DE102007023815A1

DE102007023815A1 - Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabes aus ferromagnetischem Material

Info

Publication number: DE102007023815A1
Application number: DE102007023815A
Authority: DE
Inventors: Uwe Loreit; Jörg TRAUTE; Jochen Schmitt
Original assignee: Sensitec GmbH
Current assignee: Sensitec GmbH
Priority date: 2007-05-21
Filing date: 2007-05-21
Publication date: 2008-11-27
Also published as: WO2008141804A2; US8836324B2; EP2158453A2; US20100134095A1; EP2158453B1; WO2008141804A3

Abstract

Es wird eine Anordnung zur hochauflösenden Positionsbestimmung an linearen oder kreisförmigen ferromagnetischen Maßstäben mit Zahnstruktur angegeben, die in magnetisch gestörter Umgebung zuverlässige Ergebnisse liefert. Dazu wird ein Magnetfeldsensor am Ort des maximalen Feldes eines Dauermagneten positioniert und dieser gegenüber dem Maßstab so angeordnet, dass das weichmagnetische Maßstabsmaterial eine weitere Feldverstärkung bewirkt. Die so erreichte Feldstärke ist ausreichend, um Vielschicht-GMR-Sensoren mit Widerstandsänderungen von mehr als 40% einsetzen zu können, womit eine hohe Signalamplitude zur höheren Positionsauflösung genutzt werden kann.

Description

Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Abtastung einer magnetischen Zahnstruktur. Solche Anordnungen sind beispielsweise in der Feinmechanik, im Maschinenbau oder im Automobilbau anwendbar.
Ausführungen derartiger Sensoranordnungen sind seit langem bekannt. So wird in der DE 31 22 376 eine Vorrichtung zur Erfassung der Drehzahl von rotierenden Teilen beschrieben, bei der das rotierende Teil ein weichmagnetisches Zahnrad ist, Dauermagnete zur Erzeugung eines Magnetfeldes eingesetzt werden und die Änderung des Magnetfeldes, wenn ein Zahn den Magneten passiert, durch Hall-Sensoren oder magnetoresistive Sensoren detektiert wird. Für die ausschließliche Ermittlung der Drehzahl ist die angegebene Anordnung in ihrer Einfachheit und Effektivität kaum zu übertreffen. Anders stellt sich die Sache dar, wenn dieselbe Anordnung auch zur genauen Bestimmung des jeweiligen Drehwinkels des Zahnrades zu jedem beliebigen Zeitpunkt benutzt werden soll und wenn der Drehwinkelwert auch in einer maschineninternen Umwelt mit nicht vermeidbaren Streumagnetfeldern mit hoher Genauigkeit zur Verfügung stehen muss. Bei der genannten Erfindung wird der Magnet mit seiner magnetischen Achse, die beide parallele Polflächen verbindet, radial zur Zahnradachse positioniert. Zwischen der dem Zahnrad näher liegenden Polfläche und der Zahnoberfläche befindet sich der jeweilige magnetische Sensor. Seine Abmessungen sind gering im Vergleich mit der der Polfläche, in deren Mitte der Sensor positioniert ist. Diese beiden Eigenheiten der Anordnung verhindern, dass eine möglichst hohe magnetische Feldstärke an den Zähnen und am Sensorort erreicht wird. Sie würde ansteigen, wenn der Abstand zwischen Zahn und Magnet geringer wäre und der Sensor sich näher an einem Rand der Polfläche befinden würde. Ersteres wird durch den Sensor verhindert, das zweite führt wegen der am Rand der Polfläche inhomogenen Feldverteilung zu einem starken Sensoroffset. Der dadurch bedingte Messfehler wäre bei der so geänderten Anordnung größer als der Genauigkeitsgewinn durch die erhöhte Feldstärke.
Eine ganze Reihe von Anordnungen, die in den Patenten US 5,444,370 ; US 4,859,941 , US 4,745,363 ; US 5,841,276 und US 4,626,781 beschrieben sind, benutzen die angegebene Richtung des Feldes des Dauermagneten und den angegebenen Sensorort zwischen Magnet und Zahnstruktur und können so in dieser Hinsicht zu keiner Verbesserung durch erhöhte Feldstärke beitragen.
In der WO97/06404 wird in einem Ausführungsbeispiel (dargestellt in der dortigen 1) die magnetische Achse des Dauermagneten nicht mehr radial, sondern tangential zum Zahnrad positioniert. Der Magnet befindet sich unmittelbar über der Oberfläche des Zahns. Der Sensor ist neben einer Seitenfläche des Magneten und vor der Stirnseite des Zahnrades in Höhe der Zähne angeordnet. Hier wird zwar ein minimaler Abstand zwischen Zahnoberfläche und Magnet verwirklicht, das seitlich aus dem Magneten austretende Feld ist jedoch nicht von hoher Stärke, und nur dieses wirkt auf den Sensor ein. Damit sind hohe Feldstärken auch bei Verwendung von weichmagnetischen Flusskonzentratoren, wie vorgeschlagen, nicht zu verwirklichen. Weitere Ausführungsbeispiele benutzen die Weiterleitung des Magnetfeldes des Dauermagneten über weichmagnetische Teile zum Zahnrad. Das Feld wird so wieder senkrecht in die Zahnoberfläche eingeleitet und zwischen dem weichmagnetischen Teil und dem Zahn befindet sich wieder der Sensor. So kann eine Feldstärkeverstärkung in diesen Ausführungen auch nicht erreicht werden.
Bei einer Anordnung nach WO 2007/002067 wird eine Anordnung zur Abtastung ferromagnetischer Zahnräder angegeben, deren Aufgabe es ist, die Position einer Zahnkante mit möglichst hoher Genauigkeit zu ermitteln. Die Achse des Magneten steht bei der Anordnung, wie im übrigen Stand der Technik üblich, senkrecht zur Zahnoberfläche. Die hohe Auflösung der Zahnkantenposition wird dadurch erreicht, dass der Sensor neben einer Seitenfläche des Magneten nahe der Kante der dem Zahnrad zugewandten Polfläche angeordnet ist und dass die magnetoresistiven Widerstandsstreifen des Sensors auf zwei möglichst kleine Flächen, die in Bewegungsrichtung der Zähne beabstandet sind, aufgeteilt sind. Nur die in der Zahnkantennähe befindlichen Widerstandsstreifen tragen hier etwas zum Sensorsignal bei, was zur Halbierung des Sensorsignals führt. Ein Ziel der Erfindung besteht in der Verwendung von Magneten kleiner Abmessung, da diese die Größe der Anordnung im Wesentlichen bestimmen. Hohe magnetische Feldstärken am Sensorort werden nicht beabsichtigt und auch nicht erreicht.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabes aus ferromagnetischem Material mit zahnförmig strukturierter Oberfläche anzugeben, die die Zahnpositionen mit hoher Genauigkeit in magnetisch gestörter Umgebung ermittelt.
Diese Aufgabe wird mit einer Anordnung entsprechend Anspruch 1 gelöst. Die Anordnung besteht aus mindestens einem auf einem Träger befindlichen Magnetfeldsensor und mindestens einem Dauermagneten. Ein abzutastender Maßstab weist eine oder mehrere parallele in Bewegungsrichtung periodische Zahnstrukturen auf. Der Maßstab kann beispielsweise linear sein oder die Form eines Zahnrades haben. Die Kanten der Zahnstrukturen bilden bevorzugt mit der Bewegungsrichtung rechte Winkel. Die Dauermagnete sind mit ihrer senkrecht auf den Polflächen stehenden magnetischen Achse parallel zu Kanten der Zahnstruktur und im Abstand eines Luftspaltes zur Oberfläche der Zähne angeordnet. Der Magnetfeldsensor besteht aus Sensorelementen, die sich auf Elementeflächen befinden, die auf einer Sensorfläche des Trägers in Bewegungsrichtung beabstandet sind. Die Sensorfläche des Trägers ist über der Zahnstruktur und vor mindestens einer Polfläche angeordnet, wobei der Abstand einer oberflächennahen Kante der Sensorfläche zur Oberfläche der Zahnstruktur höchstens der Abmessung des Luftspaltes entspricht. Die Abstände der Mittellinien der Elementeflächen voneinander sind durch Viertel der Periodenlänge der abzutastenden Zahnstruktur oder Vielfache davon darstellbar.
In dieser Anordnung befindet sich der Magnetfeldsensor genau an dem Ort, an dem durch den Magneten die höchste Feldstärke der senkrecht auf der Zahnoberfläche stehenden Feldkomponente erzeugt wird. Dieser Ort befindet sich in der Anordnung in unmittelbarster Nähe zur Zahnstruktur, so dass auch hohe durch die Zahnstruktur hervorgerufene örtliche Feldstärkeänderungen am Sensorort gewährleistet sind. Es kommt hinzu, dass bei der Anordnung die vom Nordpol zum Südpol verlaufenden Feldlinien fast über ihre gesamte Länge durch die weichmagnetische Zahnstruktur geführt werden, womit eine Verstärkung der Feldstärke im Bereich des Spaltes zwischen Magnet und Zahnstrukturoberfläche erreicht wird. Dass dieser Spalt im Bereich des Zahnes eine viel geringere Abmessung hat als im Bereich der Zahnlücke, unterstützt in erheblichem Maße die für die genaue Zahnabtastung nötige Vergrößerung der Differenz der Feldstärken zwischen den genannten Orten.
Die für die Zahnabtastung hier zur Verfügung stehende hohe Magnetfeldstärke sowie deren große Differenzen bei Bewegung der Zahnstruktur, ist eine Grundvoraussetzung für eine genaue Bestimmung der Position der Zahnstruktur, da in technischer Umgebung vorkommende Störfeldstärken gegenüber diesen hohen Feldstärkewerten immer relativ klein bleiben. Es ist dabei auch zu berücksichtigen, dass die Störfelder im Bereich der gerade abgetasteten Zahnperiode nur wenig variierende Werte aufweisen können, so dass der durch sie bewirkte Fehler weit unter ihrem relativen Feldstärkewert liegt.
Es ist klar, dass auch in der erfindungsgemäßen Anordnung die höchsten Feldstärkewerte der Magnete durch Einsatz hochwertiger Dauermagnetwerkstoffe erzielbar sind.
Vorteilhafterweise werden in der Anordnung Magnetfeldsensoren eingesetzt, die auf Magnetfelder reagieren, die senkrecht auf der Oberfläche der Zahnstruktur stehen. Magnetoresistive Sensoren, die sich auf Sensorflächen befinden, die sich parallel zu den Polflächen der Magnete erstrecken, sind dazu bevorzugt geeignet. Dabei kann es sich um AMR-Sensoren oder auch um Spin-Valve-GMR-Senoren handeln. Bei der Untersuchung erfindungsgemäßer Anordnungen stellte sich heraus, dass die erreichbaren Feldstärkewerte (größer als 100 kA/m) auch ausreichen, um Vielschicht-GMR-Sensoren einsetzen zu können. Verfügbare Vielschicht-GMR-Widerstände ändern ihren Widerstand bei magnetischer Einwirkung um mehr als 40%, wodurch Sensoren mit gegenüber anderen magnetoresistiven Sensoren erheblich vergrößerten Sensorausgangssignalen herstellbar sind. Damit sind höhere Auflösungen und Genauigkeiten in der Bestimmung der Position der Zahnstruktur gegeben.
Unabhängig von der speziellen Art der magnetoresistiven Sensoren bestehen diese aus Sensorelementen, die sich auf Elementeflächen befinden, die auf einer Sensorfläche des Trägers in Bewegungsrichtung beabstandet sind. Die Abstände der Elementeflächen in Bewegungsrichtung sind an die jeweils abzutastende Zahnstruktur angepasst. Im einfachsten Fall befinden sich zwei gleiche magnetoresistive Widerstände in zwei Elementeflächen, und deren Abstand entspricht der halben Periodenlänge der Zahnstruktur. Die Widerstände sind zu einer Halbbrücke verschaltet. Es können auch in jeder Elementefläche zwei gleiche magnetoresistive Widerstände angeordnet sein, so dass eine Vollbrückenschaltung realisiert werden kann. Die Abtastung der Zahnstruktur mit Hilfe der Halb- oder Vollbrücke ergibt im Wesentlichen eine Sinusfunktion mit der Periodenlänge der Zahnstruktur. Wird in zwei weiteren Elementeflächen, die gegenüber den ersten um ein Viertel der Periodenlänge versetzt angeordnet sind, eine weitere Brücke magnetoresistiver Widerstände untergebracht, kann das zugehörige Kosinussignal erhalten werden. Durch Arcustangensinterpolation kann aus beiden Signalen die Position der Zahnstruktur innerhalb der Periodenlänge hochaufgelöst angegeben werden. Diese Hochauflösung ist vorteilhafter Weise nicht wie bei bekannten Anordnungen nur an den Ort einer steilen Zahnflanke gebunden.
In einer anderen Ausführung der Anordnung, bei der sich beiderseits des Sensors eine gleiche Polfläche (z. B. Nordpol – Nordpol) von zwei Magneten befindet, ist eine Verdoppelung der Magnetfeldstärke am Sensorort möglich.
Zur Abtastung von zwei parallelen Zahnstrukturen können in einer weiteren Ausführung der Erfindung an beiden Polflächen des Magneten Magnetfeldsensoren angeordnet sein.
Der Magnet einer weiteren Ausführung der Erfindung kann in der dem Magnetfeldsensor zugewandten Polfläche in senkrechter Richtung zur Zahnstrukturoberfläche eine Kerbe enthalten. Diese bewirkt eine Homogenisierung des Magnetfeldes in der Umgebung der Kerbe. Damit wird die Justierung des Magnetfeldsensors gegenüber dem Magneten erheblich vereinfacht, die ohne Kerbe wegen Offsetverschiebungen im Sensor erheblichen Aufwand erfordert. Die Kerbe kann soweit vergrößert sein, dass zwei durch ein nichtmagnetisches Material getrennte Magnete mit in einer Ebene liegenden Polflächen vorhanden sind.
Im Folgenden wird die Erfindung an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den dazu gehörigen Figuren ist Folgendes dargestellt:
1: Anordnung entsprechend der Erfindung,
2: Anordnung entsprechend dem Stand der Technik,
3: Magnet mit maximaler Senkrechtfeld-Komponente,
4: Verteilung von Elementeflächen des Magnetfeldsensors,
5: Kennlinie eines Vielschicht-GMR-Widerstandes,
6: Anordnung mit zwei Magneten,
7: Anordnung mit zwei Magnetfeldsensoren für zwei parallele Zahnstrukturen,
8: Anordnung mit gekerbtem Magneten,
9: Anordnung mit geteiltem Magneten.
1 zeigt eine erfindungsgemäße Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabes 3 aus ferromagnetischem Material mit zahnförmig strukturierter Oberfläche. Über dem Maßstab mit Zahnstruktur befindet sich ein quaderförmiger Magnet 4, dessen links und rechts befindliche Polflächen (S, N) die senkrecht dazu stehende magnetische Achse 5 festlegen. Die Achse 5 ist parallel zu den Kanten der Zahnstruktur gerichtet. Die untere Kante des Magneten 4 ist durch einen Spalt von der Oberfläche eines Zahnes getrennt. In unmittelbarer Nähe der Südpolfläche befindet sich ein Magnetfeldsensor 1, befestigt auf einem Träger 3, dicht über der Zahnstruktur. Der Abstand zwischen der Unterkante des Sensors 1 von der Zahnoberfläche ist in realen Anordnungen geringer als der Spalt zwischen Magnet 4 und Zahnoberfläche. Die aus dem Nordpol N austretenden Feldlinien treten wegen der geringen Breite des Spaltes sofort in das weichmagnetische Material des Maßstabs 3 ein. Der Magnetfeldsensor 1 ist ein magnetoresistiver Sensor. Seine Sensorfläche liegt parallel zur Polfläche S. Gemessen wird durch ihn die senkrechte Feldkomponente. Die in 1 gezeigte rechteckige Zahnstruktur schließt nicht aus, dass die Anordnung nicht auch für anders geformte Zähne und Zahnlücken geeignet ist. Die gesamte Zeichnung ist nicht maßstäblich und zeigt nur das Prinzip der Anordnung der einzelnen Teile gegeneinander. 2 zeigt im Vergleich zu 1 die typische Anordnung von Magnet 4 mit magnetischer Achse 5 und Magnetfeldsensor 1 auf einem Träger 3, entsprechend dem Stand der Technik. Hier werden hohe Feldstärken dadurch nicht erreicht, dass sich der Sensor 1 mit Träger 3 zwischen Magnet und Zahnoberfläche befindet und so einen großen Abstand zwischen beiden bedingt, und dass der Sensor 1 nicht nahe an der Magnetkante positioniert ist, an der die Magnetfeldstärke maximal ist.
In 3 wird demonstriert, an welcher Stelle des Magneten 4 die größte Stärke des senkrechten Feldes auftritt. Dazu wird ein Schnitt durch den Magneten gezeigt, dessen Polflächen S bzw. N sich links bzw. rechts in der Zeichnung befinden. Eingezeichnet sind die Oberflächenströme 8 des Magneten, die im Modell als Ursache für das Feld betrachtet werden können. Gezeigt werden weiterhin die Feldlinien 9 dieser Oberflächenströme 8 in der Schnittebene. Vor der unteren Kante der Polfläche N überlagern sich alle Feldlinien 9 und bilden durch Addition die durch den eingezeichneten Pfeil dargestellte große Magnetfeldstärke. Als Ergebnis dieser Betrachtung kann festgestellt werden, dass maximale Feldstärken senkrechter Feldkomponenten nahe der unteren und oberen Kante der Polflächen auftreten müssen. Befindet sich die untere Kante wie in 1 dicht über dem weichmagnetischen Maßstab, ist mit weiterer Erhöhung der Stärke dieser Feldkomponente zu rechnen.
Die Anordnung der bevorzugt zu benutzenden magnetoresistiven Sensoren ist in 4 dargestellt. Zu erkennen ist unten die Seitenansicht der Zahnstruktur des Maßstabs 3. Darüber befindet sich die Polfläche N des Magneten 4. Davor befindet sich der Magnetfeldsensor 1 mit vier Elementeflächen 7, die jeweils Sensorelemente enthalten. Die Sensorelemente sind magnetoresistive Dünnschichtstreifen, die beispielsweise in Mäanderform in den Elementeflächen 7 angeordnet sind. Bevorzugt befinden sich auf jeder Elementefläche 7 zwei mäanderförmige Widerstände. Die Elementeflächen 7 sind jeweils um ein Viertel der Periodenlänge der Zahnstruktur des Maßstabs 4 gegeneinander versetzt. Die Widerstände der ersten und der dritten Elementefläche 7 sind zu einer Brücke verschaltet, ebenso die der zweiten und vierten Elementefläche 7. Bei Bewegung des Maßstabs 3 gegenüber dem Magnetfeldsensor 1 gibt die erste Brücke ein sinusförmiges Signal mit der Periodenlänge der Zahnstruktur ab, die zweite Brücke das um 90° Phasen verschobene Kosinussignal. Eine Arcustangensinterpolation dieser Signale liefert die hochaufgelöste Position des Maßstabs.
Mit der erfindungsgemäßen Anordnung werden so hohe Feldstärken am Sensorort erreicht, dass Vielschicht-GMR-Sensoren eingesetzt werden können. 5 zeigt die Abhängigkeit des Widerstandes R eines solchen Sensors relativ zu seinem Wert bei sehr hohen Feldstärken R₀ von der Feldstärke H. Es wird eine Änderungsamplitude von 45% erreicht. Es sind Felder von einigen hundert Millitesla aufzubringen. Vorteilhaft ist hier das gegenüber AMR-Sensoren deutlich erhöhte Signal, was zur weiteren Verbesserung der Messauflösung beiträgt.
6 zeigt eine weitere Möglichkeit der Erhöhung der Feldstärke in erfindungsgemäßen Anordnungen. Auf dem Maßstab 4 befindet sich der Magnetfeldsensor 1 auf seinem Träger 2 zwischen den gleichen Polflächen N eines ersten Magneten 4.1 und eines zweiten Magneten 4.2. Bei geringer Dicke des Trägers 2 kann hier maximal eine Verdopplung der Feldstärke erreicht werden.
In 7 ist eine Anordnung dargestellt, bei der mit einem Magneten 4 die nötigen Felder für einen ersten Sensor 1.1 und einen zweiten Sensor 1.2 bereitgestellt werden. Die beiden Magnetfeldsensoren 1.1 und 1.2 können zur Abtastung unterschiedlicher Zahnstrukturen des Maßstabs 4 benutzt werden.
In der 8 wird gezeigt, wie ein Magnet 10 mit einer eingekerbten Polfläche N bezüglich der Lage der Elementeflächen 7 eines Magnetfeldsensors 1 zu justieren ist, damit ein durch konvergenten Feldaustritt aus einem Magneten 4 bedingter Offsetwert im Ausgangsignal der Sensorbrücken vermieden wird.
Derselbe günstige Einfluss ist durch die in 9 gezeigte Anordnung mit zwei durch eine nichtmagnetische Zwischenschicht 12 getrennten Teilmagneten 11 mit nebeneinander liegender Polfläche N möglich.

1: Magnetfeldsensor
1.1: erster Magnetfeldsensor
1.2: zweiter Magnetfeldsensor
2: Träger
2.1: erster Träger
2.2: zweiter träger
3: Maßstab (mit zahnförmig strukturierter Oberfläche)
4: Dauermagnet
4.1: erster Magnet
4.2: zweiter Magnet
5: magnetische Achse
6: Maßstab mit zwei Zahnstrukturen
7: Elementeflächen
8: Oberflächenströme
9: Magnetfeldlinien
10: Magnet mit Kerbe
11: Teilmagnet
12: nichtmagnetisches Material
N: Nordpol
S: Südpol
H: Feld
R/R₀: relativer Widerstandswert

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- DE 3122376 [0002]
- US 5444370 [0003]
- US 4859941 [0003]
- US 4745363 [0003]
- US 5841276 [0003]
- US 4626781 [0003]
- WO 97/06404 [0004]
- WO 2007/002067 [0005]

Claims

Anordnung zur Abtastung eines linearen oder kreisförmigen Maßstabs (3) aus ferromagnetischem Material mit zahnförmig strukturierter Oberfläche, bestehend aus mindestens einem auf einem Träger (2) befindlichen Magnetfeldsensor (1) und mindestens einem Dauermagneten (4), dadurch gekennzeichnet, dass der Maßstab (3) eine oder mehrere parallele in Bewegungsrichtung periodische Zahnstrukturen aufweist, der Magnetfeldsensor (1) aus Sensorelementen auf Elementeflächen (7) besteht, die auf einer Sensorfläche des Trägers (2) in Bewegungsrichtung beabstandet sind, wobei die Abstände der Mittellinien der Elementeflächen (7) voneinander durch Viertel der Periodenlänge der abzutastenden Zahnstruktur oder Vielfache davon darstellbar sind, die Dauermagnete (4) mit ihrer senkrecht auf den Polflächen (N; S) stehenden magnetischen Achse (5) parallel zu Kanten der Zahnstruktur und im Abstand eines Luftspaltes zur Oberfläche der Zähne angeordnet sind und die Sensorfläche des Trägers (2) über der Zahnstruktur und vor mindestens einer Polfläche (N; S) angeordnet ist, wobei der Abstand einer oberflächennahen Kante der Sensorfläche zur Oberfläche der Zahnstruktur höchstens der Abmessung des Luftspaltes entspricht.
Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Sensorfläche parallel zu den senkrecht zur magnetischen Achse (5) ausgedehnten Polflächen (N; S) erstreckt.
Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass in den Elementeflächen (7) magnetoresistive Schichtstreifenwiderstände angeordnet sind.
Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass vier Schichtstreifenwiderstände zu mindestens einer Wheatstone-Brücke verschaltet sind.
Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass je vier Schichtstreifenwiderstände zu zwei Wheatstone-Brücken verschaltet sind, und die Schichtstreifenwiderstände der beiden Brücken in Bewegungsrichtung so gegeneinander versetzt sind, dass die Ausgangssignale der Brücken um ein Viertel der Zahnperiodenlänge gegeneinander phasenversetzt sind.
Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtstreifenwiderstände den AMR-Effekt zeigen.
Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtstreifenwiderstände den GMR-Effekt zeigen.
Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtstreifenwiderstände durch Vielschicht-GMR-Systeme gebildet sind.
Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnetfeldsensor (1) zwischen zwei sich mit gleicher Polfläche (N; S) gegenüberstehenden Magneten (4) angeordnet ist.
Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass je ein Magnetfeldsensor (1) vor beiden Polflächen (N, S) eines Magneten angeordnet ist und jeder Sensor (1) eine der parallelen periodischen Zahnstrukturen abtastet.
Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessung des Magneten (4) in Bewegungsrichtung größer als die Periodenlänge der Zahnstruktur ist und die Elementeflächen (7) um die Mittellinie des Magneten in Bewegungsrichtung symmetrisch verteilt sind.
Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnet (4) in der der Zahnoberfläche zugewandten Fläche an der Mittellinie in Bewegungsrichtung eingekerbt ist.
Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kerbtiefe mit der Abmessung des Magneten (4) vergleichbar ist.
Anordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Kerbe mit nichtmagnetischem Material (12) gefüllt ist.