den jeweils vorliegenden Bedingungen darauf zu achten, dass die Belüftung nicht zu früh erfolgt, so dass im Druckbehälter vorliegendes Gemisch durch das zuvor beschriebene Einströmen von Luft oder Gas über den Abfluss und die zweite Absperrvorrichtung ausreichend bewegt wurde. Andererseits wäre die Folge, dass abgesetzter Feststoff ggf. nicht aus dem Druckbehälter entfernt werden kann. Es ist daher nach einer weiteren Ausführungsform vorgesehen, dass das Öffnen der Belüftungsvorrichtung mit einer zeitlichen Verzögerung nach dem Öffnen der zweiten Absperrvorrichtung erfolgt (Anspruch 6).According to a particular embodiment, it is provided that an aeration device of the pressure vessel is opened, in particular when the second shut-off device is open. The beginning of the aeration of the pressure vessel and its duration depend on numerous process parameters. The additional ventilation of the pressure vessel to allow a faster outflow of the solid-liquid mixture from the pressure vessel. Care must be taken, depending on the prevailing conditions, that the ventilation does not take place too early, so that the mixture present in the pressure vessel has been sufficiently moved by the above-described inflow of air or gas via the outflow and the second shut-off device. On the other hand, the consequence would be that settled solid may not be removed from the pressure vessel. It is therefore provided according to a further embodiment that the opening of the ventilation device takes place with a time delay after the opening of the second shut-off device (claim 6).

Die Verzögerung richtet sich nach den jeweils vorliegenden Bedingungen sowie den übrigen Verfahrensparametern. Sie kann derart ausgedehnt werden, dass die Belüftungsvorrichtung erst bei oder nach Erreichen eines Druckausgleichs (im Wesentlichen) zwischen Entsorgungseinheit und Druckbehälter geöffnet wird, bevorzugt aber größer als 2 sec.The delay depends on the prevailing conditions and the other process parameters. It can be expanded such that the ventilation device is opened only when or after reaching a pressure equalization (essentially) between disposal unit and pressure vessel, but preferably greater than 2 sec.

Von Vorteil ist, wenn bei der Durchführung der erfindungsgemäßen Verfahren (Anspruch 1, Anspruch 16) sowohl beim Einströmen des Gemisches in den als auch beim Ausströmen aus dem Druckbehälter eine ausreichend hohe Strömungsgeschwindigkeit erzielt wird, so dass Absetzvorgänge eingeschränkt oder verhindert werden.It is advantageous if in carrying out the inventive method (claim 1, claim 16) both when flowing the mixture into and out of the pressure vessel, a sufficiently high flow rate is achieved so that settling operations are limited or prevented.

Die Belüftung kann aus der Atmosphäre oder aus einem unter Druck stehenden Behälter erfolgen. Im letzteren Fall kann eine besonders schnelle Belüftung des Druckbehälters und somit dessen besonders schnelles Entleeren erzielt werden.The ventilation can be from the atmosphere or from a pressurized container. In the latter case, a particularly rapid ventilation of the pressure vessel and thus its particularly rapid emptying can be achieved.

Nach einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass das Gemisch in der Sammelvorrichtung zwangsbewegt wird. Dieses erfolgt vorzugsweise durch Einleiten von zusätzlichem Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch (Anspruch 8). Eine Zwangsbewegung durch Einleitung von Wasser, Luft, Gas oder anderen strömenden Medien, die eine Verwirbelung des Gemisches in der Sammelvorrichtung bewirken, ist gleichfalls denkbar.According to a further embodiment it is provided that the mixture is forcibly moved in the collecting device. This is preferably done by introducing additional solid-liquid mixture (claim 8). A forced movement by introduction of water, air, gas or other flowing media, which cause a turbulence of the mixture in the collecting device, is also conceivable.

Ein Einleiten einer Flüssigkeit, insbesondere Wasser, in die insbesondere nahezu vollständig entleerte Sammelvorrichtung ermöglicht in vorteilhafter Weise ein Ausspülen derselben, wodurch Feststoff- oder Gemisch-Rückstände vollständig entfernt werden können.Introducing a liquid, in particular water, into the collecting device, which is in particular almost completely emptied, advantageously allows the same to be rinsed out, as a result of which solid or mixture residues can be completely removed.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, dass der Druckbehälter in ähnlicher Weise gespült wird (Anspruch 9). Die Spülung erfolgt vorzugsweise nach Erreichen eines Druckausgleichs zwischen Entsorgungseinheit und Druckbehälter, kann jedoch schon früher einsetzen. Dabei ist unbeachtlich, ob in dem Druckbehälter vorliegendes Gemisch bereits vollständig ausgeströmt ist oder zumindest teilweise noch vorliegt, da durch den Spülvorgang Feststoff- und Gemisch-Rückstände bewegt werden und der Druckbehälter gereinigt wird.A further embodiment provides that the pressure vessel is flushed in a similar manner (claim 9). The flushing is preferably carried out after reaching a pressure equalization between the disposal unit and pressure vessel, but can start earlier. It is irrelevant whether present in the pressure vessel mixture has already completely emanated or at least partially is still present, since the rinsing process solid and mixture residues are moved and the pressure vessel is cleaned.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden beispielhaften Beschreibung einer besonders bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung und deren Arbeitsweise anhand der einzigen Figur.

1 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung und deren Funktionsweise (als Arbeitsverfahren).

Further features and advantages of the invention will become apparent from the following exemplary description of a particularly preferred embodiment of the device according to the invention and its operation with reference to the single figure.

1 shows a preferred embodiment of the device according to the invention and its operation (as a working method).

Die in der 1 schematisch dargestellte Vorrichtung besteht im Wesentlichen aus einem Vakuumbehälter 1 als Druckbehälter auch als Zwischenbehälter ohne Druckfestigkeit, einer Abwasserleitung 2 als Entsorgungseinheit sowie einer Sammelvorrichtung 3. Diese ist über eine Saugleitung 4 mit dem Vakuumbehälter 1 verbunden. In der Saugleitung 4 ist ein erstes Absperrventil 5 als erste Absperrvorrichtung angeordnet, das mittels einer nicht dargestellten Steuerung automatisch steuerbar oder regelbar ist. Der Vakuumbehälter 1 ist über einen Auslass 6 und eine Leitung 7 mit der Abwasserleitung 2 verbunden. In der Leitung 7 ist als zweite Absperrvorrichtung ein zweites Absperrventil 8 angeordnet, das ebenfalls automatisch steuerbar/regelbar ist. Der Abfluss 6 ist im unteren Bereich des Vakuumbehälters 1 an dessen tiefster Stelle angeordnet.The in the 1 schematically illustrated device consists essentially of a vacuum container 1 as a pressure vessel as an intermediate container without pressure resistance, a sewer 2 as a disposal unit and a collection device 3 , This is via a suction line 4 with the vacuum tank 1 connected. In the suction line 4 is a first shut-off valve 5 arranged as a first shut-off device which is automatically controlled or regulated by means of a control, not shown. The vacuum container 1 is over an outlet 6 and a line 7 with the sewer 2 connected. In the line 7 is a second shut-off a second shut-off valve 8th arranged, which is also automatically controlled / regulated. The drain 6 is in the lower part of the vacuum tank 1 arranged at its lowest point.

Im Bereich des Abflusses 6 und der Abwasserleitung 7 ist ein Sensor 9 angeordnet, mit dem Verstopfungen in der Leitung 7 sowie der Leerzustand des Vakuumbehälters 1 erfasst werden können.In the area of the drain 6 and the sewer 7 is a sensor 9 arranged with the blockages in the pipe 7 and the empty state of the vacuum container 1 can be detected.

Ein weiterer Sensor 10 ist an der Sammelvorrichtung 3 angeordnet und dient einer Erfassung deren Füllzustands, beispielsweise um ein Überlaufen der Sammelvorrichtung 3 automatisch zu verhindern.Another sensor 10 is at the collector 3 arranged and serves to detect their filling state, for example, to overflow the collecting device 3 automatically prevent.

Die Sammelvorrichtung 3 ist in ihrem oberen Bereich mit einer Belüftungsvorrichtung versehen, die aus einem Belüftungsventil 11 und einer Belüftungsleitung 12 besteht. Des Weiteren kann die Sammelvorrichtung 3 über eine Spülleitung 13, in deren Verlauf ein weiteres Absperrventil 14 angeordnet ist, mit Wasser oder einer anderen geeigneten Flüssigkeit gespült werden, um deren Reinigung zu ermöglichen. Die Spülleitung 13 ist über einen Hauptabsperrhahn 15 mit einem Anschluss 16 verbunden.The collection device 3 is provided in its upper part with a ventilation device consisting of a vent valve 11 and a ventilation duct 12 consists. Furthermore, the collection device 3 via a flushing line 13 , in the course of which another shut-off valve 14 is rinsed with water or other suitable liquid to allow their purification. The flushing line 13 is via a main stopcock 15 with a connection 16 connected.

Die Beschickung der Sammelvorrichtung 3 mit dem zu fördernden Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch 25, auch ‚Gemisch‘ genannt, kann in beliebiger Weise erfolgen und ist in der 1 nicht näher dargestellt.The loading of the collection device 3 with the solid-liquid mixture to be pumped 25 , also called 'mixture', can be done in any way and is in the 1 not shown in detail.

In dem, dem Abfluss 6 gegenüberliegenden oberen Bereich ist der Vakuumbehälter 1 mit einer kombinierten Belüftungs- oder Spülleitung 17 verbunden. Diese wiederum steht über ein Absperrventil 18 mit einer Vakuumpumpe 19 als Mittel zum Erzeugen eines Minderdrucks in dem Vakuumbehälter 1, über ein nicht notwendigerweise vorzusehendes fünftes Absperrventil 20 mit einem Drucksensor 21, über ein weiteres Absperrventil 22 mit dem Atmosphärendruck der Umgebung sowie über ein Absperrventil 23 mit dem Abschnitt 13a der Spülleitung 13 in Verbindung.In that, the drain 6 opposite upper area is the vacuum tank 1 with a combined ventilation or flushing line 17 connected. This in turn is via a shut-off valve 18 with a vacuum pump 19 as means for generating a reduced pressure in the vacuum container 1 , about a not necessarily to be provided fifth stop valve 20 with a pressure sensor 21 , via another shut-off valve 22 with the atmospheric pressure of the environment as well as a shut-off valve 23 with the section 13a the purge line 13 in connection.

Im oberen Bereich des Vakuumbehälters 1 (auch Zwischenbehälter) ist ein Sensor 24 vorgesehen. Weiter unten ist zugeordnet zum Behälter 1 ein Füllstandssensor 24a vorgesehen. Sensor 24 erfasst den Füllstand als maximalen Füllstand und ist deshalb weiter oben angeordnet. Sensor 24a ist für die an sich definiert maximale Füllung durch die Gemischmenge 25 vorgesehen, um bei Erreichen dieses Pegelstandes den Strömungspfad 6, 7 durch Öffnen des Ventils 8 zu öffnen, um die Wirkung des hier anstehenden Differenzdrucks Δp₂ einzusetzen.In the upper area of the vacuum tank 1 (also intermediate container) is a sensor 24 intended. Below is assigned to the container 1 a level sensor 24a intended. sensor 24 detects the level as the maximum level and is therefore located higher up. sensor 24a is for the per se defined maximum filling by the mixture amount 25 provided to reach this level, the flow path 6 . 7 by opening the valve 8th to open, to the effect of the pending differential pressure Δp ₂ use.

Im Folgenden wird beispielhaft der Verfahrensablauf bei der Förderung von in der Sammelvorrichtung 3 vorliegendem Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch 25 in die Abwasserleitung 2 beschrieben:The following is an example of the procedure in the promotion of in the collection device 3 present solid-liquid mixture 25 into the sewer 2 described:

Das bei beispielsweise einer Abgasreinigung entstandene Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch 25 in Form eines Wasser-Siliziumoxid-Gemisches wird in der Sammelvorrichtung 3 gesammelt. Mittels des Sensors 10 wird der Füllstand der Sammelvorrichtung 3 automatisch überwacht. Bei Erreichen einer kritischen Füllstandshöhe wird automatisch eine Förderung des Gemisches von der Sammelvorrichtung 3 in die Abwasserleitung 2 gestartet.The result in, for example, an exhaust gas purification solid-liquid mixture 25 in the form of a water-silica mixture is in the collection device 3 collected. By means of the sensor 10 becomes the level of the collection device 3 automatically monitored. Upon reaching a critical level height is automatically a promotion of the mixture from the collection device 3 into the sewer 2 started.

Je nach Konsistenz des Gemisches 25 besteht die Möglichkeit, über die Spülleitung 13, die Ventile 15,23 und den Anschluss 16 dem Gemisch 25 im Sammelvorrichtung 3 zusätzlich Feststoff-Flüssigkeit zuzufügen, um dessen Konsistenz zu verdünnen. Bspw. Wasser.Depending on the consistency of the mixture 25 there is the possibility of using the flushing line 13 , the valves 15 . 23 and the connection 16 the mixture 25 in the collection device 3 additionally add solid-liquid to dilute its consistency. For example. Water.

Damit Gemisch 25 von der Sammelvorrichtung 3 in den Vakuumbehälter 1 gefördert werden kann, wird im letztgenannten zunächst ein Minderdruck gegenüber der Sammelvorrichtung 3 erzeugt werden. Alternativ steht ein Überdruck p₃ im Sammler 3 an. Beides erzeugt einen Differenzdruck Δp₁ an der oder entlang der Strömungsverbindung 4.With it mixture 25 from the collector 3 in the vacuum tank 1 can be promoted, in the latter initially a lower pressure compared to the collection device 3 be generated. Alternatively, there is an overpressure p ₃ in the collector 3 on. Both generate a differential pressure Δp ₁ at or along the flow connection 4 ,

Wird mit Unterdruck (Minderdruck zum Atmosphärendruck) gearbeitet, wird aus dem nicht gefluteten Behälterabschnitt des Behälters 1 Gas oder Luft evakuiert, wozu die Vakuumpumpe 19 als Mittel zur Erzeugung eines Unterdrucks vorgesehen ist. Das Beispiel, in dem Überdruck in den Behältern 3, 2 eingespeist wird, ist nicht gesondert dargestellt, kann aber ohne die Vakuumpumpe 19 und das zugehörige Ventil 18 arbeiten.If you work with negative pressure (reduced pressure to atmospheric pressure), is from the non-flooded container section of the container 1 Gas or air evacuated, including the vacuum pump 19 is provided as a means for generating a negative pressure. The example in which overpressure in the tanks 3 . 2 is not shown separately, can but without the vacuum pump 19 and the associated valve 18 work.

Der Unterdruck wird mit Hilfe der Vakuumpumpe 19 bewirkt. Der in dem Vakuumbehälter 1 vorliegende Druck wird mittels des Drucksensors 21 fortwährend überwacht, so dass in Abhängigkeit des gemessenen Drucks die Vakuumpumpe 19 und/oder das Absperrventil 18 gesteuert/geregelt werden können. Während der Evakuierung des Vakuumbehälters 1 sind die Absperrventile 23, 22, 5 und 8 geschlossen.The negative pressure is controlled by the vacuum pump 19 causes. The one in the vacuum tank 1 present pressure is by means of the pressure sensor 21 continuously monitored, so that depending on the measured pressure, the vacuum pump 19 and / or the shut-off valve 18 can be controlled / regulated. During the evacuation of the vacuum tank 1 are the shut-off valves 23 . 22 . 5 and 8th closed.

Ist der Behälter 1 auf den gewünschten Minderdruck evakuiert, wird die Vakuumpumpe 19 abgeschaltet und werden die Absperrventile 18 und 20 geschlossen, um die Vakuumpumpe 19 bzw. den Drucksensor 21 gegenüber dem übrigen Systemvolumen abzudichten. Auf diese Weise wird verhindert, dass im Vakuumbehälter 1 oder in der Leitung 17 ggf. vorhandene Feststoffpartikel in die Vakuumpumpe 19 oder den Drucksensor 21 eindringen können und hier Schäden oder Störungen verursachen können.Is the container 1 evacuated to the desired reduced pressure, the vacuum pump 19 shut off and become the shut-off valves 18 and 20 closed to the vacuum pump 19 or the pressure sensor 21 seal against the rest of the system volume. In this way it prevents being in the vacuum tank 1 or in the line 17 any solid particles present in the vacuum pump 19 or the pressure sensor 21 can penetrate and cause damage or interference.

Das Absperrventil 5 wird für eine kurze Zeitdauer, beispielsweise für 2 Sekunden, geöffnet. Während des Öffnungszeitraums des Absperrventils 5 wird aufgrund der Druckdifferenz zwischen Vakuumbehälter 1 und Sammelvorrichtung 3 wenigstens eine erste Volumenmenge als Anteil des in diesem vorliegenden Feststoff-Flüssigkeits-Gemisches 25 über die Leitung 4 in den unteren Bereich des Vakuumbehälters 1 gefördert. Der Öffnungszeitraum des Absperrventils 5 ist dabei derart bemessen, dass sich der Druck im Inneren des Vakuumbehälters 1 infolge des Einströmens von Gemisch 25 nicht derart verringert, dass die Strömungsgeschwindigkeit des Gemisches 25 in der Leitung 4 zu gering wird.The shut-off valve 5 is opened for a short period of time, for example for 2 seconds. During the opening period of the shut-off valve 5 is due to the pressure difference between vacuum tank 1 and collecting device 3 at least a first volume amount as a proportion of the present in this solid-liquid mixture 25 over the line 4 in the lower area of the vacuum tank 1 promoted. The opening period of the shut-off valve 5 is dimensioned such that the pressure in the interior of the vacuum vessel 1 due to the influx of mixture 25 not reduced so that the flow rate of the mixture 25 in the pipe 4 is too low.

Es ist anzustreben, diese Strömungsgeschwindigkeit möglichst hoch zu halten, zumindest so hoch, dass ein Absetzen von Feststoffpartikeln in der Leitung 4 vermieden wird.It is desirable to keep this flow rate as high as possible, at least so high that settling of solid particles in the line 4 is avoided.

Längere Öffnungszeiten des Absperrventils 5 können erreicht werden, indem das Gesamtvolumen des Vakuumbehälters 1 entsprechend groß ausgebildet ist oder indem die Vakuumpumpe 19 auch während des Förderns (Strömens) von Gemisch 25 in den Vakuumbehälter 1 diesen weiterhin evakuiert, wobei allerdings die Gefahr besteht, dass Feststoffpartikel in die Vakuumpumpe eingesaugt werden und hier verfrühten Verschleiß oder Störungen verursachen können. Um dieses zu vermeiden, können entsprechende Filtermedien vorgesehen sein. Alternativ wird in den Sammler ein Überdruck p₃ gespeist oder im Sammler ein solcher aufgebaut. Der Druckwert p₃ wird erhalten und aktualisiert, während das Gemisch 25 durch die Leitung 4 strömt (bei offenem Ventil 5).Longer opening times of the shut-off valve 5 can be achieved by changing the total volume of the vacuum container 1 is formed correspondingly large or by the vacuum pump 19 also during the feeding (pouring) of mixture 25 in the vacuum tank 1 this further evacuated, although there is a risk that solid particles are sucked into the vacuum pump and can cause premature wear or malfunction. To avoid this, appropriate filter media may be provided. Alternatively, the collector is over-pressurized p ₃ fed or built in the collector such. The pressure value p ₃ is preserved and updated while the mixture 25 through the pipe 4 flows (with the valve open 5 ).

Nach dem Schließen des Absperrventils 5 liegt eine gewisse Menge des aus der Sammelvorrichtung 3 insbesondere angesaugten Gemisches 25 im unteren Bereich des Vakuumbehälters 1 vor. Um eine Verunreinigung der Leitung 17, der Vakuumpumpe 19 und des Drucksensors 21 zu vermeiden, sollte der Füllstand des Vakuumbehälters 1 etwa ein Drittel bis maximal die Hälfte des höchst-möglichen Füllstands betragen. Hierfür kann ein weiterer Sensor 24a auf geeigneter Höhe unterhalb des Sensors 24 angeordnet sein, wie das zuvor erläutert war.After closing the shut-off valve 5 is a certain amount of the collection device 3 in particular sucked mixture 25 in the lower part of the vacuum tank 1 in front. To a contamination of the pipe 17 , the vacuum pump 19 and the pressure sensor 21 To avoid, the level of the vacuum tank should be 1 amount to about one third to a maximum of half of the highest possible level. This can be another sensor 24a at an appropriate height below the sensor 24 be arranged, as explained above.

Die Abwasserleitung 2 ist derart dimensioniert, dass sie nur teilweise mit Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch gefüllt ist und sich über dem Gemischspiegel Luft vorzugsweise unter Atmosphärendruck befindet. Der im Vakuumbehälter 1 nach dem Schließen des Absperrventils 5 vorliegende Druck ist niedriger als der Luftdruck in der Abwasserleitung 2. Wenn nun im weiteren Verfahrensablauf das Absperrventil 8 geöffnet wird, kommt es aufgrund dieser Druckdifferenz zu einem Einströmen von Luft über die Abwasserleitung 7 und den Abfluss 6 in den Vakuumbehälter 1. Auslass 6 und Abwasserleitung 7 sind dabei derart dimensioniert, dass in dem Vakuumbehälter 1 vorliegendes Gemisch 25 trotz des Einströmens von Luft z.B. durch Schwerkraftwirkung in entgegengesetzter Richtung in die Abwasserleitung 2 strömen kann. Durch die rückströmende Luft, die durch das Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch 25 im Vakuumbehälter 1 aufsteigt, wird dieses zwangsweise bewegt und durchmischt, wodurch Absetzvorgänge von Feststoffpartikeln und -konglomeraten vermieden werden, zumindest aber erschwert werden.The sewer pipe 2 is dimensioned so that it is only partially filled with solid-liquid mixture and above the mixture level air is preferably below atmospheric pressure. The in the vacuum container 1 after closing the shut-off valve 5 present pressure is lower than the air pressure in the sewer 2 , If now in the further process sequence, the shut-off valve 8th is opened, it comes due to this pressure difference to an influx of air through the sewer 7 and the drain 6 in the vacuum tank 1 , outlet 6 and sewer pipe 7 are dimensioned such that in the vacuum tank 1 present mixture 25 despite the inflow of air, for example, by gravity in the opposite direction in the sewer line 2 can flow. Due to the back-flowing air passing through the solid-liquid mixture 25 in the vacuum container 1 ascends, this is forcibly moved and mixed, whereby settling of solid particles and conglomerates are avoided, or at least made more difficult.

In gleicher Weise, wie Sammler 3 mit Überdruck p₃ > 0,1 MPa arbeiten kann, kann auch die Abwasserleitung 2 mit Überdruck arbeiten. Der Zwischenbehälter 1 ist dabei auf einem Druckniveau, welches die beiden Differenzdrücke an den beiden Strömungswegen 4 und 7 bewirkt. Sie sorgen (zeitversetzt) für den jeweiligen Transport des Gemisches 25 durch die jeweilige Leitung. Der Behälter 1 ist dann nur ein Zwischenbehälter, ohne zwingende Notwendigkeit geschlossen zu sein, oder Unterdruck aufnehmen zu können.In the same way as collectors 3 can work with overpressure p ₃ > 0.1 MPa, can also be the sewer pipe 2 work with overpressure. The intermediate container 1 is at a pressure level, which is the two differential pressures at the two flow paths 4 and 7 causes. They provide (time-delayed) for the respective transport of the mixture 25 through the respective line. The container 1 is then only an intermediate container, without compelling need to be closed, or to be able to absorb negative pressure.

Das Ausströmen des Gemisches 25 aus dem Vakuumbehälter 1 wird mittels des Sensors 9 überwacht. Stellt dieser fest, dass im Vakuumbehälter 1 im Wesentlichen kein Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch mehr vorliegt, wird das Absperrventil 8 geschlossen.The outflow of the mixture 25 from the vacuum tank 1 is done by means of the sensor 9 supervised. This notes that in the vacuum tank 1 essentially no solid-liquid mixture is present, the shut-off valve 8th closed.

Falls der in dem Vakuumbehälter 1 vorliegende Unterdruck nicht ausreicht, um ein Ansaugen einer weiteren Menge von Feststoff-Flüssigkeits-Gemisch 25 aus dem Sammelvorrichtung 3 über die Leitung 4 bewirken zu können, erfolgt eine erneute Evakuierung mittels der Vakuumpumpe 19, oder ein Erhöhen des Drucks im Sammler 3.If in the vacuum tank 1 present negative pressure is insufficient to suck in a further amount of solid-liquid mixture 25 from the collection device 3 over the line 4 To be able to effect a renewed evacuation by means of the vacuum pump 19 , or increasing the pressure in the collector 3 ,

Reicht der im Vakuumbehälter 1 vorliegende Druck für ein erneutes Ansaugen von Gemisch aus der Sammelvorrichtung 3 aus, wird der zuvor beschriebene Verfahrensablauf vorzugsweise ohne erneute Evakuierung des Vakuumbehälters 1 zyklisch wiederholt, bis der Sammelvorrichtung 3 schließlich geleert ist.That is enough in the vacuum container 1 present pressure for a re-aspiration of mixture from the collection device 3 from, the process described above is preferably without renewed evacuation of the vacuum vessel 1 cyclically repeated until the collection device 3 finally emptied.

Um eine vollständige Reinigung des Systems zu bewirken, kann nach erfolgter Entleerung der Sammelvorrichtung 3 der Hauptabsperrhahn 15 geöffnet werden und das gesamte System oder Teile des Systems über die Absperrventile 23,14 mit Wasser gespült werden. Die abermalige Entleerung des Systems erfolgt in der zuvor beschriebenen Weise.To effect a complete cleaning of the system, after the emptying of the collection device 3 the main stopcock 15 be opened and the entire system or parts of the system via the shut-off valves 23 . 14 be rinsed with water. The repeated emptying of the system takes place in the manner described above.

Falls notwendig, kann die Sammelvorrichtung 3 während ihrer zuvor beschriebenen Entleerung durch die wiederholte Abfolge der zuvor beschriebenen Verfahrensschritte mit Wasser über die Spülleitung 13 gespült werden, wodurch zum einen eine Verdünnung des in der Sammelvorrichtung 3 befindlichen Gemisches 25 und zum anderen dessen Zwangsbewegung und Aufmischung bewirkt wird, wodurch Absetzvorgänge von Feststoffpartikeln und Konglomeraten in der Sammelvorrichtung 3 zumindest verringert oder ganz verhindert werden können.If necessary, the collection device 3 during their previously described draining by the repeated sequence of the above-described process steps with water through the purge line 13 be rinsed, resulting in a dilution of the in the collection device 3 present mixture 25 and on the other hand its forced movement and mixing is effected, whereby settling of solid particles and conglomerates in the collecting device 3 at least reduced or completely prevented.

Bei einer Variante des Verfahrens wird das Absperrventil 22 gleichzeitig mit oder zeitverzögert, zumindest 2 sec, nach dem Öffnen des Absperrventils 8 geöffnet, so dass ein beschleunigtes Ausströmen von in dem Vakuumbehälter 1 vorhandenem Gemisch 25 durch ein Nachströmen von Luft unter Atmosphärendruck über das Absperrventil 22 und die Belüftungsleitung 17 bewirkt wird.In a variant of the method, the shut-off valve 22 at the same time or with a time delay, at least 2 sec after opening the shut-off valve 8th open, allowing an accelerated escape of in the vacuum tank 1 existing mixture 25 by a subsequent flow of air under atmospheric pressure via the shut-off valve 22 and the ventilation line 17 is effected.

Die Belüftungsleitung 12 und das Belüftungsventil 11 werden verwendet, wenn es sich bei dem Sammelvorrichtung 3 um ein gegenüber der Atmosphäre geschlossenes System handelt. Durch ein Öffnen des Belüftungsventils 11 kann bei dem Entleeren der Sammelvorrichtung 3 Luft in diesen nachströmen, so dass ein Druckausgleich bewirkt wird.The ventilation line 12 and the ventilation valve 11 are used when referring to the collection device 3 is a system closed to the atmosphere. By opening the ventilation valve 11 may occur during emptying of the collection device 3 Add air into this, so that a pressure equalization is effected.

Die zwei Ventile 4 und 8 können auch gemeinsam verschaltet sein, so dass ein Mehrwegeventil ausgebildet wird. Das Schließen von Strömungspfad 4 bewirkt ein zeitsynchrones Öffnen des Strömungspfads 8. Der Ein- und Auslass 6 wären dabei zum und vom Behälter 1 derselbe, so dass ein Abschnitt des Strömungswegs gemeinsam benützt wird. Dieser Abschnitt kann indes auch ganz wegfallen, wenn das Mehrwegeventil am unteren Auslass 6 des Behälters 1 direkt angeordnet ist.The two valves 4 and 8th can also be interconnected so that a multi-way valve is formed. The closing of flow path 4 causes a time-synchronous opening of the flow path 8th , The inlet and outlet 6 Would be there to and from the container 1 the same, so that a portion of the flow path is shared. However, this section can also be completely eliminated if the multi-way valve at the lower outlet 6 of the container 1 is arranged directly.

Claims

Method according to Claim 1 , wherein after the method step (e) a closing of the second shut-off device (8) takes place as method step (f).

Method according to Claim 1 or 2 , wherein the method steps b) to e), in particular b) to f) are carried out cyclically.

Method according to Claim 1 or 2 , wherein the process steps a) to e), in particular a) to f) are carried out cyclically.

Method according to one of the preceding claims, wherein when the second shut-off device (8) is opened, a ventilation device (17, 23) of the pressure vessel (1) is opened.

Method according to Claim 5 , wherein the opening of the ventilation device (17, 23) takes place with a time delay after the opening of the second shut-off device (8), in particular greater than 2 seconds.

Method according to Claim 5 or 6 , wherein the ventilation device (17, 23) after reaching a - at least approximately complete - pressure equalization between the disposal unit (2) and pressure vessel (1) is opened.

Method according to one of the preceding claims, wherein the solid-liquid mixture (25) is forcibly moved in the collecting device (3).

Method according to one of the preceding claims, wherein the pressure vessel (1) is rinsed, preferably after reaching a pressure equalization between the disposal unit (2) and pressure vessel (1).

Method according to one of the preceding claims, wherein the pressure vessel (1) is continuously evacuated.

Method according to one of the preceding claims, wherein the gas is air.

Device for conveying a solid-liquid mixture (25) from a collecting device (3) into a disposal unit (2), the conveying device comprising - a pressure vessel (1), which via a suction line (4) fluidly connected to the collecting device (3) is, wherein the pressure vessel (1) has a drain line (7) to the disposal unit (2); - A first shut-off device (5) to shut off the suction line (4) pressure-tight; - A second shut-off device (8) by means of a flow path through the drain line (7) of the pressure vessel (1) to the disposal unit (2) is pressure-tight shut off; and - generating means (19, 18) for generating a negative pressure (p ₁ ) in the pressure vessel (1), so that after opening the second shut-off device (8), gas from a negative pressure in the pressure vessel (1) from the disposal unit (2) sucked and the solid-liquid mixture (25) is movable and mixable by the sucked gas.

Device after Claim 12 , wherein the collecting device (3) is an open container.

Device after Claim 12 , wherein the pressure vessel (1) is closed, for receiving an internal negative pressure (p ₁ ).

Device after Claim 12 or 13 , wherein the disposal unit (2) is a drain line.

A method for conveying a solid-liquid mixture (25) from a collecting device (3) via a pressure vessel (1) to a disposal unit (2), the method comprising the steps of a) generating a relation to a first pressure (p ₃ ) in the Collecting device (3) lowered second pressure (p ₁ ) in the pressure vessel (1) to form a first differential pressure, said pressure vessel (1) and collecting device (3) in a closable or openable first flow connection of the first shut-off device and suction line (4,5) stand; b) releasing the first flow connection such that the solid-liquid mixture (25) is moved by the collecting device (3) into the pressure vessel (1) due to the first pressure difference; c) shutting off the first flow connection and opening a further flow connection of second shut-off device (8) and discharge line (7) from the pressure vessel (1) to the disposal unit (2), wherein a third pressure (p ₂ ) in the disposal unit (2) second differential pressure between the pressure vessel (1) and disposal unit (2) generated, and gas flows into the pressure vessel (1); d) wherein the first pressure (p ₃ ) corresponds to the third pressure (p ₂ ) and before the second pressure (p ₁ ) has risen to the first pressure (p ₃ ), the first flow connection is closed; e) after the opening of the further flow connection, a gas from the disposal unit (2) is sucked into the pressure vessel (1) by a pressure difference between the second pressure (p ₁ ) and the third pressure (p ₂ ) and mixes the solid-liquid Mixture (25) in the pressure vessel (1).

Method according to Claim 16 wherein the method steps are carried out in the context of manufacturing or processing of semiconductors, in particular in the cleaning of associated auxiliary fluids.

Method according to Claim 16 wherein a flow rate is such that settling-prone solids are entrained in the solid-liquid mixture (25).

Method according to Claim 16 , wherein the flow of the solid-liquid mixture (25) is discontinuous.

Method according to one of Claims 16 to 19 , wherein a ventilation device (17, 23) of the pressure vessel (1) is opened and a flow is forced through the further flow connection, in particular with a time delay after opening the second shut-off device (8) of the further flow connection.

Method according to one of Claims 16 to 20 , where the gas is air.