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Die
Erfindung betrifft eine Halbleiteranordnung mit einem Träger
und mit mindestens zwei pn-Übergängen, sowie ein
Verfahren zur Herstellung einer derartigen Halbleiteranordnung.
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Flächige,
dünn ausgeführte Beleuchtungseinrichtungen sind
aus dem heutigen Alltag in vielen Bereichen kaum mehr wegzudenken.
Als einige Beispiele für die vielfältigen Anwendungen
seien die Displays von Laptops, Mobiltelefonen oder MP3-Playern genannt.
Zur Verbesserung der Produkte und um die Kundenfreundlichkeit zu
steigern, geht das Bestreben der Technik dahin, leuchtstärkere,
flächig größere und dabei dünnere
Displays mit einer gleichmäßigen Leuchtverteilung
zu erstellen. Dünnformatige Beleuchtungseinrichtungen finden
hierbei beispielsweise für die Hintergrundbeleuchtung einer
Flüssigkristallanordnung Verwendung. Geeignete, gängige, nur
wenig Platz benötigende Lichtquellen wie Leuchtdioden bzw.
LEDs strahlen allerdings in der Regel punkt- oder linienförmig
ab, so dass erst über flächige Lichtleiter auch
eine flächige Beleuchtungseinrichtung entsteht. Oft ist
dieser Zwischenschritt, einen Flächenlichtleiter zu benützen,
verbunden mit zusätzlichem Aufwand und somit Kosten bei
gleichzeitiger Einschränkung der Leuchtkraft.
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Aufgabe
der Erfindung ist es, eine Halbleiteranordnung zur Verfügung
zu stellen, die es ermöglicht, sowohl großflächige
als auch äußerst dünne Beleuchtungseinrichtungen
zu realisieren, sowie ein Herstellungsverfahren für eine
derartige Halbleiteranordnung anzugeben.
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Diese
Aufgabe wird durch die in den nebengeordneten Patentansprüchen
angegebenen Maßnahmen gelöst. Weitere vorteilhafte
Ausgestaltungen sind in den untergeordneten Patentansprüchen
angegeben.
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Eine
Halbleiteranordnung mit einem Träger mit einer im wesentlichen,
das heißt im Rahmen der Fertigungstoleranzen, flachen Trägeroberseite
weist mindestens zwei flächig ausgestaltete pn-Übergänge auf,
die am Träger in mindestens einer Ebene angebracht sind,
so dass sich abwechselnd jeweils p- und n-Seiten verschiedener pn-Übergänge
näher an der Trägeroberseite des Trägers
befinden. Die Ladungsträgerrekombinationszonen dieser pn-Übergänge sind
im wesentlichen, das heißt im Rahmen der Fertigungstoleranzen,
parallel zur Trägeroberseite ausgerichtet. Des weiteren
werden mindestens zu einem Teil im wesentlichen, das heißt
im Rahmen der Fertigungstoleranzen, planare elektrische Leitungsanordnungen
teilweise oberhalb und teilweise unterhalb der Ebene der pn-Übergänge
angebracht. Die Leitungsanordnungen sind dabei im wesentlichen,
das heißt im Rahmen der Fertigungstoleranzen, ebenfalls parallel
zur Trägeroberseite ausgerichtet. Durch eine geeignete
Anordnung und Ausgestaltung von pn-Übergängen
und elektrischen Leitungsanordnungen entsteht zumindest eine funktionsfähige
elektrische Reihenschaltung der pn-Übergänge.
Diese Anordnung ermöglicht es, eine großflächige
und homogene, leuchtstarke und äußerst dünne
Beleuchtungseinrichtung unkompliziert und flexibel gestaltbar aufzubauen
und oftmals nötige komplexe flächige Lichtleiter
zu vereinfachen oder einzusparen.
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Neben
der Halbleiteranordnung selbst wird ein Verfahren zur Herstellung
der Anordnung beschrieben, das mit den Schritten Herstellen von pn-Übergängen,
Herstellen von elektrischen Leitungsanordnungen und Anordnen der
pn-Übergänge ein effizientes und kostengünstiges
Produzieren der Halbleiteranordnung erlaubt.
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Durch
eine zweidimensionale Anordnung der pn-Übergänge
innerhalb einer Ebene am Träger lassen sich besonders große
Abmessungen der Anordnung erreichen. Auch ist ein unkompliziertes
Platzieren der pn-Übergänge möglich.
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Durch
eine Anordnung der pn-Übergänge in mehreren Ebenen
wird eine äußerst kompakte und lichtkräftige
Schaltung gewährleistet. Auch die Gestaltungsmöglichkeiten
bezüglich der sich jeweils in einer Ebene befindlichen
pn-Übergänge wird deutlich erhöht.
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Sind
die pn-Übergänge in Ebenen angeordnet, welche
sich auf verschiedenen Seiten des Trägers befinden, lässt
sich eine äußerste kompakte Schaltung realisieren,
welche beidseitig sehr leuchtkräftig ist. Zudem sind beide
Seiten des Trägers im Herstellungsverfahren leicht zugänglich.
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Besondere
Flexibilität ergibt sich, wenn die pn-Übergänge,
welche mindestens einer Ebene einer- oder beidseits des Trägers
angeordnet sind, dreidimensional, d. h. Ebenen übergreifend,
verschalten sind. Durch eine solche dreidimensionale Schaltung lassen
sich über einfache Herstellungsprozesse komplexe Schaltungsmuster
realisieren.
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Durch
eine reflektierende Schicht am Träger lässt sich
elektromagnetische Strahlung gezielt von oder zu den pn- Übergängen
leiten. Außerdem kann eine reflektierende Schicht, insbesondere
falls metallisch ausgeführt und entsprechend strukturiert,
beispielsweise zur elektrischen Kontaktierung der pn-Übergänge
verwendet werden.
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Durch
das Auftragen einer Deckschicht auf mindestens einer Seite einer
Ebene von pn-Übergängen wird der Schutz gegen äußere
Einflüsse der Anordnung deutlich erhöht, beispielsweise
gegenüber Feuchtigkeit oder mechanischer Belastung. Wird
die mindestens eine Deckschicht nur zum Teil ausgeführt,
bleiben weiterhin Areale der Anordnung von außen zugänglich. Über
eine passende Gestaltung der Deckschicht lässt sich die
Halbleiteranordnung auch an ein Gehäuse oder anderes Element
nach außen anbringen.
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Durch
die Verwendung mindestens eines transparenten Materials für
elektrische Leitungsanordnungen und/oder Deckschicht und/oder Träger kann
elektromagnetische Strahlung verlustarm von bzw. zu den pn-Übergängen
gelangen. Zudem lässt sich eine Halbleiteranordnung realisieren,
welche z. B. im Bereich des optischen Lichts transparent ist.
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Durch
ein thermisch leitfähiges Material im Träger und/oder
der Deckschicht lässt sich im Betrieb der pn-Übergänge
anfallende thermische Leistung bzw. Abwärme effizient abführen.
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Gegebenenfalls
anfallende Abwärme im Betrieb der pn-Übergänge
lässt sich sehr effizient in größerem
Umfang abführen, sofern der Raum zwischen Träger
und Deckschicht so ausgestaltet ist, dass zwischen Träger
und Deckschicht das Strömen einer Kühlflüssigkeit
oder eines Kühlgases möglich ist.
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Durch
zusätzliche Schichten, die mechanisch schützend
oder elektrisch isolierend sind, erhöhen sich die Ausgestaltungsmöglichkeiten
der Halbleiteranordnung. Elektrische Leitungsanordnungen können
so vor Kurzschlüssen geschützt werden. Beschädigungen
von empfindlichen Oberflächen werden durch geeignete Schichten
verringert.
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Durch
pn-Übergänge, die elektromagnetische Strahlung,
z. B. im sichtbaren Spektralbereich, emittieren, wird es ermöglicht,
die Halbleiteranordnung insbesondere als vielseitig gestaltbare
Beleuchtungseinrichtung zu verwenden.
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Durch
eine Ausführung der Halbleiteranordnung, die es ermöglicht,
dass die elektromagnetische Strahlung nach beiden Seiten mindestens
einer Ebene der pn-Übergänge hin emittiert wird,
entsteht eine kompakte Beleuchtungseinrichtung, die auch zu Zwecken
der Raumbeleuchtung geeignet ist. Dies gilt insbesondere, wenn Träger
und/oder Deckschicht reflektierende oder transparente Schichten
umfassen.
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Durch
diffraktive oder refraktive optische Elemente an Träger
und/oder Deckschicht wird es ermöglicht, elektromagnetische
Strahlung gezielt, insbesondere richtungsabhängig, von
den oder an die pn-Übergänge weg- bzw. hin zu
leiten. Dies ermöglicht es, die Halbleiteranordnung als
einen kompakten Richtstrahler oder Richtempfänger zu verwenden.
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Eine
besonders kompakte und flexibel zu handhabende Anordnung entsteht,
wenn die optisch diffraktiven oder refraktiven Elemente Fresnel-Zonen,
Mikrolinsen, Mikrospiegel oder flächige, nano- oder mikrostrukturierte
optisch wirksame Schichten sind. Solche optischen Elemente lassen
sich leicht im Rahmen des Herstellungsprozesses in die Halbleiteranordnung
integrieren.
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Durch
ein Konversionsmittel in der Halbleiteranordnung wird es ermöglicht,
elektromagnetische Strahlung der pn-Übergänge
in elektromagnetische Strahlung einer anderen Frequenz überzuführen. Durch
das Konversionsmittel wird es insbesondere ermöglicht,
blau abstrahlende LEDs zur Weißlichtbeleuchtung zu verwenden.
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Durch
einen Filter in der Halbleiteranordnung, der in Transmission Teile
der elektromagnetischen Strahlung absorbiert und/oder nur bestimmte Farben
reflektiert, wird es ermöglicht, z. B. eine schmalbandige
Lichtquelle zu erhalten. Erfolgt das Filtern nur zeitweise, ist
eine günstige Verwendung, beispielsweise in Signalanlagen,
möglich.
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Durch
ein geeignetes Konversionsmittel, einen Kristall oder einen photonischen
Kristall in der Halbleiteranordnung ist es möglich, gleiche
oder auch verschiedene Wellenlängen der elektromagnetischen
Strahlung, welche von den pn-Übergängen emittiert
werden, zu mischen. Dadurch werden, beispielsweise über
Halbierung der Wellenlänge, neue Spektralbereiche, die
auf herkömmliche Art nicht zugänglich sind, erreichbar.
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Sind
elektrische Leitungsanordnungen und pn-Übergänge
derart angeordnet, dass sich eine Mehrzahl an elektrisch separat
ansprechbaren Reihenschaltungen ergibt, wird die Flexibilität
der Anordnung signifikant erhöht. Bestimmte, auch verschiedene
Frequenzen abstrahlende pn-Übergänge oder Areale
der Beleuchtungseinrichtung lassen sich dadurch gezielt ansprechen.
Insbesondere lassen sich hieraus Zeilen, zweidimensionale Felder
oder Anzeigeeinrichtungen auf besondere Art und Weise herstellen.
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Durch
eine mechanisch flexibel ausgestaltete Halbleiteranordnung lassen
sich ebenfalls flexible, mechanisch biegbare Beleuchtungseinrichtungen
erstellen. Dies ermöglicht eine einfache Handhabung in Fertigung
als auch später vielfältige Anwendungen z. B.
in flexiblen Displays.
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Durch
weitere Halbleiterbauelemente neben den pn-Übergängen
in mindestens einer der Reihenschaltungen oder in einer separaten
Reihenschaltung lassen sich Größen wie Strom,
Spannung und Temperatur messen und/oder regeln. Dadurch lässt sich
beispielsweise eine Schaltung mit einbauen, welche die Halbleiteranordnung
vor eventueller Überlastung schützen kann. Sind
insbesondere Sensoren für Helligkeit integriert, so lässt
sich eine Lichtquelle mit konstanter Helligkeit bzw. Abstrahlung
realisieren.
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Ist
mindestens ein Teil der pn-Übergänge als Dünnfilm-Halbleiterbauelement
ausgeführt, welche Schichtenstapel und eine selbsttragende
Trägerschicht umfassen, so lassen sich besonders dünne Halbleiteranordnungen
und somit Beleuchtungseinrichtungen herstellen. Durch die kompakte
Bauweise können auch sehr hohe Flächenleuchtstärken
realisiert werden. Die pn-Übergänge können
so ausgestaltet sein, dass sie frei von einem Aufwachssubstrat sind
und lediglich eine epitaktisch gewachsene Schichtenfolge umfassen.
Bevorzugt beträgt die Dicke eines derartigen Halbleiterbauteils
weniger als 100 μm, besonders bevorzugt weniger als 20 μm, beispielsweise
10 μm oder 6 μm. Solche Dünnfilm-Halbleiterbauelemente
können beispielsweise wie die der Druckschrift
WO 2007/016908 A1 ausgestaltet
und hergestellt sein. Der Offenbarungsgehalt dieser Druckschrift
wird hiermit bezüglich der dort beschriebenen Halbleiterchips
sowie deren Herstellung durch Rückbezug mit aufgenommen.
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Werden
Dünnfilm-Halbleiterbauelemente als pn-Übergänge
verwendet, so ist es besonders vorteilhaft, wenn diese dazu geeignet
sind, auf beiden Seiten elektromagnetische Strahlung zu emittieren. Dadurch
wird ein einfach aufgebautes, kompaktes Beleuchtungselement, beispielsweise
für Raumbeleuchtungen, ermöglicht.
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Beinhaltet
der Herstellungsprozess der Halbleiteranordnung ein thermisches
oder Laserablöseverfahren, bei dem ein aktiver Schichtenstapel
von einem Aufwachssubstrat abgelöst werden kann, so sind
besonders dünne pn-Übergänge herstellbar. Des
Weiteren können über ein solches Ablöseverfahren
bereits bestimmte Halbleiterchips oder pn-Übergänge
von einem Substrat entfernt werden, so dass sich bereits beim Ablösen
vom Substrat etwa eine zweidimensionale Anordnung von Halbleiterchips oder
pn-Übergängen realisieren lässt.
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Wird
mindestens ein Teil der elektrischen Leitungsanordnungen mittels
eines photo-lithographischen Verfahrens hergestellt, so lassen sich
auf einfache Art und Weise die elektrischen Verbindungen in passender
Geometrie anbringen. Dies erleichtert den Herstellungsprozess signifikant,
da etwa ein nachträgliches Verbonden der Halbleiterbauelemente
mittels Drähten unterbleiben kann. Auch komplexere Aufbauten
von Schaltungen werden ermöglicht.
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pn-Übergänge,
die insbesondere flächig und zweidimensional angeordnet
sind, werden flexibel, günstig und effizient mit einem
speziellen Verfahren hergestellt. Hierbei werden zuerst ein Anschlussträgerverbund
und ein Halbleiterkörperträger, auf dem sich gesonderte
pn-Übergänge befinden, bereitgestellt. Anschließend
werden Anschlussträgerverbund und Halbleiterkörperträger
relativ zueinander so angeordnet, dass zumindest ein Teil der pn-Übergänge mit
dem Anschlussträgerverbund verbunden werden kann. Daraufhin
wird der soeben mit dem Anschlussträger verbundene Teil
der pn-Übergänge vom Halbleiterkörperträger
getrennt und der Anschlussträgerverbund je nach Erfordernissen
in eine Mehrzahl von Bauelementen aufgeteilt.
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Die
Effizienz dieses Verfahrens ist dann besonders groß, wenn
sich auf dem Anschlussträgerverbund bereits eine Anzahl
von pn-Übergängen und elektrischen Leitungsanordnungen
befindet, so dass sich mit den vom Halbleiterkörperträger übertragenen
pn-Übergängen und elektrischen Leitungsanordnungen
zumindest ein Bauelement mit mindestens einer funktionsfähigen
elektrischen Reihenschaltung gemäß vorigen Beschreibungen
auf dem Anschlussträgerverbund ergibt. Die Anordnung der
pn-Übergänge lässt sich somit über
ein Zusammensetzen zweier als Negative wirkender Träger
erzeugen. Werden als pn-Übergänge Dünnfilm-Halbleiterbauelemente
und als Trägermaterialien beispielsweise Folien verwendet,
so ergibt sich nach Abschluss der Herstellung eine äußerst
dünne Anordnung, welche flexibel gestaltet sein kann.
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Nachfolgend
wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand von
Ausführungsbeispielen beschrieben. Gleiche Bezugszeichen
geben dabei gleiche Elemente in den einzelnen Figuren an. Es sind
dabei jedoch keine maßstäblichen Bezüge
dargestellt.
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Es
zeigen:
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1 eine
Seitenansicht eines Ausführungsbeispiels einer Halbleiteranordnung,
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2 eine
Seitenansicht einer Halbleiteranordnung mit einer Deckschicht,
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3 eine
Seitenansicht einer Anordnung mit einer reflektierenden bzw. einer
Konversionsmittelschicht,
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4 eine
Seitenansicht einer Anordnung mit zwei Ebenen von pn-Übergängen,
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5 eine
Seitenansicht einer Anordnung mit mehreren Ebenen von pn-Übergängen
und einem Kühlmedium,
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6 die Draufsicht a) bzw. Vorderansicht
b) einer Anordnung mit ringförmigen Leitungsanordnungen,
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7 eine
schematische Darstellung einer zweidimensionalen Anordnung von pn-Übergängen,
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8 eine
schematische Darstellung einer Anzeigeeinrichtung mit zwei elektrischen
Reihenschaltungen.
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In 1 ist
ein erstes Ausführungsbeispiel einer Halbleiteranordnung 1 gezeigt.
Diese weist einen Träger 2 auf, der aus einer
Keramik besteht und für Licht im sichtbaren Spektralbereich
undurchlässig ist. Auf der Trägeroberseite 6 des
Trägers 2 ist eine erste Lage flächig
ausgestalteter, metallischer Leitungsanordnungen 3 aufgebracht.
Auf der der Trägeroberseite 6 abgewandten Seite dieser
ersten Lage von Leitungsanordnungen 3 befinden sich in
einer Lage angeordnete Dioden 40, wobei die Dioden 40 dazu
ausgestaltet sind, elektromagnetische Strahlung im sichtbaren Spektralbereich
zu emittieren. Eine Diode 40 besteht hierbei aus je einer
flächig ausgeprägten Schicht aus einem p- und
aus einem n-leitenden Gebiet, mit dem diese Gebiete verbindenden
pn-Übergang 4; eine Diode 40 weist, daraus resultierend,
eine Anoden- und eine Kathodenseite auf. Die Dioden 40 sind
weiterhin so angeordnet, dass bei aufeinander folgenden Dioden 40 sich
abwechselnd immer Anoden- bzw. Kathodenseiten näher am
Träger 2 befinden. Auf der dem Träger 2 abgewandten
Seite der Lage der Dioden 40 befindet sich eine weitere,
zweite Lage elektrischer Leitungsanordnungen 3.
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Die
Leitungsanordnungen 3 beider Lagen verbinden zwei benachbarte
Dioden 40 jeweils elektrisch leitend so miteinander, dass
sich insgesamt eine Reihenschaltung der Dioden 40 ausbildet,
wobei immer abwechselnd Anoden- und Kathodenseiten aufeinander folgender
Dioden 40 miteinander verbunden sind.
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Die
sich zwischen Dioden 40 und Trägeroberseite 6 befindlichen
Leitungsanordnungen 3 bedecken einen Großteil
der Trägeroberseite 6 und wirken daher als reflektierende
Schicht 5. Sie sind dabei so strukturiert, dass zwischen
den Dioden 40, zusätzlich zu den durch die Reihenschaltung
vorgegebenen Verbindungen, keine unerwünschten elektrischen Kontakte über
die Trägeroberseite 6 auftreten. Die Leitungsanordnungen 3 der
zweiten, sich in der weiter von der Trägeroberseite 6 entfernten
Lage von Leitungsanordnungen 3, bedecken nur einen kleinen Anteil
der ihnen zugewandten Seite der Dioden 40, so dass das
von den Dioden 40 emittierte Licht weitestgehend von diesen
Leitungsanordnungen 3 ungestört bleibt. Gemäß 1 sind
die Leitungsanordnungen 3 seitlich über den Träger 2 hinausgeführt,
so dass sie Kontaktierungen 30 bilden, die dem Anschluss
nicht dargestellter externer elektrischer Leitungen dienen.
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Zwischen
den einzelnen Dioden 40 befinden sich horizontale Zwischenräume 9,
die die Dioden 40 elektrisch voneinander isolieren. Die
Zwischenräume 9 sind im Vergleich zu den Abmessungen
der Dioden 40 relativ klein, um eine hochdichte Verschaltung
und somit eine große Leuchtdichte zu gewährleisten.
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2 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Halbleiteranordnung 1,
bei der zusätzlich zum Träger 2 auch
eine Deckschicht 7 angebracht ist, wobei Träger 2 und
Deckschicht 7 die Dioden 40 einschließen.
In diesem Ausführungsbeispiel sind Träger 2 und
Deckschicht 7 transparent ausgeführt und aus einem
Kunststoff gebildet. Die elektrischen Leitungsanordnungen 3 sind
ebenfalls transparent ausgeführt.
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Optional
ist es möglich, die elektrischen Leitungsanordnungen 3 mehrstückig
auszuführen, d. h. die sich mit den Dioden 40 überlappenden
Teile der Leitungsanordnungen 3 sind aus einem transparenten
Material wie Indiumzinnoxid ausgeführt, und die zwischen
den Dioden 40 liegenden Teile der Leitungsanordnungen 3 bestehen
aus dünnen Metalldrähten. Dadurch wird ein im
wesentlichen transparenter, einfach herzustellender Aufbau der Halbleiteranordnung 1 ermöglicht.
Sind die Dioden 40 an ihren Rändern passiviert,
so können die Zwischenräumen 9 zur Isolierung
entfallen und die Packungsdichte der Dioden 40 kann weiter
erhöht werden.
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Im
Falle hoher Packungsdichten der Dioden 40 kann über
ein im Träger 2 und/oder in der Deckschicht 7 enthaltenes
thermisch leitfähiges Material entstehende Betriebswärme
der Dioden 40 gut abgeführt werden. Da gemäß 2 die
elektrischen Leitungsanordnungen 3 auf Trägeroberseite 6 und Deckschichtinnenseite 70 verteilt
sind, können, im Gegensatz zum Ausführungsbeispiel
gemäß 1, auch die Leitungsanordnungen 3 auf
der von der Trägeroberseite 6 abgewandten Seite
der Dioden 40 so ausgeführt werden, dass die Zwischenräume 9 zwischen
allen Dioden 40 deutlich vergrößert werden können.
Größere Zwischenräume 9 reduzieren
die thermische Belastung der Halbleiteranordnung 1 im Betrieb
ebenfalls. Auch ist es möglich, weitere, z. B. elektrisch
isolierende Zwischenschichten anzubringen, um etwa Kurzschlüsse
zwischen Leitungsanordnungen 3 oder Kontaktierungen 30 zu
unterbinden.
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Sind
Träger 2 und/oder Deckschicht 7 aus einem
mechanisch flexiblen Material, wie etwa einer Kunststofffolie, und
die Dioden 40 als ein- oder doppelseitig emittierende Dünnfilm-Halbleiterbauelemente
ausgeführt, so ist die Halbleiteranordnung 1 insgesamt
mechanisch flexibel. Typische Dicken von Dünnfilm-Halbleiterbauelementen
liegen dabei unterhalb von 10 μm, die Gesamtdicke der Halbleiteranordnung 1 kann
weniger als 100 μm betragen. Die Deckschicht 7 kann
auch als Lack oder einer ähnlichen Beschichtung ausgeführt
sein.
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3 zeigt
eine Anordnung analog zu 2, wobei auf der den Dioden 40 abgewandten Seite
des Trägers 2 eine metallische, reflektierende Schicht 5 angebracht
ist, und sich an der Deckschichtinnenseite 70 eine Schicht
eines Konversionsmittels 8 befindet, das dazu geeignet
ist, die von den Dioden 40 emittierte elektromagnetische
Strahlung zumindest teilweise in eine Strahlung einer anderen Frequenz
zu wandeln. Die Kontaktierungen 30 sind so an zwei Außenflächen
der Halbleiteranordnung 1 weiter geführt, dass
das Anschließen der Halbleiteranordnung 1 etwa
mit Klemmen oder Clips möglich ist.
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Alternativ
kann die reflektierende Schicht 5 als eine dielektrische
Schichtenfolge ausgestaltet und auf der den Dioden 40 abgewandten
Seite des Trägers 2 in einem vorhergehenden Herstellungsprozess
angebracht worden sein. Durch eine derartige Schicht 5 ist
es ermöglicht, z. B. nur einen bestimmten Spektralbereich
der von den Dioden 40 emittierten Strahlung zu reflektieren. Über
ein Stempel- oder Prägeverfahren ist es möglich,
die Seite des Trägers 2, oder auch nur Teile davon,
an der die reflektierende Schicht 5 aufgebracht wird, so
zu strukturieren, dass Fresnel-Zonen oder verschiedene Mikrospiegel resultieren.
Auch das Ausgestalten einer Nanostrukturierung ist möglich.
Die Strukturierung kann auch so ausgeführt sein, dass sich
für jede einzelne Diode 40 eine eigene strukturierte
Zone ergibt.
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Optional
ist auch die Verwendung verschiedener Konversionsmittel 8 in
unterschiedlichen Bereichen der Halbleiteranordnung 1 möglich.
Im Falle einer elektrisch isolierenden Schicht eines Konversionsmittels 8 kann
eine Kontaktierung 30 für in 3 nicht
gezeigte externe Anschlüsse einfach zwischen der Konversionsschicht 8 und
Deckschicht 7 entlang geführt werden, so dass
die Kontaktierungen 30 für externe Anschlüsse
sich in räumlicher Nähe an der gleichen Seite
der Anordnung befinden. Da reflektierende Schicht 5 und
Konversionsschicht 8 unabhängig voneinander sind,
ist der Gestaltungsspielraum für diese sehr groß.
Zusätzliche, auch elektrisch isolierende Schichten, die
die Außenflächen der Halbleiteranordnung 1 etwa
vor Verkratzen oder Feuchtigkeit schützen, sind ebenso
möglich.
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Das
Anwendungsbeispiel gemäß 4 ist so
ausgestaltet, dass sich beiderseits des Trägers 2 Leitungsanordnungen 3 und
Dioden 40 befinden, welche jeweils von einer Deckschicht 7 geschützt werden,
so dass sich eine äußerst kompakte und lichtstarke,
nach beiden Seiten abstrahlende Beleuchtungseinrichtung ergibt.
Die elektrischen Kontaktierungen 30 sind durch den Träger 2 hindurchgeführt,
so dass insgesamt nur ein externer Anschluss je für Kathode
und Anode notwendig ist.
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Im
Ausführungsbeispiel in 5 sind an
der Trägeroberseite eines Trägers 2 zwei
Lagen von Dioden 40 angebracht, die durch eine erste, dünne Deckschicht 7a voneinander
separiert sind. Eine zweite, dazu im wesentlichen parallele Deckschicht 7b befindet
sich in größerem Abstand von der Lage der Dioden 40 auf
derselben Seite des Trägers 2, so dass im Freiraum
zwischen Dioden 40 und zweiter Deckschicht 7b ein
Kühlmedium 10 in Form eines Kühlgases
oder einer Kühlflüssigkeit zirkulieren kann. Für
ein effektives Zirkulieren ist eine Dicke dieses Freiraums von wenigen
100 μm erforderlich. Je nach Vereinzelungsgrad der Dioden 40 kann
die erste Deckschicht 7a mit Löchern oder Perforierungen versehen
sein, die ein Strömen des Kühlmediums 10 auch
zur sich näher am Träger 2 befindlichen
Lage der Dioden 40 ermöglichen. Dadurch, dass
die Darstellung in 5 eine Schnittzeichnung ist,
sind mechanische Verbindungen zwischen zweiter Deckschicht 7b und
Träger 2, die zur Erläuterung der Erfindung
keinen Beitrag leisten, nicht dargestellt. Weiterhin besteht keine
Beschränkung auf nur zwei sich übereinander befindliche
Lagen von Dioden 40, insbesondere, da über ein
Kühlmedium 10 die Betriebsabwärme der
dicht gepackten Dioden 40 wirkungsvoll abgeführt
werden kann. Auch können die Abstände zwischen
verschiedenen Deckschichten 7, und somit der für
ein Kühlmedium 10 zur Verfügung stehende
Raum, je nach Anforderung angepasst werden.
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In 6 sind die einzelnen Dioden 40 rund ausgeführt,
wobei eine rechteckige Ausführung ebenso möglich
ist. Träger 2 und Deckschicht 7 bestehen
aus einem transparenten Material. Die elektrischen Leitungsanordnungen 3a, 3b sind
metallisch ausgeführt und bilden auf p- bzw. n-Seite der
Dioden 40 jeweils eine Ringstruktur 3a. Zwischen
den verschiedenen, variabel anordenbaren Dioden 40 ist eine
elektrische Verbindungen über dünne Drähte 3b hergestellt.
Die metallisch ausgeführten Leitungsanordnungen 3a, 3b können
leicht aufgebracht und photo-lithographisch strukturiert werden,
alternativ ist auch ein Aufdampfen möglich. Außerdem
kann die Anzahl an notwendigen Arbeitsschritten reduziert werden.
Alternativ können für die Leitungsanordnungen 3a auch
Rahmenkontakte verwendet werden, das heißt, vorgefertigte
Rahmen, beispielsweise aus dünnen Metalldrähten,
werden auf die Dioden 40 aufgesetzt und sorgen für
die Kontaktierung.
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Optional
können die Leitungsanordnungen 3b, die die einzelnen
Dioden 40 elektrisch miteinander verbinden, sich auch auf
den den Dioden 40 abgewandten Seiten von Träger 2 oder
Deckschicht 7 befinden und über Durchkontaktierungen
mit den Leitungsanordnungen 3b verbunden sein.
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Die
dünnen, metallischen Leitungsanordnungen 3 beeinträchtigen
die Transparenz der Gesamtanordnung nicht signifikant. Die Kontaktierungen 30 sind
als Stifte ausgeführt, die ein einfaches Anschließen
der Halbleiteranordnung 1 gewährleisten.
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Dienen
als Träger 2 bzw. Deckschicht 7 Folien,
so können diese auf einfache Art und Weise in den Zwischenräumen 9,
wo sich keine Dioden 40 befinden, miteinander verklebt
werden, so dass sich eine äußerst vielseitig gestaltbare
Anordnung ergibt, insbesondere da aufgrund der gut leitenden, metallischen,
drahtartigen und somit biegbaren Leitungsanordnungen 3b zwischen
den Dioden 40 auch größere Abstände
dieser zueinander realisierbar sind.
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Zur
mechanischen Stützung der Dioden 40, beispielsweise
im Falle, dass Träger 2 oder Deckschicht 7 dünne
Folien sind, kann eine Diode 40 zusätzlich eine
Stützschicht umfassen, die etwa an einer Hauptseite der
Diode 40 angebracht ist und die im Rahmen der Fertigungstoleranzen
beispielsweise dieselbe Größe wie die Hauptseite
der Diode 40 aufweist. Je nach Erfordernissen und Ausgestaltung
der Stützschicht kann zwischen Stützschicht und
Diode 40 etwa eine flächige, für die
von der Diode 40 emittierte Strahlung reflektierend wirkende
Leitungsanordnung 3 angebracht sein.
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Eine
matrizenähnliche Anordnung von Dioden 40 in Zeilen
und Spalten ist in Draufsicht in 7 gezeigt.
Hierbei sind die Zeilen jeweils als lineare Reihenschaltung realisiert,
und der Wechsel zwischen den Zeilen findet am Beginn bzw. Ende der
jeweiligen Zeile statt. Die Beleuchtungseinrichtung kann beidseitig
Licht abstrahlen und ist transparent. Ober bzw. unterhalb der Lage
der Dioden 40 befindliche Leitungsanordnungen 3 sind
in 7 punktiert bzw. gestrichelt gezeichnet.
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Der
Träger 2 hat im Anwendungsbeispiel einen quadratischen
Grundriss, wobei dies keine Einschränkung darstellt, vielfältige
Formungen des Grundrisses der Halbleiteranordnung 1 sind
möglich. Auch die Dioden 40 müssen nicht
in einer matrizenähnlichen Struktur angeordnet sein, sondern
können im wesentlichen beliebig platziert werden, solange Anoden-
und Kathodenseiten innerhalb einer Reihenschaltung aufeinander folgender
Dioden jeweils abwechselnd über die Leitungsanordnungen 3 kontaktiert
sind. Die von den Dioden 40 abgewandte Seite der Deckschicht 7 kann
mit einer klebenden Schicht versehen sein, so dass die Halbleiteranordnung 1 einfach
an einer Flüssigkristallmaske angebracht werden kann. Auch
ein leichtes Anbringen an in herkömmlichen Displays verwendeten
Diffusoren oder Prismenfolien ist möglich. Vereinfacht
wird das Anbringen dadurch, dass aufgrund der Reihenschaltung nur
wenige externe elektrische Anschlüsse vonnöten
sind.
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8 zeigt
eine zweidimensionale Anordnung von Dioden 40, die als
zwei getrennte Reihenschaltungen ausgestaltet ist. Beispielsweise
beinhaltet eine Reihenschaltung Dioden 40, die blaues Licht abstrahlen,
und die zweite Reihenschaltung Dioden 40, die rotes Licht
abstrahlen. Beide Arten von Dioden 40 befinden sich gemäß 8 in
einer Lage. Beide Reihenschaltungen sind elektrisch separat ansteuerbar.
Die elektrischen Leitungsanordnungen 3 und Kontaktierungen 30 sind
an der Trägeroberseite 6, in 8 als
punktierte Linien gezeichnet, oder an der Deckschichtinnenseite 70,
als dicke Linien gezeichnet, geführt, und können
sich daher prinzipiell ohne isolierende Zwischenschicht kreuzen,
was den Schaltungsaufbau erleichtert.
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Auch
komplexere, sich über mehrere Lagen erstreckende dreidimensionale
Reihenschaltungen der Dioden 40 in größerer
Anzahl lassen sich gestalten. Über die verschiedenen Reihenschaltungen lässt
sich etwa ein ansteuerbares Display erstellen, wobei verschiedene
Zeichen oder Buchstaben etwa verschiedenen Reihenschaltungen entsprechen, welche
separat ansprechbar sind und auch in verschiedenen Lagen und/oder
in verschiedenen Farben übereinander angeordnet werden
können.
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Die
in den beschriebenen Ausführungsbeispielen auftretenden
Reihenschaltungen müssen nicht ausschließlich
aus Dioden 40 aufgebaut sein. Selbstverständlich
ist es möglich, weitere Halbleiterbauelemente anderer Bauart
zu integrieren, entweder als separate Schaltungen oder mit den Dioden 40 in
Reihe geschaltet. Im letzteren Fall kann das eine oder die mehreren
Halbleiterelemente am Anfang bzw. Ende einer Schaltung oder auch
in deren mittleren Bereichen angeordnet sein. Je nach Platzbedarf dieser
Halbleiterbauelemente sind diese passend zu positionieren, oder
Träger 2 und/oder Deckschicht 7 mit geeigneten
Ausnehmungen zu versehen. Funktionen der zusätzlichen Halbleiterbauelemente
sind z. B. die Messung von elektrischen Strömen bzw. Spannungen
in den Schaltungen. Über eine Regelung dieser Größen über
dieselben oder über andere Halbleiterbauelemente kann auch
Einfluss auf etwa Temperatur oder Abstrahlhelligkeit genommen werden,
so dass sich, auch in Kombination mit einem integrierten oder externen
Helligkeitssensor eine Beleuchtungseinrichtung mit konstanter Helligkeit
realisieren lässt. Auch eine geeignete Einrichtung zum
Erzeugen einer Versorgungsspannung für die Reihenschaltungen kann
einbezogen werden. Betreffs Ausgestaltung der elektrischen Leitungsanordnungen 3 und
Kontaktierungen 30, der Packungsdichte der Dioden 40 auf
der Halbleiteranordnung 1, der Anzahl an Reihenschaltungen, der
Verwendung wärmeleitfähiger, transparenter oder
mechanisch flexibler Materialien sowie der Verwendung geeigneter
Zwischenschichten können selbstverständlich die
in den verschiedenen Ausführungsbeispielen gezeigten Varianten
miteinander kombiniert werden.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - WO 2007/016908
A1 [0027]