DE102008006831A1 - Heißfilmsensor - Google Patents
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103717526A (zh) * | 2011-07-13 | 2014-04-09 | 国家科研中心 | 包括加热元件的微型传感器以及与其相关联的制造方法 |
DE102015107626A1 (de) | 2015-05-15 | 2016-11-17 | Airbus Defence and Space GmbH | Strömungssteuerungsvorrichtung, Strömungsprofilkörper und Strömungsbeeinflussungsverfahren mit Schallwellenerzeugung |
DE102016210303A1 (de) * | 2016-06-10 | 2017-12-14 | Airbus Defence and Space GmbH | Sensorträgerfolie für ein Objekt und Verfahren zum Bestücken eines Objekts mit einer Sensorik |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102128655A (zh) * | 2010-12-08 | 2011-07-20 | 苏州谷之道软件科技有限公司 | 一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器 |
US20170044010A1 (en) * | 2014-04-02 | 2017-02-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Sensor element, method for manufacturing sensor element, detection device, and method for manufacturing detection device |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4733559A (en) * | 1983-12-01 | 1988-03-29 | Harry E. Aine | Thermal fluid flow sensing method and apparatus for sensing flow over a wide range of flow rates |
DE4241333A1 (en) * | 1991-12-09 | 1993-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor sensor for flow meter - contains semiconducting chip with sensor element contg. flow detector element with heating and temp. sensitive elements. |
US5237867A (en) | 1990-06-29 | 1993-08-24 | Siemens Automotive L.P. | Thin-film air flow sensor using temperature-biasing resistive element |
DE4417679C1 (de) | 1994-05-17 | 1995-07-06 | Gfai Ges Zur Foerderung Angewa | Heißfilmfolie für strömungstechnische Messungen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
US5484517A (en) | 1994-03-08 | 1996-01-16 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method of forming multi-element thin hot film sensors on polyimide film |
DE19746692A1 (de) * | 1997-06-19 | 1999-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | Flußratenmeßelement und ein dieses verwendender Flußratensensor |
DE19961129A1 (de) | 1999-07-14 | 2001-02-01 | Mitsubishi Electric Corp | Flusssensor eines thermischen Typs |
EP0958487B1 (de) | 1997-02-04 | 2002-04-24 | E + E Elektronik Gesellschaft M.B.H. | Heissfilmanemometer |
EP0958478B1 (en) | 1996-09-27 | 2002-11-27 | Ucar Carbon Technology Corporation | Panelized spray-cooled furnace roof |
JP2003021547A (ja) | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Denso Corp | 薄膜式センサならびにフローセンサおよびその製造方法 |
US6698283B2 (en) | 2001-07-16 | 2004-03-02 | Denso Corporation | Thin film sensor, method of manufacturing thin film sensor, and flow sensor |
DE102005051672A1 (de) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Hydac Electronic Gmbh | Mehrdimensionaler Fluidströmungssensor |
US20070234793A1 (en) * | 2003-06-06 | 2007-10-11 | Chang Liu | Sensor chip and apparatus for tactile and/or flow sensing |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2919433A1 (de) * | 1979-05-15 | 1980-12-04 | Bosch Gmbh Robert | Messonde zur messung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums und verfahren zu ihrer herstellung |
US5161541A (en) * | 1991-03-05 | 1992-11-10 | Edentec | Flow sensor system |
JP5210491B2 (ja) * | 2006-02-03 | 2013-06-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量センサ |
-
2008
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-
2009
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4733559A (en) * | 1983-12-01 | 1988-03-29 | Harry E. Aine | Thermal fluid flow sensing method and apparatus for sensing flow over a wide range of flow rates |
US5237867A (en) | 1990-06-29 | 1993-08-24 | Siemens Automotive L.P. | Thin-film air flow sensor using temperature-biasing resistive element |
DE4241333A1 (en) * | 1991-12-09 | 1993-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor sensor for flow meter - contains semiconducting chip with sensor element contg. flow detector element with heating and temp. sensitive elements. |
US5484517A (en) | 1994-03-08 | 1996-01-16 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method of forming multi-element thin hot film sensors on polyimide film |
DE4417679C1 (de) | 1994-05-17 | 1995-07-06 | Gfai Ges Zur Foerderung Angewa | Heißfilmfolie für strömungstechnische Messungen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
EP0958478B1 (en) | 1996-09-27 | 2002-11-27 | Ucar Carbon Technology Corporation | Panelized spray-cooled furnace roof |
EP0958487B1 (de) | 1997-02-04 | 2002-04-24 | E + E Elektronik Gesellschaft M.B.H. | Heissfilmanemometer |
DE19746692A1 (de) * | 1997-06-19 | 1999-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | Flußratenmeßelement und ein dieses verwendender Flußratensensor |
DE19961129A1 (de) | 1999-07-14 | 2001-02-01 | Mitsubishi Electric Corp | Flusssensor eines thermischen Typs |
JP2003021547A (ja) | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Denso Corp | 薄膜式センサならびにフローセンサおよびその製造方法 |
US6698283B2 (en) | 2001-07-16 | 2004-03-02 | Denso Corporation | Thin film sensor, method of manufacturing thin film sensor, and flow sensor |
US20070234793A1 (en) * | 2003-06-06 | 2007-10-11 | Chang Liu | Sensor chip and apparatus for tactile and/or flow sensing |
DE102005051672A1 (de) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Hydac Electronic Gmbh | Mehrdimensionaler Fluidströmungssensor |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103717526A (zh) * | 2011-07-13 | 2014-04-09 | 国家科研中心 | 包括加热元件的微型传感器以及与其相关联的制造方法 |
CN103717526B (zh) * | 2011-07-13 | 2016-08-17 | 国家科研中心 | 包括加热元件的微型传感器以及与其相关联的制造方法 |
DE102015107626A1 (de) | 2015-05-15 | 2016-11-17 | Airbus Defence and Space GmbH | Strömungssteuerungsvorrichtung, Strömungsprofilkörper und Strömungsbeeinflussungsverfahren mit Schallwellenerzeugung |
WO2016184676A1 (de) | 2015-05-15 | 2016-11-24 | Airbus Defence and Space GmbH | Strömungssteuerungsvorrichtung, strömungsprofilkörper und strömungsbeeinflussungsverfahren mit schallwellenerzeugung |
DE102015107626B4 (de) * | 2015-05-15 | 2019-11-07 | Airbus Defence and Space GmbH | Strömungssteuerungsvorrichtung, Strömungsdynamischer Profilkörper und Strömungssteuerungsverfahren mit Schallwellenerzeugung |
DE102016210303A1 (de) * | 2016-06-10 | 2017-12-14 | Airbus Defence and Space GmbH | Sensorträgerfolie für ein Objekt und Verfahren zum Bestücken eines Objekts mit einer Sensorik |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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