DE19840652A1 - Lageunabhängiger Kunststoffkryostat - Google Patents

Lageunabhängiger Kunststoffkryostat

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DE19840652A1
DE19840652A1 DE1998140652 DE19840652A DE19840652A1 DE 19840652 A1 DE19840652 A1 DE 19840652A1 DE 1998140652 DE1998140652 DE 1998140652 DE 19840652 A DE19840652 A DE 19840652A DE 19840652 A1 DE19840652 A1 DE 19840652A1
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Germany
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cryostat
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vacuum
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Withdrawn
Application number
DE1998140652
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English (en)
Inventor
Armin Binneberg
Ursula Boehm
Dietmar Herrmann
Gabriele Spoerl
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Institut fuer Luft und Kaeltetechnik Gemeinnuetzige GmbH
Original Assignee
Institut fuer Luft und Kaeltetechnik Gemeinnuetzige GmbH
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25DREFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F25D19/00Arrangement or mounting of refrigeration units with respect to devices or objects to be refrigerated, e.g. infrared detectors
    • F25D19/006Thermal coupling structure or interface
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen lageunabhängigen Kunststoffkryostat, der vorzugsweise zur Kühlung von HTSL-SQUID-Sensoren in HTSL-SQUID-Vektor-Mikroskopen eingesetzt wird. DOLLAR A Aufgabe der Erfindung ist es, einen Kryostat zu schaffen, der in allen Betriebslagen eine nahezu konstante Kühlung des Sensors ermöglicht und bei dem der Abstand zwischen Sensor und Kryostataußenwand einstellbar ist. DOLLAR A Der erfindungsgemäße Kryostat besteht aus einem inneren und äußeren Behälter und einem bis zur Hälfte in den Innenbehälter 2 stirnseitig hineinragenden Halsrohr 1. Das Halsrohr 1 ist mit dem Innenbehälter 2 und einem axial beweglichen Zwischenboden 4 fest verbunden. Der Zwischenboden 4 ist über axial wirkende Verstelleinrichtungen 6 an der dem Sensorhalter 18 gegenüberliegenden Außenbehälterstirnwand 3 verankert. Der Vakuumraum 17 zwischen Innenbehälter 2 und Außenbehälter 9 ist an der Durchführung des Halsrohres durch die Außenbehälterstirnwand 3 mittels eines Federbalgs 5 vakuumdicht verschlossen.

Description

Die Erfindung betrifft einen lageunabhängigen Kunststoffkryostat, der vorzugsweise zur Kühlung von HTSL-SQUID-Sensoren in HTSL-SQUID-Vektor-Mikroskopen eingesetzt wird.
Kryostate bestehen im wesentlichen aus einem Innen- und Außenbehälter, die nur durch ein dünnes, schlecht wärmeleitendes Halsstück miteinander verbunden sind. Zwischen den beiden Behältern befindet sich meist eine Vakuumvielschichtisolation. Die zu kühlenden Sensoren oder Proben befinden sich bei den sogenannten Badkryostaten in der kryogenen Flüssigkeit im Inneren des Innenbehälters oder bei den Verdampferkryostaten an der äuße­ ren Wand des Innenbehälters. Zusätzlich können die Kryostate mit optischen Fenstern oder Wärmeübertragern ausgerüstet werden. Eine sichere Funktion dieser Kryostate ist jedoch nur im senkrechten Zustand bzw. bei Neigungen bis 30° möglich.
In der DE 43 20 803 A1 wird ein lageunabhängiges Sensor-Kühlsystem vorgeschlagen, bei dem der Innenbehälter mit konzentrisch angeordneten Rohren für die Stickstoffzuführung und Abgasführung ausgestattet ist. Diese Rohre münden etwa bis zur Hälfte in den Innenbe­ hälter hinein und bewirken damit, daß mit dem bis zur Hälfte mit kryogener Flüssigkeit ge­ füllten Innenbehälter in jeder beliebigen Lage die Kühlung des Sensors erfolgen kann, ohne daß kryogene Flüssigkeit in die Nachfülleitung zurückfließt bzw. die Abgasleitung durch Flüssigkeit verschlossen ist.
Alle diese Kryostate haben aber den Nachteil, daß nach dem Einbau des Sensors in den Kryostat eine örtliche Veränderung, d. h. Justierung, nicht mehr möglich ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Kryostat zu schaffen, der in allen Betriebslagen eine nahezu konstante Kühlung des Sensors ermöglicht und bei dem der Abstand zwischen Sensor und Kryostataußenwandung einstellbar ist.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die Merkmale der Patentansprüche gelöst. Es wird damit erreicht, daß durch den Einsatz von überwiegend nichtmetallischen Werkstoffen die Störbeeinflussung des Sensors minimiert, die geforderte maximale Temperaturverände­ rung von 0,1 K eingehalten und eine gute Justierung des Sensors im Bereich von 2 . . . 20 mm gegenüber der Kryostataußenwand mit einer reproduzierbaren µm-Genauigkeit ermög­ licht wird.
An nachfolgendem Ausführungsbeispiel wird die Erfindung näher erläutert. Die Abbildung zeigt die schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäß ausgestatteten Kryosta­ ten.
Der Außenbehälter des Kryostaten besteht aus der Kryostataußenwand 9, der Außenbehäl­ terstirnwand 3 und meßkopfseitig aus dem Kryostataußenwandboden 8, dem Abschlußdec­ kel 10 und der Hülse 11. Diese Teile bestehen aus nichtmetallischem Werkstoff, vorzugs­ weise glasfaserverstärktem Epoxidharz. Im Bereich der Durchführung des Halsrohres 1 durch die Außenbehälterstirnwand 3 ist ein Federbalg 5 vakuumdicht gegenüber der Au­ ßenbehälterwand 3 und dem Zwischenboden 4 angebracht. Mit diesem Federbalg 5 wird die durch die Verstelleinrichtungen 6 ausgeführte vorwiegend axiale Einstellbewegung aus­ geglichen. Die Durchführung für das Halsrohr 1 durch die Außenbehälterstirnwand 3 ist so bemessen, daß auch eine gewisse radiale Beweglichkeit des Halsrohres 1 möglich ist. Die­ se radiale Beweglichkeit ist erforderlich, um bei der Justierung des Sensors 7 die Verstel­ leinrichtungen 6 unterschiedlich betätigen zu können.
Die Verstelleinrichtungen 6 sind über Zwischenhülsen 19 mit der Außenbehälterstirnwand 3 und dem Zwischenboden 4 fest verbunden. Das äußere Ende des Halsrohres 1 ist eben­ falls mit dem Zwischenboden 4 fest verbunden. Bevorzugt werden als Verstelleinrichtungen 6 drei Mikrometerschrauben eingesetzt. Durch eine Abstandsänderung zwischen Außenbe­ hälterstirnwand 3 und Zwischenboden 4 wird über das Halsrohr 1 eine Ortsveränderung des gesamten Innenbehälters 2 und damit die Justierung des Sensors 7 erreicht.
Der Innenbehälter 2 besteht ebenfalls aus glasfaserverstärktem Epoxidharz. Der Boden 12 des Innenbehälters 2 besitzt eine vakuumdichte, tieftemperaturfeste Metalldurchführung 13, die im Flüssigkeitsraum 14 mit einer geschlitzten Scheibe 15 und einem geschlitzten Zylin­ der 16 aus Kupfer und im Vakuumraum 17 mit einem Sensorhalter 18, z. B. aus Saphir, und dem Sensor 7 gut wärmeleitend verbunden ist.
Das Halsrohr 1, ebenfalls aus glasfaserverstärktem Epoxidharz bestehend, ist mit dem In­ nenbehälter 2 fest verbunden und ragt genau bis in die Mitte des Innenbehälters in diesen hinein. Dadurch wird erreicht, daß der eingefüllte flüssige Stickstoff bei Verkippung des Kryostaten bis zu 180° nicht auslaufen, der verdampfte Stickstoff immer durch das Halsrohr 1 entweichen kann. Durch die Scheibe 15 und den Zylinder 16 wird in jeder Lage des Kryostaten eine gute metallische Wärmeleitung zwischen dem flüssigen Stickstoff und der Metalldurchführung 13 und damit dem Sensor gewährleistet.
Im Vakuumraum 17 befindet sich eine Vakuumvielschichtisolation 20 und ein Adsorbens 21. Mit 22 ist der Vakuumstutzen bezeichnet, der dem Anschluß an eine Vakuumpumpe dient.
Bezugszeichenliste
1
Halsrohr
2
Innenbehälter
3
Außenbehälteroberteil
4
Zwischenboden
5
Federbalg
6
Verstelleinrichtung
7
Sensor
8
Kryostataußenwandboden
9
Kryostataußenwand
10
Abschlußdeckel
11
Hülse
12
Innenbehälter
13
Metalldurchführung
14
Flüssigkeitsraum
15
Scheibe
16
Zylinder
17
Vakuumraum
18
Sensorhalter
19
Zwischenhülse
20
Vakuumvielschichtisolation
21
Adsorbens
22
Vakuumstutzen

Claims (4)

1. Lageunabhängiger Kunststoffkryostat bestehend aus einem inneren und äußeren Behäl­ ter und einem bis zur Hälfte in den Innenbehälter stirnseitig hineinragenden Halsrohr, da­ durch gekennzeichnet, daß das Halsrohr (1) mit dem Innenbehälter (2) und einem axial be­ weglichen Zwischenboden (4) fest verbunden ist und daß der Zwischenboden (4) über axial wirkende Verstelleinrichtungen (6) an der dem Sensorhalter (18) gegenüberliegenden Au­ ßenbehälterstirnwand (3) verankert ist.
2. Lageunabhängiger Kunststoffkryostat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumraum (17) zwischen Innenbehälter (2) und Außenbehälter (9) an der Durchführung des Halsrohres (1) durch die Außenbehälterstirnwand (3) mittels eines Federbalgs (5) vaku­ umdicht verschlossen ist.
3. Lageunabhängiger Kunststoffkryostat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Verstelleinrichtungen (6) vorzugsweise drei gleichmäßig verteilte Mikrometerschrauben ein­ gesetzt sind.
4. Lageunabhängiger Kunststoffkryostat nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenbehälter (2) aus nichtmetallischem Werkstoff, vorzugsweise glasfaserver­ stärktem Epoxidharz besteht und mit einem geschlitzten Zylinder (16) und an der vakuum­ dichten Metalldurchführung (13) mit einer geschlitzten Scheibe (15) aus Kupfer ausgeklei­ det ist und daß sich an der Metalldurchführung (13) der im Vakuumraum (17) befindliche Sensorhalter (18) befindet.
DE1998140652 1998-09-05 1998-09-05 Lageunabhängiger Kunststoffkryostat Withdrawn DE19840652A1 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008014005A1 (de) * 2008-03-13 2009-09-17 Bundesrepublik Deutschland, vertr.d.d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, d.vertr.d.d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Positioniervorrichtung und kryostatische Anlage

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008014005A1 (de) * 2008-03-13 2009-09-17 Bundesrepublik Deutschland, vertr.d.d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, d.vertr.d.d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Positioniervorrichtung und kryostatische Anlage
DE102008014005B4 (de) * 2008-03-13 2010-08-12 Bundesrepublik Deutschland, vertr.d.d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, d.vertr.d.d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Positioniervorrichtung und kryostatische Anlage

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