DE102007058558A1 - Phase contrast microscope for analyzing sample, has optical unit producing reproduction beam path from light, and optical element connected with control circuit for changing phase of light during observation of sample - Google Patents

Phase contrast microscope for analyzing sample, has optical unit producing reproduction beam path from light, and optical element connected with control circuit for changing phase of light during observation of sample Download PDF

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Abstract

The microscope has an optical unit for producing an illumination beam path from a light produced by a light source, where the beam path is directed by a sample. The optical unit produces a reproduction beam path from a light, which is transmitted, reflected or controlled by the sample. The reproduction beam path is directed to a receiving device. An optical arrangement is arranged in an image beam path for changing the phase of the light. An optical element (2) is connected with a control circuit (3) for changing the phase of the light during the observation of the sample.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Phasenkontrastmikroskop, im wesentlichen umfassend: eine Lichtquelle, eine zu beobachtende Probe, optische Mittel zur Erzeugung eines auf die Probe gerichteten Beleuchtungsstrahlengangs aus dem von der Lichtquelle kommenden Licht, optische Mittel zur Erzeugung eines Abbildungsstrahlengangs aus dem von der Probe transmittierten, reflektierten oder gestreuten Licht, eine Empfangseinrichtung, auf die der Abbildungsstrahlengang gerichtet ist, und eine in den Abbildungsstrahlengang eingeordnete optische Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes.The This invention relates to a phase contrast microscope, essentially comprising: a light source, a sample to be observed, optical means for generating a directed onto the sample illumination beam path from the light coming from the light source, optical means for Generation of an imaging beam path from the transmitted from the sample, reflected or scattered light, a receiving device on which the imaging beam path is directed, and one in the imaging beam path arranged optical arrangement for changing the phase of the light.

Zur mikroskopischen Analyse einer Probe anhand der Phase des von der Probe beeinflußten Lichtes sind im wesentlichen folgende Verfahren bekannt:

  • – Die Methode der „Quantitative Phase Microscopy", bei welcher im Hellfeldverfahren Bildinformationen von der Probe aus einer fokussierten und mindestens zwei defokussierten Mikroskopeinstellungen gewonnen werden und anschließend mit Hilfe mathematischer Methoden aus diesen Bildinformationen eine Abbildung der Probe rekonstruiert wird;
  • – Holographische Verfahren auf der Basis von auf die Probe gerichtetem kohärentem Beleuchtungslicht;
  • – Eine Verfahrensweise unter Verwendung eines sogenannten "Rotated Lateral Shearing Interferometer", bei dem ein C-DIC-Prisma in Rotation versetzt und während einer Umdrehung des Prismas Bildinformationen der Probe aufgenommen werden, aus denen anschließend eine Abbildung der Probe mit Hilfe mathematischer Methoden rekonstruiert wird. Das C-DIC-Prisma ist dabei in zirkular polarisiertem Licht angeordnet;
  • – Das Spiralphasenkontrast-Verfahren, bei dem eine Spiralphasenmaske in die Objektivpupille oder in die Abbildungsebene der Objektivpupille eingebracht wird. In dieses Sachgebiet ist auch die nachfolgend beschriebene Erfindung einzuordnen.
For the microscopic analysis of a sample on the basis of the phase of the light influenced by the sample, essentially the following methods are known:
  • - The method of "Quantitative Phase Microscopy", in which in bright field method image information from the sample from a focused and at least two defocused microscope settings are obtained and then using mathematical methods from this image information, an image of the sample is reconstructed;
  • Holographic methods based on coherent illuminating light directed at the sample;
  • - A procedure using a so-called "Rotated Lateral Shearing Interferometer", in which a C-DIC prism is set in rotation and recorded during a revolution of the prism image information of the sample, from which subsequently an image of the sample using mathematical methods is reconstructed , The C-DIC prism is arranged in circularly polarized light;
  • - The spiral phase contrast method, in which a spiral phase mask is introduced into the objective pupil or into the imaging plane of the objective pupil. In this field, the invention described below is to be classified.

Die Spiralphasenmaske ist ein optisches Element mit einer Phasenstruktur Φ(r, ϕ) nach der Funktion Φ(r, ϕ) = e–iϕ, die sich spiralförmig um sein Zentrum erstreckt. Das Zentrum liegt in der optischen Achse des Mikroskopstrahlengangs. Dadurch wird dem durch dieses optische Element hindurchtretenden Licht eine Phasenverzögerung aufgeprägt, wobei diese Verzögerung unabhängig vom Abstand des Lichtes zum Zentrum des optischen Elementes bzw. zur optischen Achse des Mikroskopstrahlengangs ist.The spiral phase mask is an optical element with a phase structure Φ (r, φ) according to the function Φ (r, φ) = e -iφ , which extends in a spiral around its center. The center lies in the optical axis of the microscope beam path. As a result, a phase delay is imparted to the light passing through this optical element, this delay being independent of the distance of the light to the center of the optical element or to the optical axis of the microscope beam path.

Die n-te Beugungsordnung und die -n-te Beugungsordnung treten zentralsymmetrisch durch die Spiralphasenmaske hindurch und werden dabei um 180° gegeneinander verzögert, was in der Bildebene zu einer destruktiven Interferenz führt.The The n-th diffraction order and the -n-th order of diffraction are center-symmetric through the spiral phase mask and are doing 180 ° against each other delayed which leads to a destructive interference in the image plane.

Weist die Probe einen Phasengradienten auf, kommen die n-te und -n-te Beugungsordnung, abhängig von Größe und Richtung des Phasengradienten, gegeneinander verzögert an der Spiralphasenmaske an und können nicht mehr destruktiv in der Bildebene interferieren.has the sample has a phase gradient, come the nth and -nth Diffraction order, dependent of size and direction of the phase gradient, delayed against each other at the spiral phase mask and can no longer destructive in the image plane interfere.

Es entsteht ein reliefartiges Bild. Wird die Spiralphasenmaske um ihr Zentrum bzw. um die optische Achse des Mikroskopstrahlengangs gedreht, ändert das Relief seine Richtung. Dieser Effekt wird zur mikroskopischen Analyse einer Probe anhand der Phase genutzt.It creates a relief-like image. Will the spiral phase mask around her Center or rotated about the optical axis of the microscope beam path, the changes Relief his direction. This effect becomes a microscopic analysis a sample used on the basis of the phase.

Die Spiralphasenmaske ist so gestaltet, daß die 0-te Beugungsordnung durch das Zentrum der Spiralphasenmaske hindurchtritt und dabei stets um einen konstanten Betrag in der Phase verzögert wird. Die 0-te Beugungsordnung ist also bei der aus dem Stand der Technik bekannten Spiralphasenmaske nachteiligerweise nicht an der Probenanalyse beteiligt.The Spiral phase mask is designed so that the 0th diffraction order passes through the center of the spiral phase mask and thereby is always delayed by a constant amount in the phase. The 0th diffraction order is therefore in the state of the art known spiral phase mask disadvantageously not on the sample analysis involved.

Ein weiterer Nachteil der bisher bekannten Nutzung einer Spiralphasenmaske besteht darin, daß mechanische Antriebselemente zur Erzeugung der Drehbewegung um die optische Achse und hochpräzise Drehlagerungen für die Spiralphasenmaske erforderlich sind. Derartige mechanische Funktionselemente unterliegen dem Verschleiß, sind dadurch kostenintensiv und müssen häufig zeitaufwendig nachjustiert werden.One Another disadvantage of the previously known use of a spiral phase mask is that mechanical Drive elements for generating the rotational movement about the optical Axis and high precision Rotary bearings for the spiral phase mask is required. Such mechanical functional elements are subject to wear, As a result, they are cost-intensive and often have to be time-consuming readjusted become.

Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung für ein Phasenkontrastmikroskop anzugeben, mit welcher die Nachteile des Standes der Technik behoben sind und so das Spiralphasenkontrast-Verfahren mit höherer Effizienz ausgeführt werden kann.From that Based on the invention, the object is an optical Arrangement for To provide a phase contrast microscope, with which the disadvantages of the prior art are eliminated and so the spiral phase contrast method with higher Efficiency executed can be.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Phasenkontrastmikroskop der eingangs genannten Art gelöst, indem die Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes

  • – ein erstes optisches Element aufweist mit einer Struktur zur Veränderung der Phase der n-ten Beugungsordnung des Lichtes, mit n einer ganzen Zahl, und
  • – ein zweites optisches Element aufweist mit einer Struktur zur Veränderung der Phase der 0-ten Beugungsordnung des Lichtes, wobei
mindestens das zweite optische Element mit einer Ansteuerschaltung zur Veränderung der Phase des Lichtes während der Beobachtung der Probe verbunden ist.According to the invention this object is achieved in a phase contrast microscope of the type mentioned, by the arrangement for changing the phase of the light
  • A first optical element having a structure for changing the phase of the n-th diffraction order of the light, with n an integer, and
  • A second optical element having a structure for changing the phase of the 0th diffraction order of the light, wherein
at least the second optical element is connected to a drive circuit for changing the phase of the light during observation of the sample.

Als erstes optisches Element kann eine in Drehung versetzbare Spiralphasenmaske vorgesehen sein, die lediglich in ihrer Peripherie der Spiralphasenmaske entspricht, wie sie weiter oben anhand des Standes der Technik beschrieben wurde. Das Zentrum dieser Spiralphasenmaske ist ausgespart und erfindungsgemäß einem zweiten optischen Element vorbehalten.When the first optical element may be a rotatable spiral phase mask be provided only in the periphery of the spiral phase mask corresponds, as described above with reference to the prior art has been. The center of this spiral phase mask is recessed and according to the invention a reserved second optical element.

Das zweite optische Element ist erfindungsgemäß vorteilhaft als nematisches Liquid Crystal Display (LCD) ausgebildet, das mit einer elektronischen Ansteuerschaltung verbunden ist. In Abhängigkeit von der Ansteuerung wird der Brechungsindex der Flüssigkristalle dieses Liquid Crystal Displays geändert und dadurch die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Lichtes so beeinflußt, daß die Phase der 0-ten Beugungsordnung um einen vorgegebenen Phasenwinkel innerhalb eines Phasenwinkelbereichs φ > 0 verzögert wird.The second optical element is advantageous according to the invention as a nematic Liquid Crystal Display (LCD) formed with an electronic drive circuit connected is. In dependence of the control is the refractive index of the liquid crystals of this liquid Crystal displays changed and thereby the speed of propagation of the light so affected that the phase the 0th diffraction order by a predetermined phase angle within a phase angle range φ> 0 is delayed.

Zu diesem Zweck ist das zweite optische Element im Zentrum des ersten optischen Elementes positioniert.To For this purpose, the second optical element is in the center of the first positioned optical element.

Mit einer solchen in den Abbildungsstrahlengang eingeordneten optischen Anordnung gemäß der Erfindung wird vorteil haft erreicht, daß auch die Phase der 0-ten Beugungsordnung steuerbar verändert und das Spiralphasenkontrast-Verfahren mit höherer Effizienz ausgeführt werden kann.With Such arranged in the imaging beam path optical Arrangement according to the invention is advantageously achieved, that too the phase of the 0th diffraction order is controllably changed and the spiral phase contrast method with higher Efficiency executed can be.

Alternativ dazu kann in einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung als erstes optisches Element ebenfalls mindestens ein nematisches Liquid Crystal Display (LCD) vorgesehen und ebenfalls mit einer Ansteuerschaltung verbunden sein. Hierbei wird in Abhängigkeit von der Ansteuerung die Ausrichtung der Flüssigkristalle auch dieses Liquid Crystal Displays variiert, dadurch der Brechungsindex dieser Flüssigkristalle verändert und so die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Lichtes beeinflußt, wodurch die Phase der n-ten Beugungsordnung mit n einer ganzen Zahl um einen vorgegebenen Phasenwinkel innerhalb eines Phasenwinkelbereichs φ > 0 verzögert wird.alternative This may, in a particularly preferred embodiment of the invention as the first optical element also at least one nematic Liquid Crystal Display (LCD) provided and also with a Be connected control circuit. This is dependent on from driving the alignment of the liquid crystals also this liquid Crystal displays varies, thereby the refractive index of these liquid crystals changed and thus affects the propagation speed of the light, thereby the phase of the nth diffraction order with n of an integer around one predetermined phase angle within a phase angle range φ> 0 is delayed.

So wird in vorteilhafter Weise ein Spiralphasenkontrast erzeugt, der eine quantitative Bestimmung der Phase ohne ein mechanisch bewegtes, in Drehung versetztes optisches Element ermöglicht.So is advantageously generated a spiral phase contrast, the a quantitative determination of the phase without a mechanically moved, enables rotation of the optical element.

Da sich der Brechungsindex mit der Veränderung der Ausrichtung der Flüssigkristalle der nematischen LCD's nur in einer Polarisationsrichtung des Lichtes ändert, sollte in den Mikroskopstrahlengang ein Polarisator eingeordnet sein. Bevorzugt ist der Polarisator in den Beleuchtungsstrahlengang eingeordnet, im Rahmen der vorliegenden Erfindung liegt aber auch dessen Einordnung in den Abbildungsstrahlengang.There the refractive index changes with the orientation of the liquid Crystals the nematic LCD's only changes in one polarization direction of the light, should be in the microscope beam path a polarizer can be arranged. The polarizer is preferred classified in the illumination beam path, in the context of the present However, the invention is also its classification in the imaging beam path.

Im Hinblick auf eine raumsparende Bauweise empfiehlt es sich, den Polarisator auf einer optisch wirksamen Oberflä che einer ohnehin im Strahlengang vorhandenen Linse anzuordnen.in the In view of a space-saving design, it is recommended to use the polarizer on an optically effective Oberflä surface of an already in the beam path to arrange existing lens.

Die Spiralphasenmaske liegt in oder nahe einer Objektivpupille. So kann beispielsweise vorgesehen sein, die LCD's bzw. die Spiralphasenmaske auf einer optisch wirksamen Oberfläche einer Linse im Objektiv anzuordnen.The Spiral phase mask lies in or near a lens pupil. So can For example, be provided, the LCD's or the spiral phase mask on a optically effective surface to arrange a lens in the lens.

Weiterhin bevorzugt ist das erfindungsgemäße Phasenkontrastmikroskop als Weitfeldmikroskop ausgebildet, und die Empfangseinrichtung umfaßt eine Kamera zur Bildaufnahme und Mittel zur Bildauswertung.Farther preferred is the phase contrast microscope according to the invention formed as a wide-field microscope, and the receiving means comprises a Camera for image acquisition and means for image evaluation.

Im Rahmen der Erfindung liegen auch Ausgestaltungen, bei denen die Ansteuerschaltung für die Flüssigkristalle der LCD's so ausgebildet ist, daß die Ansteuerung die Flüssigkristalle in Abhängigkeit von der Wellenlänge des von der Lichtquelle kommenden Lichtes erfolgt. Damit können sowohl Laser, LCD's oder auch Weißlichtquellen als Lichtquellen für das Beleuchtungslicht vorgesehen werden.in the Frame of the invention are also embodiments in which the Control circuit for the liquid Crystals the LCD's so formed is that the Control the liquid crystals in dependence of the wavelength the light coming from the light source takes place. This can both Lasers, LCD's or also white light sources as light sources for the Lighting light can be provided.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:The Invention will be explained in more detail with reference to embodiments. In the associated Drawings show:

1 eine erste Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes mit einem zentrisch zur optischen Achse eines Mikroskopobjektivs angeordneten kreisrunden optischen Element zur ansteuerbaren Veränderung der Phase der 0-ten Beugungsordnung und einer konzentrisch dazu drehbar angeordneten Spiralphasenmaske mit einer Struktur zur Veränderung der Phase von n-ten Beugungsordnungen, 1 a first embodiment of the arrangement according to the invention for changing the phase of the light with a circular optical element arranged to the optical axis of a microscope objective circular optical element for controllably changing the phase of the 0th diffraction order and a concentric thereto rotatably arranged spiral phase mask having a structure for changing the phase of n -th order of diffraction,

2 eine zweite Ausführungsvariante, bei der abweichend von der Ausführungsvariante nach 1 anstelle der drehbaren Spiralphasenmaske ein optisches Element zur ansteuerbaren Veränderung der Phase der n-ten Beugungsordnungen vorhanden ist, 2 a second embodiment, in the deviating from the embodiment according to 1 instead of the rotatable spiral phase mask, there is an optical element for controllably changing the phase of the n-th diffraction orders,

3 ein Beispiel für die Einordnung der erfindungsgemäßen Anordnung nach 1 oder nach 2 in ein Mikroskopobjektiv, 3 an example of the arrangement of the inventive arrangement according to 1 or after 2 in a microscope lens,

4 ein Beispiel für die Verwendung eines Mikroskopobjektivs nach 3 in einem Weitfeldmikroskop für das Durchlichtverfahren, 4 an example of the use of a microscope objective after 3 in a wide field microscope for the transmitted light method,

5 ein Beispiel für die Verwendung eines Mikroskopobjektivs nach 3 in einem Weitfeldmikroskop für das Auflichtverfahren. 5 an example of the use of a microscope objective after 3 in a wide field microscope for the incident light method.

In 1 ist die erfindungsgemäße Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes in einer ersten Ausführungsvariante dargestellt. Die Anordnung weist hier eine um die optische Achse eines Abbildungsstrahlenganges drehbar angeordnete Spiralphasenmaske 1 auf, die zur Beeinflussung der Phase des hindurchtretenden Lichtes dient.In 1 the arrangement according to the invention for changing the phase of the light in a first embodiment is shown. The arrangement here has a spiral phase mask arranged rotatably about the optical axis of an imaging beam path 1 on, which serves to influence the phase of the light passing through.

Wie bereits weiter oben dargelegt, ist die Spiralphasenmaske 1 ein optisches Element, das eine fest vorgegebenen Phasenstruktur aufweist, die sich in Umfangsrichtung U nach der Funktion Φ(r, ϕ) = e–1ϕ spiralförmig ausbreitet. Dem durch diese Spiralphasenmaske 1 hindurchtretenden Licht wird demzufolge unabhängig vom Abstand zur optischen Achse eine Phasenverzögerung aufgeprägt, wobei jeweils die n-te und die -n-te Beugungsordnung zentralsymmetrisch durch die Spiralphasenmaske 1 hindurchtreten und dabei um 180° gegeneinander verzögert werden, allerdings außer der 0-ten Beugungsordnung.As already stated above, the spiral phase mask is 1 an optical element having a fixed phase structure that propagates in the circumferential direction U according to the function Φ (r, φ) = e -1 φ spiral. The through this spiral phase mask 1 Consequently, a phase delay is imparted regardless of the distance to the optical axis, wherein in each case the n-th and the -n-th diffraction order centrally symmetrical through the spiral phase mask 1 pass through and thereby be delayed by 180 ° to each other, but except the 0th order of diffraction.

Die 0-te Beugungsordnung tritt durch das Zentrum hindurch und wird unabhängig von der Drehung der Spiralphasenmaske 1 um die optische Achse um einen konstanten Betrag in der Phase verzögert. Diese Verzögerung der Phase um einen konstanten Betrag hat den Nachteil, daß der Kontrast von Kantenstrukturen geschwächt wird.The 0th diffraction order passes through the center and becomes independent of the rotation of the spiral phase mask 1 delayed by a constant amount in the phase about the optical axis. This delay of the phase by a constant amount has the disadvantage that the contrast of edge structures is weakened.

Diesbezüglich ist erfindungsgemäß vorgesehen, die Spiralphasenmaske 1 im ihrem Zentrum mit einer kreisrunden Aussparung zu versehen, in dieser Aussparung ein beispielsweise als nematisches Liquid Crystal Display (LCD) ausgeführtes optisches Element 2 zu positionieren und dieses mit einer Ansteuerschaltung 3 zu verbinden, die in Abhängigkeit von der Größe einer an die Flüssigkristalle gelegten Ansteuerspannung den Brechungsindex der Flüssigkristalle ändert, dadurch die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Lichtes und so die Phase der 0-ten Beugungsordnung beeinflußt. Die Beeinflussung erfolgt dabei innerhalb eines Phasenwinkelbereichs von mindestens φ bis φ + 2π.In this regard, the invention provides the spiral phase mask 1 to provide in their center with a circular recess, in this recess, for example, as a nematic liquid crystal display (LCD) executed optical element 2 to position and this with a drive circuit 3 which changes the refractive index of the liquid crystals depending on the size of a drive voltage applied to the liquid crystals, thereby affecting the propagation speed of the light and thus the phase of the 0th diffraction order. The influencing takes place within a phase angle range of at least φ to φ + 2π.

Mit einer solchen in den Abbildungsstrahlengang eines Phasenkontrastmikroskops eingeordneten optischen Anordnung wird vorteilhaft erreicht, daß das Spiralphasenkontrast-Verfahren mit höherer Effizienz ausgeführt werden kann, da nun auch die Phase der 0-ten Beugungsordnung steuerbar und somit gezielt veränderbar ist.With such in the imaging beam path of a phase contrast microscope arranged optical arrangement is advantageously achieved that the spiral phase contrast method with higher efficiency accomplished can now be controlled because now also the phase of the 0th diffraction order and thus specifically changeable is.

2 zeigt eine zweite Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Anordnung. Hier ist im Zentrum der Spiralphasenmaske 1 wiederum ein beispielsweise als nematisches Liquid Crystal Display (LCD) ausgeführtes optisches Element 2 positioniert und mit einer Ansteuerschaltung 3 verbunden, die vermittels einer an die Flüssigkristalle gelegten Ansteuerspannung die Phase der 0-ten Beugungsordnung innerhalb eines Phasenwinkelbereichs von mindestens φ bis φ + 2π beeinflussen kann. 2 shows a second embodiment of the inventive arrangement. Here is the center of the spiral phase mask 1 again, for example, as a nematic liquid crystal display (LCD) performed optical element 2 positioned and with a drive circuit 3 connected, which can influence the phase of the 0th diffraction order within a phase angle range of at least φ to φ + 2π by means of a drive voltage applied to the liquid crystals.

Der Übersichtlichkeit halber werden in 2 für Baugruppen, die prinzipiell dem gleichen Zweck dienen wie die Baugruppen in 1, auch dieselben Bezugszeichen wie in 1 verwendet. Das gilt auch für die weiteren Darstellungen in 3 bis 5.For the sake of clarity, in 2 For assemblies that basically serve the same purpose as the assemblies in 1 , also the same reference numerals as in 1 used. This also applies to the other illustrations in 3 to 5 ,

Im Unterschied zu der Spiralphasenmaske 1 nach der Ausführungsvariante in 1 ist die Spiralphasenmaske 1 in 2 nicht mit einer fest vorgegebenen, sich in Umfangsrichtung U spiralförmig ausbreitenden Phasenstruktur versehen, sondern sie besteht aus einzelnen, in Umfangsrichtung U aneinandergereihten kreisausschnittförmigen nematischen LCD-Elementen.Unlike the spiral phase mask 1 according to the embodiment in 1 is the spiral phase mask 1 in 2 not provided with a fixed predetermined, in the circumferential direction U spirally propagating phase structure, but it consists of individual, in the circumferential direction U juxtaposed circle-shaped nematic LCD elements.

Sowohl diese nematischen LCD-Elemente als auch das im Zentrum positionierte nematische LCD-Element sind mit einer Ansteuerschaltung 3 verbunden, die so ausgebildet ist, daß jede der nematischen LCD-Elemente gesondert und gezielt angesteuert werden kann.Both these nematic LCD elements and the nematic LCD element positioned in the center are provided with a driving circuit 3 connected, which is designed so that each of the nematic LCD elements can be separately and selectively controlled.

Die Phasenstruktur der Spiralphasenmaske 1 nach 1 ändert sich damit stufenweise in Abhängigkeit von der Ansteuerung und von der Größe, in der die kreisausschnittförmigen nematischen LCD-Elemente ausgeführt sind.The phase structure of the spiral phase mask 1 to 1 thus changes stepwise depending on the driving and on the size in which the circular cutout nematic LCD elements are implemented.

Dabei erfolgt die Ansteuerung der peripher angeordneten kreisausschnittförmigen nematischen LCD-Elemente stets so, daß die Phase der n-ten Beugungsordnung und die der -n-ten Beugungsordnung (mit n einer ganzen Zahl) wie bei der Spiralphasenmaske 1 nach 1 auch um 180° gegeneinander verzögert werden.In this case, the control of the peripherally arranged circular sector-shaped nematic LCD elements is always carried out so that the phase of the n-th diffraction order and the n-th diffraction order (with n an integer) as in the spiral phase mask 1 to 1 be delayed by 180 ° against each other.

Hierbei besteht gegenüber der Ausführungsvariante nach 1 zusätzlich der Vorteil, daß die Spiralphasenmaske 1 nicht um ihr Zentrum rotieren muß, sondern die Rotation und damit auch die Rotation der Spiralstruktur wird mit der Ansteuerung der peripheren LCD-Elemente simuliert. Es sind also keine mechanisch bewegten und damit einem Verschleiß unterliegenden Baugruppen erforderlich.This is compared to the embodiment according to 1 In addition, the advantage that the spiral phase mask 1 does not have to rotate about its center, but the rotation and thus the rotation of the spiral structure is simulated with the control of the peripheral LCD elements. So there are no mechanically moving and thus subject to wear modules required.

Die Ansteuerung des im Zentrum angeordneten LCD-Elementes 2 erfolgt ebenso wie in der Ausgestaltungsvariante nach 1 so, daß die 0-te Beugungsordnung in einem Phasenwinkelbereich von mindestens φ bis φ + 2π verzögert wird.The control of the arranged in the center LCD element 2 takes place as well as in the embodiment variant 1 such that the 0th diffraction order is delayed in a phase angle range of at least φ to φ + 2π.

3 zeigt ein Beispiel für die Einordnung einer erfindungsgemäßen Anordnung nach der ersten oder zweiten Ausführungsvariante in die Pupillenebene 4 eines Mikroskopobjektivs 5, und zwar zentrisch zu dessen optischer Achse 14. Symbolisch ist auch hier die Verbindung der erfindungsgemäßen Anordnung mit einer Ansteuerschaltung 3 dargestellt. 3 shows an example of the arrangement of an inventive arrangement according to the first or second embodiment in the pupil plane 4 a microscope objective 5 , centric to its optical axis 14 , Is symbolic Again, the connection of the arrangement according to the invention with a drive circuit 3 shown.

4 zeigt ein Beispiel für die Verwendung eines mit der erfindungsgemäßen Anordnung ausgestatteten Mikroskopobjektivs nach 3 im Durchlichtverfahren. 4 shows an example of the use of a equipped with the inventive arrangement microscope objective after 3 in transmitted light.

Angedeutet sind hier die Spiralphasenmaske 1 (ausgeführt entweder nach der in 1 oder 2 beschriebenen Ausgestaltungsvariante), das im Zentrum der Spiralphasenmaske 1 angeordnete nematische LCD-Element 2, die Ansteuerschaltung 3 und die Pupillenebene 4 des Mikroskopobjektivs.Indicated here are the spiral phase mask 1 (executed either after the in 1 or 2 described embodiment variant), in the center of the spiral phase mask 1 arranged nematic LCD element 2 , the drive circuit 3 and the pupil plane 4 of the microscope objective.

Weiterhin sind zu erkennen eine Lichtquelle 6, ein Polarisator 7, eine Lochblende 8, eine zu untersuchende Probe 9, eine als Empfangseinrichtung dienende Kamera 10, auf die ein Abbildungsstrahlengang 12 trifft, sowie ein Rechner 11, der mit einer Software zur Bildauswertung ausgestattet ist und sowohl mit der Kamera 10 als auch mit der Ansteuerschaltung 3 in Verbindung steht.Furthermore, a light source can be seen 6 , a polarizer 7 , a pinhole 8th , a sample to be examined 9 , a camera serving as a receiving device 10 to which an imaging beam path 12 meets, as well as a calculator 11 equipped with a software for image analysis and both with the camera 10 as well as with the drive circuit 3 communicates.

Abweichend von der Darstellung nach 4 ist in 5 ein Beispiel für die Verwendung eines mit der erfindungsgemäßen Anordnung ausgestatteten Mikroskopobjektivs nach 3 im Auflichtverfahren dargestellt. Hier sind im wesentlichen die gleichen Funktionsbaugruppen wie in 4 zu erkennen. Dabei sind die Funktionsbaugruppen jedoch dem Auflichtverfahren entsprechend einander zugeordnet. Zusätzlich ist ein Strahlteiler 13 vorgesehen, der zur Auskopplung eines Abbildungsstrahlengangs 12 dient.Deviating from the illustration according to 4 is in 5 an example of the use of a equipped with the inventive arrangement microscope objective after 3 shown in the incident light method. Here are essentially the same functional assemblies as in 4 to recognize. However, the functional modules are associated with each other according to the incident light method. In addition, a beam splitter 13 provided for the decoupling of an imaging beam path 12 serves.

11
SpiralphasenmaskeSpiral phase mask
22
optisches Element/LCD-Elementoptical Element / LCD element
33
Ansteuerschaltungdrive circuit
44
Pupillenebenepupil plane
55
Mikroskopobjektivmicroscope objective
66
Lichtquellelight source
77
Polarisatorpolarizer
88th
Lochblendepinhole
99
Probesample
1010
Kameracamera
1111
Rechnercomputer
1212
AbbildungsstrahlengangImaging beam path
1313
Strahlteilerbeamsplitter
1414
optische Achseoptical axis
UU
Umfangsrichtungcircumferentially

Claims (13)

Phasenkontrastmikroskop, umfassend – eine Lichtquelle (6), – eine zu beobachtende Probe, – optische Mittel zur Erzeugung eines auf die Probe gerichteten Beleuchtungsstrahlengangs aus dem von der Lichtquelle (6) kommenden Licht, – optische Mittel zur Erzeugung eines Abbildungsstrahlengangs (12) aus dem von der Probe transmittierten, reflektierten oder gestreuten Licht, – eine Empfangseinrichtung, auf die der Abbildungsstrahlengang gerichtet ist, und – eine in den Abbildungsstrahlengang eingeordnete optische Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes, dadurch gekennzeichnet, daß – die Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes – ein erstes optisches Element aufweist mit einer Struktur zur Veränderung der Phase der n-ten Beugungsordnung des Lichtes, mit n einer ganzen Zahl, und – ein zweites optisches Element (2) aufweist mit einer Struktur zur Veränderung der Phase der 0-ten Beugungsordnung des Lichtes, wobei – mindestens das zweite optische Element mit einer Ansteuerschaltung (3) zur Veränderung der Phase des Lichtes während der Beobachtung der Probe verbunden ist.Phase contrast microscope, comprising - a light source ( 6 ), - a sample to be observed, - optical means for generating an illumination beam path directed onto the sample from that of the light source ( 6 ), - optical means for generating an imaging beam path ( 12 ) from the light transmitted, reflected or scattered by the sample, - a receiving device to which the imaging beam path is directed, and - an optical arrangement arranged in the imaging beam path for changing the phase of the light, characterized in that - the arrangement for changing the Phase of the light - a first optical element having a structure for changing the phase of the n-th diffraction order of the light, with n an integer, and - a second optical element ( 2 ) having a structure for changing the phase of the 0th diffraction order of the light, wherein - at least the second optical element having a drive circuit ( 3 ) is connected to change the phase of the light during observation of the sample. Phasenkontrastmikroskop nach Anspruch 1, bei dem als zweites optisches Element (2) ein nematisches Liquid Crystal Display (LCD) vorgesehen und dieses mit einer Ansteuerschaltung (3) verbunden ist, wobei in Abhängigkeit von der Ansteuerung der Brechungsindex der Flüs sigkristalle und damit die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Lichtes beeinflußt und so die Phase der 0-ten Beugungsordnung innerhalb eines Phasenwinkelbereichs von mindestens φ bis φ + 2π verzögert wird.Phase-contrast microscope according to Claim 1, in which as a second optical element ( 2 ) a nematic liquid crystal display (LCD) is provided and this with a drive circuit ( 3 ), depending on the control of the refractive index of the liq sigkristalle and thus the propagation speed of the light affected and so the phase of the 0th diffraction order within a phase angle range of at least φ to φ + 2π is delayed. Phasenkontrastmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das zweite optische Element (2) im Zentrum des ersten optischen Elementes positioniert ist.Phase-contrast microscope according to Claim 1 or 2, in which the second optical element ( 2 ) is positioned in the center of the first optical element. Phasenkontrastmikroskop nach Anspruch 3, bei dem als erstes optisches Element eine um die optische Achse drehbare Spiralphasenmaske (1) vorgesehen ist.Phase-contrast microscope according to Claim 3, in which the first optical element is a spiral-phase mask which can be rotated about the optical axis ( 1 ) is provided. Phasenkontrastmikroskop nach Anspruch 3, bei dem als erstes optisches Element mindestens ein weiteres nematisches Liquid Crystal Display (LCD) vorgesehen und dieses mit der Ansteuerschaltung (3) verbunden ist, wobei in Abhängigkeit von der Ansteuerung der Brechungsindex der Flüssigkristalle, damit die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Lichtes beeinflußt und so die Phase der n-ten Beugungsordnung verzögert wird, mit n einer ganzen Zahl.Phase-contrast microscope according to Claim 3, in which at least one further nematic liquid crystal display (LCD) is provided as the first optical element, and this with the drive circuit ( 3 ), wherein, depending on the driving, the refractive index of the liquid crystals, thereby affecting the propagation speed of the light and thus delaying the phase of the n-th diffraction order, is denoted by n of an integer. Phasenkontrastmikroskop nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei dem ein Polarisator, vorzugsweise im Beleuchtungsstrahlengang, vorhanden ist.Phase contrast microscope according to one of the aforementioned Claims, in which a polarizer, preferably in the illumination beam path, is available. Phasenkontrastmikroskop nach Anspruch 6, bei dem der Polarisator auf einer optisch wirksamen Linsenoberfläche angeordnet ist.Phase-contrast microscope according to claim 6, wherein the polarizer is disposed on an optically effective lens surface is. Phasenkontrastmikroskop nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei dem die Liquid Crystal Displays (LCD's) und/oder die Spiralphasenmaske (1) in oder nahe einer Objektivpupille angeordnet sind.Phase-contrast microscope according to one of the preceding claims, in which the liquid crystal displays (LCDs) and / or the spiral phase mask ( 1 ) are arranged in or near an objective pupil. Phasenkontrastmikroskop nach Anspruch 8, bei dem die Liquid Crystal Displays (LCD's) und/oder die Spiralphasenmaske (1) auf einer optisch wirksamen Linsenoberfläche nahe der Objektivpupille angeordnet sind.Phase-contrast microscope according to Claim 8, in which the liquid crystal displays (LCDs) and / or the spiral phase mask ( 1 ) are arranged on an optically effective lens surface near the objective pupil. Phasenkontrastmikroskop nach einem der vorgenannten Ansprüche, ausgebildet als Weitfeldmikroskop.Phase contrast microscope according to one of the aforementioned Claims, formed as a wide-field microscope. Phasenkontrastmikroskop nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei dem die Empfangseinrichtung eine Kamera (10) zur Bildaufnahme und Mittel zur Bildauswertung umfaßt.Phase-contrast microscope according to one of the preceding claims, in which the receiving device is a camera ( 10 ) for image acquisition and means for image analysis. Phasenkontrastmikroskop nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei dem als Lichtquelle (6) jeweils mindestens ein Laser, eine LED oder eine Weißlichtquelle vorgesehen ist.Phase-contrast microscope according to one of the preceding claims, in which the light source ( 6 ) in each case at least one laser, an LED or a white light source is provided. Phasenkontrastmikroskop nach einem der vorgenannten Ansprüche, ausgestattet mit einer Ansteuerschaltung für die Flüssigkristalle der Liquid Crystal Displays (LCD's), die so ausgebildet ist, daß die Flüssigkristalle in Abhängigkeit von der Wellenlänge des von der Lichtquelle (6) kommenden Lichtes angesteuert werden.Phase-contrast microscope according to one of the preceding claims, equipped with a liquid crystal display (LCD) liquid crystal drive circuit, which is designed such that the liquid crystals are dependent on the wavelength of the light source ( 6 ) coming light.
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