DE102007058558A1 - Phase contrast microscope for analyzing sample, has optical unit producing reproduction beam path from light, and optical element connected with control circuit for changing phase of light during observation of sample - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Phasenkontrastmikroskop, im wesentlichen umfassend: eine Lichtquelle, eine zu beobachtende Probe, optische Mittel zur Erzeugung eines auf die Probe gerichteten Beleuchtungsstrahlengangs aus dem von der Lichtquelle kommenden Licht, optische Mittel zur Erzeugung eines Abbildungsstrahlengangs aus dem von der Probe transmittierten, reflektierten oder gestreuten Licht, eine Empfangseinrichtung, auf die der Abbildungsstrahlengang gerichtet ist, und eine in den Abbildungsstrahlengang eingeordnete optische Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes.The This invention relates to a phase contrast microscope, essentially comprising: a light source, a sample to be observed, optical means for generating a directed onto the sample illumination beam path from the light coming from the light source, optical means for Generation of an imaging beam path from the transmitted from the sample, reflected or scattered light, a receiving device on which the imaging beam path is directed, and one in the imaging beam path arranged optical arrangement for changing the phase of the light.
Zur mikroskopischen Analyse einer Probe anhand der Phase des von der Probe beeinflußten Lichtes sind im wesentlichen folgende Verfahren bekannt:
- – Die Methode der „Quantitative Phase Microscopy", bei welcher im Hellfeldverfahren Bildinformationen von der Probe aus einer fokussierten und mindestens zwei defokussierten Mikroskopeinstellungen gewonnen werden und anschließend mit Hilfe mathematischer Methoden aus diesen Bildinformationen eine Abbildung der Probe rekonstruiert wird;
- – Holographische Verfahren auf der Basis von auf die Probe gerichtetem kohärentem Beleuchtungslicht;
- – Eine Verfahrensweise unter Verwendung eines sogenannten "Rotated Lateral Shearing Interferometer", bei dem ein C-DIC-Prisma in Rotation versetzt und während einer Umdrehung des Prismas Bildinformationen der Probe aufgenommen werden, aus denen anschließend eine Abbildung der Probe mit Hilfe mathematischer Methoden rekonstruiert wird. Das C-DIC-Prisma ist dabei in zirkular polarisiertem Licht angeordnet;
- – Das Spiralphasenkontrast-Verfahren, bei dem eine Spiralphasenmaske in die Objektivpupille oder in die Abbildungsebene der Objektivpupille eingebracht wird. In dieses Sachgebiet ist auch die nachfolgend beschriebene Erfindung einzuordnen.
- - The method of "Quantitative Phase Microscopy", in which in bright field method image information from the sample from a focused and at least two defocused microscope settings are obtained and then using mathematical methods from this image information, an image of the sample is reconstructed;
- Holographic methods based on coherent illuminating light directed at the sample;
- - A procedure using a so-called "Rotated Lateral Shearing Interferometer", in which a C-DIC prism is set in rotation and recorded during a revolution of the prism image information of the sample, from which subsequently an image of the sample using mathematical methods is reconstructed , The C-DIC prism is arranged in circularly polarized light;
- - The spiral phase contrast method, in which a spiral phase mask is introduced into the objective pupil or into the imaging plane of the objective pupil. In this field, the invention described below is to be classified.
Die Spiralphasenmaske ist ein optisches Element mit einer Phasenstruktur Φ(r, ϕ) nach der Funktion Φ(r, ϕ) = e–iϕ, die sich spiralförmig um sein Zentrum erstreckt. Das Zentrum liegt in der optischen Achse des Mikroskopstrahlengangs. Dadurch wird dem durch dieses optische Element hindurchtretenden Licht eine Phasenverzögerung aufgeprägt, wobei diese Verzögerung unabhängig vom Abstand des Lichtes zum Zentrum des optischen Elementes bzw. zur optischen Achse des Mikroskopstrahlengangs ist.The spiral phase mask is an optical element with a phase structure Φ (r, φ) according to the function Φ (r, φ) = e -iφ , which extends in a spiral around its center. The center lies in the optical axis of the microscope beam path. As a result, a phase delay is imparted to the light passing through this optical element, this delay being independent of the distance of the light to the center of the optical element or to the optical axis of the microscope beam path.
Die n-te Beugungsordnung und die -n-te Beugungsordnung treten zentralsymmetrisch durch die Spiralphasenmaske hindurch und werden dabei um 180° gegeneinander verzögert, was in der Bildebene zu einer destruktiven Interferenz führt.The The n-th diffraction order and the -n-th order of diffraction are center-symmetric through the spiral phase mask and are doing 180 ° against each other delayed which leads to a destructive interference in the image plane.
Weist die Probe einen Phasengradienten auf, kommen die n-te und -n-te Beugungsordnung, abhängig von Größe und Richtung des Phasengradienten, gegeneinander verzögert an der Spiralphasenmaske an und können nicht mehr destruktiv in der Bildebene interferieren.has the sample has a phase gradient, come the nth and -nth Diffraction order, dependent of size and direction of the phase gradient, delayed against each other at the spiral phase mask and can no longer destructive in the image plane interfere.
Es entsteht ein reliefartiges Bild. Wird die Spiralphasenmaske um ihr Zentrum bzw. um die optische Achse des Mikroskopstrahlengangs gedreht, ändert das Relief seine Richtung. Dieser Effekt wird zur mikroskopischen Analyse einer Probe anhand der Phase genutzt.It creates a relief-like image. Will the spiral phase mask around her Center or rotated about the optical axis of the microscope beam path, the changes Relief his direction. This effect becomes a microscopic analysis a sample used on the basis of the phase.
Die Spiralphasenmaske ist so gestaltet, daß die 0-te Beugungsordnung durch das Zentrum der Spiralphasenmaske hindurchtritt und dabei stets um einen konstanten Betrag in der Phase verzögert wird. Die 0-te Beugungsordnung ist also bei der aus dem Stand der Technik bekannten Spiralphasenmaske nachteiligerweise nicht an der Probenanalyse beteiligt.The Spiral phase mask is designed so that the 0th diffraction order passes through the center of the spiral phase mask and thereby is always delayed by a constant amount in the phase. The 0th diffraction order is therefore in the state of the art known spiral phase mask disadvantageously not on the sample analysis involved.
Ein weiterer Nachteil der bisher bekannten Nutzung einer Spiralphasenmaske besteht darin, daß mechanische Antriebselemente zur Erzeugung der Drehbewegung um die optische Achse und hochpräzise Drehlagerungen für die Spiralphasenmaske erforderlich sind. Derartige mechanische Funktionselemente unterliegen dem Verschleiß, sind dadurch kostenintensiv und müssen häufig zeitaufwendig nachjustiert werden.One Another disadvantage of the previously known use of a spiral phase mask is that mechanical Drive elements for generating the rotational movement about the optical Axis and high precision Rotary bearings for the spiral phase mask is required. Such mechanical functional elements are subject to wear, As a result, they are cost-intensive and often have to be time-consuming readjusted become.
Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung für ein Phasenkontrastmikroskop anzugeben, mit welcher die Nachteile des Standes der Technik behoben sind und so das Spiralphasenkontrast-Verfahren mit höherer Effizienz ausgeführt werden kann.From that Based on the invention, the object is an optical Arrangement for To provide a phase contrast microscope, with which the disadvantages of the prior art are eliminated and so the spiral phase contrast method with higher Efficiency executed can be.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Phasenkontrastmikroskop der eingangs genannten Art gelöst, indem die Anordnung zur Veränderung der Phase des Lichtes
- – ein erstes optisches Element aufweist mit einer Struktur zur Veränderung der Phase der n-ten Beugungsordnung des Lichtes, mit n einer ganzen Zahl, und
- – ein zweites optisches Element aufweist mit einer Struktur zur Veränderung der Phase der 0-ten Beugungsordnung des Lichtes, wobei
- A first optical element having a structure for changing the phase of the n-th diffraction order of the light, with n an integer, and
- A second optical element having a structure for changing the phase of the 0th diffraction order of the light, wherein
Als erstes optisches Element kann eine in Drehung versetzbare Spiralphasenmaske vorgesehen sein, die lediglich in ihrer Peripherie der Spiralphasenmaske entspricht, wie sie weiter oben anhand des Standes der Technik beschrieben wurde. Das Zentrum dieser Spiralphasenmaske ist ausgespart und erfindungsgemäß einem zweiten optischen Element vorbehalten.When the first optical element may be a rotatable spiral phase mask be provided only in the periphery of the spiral phase mask corresponds, as described above with reference to the prior art has been. The center of this spiral phase mask is recessed and according to the invention a reserved second optical element.
Das zweite optische Element ist erfindungsgemäß vorteilhaft als nematisches Liquid Crystal Display (LCD) ausgebildet, das mit einer elektronischen Ansteuerschaltung verbunden ist. In Abhängigkeit von der Ansteuerung wird der Brechungsindex der Flüssigkristalle dieses Liquid Crystal Displays geändert und dadurch die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Lichtes so beeinflußt, daß die Phase der 0-ten Beugungsordnung um einen vorgegebenen Phasenwinkel innerhalb eines Phasenwinkelbereichs φ > 0 verzögert wird.The second optical element is advantageous according to the invention as a nematic Liquid Crystal Display (LCD) formed with an electronic drive circuit connected is. In dependence of the control is the refractive index of the liquid crystals of this liquid Crystal displays changed and thereby the speed of propagation of the light so affected that the phase the 0th diffraction order by a predetermined phase angle within a phase angle range φ> 0 is delayed.
Zu diesem Zweck ist das zweite optische Element im Zentrum des ersten optischen Elementes positioniert.To For this purpose, the second optical element is in the center of the first positioned optical element.
Mit einer solchen in den Abbildungsstrahlengang eingeordneten optischen Anordnung gemäß der Erfindung wird vorteil haft erreicht, daß auch die Phase der 0-ten Beugungsordnung steuerbar verändert und das Spiralphasenkontrast-Verfahren mit höherer Effizienz ausgeführt werden kann.With Such arranged in the imaging beam path optical Arrangement according to the invention is advantageously achieved, that too the phase of the 0th diffraction order is controllably changed and the spiral phase contrast method with higher Efficiency executed can be.
Alternativ dazu kann in einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung als erstes optisches Element ebenfalls mindestens ein nematisches Liquid Crystal Display (LCD) vorgesehen und ebenfalls mit einer Ansteuerschaltung verbunden sein. Hierbei wird in Abhängigkeit von der Ansteuerung die Ausrichtung der Flüssigkristalle auch dieses Liquid Crystal Displays variiert, dadurch der Brechungsindex dieser Flüssigkristalle verändert und so die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Lichtes beeinflußt, wodurch die Phase der n-ten Beugungsordnung mit n einer ganzen Zahl um einen vorgegebenen Phasenwinkel innerhalb eines Phasenwinkelbereichs φ > 0 verzögert wird.alternative This may, in a particularly preferred embodiment of the invention as the first optical element also at least one nematic Liquid Crystal Display (LCD) provided and also with a Be connected control circuit. This is dependent on from driving the alignment of the liquid crystals also this liquid Crystal displays varies, thereby the refractive index of these liquid crystals changed and thus affects the propagation speed of the light, thereby the phase of the nth diffraction order with n of an integer around one predetermined phase angle within a phase angle range φ> 0 is delayed.
So wird in vorteilhafter Weise ein Spiralphasenkontrast erzeugt, der eine quantitative Bestimmung der Phase ohne ein mechanisch bewegtes, in Drehung versetztes optisches Element ermöglicht.So is advantageously generated a spiral phase contrast, the a quantitative determination of the phase without a mechanically moved, enables rotation of the optical element.
Da sich der Brechungsindex mit der Veränderung der Ausrichtung der Flüssigkristalle der nematischen LCD's nur in einer Polarisationsrichtung des Lichtes ändert, sollte in den Mikroskopstrahlengang ein Polarisator eingeordnet sein. Bevorzugt ist der Polarisator in den Beleuchtungsstrahlengang eingeordnet, im Rahmen der vorliegenden Erfindung liegt aber auch dessen Einordnung in den Abbildungsstrahlengang.There the refractive index changes with the orientation of the liquid Crystals the nematic LCD's only changes in one polarization direction of the light, should be in the microscope beam path a polarizer can be arranged. The polarizer is preferred classified in the illumination beam path, in the context of the present However, the invention is also its classification in the imaging beam path.
Im Hinblick auf eine raumsparende Bauweise empfiehlt es sich, den Polarisator auf einer optisch wirksamen Oberflä che einer ohnehin im Strahlengang vorhandenen Linse anzuordnen.in the In view of a space-saving design, it is recommended to use the polarizer on an optically effective Oberflä surface of an already in the beam path to arrange existing lens.
Die Spiralphasenmaske liegt in oder nahe einer Objektivpupille. So kann beispielsweise vorgesehen sein, die LCD's bzw. die Spiralphasenmaske auf einer optisch wirksamen Oberfläche einer Linse im Objektiv anzuordnen.The Spiral phase mask lies in or near a lens pupil. So can For example, be provided, the LCD's or the spiral phase mask on a optically effective surface to arrange a lens in the lens.
Weiterhin bevorzugt ist das erfindungsgemäße Phasenkontrastmikroskop als Weitfeldmikroskop ausgebildet, und die Empfangseinrichtung umfaßt eine Kamera zur Bildaufnahme und Mittel zur Bildauswertung.Farther preferred is the phase contrast microscope according to the invention formed as a wide-field microscope, and the receiving means comprises a Camera for image acquisition and means for image evaluation.
Im Rahmen der Erfindung liegen auch Ausgestaltungen, bei denen die Ansteuerschaltung für die Flüssigkristalle der LCD's so ausgebildet ist, daß die Ansteuerung die Flüssigkristalle in Abhängigkeit von der Wellenlänge des von der Lichtquelle kommenden Lichtes erfolgt. Damit können sowohl Laser, LCD's oder auch Weißlichtquellen als Lichtquellen für das Beleuchtungslicht vorgesehen werden.in the Frame of the invention are also embodiments in which the Control circuit for the liquid Crystals the LCD's so formed is that the Control the liquid crystals in dependence of the wavelength the light coming from the light source takes place. This can both Lasers, LCD's or also white light sources as light sources for the Lighting light can be provided.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:The Invention will be explained in more detail with reference to embodiments. In the associated Drawings show:
In
Wie
bereits weiter oben dargelegt, ist die Spiralphasenmaske
Die
0-te Beugungsordnung tritt durch das Zentrum hindurch und wird unabhängig von
der Drehung der Spiralphasenmaske
Diesbezüglich ist
erfindungsgemäß vorgesehen,
die Spiralphasenmaske
Mit einer solchen in den Abbildungsstrahlengang eines Phasenkontrastmikroskops eingeordneten optischen Anordnung wird vorteilhaft erreicht, daß das Spiralphasenkontrast-Verfahren mit höherer Effizienz ausgeführt werden kann, da nun auch die Phase der 0-ten Beugungsordnung steuerbar und somit gezielt veränderbar ist.With such in the imaging beam path of a phase contrast microscope arranged optical arrangement is advantageously achieved that the spiral phase contrast method with higher efficiency accomplished can now be controlled because now also the phase of the 0th diffraction order and thus specifically changeable is.
Der Übersichtlichkeit
halber werden in
Im
Unterschied zu der Spiralphasenmaske
Sowohl
diese nematischen LCD-Elemente als auch das im Zentrum positionierte
nematische LCD-Element sind mit einer Ansteuerschaltung
Die
Phasenstruktur der Spiralphasenmaske
Dabei
erfolgt die Ansteuerung der peripher angeordneten kreisausschnittförmigen nematischen LCD-Elemente
stets so, daß die
Phase der n-ten Beugungsordnung und die der -n-ten Beugungsordnung
(mit n einer ganzen Zahl) wie bei der Spiralphasenmaske
Hierbei
besteht gegenüber
der Ausführungsvariante
nach
Die
Ansteuerung des im Zentrum angeordneten LCD-Elementes
Angedeutet
sind hier die Spiralphasenmaske
Weiterhin
sind zu erkennen eine Lichtquelle
Abweichend
von der Darstellung nach
- 11
- SpiralphasenmaskeSpiral phase mask
- 22
- optisches Element/LCD-Elementoptical Element / LCD element
- 33
- Ansteuerschaltungdrive circuit
- 44
- Pupillenebenepupil plane
- 55
- Mikroskopobjektivmicroscope objective
- 66
- Lichtquellelight source
- 77
- Polarisatorpolarizer
- 88th
- Lochblendepinhole
- 99
- Probesample
- 1010
- Kameracamera
- 1111
- Rechnercomputer
- 1212
- AbbildungsstrahlengangImaging beam path
- 1313
- Strahlteilerbeamsplitter
- 1414
- optische Achseoptical axis
- UU
- Umfangsrichtungcircumferentially
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---|---|---|---|
DE200710058558 Withdrawn DE102007058558A1 (en) | 2007-12-05 | 2007-12-05 | Phase contrast microscope for analyzing sample, has optical unit producing reproduction beam path from light, and optical element connected with control circuit for changing phase of light during observation of sample |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102007058558A1 (en) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012157295A1 (en) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | Nikon Corporation | Microscope system |
DE102012016318A1 (en) * | 2012-08-14 | 2014-02-20 | Institut Für Photonische Technologien E.V. | Arrangement for a lensless, holographic inline reflected-light microscope |
DE102015221991A1 (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-11 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Microscopy method for determining a contrast image and microscope |
DE102017212465A1 (en) | 2017-07-20 | 2017-09-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Measuring system and measuring method for photolithographic applications |
CN108983406A (en) * | 2018-09-05 | 2018-12-11 | 山西鑫华翔科技发展有限公司 | Haze particle microexamination filming apparatus |
US10795168B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-10-06 | Metalenz, Inc. | Transmissive metasurface lens integration |
US11906698B2 (en) | 2017-05-24 | 2024-02-20 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Broadband achromatic flat optical components by dispersion-engineered dielectric metasurfaces |
US11927769B2 (en) | 2022-03-31 | 2024-03-12 | Metalenz, Inc. | Polarization sorting metasurface microlens array device |
US11978752B2 (en) | 2019-07-26 | 2024-05-07 | Metalenz, Inc. | Aperture-metasurface and hybrid refractive-metasurface imaging systems |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1088837A (en) * | 1963-11-09 | 1967-10-25 | Polskie Zaklady Optyczne | Improvements in or relating to microscopes |
DE3108389A1 (en) * | 1980-03-10 | 1982-04-08 | Victor B. 94702 Berkeley Calif. Kley | Microscope having electrically selectable illumination and viewing |
DE19644662C2 (en) * | 1996-10-25 | 2000-04-13 | Leica Microsystems | Illumination device for a microscope |
US6317261B1 (en) * | 1998-06-30 | 2001-11-13 | Nikon Corporation | Phase contrast observation device |
DE102005005757B4 (en) * | 2005-02-07 | 2007-03-15 | Octax Microscience Gmbh | Arrangement for the microscopic optical detection of anisotropies |
DE102006016358A1 (en) * | 2006-04-05 | 2007-10-11 | Bröckmann, Eckhard, Dr. | Microscope includes at least two chambers for protective, sealed fitting of mechanical, optical and electronic component groups in different chambers, for protection against dust, humidity and similar contaminants |
EP1862839A1 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-05 | Carl Zeiss MicroImaging GmbH | Microscope with improved resolution |
-
2007
- 2007-12-05 DE DE200710058558 patent/DE102007058558A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1088837A (en) * | 1963-11-09 | 1967-10-25 | Polskie Zaklady Optyczne | Improvements in or relating to microscopes |
DE3108389A1 (en) * | 1980-03-10 | 1982-04-08 | Victor B. 94702 Berkeley Calif. Kley | Microscope having electrically selectable illumination and viewing |
DE19644662C2 (en) * | 1996-10-25 | 2000-04-13 | Leica Microsystems | Illumination device for a microscope |
US6317261B1 (en) * | 1998-06-30 | 2001-11-13 | Nikon Corporation | Phase contrast observation device |
DE102005005757B4 (en) * | 2005-02-07 | 2007-03-15 | Octax Microscience Gmbh | Arrangement for the microscopic optical detection of anisotropies |
DE102006016358A1 (en) * | 2006-04-05 | 2007-10-11 | Bröckmann, Eckhard, Dr. | Microscope includes at least two chambers for protective, sealed fitting of mechanical, optical and electronic component groups in different chambers, for protection against dust, humidity and similar contaminants |
EP1862839A1 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-05 | Carl Zeiss MicroImaging GmbH | Microscope with improved resolution |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103534629A (en) * | 2011-05-18 | 2014-01-22 | 株式会社尼康 | Microscope system |
CN103534629B (en) * | 2011-05-18 | 2016-01-13 | 株式会社尼康 | Microscopic system |
WO2012157295A1 (en) * | 2011-05-18 | 2012-11-22 | Nikon Corporation | Microscope system |
DE102012016318B4 (en) | 2012-08-14 | 2019-12-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Arrangement for a lensless, holographic inline reflected-light microscope |
DE102012016318A1 (en) * | 2012-08-14 | 2014-02-20 | Institut Für Photonische Technologien E.V. | Arrangement for a lensless, holographic inline reflected-light microscope |
WO2014026667A1 (en) | 2012-08-14 | 2014-02-20 | Institut Für Photonische Technologien E.V. | Arrangement for a lensless, holographic in-line reflected light microscope |
CN108474930B (en) * | 2015-11-09 | 2021-06-11 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | Microscopy method and microscope for determining contrast images |
CN108474930A (en) * | 2015-11-09 | 2018-08-31 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | Determine the microscopy methods and microscope of contrast images |
US10895732B2 (en) | 2015-11-09 | 2021-01-19 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Microscopy method for determining a contrast image and microscope |
DE102015221991A1 (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-11 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Microscopy method for determining a contrast image and microscope |
US11906698B2 (en) | 2017-05-24 | 2024-02-20 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Broadband achromatic flat optical components by dispersion-engineered dielectric metasurfaces |
DE102017212465A1 (en) | 2017-07-20 | 2017-09-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Measuring system and measuring method for photolithographic applications |
US10795168B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-10-06 | Metalenz, Inc. | Transmissive metasurface lens integration |
US11579456B2 (en) | 2017-08-31 | 2023-02-14 | Metalenz, Inc. | Transmissive metasurface lens integration |
US11988844B2 (en) | 2017-08-31 | 2024-05-21 | Metalenz, Inc. | Transmissive metasurface lens integration |
CN108983406A (en) * | 2018-09-05 | 2018-12-11 | 山西鑫华翔科技发展有限公司 | Haze particle microexamination filming apparatus |
US11978752B2 (en) | 2019-07-26 | 2024-05-07 | Metalenz, Inc. | Aperture-metasurface and hybrid refractive-metasurface imaging systems |
US11927769B2 (en) | 2022-03-31 | 2024-03-12 | Metalenz, Inc. | Polarization sorting metasurface microlens array device |
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