DE102007054060A1 - Fluidpumpe - Google Patents

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DE102007054060A1
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stator
substrate
housing
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fluid pump
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DE102007054060A
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English (en)
Inventor
Shingo Obu Nakanishi
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Aisan Industry Co Ltd
Original Assignee
Aisan Industry Co Ltd
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Abstract

Eine Fluidpumpe (10) enthält ein Gehäuse (12, 50), das mit einer Trennung versehen ist, das eine Pumpenkammer und eine Gehäusekammer abteilt. Das Flügelrad (43) ist innerhalb der Pumpenkammer angebracht. Ein Stator (33), eine erste Halbleitereinrichtung (25), ein Anschluss (37) und ein erstes Schichtelement (29a) sind innerhalb der Gehäusekammer angebracht. Der Anschluss (37) verbindet elektrisch die erste Halbleitereinrichtung mit dem Stator. Das erste Schichtelement (29a) kann Gummielastizität aufweisen. Vorzugsweise hat das erste Schichtelement (29a) eine erste ebene Oberfläche, die in Berührung in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) mit der ersten Halbleitereinrichtung ist, und eine zweite ebene Oberfläche, die in einer ebenen Weise mit der Trennung des Gehäuses in Berührung ist.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Fluidpumpe zum Zirkulieren von Kühlwasser, das einen Motor oder Drehrichter eines Kraftfahrzeugs kühlen kann.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Diese Art von Fluidpumpe hat ein Gehäuse, das eine Pumpenkammer und eine Gehäusekammer enthält. Die Pumpenkammer und die Gehäusekammer sind durch eine Trennung getrennt, so dass Fluid innerhalb der Pumpekammer nicht in die Gehäusekammer strömt. Ein Flügelrad ist innerhalb der Pumpenkammer in einer Weise angebracht, dass es zur Drehung fähig ist. Ein Stator und eine Steuereinrichtung sind innerhalb der Gehäusekammer angebracht. Die Steuereinrichtung hat eine Halbleitereinrichtung und einen Anschluss. Die Halbleitereinrichtung arbeitet zum Wandeln von Strom, der von der Umgebung zugeführt wird, in Leistung zum Antreiben des Flügelrads. Der Anschluss verbindet elektrisch die Halbleitereinrichtung mit dem Stator. Wenn die Antriebsleistung an den Stator zugeführt wird, erzeugt der Stator eine Antriebskraft zum Antreiben der Rotation des Flügelrads. Wenn das Flügelrad zur Rotation durch den Stator angetrieben ist, wird Fluid in die Pumpenkammer gesaugt und sein Druck wird erhöht, dann wird dieses unter Druck gesetzte Fluid aus der Pumpenkammer abgegeben.
  • Mit dieser Fluidpumpe wird Leistung, die von der Umgebung zugeführt wird, in Leistung zum Betreiben eines Motors durch die Halbleitereinrichtung konvertiert. Die Halbleitereinrichtung erzeugt Wärme, wenn von der Umgebung zugeführter Strom in Strom zum Antreiben eines Motors gewandelt wird, und folglich muss diese Halbleitereinrichtung gekühlt werden. Die japanische offengelegte Patentveröffentlichung Nr. 2000-209810 offenbart eine Fluidpumpe, die ein Metallgehäuse aufweist. Die Halbleitereinrichtung wird auf eine Wandoberfläche des Metallgehäuses durch elastische Stützelemente gedrückt und wird darauf gehalten. Die durch die Halbleitereinichtung erzeugte Wärme wird zur Umgebung über das Metallgehäuse abgestrahlt oder abgeführt, wodurch die Halbleitereinrichtung gekühlt wird.
  • Kurze Darstellung der Erfindung
  • Mit dieser Art von Fluidpumpe ist es möglich, dass die externe Kraft, die das Fluid auf das Flügelrad aufbringt, variiert, wenn die abgegebenen Menge Fluid während des Betriebs variiert. Wenn die auf das Flügelrad aufgebrachte externe Kraft variiert, ist es möglich, dass das Flügel rad um seine Rotationsachse oszilliert, wodurch das Gehäuse vibriert. Ferner wird im Fall, in dem die Fluidpumpe an dem Motorraum eines Kraftfahrzeugs angebracht ist, die Vibration des Motors übertragen, wodurch das Gehäuse vibriert. In der in der japanischen offengelegten Patentveröffentlichung Nr. 2000-209810 offenbarten Fluidpumpe wird die Halbleitereinrichtung direkt auf das Metallgehäuse gedrückt. Als Folge gab es das Problem, dass die Vibration des Gehäuses auch an die Halbleitereinrichtung übertragen wurde, und dies bewirkte eine Abnahme in der Dauerhaftigkeit und Zuverlässigkeit der Halbleitereinrichtung.
  • Entsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Lehren, eine Fluidpumpe vorzusehen, die fähig ist, effektiv die Halbleitereinrichtung zu kühlen und die fähig ist, die Vibration zu verringern, die an die Halbleitereinrichtung übertragen wird.
  • Bei einem Aspekt der vorliegenden Lehren enthält die Fluidpumpe ein Gehäuse, ein Flügelrad, einen Stator, eine erste Halbleitereinrichtung, einen Anschluss und ein erstes Schichtelement. Das Gehäuse ist mit einer Pumpenkammer, einer Gehäusekammer und einer Trennung versehen, die die Pumpenkammer und die Gehäusekammer abtrennt. Das Flügelrad ist zur Drehung innerhalb der Pumpenkammer angebracht. Der Stator ist innerhalb der Gehäusekammer angebracht. Der Stator erzeugt eine Antriebskraft zum Antreiben der Rotation des Flügelrads. Die erste Halbleitereinrichtung und der Anschluss sind auch innerhalb der Gehäusekammer angebracht. Der Anschluss verbindet elektrisch die erste Halbleitereinrichtung mit dem Stator. Das erste Schichtelement ist innerhalb der Gehäusekammer angebracht. Das erste Schichtelement hat Gummielastizität. Das erste Schichtelement enthält eine erste ebene Oberfläche, die in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) in Berührung mit der ersten Halbleitereinrichtung ist, und eine zweite ebene Oberfläche, die in Berührung in einer ebenen Weise mit der Trennung ist.
  • Bei dieser Fluidpumpe ist die erste Halbleitereinrichtung in einer ebenen Weise mit dem ersten Schichtelement in Berührung und dieses erste Schichtelement ist einer ebenen Weise mit der Trennung in Berührung. Als Folge wird die Wärme der Halbleitereinrichtung an die Trennung über das erste Schichtelement übertragen und wird von der Trennung an das Fluid in der Pumpenkammer übertragen. Die Halbleitereinrichtung kann somit effizient gekühlt werden. Ferner ist das erste Schichtelement, das Gummielastizität aufweist, zwischen der ersten Halbleiterein richtung und der Trennung angebracht. Als Folge ist die Menge von Vibration, die von der Trennung an die erste Halbleitereinrichtung übertragen wird, durch das erste Schichtelement verringert und die Dauerhaftigkeit und Zuverlässigkeit der ersten Halbleitereinrichtung können folglich erhöht werden.
  • Die erste Halbleitereinrichtung kann auf die Trennung gerichtet angebracht sein und das erste Schichtelement kann so angebracht sein, dass es in Berührung mit einer trennungsseitigen Oberfläche der ersten Halbleitereinrichtung ist. In diesem Fall ist das erste Schichtelement möglicherweise in Berührung mit der Gesamtheit der trennungsseitigen Oberfläche der ersten Halbleitereinrichtung, oder das erste Schichtelement kann in Berührung mit einem Teil der trennungsseitigen Oberfläche der ersten Halbleitereinrichtung sein.
  • Vorzugsweise kann das erste Schichtelement eine dritte ebene Oberfläche aufweisen, die in Berührung in einer ebenen Weise mit dem Anschluss ist. Mit dieser Konfiguration wird die Wärme des Stators an das erste Schichtelement über den Anschluss übertragen und wird von dem ersten Schichtelement an die Trennung und das Fluid in der Pumpenkammer übertragen. Es ist somit möglich zu verhindern, dass die erste Halbleitereinrichtung eine hohe Temperatur erreicht, die durch die Wärme des Stators hervorgerufen wird.
  • Ferner kann das erste Schichtelement in einer flachen, ebenen Gestalt geformt sein. Das Ausbilden des ersten Schichtelements in einer flachen ebenen Gestalt erlaubt es, dass das Gebiet, das in Berührung mit der Halbleitereinrichtung und der Trennung ist, erhöht wird. Ferner kann das Material des ersten Schichtelements ein Material sein, das Gummielastizität und ein hohes Maß an thermischer Leitfähigkeit aufweist (beispielsweise Siliziumharz).
  • Bei einem anderen Aspekt der vorliegenden Lehren kann die Fluidpumpe weiter ein Substrat, ein zweites Schichtelement und eine zweite Halbleitereinrichtung enthalten. Das Substrat, das zweite Schichtelement und die zweite Halbleitereinrichtung können innerhalb der Gehäusekammer angebracht sein. Das zweite Schichtelement kann Gummielastizität aufweisen. Das zweite Schichtelement kann eine vierte ebene Oberfläche enthalten, die in einer ebenen Weise mit einer Oberfläche der Pumpenkammerseite des Substrats in Berührung ist, und eine fünfte ebene Oberfläche, die in einer ebenen Weise in Berührung mit der Trennung des Gehäuses ist. Die zweite Halbleitereinrichtung kann auf einer gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats zur Pumpenkammerseite montiert sein. In diesem Fall wird es bevorzugt, dass die zweite Halbleitereinrichtung in einer Position angebracht ist, die dem Ort entspricht, an dem das Substrat in Berührung mit der vierten ebenen Oberfläche des zweiten Schichtelements ist. Da die zweite Halbleitereinrichtung in thermischem Kontakt mit dem zweiten Schichtelement über das Substrat ist, ist es möglich, die zweite Halbleitereinrichtung zufriedenstellend zu kühlen. Da das zweite Schichtelement Gummielastizität aufweist, ist es ferner möglich, die Menge von Vibration zu reduzieren, die von der Trennung an das Substrat (und an die zweite Halbleitereinrichtung) übertragen wird.
  • Bei einem anderen Aspekt der vorliegenden Lehren kann die Fluidpumpe weiter eine wärmeisolierende Platte enthalten. Die wärmeisolierende Platte kann in der Gehäusekammer angebracht sein und die Gehäusekammer in eine Statorseite und eine Halbleitereinrichtungsseite teilen. Es wird bevorzugt, dass der Stator durch die Trennung und die wärmeisolierende Platte umfasst oder umgeben ist. Da der Stator durch die Trennung und die wärmeisolierende Platte umfasst ist, wird verhindert, dass Wärme, die durch den Stator erzeugt wird, an die Seite der Halbleitereinrichtung übertragen wird. Es ist somit möglich, effektiv zu verhindern, dass die Halbleitereinrichtung eine hohe Temperatur erreicht.
  • Ferner kann die wärmeisolierende Platte in der Nähe einer Endoberfläche eines Stators (insbesondere der Endoberfläche auf der Seite der Halbleitereinrichtung) angebracht sein. Ferner wird es bevorzugt, dass Vergussmaterial in nur einen Raum auf der Statorseite der Gehäusekammer gefüllt ist. Das Einfüllen des Vergussmaterial in den Raum auf der Statorseite erlaubt, dass die Wärme des Stators effizient an die Trennung übertragen wird. Ferner ermöglicht es das Einfüllen des Vergussmaterials in nur den Raum auf der Seite des Stators, zu verhindern, dass das Gewicht der Fluidpumpe zunimmt.
  • Diese Aspekte und Merkmale können getrennt oder in Verbindung verwendet werden, um eine verbesserte Fluidpumpe vorzusehen. Zusätzlich werden andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Lehren unmittelbar nach dem Lesen der folgenden detaillierten Beschreibung zusammen mit den beigefügten Zeichnungen und Ansprüchen verständlich. Selbstverständlich können die zusätzlichen Merkmale und Aspekte, die hier offenbart sind, auch einzeln oder in Kombination mit dem oben beschriebenen Aspekt und den Merkmalen verwendet werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt eine vertikale Querschnittsansicht einer Fluidpumpe einer ersten Ausführungsform.
  • 2 zeigt eine Ansicht von oben auf ein Schaltkreissubstrat der ersten Ausführungsform.
  • 3 zeigt eine Ansicht von unten des Schaltkreissubstrats der ersten Ausführungsform.
  • 4 zeigt eine vertikale Querschnittsansicht einer Fluidpumpe einer zweiten Ausführungsform.
  • 5 zeigt eine vertikale Querschnittsansicht einer Fluidpumpe einer dritten Ausführungsform.
  • 6 zeigt eine Ansicht von unten von einem Schaltkreissubstrat der dritten Ausführungsform.
  • 7 zeigt eine Ansicht von oben des Schaltkreissubstrats der dritten Ausführungsform.
  • 8 zeigt eine vertikale Querschnittsansicht einer Fluidpumpe einer vierten Ausführungsform.
  • 9 zeigt eine Ansicht von unten eines Schaltkreissubstrats der vierten Ausführungsform.
  • 10 zeigt eine Ansicht von oben des Schaltkreissubstrats der vierten Ausführungsform.
  • Detaillierte Beschreibung der Erfindung
  • Erste Ausführungsform
  • Eine Fluidpumpe 10 einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Lehren wird beschrieben. Die Fluidpumpe 10 kann verwendet werden zum Zirkulieren von Kühlwasser zum Kühlen eines Motors eines Kraftfahrzeugs und kann in einem Motorraum des Kraftfahrzeugs angebracht sein. Wie es in 1 gezeigt ist, enthält die Fluidpumpe 10 einen unteren Körper 12 und einen oberen Körper 50, der an dem unteren Körper 12 befestigt ist. Der untere Körper 12 und der obere Körper 50 sind beide integral aus einem Harzmaterial gegossen.
  • Ein zylindrischer konvexer Teil 15 ist an einem oberen Teil des unteren Körpers 12 (auf der linken Seite in 1) geformt. Ein Schaftbefestigungsloch 16a ist einem Zentrum des konvexen Teils 15 geformt. Ein unteres Ende eines Schafts 46 ist in dem Schaftbefestigungsloch 16a festgelegt. Ein oberer Endteil des Schafts 46 steht nach oben über eine obere Oberfläche des konvexen Teils 15 hinaus vor. Ein Flügelrad 43 ist in einer Weise an dem oberen Endteil des Schafts 46 angebracht, die eine Drehung erlaubt. Eine zylinderförmige Außenwand 17 ist an einem äußeren Umfang des konvexen Teils 15 geformt. Der konvexe Teil 15 und die Außenwand 17 sind konzentrisch angebracht. Ein ringförmiger konkaver Teil 20, der sich nach oben öffnet, ist durch den konvexen Teil 15 und die Außenwand 17 geformt. Ein zylindrischer Teil 45 des Flügelrads 43 ist im konkaven Teil 20 aufgenommen.
  • Ein Verbinder 21 ist auf dem oberen Teil des unteren Körpers 12 geformt (auf der rechten Seite in 1). Ein elektrischer Kontakt 28 ist in dem Verbinder 21 angebracht. Ein unteres Ende des elektrischen Kontakts 28 ist mit einem Anschluss 26 eines Schaltkreissubstrats 23 verbunden. Eine externe Stromquelle (nicht dargestellt) kann mit einem oberen Ende des Verbinders 21 verbunden werden. Strom von der externen Stromquelle kann an das Schaltkreissubstrat 23 über den elektrischen Kontakt 28 und den Anschluss 26 zugeführt werden.
  • Ein unteres Ende des oberen Körpers 50 ist (beispielsweise durch Schweißen) an einem oberen Ende der Außenwand 17 des unteren Körpers 12 befestigt. Eine Einlassöffnung 51 und eine Auslassöffnung (nicht dargestellt) sind in dem oberen Körper 50 geformt. Ein Innenraum, der durch den unteren Körper 12 und den oberen Körper 50 geformt ist (d.h. der Innenraum, der durch die Außenwand 17, den konvexen Teil 15 und den oberen Körper 50 geformt ist) wirkt als eine Pumpenkammer. Als Folge entsprechen der obere Körper 50 und der untere Körper 12 dem Gehäuse gemäß den Ansprüchen bei der ersten Ausführungsform.
  • Das Flügelrad 43 ist innerhalb der Pumpenkammer angebracht. Das Flügelrad 43 ist integral aus synthetischem Harz gegossen. Das Flügelrad 43 kann beispielsweise aus einem Material hergestellt sein, das Kunststoff beinhaltet, der Ferritpulver enthält. Das Flügelrad 43 enthält den im Wesentlichen zylinderförmigen Zylinderteil 45 und einen Blattteil 44, der ein Ende des Zylinderteils 45 schließt. Der Zylinderteil 45 ist magnetisiert (polarisiert), indem in ihm magnetisches Pulver enthalten ist. Eine Mehrzahl von Flügel sind in dem Blattteil 44 vorgesehen.
  • Ein Schaftlager 47 ist im Zentrum des Blattteils 44 angebracht. Das Flügelrad 43 und das Schaftlager 47 können integral durch Einsatzgießen gegossen sein. Das Schaftlager 47 kann aus Polyphenylen Sulfidmaterial (PPS-Material) gebildet sein. Der Schaft 46 ist in das Schaftlager 47 eingeführt und das Flügelrad 43 kann sich frei um den Schaft 46 drehen. Eine Beilagscheibe 52 ist zwischen dem Schaftlager 47 und dem konvexen Teil 15 angebracht. Eine Beilagscheibe 48 ist an einem oberen Ende des Schafts 46 durch eine Schraube 49 angebracht. Die Beilagscheibe 48 verhindert, dass sich das Flügelrad 43 nach oben während der Rotation hebt. Wenn das Flügelrad 43 in einem angebrachten Zustand im Bezug auf den Schaft 46 ist, gibt es einen Raum, der zwischen einer Innenoberfläche des Flügelrads 43 (d.h. einer Innenumfangsoberfläche des Zylinderteils 45 und einer unteren Oberfläche des Blattteils 44) und dem konvexen Teil 15 des unteren Körpers 12 geformt ist. Ferner ist ein Raum auch zwischen einer Außenumfangsoberfläche des Zylinderteils 45 des Flügelrads 43 und der Außenwand 17 des unteren Körpers 12 geformt. Ferner ist auch ein Raum zwischen einer unteren Oberfläche des Zylinderteils 45 des Flügelrads 43 und dem konkaven Teil 20 des unteren Körpers 12 geformt. Kühlwasser innerhalb der Pumpenkammer gelangt durch diese Räume und gelangt in Berührung mit einer Oberfläche des konvexen Teils 15 des unteren Körpers 12.
  • Ein Substratgehäuseteil 14 ist innerhalb des unteren Körpers 12 geformt. Ein Statorgehäuseteil 16 ist innerhalb des konvexen Teils 15 geformt. Ein Boden des Statorgehäuseteils 16 ist in Verbindung mit dem Substratgehäuseteil 14. Der Substratgehäuseteil 14 ist in Richtung des Bodens offen. Das Schaltkreissubstrat 23 ist in den unteren Körper 12 vom Boden des Substratgehäuseteils 14 aus eingeführt. Wenn das Schaltkreissubstrat 23 in den unteren Körper 12 eingeführt ist, ist ein Stator 33 in Statorgehäuseteil 16 untergebracht und ein Substrat 24 ist in dem Substratgehäuseteil 14 untergebracht.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform ist eine wärmeisolierende Platte 54 an der Anschlussstelle zwischen dem Statorgehäuseteil 16 und dem Substratgehäuseteil 14 angebracht (insbesondere in der Nähe eines unteren Endes des Stators 33). Der Statorgehäuseteil 16 und der Substratgehäuseteil 14 sind in Abteile durch die wärmeisolierende Platte 54 geteilt. Die wärmeisolierende Platte 54 kann beispielsweise eine PA (Polyacetal) Platte verwenden. Als Folge des Vorsehens der wärmeisolierenden Platte 54 ist der Stator 33 in einem Raum untergebracht, der durch die wärmeisolierende Platte 54 und eine Wandoberfläche des konvexen Teils 15 umfasst ist. Vergussmaterial 41 ist in diesen Raum gefüllt (d.h. in den Statorgehäuseteil 16). Der Stator 33 ist in das Vergussmaterial 41, das eingefüllt ist, eingetaucht. Als Folge wird Wärme von dem Stator 33 an die Wandoberfläche des konvexen Teils 15 über das Vergussmaterial 41 übertragen. Das Substratgehäuseteil 14 ist nicht mit dem Vergussmaterial gefüllt und ein unteres Ende davon ist durch eine Abdeckung 56 geschlossen. Das Schließen des unteren Endes des Substratgehäuseteils 14 durch die Abdeckung 56 verhindert, dass Fremdkörper, Feuchtigkeit usw. in den Substratgehäuseteil 14 eindringen.
  • Ein Material mit einem hohen Maß an thermischer Leitfähigkeit kann als Vergussmaterial 41 verwendet werden. Durch Verwenden von Material mit einem hohen Maß an thermischer Leitfä higkeit kann Wärme von dem Stator 33 effizient an die Umgebung abgestrahlt werden. Beispielsweise kann wäremabstrahlendes Silizium- oder Epoxyharz in dem Vergussmaterial 41 verwendet werden. Aluminiumoxidfasern (Füller) können in diese Harze gemischt sein. Das Maß an thermischer Leitfähigkeit kann weiter durch Zugeben des Aluminiumoxidfüllers erhöht werden.
  • Das Schaltkreissubstrat 23 ist mit dem Substrat 24 und dem Stator 33 versehen, der an dem Substrat 24 befestigt ist. Der Stator 33 enthält einen Statorkern 34 und Statorwindungen 35. Der Statorkern 34 ist aus Schichten von dünnen Stahlplatten (beispielsweise Siliziumstahlplatten) gestaltet, die durch Pressen erhalten werden. Eine Mehrzahl von Schlitzen ist in dem Statorkern 34 geformt. Ein Einsatzloch 34a ist im Zentrum des Statorkerns 34 gebildet. Ein Schaftbefestigungsteil 16b des unteren Körpers 12 wird in das Einsatzloch 34a eingesetzt, wenn der Stator 33 in einem untergebrachten Zustand in dem Statorgehäuseteil 16 ist. Die Position des Stators 33 ist somit in einer vorbestimmten Position innerhalb des Statorgehäuseteils 16 festgelegt. Wenn der Stator 33 in der Position in dem Statorgehäuseteil 16 festgelegt ist, ist eine Außenumfangsoberfläche des Stators 33 auf die Innenumfangsoberfläche des Zylinderteils 45 des Flügelrads 43 gerichtet.
  • Ein oberes Ende eines Anschlusses 37 ist an einem unteren Ende des Statorkerns 34 befestigt. Ein unteres Ende des Anschlusses 37 ist an einem Anschlusslötauge 37a (siehe 2 und 3) des Substrats 24 verlötet. Das bedeutet, dass der Stator 33 an dem Substrat 24 über den Anschluss 37 und das Anschlusslötauge 37a befestigt ist. Ein oberer Endteil des Anschlusses 37 führt durch die wärmeisolierende Platte 54, ein zentraler Teil des Anschlusses 37 ist seitwärts gebogen (nach links in 1), und ein unterer Teil davon ist nach unten gebogen. Als Folge ist das Anschlusslötauge 37a in der Nähe eines linken Rands des Substrats 24 gebildet. Die Statorwindungen 35 sind um die Schlitze des Statorkerns 34 gewickelt. Ein Ende der Wicklung der Statorwindungen 35 ist mit dem Anschluss 37 verbunden.
  • Wie es in 2 dargestellt ist, sind die folgenden Elemente zusätzlich zu dem Stator 33 auf einer oberen Oberfläche (d.h. der Oberfläche auf der Statorseite) des Substrats 24 montiert: Halbleitereinrichtungen, d.h. Leistungstransistoren 25 und Leistungsdioden 31, und ein elektronisches Bauteil, d.h. eine Drosselspule 27. Die Leistungstransistoren 25 sind schaltende Elemente, die die Stromversorgung an die Statorwindungen 35 schalten. Die Leistungsdioden 31 sind Einrichtungen zum Absorbieren von Stoßspannung zum Zeitpunkt, wenn die Stromzufuhr geschaltet wird. Die Drosselspule 27 ist ein Filter zum Entfernen von Rauschen, das zum Zeitpunkt erzeugt wird, wenn die Stromzufuhr geschaltet wird. Die elektronischen Bauteile 25, 27 und 31 sind wärmeerzeugende Einrichtungen, die Wärme erzeugen, während sie arbeiten. Somit entsprechen die Leistungstransistoren 25 und die Leistungsdioden 31 der Halbleitereinrichtung gemäß den Ansprüchen.
  • Wie es in 3 dargestellt ist, sind die folgenden elektronischen Bauteile 32 auf eine untere Oberfläche des Substrats 24 montiert: Chip-Transistoren und Chip-Widerstände. Wie es deutlich in 2 und 3 dargestellt ist, sind verhältnismäßig große elektronische Bauteile auf die obere Oberfläche des Substrats 24 montiert und verhältnismäßig kleine Bauteile auf die untere Oberfläche des Substrats 24 montiert.
  • Wie es in 2 dargestellt ist, ist die durch zwei gestrichelte Linien umfasste Fläche (d.h. die ringförmige Fläche, die durch die zwei kreisförmigen gestrichelten Linien umgeben ist, anschließend bezeichnet als eine ringförmige Fläche) auf den konkaven Teil 20 des unteren Körpers 12 gerichtet. Die Leistungstransistoren 25 und Leistungsdioden 31 sind innerhalb dieses ringförmigen Gebiets angebracht. Ferner ist die Drosselspule 27 benachbart zu dem ringförmigen Gebiet angebracht. Wie es in 1 dargestellt ist, sind die Leistungstransistoren 25 und Leistungsdioden 31 auf eine untere Oberfläche des konkaven Teils 20 gerichtet, und die Drosselspule 27 ist auf eine Außenoberfläche des konkaven Teils 20 gerichtet.
  • Ein ringförmiges Schichtelement 29a ist über der ringförmigen Fläche des Substrats 24 angebracht (siehe 1). Das Schichtelement 29a ist in eine flache Form geformt. Das Schichtelement 29a hat ein hohes Maß an thermischer Leitfähigkeit und Gummielastizität. Das Schichtelement kann aus einem elastischen Material (zum Beispiel Siliziumgummi, Siliziumgummi, der einen Aluminiumoxidfüller enthält, usw.) hergestellt sein. Eine untere Oberfläche des Schichtelements 29a ist in Berührung in einer ebenen Weise (Flächenberührung) mit einem Teil der oberen Oberflächen der Leistungstransistoren 25 und mit im Wesentlichen der Gesamtheit der oberen Oberfläche der Leistungsdioden 31. Ferner, wie es in 1 dargestellt ist, ist die untere Oberfläche des Schichtelements 29a in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) in Berührung mit dem zentralen Teil des Anschlusses 37. Eine obere Oberfläche des Schichtelements 29a ist in Berührung in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) mit der unteren Oberfläche des konkaven Teils 20 des unteren Körpers 12.
  • Ferner, wie es in 1 dargestellt ist, ist eine rechte Oberfläche der Drosselspule 27 in Berührung mit einer inneren Wandoberfläche des unteren Körpers 12, und eine linke Oberfläche der Drosselspule 27 ist in Berührung in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) mit einer rechten Oberfläche des Schichtelements 29b. Eine linke Oberfläche des Schichtelements 29b ist in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) in Berührung mit der Außenoberfläche des konkaven Teils 20 des unteren Körpers 12. Wie das Schichtelement 29a ist das Schichtelement 29b in eine flache Gestalt geformt. Das Schichtelement 29b hat auch ein hohes Maß an thermischer Leitfähigkeit und Gummielastizität. Das Schichtelement 29b kann ebenfalls aus einem elastischen Material hergestellt sein (d.h. Siliziumgummi, Siliziumgummi, der einen Aluminiumoxidfüller enthält, usw.).
  • Bei der Fluidpumpe 10 wird Strom von dem Schaltkreissubstrat 23 an die Statorwindungen 35 des Stators 33 zugeführt. Als Folge wird eine magnetische Kraft von den Statorwindungen 35 erzeugt und diese magnetische Kraft wirkt auf den zylindrischen Teil 45 des Flügelrads 43, was bewirkt, dass das Flügelrad 43 sich dreht. Wenn sich das Flügelrad 43 dreht, wird Kühlwasser in die Pumpenkammer von der Einlassöffnung 51 gesaugt. Die Rotation des Flügelrads 43 erhöht den Druck des Kühlwassers, das angesaugt ist, und dieses Kühlwasser wird aus der Auslassöffnung des oberen Körpers 50 abgeführt. An dieser Verbindungsstelle gelangt das Kühlwasser, das in die Pumpenkammer gesaugt worden ist, auch in den konkaven Teil 20 des unteren Körpers 12. Das Kühlwasser, das in den konkaven Teil 20 gelangt ist, wird durch die Rotation des Flügelrads 43 in Bewegung versetzt und häufig neu verteilt.
  • Wenn die Fluidpumpe 10 arbeitet, erzeugen die Statorwindungen 35 des Stators 33 Wärme. Da der Stator 33 durch die Wand des konvexen Teils 15 des unteren Körpers 12 und die wärmeisolierende Platte 54 umgeben ist, wird verhindert, dass die Wärme des Stators 33 in Richtung des Substrats 24 übertragen wird. Ferner wird Wärme, die von dem Stator 33 an den Anschluss 37 übertragen wird, an den konkaven Teil 20 über das Schichtelement 29a übertragen und wird an das Kühlwasser in der Pumpenkammer durch den konkaven Teil 20 abgestrahlt bzw. abgeführt. Somit wird verhindert, dass die Wärme des Stators 33 in Richtung des Substrats 24 übertragen wird, wodurch verhindert wird, dass die Halbleitereinrichtungen 25, 31 eine hohe Temperatur erreichen. Ferner ist das Vergussmaterial 41 in den Statorgehäuseteil 16 eingefüllt. Als Folge wird die Wärme des Stators 33 an den konvexen Teil 15 über das Vergussmaterial 41 übertragen und an das Kühlwasser in der Pumpenkammer durch den konvexen Teil 15 abgestrahlt bzw. abgeführt. Die Wärme des Stators 33 wird somit effizient an das Kühlwasser abgestrahlt bzw. abgeführt, und es wird auch verhindert, dass der Stator 33 eine hohe Temperatur erreicht.
  • Wenn die Fluidpumpe 10 arbeitet, erzeugen auch die Leistungstransistoren 25, die Leistungsdioden 31 und die Drosselspule 27, die an dem Substrat 24 montiert sind, Wärme. Die Wärme der Leistungstransistoren 25 und der Leistungsdioden 31 wird an den konkaven Teil 20 über das Schichtelement 29a übertragen und an das Kühlwasser in der Pumpenkammer durch den konkaven Teil 20 abgestrahlt bzw. abgeführt. Ferner wird die Wärme der Drosselspule 27 an den konkaven Teil 20 über das Schichtelement 29b übertragen und wird an das Kühlwasser in der Pumpenkammer durch den konkaven Teil 20 abgestrahlt. Es wird somit verhindert, dass die elektronischen Teile, die auf dem Substrat 24 montiert sind, d.h. die Leistungstransistoren 25, die Leistungsdioden 31 und die Drosselspule 27 eine hohe Temperatur erreichen.
  • In der Fluidpumpe 10 wird verhindert, dass die Wärme des Stators 33 in Richtung des Substrats 24 übertragen wird, und die Wärme der Leistungstransistoren 25 und der Leistungsdioden 31 und der Drosselspule 27 wird an das Kühlwasser in der Pumpenkammer über die Schichtelemente 29a, 29b und die Wand des konkaven Teils 20 abgestrahlt bzw. abgeführt. Es wird somit effektiv verhindert, dass die elektronischen Bauteile 25, 27, 31 eine hohe Temperatur erreichen.
  • Ferner gelangen die Leistungstransistoren 25, die Leistungsdioden 31 und der Anschluss 37 in Berührung mit dem konkaven Teil 20 über das Schichtelement 29a, das Gummielastizität aufweist. Als Folge gilt es eine Abnahme in der Vibration, die an die elektronischen Bauteile 25, 31, 37 über den unteren Körper 12 übertragen wird. Die elektronischen Bauteile 25, 31, 37 können folglich in einer geeigneten Weise aufrechterhalten werden und der elektrische Kontakt (gelötete Teile) zwischen diesen elektronischen Bauteilen und dem Substrat 24 kann folglich zufriedenstellend aufrechterhalten werden.
  • Da ferner das Vergussmaterial 41 nicht in den Substratgehäuseteil 14 gefüllt ist, kann die Fluidpumpe 10 leichtgewichtig gestaltet werden. Da das Substrat 24 an dem unteren Körper 12 über die Schichtelemente 29a, 29b befestigt ist, wenngleich der Substratgehäuseteil 14 nicht mit dem Vergussmaterial gefüllt ist, kann das Substrat 24 passend innerhalb des Substratgehäuseteils 14 gehalten werden.
  • Zweite Ausführungsform
  • Als nächstes wird eine Fluidpumpe 100 einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Lehren beschrieben. Die Fluidpumpe 100 kann auch dazu verwendet werden, Kühlwasser zum Kühlen eines Motors zu zirkulieren. Wie es in 4 gezeigt ist, ist die Fluidpumpe 100 eine Fluidpumpe mit Innenrotor. Die Fluidpumpe 100 enthält einen unteren Körper 112, einen oberen Körper 150, der an einem oberen Ende des unteren Körpers 112 befestigt ist, und eine Abdeckung 116, die an einem unteren Ende des unteren Körpers 112 befestigt ist.
  • Ein konkaver Teil 118 ist in näherungsweise dem Zentrum eines oberen Teils des unteren Körpers 112 geformt, und ein konvexer Teil 121 ist an einer Außenseite des konkaven Teils 118 geformt. Betrachtet von oben hat der konvexe Teil 121 eine Ringform, die den konkaven Teil 118 umgibt. Der konvexe Teil 121 und der konkave Teil 118 sind konzentrisch angebracht. Ein Substratgehäuseteil 114 ist innerhalb des unteren Körpers 112 geformt. Ein Statorgehäuseteil 121a ist innerhalb des konvexen Teils 121 geformt. Ein unteres Ende des Statorgehäuseteils 121a steht mit dem Substratgehäuseteil 114 in Verbindung.
  • Ein Schaltkreissubstrat 123 ist in dem unteren Körper 112 untergebracht. Das Schaltkreissubstrat 123 enthält ein Substrat 124, Leistungstransistoren 125a, 125b, die auf dem Substrat 124 montiert sind, und den Stator 133, der mit dem Substrat 124 über einen Anschluss (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Leistungstransistor 125a ist auf einer oberen Oberfläche des Substrats 124 montiert. Der Leistungstransistor 125b ist auf einer unteren Oberfläche des Substrats 124 montiert.
  • Wenn das Schaltkreissubstrat 123 in einem in dem unteren Körper 112 untergebrachten Zustand ist, ist der Stator 133 in dem Statorgehäuse 121a aufgenommen. Vergussmaterial 141 ist zwischen eine obere Oberfläche des Stators 133 und eine Innenwandoberfläche des konvexen Teils 121 gefüllt. Ferner ist der Leistungstransistor 125a thermisch mit einer Wandoberfläche des konkaven Teils 118 über ein Schichtelement 129a verbunden. Wie es in 4 gezeigt ist, ist der Leistungstransistor 125b in einer Position angebracht, die dem Ort entspricht, an dem das Substrat 124 in einer ebenen Weise in Berührung mit einem Schichtelement 129b ist. Somit ist der Leistungstransistor 125b thermisch mit der Wandoberfläche des konkaven Teils 118 über das Substrat 124 und das Schichtelement 129b verbunden. Das Schichtelement 129a, 129b hat auch ein hohes Maß an thermischer Leitfähigkeit und Gummielastizität. Die Schichtelemente 129a, 129b können auf die gleiche Weise wie die Schichtelemente 29a, 29b der ersten Ausführungsform ausgebildet sein.
  • Ein unteres Ende eines Schafts 146 ist an einem Zentrum des konkaven Teils 118 befestigt. Ein oberes Ende des Schafts 146 ist an dem oberen Körper 150 befestigt. Ein Flügelrad 143 ist an dem Schaft 146 angebracht. Das Flügelrad 143 enthält Schaftlager 146a, 146b. Das Flügelrad 143 ist durch die Schaftlager 146a, 146b so gestützt, dass es sich um den Schaft 146 drehen kann. Ein zylindrischer Magnet 145 ist am unteren Ende des Flügelrads 143 vorgesehen. Wenn das Flügelrad 143 an dem Schaft 146 angebracht worden ist, ist ein unterer Endteil des Flügelrads 143 in dem konkaven Teil 118 untergebracht und der zylindrische Magnet 145 ist auf den Stator 133 gerichtet. Als Folge wird, wenn Strom von dem Schaltkreissubstrat 123 an den Stator 133 zugeführt wird, eine magnetische Kraft von dem Stator 133 erzeugt und das Flügelrad 143 dreht sich. Wenn sich das Flügelrad 143 dreht, wird Kühlwasser in eine Pumpenkammer 120 (d.h. einen Innenraum, der durch den unteren Körper 112 und den oberen Körper 150 umgeben ist) von einer Einlassöffnung 151 angesaugt. Die Rotation des Flügelrads 143 erhöht den Druck des Kühlwassers, das angesaugt ist, und dieses Kühlwasser wird von einer Auslassöffnung (nicht dargestellt) abgeführt. Ferner gelangt das Kühlwasser, das in die Pumpenkammer 120 gesaugt ist, auch in den konkaven Teil 118 des unteren Körpers 112. Die Flüssigkeit, die in den konkaven Teil 118 eingedrungen ist, wird in Bewegung versetzt und häufig neu verteilt durch die Rotation des Flügelrads 143.
  • In der Fluidpumpe 100 wird ebenfalls die durch den Leistungstransistor 125a erzeugte Wärme effizient an die Wandoberfläche des konkaven Teils 118 des unteren Körpers 112 über das Schichtelement 129a übertragen und von der Wandoberfläche des konkaven Teils 118 an das Kühlwasser in der Pumpenkammer 120 abgestrahlt. Ferner wird die durch den Leistungstransistor 125b erzeugte Wärme effizient an die Wandoberfläche des konkaven Teils 118 des unteren Körpers 112 über das Substrat 124 und das Schichtelement 129b übertragen und von der Wandoberfläche des konkaven Teils 118 an das Kühlwasser in der Pumpenkammer 120 abgestrahlt bzw. abgeführt. Die durch die Leistungstransistoren 125a, 125b erzeugte Wärme wird somit effizient an das Kühlwasser in der Pumpenkammer 120 abgestrahlt und es wird verhindert, dass die Leistungstransistoren 125a, 125b eine hohe Temperatur erreichen. Ferner gelangen die Leistungstransistoren 125a, 125b in Berührung mit der Wandoberfläche des unteren Körpers 112 über die Schichtelemente 129a, 129b. Als Folge wird verhindert, dass eine Vibration des unteren Körpers 112 an die Leistungstransistoren 125a, 125b übertragen wird.
  • Dritte Ausführungsform
  • Als nächstes wird eine Fluidpumpe 200 einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Lehren beschrieben. Die Fluidpumpe 200 kann auch dazu verwendet werden, Kühlwasser zum Kühlen eines Motors zu zirkulieren. Wie es in 5 gezeigt ist, ist die Fluidpumpe 200 eine Fluidpumpe mit Außenrotor. Die Fluidpumpe 200 enthält einen unteren Körper 212, einen oberen Körper 250, der an einem oberen Ende des unteren Körpers 212 befestigt ist, und eine Abdeckung 216, die an einem unteren Ende des unteren Körpers 212 befestigt ist. Ein Flügelrad 243 ist in einem Innenraum (d.h. Pumpenkammer) 220 angebracht, der durch den unteren Körper 212 und den oberen Körper 250 umgeben wird. Ein Schaltkreissubstrat 223 ist in dem unteren Körper 212 untergebracht. Ein ringförmiges Schichtelement 229 ist in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) in Berührung mit einer oberen Oberfläche eines Substrats 224 des Schaltkreissubstrats 223. Eine obere Oberfläche des Schichtelements 229 ist in einer ebenen Weise mit einer Wand des unteren Körpers (insbesondere einer Wand, die auf eine untere Endoberfläche des Flügelrads 223 gerichtet ist) in Berührung. Das Schichtelement 229 hat auch ein hohes Maß an thermischer Leitfähigkeit und Gummielastizität. Die Schichtelemente 229 können auf die gleiche Weise wie die Schichtelemente 29a, 29b der ersten Ausführungsform ausgebildet sein.
  • Das Schaltkreissubstrat 223 enthält das Substrat 224 und verschiedene Elektronikeinrichtungen, die auf dem Substrat 224 montiert sind. Wie es in 7 gezeigt ist, sind ein steuernder IC 240 und andere elektronische Bauteile (zum Beispiel Chip-Transistoren, Chip-Widerstände) auf einer oberen Oberfläche des Substrats 224 montiert. Wie es in 6 gezeigt ist, sind die folgenden elektronischen Bauteile auf einer unteren Oberfläche des Substrats 224 montiert: ein Leistungstransistor 236, Kondensatoren 232a, 232b, 232c, 232d, steuernde ICs 234a, 234b und eine Drosselspule 238.
  • Das durch zwei gestrichelte Linien in 7 umfasste Gebiet ist ein Gebiet, das in einer ebenen Weise mit dem Schichtelement 229 in Berührung gelangt, wenn das Schaltkreissubstrat 223 in dem unteren Körper 212 untergebracht ist. Ferner zeigt das durch zwei gestrichelte Linien in 6 umgebende Gebiet ein Gebiet, das dem Gebiet entspricht (d.h. das Gebiet, das durch die zwei gestrichelten Linien in 7 umgeben ist), das in Berührung mit dem Schichtelement 229 ist. Wie es aus 7 deutlich ist, ist das Schichtelement 229 in Berührung mit einer oberen Oberfläche des steuernden ICs 240. Ferner, wie es aus 6 deutlich ist, sind der Leistungstransistor 236, die Kondensatoren 232a, 232b, 232c, 232d, der steuernde IC 234b und eine Drosselspule 238 thermisch mit dem Schichtelement 229 über das Substrat 224 verbunden. Als Folge wird durch diese elektronischen Bauteile erzeugte Wärme in einer geeigneten Weise an das Kühlwasser in der Pumpenkammer 220 über das Schichtelement 229 abgestrahlt bzw. abgeführt.
  • In der Fluidpumpe 200 wird ebenfalls die durch den Leistungstransistor 236, die Kondensatoren 232a, 232b, 232c, 232d, die steuernden ICs 234b, 240 und die Drosselspule 238 erzeugte Wärme an das Kühlwasser in der Pumpenkammer 220 über das Schichtelement 229 abgestrahlt bzw. abgeführt. Die durch diese elektronischen Teile erzeugte Wärme wird somit effizient an das Kühlwasser in der Pumpenkammer gestrahlt und diese elektronischen Teile werden daran gehindert, eine hohe Temperatur zu erreichen. Da diese elektronischen Bauteile in Berührung mit dem unteren Körper 212 über das Schichtelement 229 sind, wird verhindert, dass die Vibration des unteren Körpers 212 an diese elektronischen Bauteile übertragen wird.
  • Vierte Ausführungsform
  • Als nächstes wird eine Fluidpumpe 300 einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Lehren beschrieben. Die Fluidpumpe 300 kann ebenfalls verwendet werden zum Zirkulieren von Kühlwasser zum Kühlen eines Motors. Wie es in 8 dargestellt ist, ist die Fluidpumpe 300 eine Fluidpumpe mit Innenrotor. Die Fluidpumpe 300 enthält einen unteren Körper 312, einen oberen Körper 350, der an einem oberen Ende des unteren Körpers 312 befestigt ist, und eine Abdeckung 316, die an einem unteren Ende des unteren Körpers 312 befestigt ist. Ein Flügelrad 353 ist in einem Innenraum (d.h. Pumpenkammer) 320 angebracht, der durch den unteren Körper 312 und den oberen Körper 350 umgeben ist. Ein Schaltkreissubstrat 323 ist in dem unteren Körper 312 aufgenommen. Ein Schichtelement 329 ist in einer ebenen Weise (Flächenkontakt) mit einem Zentrum einer oberen Oberfläche des Schaltkreissubstrats 323 in Berührung. Eine obere Oberfläche des Schichtelements 329 ist in einer ebenen Weise mit einer Wand in Berührung, die die Pumpenkammer 320 bildet. Das Schichtelement 329 weist auch ein hohes Maß an thermischer Leitfähigkeit und Gummielastizität auf. Die Schichtelemente 329 können auf die gleiche Weise wie die Schichtelemente 29a, 29b der ersten Ausführungsform ausgebildet sein.
  • Das Schaltkreissubstrat 323 ist mit einem Substrat 324 und verschiedenen elektronischen Bauteilen, die auf dem Substrat 324 montiert sind, versehen. Wie es in 10 dargestellt ist, sind verhältnismäßig kleine elektronische Bauteile, d.h. Chip-Transistoren und Chip-Widerstände, auf einer oberen Oberfläche des Substrats 324 montiert. Wie es in 9 gezeigt ist, sind die folgenden elektronischen Bauteile auf einer unteren Oberfläche des Substrats 324 montiert: ein Leis tungstransistor 342, Kondensatoren 344a, 344b, 344c, 344d, steuernde ICs 348a, 348b und eine Drosselspule 346. Der Leistungstransistor 342 ist in einem Zentrum der unteren Oberfläche des Substrats 324 angebracht. Somit ist der Leistungstransistor 342 thermisch mit dem Schichtelement 329 über das Substrat 324 verbunden.
  • Auch in der Fluidpumpe 300 wird die durch den Leistungstransistor 342 erzeugte Wärme an das Kühlwasser in der Pumpenkammer 320 über das Schichtelement 329 abgestrahlt. Die durch den Leistungstransistor 342 erzeugte Wärme wird somit effizient an das Kühlwasser in der Pumpenkammer 320 gestrahlt, und es wird verhindert, dass der Leistungstransistor 342 eine hohe Temperatur erreicht. Ferner ist der Leistungstransistor 342 in Berührung mit dem unteren Körper 312 über das Schichtelement 329. Als Folge wird verhindert, dass die Vibration des unteren Körpers 312 an den Leistungstransistor 342 übertragen wird.
  • Wenngleich die bevorzugten repräsentativen Ausführungsform im einzelnen beschrieben sind, sind schließlich die vorliegenden Ausführungsformen nur für veranschaulichenden Zweck und nicht beschränkend. Es ist zu verstehen, dass verschiedene Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Rahmen der beigefügten Ansprüche abzuweichen. Zusätzlich können die zusätzlichen Merkmale und Aspekte, die hier offenbart sind, getrennt oder in Verbindung mit den oben stehenden Aspekten und Merkmalen verwendet werden.
  • Weiter weisen die technischen Elemente, die in dieser Spezifikation und in den Zeichnungen beschrieben sind, unabhängig oder in vielfältigen Kombinationen technischen Nutzen auf und sind nicht auf die Kombinationen der Ansprüche begrenzt. Ferner erzielt die in den Spezifikationen und Zeichnungen dargestellte Technologie gleichzeitig verschiedene Aufgaben, aber die Technologie hat auch Nutzen, selbst wenn nur eine dieser Aufgaben erreicht wird.

Claims (9)

  1. Fluidpumpe (10; 100; 200; 300), enthaltend: ein Gehäuse (12, 50; 112, 150; 212, 250; 312, 350), das mit einer Pumpenkammer, einer Gehäusekammer (14, 16; 114, 116; 214, 216; 314) und einer Trennung (20; 118), die die Pumpenkammer und die Gehäusekammer trennt, versehen ist; ein Flügelrad (43; 143; 243; 353), das drehbar innerhalb der Pumpenkammer angebracht ist; einen Stator (33; 133; 233; 333), der innerhalb der Gehäusekammer angebracht ist, wobei der Stator eine Antriebskraft zum Antreiben der Rotation des Flügelrads erzeugt; eine erste Halbleitereinrichtung (25, 31; 125a; 223; 323), die innerhalb der Gehäusekammer angebracht ist; einen Anschluss (37), der innerhalb der Gehäusekammer angebracht ist, wobei der Anschluss elektrisch die erste Halbleitereinrichtung mit dem Stator verbindet; und ein erstes Schichtelement (29a; 129a; 229; 329), das innerhalb der Gehäusekammer angebracht ist, wobei das erste Schichtelement Gummielastizität aufweist, wobei das erste Schichtelement eine erste ebene Oberfläche und eine zweite ebenen Oberfläche enthält, wobei die erste ebenen Oberfläche in einer ebenen Weise mit der ersten Halbleitereinrichtung in Berührung ist und die zweite ebene Oberfläche in einer ebenen Weise mit der Trennung des Gehäuses in Berührung ist.
  2. Fluidpumpe (10) nach Anspruch 1, wobei das erste Schichtelement (29a) eine dritte ebene Oberfläche aufweist, die in einer ebenen Weise in Berührung mit dem Anschluss (37) ist.
  3. Fluidpumpe (10; 100; 200; 300) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das erste Schichtelement (29a; 129a; 229; 329) aus Siliziumharz gebildet ist.
  4. Fluidpumpe (10; 100; 200; 300) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die erste Halbleitereinrichtung (25; 31; 125a; 223; 323) auf die Trennung (20; 118) des Gehäuses (12, 50; 112, 150; 212, 250; 312, 350) gerichtet angebracht ist.
  5. Fluidpumpe (10; 100; 200; 300) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei zumindest ein Teil des Anschlusses (37) auf die Trennung (20; 118) des Gehäuses (12, 50; 112, 150; 212, 250; 312, 350) gerichtet angebracht ist.
  6. Fluidpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, weiter enthaltend eine wärmeisolierende Platte (54), die innerhalb der Gehäusekammer angebracht ist, wobei die wärmeisolierende Platte die Gehäusekammer in eine Statorseite (16) und eine erste Halbleitereinrichtungsseite (14) teilt, und der Stator (33) durch die Trennung (20) die wärmeisolierende Platte umgeben ist.
  7. Fluidpumpe (10) nach Anspruch 6, wobei die wärmeisolierende Platte (54) in der Nähe einer Endseite des Stators (33) angebracht ist.
  8. Fluidpumpe (10) nach Anspruch 6 oder 7, wobei Vergussmaterial (41) in nur einen Raum auf der Statorseite (16) der Gehäusekammer gefüllt ist.
  9. Fluidpumpe (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, weiter enthaltend ein Substrat (124), ein zweites Schichtelement (129b) und eine zweite Halbleitereinrichtung (125b), wobei das Substrat innerhalb der Gehäusekammer (114, 116) angebracht ist, das zweite Schichtelement innerhalb der Gehäusekammer angebracht ist, wobei das zweite Schichtelement Gummielastizität aufweist, wobei das zweite Schichtelement eine vierte ebene Oberfläche und eine fünfte ebene Oberfläche enthält, die vierte ebene Oberfläche in einer ebenen Weise mit einer Oberfläche auf der Pumpenkammerseite des Substrats in Berührung ist und die fünfte ebene Oberfläche in einer ebenen Weise mit der Trennung des Gehäuses in Berührung ist, und die zweite Halbleitereinrichtung auf einer gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats von der Pumpenkammerseite montiert ist, in einer Position, die dem Ort entspricht, an dem das Substrat in Berührung mit der vierten ebenen Oberfläche des zweiten Schichtelements ist.
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