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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Beleuchtungsanordnung zur Ausleuchtung
eines reflektiven Lichtmodulators unter schrägem Lichteinfall, umfassend
hintereinander entlang einer optischen Achse eine Lichtquelle mit
einer ersten und einer zweiten Achse, wobei die zweite Achse senkrecht
zur ersten Achse angeordnet und eine Ausdehnung der Lichtquelle
in Richtung der ersten Achse vorzugsweise kleiner ist als eine Ausdehnung
der Lichtquelle in Richtung der zweiten Achse ist, einen Homogenisator
zur Einkoppelung der von der Lichtquelle emittierten Lichtstrahlung
mit einer Eintrittsfläche
und einer Austrittsfläche
sowie eine Beleuchtungsoptik zur Abbildung der Austrittsfläche des
Homogenisators auf einen Lichtmodulator.
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Die
Erfindung betrifft gleichermaßen
eine Belichtungsvorrichtung mit einer Beleuchtungsanordnung, einem
von der Beleuchtungsanordnung unter schrägem Lichteinfall beleuchtbaren
reflektiven Lichtmodulator sowie einer Abbildungsoptik zur Abbildung
des Bildes des Lichtmodulators auf einer zu belichtenden Druckplatte.
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Belichtungsvorrichtungen
der eingangs genannten Art umfassen häufig eine Beleuchtungsanordnung
der eingangs genannten Art.
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Derartige
Beleuchtungsanordnungen werden verwendet im Zusammenhang mit Projektionsoptiken
wie etwa Bildprojektoren oder Projektionsfernseher oder auch Belichtungsvorrichtungen
zur Belichtung von zu belichtenden Druckplatten.
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Der
in derartigen Belichtungsvorrichtungen eingesetzte reflektive Lichtmodulator
bedingt, daß sowohl
die Beleuchtungsanordnung als auch die Abbildungsoptik auf derselben
Seite des Lichtmodulators angeordnet sind. Hierdurch ergibt sich
die Notwendigkeit, den einfallenden von dem auslaufenden Strahlengang
zu trennen. Hierzu wird bei vielen Anwendungen, insbesondere bei
solchen, in denen eine digitale Mikrospiegelanordnung (unter dem
Markennamen DMDTM bekannt) als Lichtmodulator
verwendet wird, eine räumliche
Trennung der Strahlengänge vorgenommen.
Dies bedeutet jedoch, daß ein
schräger
Lichteinfall von der Beleuchtungsanordnung auf den reflektiven Lichtmodulator
der Belichtungsvorrichtung gewählt
werden muss. Dies führt
geometrisch bedingt zu Verzerrungen, die eine inhomogene Ausleuchtung
des Lichtmodulators zur Folge haben.
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Eine
gattungsgemäße Beleuchtungsanordnung
umfasst einen Homogenisator, in welchen das aus einer Lichtquelle
emittierte Licht eingekoppelt wird, um im Homogenisator homogenisiert
zu werden. Am Ausgang des Homogenisators entsteht somit ein homogenisiertes
Strahlenbündel
als Ergebnis der homogenisierenden Wirkung des Homogenisators. Dieses
wird mit Hilfe der Beleuchtungsoptik auf den Lichtmodulator abgebildet.
Da sich der Lichtmodulator jedoch in einem für die Strahltrennung benötigten Winkel
zur optischen Achse der Beleuchtungsanordnung befindet, entsteht
auf dem Lichtmodulator aus geometrischen Gründen im Ergebnis eine inhomogene
Ausleuchtung. Eine ursprünglich
quadratische Querschnittsfläche
des Beleuchtungsstrahls erhält
aufgrund des schrägen
Einfalls die Form eines konvexen Vierecks auf dem Lichtmodulator.
Diese Inhomogenität
ist jedoch für
die Anwendung nicht akzeptabel.
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Deshalb
sind im Stand der Technik verschiedene Maßnahmen getroffen worden, um
die inhomogene Ausleuchtung des Lichtmodulators zu kompensieren.
Dies ist beispielsweise erforderlich, um eine qualitativ hochwertige
Belichtung der Druckplatten zu erreichen. Ebenso muss bei Videoprojektionsanwendungen
eine ungleichmäßige Anordnung
des Lichtmodulators kompensiert werden, um gleichmäßige Projektionsbilder
erzeugen zu können.
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Beispielsweise
ist aus der
EP 1 141
780 B1 eine Belichtungsvorrichtung der eingangs genannten Art
mit einer Beleuchtungsvorrichtung mit der eingangs genannten Art
bekannt. Bei der bekannten Belichtungsvorrichtung dient ein aufwendiges
System aus einer Feldlinse, welche sowohl von dem einfallenden als
auch von dem auslaufenden Licht des Lichtmodulators durchlaufen
wird, zur Strahlanpassung. Gemäß dem Stand
der Technik werden die Strahlquerschnitte der auf eine Mikrospiegelanordnung
einfallenden und reflektierten Strahlenbündel oval ausgestaltet, wobei
ihre längere
Querausdehnung im wesentlichen senkrecht zur aus Einfalls- und Ausfallsrichtung
aufgespannten Ebene angeordnet sind. Zur Korrektur des schrägen Lichteinfalls
auf die Mikrospiegelanordnung wird im Stand der Technik vorgeschlagen,
daß im
Strahlengang zwischen einem Kondensor und der Mikrospiegelanordnung
ein Prisma angeordnet ist. Diese Vorgehensweise ist jedoch nachteilig,
da für
die Kompensation der Inhomogenität
ein zusätzliches
optisches Element erforderlich ist, welches zu Verlusten führt und
die Material- und Justagekosten der Belichtungsoptik in unerwünschter
Weise erhöht.
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Aus
der
EP 1 212 198 B1 ist
ebenfalls eine gattungsgemäße Belichtungsvorrichtung
mit einer gattungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
bekannt. Bei dieser Belichtungsvorrichtung gemäß dem Stand der Technik wird
zur Kompensation der inhomogenen Ausleuchtung der als Lichtmodulator
dienenden Mikrospiegelanordnung vorgeschlagen, daß das Modulationsmuster,
welches auf den Lichtmodulator aufgeprägt wird, zuvor elektronisch
mit der Beleuchtungsintensität
am Ort des Lichtmodulators rechnerisch kompensiert wird. Es wird
also bei diesem Stand der Technik eine Überlagerung der Belichtungsdaten
mit der Flächenintensitätsverteilung
auf der Oberfläche
des Lichtmodulators vorgenommen. Dieser Vorgang wird auch als Overlay-Technik
bezeichnet.
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Nachteilig
hieran ist jedoch vor allem, daß bei
der Overlay-Methode eine Homogenisierung des Ausgangsstrahlenbündels letztlich
dadurch erreicht wird, daß alle
Bildpunkte auf das Intensitätsniveau des
Bildpunktes verbracht werden, an welchem die niedrigste Beleuchtungsintensität vorherrscht.
Im Falle der Mikrospiegelanordnung als Lichtmodulator bedeutet dies,
daß Pixel
an besser ausgeleuchteten Bildpunkten länger ausgeschaltet bleiben,
als es der eigentlichen Bildinformation entspricht. Dies geschieht,
in dem der entsprechende Mikrospiegel so gekippt wird, daß das auftreffende
Licht von dem auslaufenden Strahlengang wegreflektiert wird. Die Overlay-Methode
führt somit
dazu, daß der
am schlechtesten ausgeleuchtete Bildpunkt die maximale Intensität aller
Bildpunkte bestimmt. Man erhält deshalb
bei diesem Stand der Technik ein System mit nachteilig vergleichsweise
geringer Effizienz, unabhängig
davon, ob die Optik und die optischen Elemente im übrigen optimiert
gewählt
sind.
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Der
vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Beleuchtungsanordnung
der eingangs genannten Art sowie eine Belichtungsvorrichtung mit
einer gattungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
dahingehend zu verbessern, daß eine Kompensation
von Inhomogenitäten
bei der Ausleuchtung des Lichtmodulators ohne eine Verminderung
der Effizienz erzielbar ist.
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Erfindungsgemäß wird diese
Aufgabe bei einer gattungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
gelöst,
indem die Lichtquelle gegenüber
dem Homogenisator quer zur optischen Achse verschoben angeordnet
ist. Gemäß der Erfindung
wird also vorgeschlagen, daß die
Lichtquelle nicht relativ zur optischen Achse mittig vor dem Homogenisator
angeordnet ist. Stattdessen wird bewußt eine außermittige, dezentrale Orientierung
gewählt.
Hierdurch wird erreicht, daß am
Ausgang des Homogenisators ein schräg verlaufendes Intensitätsprofil
entsteht.
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Bei
geeigneter Wahl der Verschiebung der Lichtquelle gegenüber dem
Homogenisator kann somit gemäß der Erfindung
erreicht werden, daß aufgrund
des schrägen
Intensitätsprofils
am Homogenisatorausgang die durch den schrägen Einfall des Beleuchtungsstrahls
auf den Lichtmodulator bedingte Verzerrung des einfallenden Strahlprofils
genau kompensiert wird. Hierbei erfolgt die Kompensation gemäß der Erfindung
jedoch abweichend vom Stand der Technik prinzipiell ohne einen Effizienzverlust.
Es geht keine Strahlungsenergie verloren durch den erfindungsgemäßen Kompensationsvorgang.
Außerdem
ist keine zusätzliche
Optik erforderlich, was besonders kostengünstig ist. Stattdessen ist
mit im Stand der Technik vorhandenen Komponenten durch eine gezielte
Dejustierung die Kompensation auf einfache Weise ohne Effizienzminderung
möglich.
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Besonders
günstig
ist es in Ausgestaltung der Erfindung, wenn die Lichtquelle in Richtung
der zweiten Achse verschoben angeordnet ist. Diese kann zum Beispiel
bei Verwendung eines Lasers die langsame Achse sein. Als langsame
Achse bezeichnet man bei Lichtquellen, welche aus einer Laserdiodenzeile
bestehen, die Richtung der größeren Ausdehnung,
also die Breite der Laserdiodenzeile.
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In
einer alternativen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
ist demgegenüber
die Lichtquelle in Richtung der ersten Achse verschoben angeordnet.
Diese kann zum Beispiel bei Verwendung eines Lasers die schnelle
Achse sein. Als schnelle Achse bezeichnet man bei Beleuchtungsanordnungen
mit einer Laserdiodenzeile als Lichtquelle die Höhenrichtung der Zeile, also
die Richtung, welche im Vergleich zu einer Breite die kleinere Ausdehnung
aufweist.
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In
weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
ist vorgesehen, daß die
Lichtquelle in Richtung der ersten und der zweiten Achse eine kleinere
Ausdehnung als der Homogenisator aufweist, wobei die Lichtquelle und
der Homogenisator relativ zueinander derart ausgerichtet sind, daß eine Querschnittsfläche der Lichtquelle
durch senkrechte Projektion in Richtung der optischen Achse auf
den Homogenisator vollständig
auf der Querschnittsfläche
des Homogenisators abbildbar ist. Durch diese Anordnung ist sichergestellt,
daß keine
Lichtstrahlung verloren geht, in dem sie gleichsam an der Eintrittsfläche des
Homogenisators vorbeigeleitet würde
und dann für
den Beleuchtungsstrahlengang verloren ginge. Eine dezentrale Verschiebung
der Lichtquelle relativ zu der Eintrittsfläche des Homogenisators erfolgt
gemäß dieser Ausgestaltung
der Erfindung also nur in den Grenzen, welche durch die Ausdehnung
der Eintrittsfläche des
Homogenisators vorgegeben sind.
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Die
Homogenisierung der von der Lichtquelle emittierten Lichtstrahlung
wird in weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung besonders
wirksam erzielt, wenn der Homogenisator als Integratorstab ausgebildet
ist. Durch mehrfache Totalreflexion an den Innenflächen des
Integratorstabes lässt
sich eine sehr wirksame Durchmischung der Eingangsstrahlrichtungen
an der Austrittsfläche
des Homogenisators erzielen. Bei geeigneter Wahl des Homogenisatormaterials
sowie bei entsprechender Vergütung
der Ein- und Austrittsflächen
des Homogenisators kann die Homogenisierung zudem mit dem Integratorstab
gemäß der Erfindung
auch mit besonders geringen Intensitätsverlusten erzielt werden.
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Bei
einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
ist der Homogenisator als Lichttunnel ausgebildet. Das Prinzip der
Homogenisierung durch einen Lichttunnel entspricht dem bei dem Integratorstab
zugrundegelegten. Jedoch ist bei dem Lichttunnel im Unterschied
zum Integratorstab die Strahlung von dem durch den Lichttunnel begrenzten
Hohlraum geführt.
Dies hat den besonderen Vorteil, daß weder im Innern des Lichttunnels
eine Strahlungsabsorption erfolgt, noch entstehen Reflexionsverluste
an der Eintrittsfläche,
da an der Eintrittsfläche
kein Medienübergang
vorhanden ist.
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Gemäß der Erfindung
gestaltet sich die Homogenisierung besonders wirksam, wenn der Homogenisator
eine rechteckige Querschnittsfläche
aufweist.
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In
diesem Zusammenhang ist es nach der Erfindung bevorzugt, wenn ein
Seitenverhältnis
der Querschnittsfläche
an den Lichtmodulator angepasst ist. Durch die Anpassung des Seitenverhältnisses der
Querschnittsfläche
der Austrittsfläche
des Lichtmodulators an den Lichtmodulator lässt sich durch eine geeignete
Beleuchtungsoptik die Austrittsfläche des Homogenisators auf
die aktive Fläche
des Lichtmodulators ohne geometrisch bedingte Überstrahlverluste projizieren.
Es wird also vermieden, daß ein Teil
des Lichts an dem Lichtmodulator vorbeigeführt wird.
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In
bevorzugter Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung weist
die Lichtquelle mindestens ein Laserdiodenmodul mit einer Glasfaser
zur Einkopplung der von dem Laserdiodenmodul emittierten Lichtstrahlung
auf. Laserdiodenmodule sind für
Belichtungsanwendungen aufgrund ihres engen Emissionsspektrums und
der damit verbundenen hohen Lichtausbeute besonders geeignet für die Erzielung
einer hohen Effizienz einer Belichtungsvorrichtung. Zudem ist das
kleine Etendue eines Laserdiodenmoduls vorteilhaft für eine besonders
effiziente Beleuchtungsanordnung. Schließlich lassen sich mit Vorteil
mehrere Laserdiodenmodule mit jeweils einer Glasfaser in Reihe zu
einer Laserdiodenmodulzeile zusammenfügen, um eine höhere Intensität der emittierten
Lichtstrahlung zu erhalten.
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Die
der Erfindung zugrundegelegte Aufgabe wird gleichermaßen gelöst durch
eine gattungsgemäße Beleuchtungsanordnung,
bei der die Emissionsrichtung der Lichtquelle gegenüber einer
Flächennormalen
der Eintrittsfläche
des Homogenisators in einem Winkel angeordnet ist. Durch diese Maßnahme wird
erreicht, dass das von der Lichtquelle emittierte Licht schräg auf die
Eintrittsfläche
des Homogenisators trifft. Dies bewirkt aus geometrischen Gründen eine
Verzerrung des ursprünglich
im Wesentlichen homogenen Intensitätsprofils der Lichtquelle in
allen Ebenen, welche parallel zur Eintrittsfläche des Homogenisators verlaufen.
Im Ergebnis ist also auch das Intensitätsprofils des Lichtes an der
Austrittsfläche
des Homogenisators inhomogen. Diese durch die erfindungsgemäße Anordnung
der Lichtquelle in einem Winkel zur Eintrittsfläche des Homogenisators gezielt
herbeigeführte
Inhomogenität
an der Austrittsfläche
des Homogenisators führt
nun dazu, dass der Lichtmodulator, welcher seinerseits in einem
Winkel zur Austrittsfläche
des Homogenisators angeordnet ist, bei geeigneter Auslegung des
Winkels zwischen Lichtquelle und Eintrittsfläche des Homogenisators homogen
ausgeleuchtet wird. Diese homogene Ausleuchtung wird gemäß der Erfindung
ohne prinzipbedingte Verluste erzielt.
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Die
Flexibilität
bei der Erzeugung gewünschter
Austrittsintensitätsprofile
wird in Ausgestaltung der Erfindung besonders groß, wenn
die Beleuchtungsanordnung gemäß der Variante
der Erfindung zusätzlich
nach einem der oben beschriebenen Ausführungsformen ausgestaltet ist.
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Die
Kombination einer Querverschiebung mit einer winkligen Anordnung
von Lichtquelle und Homogenisator führt hier mit Vorteil zu einer
optimierten Gestaltung der Austrittsintensität an der Homogenisatoraustrittsfläche.
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Die
der vorliegenden Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird außerdem gelöst durch
eine Belichtungsvorrichtung der eingangs genannten Art, bei welcher
die Beleuchtungsanordnung nach einem der oben beschriebenen Ausführungsformen
ausgestaltet ist.
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Die
von einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
erzeugte Beleuchtung mit schrägem Intensitätsprofil
dient bei geeigneter Einstellung des Intensitätsprofilverlaufs zur vollständigen Kompensation
der durch den schrägen
Lichteinfall auf den Lichtmodulator bedingten Inhomogenität durch
die geometrischen Verzerrung. Man erhält somit gemäß der Erfindung
im Ergebnis eine sehr homogene Ausleuchtung des Lichtmodulators,
ohne zu diesem Zwecke die Effizienz der Belichtungsvorrichtung zu vermindern.
Ferner sind für
die Kompensation der geometrisch bedingten Inhomogenität durch
den schrägen
Einfall weder zusätzliche
Datenverarbeitungsschritte, etwa zur Berechnung eines Overlay-Bildes,
erforderlich, noch sind zusätzliche
Elemente, wie etwa ein Prisma, von Nöten.
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Bei
einer bevorzugten Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Belichtungsvorrichtung
ist der Lichtmodulator als Mikroelektromechanisches System (MEMS),
vorzugsweise digitale Mikrospiegelvorrichtung (DMDTM),
ausgebildet. Insbesondere DMDs sind augrund der schnellen Reaktionszeiten
der einzelnen Spiegel und der mittlerweile verfügbaren hohen Auflösungen dieser
Spiegelmatrizen eine etablierte Technik für den Lichtmodulator. Im Unterschied zu
auf Flüssigkristallen
basierten Lichtmodulatoren weisen DMDs und andere MEMS den Vorteil
auf, daß eine
Modulation des einfallenden Lichtes unabhängig von dessen Polarisierung
möglich
ist. Verluste durch vorgeschaltete Polarisatoren, wie sie bei Flüssigkristall-basierten
Systemen prinzipiell erforderlich sind, entfallen deshalb mit Vorteil.
Die aktuelle Generation von DMD-Chips zeichnet sich durch einen
erhöhten Kippwinkel
von 12° aus.
Dies hat einerseits den Vorteil, daß eine einfachere räumliche
Trennung des einfallenden von dem ausgehenden Strahl möglich ist. Andererseits
erhöht
sich aber die geometrische Verzerrung des von der Beleuchtungsanordnung
erzeugten Eingangsstrahls auf das DMD. Dies lässt sich jedoch gemäß der Erfindung
durch den Einsatz der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung ohne
Verlust an Effizienz problemlos und kostengünstig kompensieren.
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Die
Erfindung wird in einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme
einer Zeichnung beispielhaft beschrieben, wobei weitere vorteilhafte Einzelheiten
den Figuren der Zeichnung zu entnehmen sind.
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Funktionsmäßig gleiche
Teile sind dabei mit den selben Bezugszeichen versehen.
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Die
Figuren der Zeichnungen zeigen im Einzelnen:
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1:
schematische Darstellung einer Belichtungsvorrichtung gemäß der Erfindung
mit einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung;
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2:
eine Detaildarstellung der Beleuchtungsanordnung aus 1 zur
Veranschaulichung der relativen Position der Lichtquelle zu der
Indikatoreintrittsfläche
in einer Schnittdarstellung entlang der Linie II-II in 1;
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3:
räumliche
Intensitätsverteilung
in Richtung der langsamen Achse der Lichtquelle an der Eintritts-
(a) bzw. Austrittsfläche
(b) des Homogenisators bei einer herkömmlichen Anordnung gemäß dem Stand
der Technik;
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4:
räumliche
Intensitätsverteilung
in Richtung der langsamen Achse der Lichtquelle an der Eintritts-
(a) bzw. Austrittsfläche
(b) des Homogenisators bei einer Beleuchtungsanordnung gemäß der Erfindung;
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5:
räumliche
Intensitätsverteilung
am Lichtmodulator für
die Beleuchtung gemäß 4 (Erfindung)
und zum Vergleich 3 (Stand der Technik);
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6:
eine Detaildarstellung einer erfindungsgemäßen Variante der Beleuchtungsanordnung
aus 1 zur Veranschaulichung der relativen Position
der Lichtquelle zu der Indikatoreintrittsfläche, wobei die Perspektive
der in 1 gezeigten entspricht.
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7:
räumliche
Intensitätsverteilung
in Richtung der langsamen Achse der Lichtquelle an der Eintritts-
(a) bzw. Austrittsfläche
(b) des Homogenisators bei einer Beleuchtungsanordnung gemäß einer
Alternative der Erfindung.
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Die 1 zeigt
schematisch eine Belichtungsvorrichtung 1 zum Belichten
einer Druckplatte 2. Die Belichtungsvorrichtung 1 besteht
im wesentlichen aus einer Beleuchtungsoptik 3, einem Lichtmodulator 4 sowie
einer Abbildungsopitik 5. Die Beleuchtungsoptik 3 umfasst
eine nicht dargestellte Laserdiodenmodulzeile. In der Laserdiodenmodulzeile ist
jeder einzelnen Laserdiode eine Faser zugeordnet, in welche das
von der einzelnen Laserdiode emittierte Licht eingekoppelt wird.
Die Einzelfasern 6 sind zu einem Faserbündel 7 zusammengefaßt. Das Faserbündel 7 ist
auf eine Eintrittsfläche 8 eines
Integratorstabes 9 gerichtet. Die Eintrittsfläche 8 erscheint
in der schematischen Draufsicht der 1 als Linie.
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Die
Beleuchtungsoptik 3 weist eine in der 1 schematisch
als Strich-Punktlinie
gezeigte optische Achse 10 auf. Der Integratorstab 9 hat
eine Austrittsfläche 11.
Die Austrittsfläche 11 des
Integratorstabs 9 erscheint wiederum in der schematischen Draufsicht
aus 1 als Linie. In Richtung der optischen Achse 10 ist
hinter dem Integratorstab 9 in der Austrittsfläche 11 eine
Linse 12 angeordnet. In einem Winkel zur optischen Achse
der Beleuchtungsoptik 3 der Belichtungsvorrichtung 1 ist
eine digitale Mikrospiegelvorrichtung DMDTM 4 angeordnet.
Das DMD 4 weist eine aktive Spiegelmatrix auf (in der Draufsicht aus 1 nicht
dargestellt), welche in einer aktiven Modulationsebene 13 angeordnet
ist. Die Modulationsebene 13 erscheint in der 1,
welche als Draufsicht konzipiert ist, ebenfalls nur als Linie. In Richtung
des Strahlengangs schließt
sich an das DMD 4 die Abbildungsoptik 5 an, welche
gegenüber von
der Druckplatte 2 angeordnet ist.
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Weiter
ist in 1 ein Eingangsstrahlenbündel 14 sowie ein
Ausgangsstrahlenbündel 15 zu
erkennen. Das Eingangsstrahlenbündel 14 fällt in der Figur
von links auf das DMD 4 ein und verlässt die Modulationsebene 13 des
DMD 4 nach Reflexion in Form des Ausgangsstrahlenbündels 15.
Schließlich zeigt
die 1 ein Belichtungsstrahlenbündel 16. Das Belichtungsstrahlenbündel 16 verläuft von
der Abbildungsoptik 5 auf die Druckplatte 2.
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Die 2 ist
eine Seitenansicht in Richtung der optischen Achse 10 der
Beleuchtungsoptik 3. Zu erkennen ist eine Schnittdarstellung
entlang der Linie II-II aus 1, welche
die Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 beinhaltet. Die Einzelfasern 6 des
Faserbündels 7 sind,
wie in der 2 zu erkennen, nebeneinander
in einer Reihe angeordnet. Die Figur zeigt insgesamt vier Einzelfasern 6.
Eine Mittellinie der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 ist in der 2 mit dem
Bezugszeichen 17 bezeichnet. Die Gesamtheit der fünf Einzelfasern 6 des
Faserbündels 7 weist
eine langsame 18 und eine schnelle Achse 19 auf.
Die langsame Achse 18 verläuft parallel zu einer Breite
der Gesamtheit der Einzelfasen 6, wohingegen die schnelle
Achse 19 parallel zu einer Höhe der Gesamtheit der Einzelfasern 6 verläuft. Jede
Einzelfaser 6 weist eine Ummantelung 20 auf.
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Wie
in der 2 zu erkennen, befindet sich eine Einzelfaser 6 in
der Darstellung gemäß 2 im wesentlichen
links von der Mittellinie 17 der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9, wohingegen sich zwei der Einzelfasern 6 im
wesentlichen rechts von der Mittellinie 17 der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 befinden. Die Lichtquelle aus der Gesamtheit
der Einzelfasern 6 ist somit dezentral zu der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 orientiert. Die dezentrale Orientierung
bezieht sich entsprechend der in 2 dargestellten
Perspektive auf eine Richtung quer zur optischen Achse 10 der
Beleuchtungsoptik 3. Genauer gesagt, ist die aus der Gesamtheit
der Einzelfasern 6 gebildete Lichtquelle in Richtung der
langsamen Achse 18 relativ zu der Mittellinie 17 der
Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 verschoben.
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Der
Integratorstab 9 ist 6 mm breit. Der Durchmesser jeder
Einzelfaser beträgt
1,0 mm, wobei abzüglich
der Ummantelung 20 der aktive Durchmesser der Fasern 6 0,9
mm beträgt.
In 2 ist die dezentrale Ausrichtung zur Verdeutlichung
besonders ausgeprägt
dargestellt. In der Praxis haben sich mit den genannten Abmessungen
des Integrators und der Einzelfasern Querverschiebungen von ca. 0,6
mm als günstig
erwiesen.
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Im
Betrieb der Belichtungsvorrichtung wird das von den in der 1 nicht
dargestellten Laserdioden emittierte Licht in den zu den Faserbündeln 7 verbundenen
Einzelfasern eingekoppelt. Am Ausgangsende des Faserbündels 7 sind
die Einzelfasern 6 wie in 2 nebeneinander
angeordnet, so daß das
in ihnen geleitete Licht aus den Einzelfasern 6 heraus
auf die Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 trifft.
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Die
Strahlung trifft sodann in den Integratorstab 9 ein und
wird dort an den Innenwänden
des Integratorstabs 9 mehrfach reflektiert und auf diese Weise
homogenisiert. In der Eintrittsfläche 8 des Integratorstabs 9 weist
die von dem Faserbündel 7 emittierte
Lichtstrahlung eine schmale Eintrittsintensitätsverteilung 21 auf,
wie in 3a schematisch gezeigt. Die
Diagrammdarstellung gemäß 3a zeigt jeweils an der Intensitätsachse 22 eine
relative Intensität
der Lichtstrahlung und in der horizontalen Achse 23 eine
Ortskoordinate parallel zur langsamen Achse 18. Auf dieser
Ortsachse 23 ist die Mittellinie 17 der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 schematisch eingezeichnet. Genau genommen
sollte die Mittellinie 17 auf der eindimensionalen Ortsachse 23 nur als
Punkt erscheinen, da in dem Intensitätsdiagramm gemäß 3a und 4a die vertikale Achse die Intensität darstellt
und keine Ortskoordinate.
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Die
in 3a dargestellte Intensitätsverteilung
entspricht jener bei einer herkömmlichen
Beleuchtungsoptik 3. Bei dieser herkömmlichen Beleuchtungsoptik
ist im Unterschied zu der in 2 gezeigten
Anordnung eine zentrische Ausrichtung der Lichtquelle relativ zu
der Mittellinie 17 der Eintrittsfläche 8 des Integratorstabs 9 vorgesehen.
Dies führt
zu der in 3a gezeigten herkömmlichen
Intensitätsverteilung,
welche symmetrisch um die Mittellinie 17 herum angeordnet
ist.
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Im
Unterschied dazu führt
die in 2 gezeigte dezentrale Orientierung der Lichtquelle
relativ zu der Mittellinie 17 der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 zu der in 4a gezeigten 21a an
der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabs 9 in Richtung der langsamen Achse 18.
Wie in 4a zu erkennen, ist die Eintrittsintensitätsverteilung 21a gegenüber der Mittellinie 16 nach
rechts verschoben und keinesfalls mit der Mittellinie 17 zentriert.
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An
der Austrittsfläche 11 des
Integratorstabs 9 entstehen je nach gewählter Ausrichtung der Eintrittsintensitätsverteilung 21 relativ
zu der Mittellinie 17 der Eintrittsfläche 8 des Integratorstabs 9 unterschiedliche
Austrittsintensitätsverteilungen 24, 24a. Bei
der herkömmlichen
Ausrichtung der Lichtquelle relativ zu der Mittellinie 17,
welche die optische Achse 10 der Beleuchtungsoptik 3 schneidet,
wenn also die Lichtquelle zu der Eintrittsfläche 8 des Integratorstabs 9 zentriert
ausgerichtet ist, in sowohl der schnellen als auch der langsamen
Achse 18, erhält man
an der Austrittsfläche 11 des
Integratorstabs 9 die in 3b skizzierte
Intensitätsverteilung 24.
Wie zu erkennen ist, die Intensität gleichmäßig über die Breite der Austrittsfläche 11 der
Austrittsfläche 8 des Integratorstabes 9 verteilt.
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Demgegenüber ist
bei dezentraler Orientierung der Lichtquelle relativ zur Eintrittsfläche 8 des Integratorstabs 9,
wie in 4a und 2 gezeigt, die
Intensitätsverteilung 24a in
der Austrittsfläche 11 des
Integratorstabs 9 wie in 4b verdeutlicht.
Wie in 4b weiter zu erkennen, weist
die Austrittsintensitätverteilung 24a einen
von links nach rechts schräg
ansteigenden Verlauf auf.
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In 5 ist
die Intensitätsverteilung
in der Modulationsebene 13 des DMD 4 gezeigt,
wobei die dargestellte Ortsachse in der Zeichenebene nach 1 verläuft. Das
Diagramm gemäß 5 zeigt zum
Vergleich die Modulationsintensitätsverteilung 25 in
der Modulationsebene 13 des DMD 4 für den Fall
der 3a und b, welche wie erwähnt den Stand der Technik betreffen.
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Die
im Stand der Technik aus der zentrierten Einkopplung der Lichtquelle
in den Integratorstab 9 erhaltene Austrittsintensitätsverteilung 24 gemäß 3b führt in der
Modulationsebene 13 in der Darstellung in 5 zu
der herkömmlichen
Modulationsintensitätsverteilung 25.
Wie zu erkennen, führt
die geometrische Verzerrung aufgrund des schrägen Einfalls der Lichtstrahlen
aus der Beleuchtungsoptik 3 auf das DMD 4, also
aufgrund der Orientierung der optischen Achse 10 der Beleuchtungsoptik 3 in
einem Winkel zu einer Flächennormalen 27 zur
Modulationsebene 13, zu einer von links nach rechts abfallenden
Intensität.
Die homogene Austrittsintensitätsverteilung 24 aus 3b wird
im Stand der Technik also in die von links nach rechts stark abfallende
inhomogene Intensitätsverteilung 25 verzerrt.
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Demgegenüber ergibt
sich bei einer Beleuchtung des DMD 4 unter schrägem Lichteinfall
auf die Modulationsebene 13 des DMD 4 mit einer
erfindungsgemäßen Beleuchtungsoptik 3,
welche die erfindungsgemäße Austrittsintensitätsverteilung 24a gemäß 4b aufweist,
eine Modulationsintensitätsverteilung 26 in
der Modulationsebene 13. Die Modulationsintensitätsverteilung 26 gemäß der Erfindung ist
im Gegensatz zu der Modulationsintensitätsverteilung 25 im
Stand der Technik nahezu homogen über die Ortsachse 23.
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In 6 ist
eine Detaildarstellung einer alternativen Ausführungsform einer Beleuchtungsanordnung 3 zu
erkennen. Das generelle Layout dieser Variante der erfindungsgemäßen Beleuchtungsoptik 3 entspricht
dem in 1 skizzierten Layout. Im Unterschied zu der in
der Detaildarstellung von 2 weiter
oben beschriebenen Anordnung der Lichtquelle relativ zu der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabes 9 ist die relative Anordnung gemäß dieser
Variante der Erfindung wie folgt gewählt:
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Die
Einzelfasern 6 des Faserbündels 7 sind so orientiert,
dass eine Emissionsrichtung 28 nicht parallel zu einer
Flächennormale 29 der
Antrittsfläche 8 des
Integratorstabes 9 verläuft,
sondern in einem Winkel 30 zu dieser ausgerichtet ist.
Durch diese Anordnung ergibt sich die in 7 skizzierte räumliche
Intensitätsverteilung
in Richtung der langsamen Achse der Lichtquelle an der Eintritts-
bzw. Austrittsfläche
des Integratorstabes. Der Winkel 30 kann in einer bevorzugten
Ausführungsform
der Erfindung kleiner als etwa 1° sein.
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Die
Darstellung der 7 entspricht im Prinzip den
Darstellungen der 3 und 4. 7a zeigt die Intensitätsverteilung an der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabes. Wie in der Figur zu erkennen, entspricht die Eintrittsintensitätsverteilung 21b an
der Eintrittsfläche 8 des
Integratorstabes 9 dem Verlaufe nach jener, welche man
auch bei Beleuchtung gemäß dem Stand
der Technik erhält.
Insbesondere ist die Eintrittsintensitätsverteilung 21b gemäß 7a symmetrisch zu der Mittellinie 17 der
Eintrittsfläche 18 des
Integratorstabes 9. Die Lichtquelle ist gemäß dieser
alternativen Ausführungsform
der Erfindung jedoch nicht quer gegenüber dem Integratorstab 9 verschoben.
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Demgegenüber erhält man an
der Austrittsfläche 11 des
Integratorstabes 9 die in 7b gezeigte
Intensitätsverteilung 24b.
Wie zu erkennen, ist die Austrittsintensitätsverteilung 24b,
welche man mit der in 6 skizzierten winkligen Orientierung
der Lichtquelle relativ zur Eintrittsfläche 8 des Integratorstabes 9 erhält, also
asymmetrisch. Die Austrittsintensitätsverteilung 24b ist
somit wie gewünscht
inhomogen. Durch die Inhomogenität
ist die Austrittsintensitätsverteilung 24b geeignet,
unter schrägem Einfall
auf das DMD 4 dieses homogen auszuleuchten.
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Im
Rahmen der Erfindung ist es ferner möglich, die Anordnungen gemäß der 2 (Querverschiebung)
und 6 (Winkelstellung) miteinander zu kombinieren, um geeignete
Austrittsintensitätsverteilungen 24, 24a, 24b zu
erzielen. Dies ist in den Figuren nicht explizit dargestellt.
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Somit
ist gemäß der Erfindung
eine Beleuchtungsanordnung 3 sowie eine Belichtungsvorrichtung vorgeschlagen,
bei welcher trotz schrägen
Lichteinfalls auf den Lichtmodulator eine homogene Intensitätsverteilung
auf der Modulationsebene 13 des Lichtmodulators 4 bei
hoher Effizienz erzeugbar ist.
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Die
erfindungsgemäße Belichtungsvorrichtung
mit der erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung
kann insbesondere verwendet werden für die Belichtung von konventionellen
Offset Platten oder anderen photosensitiven Materialien.
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Typische
Belichtungswellenlängen
liegen zwischen 350 und 450 nm. Es lassen sich weiter Siebe für Siebruck,
Flexodruckplatten, Proof-Materialien oder Stahlplatten zur Stanzmusterherstellung
belichten. Die erfindungsgemäße Belichtungsvorrichtung für die erfindungsgemäße Beleuchtungsanordnung eignet
sich besonders für
ein Belichtungsverfahren, bei welchem durch Relativbewegung der
Belichtungseinheit zum zu belichtenden Material eine große Fläche strukturiert
belichtet werden kann. Hierbei können
die Bilder des Display entweder diskret nebeneinander gesetzt werden,
wobei die Belichtungseinheit schrittweise verfährt und im Stillstand belichtet.
Alternativ kann in die Belichtungseinheit kontinuierlich fahren
und belichten, wobei der Bildinhalt auf dem Display gegenläufig bewegt
wird, so daß auf dem
zu belichtenden Material ein feststehendes Bild belichtet wird.
So entstehenden Streifen lassen sich wiederum durch diskrete Schritte
nebeneinander setzen.
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- 1
- Belichtungsvorrichtung
- 2
- Druckplatte
- 3
- Beleuchtungsoptik
- 4
- digitale
Mikrospiegelanordnung
- 5
- Abbildungsoptik
- 6
- Einzelfaser
- 7
- Faserbündel
- 8
- Eintrittsfläche
- 9
- Integratorstab
- 10
- optische
Achse
- 11
- Austrittsfläche
- 12
- Linse
- 13
- Modulationsebene
- 14
- Eingangsstrahlenbündel
- 15
- Ausgangsstrahlenbündel
- 16
- Belichtungsstrahlenbündel
- 17
- Mittellinie
- 18
- langsame
Achse
- 19
- schnelle
Achse
- 20
- Ummantelung
- 21
- Eintrittsintensitätsverteilung
(Stand der Technik)
- 21a
- Eintrittsintensitätsverteilung
(Erfindung)
- 21b
- Eintrittsintensitätsverteilung
(Erfindungsvariante)
- 22
- Intensitätsachse
- 23
- Ortsachse
- 24
- Austrittsintensitätsverteilung
(Stand der Technik)
- 24a
- Austrittsintensitätsverteilung
(Erfindung)
- 24b
- Austrittsintensitätsverteilung
(Erfindungsvariante)
- 25
- Modulationsintensitätsverteilung
(Stand der Technik)
- 26
- Modulationsintensitätsverteilung
(Erfindung)
- 27
- Flächennormale
- 28
- Emissionsrichtung
- 29
- Flächennormale
- 30
- Winkel