DE102008000215A1 - Laser-Beschriftungsvorrichtung - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschriftung insbesondere dünner Werkstücke, deren Spröde eine besondere Handhabung erfordert. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Beschriftung von Wafern. Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, das Werkstück der Beschriftungsvorrichtung gegen Beschädigung gesichert so zuzuführen, dass die Beschriftung in normierbaren Bereichen erfolgt. Die Aufgabe wird gelöst durch eine Laser-Beschriftungsvorrichtung mit einem Beschriftungslaser, einer dem Beschriftungslaser nachgeschalteten Kontroll-Leseeinrichtung, einem Steuerrechner und einer Zuführeinrichtung, die ein wenigstens nahezu schlupffrei angetriebenes, auf der Werkstückseite einen niedrigen Reibungskoeffizienten aufweisendes Transportband umfasst, wobei das Werkstück vor der Beschriftung einer Positioniereinrichtung zugeführt wird.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschriftung insbesondere dünner Werkstücke, deren Spröde eine besondere Handhabung erfordert. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Beschriftung von Wafern verschiedener geometrischer Form, wie beispielsweise rund oder quadratisch mit Ecken oder abgerundet, und Dicken, die wesentlich kleiner als 200 μm sein können.
- Während des Herstellungsprozesses von Halbleiterprodukten wie integrierten Schaltkreisen oder Photovoltaikmodulen werden die Wafer frühestmöglich gekennzeichnet. Eine vorteilhafte Art der Kennzeichnung ist das Aufbringen eines Data-Matrix-Codes mittels einer Laser-Beschriftungseinrichtung. Zur Optimierung der Lesbarkeit werden mehrere identische Code-Felder erzeugt, so dass bei nachfolgenden Produktionsschritten wenigstens ein Code-Feld im jeweiligen Scanfenster positioniert ist. Wegen der geringen mechanischen Belastbarkeit der Wafer liegt das technologische Problem in der Realisierung der daraus folgenden Sensibilität im Umgang mit den Wafern.
- Die Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, das Werkstück der Beschriftungsvorrichtung gegen Beschädigung gesichert so zuzuführen, dass die Beschriftung in normierbaren Bereichen erfolgt.
- Die Aufgabe wird gemäß der Lehre des Hauptanspruchs gelöst durch eine Laser-Beschriftungsvorrichtung mit einem Beschriftungslaser, einer dem Beschriftungslaser nachgeschalteten Kontroll-Leseeinrichtung, einem Steuerrechner und einer Zuführeinrichtung, die ein wenigstens nahezu schlupffrei angetriebenes, auf der Werkstückseite einen niedrigen Reibungskoeffizienten aufweisendes Transportband umfasst, wobei das Werkstück vor der Beschriftung einer Positioniereinrichtung zugeführt wird.
- Die Positioniereinrichtung umfasst in einer ersten vorteilhaften Ausgestaltung eine Lageerfassungseinrichtung, die mit dem Steuerrechner verbunden ist. Eine zweite vorteilhafte Ausbildung der Positioniereinrichtung besteht darin, dass die Positioniereinrichtung aus Führungsbändern besteht, die beidseitig gleichgerichtet zum Transportband verlaufend und mit diesem jeweils einen Winkel kleiner als 180° bildend angeordnet sind, auf der Werkstückseite einen wenigstens ähnlichen Reibungskoeffizienten wie das Transportband aufweisen und mit wenigstens nahezu gleicher Geschwindigkeit wie das Transportband angetrieben werden. Die Antriebe sind vorteilhaft als Schrittantriebe ausgebildet.
- Mittels der Zeichnung werden die Merkmale der Erfindung nachfolgend näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in
-
1 eine Ausführungsform der Erfindung für runde Schaltkreis- Wafer mit einer aus einer Lageerfassungseinrichtung bestehenden Positioniereinrichtung und -
2 eine Ausführungsform der Erfindung für quadratische Photovoltaik-Wafer mit einer aus Führungsbändern bestehenden Positioniereinrichtung. -
1 zeigt eine Laser-Beschriftungseinrichtung nach der Erfindung mit einer Zuführeinrichtung5 für Wafer1 zu einem über der Zuführeinrichtung5 angeordneten Verbund aus einem Laserbeschriftungsgerät2 und einer Kontroll-Leseeinrichtung3 , die vorzugsweise aus einem Bildaufnahmegerät, beispielsweise einer Kamera besteht. Das Laserbeschriftungsgerät2 und die Kontroll-Leseeinrichtung3 sind mit einem Steuerrechner4 verbunden, an den weiterhin die Steuerungen der Antriebe52 der Zuführeinrichtung5 angeschlossen sind. Die Antriebe52 treiben ein Paar parallel zueinander angeordnete Transportbänder51 an, auf denen die Wafer1 flach aufliegend zur Beschriftung transportiert werden. Die Zuführung der Wafer1 wird hinsichtlich ihrer Ausrichtung von beidseitig parallel zu den Transportbändern51 angeordneten Führungsschienen53 unterstützt. Am Eintritt in die Zuführeinrichtung5 ist eine Lageerfassungseinrichtung6 angeordnet, die vorzugsweise aus einer Zeilenkamera besteht. Die Lageerfassungseinrichtung6 ist an den Steuerrechner4 angeschlossen, so dass die von der Lageerfassungseinrichtung6 beispielsweise anhand einer Markierung, einer Randstruktur oder eines anderen geeigneten Merkmals ermittelte Ausrichtung jedes einzelnen Wafers dem Steuerrechner4 zur Bestimmung des Beschriftungsfeldes und der entsprechenden Ansteuerung des Beschriftungsgerätes2 und der Kontroll-Leseeinrichtung3 übergeben wird. - Die erfindungsgemäße Ausführungsform gemäß
2 verfügt anstatt einer Lageerfassungseinrichtung über eine der Zuführeinrichtung5 vorgeschaltete Positioniereinrichtung6 . Die Ausrichtung der Wafer1 erfolgt mittels der Positioniereinrichtung6 , die aus zwei Führungsbändern61 besteht, die von Antrieben62 die gleiche Geschwindigkeit erhalten wie das Transportbandpaar51 . Die Antriebe62 sind ebenfalls mit dem Steuerrechner4 verbunden. Die Führungsbänder61 bilden beidseitig zur Ebene der Transportbänder51 senkrechte, die Wafer1 ausrichtende Führungsbanden. Sowohl die Transportbänder51 als auch die Führungsbänder61 sind vorteilhaft als Endloszahnriemen mit einer werkstückseitig glatten, einen geringen Reibungskoeffizienten aufweisenden Oberfläche ausgeführt.
Claims (3)
- Laser-Beschriftungsvorrichtung mit einem Beschriftungslaser (
2 ), einer dem Beschriftungslaser (2 ) nachgeschalteten Kontroll-Leseeinrichtung (3 ), einem Steuerrechner (4 ) und einer Zuführeinrichtung (5 ) dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführeinrichtung (5 ) ein wenigstens nahezu schlupffrei angetriebenes, auf der Werkstückseite einen niedrigen Reibungskoeffizienten aufweisendes Transportband (51 ) umfasst und das Werkstück (1 ) vor der Beschriftung einer Positioniereinrichtung (6 ) zugeführt wird. - Laser-Beschriftungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Positioniereinrichtung (
6 ) eine Lageerfassungseinrichtung umfasst, die mit dem Steuerrechner (4 ) verbunden ist. - Laser-Beschriftungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Positioniereinrichtung (
6 ) aus Führungsbändern (61 ) besteht, die beidseitig gleichgerichtet zum Transportband (51 ) verlaufend und mit diesem jeweils einen Winkel kleiner als 180° bildend angeordnet sind, auf der Werkstückseite einen wenigstens ähnlichen Reibungskoeffizienten wie das Transportband (51 ) aufweisen und mit wenigstens nahezu gleicher Geschwindigkeit wie das Transportband (51 ) angetrieben werden.
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Legal Events
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8127 | New person/name/address of the applicant |
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R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
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