DE102008014005B4 - Positioniervorrichtung und kryostatische Anlage - Google Patents

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Abstract

Positioniervorrichtung (8) zum Positionieren mindestens eines Sensors in einer kryostatischen Anlage mit
a) einem Stempel (9) und
b) mindestens einem Sensor,
dadurch gekennzeichnet, dass
c) an dem Stempel (9) eine Kette mit einer Mehrzahl an Gliedersegmenten (10) gelagert ist, wobei ein erstes Gliedersegment (10) am Stempel (9) angebracht ist und
d) jeder Sensor an einem Gliedersegment (10) angebracht ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung zum Positionieren mindestens eines Sensors in einer kryostatischen Anlage, mit einem Stempel und mindestens einem Sensor, sowie eine kryostatische Anlage mit einer Vakuumkammer, einer Kühlvorrichtung und einer in die Vakuumkammer hineinragenden Warmbohrung.
  • In der magnetischen Kryo-Messtechnik, die mit supraleitenden Quanteninterferrometern (SQUIDs) als hochempfindliche magnetische Sensoren arbeitet, ist für ein ausreichendes Signal-Rausch-Verhältnis (signal to noise ratio, SNR) die reproduzierbare Positionierung der Sensoren möglichst nahe am zu untersuchenden Objekt erforderlich, das sich in der Regel außerhalb des Kryostaten bei Raumtemperatur befindet.
  • Die Sensoren selbst sind in einem Dewar-Gefäß angeordnet, das mit einem Kühlmittel, beispielsweise flüssigem Helium oder flüssigem Stickstoff, gefüllt ist. Die Sensoren sollen dabei möglichst einfach in das Dewar-Gefäß einführbar und entnehmbar sein, um beispielsweise defekte Sensoren schnell austauschen zu können.
  • Dies wird beispielsweise durch die Verwendung eines Messstabes als Positioniervorrichtung für Sensoren erreicht. Dabei werden die benötigten Sensoren an einem En de des Messstabes fixiert und dann über ein vertikales Zugangsrohr mit dem Stab von oben in den Kryostaten eingeführt. Das zu vermessende Messobjekt befindet sich in dieser Ausgestaltung unterhalb des Kryostaten. Am den Sensoren abgewandten Ende des Messstabes befindet sich eine Flanschvorrichtung, mit der der Messstab am Kryostaten fixiert wird.
  • Nachteilig ist, dass es mit einem solchen Messstab nicht möglich ist, Sensoren beispielsweise unterhalb einer in den Kryostaten hineinragenden horizontalen Warmbohrung anzuordnen. Eine horizontale Warmbohrung wird beispielsweise verwendet, um industrielle pharmakologische Untersuchungen an Versuchstieren durchzuführen. Zwischen der Warmbohrung und dem Innenraum des Dewar-Gefäßes, der mit Kühlmittel gefüllt ist, ist eine innere Vakuumkammer angeordnet, die den Innenraum der Warmbohrung von dem mit Kühlmittel gefüllten Innenraum des Dewar-Gefäßes thermisch isoliert.
  • Bei einem solchen Versuchsaufbau sind die meisten Positionen um die horizontale Warmbohrung herum mit einer in Form eines Messstabes ausgebildeten Positioniervorrichtung nicht zugänglich. So sind mit einem von oben eingeführten Messstab beispielsweise keine Sensoren unterhalb der Warmbohrung oder um die Warmbohrung herum anzuordnen.
  • Eine Möglichkeit zur Positionierung von Sensoren um die Warmbohrung herum ist das Einfügen der Sensoren in eine Schaumstoffmasse. Dabei werden die Sensoren in die Masse gesteckt, die dann um die Warmbohrung, bzw. um die die Warmbohrung umgebende innere Vakuumkammer, herum angeordnet wird. Die tatsächliche Sensorposition wird durch Messung bestimmt (Kalibrierung) und entsprechend in den Auswertungen berücksichtigt. Die Genauigkeit ist dabei stark von der verwendeten Kalibriermethode abhängig.
  • Der Schaumstoff kann jedoch nicht einfach durch beispielsweise ein Zugangsrohr in den ansonsten verschlossenen Kryostaten eingeführt werden. Der Schaumstoff muss um die Warmbohrung herum angeordnet werden, solange der Kryostat geöffnet und die Warmbohrung frei zugänglich ist. Erst nachdem der Schaumstoff um die Warmbohrung herum positioniert ist, wird der Kryostat geschlossen, das Kühlmittel eingefüllt und die zur Isolation verwendeten Vakuen aufgebaut. Nach dem Einfüllen des Kühlmittels befinden sich die Sensoren auf Betriebstemperatur. Erst dann kann die Funktionstüchtigkeit der Sensoren überprüft werden.
  • Stellt sich heraus, dass ein Sensor beispielsweise defekt ist oder sich nicht in einer optimalen Position zum Messobjekt befindet, kann der Schaumstoff mit den darin enthaltenen Sensoren nicht einfach aus dem Kryostaten entnommen werden. Dazu müssen die isolierenden Vakuen belüftet, das Kühlmittel entnommen und der Kryostat geöffnet werden. Dies ist sehr zeit- und damit kostenaufwändig.
  • Aus der DE 198 40 652 A1 ist ein Kryostat mit SQUID-Sensoren bekannt, der jedoch keine Warmbohrung aufweist und bei dem sich daher das oben geschilderte Problem nicht stellt.
  • Aus der DE 195 45 742 A1 ist ein SQUID-System mit einer oberen Befestigungsvorrichtung bekannt, die jedoch ebenfalls nicht für Kryostat mit einer Wahrbohrung vorgesehen ist.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Positioniervorrichtung für die Positionierung mindestens eines Sensors in einer kryostatischen Anlage so zu verbessern, dass auch Positionen um eine Warmbohrung herum einfach und reproduzierbar zugänglich sind und die Wartung und der Austausch einzelner Sensoren schnell und einfach möglich ist.
  • Die Erfindung löst die Aufgabe dadurch, dass am Stempel einer gattungsgemäßen Positioniervorrichtung eine Kette mit einer Mehrzahl von Gliedersegmenten gelagert ist, wobei ein erstes Gliedersegment am Stempel gelagert ist und jeder Sensor an einem Gliedersegment angebracht ist.
  • Eine erfindungsgemäße Positioniereinrichtung ist so ausgebildet, dass sie beispielsweise durch ein Zugangsrohr in eine kryostatische Anlage einführbar ist. Beim Einführen trifft das letzte Gliedersegment, das das dem Stempel entgegen gesetzte Ende der Kette bildet, als erstes auf die die Warmbohrung umschließende innere Vakuumkammer. Dieses Gliedersegment gleitet an der inneren Vakuumkammer ab und wird von den nachfolgenden Gliedersegmenten um die innere Vakuumkammer herum geschoben. Ist die Positioniervorrichtung ganz in die kryostatische Anlage eingeführt, liegt vorteilhafterweise der Stempel auf der inneren Vakuumkammer auf und die Gliedersegmente umschließen die Warmbohrung.
  • Somit ermöglicht die Erfindung eine reproduzierbare Positionierung von Sensoren im Kryostaten, obwohl kein direkter gradliniger Zugang zur Messposition gegeben ist.
  • Im Falle eine Defekts oder eines Umbaus des experimentellen Aufbaus kann die Positioniervorrichtung einfach aus der kryostatischen Anlage entnommen werden. Ein defekter oder auszutauschender Sensor kann durch die modulare Anordnung der Sensoren auf Gliedersegmenten einfach ersetzt werden.
  • In einer kryostatischen Anlage können Sensoren zur Messung verschiedener Messgrößen, beispielsweise der Temperatur oder des Magnetfeldes, Verwendung finden. Zur Messung minimaler magnetischer Flüsse werden beispielsweise so genannte SQUIDs (superconducting quantum interference device) verwendet. Dabei macht man sich einen Quanteneffekt zunutze, der in einem supraleitenden Ring mit Josephson-Kontakten auftritt. Jeder Sensor ist dabei an einem einzigen Gliedersegment angebracht. Auch mehrere Sensoren an einem Gliedersegment sind denkbar.
  • Vorteilhafterweise ist die Bewegung der Gliedersegmente der Kette relativ zueinander nur in einer Ebene möglich. Dabei sind beispielsweise, ähnlich einer Fahrradkette, zwei miteinander verbundene Gliedersegmente relativ zueinander nur um eine gemeinsame Schwenkachse schwenkbar, eine Translationsbewegung auf einander zu oder von einander weg ist jedoch ausgeschlossen. Dadurch wird bewirkt, dass beim Einführen der Positioniervorrichtung ein jedes Gliedersegment von dem nachfolgenden in Umfangsrichtung der Warmbohrung weiter geschoben wird und nicht etwa seitlich ausbrechen kann.
  • Vorzugsweise weist das letzte Gliedersegment, das das dem ersten Gliedersegment und dem Stempel entgegen gesetzte Ende der Kette bildet, ein Verbindungselement auf, mit dem es mit dem Stempel verbindbar ist. Dabei kann entweder der Stempel oder das letzte Gliedersegment beispielsweise eine Verbindungsnase aufweisen, die in eine am jeweils anderen Bauteil dafür vorgesehene Ausnehmung eingreift.
  • Vorteilhaft ist, wenn das Verbindungselement im mit dem Stempel verbundenen Zustand die Bewegung des letzten Gliedersegmentes relativ zum Stempel nur in einer Richtung senkrecht zu der von der Kette definierten Ebene einschränkt. Die von der Kette definierte Ebene entsteht, wenn die Kette mit dem Stempel an zwei Stellen verbunden ist.
  • Weist beispielsweise das letzte Gliedersegment eine Verbindungsnase und der Stempel eine entsprechende Aussparung auf, kann die Verbindungsnase beispielsweise durch Hineingleiten in die Aussparung mit dieser in Eingriff gebracht werden. In diesem Zustand ist ein Verschwenken des letzten Gliedersegmentes relativ zum Stempel um eine gemeinsame Schwenkachse sowie ein Herausgleiten der Verbindungsnase in eine zum Hineingleiten entgegen gesetzte Richtung weiterhin möglich, eine Bewegung in Richtung der Schwenkachse wird jedoch verhindert. Die geschlossene Kette ist dann O-förmig und stets in einer Ebene angeordnet.
  • Eine erfindungsgemäße kryostatische Anlage umfasst eine oben beschriebene Positioniervorrichtung, wobei die Gliedersegmente im Dewar-Gefäß um die die Warmbohrung umgebende innere Vakuumkammer herum angeordnet sind.
  • Da die Gliedersegmente mit den auf ihnen montierten Sensoren um die innere Vakuumkammer herum angeordnet sind, weisen die Sensoren eine definierte und reproduzierbar einstellbare Position zum auszumessenden Objekt innerhalb der Warmbohrung auf.
  • Vorteilhafterweise ist um die innere Vakuumkammer herum ein eine radiale Bewegung der Gliedersegmente verhinderndes Radialführungselement angeordnet, das beispielsweise eine magnetische Schirmung ist. Dabei meint eine radiale Bewegung eine Bewegung senkrecht zu einer Längsachse der Warmbohrung, also radial nach außen oder radial nach innen. Die Gliedersegmente befinden sich zwischen der die Warmbohrung zur Isolierung umschließenden inneren Vakuumkammer und dem Radialführungselement. Dadurch wird die Position der Gliedersegmente weiter fixiert und der Einfluss mechanischer Schwingungen auf die Position der Sensoren und damit auf das Messergebnis gedämpft. Die Gliedersegmente können dazu spezielle Federelemente aufweisen, mit denen sie an dem Radialführungselement anliegen. Um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern, ist das Radialführungselement bei spielsweise als magnetische oder elektrische Schirmung ausgebildet, so dass störende Einflüsse anderer Felder als der zu messenden abgeschirmt werden.
  • Dieser Aufbau ist zudem unanfällig gegen Vibrationen einer Pumpe, die zur Aufrechterhaltung der isolierenden Vakuen benötigt wird.
  • Vorzugsweise weist die Anlage eine axiale Bewegung der Gliederelemente verhinderndes Axialführungselement auf. Eine axiale Bewegung meint in diesem Fall eine Bewegung parallel zu einer Längsachse der Warmbohrung. Im Fall einer geschlossenen Kette ist entspricht eine axiale Bewegung eines Gliedersegments einer Bewegung aus der von der Kette definierten Ebene heraus.
  • Um die Gliedersegmente und die auf ihnen montierten Sensoren in ihrer Position fixiert zu halten, wird die axiale Bewegung der Segmente durch das Axialführungselement verhindert. Dies geschieht beispielsweise durch Führungsschienen, die radial außen auf der die Warmbohrung zur Isolation umschließenden inneren Vakuumkammer oder radial innen am Radialführungselement angebracht sind. Vorzugsweise umfasst die kryostatische Anlage eine Kombination beider Möglichkeiten.
  • Vorzugsweise umfasst die Anlage ein Zugangsrohr, durch welches die Positioniereinrichtung in den Kryostaten einführbar ist.
  • Nachdem die Gliedersegmente beim Einführen der Positioniervorrichtung an der inneren Vakuumkammer anliegen, ist eine Bewegung des Gliedersegmentes in radialer oder axialer Richtung relativ zur Längsachse der Warmbohrung beispielsweise durch verschiedene Führungselemente oder die spezielle Form der Gliedersegmente und ihrer Verbindung verhindert. Beim weiteren Einführen der Positioniervorrichtung in das Zugangsrohr schieben sich die Gliedersegmente um die innere Vakuumkammer herum.
  • Bevorzugt ist die Kette so ausgebildet dass sie genau dann genau einmal um die gesamte Warmbohrung herum verläuft, wenn der Stempel auf die Wand trifft, die die innere Vakuumkammer umgibt. Die Kette steht dann bevorzugt mit dem Verbin dungselement am letzten Gliedersegment ist mit dem Stempel in Eingriff. Vorzugsweise wird dabei eine Bewegung des letzten Gliedersegmentes relativ zum Stempel in axialer Richtung relativ zur Längsachse der Warmbohrung verhindert, eine Bewegung in Umfangsrichtung der Warmbohrung ist aber weiter möglich.
  • Wird die Positioniervorrichtung nach dem Einführen abgekühlt, kommt es zu einer Längenkontraktion der Positioniervorrichtung und die Kette wird kürzer. Dadurch, dass das letzte Gliedersegment auch im mit dem Stempel verbundenen Zustand relativ zum Stempel in Umfangsrichtung der Warmbohrung beweglich am Stempel angeordnet ist, kann der Eingriff zwischen letztem Gliedersegment und Stempel gelöst werden. So wird verhindert, dass die Kette durch die Längenkontraktion beim Abkühlen Druck auf die Warmbohrung ausübt. Auf diese Weise werden Belastungen der Warmbohrung durch temperaturbedingte Spannungen verhindert. Gleichzeitig stabilisiert die Verbindung des letzten Gliedersegmentes mit dem Stempel die Kette in axialer Richtung und erhöht die Stabilität und Reproduzierbarkeit der Sensorpositionen.
  • Vorzugsweise ist das Zugangsrohr im Wesentlichen senkrecht zur Warmbohrung angeordnet. Auf diese Weise werden das Einführen der Positioniervorrichtung und das Herumlegen der Gliedersegmente um die Warmbohrung vereinfacht.
  • Im Folgenden wird nun ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Es zeigt
  • 1 eine kryostatische Anlage ohne Positionierungsvorrichtung,
  • 2 einen Ausschnitt aus einer kryostatischen Anlage mit Positioniervorrichtung,
  • 3 einen vergrößerten Ausschnitt der Positioniervorrichtung und
  • 4 ein Gliedersegment.
  • 1 zeigt eine kryostatische Anlage mit einem Kryostaten 1, in dem sich eine horizontale Warmbohrung 2 befindet. Der Innenraum der Warmbohrung 2 befindet sich auf Zimmertemperatur. Um die Warmbohrung 2 von einem sie umgebenden Kaltraum 3 thermisch zu isolieren, ist die Warmbohrung 2 von einer inneren Vakuumkammer 4 umgeben. Um diese herum ist eine magnetische Schirmung 5 angeordnet. Um den Kaltraum 3 thermisch von dem die kryostatische Anlage umgebenden Labor zu isolieren, ist der Kaltraum 3 mit einer äußeren Vakuumkammer 6 umgeben. Der gesamte Kaltraum 3, zu dem auch das von der magnetischen Schirmung 5 umschlossene Volumen gehört, wird vollständig mit einem Kühlmittel, beispielsweise flüssigem Stickstoff oder Helium, gefüllt. Das Innere der magnetischen Schirmung 5 ist über ein Zugangsrohr 7 von außen zugänglich. Bei der in 1 dargestellten Versuchsanordnung sind die meisten Sensorpositionen, die sich um die Warmbohrung 2 herum befinden, durch einen herkömmlichen Messstab, an dessen unterem Ende sich zu positionierende Sensoren befinden, nicht zugänglich.
  • 2 zeigt einen Ausschnitt aus einer kryostatischen Anlage. Gezeigt ist die horizontale Warmbohrung 2, die von der inneren Vakuumkammer 4 umgeben ist. Radial außen schließt sich die magnetische Schirmung 5, deren Innenraum durch ein vertikales Zugangsrohr 7 zugänglich ist. In dieses Zugangsrohr 7 ist eine erfindungsgemäße Positioniervorrichtung 8 eingeführt worden. Zu erkennen ist ein Stempel 9, an dem eine Kette mit einer Mehrzahl von Gliedersegmenten 10 gelagert ist. Jedes die ser Gliedersegmente 10 kann einen Sensor oder mehrere Sensoren, die in 2 nicht gezeigt sind, tragen.
  • Während des Einführens der Positioniervorrichtung 8 durch das vertikale Zugangsrohr 7 trifft zunächst ein letztes Kettenglied auf die die Warmbohrung 2 umschließende innere Vakuumkammer 4. Es wird aus der vertikalen Bewegung abgelenkt und schiebt sich durch weiteres Einführen der Positioniervorrichtung 8 in das Zugangsrohr 7 um die innere Vakuumkammer 4 herum.
  • Trifft am Ende des Einschiebevorgangs der Stempel 9 auf die innere Vakuumkammer 4, liegt die Kette aus Gliedersegmenten 10 einmal um die Warmbohrung 2 herum zwischen der radial äußeren Wand der inneren Vakuumkammer 4 und der magnetischen Schirmung 5. Die in diesem Fall von der magnetischen Schirmung 5 erfüllte Aufgabe, die Gliedersegmente 10 nah an der Warmbohrung 2 zu halten, kann auch von einer elektrischen Schirmung oder einem Radialführungselement übernommen werden. Sind zumindest einige der Gliedersegmente 10 mit SQUID-Sensoren zur hochempfindlichen Bestimmung eines Magnetfeldes bestückt, bietet sich eine magnetische Schirmung 5 an, um den störenden Einfluss externer Magnetfelder auszuschließen.
  • 3 zeigt den letzten Abschnitt des Einführens der Positioniervorrichtung 8 in das vertikale Zugangsrohr 7 der kryostatischen Anlage. Beim Einführen der Positioniervorrichtung 8 schiebt sich die Kette aus Gliedersegmenten 10 in Richtung eines Pfeiles 11 um die die Warmbohrung 2 isolierende innere Vakuumkammer 4. Dabei wird die Kette aus Gliedersegmenten 10 von der magnetischen Schirmung 5 geführt. Ein radiales Ausbrechen in Richtung einer Längsachse L der Warmbohrung 2 ist durch die spezielle Ausgestaltung der Gliedersegmente 10, auf die später näher eingegangen werden wird, nicht möglich.
  • Das letzte Gliedersegment 10 weist ein Verbindungselement, das in 3 durch eine Führungsnase 12 gebildet ist, auf. Im Stempel 9 der Positioniervorrichtung 8 ist eine zur Führungsnase 12 korrespondierend ausgebildete Aussparung 13 vorgesehen. Trifft der Stempel 9 beim Einführen der Positioniervorrichtung 8 in das vertikale Zugangsrohr 7 auf die innere Vakuumkammer 4 schiebt sich die Führungsnase 12 in die dafür im Stempel 9 vorgesehen Aussparung 13. Die Kette aus Gliedersegmenten 10 liegt dann einmal um die innere Vakuumkammer herum. Die Kette liegt dann in einer Ebene, die senkrecht zur Längsachse L verläuft.
  • Durch die Führungsnase 12 und die Aussparung 13 ist eine axiale Bewegung der Gliedersegmente 10 parallel zur Längsachse L der Warmbohrung 2 unmöglich. Eine radiale Bewegung der Gliedersegmente 10 wird dadurch verhindert, dass die Gliedersegmente 10 an der magnetischen Schirmung 5 anliegen. Lediglich eine Bewegung der Gliedersegmente 10 in Umfangsrichtung entlang des Pfeils 11 oder in entgegengesetzter Richtung ist weiterhin möglich. So wird verhindert, dass die durch das starke Abkühlen der Positioniervorrichtung 8 hervorgerufene thermische Längenänderung der Gliedersegmente 10 einen Druck auf die innere Vakuumkammer 4 bzw. die darin liegende Warmbohrung 2 ausübt.
  • Durch die stabile Fixierung der Gliedersegmente 10 und der daran befestigten Sensoren wird der Einfluss etwaiger mechanischer Schwingungen, die beispielsweise durch an die innere und äußere Vakuumkammer 4, 6 angeschlossenen Pumpen hervorgerufen werden, verringert.
  • 4 zeigt ein Gliedersegment 10. Dieses Gliedersegment 10 wird über ein erstes und zweites Verbindungselement 14, 15 mit anderen Gliedersegmenten 10 verbunden. Durch die spezielle Ausgestaltung des ersten und zweiten Verbindungselementes 14, 15 können aneinander gelagerte Gliedersegmente 10 nur um eine durch die verbundenen Verbindungselemente verlaufende Schwenkachse gegeneinander verschwenkt werden. Eine Bewegung miteinander verbundener Gliedersegmente 10 in andere Richtungen ist nicht möglich. Dadurch wird die aus diesen Gliedersegmenten 10 bestehende Kette stabilisiert und die Position der auf den Gliedersegmenten 10 befestigten Sensoren reproduzierbar. Das Gliederelement 10 in 4 weist ein Federelement 16 auf, mit dem das Gliedersegment 10 an der Innenseite der magnetischen Schirmung 5 anliegt. Durch die Verwendung eines Federelementes 16 werden mechanische Schwingungen, die von der von der magnetischen Schirmung 5 oder anderen Bauteilen der kryostatischen Anlage auf die Gliedersegmente 10 übertragen werden könnten, gedämpft. Dies hat eine erhebliche Verbesserung des Signal-Rausch-Verhältnisses zur Folge.
  • 1
    Kryostat
    2
    Warmbohrung
    3
    Kaltraum
    4
    Innere Vakuumkammer
    5
    Magnetische Schirmung
    6
    Äußere Vakuumkammer
    7
    Zugangsrohr
    8
    Positioniervorrichtung
    9
    Stempel
    10
    Gliedersegment
    11
    Pfeil
    12
    Führungsnase
    13
    Aussparung
    14
    Erstes Verbindungselement
    15
    Zweites Verbindungselement
    16
    Federelement

Claims (10)

  1. Positioniervorrichtung (8) zum Positionieren mindestens eines Sensors in einer kryostatischen Anlage mit a) einem Stempel (9) und b) mindestens einem Sensor, dadurch gekennzeichnet, dass c) an dem Stempel (9) eine Kette mit einer Mehrzahl an Gliedersegmenten (10) gelagert ist, wobei ein erstes Gliedersegment (10) am Stempel (9) angebracht ist und d) jeder Sensor an einem Gliedersegment (10) angebracht ist.
  2. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Bewegung der Gliedersegmente (10) der Kette relativ zueinander nur in einer Ebene möglich ist.
  3. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein letztes Gliedersegment (10), dass das dem ersten Gliedersegment (10) entgegengesetzte Ende der Kette bildet, ein Verbindungselement (12) aufweist, mit dem es mit dem Stempel (9) verbindbar ist.
  4. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (12) in mit dem Stempel (9) verbundenen Zustand die Bewegung des letzten Gliedersegmentes (10) relativ zum Stempel (9) nur in einer Richtung senkrecht zu der von der Kette definierten Ebene einschränkt.
  5. Kryostatische Anlage mit (a) einer Vakuumkammer (6), (b) einer Kühlvorrichtung und (c) einer in die Vakuumkammer (6) hineinragenden Warmbohrung (2), dadurch gekennzeichnet, dass (d) die Anlage eine Positioniervorrichtung (8) nach einem der vorstehenden Ansprüche umfasst, (e) wobei die Gliedersegmente (10) um die Warmbohrung (2) herum angeordnet sind.
  6. Kryostatische Anlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass um die Warmbohrung (2) herum ein eine radiale Bewegung der Gliedersegmente (10) verhinderndes Radialführungselement angeordnet ist.
  7. Kryostatische Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Radialführungselement eine magnetische Schirmung (5) ist.
  8. Kryostatische Anlage nach Anspruch 5, 6 oder 7, gekennzeichnet durch ein eine axiale Bewegung der Gliedersegmente (10) verhinderndes Axialführungselement.
  9. Kryostatische Anlage nach einem der Ansprüche 5 bis 8, gekennzeichnet durch ein Zugangsrohr (7), durch welche die Positioniereinrichtung (8) in die Vakuumkammer (6) einführbar ist.
  10. Kryostatische Anlage nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Zugangsrohr (7) im Wesentlichen senkrecht zur Warmbohrung (2) angeordnet ist.
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