CN102128655A - 一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器 - Google Patents

一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN102128655A
CN102128655A CN 201010577317 CN201010577317A CN102128655A CN 102128655 A CN102128655 A CN 102128655A CN 201010577317 CN201010577317 CN 201010577317 CN 201010577317 A CN201010577317 A CN 201010577317A CN 102128655 A CN102128655 A CN 102128655A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film
sensor
cavity structure
mems
heating resistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN 201010577317
Other languages
English (en)
Inventor
吴俊辉
朱小茅
沈寒冰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SUZHOU GUZHIDAO SOFTWARE TECHNOLOGY CO LTD
Original Assignee
SUZHOU GUZHIDAO SOFTWARE TECHNOLOGY CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SUZHOU GUZHIDAO SOFTWARE TECHNOLOGY CO LTD filed Critical SUZHOU GUZHIDAO SOFTWARE TECHNOLOGY CO LTD
Priority to CN 201010577317 priority Critical patent/CN102128655A/zh
Publication of CN102128655A publication Critical patent/CN102128655A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Micromachines (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

本发明一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器(100)，是通过MEMS工艺在膜加热电阻(1)和膜测温电阻(2)基底区域刻蚀一个主空腔(3)，同时在膜加热电阻和膜测温电阻引线(4)基底区域刻蚀一个从空腔(5)。采用这种主从双空腔结构，可以降低膜加热电阻和膜测温电阻引线部分的热容，对膜加热电阻和膜测温电阻引线部分绝热，进而提高传感器的响应时间和灵敏度。

Description

一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器
技术领域
本发明是关于一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，具体的说，是采用MEMS工艺在膜加热电阻和膜测温电阻基底区域刻蚀一个主空腔，同时在膜加热电阻和膜测温电阻引线基底区域刻蚀一个从空腔。
技术背景
汽车用空气流量传感器主要应用于现代汽车电子控制燃油喷射系统(EFI)中，一般安装在空气滤清器和节气门体之间，用它来测量吸入发动机中的空气量的多少，作为决定基本喷油量的主要参数。汽车用空气流量传感器根据测量原理不同，可以分为旋转翼片式空气流量传感器、卡门涡游式空气流量传感器、热线式空气流量传感器和热膜式空气流量传感器四种型式。
热膜空气流量MEMS传感器是目前国际上最先进的气体流量检测技术，这种传感器的典型结构包括：Si空腔、支撑薄膜、加热电阻和测温电阻组成。薄膜下的Si空腔，起到减少热容和绝热的作用，进而提高传感器的响应时间和灵敏度。目前国际国内采用MEMS工艺制备的热膜空气流量传感器都是在膜加热电阻和膜测温电阻下面刻蚀一个空腔，很显然，此空腔仅对空腔上方的热膜起到减少热容和绝热的作用，但是，热膜电阻的引线部分其实也是一层薄膜结构，同样具有一定的电阻值和发热量，其热容和绝热的问题依旧存在，势必会降低传感器的响应时间和灵敏度。
本发明就是通过在MEMS工艺在膜加热电阻和膜测温电阻基底区域刻蚀一个主空腔，同时在膜加热电阻和膜测温电阻引线基底区域刻蚀一个从空腔。采用这种主从双空腔结构，可以进一步降低膜加热电阻和膜测温电阻引线部分的热容，进一步对膜加热电阻和膜测温电阻引线部分绝热，进而进一步提高传感器的响应时间和灵敏度。
发明内容
本发明一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，完成如下发明内容：
通过MEMS工艺在膜加热电阻和膜测温电阻基底区域刻蚀一个主空腔，同时在膜加热电阻和膜测温电阻引线基底区域刻蚀一个从空腔。
附图说明
图1是主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器的平面结构示意图。

Claims (4)

1.一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器(100)，是通过MEMS工艺在膜加热电阻(1)和膜测温电阻(2)基底区域刻蚀一个主空腔(3)，同时在膜加热电阻和膜测温电阻引线(4)基底区域刻蚀一个从空腔(5)。
2.如权利要求书1，一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，其特征在于：所述的膜加热电阻和膜测温电阻包括但不限于铂(Pt)膜。
3.如权利要求书1，一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，其特征在于：所述的基底区域包括但不限于硅(Si)片。
4.如权利要求书1，一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量MEMS传感器，其特征在于：所述的MEMS工艺刻蚀方式包括干法刻蚀方式和湿法刻蚀方式。
CN 201010577317 2010-12-08 2010-12-08 一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器 Pending CN102128655A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010577317 CN102128655A (zh) 2010-12-08 2010-12-08 一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010577317 CN102128655A (zh) 2010-12-08 2010-12-08 一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102128655A true CN102128655A (zh) 2011-07-20

Family

ID=44266832

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201010577317 Pending CN102128655A (zh) 2010-12-08 2010-12-08 一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102128655A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102553119A (zh) * 2011-12-22 2012-07-11 中国科学技术大学 一种气体灭火剂浓度测试装置及其测试方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH102773A (ja) * 1996-06-19 1998-01-06 Hitachi Ltd 熱式空気流量計
US6725716B1 (en) * 1999-04-13 2004-04-27 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Thermo-sensitive flow rate sensor and method of manufacturing the same
CN201199167Y (zh) * 2008-05-07 2009-02-25 哈尔滨市东北汽车电子工程技术研究开发中心 热膜式流量传感器芯片
CN101408442A (zh) * 2008-09-24 2009-04-15 北京时代蓝天光电技术有限公司 硅基薄膜结构空气质量流量传感器
WO2009094986A1 (de) * 2008-01-30 2009-08-06 Eads Deutschland Gmbh Heissfilmsensor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH102773A (ja) * 1996-06-19 1998-01-06 Hitachi Ltd 熱式空気流量計
US6725716B1 (en) * 1999-04-13 2004-04-27 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Thermo-sensitive flow rate sensor and method of manufacturing the same
WO2009094986A1 (de) * 2008-01-30 2009-08-06 Eads Deutschland Gmbh Heissfilmsensor
CN201199167Y (zh) * 2008-05-07 2009-02-25 哈尔滨市东北汽车电子工程技术研究开发中心 热膜式流量传感器芯片
CN101408442A (zh) * 2008-09-24 2009-04-15 北京时代蓝天光电技术有限公司 硅基薄膜结构空气质量流量传感器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102553119A (zh) * 2011-12-22 2012-07-11 中国科学技术大学 一种气体灭火剂浓度测试装置及其测试方法
CN102553119B (zh) * 2011-12-22 2014-01-29 中国科学技术大学 一种气体灭火剂浓度测试装置及其测试方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8215160B2 (en) Sensor structure
JP5883887B2 (ja) 流量計測装置
EP1452838B1 (en) Thermal flow rate sensor
JP4850105B2 (ja) 熱式流量計
US9557202B2 (en) Air mass meter with a sensor element
CN105829874A (zh) 湿度测量装置
JP2008058131A (ja) 熱式ガス流量計
EP1742025B1 (en) Thermal type flow measuring apparatus
US10739176B2 (en) Flow rate sensor having temperature detectors and heat element provided on different insulator layers of diaphragm part
Sparks MEMS pressure and flow sensors for automotive engine management and aerospace applications
JP2014038056A (ja) 湿度検出装置
JP6186244B2 (ja) 温湿度センサ用ヒータの温度制御装置
JP4205116B2 (ja) 感熱式流量センサの流量検出素子
CN201199167Y (zh) 热膜式流量传感器芯片
EP2966417B1 (en) Thermal-type airflow meter
US7185538B2 (en) Methods and systems for sensing air vehicle airspeed
CN102128655A (zh) 一种主从双空腔结构式汽车用热膜空气流量mems传感器
JP2006258675A (ja) 流量センサ
CN202853790U (zh) 汽车用检测进气岐管气体温度和压力的传感器装置
JP3577269B2 (ja) 熱式空気流量センサおよびその形成方法
CN101408442A (zh) 硅基薄膜结构空气质量流量传感器
US20200158546A1 (en) Sensor for detecting at least one property of a fluid medium
CN107830967B (zh) 一种mems气体差压传感器
US9664545B2 (en) Air mass sensor
JP2008026206A (ja) 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20110720