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Stand der Technik
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Die
Erfindung betrifft ein Bauelement mit mindestens einem Sensorchip,
der auf einem Sockel montiert ist.
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Aus
dem Stand der Technik sind beispielsweise mikromechanische Drucksensoren
mit einem derartigen Aufbau bekannt. Sie umfassen einen Siliziumsensorchip,
der auf einen Glassockel gebondet ist. Dieser dient zur Reduzierung
des mechanischen Stresses, der durch die Montage des Bauelements bedingt
wird und beispielsweise durch die dabei verwendeten Verbindungsmittel,
wie Lot oder Klebstoffe, hervorgerufen wird. Im Sensorchip von mikromechanischen
Drucksensoren ist eine Membran ausgebildet, deren Deformation bzw.
Auslenkung piezoresistiv oder auch kapazitiv erfasst wird. Die Membran kann
entweder nur von der Vorderseite zugänglich sein oder sowohl von
der Vorderseite als auch von der Bauelementrückseite mit Druck beaufschlagt werden.
In diesem Fall weist der Glassockel eine Bohrung auf, die in eine
Kaverne unter der Membran mündet.
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In
der Praxis werden in einem Siliziumwafer Sensorstrukturen für eine Vielzahl
von Sensorchips erzeugt, indem Wafervorderseite und -rückseite strukturiert
werden. Dann wird eine Glasplatte, die mit Bohrungen für die einzelnen
Bauelemente versehen ist, auf die Waferrückseite gebondet. Erst danach
erfolgt die Vereinzelung der Bauelemente durch Sägen oder Brechen.
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Beim
Sägen der
Glassockel und beim Bohren von Durchgangsöffnungen entstehen häufig Mikrorisse
in der rauen Glasoberfläche.
Durch diese unkontrolliert auftretenden Mikrorisse kann die Berstfestigkeit
eines Bauelements bei höherer
Druckbelastung stark herabgesetzt sein. Auch die Funktionsfähigkeit
eines Bauelements kann durch Mikrorisse im Glassockel beeinträchtigt werden,
insbesondere, wenn dass Bauelement in einem feuchten Medium eingesetzt
wird. Die Rissbildung und insbesondere eine Rissfortpflanzung wird
nämlich
durch ein Benetzen mit Wasser begünstigt. Auf diese Weise können mechanische
Verspannungen in der Glasoberfläche entstehen,
die letztlich zu einer Drift der Sensorkennlinie führen.
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Offenbarung der Erfindung
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Mit
der vorliegenden Erfindung werden Maßnahmen vorgeschlagen, durch
die die Berstfestigkeit eines Bauelements der eingangs genannten
Art verbessert wird und die Feuchtempfindlichkeit reduziert wird,
insbesondere im Sockelbereich, wo herstellungsbedingt vermehrt Mikrorisse
auftreten.
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Erfindungsgemäß wird die
Oberfläche
des Sockels dazu zumindest bereichsweise mit einer feuchteundurchlässigen Beschichtung
versehen. Eine derartige Beschichtung verhindert, dass Feuchtigkeit
in die Sockeloberfläche
und insbesondere in vorhandene Mikrorisse in der Sockeloberfläche eindringt.
Auf diese Weise können
die Rissbildung und Rissfortpflanzung im Sockel des Bauelements
und dadurch bedingte Fehlfunktionen des Bauelements wirkungsvoll
unterbunden werden.
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Wie
bereits erwähnt,
treten solche Mikrorisse herstellungsbedingt bevorzugt im Bereich
von Schnitt-, Bruch- und
Bohrkanten auf, so dass es von besonderem Vorteil ist, insbesondere
diese Bereiche mit einer feuchteundurchlässigen Beschichtung zu versehen.
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Grundsätzlich kann
die feuchteundurchlässige
Beschichtung aus ganz unterschiedlichen Materialien bestehen, die
sinnvoller Weise das Sockelmaterial abgestimmt werden sollten. So
kann die feuchtundurchlässige
Beschichtung beispielsweise in Form einer Klebeschicht oder einer
Lackschicht realisiert sein.
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Als
besonders vorteilhaft in Verbindung mit einem Glassockel, erweist
sich die Verwendung von Silanverbindungen. Mit diesen Verbindungen
lässt sich
eine zuverlässige
Versiegelung der Glasoberfläche
erzielen. Das mit einer Silanverbindung beschichtete Glas kann zudem
höheren
Berstdrücken widerstehen.
Wesentlich für
die Wahl einer Silanverbindung ist, dass sie die Oberfläche des
Bauelementsockels dauerhaft hydrophobsiert. Des Weiteren muss die
Silanverbindung die nachfolgenden Prozessschritte überstehen,
denen das Bauelement anschließend
unterzogen wird.
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Die
folgenden Silanverbindungen sind besonders geeignet für die Baschichtung
von Bohrlöchern
sowie Bruch- und Schnittkanten in und an Glasplatten:
- (2-Methyl-2-Phenylethyl)Methyldichlorsilan,
- (3-Acryloxypropyl)trimethoxysilan,
- 1,1,2,2, Tetrahydroperflurodecyltriethoxysilan*
- 1,1,3,3,5,5 Hexamethylcyclotrisilazan,
- 1,2-Bis(Chlorodimethylsilyl)ethan,
- 1,3-Bis(chlordimethylsilyl)butan,
- 1,3-Bis(chlordimethylsilyl)propan,
- 1,3-Bis(dichlormethylsilyl)propan,
- 1,3-Bis(trichlorsilyl)propan,
- 1,3-Dimethyl-1,1,3,3-tetraphenyldisilazan*,
- 1,3-Diphenyl-1,1,3,3-tetramethyldisilazan*,
- 1,3-Divinyltetramethyldisilazan,
- 11-(Chlordimethylsilylmethyl)-Heptacosan,
- 11-(Dichlormethylsilylmethyl)-Heptacosan,
- 11-(Trichlorsilylmethyl)-Heptacosan,
- 13-(Chlordimethylsilylmethyl)-Heptacosan,
- 13-(Dichlormethylsilylmethyl)-Heptacosan,
- 13-(Trichlorsilylmethyl)-Heptacosan,
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)dichlorsilan,
- 3,3,3-Trifluorpropyltriacetoxysilan,
- 3,3,3-Trifluorpropyltribromsilan,
- 3,3,3-Trifluorpropyltrichlorsilan,
- 3,3,3-Trifluorpropyltriethoxysilan,
- 3,3,3-Trifluorpropyltrifluorsilan,
- 3,3,3-Trifluorpropyltriisopropoxysilan,
- 3,3,3-Trifluorpropyltrimethoxysilan,
- 3-Methoxypropyltrimethoxysilan,
- 4-Phenylbutyldimethylchlorsilan,
- 4-Phenylbutylmethyldichlorsilan,
- 4-Phenylbutylmethyldimethoxysilan,
- 4-Phenylbutyltrichlorsilan,
- 4-Phenylbutyltriethoxysilan,
- 4-Phenylbutyltrimethoxysilan,
- Acetoxypropyltrimethoxysilan,
- Allyloxyundecyltrimethoxysilan,
- Allyltrichlorsilan,
- Aminopropyltriethoxysilan,
- Aminopropyltrimethoxysilan,
- Ausimont Fomblin Fluorolink S,
- Ausimont Galden 7007X (Perfluorpolyether mit Alkoxysilanendgruppen),
- Ausimont Galden MF 407 (Perfluorpolyether mit Amidosilanendgruppen),
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)diacetoxysilan,
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)dibromsilan,
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)dichlorsilan,
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)diethoxysilan,
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)difluorsilan,
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)diisopropoxysilan,
- Di(3,3,3-Trifluorpropyl)dimethoxysilan,
- Di(Pentafluorphenyl)diacetoxysilan,
- Di(Pentafluorphenyl)dibromsilan,
- Di(Pentafluorphenyl)dichlorsilan,
- Di(Pentafluorphenyl)diethoxysilan,
- Di(Pentafluorphenyl)difluorsilan,
- Di(Pentafluorphenyl)diisopropoxysilan,
- Di(Pentafluorphenyl)dimethoxysilan,
- Diethyldiacetoxysilan,
- Diethyldibromsilan,
- Diethyldichlorsilan,
- Diethyldiethoxysilan,
- Diethyldifluorsilan,
- Diethyldiisopropoxysilan,
- Diethyldimethoxysilan,
- Diisopropyldiacetoxysilan,
- Diisopropyldibromsilan,
- Diisopropyldichlorsilan,
- Diisopropyldiethoxysilan,
- Diisopropyldifluorsilan,
- Diisopropyldiisopropoxysilan,
- Diisopropyldimethoxysilan,
- Dimethylchlorsilan,
- Dimethyldiacetoxysilan,
- Dimethyldibromsilan,
- Dimethyldichlorsilan
- Dimethyldiethoxysilan*
- Dimethyldifluorsilan,
- Dimethyldiisopropoxysilan,
- Dimethyldimethoxysilan*
- Dimethylethoxysilan,
- Dimethylmethoxysilan,
- Dimethylphenylchlorsilan,
- Di-n-Butyldichlorsilan,
- Di-n-Butyldiethoxysilan,
- Di-n-Butyldimethoxysilan,
- Diphenyldiacetoxysilan,
- Diphenyldibromsilan,
- Diphenyldichlorsilan,
- Diphenyldiethoxysilan*,
- Diphenyldifluorsilan,
- Diphenyldiisopropoxysilan,
- Diphenyldimethoxysilan*,
- Diphenylmethylchlorsilan,
- Diphenylsilandiol,
- Dipropyldiacetoxysilan,
- Dipropyldibromsilan,
- Dipropyldichlorsilan,
- Dipropyldiethoxysilan,
- Dipropyldifluorsilan,
- Dipropyldiisopropoxysilan,
- Dipropyldimethoxysilan,
- Di-t-Butyldichlorsilan.
- Docosenyltriethoxysilan,
- Dodecyltrichlorsilan,
- Dodecyltriacetoxysilan,
- Dodecyltriethoxysilan,
- Dodecyltrimethoxysilan,
- Ethylphenethyltrimethoxysilan,
- Ethyltriacetoxysilan,
- Ethyltribromsilan,
- Ethyltriethoxysilan,
- Ethyltrifluorsilan,
- Ethyltriisopropoxysilan,
- Ethyltrimethoxysilan,
- Hexadecyltrichlorsilan,
- Hexamethyldisilazan*,
- Hexamethyldisiloxan,
- Isobutyltrimethoxysilan,
- Isopropyltriacetoxysilan,
- Isopropyltribromsilan,
- Isopropyltrichlorsilan,
- Isopropyltriethoxysilan,
- Isopropyltrifluorsilan,
- Isopropyltriisopropoxysilan,
- Isopropyltrimethoxysilan,
- Methacryloxymethyltriethoxysilan,
- Methacryloxymethyltrimethoxysilan,
- Methyltriacetoxysilan,
- Methyltribromsilan,
- Methyltriethoxysilan,
- Methyltrifluorsilan,
- Methyltriisopropoxysilan,
- Methyltrimethoxysilan,
- N,O-Bis(trimethylsilyl)acetamide,
- N,O-Bis(trimethylsilyl)carbamat,
- N,O-Bis(trimethylsilyl)trifluoracetamid,
- Naphtyltriacetoxysilan,
- Naphtyltribromsilan,
- Naphtyltrichlorsilan,
- Naphtyltriethoxysilan,
- Naphtyltrifluorsilan,
- Naphtyltriisopropoxysilan,
- Naphtyltriisopropoxysilan,
- Naphtyltrimethoxysilan,
- N-Methyl-N-trimethylsilyltrifluoracetamid,
- n-Octadecyltrichlorosilane,
- n-Undecyltrichlorosilane,
- Octadecyldimethylchlorsilan,
- Octadecyltrichlorsilan,
- Octadecyltriethoxysilan,
- Octadecyltrimethoxysilan,
- Octamethylcyclotetrasilazan,
- Octaphenylcyclotetrasiloxane
- Octaphenyltetrasilazan,
- Octaphenyltetrasiloxan,
- Octylmethyldichlorsilan,
- Octylmethyldimethoxysilan,
- Octyltrichlorsilan,
- Octyltriethoxysilan,
- Octyltriethoxysilan,
- Octyltrimethoxysilan,
- Pentafluorphenylacetoxysilan,
- Pentafluorphenyldimethylchlorsilan,
- Pentafluorphenylmethyldichlorsilan,
- Pentafluorphenylmethyldimethoxysilan,
- Pentafluorphenylpropyltrichlorsilan,
- Pentafluorphenyltriacetoxysilan,
- Pentafluorphenyltribromsilan,
- Pentafluorphenyltrichlorsilan*,
- Pentafluorphenyltriethoxysilan,
- Pentafluorphenyltrifluorsilan*,
- Pentafluorphenyltriisopropoxysilan,
- Pentafluorphenyltrimethoxysilan*,
- Perfluordecyl-1H,1H,2H,2H-Dimethylohlorsilan,
- Perfluordecyl-1H,1H,2H,2H-Methyldichlorsilan,
- Perfluordecyl-1H,1H,2H,2H-Triacetoxysilan,
- Perfluordecyl-1H,1H,2H,2H-Triohlorsilan,
- Perfluordecyl-1H,1H,2H,2H-Triethoxysilan*,
- Pertluordecyl-1H,1H,2H,2H-Trimethoxysilan,
- Perfluordodecyl-1H,1H,2H,2H-Dimethylchlorsilan,
- Perfluordodecyl-1H,1H,2H,2H-Methyldiohlorsilan,
- Perfluordodecyl-1H,1H,2H,2H-Triohlorsilan,
- Perfluordodecyl-1H,1H,2H,2H-Triethoxysilan,
- Perfluordodecyl-1H,1H,2H,2H-Trimethoxysilan,
- Perfluorhexyl-1H,1H,2H,2H-Dimethylohlorsilan,
- Perfluorhexyl-1H,1H,2H,2H-Methyldichlorsilan,
- Perfluorhexyl-1H,1H,2H,2H-Triohlorsilan,
- Perfluorhexyl-1H,1H,2H,2H-Triethoxysilan,
- Perfluorhexyl-1H,1H,2H,2H-Trimethoxysilan*,
- Perfluoroctyl-1H,1H,2H,2H-Dimethylchlorsilan,
- Perfluoroctyl-1H,1H,2H,2H-Methyldiohlorsilan,
- Perfluoroctyl-1H,1H,2H,2H-Triaoetoxysilan,
- Perfluoroctyl-1H,1H,2H,2H-Trichlorsilan,
- Perfluoroctyl-1H,1H,2H,2H-Triethoxysilan*,
- Perfluoroctyl-1H,1H,2H,2H-Trimethoxysilan*,
- Phenethyltrichlorsilan,
- Phenethyltrimethoxysilan,
- Phenyltriacetoxysilan,
- Phenyltriacetoxysilan,
- Phenyltribromsilan*,
- Phenyltrichlorsilan,
- Phenyltriethoxysilan,
- Phenyltrifluorsilan,
- Phenyltriisopropoxysilan,
- Phenyltrimethoxysilan*,
- Propyltriacetoxysilan,
- Propyltribromsilan,
- Propyltrichlorsilan,
- Propyltriethoxysilan,
- Propyltrifluorsilan,
- Propyltriisopropoxysilan,
- Propyltrimethoxysilan,
- t-Butyldimethylchlorsilan,
- t-Butyldiphenylchlorsilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)acetoxysilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)bromsilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)fluorsilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)chlorsilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)ethoxysilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)fluorsilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)isopropoxysilan,
- Tri(3,3,3-Trifluorpropyl)methoxysilan,
- Triethylacetoxysilan,
- Triethylbromsilan,
- Triethylchlorsilan,
- Triethylethoxysilan,
- Triethylfluorsilan,
- Triethylisopropoxysilan,
- Triethylmethoxysilan,
- Triisopropylacetoxysilan,
- Triisopropylbromsilan,
- Triisopropylchlorsilan,
- Triisopropylethoxysilan,
- Triisopropylfluorsilan,
- Triisopropylisopropoxysilan,
- Triisopropylmethoxysilan,
- Trimethylacetoxysilan,
- Trimethylbromsilan,
- Trimethylchlorsilan,
- Trimethylethoxysilan,
- Trimethylfluorsilan,
- Trimethyliodsilan,
- Trimethylisopropoxysilan,
- Trimethylmethoxysilan,
- Trimethylpentaphenyltrisiloxane DC 705,
- Triphenylchlorsilan,
- Triphenylmethyldimethylchlorsilan,
- Triphenylmethylmethyldichlorsilan,
- Triphenylmethylmethyldimethoxysilan,
- Triphenylmethyltrichlorsilan,
- Triphenylmethyltriethoxysilan,
- Triphenylmethyltrimethoxysilan,
- Tripropylacetoxysilan,
- Tripropylbromsilan,
- Tripropylchlorsilan,
- Tripropylethoxysilan,
- Tripropylfluorsilan,
- Tripropylisopropoxysilan,
- Tripropylmethoxysilan,
- Undecyldimethylchlorsilan,
- Undecylmethyldimethoxysilan,
- Undecyltrichlorsilan,
- Undecyltriethoxysilan,
- Undecyltrimethoxysilan,
- Vinyltriethoxysilan.
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Diese
Silanverbindungen sind auch in teilhydrolysierter Form oder in Mischungen
mit Polymeren zur Beschichtung geeignet. Insbesondere sind Mischungen
dieser Silanverbindungen mit thermisch oder UV-härtenden Acrylat- oder Epoxidharzen
sinnvoll. Die einsetzbaren Harze sind durch UV-Initiierung oder
thermische Initiierung aushärt-
und quervernetzbar, in ausgehärtetem
Zustand besitzen sie noch Restelastizität. Die Harz-Silan-Mischung
kann in Lösungsmittel
verdünnt
aufgebracht werden. Nach dem Aufbringen muss die Schicht noch durch UV-Licht
oder Wärme
ausgehärtet
werden.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Wie
bereits voranstehend erörtert,
gibt es verschiedene Möglichkeiten,
die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und
weiterzubilden. Dazu wird einerseits auf die Patentansprüche und
andererseits auf die nachfolgende Beschreibung eines Ausführungsbeispiels
der Erfindung anhand der Zeichnung verwiesen.
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Die
einzige Figur zeigt den Aufbau eines erfindungsgemäßen Bauelements
in Form eines Differenzdrucksensors.
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Ausführungsform der Erfindung
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Das
in der einzigen Figur dargestellte Bauelement 10 umfasst
einen Sensorchip 1 und einen Sockel 2 aus natriumhaltigem
Glas. In der Vorderseite des Sensorchips 1 ist eine Membran 3 ausgebildet,
in deren Randbereich Piezowiderstände 4 zum Erfassen
von Membrandeformationen angeordnet sind. Des Weiteren sind in der
Vorderseite des Sensorchips 1 Teile einer Auswerteschaltung 5 integriert. Der
Sensorchip 1 ist auf den Glassockel 2 anodisch gebondet.
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Im
hier dargestellten Ausführungsbeispiel wurde
das Bauelement 10 über
die angeraute Rückseite
des Glassockels 2 auf einem Substrat 100 montiert.
Zur mechanischen Fixierung wurde ein Verbindungsmittel 11,
beispielsweise Lot oder Klebstoff, verwendet. Die elektrische Verbindung
zwischen der Auswerteschaltung 5 und dem Substrat 100 wurde über Bonddrähte 12 hergestellt.
Schließlich
wurde das auf dem Substrat 100 montierte Bauelement 10 noch
mit einem Gel 13 umgossen.
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Wie
bereits erwähnt,
handelt es sich bei dem hier dargestellten Bauelement 10 um
einen Differenzdrucksensor, dessen Membran 3 sowohl von
der Vorderseite als auch von der Rückseite mit Druck beaufschlagbar
ist. Der rückwärtige Druckzugang
ist in Form einer Durchgangsöffnung 7 realisiert,
die sich durch das Substrat 100 und den Glassockel 2 bis
in die Kaverne 6 unterhalb der Membran 3 des Sensorchips 1 erstreckt.
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Die
Durchgangsöffnung 7 im
Glassockel 2 wird üblicherweise
durch Verfahren, wie Ultraschallbohren, Laserschneiden oder Sandstrahlen
durch eine Schattenmaske, erzeugt. Die dabei entstehende Bohrlochwandung
ist rau und mit Mikrorissen versehen. In Folge des Vereinzelungsprozesses
treten auch in der Seitenwandung des Glassockels 2 Mikrorisse
auf. Aufgrund dieser Mikrorisse ist die Berstfestigkeit des Glassockels
bei höheren
Druckbelastungen stark herabgesetzt. Bei Feuchteeinfluss breiten sich
diese Mikrorisse außerdem
weiter aus. Dadurch verändert
sich die mechanische Spannung an der Glasoberfläche, was letztlich zu einer
Drift des Sensorsignals führen
kann.
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Um
Mikrorisse in der Oberfläche
zu schließen,
ist die Oberfläche
des Glassockels 2 erfindungsgemäß zumindest in den kritischen
Bereichen, Bohrlochwandung und Säge-
oder Bruchkanten, mit einer feuchteundurchlässigen Beschichtung 8 versehen.
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Im
hier dargestellten Ausführungsbeispiel
erfolgte die Oberflächenversiegelung,
d. h. das Aufbringen der Beschichtung 8, nach dem anodischen
Boden des strukturierten Wafers auf eine gelochte Glasplatte und
nach dem Vereinzeln der Bauelemente 10. Dazu wurden die
Kaverne 6 und die Bohrung 7 mit einer flüssigen Silanverbindung
befüllt.
Außerdem
wurden die Ränder
des Glassockels mit dieser Flüssigkeit
benetzt. Als Silanverbindung kommt z. B. Perfluoroctyltrimethoxysilan-Vorhydrolysat in
Frage, der zur Einstellung der Viskosität beispielsweise Butanol zugemischt
werden kann. Diese Silanverbindung wurde nach einer geeigneten Einwirkzeit
wieder abgesaugt. Die Mikrorisse werden durch den auf der Glasoberfläche verbliebenen
dünnen
Silanfilm versiegelt, dessen Dicke durch die Viskosität der Silanverbindung
bestimmt wird.
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Bei
der Silanverbindung kann es sich um eine Verbindung aus der Gruppe:
R-SiX3 und Derivate handeln, insbesondere um
R-SiX3 mit X =
fluor, chlor, brom, methoxy, ethoxy, isopropoxy, alkoxy, acetoxy
R-Si(X)2Me
mit X wie oben und Me = Methyl
R-Si(X)Me2 mit X wie oben und
Me2 = Dimethyl
R = Rf-Rb mit Rf = Perfluorethyl, -butyl, -hexyl,
-octyl, -decyl, -methyl und Rb = ethyl und methyl z. B. 1,1,2,2
Tetrahydroperfluooctyl- oder 3,3,3 Trifluorpropyl
R = Alkyl
C1 bis C30, Isopropyl-, t-Butyl
R = Alkyl 1 bis C4 monochloriert
oder Monoalkoxyalkyl
R = Arylalkyl/Aryl = Phenylethyl-, Naphtyl-,
2-Methyl-2-Phenylethyl,
4-Phenylbutyl, Pentafluorphenyl, Phenyl-, Phenethyl
R = Perfluorpolyethergruppe
R
= Allyl oder 3-Acryloxypropyl, Aminopropyl, Methacryloxymethyl,
Vinyl,
oder auch um eine Verbindung aus der Gruppe: R2-SiX2
und Derivate,
mit X = fluor, chlor, brom, methoxy, ethoxy,
isopropoxy, alkoxy, acetoxy
R = Rf-Rb mit Rf = Perfluorethyl,
-butyl, -methyl und
Rb = ethyl und methyl z. B. 3,3,3 Trifluorpropyl
R
= Arylalkyl/Aryl = Phenylethyl-, Naphtyl-, Pentafluorphenyl-, Phenyl
R
= Alkyl C1 bis C4, Isopropyl-, t-Butyl, Isobutyl-,
oder auch
um eine Verbindung aus der Gruppe: R3-SiX und Derivate,
mit
X = fluor, chlor, brom, methoxy, ethoxy, isopropoxy, alkoxy, acetoxy
R
= Rf-Rb mit Rf = Perfluorethyl, -butyl, -methyl und
Rb = ethyl
und methyl z. B. 3,3,3 Trifluorpropyl
R = Alkyl C1 bis C4,
Isopropyl
R = Arylalkyl/Aryl = Phenyl
oder schließlich um
eine Verbindung aus der Gruppe: X3Si-Rc-SiX3 und Derivate, insbesondere um
X3Si-Rc-SiX3
mit X = fluor, chlor, brom, methoxy, ethoxy, isopropoxy, alkoxy,
acetoxy und Rc = methyl, ethyl, propyl, butyl, bifunktionelle Perfluorpolyether
(X)2Me
Si-Rc-Si(X)2Me mit X und Rc wie oben und Me = Methyl
(X)Me2Si-Rc-Si(X)Me2
mit X und Rc wie oben und
Me2 = Dimethyl.
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Zur
Versiegelung der Seitenwandung des Glassockels 2 kann auch
eine silanisierende Substanz in das Gel 13 eingebracht
werden oder eine Silanlösung
auf das un- oder das ausgehärtete
Gel 13 aufdosiert werden. Dafür eignen sich besonders fluorierte
Silane, die sich im Gel 13 lösen und diffundieren. Dies
führt nach
einer gewissen Zeit zu der gewünschten
Oberflächenversieglung
der Glaskanten und damit zum gewünschten
Feuchteschutz.