DE102007014640A1 - Mikroskopobjektiv - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Mikroskopobjektiv, bestehend aus mindestens vier Linsen oder Linsengruppen (L1, L2a, L2b, L3, L4a, L4b, G1, G2), welches bevorzugt zur Verbesserung des Bildkontrastes eingesetzt werden kann. Erfindungsgemäß ist in den Luftraum (a1) zwischen der von der Objektseite aus betrachteten ersten Linse (L1) und der zweiten Linse (L2a oder L2b) eine Phasenplatte (12) konzentrisch zur optischen Achse ausgerichtet integrier- und herausnehmbar. Durch die definierte Anordnung der Phasenplatte (12) und damit verbunden die Verlagerung der reellen Pupille in den Luftraum (a1) zwischen den ersten beiden Linsen (L1 und L2a, L2b) beziehungsweise Linsengruppen des Mikroskopobjektivs lässt sich auf relativ einfache Art und Weise ein Mikroskopobjektiv, welches zunächst als Hellfeld-Variante konzipiert war, zur Phasenkontrast-Variante umkonzipieren.

Description

• Die Erfindung betrifft ein Mikroskopobjektiv, bestehend aus mindestens vier Linsen oder Linsengruppen, welches bevorzugt zur Verbesserung des Bildkontrastes eingesetzt werden kann.
• Mit dem bekannten mikroskopischen Phasenkontrastverfahren lassen sich Objektstrukturen in Zellen sehen, die im normalen Hellfeld unsichtbar sind. Dabei werden auf der Beleuchtungsseite nur Strahlen im bestimmten Aperturbereich (meistens ringförmig) zur Beleuchtung des Phasenobjekts ausgewählt. Auf der Abbildungsseite wird an dem Ort der reellen Pupille ein Kittglied aus, beispielsweise zwei plan-parallelen Platten eingesetzt, und auf der Kittfläche wird eine bestimmte Struktur zur Manipulation der Amplitude und der Phase angebracht. Dabei werden die Strahlen nullter Ordnung abgeschwächt, und die Strahlen höherer Ordnungen erhalten einen Phasensprung von 90°. Die Abschwächung der Lichtintensität am ringförmigen Pupillenbereich erfolgt meistens mit metallischen Schichten, die ihrerseits eine starke Reflexion des einfallenden Strahles nach sich ziehen. Typische Reflexionswerte der kombinierten Amplituden-Phasenstrukturen – nachfolgend als Phasenstruktur bezeichnet – betragen 50% und mehr.
• Bei Objektiven mit kleineren Abbildungsmaßstäben (kleiner als 20×) liegt die reelle Pupille im hinteren Bereich des Objektivs, wo die Strahlen parallel oder quasi parallel verlaufen. Wenn solche axial parallele Strahlen die oben erwähnten Planflächen, insbesondere den ringförmigen Bereich mit metallischen Schichten mit hohem Reflexionswert nahezu senkrecht treffen, entsteht durch Reflexion Streulicht. Dadurch kann der Bildkontrast stark beeinträchtigt werden. Dieses stellt ein häufiges Problem bei Mikroskopobjektiven für Kontrastverfahren dar.
• In JP 9197285 A1 wird eine Lösung beschrieben, bei welcher das Streulicht durch Krümmung der Kittfläche reduziert wird. Dabei werden zwei Linsen, nämlich eine plankonvexe und eine plankonkave Linse, verwendet. Das an den Phasenstrukturen reflektierte Licht läuft dann nicht mehr direkt in das Objekt zurück sondern wird durch die Krümmung der Kittfläche aufgeweitet und über das ganze Objekt verteilt. Da das Herstellen von gekrümmten Flächen und das Aufbringen von Phasenstrukturen auf diese gekrümmten Flächen aufwendig ist, sind die entsprechenden Herstellungskosten allerdings sehr hoch.
• Darüber hinaus sind Lösungen bekannt, in denen eine Phasenplatte, bestehend aus zwei planparallelen Platten um einen Winkel zur optischen Achse des Objektivs geneigt in das Objektiv eingebaut wird. Derartige Objektive haben jedoch bedingt durch die Neigung der Phasenplatte eine größere Baulänge.
• Folglich ist es Aufgabe der Erfindung, ein mit relativ niedrigem Aufwand herstellbares Mikroskopobjektiv geringer Baulänge zur Verfügung zu stellen, welches sowohl eine Hellfeldabbildung als auch eine Abbildung mit einem verbesserten Bildkontrast bei verminderter Streuung von Beobachtungslicht an den Phasenstrukturen liefert.
• Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Mikroskopobjektiv der eingangs beschriebenen Art durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 9 angegeben.
• Die Möglichkeit der Anordnung einer Phasenplatte zwischen die von der Objektseite aus betrachteten ersten beiden Linsen beziehungsweise Linsengruppen und damit die Verlagerung der reellen Pupille in diesen Luftraum hat den Vorteil, dass an dieser Stelle die Strahlen nicht parallelisiert sind und somit schräg auf die Planflächen einer in diesen Luftraum anordenbaren Phasenplatte treffen. Der Phasenring wird dabei auf eine der zwei Planplatten aufgedamft und das restliche Volumen mit optischen Kitt aufgefüllt. Das durch Doppelreflexion am Phasenring (sehr hoher Reflexionsgrad) sowie durch die Außenflächen der Glasplatten verursachte Streulicht wird minimiert, so dass es gegenüber konventionellen Anordnungen zu einer Verbesserung des Bildkontrastes kommt.
• Eine Verschiebung der reellen Pupille in Richtung des Objektes wird durch die Anforderungen an die Korrektur der Abbildungsfehler, wie Bildfeldwölbung, Astigmatismus und Farbquerfehler erschwert. Die Brechkräfte der einzelnen Linsen sind daher so ausgewählt, dass ein optimaler Kompromiss zustande kommt und damit das Gesamtkorrekturziel einer Planachromat-Klasse erreicht wird.
• Bei den planachromatisch korrigierten Mikroobjektiven werden die Abbildungsfehler, wie sphärische Abberation, primäre Farblängsfehler und Koma korrigiert und der Astigmatismus weitgehend minimiert. Ferner liegen die Farblängsfehler (Fehler vom sekundären Spektrum), die durch die Abweichungen der Fokuslagen zwischen der Spektrallinie C'-e und F'-e definiert sind, bei 1,5 fach der Schärfentiefe, wobei C' 643,847 nm, F' 479,991 nm und e 546,074 nm sind. Dabei ist der Bereich der Schärfentiefe durch λ/NA² (λ = Wellenlänge, NA = Numerische Apertur) definiert. Dieser Bereich wird als eine Rayleigh-Einheit bezeichnet [R. E.].
• Die Bildfeldebnung ist so reduziert, dass die beste Fokuslage am Feldrand weniger als 2,5 fach der Schärfentiefe von der axialen abweicht.
• Durch die definierte Anordnung des Phasenringes und damit verbunden die Verlagerung der reellen Pupille in den Luftraum zwischen den ersten beiden Linsen beziehungsweise Linsengruppen des Mikroskopobjektivs lässt sich auf relativ einfache Art und Weise ein Mikroskopobjektiv, welches zunächst als Hellfeld-Variante konzipiert war, zur Phasenkontrast-Variante umkonzipieren.
• Der günstigere Herstellungsprozess lässt sich daraus ableiten, dass dieselben Linsen für beide Objektivsysteme verwendet werden können. Für die Kontrastvariante sind lediglich mechanisch die Abstände der Linsen durch Einlegen von Zwischenringen anzupassen. Die Phasenstruktur wird dabei auf eine kostengünstig herzustellende Planplatte gebracht. Für die Fertigung ist dies in jedem Fall günstiger.
• Das erfindungsgemäße Mikroskopobjektiv wird nachfolgend anhand von zwei Ausführungsbeispielen näher erläutert. Dabei zeigen:
• 1: die Linsenschnittdarstellung eines Mikroskopobjektivs 10×/0,25 als Hellfeldvariante (ohne Phasenring)
• 2: die Linsenschnittdarstellung eines Mikroskopobjektivs 10×/0,25 als Phasenkontrastvariante
• 3: die Linsenschnittdarstellung eines Mikroskopobjektivs 20×/0,4 als Phasenkontrastvariante
• 4: eine Darstellung der Queraberrationen beim Mikroskopobjektiv 10×/0,25 nach 1
• 5: eine Darstellung der Längsaberrationen beim Mikroskopobjektiv 10×/0,25 nach 1
• 6: eine Darstellung feldabhängiger Bildfehler beim Mikroskopobjektiv 10×/0,25 nach 1
• 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Mikroskopobjektivs (Hellfeldvariante) der Klasse "Plan-Achromat" mit einer Meniskuslinse L₁ mit positiver Brechkraft, einer Bikonvexlinse L_2a mit positiver Brechkraft, einem Kittglied G₁ mit negativer Brechkraft, bestehend aus einer Meniskuslinse L₃ mit negativer Brechkraft in Richtung einer Objektfläche 2 und einer Meniskuslinse L_4a mit positiver Brechkraft auf der Bildseite und folgenden Systemdaten:

  Fläche	Radius	Dicke d Luftabstand a	Brechzahl ne	Abbesche Zahl νe
  1	Plan	0.170	1.525	59.2 (Deckglas)
  2	Plan	5.009 (a0)
  3	–22.910	3.500 (d1)	1.489	70.0
  4	–7.047	21.893 (a1)
  5	50.930	2.400 (d2)	1.628	60.1
  6	–30.690	0.300 (a2)
  7	18.450	1.500 (d3)	1.723	29.3
  8	10.093	6.000 (d4)	1.489	70.0
  9	19.815	7.788 (a3)
  10	Plan	80.000

• Die Systemdaten wurden zusammen mit achromatisierten Tubuslinsen mit einer Brennweite von 180 mm und folgenden spezifischen Werten, wie

  Numerische Apertur NA = 0.25	Lage Eintrittspupille –∞
  Abbildungsmaßstab = –10.0	Objekt auf der Fläche 1
  Sehfeldzahl = 20

  ermittelt, wobei die Farbquerfehler am Feldrand nicht auf null korrigiert sind. Sie werden erst durch die nach dem Zwischenbild angeordnete Optik kompensiert.
• 2 zeigt die Anordnung einer Phasenplatte 11 zur Verbesserung des Bildkontrastes im optischen System nach 1.
• Der Phasenring 11 ist konzentrisch auf einer planparallelen Platte p₂ angeordnet. Eine weitere planparallele Platte p₁ ist mittels einer Kittsubstanz so mit der Platte p₂ verbunden. Die beiden miteinander verbundenen planparallelen Platten p₁ und p₂ bilden zusammen mit dem integrierten Phasenring 11 eine sogenannte Phasenplatte 12.
• Erfindungsgemäß befindet sich die Phasenplatte 12 im Luftraum (Luftabstand a₁) zwischen der Linse L₁ und der Linse L_2a beziehungsweise der Linse L_2b in der Schnittweite s'_F',L1 des bildseitigen Brennpunkts der Linse L₁ im Bezug auf den Scheitelpunkt der hinteren Fläche 4 der ersten Linse L₁, wobei folgende Beziehung gilt: 0 < s'F',L1/a1 < 1
• Die Luftabstände a_1' (Abstand zwischen der Fläche 4 der Linse L₁ und der Fläche P₁ der planparallelen Platte p₁) und a_1'' (Abstand zwischen der Fläche P₃ der planparallelen Platte p₃ und der Fläche 5 der Linse L_2a charakterisieren demnach die Lage der Phasenplatte 12 im Mikroskopobjektiv, wobei die Flächen P₁, P₂ und P₃ der Phasenplatte 12 in einem Winkel von 90 Grad zur optischen Achse liegen.
• Zur Realisierung der oben genannten Bedingung ergeben sich folgende Systemdaten (veränderte Luftabstände):

  Fläche	Radius	Dicke d Luftabstand a	Brechzahl ne	Abbesche Zahl νe
  1	Plan	0.170	1.525	59.2 (Deckglas)
  2	Plan	5.009 (a0)
  3	–22.910	3.500 (d1)	1.489	70.0
  4	–7.047	19.371 (a1')
  P1	Plan	0.700 (dp1)	1.519	64.0
  P2	Plan	0.700 (dp2)	1.519	64.0
  P3	Plan	1.600 (a1'')
  5	50.930	2.400 (d2)	1.628	60.1
  6	–30.690	0.300 (a2)
  7	18.450	1.500 (d3)	1.723	29.3
  8	10.093	6.000 (d4)	1.489	70.0
  9	19.815	7.788 (a3)
  10	Plan	80.000

• 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Mikroskopobjektivs als Phasenkontrastvariante mit einer Meniskuslinse L₁ mit positiver Brechkraft, einer Meniskuslinse L_2b mit positiver Brechkraft, einem zweifachen Kittglied G₂ mit positiver Brechkraft, bestehend aus einer Meniskuslinse L₃ mit negativer Brechkraft in Richtung einer Objektfläche 2 und einer bikonvexen Linse L_4b mit positiver Brechkraft auf der Bildseite mit den Systemdaten bei der nicht dargestellte Hellfeldvariante, dass heißt ohne Phasenplatte 12:

  Fläche	Radius	Dicke d Luftabstand a	Brechzahl ne	Abbesche Zahl νe
  1	Plan	0.170	1.525	59.2 (Deckglas)
  2	Plan	1.201 (a0)
  3	–3.221	1.400 (d1)	1.654	58.2
  4	–2.312	9.531 (a1)
  5	–46.880	1.900 (d2)	1.623	60.1
  6	–8.995	0.400 (a2)
  7	35.650	1.000 (d3)	1.723	29.3
  8	9.078	2.600 (d4)	1.489	70.0
  9	–33.040	30.359 (a3)
  10	Plan	80.000

• Die Systemdaten wurden zusammen mit achromatisierten Tubuslinsen mit einer Brennweite von 180 mm und folgenden spezifischen Werten, wie

  Numerische Apertur NA = 0.40	Lage Eintrittspupille –∞
  Abbildungsmaßstab = –19.8	Objekt auf der Fläche 1
  Sehfeldzahl = 20

  ermittelt, wobei in Analogie zum Ausführungsbeispiel nach 1 die Farbquerfehler am Feldrand nicht auf null korrigiert sind. Sie werden erst durch die nach dem Zwischenbild angeordnete Optik kompensiert.
• Mit integrierter Phasenplatte 12 (dargestellte Phasenkontrastvariante) ergeben sich auf Grund der Veränderung der Luftabstände folgende Systemdaten:

  Fläche	Radius	Dicke d Luftabstand a	Brechzahl ne	Abbesche Zahl νe
  1	Plan	0.170	1.525	59.2 (Deckglas)
  2	Plan	1.201 (a0)
  3	–3.221	1.400 (d1)	1.654	58.2
  4	–2.312	7.993 (a1')
  P1	Plan	0.700 (dp1)	1.519	64.0
  P2	Plan	0.700 (dp2)	1.519	64.0
  P3	Plan	0.600 (a1'')
  5	–46.880	1.900 (d2)	1.623	60.1
  6	–8.995	0.400 (a2)
  7	35.650	1.000 (d3)	1.723	29.3
  8	9.078	2.600 (d4)	1.489	70.0
  9	–33.040	30.359 (a3)
  10	Plan	80.000

• Sowohl beim Ausführungsbeispiel nach den 1 und 2 als auch beim Ausführungsbeispiel nach 3 sind analoge Objektivberechnungen auch für Tubussysteme mit Brennweiten von 164,5 mm und 200 mm möglich. Es sind auch andere Krümmungsradien, als die den Systemdatentabellen ausgewiesenen Radien denkbar.
• Die 4 und 5 zeigen Verläufe der Abbildungsfehler in Abhängigkeit von der Apertur und dem Sehfeld nach den Systemdaten entsprechend des Ausführungsbeispiels nach 1. Die dargestellten Kurvenverläufe ändern sich nur unwesentlich nach dem Einbringen der Phasenplatte 12 in das Mikroskopobjektiv.
• In 4 werden Queraberrationen mit einem Tubus von f'_Tubus = 180 mm dargestellt. Auftretende Farbquerfehler werden durch eine nachfolgende, nicht näher dargestellte Optik kompensiert.
• Die beiden linken Grafiken zeigen die Queraberrationen für den axialen Objektpunkt in Abhängigkeit von der Austrittspupille, jeweils für den meridionalen (links) und den sagittalen Schnitt (rechts). Für die axiale Abbildung sind die Verläufe der Queraberrationen identisch. In den beiden rechten Grafiken der 4 sind die Queraberrationen für die maximale Objekthöhe zu sehen.
• 5 und 6 zeigen Längsaberrationen auf der Achse sowie feldabhängige Bildfehler, wobei in 5 sphärische Längsaberrationen in mm (laterale Achse) in Abhängigkeit von relativen Koordinaten der Austrittspupille (vertikale Achse) bei verschiedenen Wellenlängen zu sehen sind. 5 zeigt in der linken Grafik die Bildfeldwölbung in Abhängigkeit von der Bildhöhe +y und in der rechten Grafik die Verzeichnung in Prozent in Abhängigkeit von der Bildhöhe +y.

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10

Linsenfläche

11

Phasenring

12

Phasenplatte

P1, P2, P3

Fläche Planplatten

a0, a1, a1, a1, a2, a3

Luftabstand

p1, p2

planparallele Platte

L1, L2a, L2b, L3, L4a, L4b

Linse

d

Dicke

G1, G2

Kittgruppe (Linsengruppe)

• ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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• Zitierte Patentliteratur
• - JP 9197285 A1 [0004]

Claims (9)

1. Mikroskopobjektiv, bestehend aus mindestens vier Linsen oder Linsengruppen (L₁, L_2a, L_2b, L₃, L_4a, L_4b, G₁, G₂), dadurch gekennzeichnet, dass in den Luftraum (a₁) zwischen der von der Objektseite aus betrachteten ersten Linse (L₁) und der zweiten Linse (L_2a oder L_2b) eine Phasenplatte (12) konzentrisch zur optischen Achse ausgerichtet integrier- und herausnehmbar ist.
2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine von der Objektseite aus betrachtete Meniskuslinse (L₁) mit positiver Brechkraft, einer Bikonvexlinse (L_2a) mit positiver Brechkraft, einem Kittglied (G₁) mit negativer Brechkraft, bestehend aus einer Meniskuslinse (L₃) mit negativer Brechkraft auf der Objektseite und einer Meniskuslinse (L_4a) mit positiver Brechkraft auf der Bildseite.
3. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 2 ohne die Anordnung der Phasenplatte (12) im optischen System, gekennzeichnet durch folgende Systemdaten: Fläche Radius Dicke d Luftabstand a Brechzahl n_e Abbesche Zahl ν_e 1 Plan 0.170 1.525 59.2 (Deckglas) 2 Plan 5.009 (a₀) 3 –22.910 3.500 (d₁) 1.489 70.0 4 –7.047 21.893 (a₁) 5 50.930 2.400 (d₂) 1.628 60.1 6 –30.690 0.300 (a₂) 7 18.450 1.500 (d₃) 1.723 29.3 8 10.093 6.000 (d₄) 1.489 70.0 9 19.815 7.788 (a₃) 10 Plan 80.000 sowie achromatisierte Tubuslinsen mit einer Brennweite von 180 mm und folgenden spezifischen Werten: Numerische Apertur = 0.25 Lage Eintrittspupille –∞ Abbildungsmaßstab = –10.0 Objekt auf der Fläche 1 Sehfeldzahl = 20
4. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine von der Objektseite aus betrachtete Meniskuslinse (L₁) mit positiver Brechkraft, einer Meniskuslinse (L_2b) mit positiver Brechkraft, einem zweifachen Kittglied (G₂) mit positiver Brechkraft, bestehend aus einer Meniskuslinse mit negativer Brechkraft auf der Objektseite und einer bikonvexen Linse (L_4b) mit positiver Brechkraft auf der Bildseite.
5. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 4 ohne die Anordnung der Phasenplatte (12) im optischen System, gekennzeichnet durch folgende Systemdaten: Fläche Radius Dicke d Luftabstand a Brechzahl n_e Abbesche Zahl ν_e 1 Plan 0.170 1.525 59.2 (Deckglas) 2 Plan 1.201 (a₀) 3 –3.221 1.400 (d₁) 1.654 58.2 4 –2.312 9.531 (a₁) 5 –46.880 1.900 (d₂) 1.623 60.1 6 –8.995 0.400 (a₂) 7 35.650 1.000 (d₃) 1.723 29.3 8 9.078 2.600 (d₄) 1.489 70.0 9 –33.040 30.359 (a₃) 10 Plan 80.000 sowie achromatisierte Tubuslinsen mit einer Brennweite von 180 mm und folgenden spezifischen Werten: Numerische Apertur = 0.40 Lage Eintrittspupille –∞ Abbildungsmaßstab = –19.8 Objekt auf der Fläche 1 Sehfeldzahl = 20
6. Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1 und 2 mit der Anordnung der Phasenplatte 12 im optischen System, gekennzeichnet durch folgende Systemdaten: Fläche Radius Dicke d Luftabstand a Brechzahl n_e Abbesche Zahl ν_e 1 Plan 0.170 1.525 59.2 2 Plan 5.009 (a₀) (Deckglas) 3 –22.910 3.500 (d₁) 1.489 4 –7.047 19.371 (a_1') 70.0 P1 Plan 0.700 (dp1) 1.519 P2 Plan 0.700 (dp2) 1.519 64.0 P3 Plan 1.600 (a1'') 64.0 5 50.930 2.400 (d₂) 1.628 6 –30.690 0.300 (a₂) 60.1 7 18.450 1.500 (d₃) 1.723 8 10.093 6.000 (d₄) 1.489 29.3 9 19.815 7.788 (a₃) 70.0 10 Plan 80.000 sowie achromatisierte Tubuslinsen mit einer Brennweite von 180 mm und folgenden spezifischen Werten: Numerische Apertur = 0.25 Lage Eintrittspupille –∞ Abbildungsmaßstab = –10.0 Objekt auf der Fläche 1 Sehfeldzahl = 20
7. Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1 und 5 mit der Anordnung der Phasenplatte 12 im optischen System, gekennzeichnet mit folgenden Systemdaten: Fläche Radius Dicke d Luftabstand a Brechzahl n_e Abbesche Zahl ν_e 1 Plan 0.170 1.525 59.2 2 Plan 1.201 (a₀) (Deckglas) 3 –3.221 1.400 (d₁) 1.654 4 –2.312 7.993 (a_1') 58.2 P1 Plan 0.700 (dp1) 1.519 P2 Plan 0.700 (dp2) 1.519 64.0 P3 Plan 0.600 (a1'') 64.0 5 –46.880 1.900 (d₂) 1.623 6 –8.995 0.400 (a₂) 60.1 7 35.650 1.000 (d₃) 1.723 8 9.078 2.600 (d₄) 1.489 29.3 9 –33.040 30.359 (a₃) 70.0 10 Plan 80.000 sowie achromatisierte Tubuslinsen mit einer Brennweite von 180 mm und folgenden spezifischen Werten: Numerische Apertur = 0.40 Lage Eintrittspupille –∞ Abbildungsmaßstab = –19.8 Objekt auf der Fläche 1 Sehfeldzahl = 20
8. Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1, 2, 4, 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, das die Phasenplatte (12) bei Anordnung im Mikroskopobjektiv genau in der Schnittweite des bildseitigen Brennpunktes s'_F',L1 der Linse (L₁) im Bezug auf den Scheitelpunkt der hinteren Fläche (4) ist und folgende Beziehung gilt: 0 < s'F',L1/a1 < 1wobei a₁ der Luftabstand zwischen der ersten Linse (L₁) und der zweiten Linse (L_2a, L_2b) ist.
9. Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1, 2, 4 und 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zwei miteinander verkittete plan-parallele Glasplatten (P₁, P₂) zur Aufnahme des eine Phasen- und Amplitudenstruktur aufweisenden Phasenringes (11) vorgesehen sind, wobei der Phasenring (11) auf die Verbundfläche einer der beiden planparallelen Platten (p₁, p₂) aufgedampft ist.