DE102006043185A1 - Verfahren zum justierten Verbinden von Platten und nach diesem Verfahren hergestellte optische Baugruppe - Google Patents

Verfahren zum justierten Verbinden von Platten und nach diesem Verfahren hergestellte optische Baugruppe Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden von Platten sowie eine nach diesem Verfahren hergestellte optische Baugruppe. Die zu verbindenden Platten werden zunächst benachbart angeordnet und es wird mindestens ein Hilfselement in einer, ihm zugeordneten, senkrecht zur Plattenebene einer Platte stehenden Bohrung mit in Richtung der Bohrung parallelen Winden so untergebracht, dass es die andere Platte berührt. Es wird dann die Lage der beiden Platten zueinander justiert und zwischen den Platten und dem mindestens einen Hilfselement durch Klebstoff eine feste Verbindung hergestellt.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Verbinden von Platten sowie eine nach diesem Verfahren hergestellte optische Baugruppe, insbesondere auf deren dauerhafte und präzise Justierung.
  • Die stoffschlüssige Verbindung einer optischen Baugruppe mit einer Montageplatte erfolgt nach dem Stand der Technik, indem auf die Verbindungsflächen dünn Kleber aufgetragen wird und anschließend die Flächen aufeinandergepresst werden, bis der Kleber ausgehärtet ist. Diese Klebeverbindung wird beim Hersteller hergestellt, bevor die optische Baugruppe an den Kunden geliefert wird. Die Justage des Aufbaus erfolgt dann beim Kunden. Die Justierung wird hierbei durch Feinstellelemente vorgenommen, die Bestandteil der Baugruppe sind und dem Kunden mitgeliefert werden müssen. Diese zum Gerät gehörenden Elemente verursa chen erhebliche Mehrkosten.
  • 1 zeigt beispielhaft eine optische Baugruppe nach dem Stand der Technik. Hier ist auf einer Montageplatte 11 über ein Trägersystem 13, 16, 17 und eine Justagevorrichtung 14 ein optischer Aufbau 15 montiert. Das Trägersystem besteht hierbei aus zwei mit einander zugewandten Flächen benachbarten Platten 13 und 17, welche über ein Verbindungselement 16 miteinander verbunden sind. Auf der der Montageplatte 11 abgewandten Teilplatte 13 des Trägersystems befindet sich eine Justagevorrichtung 14 auf welcher der optische Aufbau 15 montiert ist. Bei der Herstellung dieser Baugruppe erfolgt die stoffschlüssige Verbindung zwischen der Montageplatte 11 und dem Trägersystem dadurch, dass auf die Verbindungsflächen zwischen der Teilplatte 17 und der Montageplatte 11 Kleber 12a, 12b dünn aufgetragen wird. Hierbei entsteht normalerweise zwischen der Montageplatte 11 und der der Montageplatte zugewandten Teilplatte 17 des Trägersystems ein keilförmiger Spalt von etwa 0,5 mm Breite. Beim Aushärten des Klebers schrumpft dieser je nach Art des Klebstoffs um ungefähr 2 bis 8 %, wodurch die optische Baugruppe dejustiert wird. Da diese Schrumpfung während der Herstellung auch durch festes Einspannen der zu verbindenden Teile in der Justiervorrichtung nicht vermieden werden kann, muss die optische Baugruppe nach dem Aushärten des Klebers neu justiert werden. Diese Justage findet beim Kunden mit Hilfe der Justagevorrichtung 14 sowie durch Anpassung des Trägersystems 13, 16, 17 statt. Diese Vorrichtungen zum Justieren 14 sind fester Bestandteil der fertigen Baugruppe.
  • Die Kosten eines solchen optischen Aufbaus ließen sich erheblich vermindern, wenn die Baugruppe bereits beim Hersteller vollständig aufgebaut und exakt justiert werden könnte. Es wäre dann nicht mehr nötig, dass dem Kunden die aufwendige Justagevorrichtung mitgeliefert wird. Aus dem Stand der Technik sind bereits einige Versuche bekannt, eine optische Baugruppe so aufzubauen, dass sie ihre Feinjustierung beim Schrumpfen des Klebers erhält. In der DE 102 28 053 wird z.B. vorgeschlagen, die Auswirkungen der Kleberschrumpfung dadurch zu vermeiden, dass in keilförmige Nuten zwischen den zu verbindenden Teilen Hilfselemente eingelegt werden, die unter ihrem Eigengewicht in die richtige Position rollen und ihre Lage dort auch beim Schrumpfen des Klebers behalten sollen. Hierzu sind jedoch schräge Anlageflächen in den zu verbindenden Bauteilen notwendig. Der technische Aufwand zur Realisierung schräger Anlageflächen ist erheblich.
  • In der Zeitschrift Photonik 2/2005, S. 74 bis 75, wird eine „Klebetechnologie zur Montage mikrooptischer Komponenten" beschrieben. Hier soll eine Glasfaser auf 0,2 μm genau vor einem Diodenlaser auf einem Chip justiert und durch Kleben befestigt werden. Das Schrumpfen des Klebers soll durch eine gezielte Fehljustierung der Glasfaser vor dem Klebevorgang kompensiert werden. Eine solche Technik setzt jedoch voraus, dass der Schrumpfvorgang des Klebers genau bekannt und reproduzierbar ist. Sowohl die Kleberdosierung als auch die Kleberpositionierung, die Klebereigenschaften und die Kleberaushärtung müssen exakt steuerbar sein. Dies ist normalerweise nur für spezielle Anwendungen möglich. Im allgemeinen ist dieses Verfahren nicht anwendbar, weil die in die Kleberschrumpfung eingehenden Parameter nicht ausreichend oder nur mit hohem Aufwand reproduzierbar sind.
  • Die Patente US 6,256,118 und DE 197 55 483 zeigen, wie die Kleberschrumpfung genutzt werden kann, um zwei aneinanderliegende Teile fest miteinander zu verbinden. Wegen der Schrumpfung des Klebers ist das Verfahren jedoch nicht geeignet, justierte Baugruppen mit Spalt auf einer Montageplatte zu befestigen.
  • Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft die Kompensation von Temperaturausdehnungsunterschieden verschiedener in einer Baugruppe verwendeter Materialien. Werden Materialien mit unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten miteinander verklebt, so besteht die Gefahr, dass die Verbindungen bei Temperaturänderungen infolge der unterschiedlichen Ausdehnung der verbundenen Materialien zerstört werden könnten. Auch können Bimetalleffekte zur Dejustage der optischen Baugruppe führen. Nach dem Stand der Technik werden zur Vermeidung dieses Problems möglichst Materialien mit gleichem Temperaturausdehnungsverhalten verwendet oder Kontaktflächen zwischen den verbundenen Teilen mit möglichst kleinen Abmessungen hergestellt. Auch werden die Klebestellen über einen möglichst kleinen Bereich verteilt. Eine generelle Lösung dieses Problems ist nicht bekannt.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, Teile einer optischen Baugruppe so miteinander zu verbinden und zu justieren, dass die Justierung auch nach der Schrumpfung des Klebers erhalten bleibt. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es weiterhin, Teile einer optischen Baugruppe so miteinander zu verbinden, dass sie ihre Justierung zueinander auch dann beibehalten, wenn die Teile unterschiedliche thermische Ausdehnungen aufweisen und nach dem Kleben beim Transport oder beim Gebrauch Temperaturen im Be reich von –40 °C bis +70 °C ausgesetzt sind.
  • Die Aufgabe wird durch das Verfahren nach Anspruch 1, durch das Verfahren nach Anspruch 46, durch die optische Baugruppe nach Anspruch 69 sowie durch die Verwendungsansprüche 92 und 93 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sowie der erfindungsgemäßen optischen Baugruppe finden sich in den jeweiligen abhängigen Ansprüchen.
  • Das Wesen der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass Klebstoff möglichst dünn aufgetragen und so angeordnet wird, dass der Verzug der einzelnen Klebestellen sich gegenseitig aufhebt. Hierzu werden die Teile nicht direkt miteinander verklebt, sondern es werden Hilfselemente verwandt, die jeweils mit beiden zu verbindenden Teilen stoffschlüssige Verbindungen aufweisen. Die zu verbindenden Teile weisen hierbei im Normalfall keine direkte stoffschlüssige Verbindung auf.
  • Die Hilfselemente zum Verbinden der Teile, beispielsweise zweier Platten, werden hierzu in Bohrungen in der einen und/oder der anderen zu verbindenden Platte untergebracht. Hierbei ist jedem Hilfselement eine Bohrung in der einen oder anderen Platte zugeordnet, in welcher es untergebracht ist. Die Verbindung der Platten erfolgt dann dadurch, dass das Hilfselement einerseits mit den Wänden jener Bohrung verklebt wird, in welcher es untergebracht ist, und andererseits das Hilfselement mit der anderen Platte, in welcher es nicht untergebracht ist, an deren Oberfläche verklebt wird. Die Hilfselemente, welche z.B. Kugeln oder Zylinder sein können, wirken also als Überbrückung zwischen den beiden zu verbindenden Platten. Im Falle einer optischen Baugruppe wird die eine Platte normalerweise eine Montageplatte sein und die andere Platte eine Trägerplatte. Für die Platten sollten Materialien mit niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten verwendet werden. Geeignet ist zum Beispiel das Floatglas „Borofloat" von Schott. Im folgenden soll das Verfahren beispielhaft für die Verbindung einer Montageplatte mit einer solchen Trägerplatte, auf welcher ein optischer Aufbau montiert sein kann, erläutert werden. Das beschriebene Verfahren ist aber zur Verbindung beliebiger Teile oder Platten miteinander anwendbar.
  • Möchte man zwei Platten nach dem vorliegenden Verfahren verbinden, so werden die beiden Platten zunächst, vorteilhafterweise mit einer Justageeinrichtung, einem Montageroboter oder Hexapod, fest verbunden. Es kann aber eine Platte auch liegend angeordnet werden, wobei dann die andere Platte von einer Justiervorrichtung geführt wird. Weist die eine Platte als Trägerplatte eines optischen Aufbaus optische Bauteile auf, so kann die Führung dieser Platte mittels des Greifers einer Justagevorrichtung, eines Montageroboters oder Hexapods erfolgen, welcher an einem oder mehreren der optischen Bauteile angreift. Da die optischen Bauteile mit der Trägerplatte fest verbunden sind, kann auf diese Weise auch die Lage der Trägerplatte relativ zur anderen Platte, mit der sie verbunden werden soll, eingestellt werden.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst die Montageplatte so gelegt, dass die Gravitationskraft in Richtung ihrer Plattenoberfläche wirkt. Es wird dann die Trägerplatte mit dem optischen Aufbau, beispielsweise mittels einer Justiervorrichtung, in die gewünschte Lage gegenüber der Montageplatte gebracht. Hierbei wird nor malerweise die optische Achse des optischen Bauteils entsprechend der optischen Achse benachbarter Bauteile ausgerichtet. Im Allgemeinen wird dann also die Trägerplatte so neben der Montageplatte liegen, dass ihre Plattenfläche der Montageplatte zugewandt ist. Die beiden Platten müssen nicht notwendigerweise parallel und aufeinander liegen, ihr Winkel und Abstand zueinander bestimmt sich vielmehr durch die Erfordernisse der Justierung. Im Normalfall wird der sich ausbildende Spalt zwischen der Trägerplatte der optischen Baugruppe und der Montageplatte kleiner als 0,5 mm sein.
  • Die Montageplatte und die Trägerplatte bilden dann also einen spitzen Winkel.
  • Die Trägerplatte weist für das erfindungsgemäße Verfahren Bohrungen auf, in welchen Hilfselemente untergebracht werden können. Die Bohrungen stehen vorteilhafterweise senkrecht oder annähern senkrecht zur Ebene der Montageplatte. Besonders günstig ist die Verwendung von mindestens drei Bohrungen. In der vorliegenden Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden diese Hilfselemente nach erfolgter Justage der beiden Platten zueinander in diese Bohrungen so eingelegt, dass sie unter ihrem Eigengewicht auf der unteren Platte, in diesem Falle der Montageplatte, aufliegen. Die Hilfselemente werden vorzugsweise so gewählt, dass sie die Bohrung auf dem größten Teil ihrer Querschnittsfläche auffüllen und eine ausreichende Gewichtskraft aufbringen. Werden beispielsweise Hilfselemente mit einem Durchmesser von 5 mm verwendet, würde der Durchmesser der Bohrung vorteilhafterweise 0,01 mm bis 0,02 mm größer gewählt, so dass zwischen dem Hilfselement und der Wandung der Bohrung ein schmaler Spalt von 10 bis 20 μm entsteht. Kugelförmige Hilfselemente können beispielsweise Durchmesser von 3 mm bis 10 mm haben. Der entstehende Spalt kann auch 0,02 mm bis 0,1 mm breit sein.
  • Vorzugsweise haben die Bohrung und das Hilfselement, welches in der Bohrung untergebracht ist, in ihrem Querschnitt die gleiche Form. Hierdurch wird das Hilfselement von der Bohrung geführt, wenn es in sie eingelegt wird. Das Hilfselement hat dann zu allen Seiten den gleichen Abstand zur Wandung der Bohrung.
  • Vor oder nach dem Einführen des Hilfselementes in die Bohrung wird Klebstoff an jenen Stellen des Hilfselementes und/oder der Bohrung untergebracht, an welchen das Hilfselement nach dem Einführen an der Bohrung anliegt. Ferner wird Klebstoff so auf dem Hilfselement und/oder der Montageplatte untergebracht, dass das Hilfselement, nachdem es in der Bohrung untergebracht worden ist, mit der Montageplatte über eine Klebstoffschicht verbunden ist.
  • Die Klebestellen zwischen dem Hilfselement und der Wand der Bohrung befinden sich vorteilhafterweise also in einer Richtung senkrecht oder nahezu senkrecht zur Achse der Bohrung, während die Klebestelle zwischen Hilfselement und Montageplatte in Richtung der Bohrungsachse liegt. Orientiert an der Bohrungsachse stehen die Klebestellen also senkrecht zueinander.
  • Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden also die Montageplatte und die Trägerplatte über Hilfselemente miteinander verbunden, wobei das Hilfselement mit der Montageplatte und mit der Trägerplatte über Klebstoffschichten verbunden ist. Nicht auf allen Verbindungsstellen der Hilfselemente mit den Platten müssen Klebstoffschichten untergebracht sein. Es ist durchaus auch denkbar, dass das Hilfselement die Platten an einigen Stellen direkt berührt, insbesondere auch, um von der Bohrung geführt zu werden. Es kann dann Klebstoff auch die Berührungsfläche umgebend zwischen der Platte und dem Hilfselement eingebracht werden. Der Einfluss der Kleberschrumpfung auf die Justierung sollte vorteilhafterweise kleiner als 1 μm bleiben.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren in allen beschriebenen Varianten ist mit vielen verschiedenen Arten von Klebstoff durchführbar. Möglich ist z.B. die Verwendung von Sekundenkleber (Cyanacrylat), aber auch UV-härtender Kleber, dessen Aushärtung vorteilhafterweise etwa 1 Minute dauert, eignet sich zur Verbindung der Teile. Wird UV-Kleber verwendet, so werden vorteilhafterweise Platten und/oder Hilfselemente verwendet, welche für ultraviolettes Licht durchlässig sind. Besonders geeignet als Material für Hilfselemente ist in diesem Fall z.B. Saphir. Wird ein Hilfselement aus UV-durchlässigem Material verwendet, so kann der Klebstoff ausgehärtet werden, indem UV-Licht von der der Montageplatte abgewandten Seite der Trägerplatte durch die Bohrung und durch das UV-durchlässige Hilfselement auf die Klebstoffschichten gestrahlt wird. Auch die Montageplatte oder die Trägerplatte können UV-durchlässig gestaltet sein. In diesem Fall kann in der Bohrung z.B. ein UV-undurchlässiges Hilfselement angeordnet werden. Der Klebstoff würde dann durch die UV-durchlässige Platte hindurch mit ultraviolettem Licht beschienen. Als UV-transparentes Material für den Bau von Platten kommt z.B. Borofloat in Frage. Borofloat hat zudem als Material für die Platten den Vorteil, dass es mit α = 3,3·10–6 K–1 eine sehr geringe Temperaturausdehnung hat, wodurch die Dejustierungen der optischen Baugruppe durch Temperaturänderungen von vornherein gering sind.
  • Vorteilhafterweise erfolgt die Aushärtung des Klebers durch Licht von etwa 400 nm Wellenlänge.
  • Der zum Verkleben verwendete Kleber sollte möglichst dünnflüssig sein, um Klebewülste um die Klebestelle zu vermeiden, die bei ihrer Schrumpfung zu horizontalen und vertikalen Verschiebungen der Hilfskugeln und damit zur Dejustierung der optischen Baugruppe führen könnten.
  • Erfindungsgemäß kann auch die Montageplatte mit Bohrungen versehen sein, in welche die Hilfselemente eingeführt werden. In diesem Fall könnte die Montageplatte auf einer Halterung abgelegt werden. Die Trägerplatte würde dann, z.B. mittels des Greifers und einer Justiervorrichtung, von unten neben der Montageplatte angeordnet und justiert. Die Hilfselemente lägen dann unter ihrem Eigengewicht an der der Montageplattenunterseite zugewandten Fläche der Trägerplatte an. Darüberhinaus gilt das oben Gesagte.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung können in der Bohrung ein oder mehrere Klebestege untergebracht sein, welche auf einem begrenzten Bereich den Abstand zwischen der Bohrung und dem Hilfselement verringern. Der Klebstoff wird dann zwischen dem Hilfselement und dem Klebesteg angeordnet. Der Klebesteg kann beispielsweise als kleines Plateau in der Wand der Bohrung ausgebildet sein. Durch einen Klebesteg kann vermieden werden, dass überschüssiger Kleber zur Verlagerung des Hilfselements beim Aushärten führt.
  • Erfindungsgemäß können Hilfselemente mit verschiedenen Formen verwendet werden. Hat das Hilfselement beispielsweise die Form einer Kugel, so ergibt sich zur Wand der Bohrung eine ringförmige Kontaktstelle. Dort, wo die Kugel an die Fläche einer Platte anliegt, ist die Kontaktstelle punktförmig. Wiederum kann die Kugel die Wand der Bohrung und/oder die Platte ohne dazwischenliegenden Abstand berühren, es kann aber auch zwischen der Kugel und der Wand der Bohrung sowie der Plattenfläche ein kleiner Klebespalt ausgebildet sein, welcher Klebstoff aufweist. In diesem Falle wäre die Kugel gleichsam in den Klebstoff eingebettet.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung haben ein oder mehrere Hilfselemente die Form eines Zylinders. In diesem Fall fällt die Achse des Zylinders mit der Achse der Bohrung zusammen. Vorteilhafterweise ist jene Fläche des Zylinders, an welche der Zylinder mit einer Plattenfläche verbunden ist, leicht nach außen gewölbt, so dass der Kontakt zwischen dem Zylinder und der Plattenoberfläche ähnlich wie bei der Kugel hergestellt wird. Wie auch im Fall der Kugel kann bei einer solchen balligen Stirnfläche des Zylinders eine mehr oder weniger große Klebstoffschicht um den Berührpunkt der abgerundeten Stirnfläche mit der Plattenoberfläche hergestellt werden. Die Verklebungsfläche des zylinderförmigen Hilfselementes mit der Innenwandung der Bohrung muss nicht, wie bei der Kugel, ringförmig sein, sie kann vielmehr auch als Fläche ausgebildet sein. Hierdurch kann eine Klebverbindung mit deutlich höherer Festigkeit als im Fall der Kugel erreicht werden.
  • In den bisher beschriebenen Ausführungen der Erfindung lagen die Hilfselemente vor der Klebung unter ihrem Eigengewicht lose. Vorteilhafterweise kann das Hilfselement aber auch aktiv gegen eine oder mehrere Klebeflächen gedrückt werden. Zum Beispiel kann auf der der Montageplatte abgewandten Seite des Hilfselementes eine Feder in die Bohrung der Trägerplatte derart eingebracht werden, dass sie das Hilfselement auf die Montageplatte drückt. Vorteilhafterweise wird die Feder von einem Element gehalten, welches UV-durchlässig ist, also beispielsweise Borofloat aufweist. Besonders geeignet ist hierfür eine Platte, auf welcher mehrere Federn so angeordnet werden können, dass sie in einem Arbeitsgang in mehrere oder alle Bohrungen gedrückt werden können. Mit dem Anpressdruck ist der Klebespalt zwischen Hilfselement und Platte variierbar. Hierbei kann auch Klebstoff mit höherer Viskosität eingesetzt werden. Hierdurch entstünden größere Klebespalte als 0,02 mm.
  • Damit das Hilfselement nicht unter seinem Eigengewicht oder durch die andrückende Kraft aus der Bohrung fallen kann, können am Rand der Bohrung eine oder mehrere Verliersicherungen untergebracht sein. Diese verengen die Bohrung so, dass das Hilfselement nicht mehr durch die Öffnung passt.
  • Das Hilfselement kann auch auf andere Weise als durch eine Feder an die Fläche der ihm gegenüberliegenden Platte angedrückt werden. In einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird auf der der nicht die Bohrung aufweisenden Platte gegenüberliegenden Seite der die Bohrung aufweisenden Platte ein Druckluftschlauch mit einer dahinter liegenden Hilfsplatte angeordnet. Ist die Platte, in welcher die Bohrung untergebracht ist, dünner als die Ausdehnung des Hilfselementes in Richtung der Bohrung und ragt das Hilfselement auf der der nicht die Bohrung aufweisenden Platte gegenüberliegenden Seite aus der Platte hervor, so kann das Hilfselement durch Aufblasen des Druckschlauches direkt gegen seine Klebstelle mit der anderen Platte gedrückt werden. Ist die Platte mit der Bohrung breiter als die Ausdehnung des Hilfselementes in Richtung der Bohrung oder ist die zu verbindende Platte von der Platte mit der Bohrung so weit entfernt, dass das Hilfselement nicht mehr über den Rand der Bohrung in Richtung des Druckschlauches hervorragt, so kann auch ein Druckschlauch verwendet werden, welcher Löcher dort aufweist, wo er über einer Bohrung liegt. Auf diese Weise kann man Druckluft über den Schlauch in die Bohrungen einleiten. Liegt das Hilfselement hinreichend dicht an die Wandung der Bohrung an, so dass die Verbindungsstelle ganz oder zumindest teilweise luftundurchlässig ist, so wird durch die Druckluft eine Kraft gegen die Kugel ausgeübt. Die Abdichtung kann aber auch durch die Viskosität des Klebers und die zwischen Bohrungswand und Hilfselement wirkenden Kapillarkräfte eingestellt werden. Diese Kraft drückt also das Hilfselement gegen die zu verbindende Platte. Wird UV-härtender Klebstoff verwendet, so sind die Hilfsplatte und der Druckschlauch vorteilhafterweise UV-durchlässig, so dass der Klebstoff ausgehärtet werden kann, während die Kraft gegen das Hilfselement wirkt. Wie im Fall der Feder ist über den Druck die Breite des Klebespalts variierbar.
  • Im erfindungsgemäßen Verfahren kann der Klebstoff mittels einer Dosiereinrichtung auf die zu verklebenden Flächen aufgetragen werden. Vorteilhafterweise können die Innenwandungen der Bohrungen jedoch auch Ausbuchtungen aufweisen, in welche vor dem Einführen des Hilfselementes Klebstoff eingebracht wird. Auf diese Weise ist es möglich, dass das Hilfselement, während es in die Bohrung eingeführt wird, mit Klebstoff benetzt wird. Diese Klebstoffkammern können aber auch so ausgebildet sein, dass zunächst kein Klebstoff mit dem Hilfselement in Kontakt kommt und der Klebstoff erst dadurch freigesetzt wird, dass die gesamte Anordnung so umgedreht wird, dass der Klebstoff aus der Klebstoffkammer herausfließt. In Verbindung mit einem Andrücken des Hilfselementes durch Druckluft ist es hierbei besonders vorteilhaft, die Klebekammern so anzuordnen, dass die Menge des auf die Berührungsflächen aufgetragenen Klebstoffs durch den Luftdruck der Druckluft gesteuert werden kann. Hierzu kann ein Hilfselement verwendet werden, welches, wenn es in die Bohrung eingeführt wurde, einen schmalen Klebespalt freilässt, durch welchen der Klebstoff von der Druckluft gedrückt werden kann. Die genaue Bemessung der Druckluft und des Klebespaltes hängt hierbei von der Viskosität des verwendeten Klebstoffes ab. Es sei bemerkt, dass bei Verwendung eines Druckschlauches oder einer Feder das Hilfselement auch gegen seine Gewichtskraft gegen die zu verbindende Platte gedrückt werden kann. Die Klebekammern können auch so eingerichtet sein, dass sie überschüssigen Klebstoff aufnehmen.
  • Neben kugelförmigen und zylinderförmigen Hilfselementen sind auch Hilfselemente denkbar, deren Querschnitt eine beliebige andere Form hat. Der Querschnitt könnte z.B. elliptisch, rechteckig, dreieckig, sternförmig oder trapezförmig sein.
  • Besteht wegen der Transparenz gegenüber UV-Licht oder der geringen thermischen Ausdehnung die Montageplatte aus Borofloat oder die mit ihr verklebte Trägerplatte der optischen Baugruppe fertigungstechnisch bedingt aus Aluminium so führen die thermischen Ausdehnungsunterschiede zu mechanischen Spannungen in der Klebeverbindung und zu Bimetalleffekten. Hierdurch können die Klebeverbindungen zerstört werden oder die opti sche Baugruppe dejustiert werden.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung weist der Aufbau daher Komponenten zur Kompensation von Temperaturausdehnungsunterschieden auf. So können die Bohrungen beispielsweise Festkörpergelenke aufweisen, welche in einer Richtung beweglich sind und in allen anderen Richtungen steif. Vorteilhafterweise werden hierbei drei Festkörpergelenke zusammen mit einem starren Stützpunkt planar in einer der Platten verwendet. Der starre Stützpunkt kann hierbei, wie oben beschrieben, ein in eine Bohrung eingebrachtes Hilfselement sein und wird vorteilhafterweise in der Mitte der Trägerplatte und/oder der Montageplatte untergebracht. Die Festkörpergelenke sind ebenfalls in Bohrungen in der Trägerplatte und/oder der Montageplatte untergebracht. Das Festkörpergelenk kann dann an einer dritten Platte untergebracht sein, welche auf der der Montageplatte abgewandten Seite der Trägerplatte formschlüssig so angeordnet wird, dass das Festkörpergelenk in die Bohrung in der Trägerplatte hineinragt. Die Verbindung zwischen den Festkörpergelenken und den zu verbindenden Platten wird wiederum nicht direkt hergestellt, sondern über ein Hilfselement nach den oben beschriebenen Prinzipien. Sollten die Bohrungen in den Festkörpergelenken für die Hilfselemente nicht frei zugänglich sein, weil sie z.B. abgedeckt sind, so können die Hilfselemente vor der Montage und Justage der Platten in die Bohrungen eingefüllt und durch Verliersicherungen gegen Herausfallen gesichert werden. Werden in einer vorteilhaften Ausgestaltung drei Festkörpergelenke zusammen mit einem starren Stützpunkt verwendet, so werden die Bohrungen mit den Festkörpergelenken vorteilhafterweise in einem Dreieck angeordnet, dessen Mitte der starre Stützpunkt bildet. Die in einer Richtung flexiblen Festkörpergelenke werden dabei so ausgerichtet, dass sie in Richtung des starren Stützpunktes in der der Ebene der entsprechenden Platte beweglich sind, d.h. dass sie in Richtung senkrecht zur Richtung der Bohrung, in welcher sie untergebracht sind, beweglich sind.
  • Eine weitere Möglichkeit, Spannungen durch thermische Ausdehnungsunterschiede zu kompensieren, ist die Verwendung von starren Klebepunkten in Verbindung mit elastischen Klebepunkten. Hierbei werden die starren Klebepunkte in einem geringen Abstand, vorzugsweise weniger als 20 mm, voneinander angeordnet, während die elastischen Klebepunkte einen größeren Abstand voneinander aufweisen. Da die Ausdehnungsunterschiede zum Rand der verbundenen Platten hin zunehmen, wird durch eine solche Anordnung erreicht, dass die starren Klebepunkte dort zum Einsatz kommen, wo die Spannungen gering sind, während die elastischen Klebepunkte die zum Rand hin auftretenden größeren Spannungen kompensieren können. Besonders vorteilhaft ist in diesem Falle eine Anordnung von drei starren und drei elastischen Stützpunkten, wobei die drei starren Stützpunkte ein Dreieck bilden, welches im Inneren des von den drei elastischen Stützpunkten gebildeten Dreiecks liegt. Die Mittelpunkte der beiden Dreiecke fallen hierbei zusammen und die durch einen elastischen Stützpunkt und den nächstliegenden starren Stützpunkt definierten Graden treffen sich für alle Klebepunkte in diesem Mittelpunkt. Hierbei sollten alle starren und alle elastischen Klebepunkte jeweils den gleichen Abstand vom Mittelpunkt haben. Vorteilhafterweise sollte die Seitenlänge des durch die starren Stützpunkte gebildeten Dreiecks 20 mm nicht übersteigen, weil sonst die Spannungen für die meisten Klebstoffe zu groß werden.
  • Seitenlängen kleiner als 20 mm sind möglich, wenn die Platen nicht zu groß oder zu schwer sind. Andererseits können die Seitenlängen bei Temperaturschwankungen von weniger als ± 10 °C oder bei geringen Ausdehnungsunterschieden zwischen den Platten bis zu 100 mm betragen.
  • Vorteilhafterweise weist die erfindungsgemäße optische Baugruppe Vorrichtungen auf, die verhindern, dass die verbundenen Platten sich dadurch verbiegen, dass sie sich bei Temperaturänderungen unterschiedlich ausdehnen. Eine solche Vorrichtung kann z.B. eine Kompensationsplatte sein, welche auf der der Trägerplatte gegenüberliegenden Seite der Montageplatte angeordnet ist und aus dem gleichen Material besteht wie die Trägerplatte. Die Kompensationsplatte wird hierbei zur Trägerplatte symmetrisch bezüglich der Ebene der Montageplatte angeordnet. Die Kompensationsplatte weist die gleichen Hilfselemente in Bohrungen an den gleichen Stellen auf wie die Trägerplatte. Da also Trägerplatte und Kompensationsplatte aus dem gleichen Material bestehen und analog aufgebaut sind, üben sie auf die Montageplatte bei Temperaturänderung die gleichen Kräfte in entgegengesetzter Richtung aus, so dass sich ihre Wirkungen kompensieren. Vorteilhafterweise liegen die Hilfselemente in einer Platte hier nicht weiter voneinander entfernt als beispielsweise 20 mm, damit die Klebeverbindungen bei thermischen Ausdehnungen nicht zerstört werden. Als Materialien für die Hilfselemente kommen die gleichen infrage wie für jene Hilfselemente in der Trägerplatte. Vorteilhafterweise ist die Montageplatte dicker als die Trägerplatte und die Kompensationsplatte.
  • Eine andere vorteilhafte Möglichkeit, die auf die Klebestellen durch Temperaturausdehnung wirkenden Kräfte zu vermindern, ist, eine Zwischenplatte zwischen der Trägerplatte und der Montageplatte unterzubringen. Hierfür wird die Zwischenplatte mit der Montageplatte über normale Klebestellen oder über Hilfselemente im oben beschriebenen Sinne verbunden. Die Trägerplatte ist dann auf der Zwischenplatte so angeordnet, wie sie in den oben beschriebenen Beispielen auf der Montageplatte angeordnet war. Die Idee dieser Anordnung ist es, den direkten Kontakt zweier Platten mit sehr unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten zu vermeiden. Vorteilhafterweise wird deshalb für die Zwischenplatte ein Material verwendet, dessen Temperaturausdehnung zwischen jener der Montageplatte und jener der Trägerplatte liegt. In Frage kommen beispielsweise für die Montageplatte Borofloat mit einem Temperaturausdehnungskoeffizienten von α = 3,3·10–6 K–1, die Zwischenplatte kann Stahl mit einem Temperaturausdehnungskoeffizienten von α = 11·10–6 K–1, aufweisen und für die Trägerplatte kann Aluminium mit einem Temperaturausdehnungskoeffizienten von α = 23·10–6 K–1 verwendet werden. Die Materialien können auch in umgekehrter Reihenfolge verwendet werden.
  • Bei den bisher beschriebenen erfindungsgemäßen Varianten erfolgt die Klebung zwischen der Baugruppe und der Montageplatte durch lose Hilfselemente, deren Funktionsflächen senkrecht aufeinander stehen. Durch die relativ kleinen punkt- oder linienförmigen Klebestellen zwischen den Hilfselementen und den Platten ist die Festigkeit der Klebeverbindung nicht in jedem Fall höchsten Anforderungen, wie z.B. bei Fallbeanspruchung, gewachsen. Im folgenden wird eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfinderischen Idee beschrieben, welche schrumpfungsinvariant ist und gleichzeitig höchsten mechanischen Beanspruchungen standhält. Hierfür werden die Hilfselemente auf einer der beiden zu verbindenden Platten fest angeordnet. Die Platten werden dann mit einander zugewandten Plattenflächen so nebeneinander angeordnet, dass die fest montierten Hilfselemente in Bohrungen in der anderen zu verbindenden Platte hineinragen, so dass in der Bohrung um das Hilfselement ein relativ großer allseitiger Justierspalt von z.B. 0,5 mm besteht, der im allgemeinen ungleichmäßig und keilförmig sein wird. Als Hilfselemente eignen sich beispielsweise Zylinder von z.B. 10 mm Durchmesser. Die Bohrungen haben dann einen Durchmesser, der z.B. 1 mm größer ist als der Durchmesser des Hilfselements. Die Hilfselemente können in der Platte verankert sein, oder auf sie aufgeklebt sein. Letzteres ist insbesondere für die Verwendung mit schwer zu verarbeitenden Materialien von Vorteil. Die Idee des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht nun darin, dass die Klebung wie auch die Justage in zwei Schritten durchgeführt wird. Zunächst werden die beiden miteinander zu verbindenden Platten grob zueinander justiert und eine erste Vorklebung, vorteilhaft mit hochviskosem UV-Kleber mit einer Schrumpfung von nur 2%, durchgeführt, anschließend wird dann die Feinjustage vorgenommen und die beiden Platten endgültig miteinander verklebt. Die Möglichkeit einer Feinjustage nach dem groben Justieren und der Vorklebung wird dadurch geschaffen, dass vor der Vorklebung eine Hülse, das Hilfselement umgebend, in der Bohrung angeordnet wird. Nachdem der Klebstoff der groben Vorklebung ausgehärtet ist, wird diese Hülse entfernt, wodurch ein schmaler Spalt in der Bohrung entsteht. Innerhalb dieses Spaltes können nun die Platten zueinander feinjustiert werden. Ist diese Feinjustage erfolgt, wird der schmale Spalt mit Klebstoff, wie z.B. dünnflüssigem Sekundenkleber, gefüllt, welcher nach seinem Aushärten die Position der zu verbindenden Platten zueinander endgültig fixiert.
  • Für die Anordnung der Hülse, welche den Spalt für die Feinklebung erzeugt, gibt es verschiedene Möglichkeiten. Zum einen kann sie so angeordnet werden, dass sie das Hilfselement umlaufend an dieses anliegt. Wird die Hülse also nach dem Aushärten des ersten Klebstoffs entfernt, so steht das Hilfselement zunächst nicht mit Klebstoff in Berührung. Andererseits kann die Hülse (oder ein Schlauch) so in der Bohrung angeordnet werden, dass sie das Hilfselement umfassend an der Wandung der Bohrung anliegt. Der erste Klebstoff wird dann zwischen der Innenwandung der Hülse oder des Schlauches und dem Hilfselement untergebracht. Wird der Abstandshalter entfernt, entsteht der Feinjustierspalt angrenzend an die Wandung der Bohrung. Vorteilhafterweise beträgt der Abstand zwischen dem Hilfselement und der Wandung der Bohrung vor der Grobklebung z.B. 0,4 bis 0,5 mm, wobei das Hilfselement nicht an der Wandung der Bohrung anliegt. Nach der Grobklebung sollte dann ein zunächst gleichmäßiger Klebespalt von beispielsweise 0,1 mm bis 1 mm bleiben.
  • Der Vorteil dieses Verfahrens ist, dass die Grobklebeschicht beim Aushärten in ihre endgültige Position schrumpfen kann und dass die dadurch entstehende Dejustierung durch die anschließende Feinjustierung ausgeglichen werden kann. Da der Feinklebespalt deutlich schmaler ist als der ursprüngliche Abstand zwischen der Wandung der Bohrung und dem Hilfselement und in allen Richtungen gleich groß, ist die Dejustierung der Baugruppe durch Schrumpfung des Klebers der Feinklebung deutlich geringer. Wie im oben beschriebenen Verfahren stehen auch hier die Funktionsflächen, d.h. die Flächen der Verklebung, senkrecht oder nahezu senkrecht zur die Bohrung aufweisenden Plattenebene. Erfindungsgemäß kann die Feinklebehülse oder der Schlauch vor der ersten Klebung auch so eingebracht werden, dass er an der Wand der Bohrung anliegt. Hierdurch tritt beim Schrumpfen des ersten Klebers keine Dejustage auf, weil der Kleber sich in diesem Fall von der Hülse löst und einen etwa 10 μm breiten Spalt bildet.
  • Die erste und/oder zweite Klebung kann auch bei diesem Verfahren mit Sekundenkleber und/oder UV-härtenden Kleber und/oder kationischen UV-Klebstoffen durchgeführt werden. Wird UV-Kleber verwendet, so sind die Hilfselemente und/oder die Trägerplatte und/oder die Montageplatte vorteilhafterweise aus einem UV-durchlässigen Material. Auch hier kommt für die Hilfselemente beispielsweise Saphir in Frage, während die Platte zum Beispiel aus Borofloat gefertigt sein kann. Ist die Verwendung eines UV-durchlässigen Materials aus fertigungstechnischen Gründen nicht möglich, so können in der Trägerplatte und/oder der Montageplatte Öffnungen untergebracht sein, durch welche hindurch das UV-Licht auf die Klebestellen gestrahlt werden kann.
  • Der Abstandshalter, welcher in der Bohrung das Hilfselement umgebend untergebracht wird, kann eine einfache Hülse oder ein Schlauch sein. Vorteilhafterweise wird jedoch ein Material verwendet, welches sich nicht mit dem Klebstoff verbindet. Auch kann die Hülse oder der Schlauch an ihrer Oberfläche mit einer polymeren Anti-Haftschicht beschichtet sein oder Antihaftmaterialien, wie z.B. Teflon, aufweisen. Der Schlauch oder die Hülse lassen sich dann weitgehend kräftefrei aus der Bohrung entfernen.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist der Abstandshalter eine doppelwandige Manschette mit dünnen Wänden aus nicht-haftenden Materialien, wie z.B. po lymerbeschichteten Edelstahlfolien, welche mit Druckluft aufgeblasen werden kann. Der Innen- und Außendurchmesser der Manschette sollte durch die Druckluft vorteilhafterweise im Bereich von 1/10-mm variierbar sein. Durch die Elastizität der Klebemanschette in radialer Richtung kann hierbei erreicht werden, dass die Kleberschrumpfung bei der Vorklebung zu keiner Dejustage der optischen Baugruppe führt. Hierzu sollte die Festigkeit des Greifers und der Justagevorrichtung bedeutend größer sein als jene der Klebemanschette. Die Klebemanschette kann nach der groben Vorklebung aus der Bohrung entfernt werden, indem die Druckluft abgelassen wird. Als Abstandshalter für die Feinklebung kann vorteilhafterweise auch eine Klebemanschette verwendet werden, welche einen inneren und einen äußeren Folienring mit einer dazwischenliegenden dünnen Paraffinschicht aufweist. In diese Paraffinschicht ist ein Heizdraht eingebettet, mit dem die Paraffinschicht nach der Vorklebung aufgeschmolzen werden kann, so dass die Manschette aus der Bohrung entfernt werden kann. Die Folienringe müssen bei der Montage nicht unbedingt schon ringförmig geschlossen sein, sondern sie können günstigerweise auch als Folienstreifen in die Bohrung selbstspannend und überlappend eingelegt und auch wieder entfernt werden, wobei auf der Innenseite des äußeren Folienstreifens bereits vor seiner Montage die dünne Paraffinschicht mit dem eingebetteten Heizdraht aufgetragen sein soll. Die Folien können dadurch selbstspannend sein, dass sie aufgrund ihrer Elastizität den ebenen und gestreckten Zustand anstreben, den sie vor dem Einlegen in die Bohrung aufwiesen. Die Folien haben hierfür eine Dicke von z.B. 0,1 mm
  • Die Paraffinschicht, die bei ca. 50 °C schmilzt und die etwa 100 μm dick sein soll, kann vor der Montage im flüssigen Zustand auf die Folie aufgegossen werden. Für die Folienringe kommt beispielsweise Edelstahl mit einer Dicke von z.B. 20 μm in Frage, dessen glatte Oberfläche sich weder mit dem stark hydrophoben Paraffin noch mit dem Kunststoff der Vorklebung verbindet. Für den Heizdraht kann beispielsweise Konstantandraht von 10 µm bis 100 µm vorteilhafterweise von 50 µm Durchmesser verwendet werden.
  • Der Draht wird vor der Montage schleifenförmig in die flüssige Paraffinschicht auf der Folie eingelegt. Der Wärmeeintrag des Heizdrahts in den Fügespalt während des Schmelzvorgangs sollte so gering sein, dass die optische Baugruppe durch die Erwärmung nicht dejustiert wird. In Frage kommt z.B. eine Leistung von 1 W. Vorteilhafterweise wird für die erste grobe Vorklebung ein hochviskoser Kleber verwendet, während der für die Feinklebung verwendete Klebstoff dünnflüssig ist.
  • Die erfindungsgemäße Baugruppe kann wie in einem der nachfolgenden Beispiele beschrieben ausgeführt sein oder hergestellt werden. Gleiche oder ähnliche Bestandteile oder Bauteile sind in den nachfolgend beschriebenen Figuren mit identischen Bezugszeichen versehen.
  • 1 zeigt eine optische Baugruppe nach dem Stand der Technik.
  • 2 zeigt eine optische Baugruppe deren Montageplatte und deren Trägerplatte über kugelförmige Hilfselemente miteinander verbunden sind.
  • 3a zeigt vergrößert ein in einer Bohrung in der Trägerplatte angeordnetes kugelförmi ges Hilfselement.
  • 3b zeigt vergrößert ein in einer Bohrung in der Montageplatte untergebrachtes zylinderförmiges Hilfselement mit balliger Stirnfläche.
  • 4 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe, wobei die Bohrungen mit den Hilfselementen in der Montageplatte untergebracht sind.
  • 5 zeigt, wie ein Hilfselement durch eine an einer Hilfsplatte angeordnete Feder gegen die Montageplatte gedrückt wird.
  • 6 zeigt die Anordnung eines Druckschlauches, welcher ein Hilfselement durch die Trägerplatte hindurch gegen die Montageplatte drückt.
  • 7 zeigt die Anordnung eines Druckschlauches, welcher ein Loch aufweist, durch welches hindurch Druckluft das Hilfselement gegen eine Montageplatte drückt.
  • 8 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe, welche Festkörpergelenke aufweist.
  • 9 zeigt eine vorteilhafte Anordnung von Festkörpergelenken in der Trägerplatte.
  • 10 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe mit einer Kombination von Verbindungen über Hilfselemente und elastischen Klebepunkte.
  • 11 zeigt eine vorteilhafte Anordnung von festen und elastischen Klebepunkten.
  • 12 zeigt eine optische Baugruppe, welche eine Kompensationsplatte aufweist.
  • 13 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe mit einer zwischen einer Trägerplatte und einer Montageplatte angeordneten Zwischenplatte.
  • 14 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe mit fest an der Trägerplatte angeordneten Hilfselementen und um die Hilfselemente angeordnete Hülsen zur Erzeugung eines Feinklebespaltes.
  • 15 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe mit fest an der Trägerplatte angeordneten Hilfselementen nachdem eine Grobklebung vorgenommen wurde und die Hülse zur Erzeugung eines Feinklebespaltes entfernt worden ist.
  • 16 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe mit fest an der Trägerplatte angeordneten Hilfselementen, einer Grobklebung sowie einer Feinklebung innerhalb der Bohrung.
  • 17 zeigt das Ergebnis einer zweistufigen Klebung, wobei die Hülse zur Erzeugung des Feinklebespaltes an der Wandung der Bohrung anlag.
  • 18 zeigt den Aufbau einer optischen Baugruppe, wobei die zweistufige Klebung in Bohrungen durchgeführt wurde, welche in der Trägerplatte untergebracht sind.
  • 19 zeigt einen Ausschnitt um eine Bohrung, in welcher zur Erzeugung eines Feinklebespaltes eine aufblasbare Manschette untergebracht ist.
  • 20 zeigt einen Ausschnitt um eine Bohrung, in welcher zur Erzeugung eines Feinklebespaltes eine Manschette mit zwei Folienschichten, eine dazwischenliegende Paraffinschicht sowie eine Heizvorrichtung untergebracht sind.
  • 21 zeigt die Verwendung einer Formgedächtnismanschette, welche sich im gespannten Zustand befindet.
  • 22 zeigt die Verwendung einer Formgedächtnismanschette, welche sich im entspannten Zustand befindet.
  • 2 zeigt den Schnitt durch eine erfindungsgemäße optische Baugruppe. Auf einem Sockel 24 liegt hierbei eine Montageplatte 11 auf. Die Fläche dieser ebenen Platte 11 liegt dabei im wesentlichen parallel zur Erdoberfläche. Auf der dem Sockel 24 abgewandten Seite der Montageplatte 11 ist eine Trägerplatte 22 angeordnet, welche auf ihrer der Montageplatte 11 abgewandten Seite ein optisches Bauelement 15 trägt, welches mit der Trägerplatte 22 fest verbunden ist. Das optische Bauteil 15 wird hierbei von einem Greifer 23 an seiner der Trägerplatte abgewandten Seite gehal ten. Der Greifarm 23 kann mit einer in der Figur nicht gezeigten Justiervorrichtung verbunden sein. Auf diese Weise ist es möglich, die Lage der Trägerplatte 22 und der auf ihr angeordneten optischen Bauteile 15 mit Hilfe des Greifarms 23 an der optischen Achse 28 auszurichten.
  • Die Trägerplatte 22 weist senkrecht zu ihrer Fläche stehende Bohrungen 25a und 25b auf, in welcher Hilfselemente 21a und 21b untergebracht sind. Ein drittes Hilfselement 21c ist außerhalb der Figurenebene ebenfalls in einer Bohrung untergebracht, welche nicht gezeigt ist. Die Hilfselemente 21a, 21b, 21c sind in ihrer Bohrung 25a, 25b über Klebestellen 27a und 27b bzw. 27c und 27d mit der Wandung der Bohrung verklebt. Dort, wo die Hilfselemente 21a, 21b, 21c die Trägerplatte 11 berühren, sind Klebestellen 26a, 26b und 26c so untergebracht, dass die Verbindungselemente 21a, 21b, 21c mit der Montageplatte 11 fest verbunden sind. Die Hilfselemente 21a, 21b, 21c sind so geformt, dass ihr Umriss, in Richtung der Bohrung 25a, 25b betrachtet, parallel zur Wandung der Bohrung 25a, 25b verläuft. Wird also das Hilfselement 21a, 21b, 21c von oben, d.h. von der der Erdoberfläche abgewandten Seite der Trägerplatte, in die Trägerplatte eingelegt, so wird das Hilfselement von der Bohrung 25 geführt und ist in radialer Richtung nur wenig beweglich. Im gezeigten Aufbau liegen die Trägerplatte 22 und die Montageplatte 11 nicht exakt parallel. Die Unterseite der Trägerplatte ist zwar der Oberseite der Montageplatte zugewandt, die beiden Platten bilden jedoch einen spitzen Winkel zueinander. Dadurch ergibt es sich, dass das Hilfselement 21b tiefer in der ihm zugeordneten Führung 25b liegt als das Hilfselement 21a in der Öffnung 25a. Während die Trägerplatte 22 die Montageplatte 11 an keiner Stelle be rührt, so liegen die beiden Platten bei der Bohrung 25a doch so dicht zusammen, dass das Hilfselement 21a auf der der Montageplatte abgewandten Seite aus der Bohrung der Trägerplatte 22 hervorragt.
  • 3a zeigt einen Ausschnitt um die Bohrung 25a in der Trägerplatte 22. Das kugelförmige Hilfselement 21a ist hierbei über Schichten von Klebstoff 27a und 27b mit den Wandungen der Bohrung und über eine Klebstofffläche 26a mit der Montageplatte verbunden. Weisen die Klebeschichten UV-härtenden Kleber auf, so werden zur Aushärtung des Klebers die Klebepunkte 27a, 27b und 26a mit UV-Licht 31 beschienen. Im hier gezeigten Fall weist das kugelförmige Hilfselement 21a ein UV-durchlässiges Material, wie z.B. Saphir, auf. Auf diese Weise kann der Klebstoff 27a, 27b und 26a durch Bestrahlung mit UV-Licht von der der Montageplatte 11 abgewandten Seite der Trägerplatte 22 ausgehärtet werden. Es ist aber auch möglich, die Montageplatte 11 UV-durchlässig zu gestalten, so dass die Bestrahlung mit UV-Licht 31 von unten vorgenommen werden kann. Als Material für die Platte kommt z.B. Borofloat in Frage. Man beachte, dass die Klebeflächen 27a und 27b in Form einzelner Klebepunkte, einzelner Klebeflächen oder einzelner Klebelinien ausgebildet sein können, sie können aber auch das Hilfselement 21a entlang seiner kompletten Berührungsfläche zur Wandung der Führung 25a umlaufen.
  • 3b zeigt den gleichen Ausschnitt aus einer optischen Baugruppe wie 3a. Im Unterschied zu 3a weist das hier verwendete Hilfselement 21 jedoch in Richtung der Bohrung 25 parallel zu der Wandung der Bohrung verlaufenden Seitenflächen auf. Im einfachsten Fall ist dieses Hilfselement 21 zylinderförmig, so dass bei Aufsicht in Richtung der Bohrung ein kreisförmiger Querschnitt vorliegt. Das Hilfselement könnte aber beispielsweise auch dreieckig oder rechteckig ausgebildet sein. Als weitere Besonderheit zeigt 3b, dass das Hilfselement 21 eine der Montageplatte 11 zugewandte, nach außen gewölbte Stirnfläche 32 aufweist. An dieser balligen Stirnfläche 32 ist das Hilfselement über eine Klebeschicht 26 mit der Montageplatte 11 verbunden. Durch den Krümmungsradius der abgerundeten Stirnfläche 32 ist die Ausdehnung der Klebefläche 26 beeinflussbar. Das hier gezeigte Hilfselement 21 hat darüberhinaus den Vorteil, dass die Klebestellen zur Wandung der Bohrung 27a und 27b eine deutlich größere Fläche haben als im Fall der Kugel.
  • 4 zeigt eine optische Baugruppe, bei welcher der optische Aufbau 15 und die Trägerplatte 22 von unten mit der Montageplatte 22 verbunden werden. In diesem Falle weist die Montageplatte 22 Bohrungen 25a und 25b sowie vorteilhafterweise eine dritte Bohrung außerhalb der Figurenebene auf, welche senkrecht zur Ebene der Montageplatte stehen. Wird die optische Baugruppe auf diese Weise zusammengesetzt, so wird zunächst der optische Aufbau 15, welcher z.B. das Detektionsmodul eines Laserscanmikroskops sein kann, mit der Trägerplatte 22 verbunden. Die Einheit aus optischem Aufbau 15 und Trägerplatte 22 wird dann mittels eines Greifarms 23 so angeordnet, dass die Trägerplatte 22 unterhalb der Montageplatte 11 mit der Montageplatte 11 zugewandter Fläche benachbart liegt. Die Montageplatte 11 und die Trägerplatte 22 liegen dabei im allgemeinen nicht exakt parallel, sondern bilden zueinander einen spitzen Winkel, so dass sich ein schmaler Spalt variierender Breite zwischen den beiden Platten ergibt. Ist nun die Trägerplatte 22 gegenüber der Montageplatte 11 entsprechend der optischen Achse 28 justiert, so werden die Verbindungselemente 21a, 21b und 21c in die ihnen entsprechenden Führungen 25a, 25b und die dritte, nicht gezeigte Bohrung belegt, so dass sie von der Bohrung 25a, 25b in eine Richtung geführt werden und anschließend auf der Trägerplatte 22 aufliegen. Anschließend werden zwischen den Verbindungselementen 21a, 21b, 21c und den Wandungen der Bohrungen 25a, 25b sowie zwischen den Verbindungselementen 21a, 21b, 21c und der Trägerplatte 22 feste Verbindungen hergestellt. Hierzu wurde vor oder nach dem Einführen der Hilfselemente 21a, 21b, 21c in die Bohrungen 25a, 25b und die nicht gezeigte dritte Bohrung auf die späteren Kontaktflächen 26a, 26b, 27a-27d Klebestoff aufgetragen. Dies kann Sekundenkleber sein oder auch UV-härtender Kleber. Letzterer wird zum Aushärten mit UV-Licht bestrahlt. Wie schon in den vorher beschriebenen Beispielen sind hierfür einige Elemente aus UV-durchlässigem Material, wie z.B. Saphir oder Borofloat, hergestellt. Das UV-Licht kann dann durch diese Elemente hindurch auf die Klebestellen 27a, 27b, 27c, 27d sowie 26a und 26b und die nicht gezeigten Klebestellen gestrahlt werden.
  • 5 zeigt, wie mittels einer Feder 52 ein Hilfselement 21 entgegen oder zusammen mit seiner Gewichtskraft gegen eine gegenüberliegende Platte 11 gedrückt werden kann. Die Feder 52 ist hierzu an einer Hilfsplatte 51 befestigt, wobei auch mehrere Federn 52 so an der Hilfsplatte 51 befestigt sein können, dass mehrere Hilfselemente 21 in einem Arbeitsschritt gegen die Montageplatte 11 gedrückt werden können. Die Hilfsplatte 51 wird hierzu auf der der Montageplatte 11 gegenüberliegenden Seite der Trägerplatte 22 parallel zu dieser angeordnet, so dass die Federn in die Bohrungen hineinragen und die Hilfsele mente nach außen drücken. Um zu verhindern, dass die Hilfselemente während des Herstellungsprozesses aus der Bohrung hinausfallen, kann die Bohrung an ihrem Rand ein oder mehrere Verliersicherungen 53 aufweisen. Diese Verliersicherungen 53 verengen den Querschnitt der Bohrung 25 in einem kleinen Bereich, so dass das Hilfselement 21 diesen Bereich nicht mehr passieren kann. Die Klebestellen 26 und 27a, 27b werden wie in den obigen Beispielen beschrieben hergestellt. Soll die Aushärtung des Klebstoffes 27a, 27b, 26 durch Bestrahlung mit UV-Licht 31 erfolgen, so kann die Hilfsplatte 51 UV-durchlässiges Material, wie z.B. Borofloat, aufweisen.
  • 6 zeigt eine Ausschnittsvergrößerung aus einer erfindungsgemäßen optischen Baugruppe, wobei die Hilfskugel 21 mit Hilfe eines Druckschlauches 61 von unten durch die Trägerplatte 22 hindurch gegen die Montageplatte 11 gedrückt wird. Auf der der Trägerplatte abgewandten Seite des Druckschlauches 61 ist eine Hilfsplatte 51 untergebracht, welche den Druckschlauch 61 gegen die Trägerplatte 22 und die aus ihrer Ebene in Richtung des Druckschlauchs herausragende Hilfskugel 21 drückt. Die Andruckkraft des Schlauches gegen das Hilfselement 21 und damit die Andruckkraft des Hilfselementes 21 gegen die Montageplatte 11 lässt sich durch die Zufuhr von Druckluft 63 durch einen Zuführschlauch 64 einstellen. Im hier gezeigten Beispiel weist die Wandung der Bohrung 25 Klebstoffkammern 62 auf, in welche vor der Montage Klebstoff eingebracht wird, welcher dann beispielsweise durch die Wirkung der Gravitationskraft aus der Klebekammer 62 herausfließt und dadurch eine Klebeverbindung 27 zwischen der Wandung der Bohrung und dem Hilfselement 21 herstellt. Wie in den vorhergehenden Beispielen kann auch hier UV-härtender Kleber verwendet werden.
  • In diesem Fall müssen die Hilfsplatte 51, der Druckschlauch 61 und das Hilfselement 21 UV-transparent sein, so dass ultraviolettes Licht 31 auf den Klebstoff 26, 27 gestrahlt werden kann. Alternativ kann natürlich auch die Montageplatte 11 UV-Transparent sein, so dass die UV-Bestrahlung 31 von oben durchgeführt werden kann. Der Vorteil der ersteren Ausführung ist jedoch, dass für die Komponenten der fertigen optischen Baugruppe jene Materialien ausgewählt werden können, welche funktional am günstigsten sind, ohne dass Rücksicht darauf genommen werden muss, ob diese Materialien UV-transparent sind. Einzig das Hilfselement 21 muss durchlässig für ultraviolettes Licht sein.
  • 7 zeigt einen Ausschnitt aus einer erfindungsgemäßen optischen Baugruppe, wobei ein Hilfselement 21 in einer Bohrung 25 untergebracht ist, deren Tiefe so groß ist, dass das Hilfselement auf der der zu verbindenden Platte gegenüberliegenden Seite der Trägerplatte 22 nicht hervorragt. Der Druckschlauch 61 kann in diesem Fall nicht wie im vorhergehenden Beispiel direkt auf das Hilfselement 21 drücken. Um das Hilfselement 21 dennoch gegen seine Verbindungsstelle 26 zur Montageplatte 11 drücken zu können, weist der Druckschlauch dort, wo er über der Bohrung 25 liegt, ein Loch 71 auf, durch welches Druckluft in die Bohrung 25 strömen kann. Das Hilfselement 21 sowie der Klebstoff 27a, 27b sind nun so in der Bohrung 25 untergebracht, dass zum einen das Hilfselement 21 die Bohrung auf ihrem Umfang bis auf einen kleinen Spalt zwischen Hilfselement 21 und Wandung der Bohrung 25 ausfüllt und zum anderen der Klebstoff 27a, 27b den verbleibenden Raum des Umfangs der Bohrung 25 vollständig ausfüllt. Das Hilfselement 21 schließt dadurch zusammen mit dem Kleber 27a, 27b durch dessen Viskosität und den zwischen Hilfskugeln und Bohrungswandung wirkenden Kapillarkräften die Bohrung in Richtung der Montageplatte 11 luftdicht ab. Dadurch übt die durch das Loch 71 im Druckschlauch 61 strömende Druckluft 63 eine Kraft auf das Hilfselement 21 in Richtung der Montageplatte 11 aus. Die Druckluft 63 drückt also das Hilfselement 21 gegen die Klebefläche 26 zwischen dem Hilfselement 21 und der Montageplatte 11. Vorteilhafterweise können in der Wandung der Bohrung 25 Klebekammern 62 untergebracht sein, in welche Klebstoff gefüllt wird bevor das Hilfselement 21 in die Führung 25 eingeführt wird. Bewegt sich nun das Hilfselement 21 durch die Bohrung 25 hindurch an den Klebekammern 62 vorbei, so wird es an seinen an die Wandung der Führung 25 grenzenden Flächen mit Klebstoff 27a, 27b benetzt. Die Klebekammern können auch verwendet werden, um überschüssigen Klebstoff aufzunehmen. Je nach Ausgestaltung der Klebekammern 62 kann die Benetzung des Hilfselementes mit Klebstoff 27a, 27b auch dadurch verursacht werden, dass die gesamte Anordnung umgedreht wird, so dass Klebstoff durch Wirkung der Gewichtskraft aus der Klebkammer 62 herausfließt. Wird UV-härtender Klebstoff verwendet, so sind wiederum Hilfsplatte 51, Druckschlauch 61 und Hilfselement 21 Vorteilhafterweise aus UV-transparentem Material. Die Verwendung eines Druckschlauches 61 eignet sich hier, wie auch im vorhergehenden Beispiel, natürlich auch zur Montage der Baugruppe in umgekehrter Lage, d.h. dass die Hilfsplatte 51 und der Druckschlauch 61 über der Trägerplatte 22 liegen, während die Montageplatte 11 unterhalb der Trägerplatte 22 angeordnet ist.
  • 8 zeigt eine erfindungsgemäße Baugruppe, deren Hilfselement 21a in einem Festkörpergelenk 81 gelagert ist. Wiederum wird der optische Aufbau 15, wel cher auf der Trägerplatte 22 fest angeordnet ist, mittels eines Greifers 23 gegenüber der Montageplatte 11 justiert. Anschließend werden die festen Verbindungen 26 und 27 hergestellt. Wird nun die optische Baugruppe unterschiedlichen Temperaturen ausgesetzt, so werden ihre Bestandteile sich im allgemeinen unterschiedlich ausdehnen. Dehnt sich aber die Montageplatte 11 anders aus als die Trägerplatte 21, so wirkt auf die Klebestellen 26, welche die Hilfselemente mit der Montageplatte verbinden, eine Kraft, die umso größer ist, je unterschiedlicher das Temperaturausdehnungsverhalten der beiden Platten ist. Damit durch diese Spannungen die Klebeverbindungen 26 nicht zerstört werden, können ein oder mehrere Hilfselemente 21a in Festkörpergelenken 81 untergebracht sein, welche in Richtung der auftretenden Spannungen elastisch nachgiebig sind. Die Beweglichkeit erfolgt hierbei durch die Elastizität des Materials. Das Festkörpergelenk 81 ist seinerseits in einer Bohrung 25 untergebracht, während das dieser Bohrung zugeordnete Hilfselement 21a in dem Festkörpergelenk 81 so untergebracht ist, dass zwischen den Wänden des Festkörpergelenkes 81 und dem Hilfselement 21a ein schmaler Klebespalt entsteht, in welchem eine Klebeverbindung 27 hergestellt wird. Die Verbindung zwischen Trägerplatte 22 und Montageplatte 11 erfolgt hier also zunächst über die Verbindung der Trägerplatte 22 mit dem Festkörpergelenk 81, welches seinerseits über die Klebeverbindungen 27 mit dem Hilfselement 21a verbunden ist, welches dann seinerseits über eine Klebestelle 26 mit der Montageplatte 11 verklebt ist. Vorteilhafterweise können die Festkörpergelenke durch Snap-In-Verbindungen in der Platte montiert werden. Das Festkörpergelenk 81 ist vorzugsweise nur in einer Richtung beweglich gestaltet, so dass in dieser Richtung thermische Spannungen aufgenommen werden können, in den anderen Richtungen aber die notwendige Stabilität gewährleistet wird. Besonders vorteilhaft ist die Kombination von Hilfselementen 21a, welche in Festkörpergelenken 81 gelagert sind, mit solchen Hilfselementen 21b, welche direkt mit der ihnen zugeordneten Bohrung 25b verbunden sind. Auf diese Weise können in den Bereichen, wo die auftretenden thermischen Spannungen gering sind, feste, stabile Verbindungen hergestellt werden, während in solchen Bereichen, wo die auftretenden thermischen Spannungen hoch sein werden, elastisch gelagerte Klebeverbindungen untergebracht werden können. Die Festkörpergelenke können z.B. monolithisch durch Drahterodieren oder Fräsen aus Titan – oder Al-Legierungen oder aus einem Aluminium-Strangprofil hergestellt werden. Die in den anderen Beispielen beschriebenen Techniken zur UV-Aushärtung des Klebestoffes und zum Andrücken von Hilfselementen 21 gegen die eine oder andere Platte 11, 22 und zum Verkleben lassen sich natürlich auch in Verbindung mit Festkörpergelenken 81 anwenden. Durchstößt die das Festkörpergelenk 81 aufweisende Bohrung 25a die Platte, in welcher sie untergebracht ist, nicht, und bildet sie dort nur eine Art Topf, so kann das Festkörpergelenk 81 in der Bohrung 25a an dem Boden der Bohrung 25a befestigt sein. Durchstößt die das Festkörpergelenk 81 aufweisende Bohrung 25a die Trägerplatte 22 jedoch, so kann das Festkörpergelenk 82 auch an einer zusätzlichen Platte 81 befestigt sein, welche auf der der zu verbindenden Montageplatte 11 abgewandten Seite der Trägerplatte 22 parallel zu dieser fest mit der Trägerplatte 22 verbunden ist. Das hier Gesagte gilt selbstverständlich auch für den Fall, dass mehrere Bohrungen 25 Festkörpergelenke 81 aufweisen.
  • Für die Verwendung von Festkörpergelenken 81 ist die in 9 gezeigte Anordnung von in Festkörpergelenken 81a, 81b, 81c untergebrachten Hilfselementen 21a, 21b, 21c in Verbindung mit einem fest angeordneten Hilfselement 21d besonders vorteilhaft. Hierbei sind die Bohrungen 25a, 25b, 25c in einem Dreieck angeordnet, dessen Mitte das feste Hilfselement 21d bildet. Die Festkörpergelenke 81a, 81b, 81c, welche in diesen Bohrungen 25a, 25b, 25c untergebracht sind, haben jeweils eine mögliche Bewegungsrichtung. Diese Bewegungsrichtung ist in Richtung des festen Hilfselementes 21d, also in Richtung der Mitte des Dreiecks, ausgerichtet.
  • 10 zeigt eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen optischen Baugruppe. Hierbei werden die beiden miteinander zu verbindenden Platten 11 und 22 über eine Kombination von festen Verbindungsstellen 26 mit elastischen Verbindungsstellen 101a, 101b miteinander verbunden. Die elastischen Klebestellen 101a, 101b sind geeignet, Spannungen, welche bei unterschiedlichen Temperaturen auftreten, aufzunehmen. Wiederum werden die festen Verbindungen 26 vorteilhafterweise in Bereichen der Platten untergebracht, welche nur geringen thermischen Ausdehnungen unterworfen sind, während die elastischen Verbindungen in jenen Bereichen angebracht werden, in denen bei Temperaturänderung große Spannungen auftreten können. Wie auch in den vorhergehenden Ausführungsformen der optischen Baugruppe bilden auch hier die Montageplatte und die Trägerplatte 22 einen Winkel zueinander, wodurch der Abstand der beiden Platten 11 und 22 nicht an allen Klebepunkten 101a, 101b gleich breit ist. Hierdurch weisen die elastischen Klebestellen 101a, 101b je nach ihrer Lage eine unterschiedliche Dicke auf.
  • Werden in dieser Weise elastische Verbindungen 101a, 101b, 101c in Verbindung mit festen Klebestellen 21a, 21b, 21c verwendet, so werden vorzugsweise drei elastische Klebestellen 101a, 101b, 101c in Verbindung mit drei festen Klebestellen 21a, 21b, 21c wie in 11 dargestellt angeordnet. Die Verbindungspunkte werden hierbei in Form eines Y so angeordnet, dass der Verbindungspunkt der Schenkel des Y in der Mitte der Trägerplatte liegt. Auf jedem Schenkel des Y befindet sich auf der zur Mitte hin gewandten Seite ein fester Klebepunkt 21a, 21b, 21c und auf der der Mitte abgewandten Seite des Schenkels ein elastischer Klebepunkt 101a, 101b, 101c. Die Entfernung aller festen Verbindungsstellen 21a, 21b, 21c zum Mittelpunkt des Y 111 ist gleich groß, ebenso ist die Entfernung jedes elastischen Klebepunktes 101a, 101b, 101c zur Mitte des Y 111 die gleiche. Vorteilhafterweise sollte der Abstand der festen Klebeverbindungen 21a, 21b, 21c zueinander 20 mm nicht übersteigen.
  • Neben dem Problem der Beanspruchung der Verbindungsstellen 26 durch thermische Spannungen besteht bei der Verwendung von Platten aus Materialien mit unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten das Problem, dass die Platten sich durch die auftretenden Spannungen verbiegen können. 12 zeigt eine vorteilhafte Ausgestaltung der optischen Baugruppe, bei welcher auf der der Trägerplatte 22 abgewandten Seite der Montageplatte 11 eine Kompensationsplatte 121 symmetrisch zur Trägerplatte 22 angeordnet ist. Auch diese Kompensationsplatte 121 ist mit der Trägerplatte 11 über Hilfselemente 122a, 122b, 122c verbunden. Für die Montage und die Anordnung dieser Hilfselemente gilt das in den vorhergehenden Ausführungsformen geschilderte. Jedes der Hilfselemente 122a, 122b, 122c ist in einer ihm zugeordneten Bohrung in der Ge genplatte 121 genau gegenüberliegend einem Hilfselement 21a, 21b, 21c in der Trägerplatte 22 untergebracht. Die Kompensationsplatte 121 weist das gleiche Material auf wie die Trägerplatte 22. Sie ist also das genaue Spiegelbild der Trägerplatte 22, gespiegelt an der Ebene der Montageplatte 11. Auch in diesem Aufbau kann UV-härtender Kleber verwendet werden, es gilt zur UV-Durchlässigkeit der verwendeten Materialien das oben für die anderen Ausführungsformen der Erfindung geschilderte.
  • 13 zeigt eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen optischen Baugruppe. Hierbei wird zur Aufnahme der thermischen Spannungen zwischen der Montageplatte 11 und der Trägerplatte 22 eine Zwischenplatte 131 angeordnet. Vorteilhafterweise liegt der Temperaturausdehnungskoeffizient dieser Zwischenplatte 131 zwischen jenem der Trägerplatte 22 und jenem der Montageplatte 11. Die Ausgleichsplatte 131 ist mit der Montageplatte 11 über Klebstoffpunkte 132 verbunden. Die Trägerplatte 22 ist mit der Zwischenplatte 131 ebenso verbunden, wie die Zwischenplatte 22 mit der Montageplatte 11 in den vorhergehenden Beispielen. Es können hierbei dieselben Anordnungen von Hilfselementen, von Festkörpergelenken und Klebepunkten auftreten wie in den oben genannten Ausführungsformen. Die Klebstoffverbindungen zwischen der Zwischenplatte 131 und der Montageplatte 11 können so gestaltet sein, dass sie Temperaturausdehnungsunterschiede aufnehmen können. Als Materialien für die Platten kommen für die Trägerplatte z.B. Aluminium mit einem Temperaturausdehnungskoeffizienten von α = 23·10–6 K–1, für die Zwischenplatte beispielsweise Stahl mit einem Temperaturausdehnungskoeffizienten von α = 11·10–6 K–1 und für die Montageplatte z.B. Borofloat, mit einem Temperaturausdehnungskoef fizienten von α = 3,3·10–6 K–1 in Frage.
  • Die 14 bis 20 sollen im folgenden Beispielhaft ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Verbinden einer Trägerplatte 22 mit einer Montageplatte 11 veranschaulichen. Hierbei ist, wie in den vorhergehenden Beispielen, auf der Trägerplatte 22 eine Gruppe von optischen Elementen 15 angeordnet, welche mit Hilfe eines Greifarms 23 entsprechend einer optischen Achse 28 justiert werden sollen. Es wird aber nun eine Trägerplatte verwendet, an welcher die Hilfselemente 21a und 21b fest untergebracht sind. Diese Hilfselemente 21a, 21b können in der Trägerplatte 22 verankert sein oder vor Beginn der Justage z.B. durch Kleben oder Löten fest mit der Trägeplatte 22 verbunden werden. Die Montageplatte 11 weist für dieses Verfahren Bohrungen 25a und 25b auf. Es wird nun zunächst die Trägerplatte 22 so neben der Montageplatte 11 angeordnet, dass je ein Hilfselement 21a, 21b der Trägerplatte in eine Bohrung 25a, 25b in der Montageplatte 11 hineinragt. Vor oder nach dieser Anordnung wird ein Schlauch 141 oder eine Hülse 141 das jeweilige Hilfselement 21a, 21b umfassend in die Bohrungen eingelegt. Die Abstandshülse 141 kann dabei an dem Hilfselement 21a, 21b oder an der Wandung der Bohrung 25a, 25b anliegen. Es folgt nun eine erste Justage der Trägerplatte 22 gegenüber der Montageplatte 11 mittels des Greifarms 23, der mit einer Justiervorrichtung, welche nicht gezeigt ist, verbunden sein kann. Es entsteht dabei innerhalb der Bohrung ein freier Raum 142.
  • Wie in 15 gezeigt, wird nun ein erster Klebstoff 151 in den verbleibenden Abstand 142 der 14 eingebracht. Nach dem Aushärten dieses ersten Klebers 151 wird der Schlauch 141 aus der jeweiligen Bohrung entfernt. Hierfür ist es vorteilhaft, wenn dieser Abstandshalter 141 Antihaftmaterialien wie z.B. Teflon aufweist oder mit polymeren Antihaftschichten beschichtet ist, damit sich seine Oberflächen nicht mit dem Kleber verbinden. Ist die Hülse 141 aus der Bohrung 25a, 25b entfernt, so bleibt, wenn die Hülse 141 an dem Hilfselement 21a, 21b anlag, zwischen dem Hilfselement 21a, 21b und dem ausgehärteten ersten Klebstoff 151 ein schmaler Spalt 152. Lag die Hülse 141 an der Wandung der Bohrung 25a, 25b an, so entsteht dieser schmale Spalt 152 zwischen der Wandung der Bohrung 25a, 25b und dem ausgehärteten ersten Klebstoff 151. Es wird nun die optische Baugruppe mit Hilfe des Greifers 23 ein zweites Mal justiert, wobei als Bereich für die Einstellung der Lage der Trägerplatte 22 zur Montageplatte 11 nur noch der kleine Raum 152 zur Verfügung steht.
  • Ist die optische Achse 28 wunschgemäß ausgerichtet, so wird im nächsten Schritt, wie in 16 gezeigt, ein zweiter Klebstoff 161 eingebracht. Dieser stellt eine stoffschlüssige Verbindung zwischen dem ersten Kleber 151 und dem Hilfselement 21a, 21b her. Der erste Kleber 151 wie auch der zweite Kleber 161 können Sekundenkleber oder UV-härtender Kleber sein. Für den Fall, dass UV-Kleber verwendet wird, erfolgt die Aushärtung durch Einstrahlung von UV-Licht 31 nach dem zweiten Justageschritt. Um die Einstrahlung von UV-Licht zu ermöglichen, können die Montageplatte 11 und/oder die Trägerplatte 22 UV-durchlässig, z.B. aus Borofloat, gestaltet sein. Für das Hilfselement 21a, 21b kann auch hier Saphir verwendet werden. Es besteht aber auch die Möglichkeit, für den Fall dass keine UV-durchlässigen Materialien verwendet werden sollen, in der Trägerplatte 22 Öffnungen 162 unterzu bringen, durch welche das UV-Licht 31 auf die Klebstoffe 151 oder 161 gestrahlt werden kann. Hierzu sind kationische UV-Klebstoffe geeignet.
  • 17 zeigt eine optische Baugruppe entsprechend 16 mit dem Unterschied, dass bei ihrer Herstellung die Hülse 141 nicht an dem Hilfselement 21a, 21b anlag, sondern an der Wandung der Bohrung. Dadurch liegt der erste Klebstoff 151 an dem Hilfselement 21a, 21b an, während der zweite Klebstoff 161 den verbleibenden Spalt zwischen Wandung der Bohrung und erstem Klebstoff 151 auffüllt. Alles zu 16 gesagte gilt auch hier.
  • 18 zeigt eine nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Baugruppe. Das Verfahren verlief analog zu dem, welches für die vorhergehenden Figuren geschildert wurde. Hier sind jedoch die Hilfselemente 21a, 21b an der Montageplatte 11 angeordnet, welche in Bohrungen 25a, 25b in der Trägerplatte 22 ragen. Wie auch im oben geschilderten Verfahren wurde ein Abstandshalter 141 in die Bohrung 25a, 25b eingebracht, dann die Bohrung 25a, 25b mit einem ersten Klebstoff 151 ausgefüllt, anschließend der Hilfsschlauch 141 entfernt, die Baugruppe feinjustiert und dann ein zweiter Klebstoff 161 in die verbleibenden Freiräume innerhalb der Bohrung 25a, 25b eingebracht, welcher abschließend durch Einstrahlung von ultraviolettem Licht 31 ausgehärtet wurde. Ist die Montageplatte 11 nicht aus UV-durchlässigem Material gefertigt, so kann sie Bohrungen 162 aufweisen, durch welche hindurch der Klebstoff mit ultraviolettem Licht 31 beschienen wird.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung des geschilderten Verfahrens wird, wie in 19 gezeigt, als Ab standshülse 141 eine aufblasbare Druckmanschette verwendet. Diese wird vor Einbringen des ersten Klebers 151 über eine Zuleitung 191 mit Druckluft gefüllt, wodurch ihr Durchmesser im Bereich von Zehntel Millimetern variierbar ist. Die Klebemanschette 141 sollte dünnwandig, aus nicht-haftenden Materialien, wie z.B. polymerbeschichteten Edelstahlfolien, hergestellt sein und eine Druckluftkanüle aufweisen. Vorteilhafterweise hält der Greifarm 23 die Trägerplatte 22 so fest, dass durch Schrumpfung des ersten Klebers 151 auftretende Kräfte die erste Justierung nicht beeinflussen, sondern von der Druckluftmanschette 141 abgefedert werden. Ist der erste Kleber 151 ausgehärtet, wird die Druckluft abgelassen und die Manschette 141 aus dem Loch 25 entfernt. Es erfolgt nun wie im oben geschilderten Verfahren die Feinjustierung und das Einbringen des zweiten Klebers 161.
  • Anstelle einer Hülse 141 oder eine Druckluftmanschette 141 kann, wie in 20 gezeigt, eine Manschette 141 mit einer Paraffinschicht 204, welche zwischen zwei Folien 202, 203 untergebracht ist, verwendet werden. Die Manschette 141 weist hierbei eine äußere Folienschicht 202, eine innere Folienschicht 203 und eine zwischen den beiden Folienschichten eingebrachte Paraffinschicht 204 auf. In die Paraffinschicht 204 ist eine Heizvorrichtung 201 eingelassen. Mit dieser Heizvorrichtung 201 kann die Paraffinschicht 204 nach dem Einbringen des ersten Klebers 151 aufgeschmolzen werden, so dass die Manschette 141 aus der Bohrung 25 entfernt werden kann. Die Folienringe 202, 203 sollen verhindern, dass das stark hydrophobe Paraffin 204 auf die Klebeflächen des Feinklebespaltes gelangt. Nach dem Aufschmelzen der Paraffinschicht 204 sind die Folienhülsen 202 und 203 kräftefrei aus der Bohrung 25 in der Platte herausziehbar und es entsteht ein Klebespalt 152 für die Feinklebung. Die Folienringe 202 und 203 müssen bei der Montage nicht unbedingt schon ringförmig geschlossen sein, sie können auch als Folienstreifen 203, 202 in die Bohrung 25 selbst spannend und überlappend eingelegt und auch wieder entfernt werden, wobei auf der Innenseite des äußeren Folienstreifens 202 bereits vor seiner Montage die dünne Paraffinschicht 204 mit dem eingebetteten Heizdraht 201 aufgetragen wird. Die Folienstreifen 202, 203 werden zu einem Zylinder zusammengerollt und in die Bohrung gestreckt. Nach dem Loslassen legt sich die Folie 202, 203 elastisch an der Bohrung an. Die Paraffinschicht 204 hat vorteilhafterweise eine Dicke von 100 μm und schmilzt bei ca. 50 °C. Sie kann vor der Montage in flüssigem Zustand auf die Folie 202 aufgegossen werden. Die Folien 202 und 203 ihrerseits können z.B. Edelstahlfolien von 20 μm Dicke sein. Für den Heizdraht 201 eignet sich beispielsweise Konstantandraht von ungefähr 50 μm Durchmesser, welcher vor der Montage schleifenförmig in die flüssige Paraffinschicht 204 auf der Folie 202 eingelegt wird.
  • Die Vorklebung mit dem ersten Kleber 151 kann durch einen hochviskosen UV-Kleber geschehen, die dem Entfernen der Hülse 141 folgende Feinverklebung kann beispielsweise mit Sekundenkleber erfolgen, welcher gegen Feuchtigkeitseinfluss geschützt werden muss. Für die beidseitige Bestrahlung des UV-Klebers mit ultraviolettem Licht 31 wird eine Montageplatte 11 aus Borofloat verwendet oder die Montageplatte weist Öffnungen 162 auf, durch welche das UV-Licht 31 auf die Klebstoffschichten 151, 161 gestrahlt werden kann.
  • Zur Bildung des Feinklebespalts kann, wie in 21 und 22 dargestellt, erfindungsgemäß auch eine Formgedächtnismanschette 211 verwendet werden. Die Manschette ist doppelwandig mit einer inneren Wandung 213 und einer äußeren Wandung 212 gestaltet. Bei Zimmertemperatur ist die Manschette 211 entspannt und die innere Wandung 213 liegt eng an der äußeren Wandung 212 an. Bei Erwärmung der Manschette 211 auf eine Temperatur von ca. 80 °C bildet sich zwischen den beiden Ringen 212, 213 der Manschette 211 ein Zwischenspalt 215, der durch den Memory-Effekt beispielsweise einer Ti52Ni33Cu15-Folie verursacht wird und durch den Bimetalleffekt zu einer Molybdänfolie von jeweils beispielsweise 100 µm Dicke noch verstärkt wird. Die Molybdänfolie weist hierbei vorteilhafterweise einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von α = 5,2·10–6 K–1 auf, der bedeutend unter dem der Ti52Ni33Cu15-Folie von α = 16·10–6 liegt. Die Erwärmung der Manschette erfolgt durch einen Stromfluss von beispielsweise I = 1 A, welcher durch die Heizvorrichtung 211 fließt. In diesem Fall muss die Manschette 211 über eine Isolierschicht 214 elektrisch gegen die Platte 22 isoliert sein. Vorteilhafterweise weist die Manschette 211 zur Be- und Entlüftung des Ringspalts 215 eine Öffnung auf. Im vorliegenden Verfahren wird die Manschette 211 wie die in den vorhergehenden Beispielen geschilderten Hülsen in die Bohrung 25 an deren Wandung anliegend und das Hilfselement 21 umgebend eingebracht. Anschließend wird mit einem ersten Klebstoff 151 die Vorklebung vorgenommen und der Klebstoff 151 ausgehärtet. Die Formgedächtnismanschette 211 kann nun abgekühlt werden, so dass sie sich entspannt und die innere Wandung 213 an der äußeren Wandung 212 anliegt. Wird die Manschette 211 nun aus der Bohrung entfernt, so entsteht wie in dem oben geschilderten Beispiel ein Feinklebespalt 152 für eine Feinklebung. Die anderen Verfahrensschritte verlaufen analog zu den oben geschilderten. Die Man schette 211 kann zur Auslösung des Memory- und des Bimetalleffekts statt durch Strom auch durch eine Heißluftdüse erwärmt werden. Die elektrische Isolierschicht 214 zwischen der Platte 22 und der Manschette 211 ist dann nicht erforderlich.
  • 22 zeigt die Formgedächtnismanschette 211 im entspannten Zustand. Es entsteht beim Entspannen der Manschette 211 zwischen der Wandung der Bohrung und der Manschette ein erster Abstand 222 sowie zwischen dem ausgehärteten ersten Klebstoff 151 und der Manschette 211 ein zweiter Abstand 221. Da die Manschette weder an der Wandung der Bohrung noch an dem ersten Klebstoff 151 anliegt, kann sie also im entspannten Zustand kräftefrei aus der Bohrung 25 gezogen werden. Der Abstand 221 zusammen mit dem Abstand 222 und dem von der Formgedächtnismanschette 211 ausgefüllten Bereich bilden dann einen Feinklebespalt 152.
  • Die erfindungsgemäßen Verfahren und die erfindungsgemäße optische Baugruppe haben eine Reihe von Vorteilen gegenüber dem Stand der Technik:
    • • Dadurch, dass die Vorrichtungen zur Justage beim Hersteller verbleiben, kann der Preis für die Baugruppe deutlich gesenkt werden.
    • • Dadurch, dass die Hilfselemente in einer Bohrung geführt werden, ist es möglich, die Baugruppe zunächst frei zu justieren und anschließend in kürzester Zeit eine feste Verbindung herzustellen.
    • • Durch die nahezu senkrechte Anordnung der Klebeflächen zwischen den Hilfselementen und den Wandungen der Bohrungen zu den Klebestellen der Hilfselemente mit der zu verbindenden Platte relativ zur Bohrungsachse tritt keine nennenswerte Dejustierung der optischen Baugruppe durch Schrumpfung des Klebers beim Aushärten auf.
    • • Bei geeigneter Wahl der Hilfselemente können durch große Klebeflächen sehr feste Verbindungen zwischen den Komponenten der optischen Baugruppe hergestellt werden, ohne dass die Flexibilität bei der Justierung eingeschränkt würde.
  • Die Erfindung kann z.B. verwendet werden, um die Komponenten des Detektionsmoduls eines Laserscanmikroskops, wie Farbteiler, Pinholeoptik, Pinhole und Farbfilter, zueinander justiert auf eine Montageplatte zu übertragen.

Claims (93)

  1. Verfahren zum Verbinden von Platten, wobei in einem ersten Schritt eine erste Platte und eine zweite Platte mit einander zugewandten flächigen Plattenebenen benachbart angeordnet werden, und mindestens ein Hilfselement in einer ihm zugeordneten, senkrecht zur Plattenebene der zweiten Platte stehenden Bohrung mit in Richtung der Bohrung parallelen Wänden und einer dem Umriss des Hilfselementes in Richtung der Bohrung entsprechenden Kontur in der zweiten Platte so untergebracht wird, dass es von den Wänden der Bohrung in Richtung der Bohrung geführt wird und die der zweiten Platte zugewandte Plattenebene der ersten Platte berührt, in einem zweiten Schritt die Lage der ersten und zweiten Platte zueinander justiert wird, in einem dritten Schritt zwischen dem mindestens einen Hilfselement und der ersten Platte sowie zwischen dem mindestens einen Hilfselement und den Wänden der Bohrung an ihren Berührungsflächen eine feste Verbindung hergestellt wird, und wobei vor dem ersten und/oder vor dem zweiten und/oder vor dem dritten Schritt Klebstoff auf die entstehenden Berührungsflächen zwischen der ersten Platte und dem mindestens einen Hilfselement sowie zwischen dem Hilfselement und den Wänden der Bohrung aufgebracht wird.
  2. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Schritt vor dem ersten Schritt ausgeführt wird, oder dass der erste Schritt vor dem zweiten Schritt ausgeführt wird.
  3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Platte über der zweiten Platte angeordnet wird oder dass die zweite Platte über der ersten Platte angeordnet wird.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfselemente vor dem dritten Schritt derart in die Bohrungen eingebracht werden, dass sie unter ihrem Eigengewicht lose liegen.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass drei Hilfselemente in drei Bohrungen untergebracht werden.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Justieren der ersten und der zweiten Platte mittels einer Justiervorrichtung erfolgt, vorzugsweise, dass zumindest ein zu justierendes Element von einem Greifer gehalten wird, vorzugsweise, dass die Justiervorrichtung durch einen Roboter gesteuert wird.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hilfselement verwendet wird, welches kugelförmig ist.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hilfselement verwendet wird, welches zylinderförmig ist.
  9. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die der ersten Platte zugewandte Fläche des zylinderförmigen Hilfselementes nach außen gewölbt ist.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hilfselement verwendet wird, welches eine maximale Ausdehnung parallel zur Ebene der Platte hat, welche größer als 1 mm und kleiner als 10 mm, vorzugsweise größer als 3 mm und kleiner als 8 mm ist.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Platte derart angeordnet werden, dass zwischen den beiden Platten ein keilförmiger Zwischenraum entsteht.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Platte derart angeordnet werden, dass ihr Abstand voneinander zwischen 0,1 mm und 1 mm liegt.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Hilfselement verwendet wird, dessen Ausdehnung in Richtung senkrecht zur Richtung der Bohrung maximal 0,02 mm kleiner ist als der Durchmesser der entsprechenden Bohrung in der gleichen Richtung.
  14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Klebstoff durch eine Dosiervorrichtung aufgetragen wird.
  15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Klebstoff verwendet wird, welcher innerhalb von 24 Stunden aushärtet, vorzugsweise, dass Klebstoff verwendet wird, welcher innerhalb einer Minute aushärtet.
  16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dünnflüssiger Klebstoff verwendet wird.
  17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Sekundenkleber verwendet wird.
  18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass UV-Klebstoff und/oder kationischer UV-Klebstoff verwendet wird.
  19. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die feste Verbindung im dritten Schritt durch Bestrahlung mit UV-Licht hergestellt wird.
  20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hilfselement verwendet wird, welches UV-durchlässig ist.
  21. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hilfselement verwendet wird, welches Saphir und/oder Borosilikatglas aufweist oder daraus besteht.
  22. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und/oder zweite Platte Borofloat aufweist oder daraus besteht.
  23. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und/oder die zweite Platte Material mit niedriger Temperaturausdehnung aufweist oder daraus besteht.
  24. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Bohrung mindestens einen Klebesteg aufweist.
  25. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Hilfselement durch mindestens eine Verliersicherung in der Bohrung gegen Herausfallen gesichert wird.
  26. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Bohrung die zweite Platte durchstößt und auf der der ersten Seite abgewandten Seite der zweiten Platte eine mit einer Feder für mindestens eine Bohrung bestückte Hilfsplatte während des dritten Schritts so angeordnet wird, dass die Feder das Hilfselement durch die Bohrung gegen die erste Platte drückt.
  27. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfsplatte UV-durchlässig ist.
  28. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfsplatte Borofloat aufweist oder daraus besteht.
  29. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Bohrung die zweite Platte durchstößt und auf der der ersten Seite abgewandten Seite der zweiten Platte eine Hilfsplatte angeordnet wird, und dass zwischen der Hilfsplatte und der zweiten Platte ein Druckschlauch so angeordnet wird, dass die Wände des Druck schlauches gegen die zweite Platte und gegen die Hilfsplatte drücken.
  30. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass ein Druckschlauch verwendet wird, welcher UV-durchlässig ist.
  31. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine UV-durchlässige und/oder Borofloat aufweisende oder daraus bestehende Hilfsplatte verwendet wird.
  32. Verfahren nach einem der Ansprüche 29 bis 31 dadurch gekennzeichnet, dass der Druckschlauch so angeordnet wird, dass er das mindestens eine Hilfselement gegen die erste Platte drückt.
  33. Verfahren nach einem der vier vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Druckschlauch verwendet wird, welcher mindestens ein Loch aufweist, und der Druckschlauch derart angeordnet wird, dass das mindestens eine Loch unter einem der mindestens einen Bohrungen liegt, so dass Druckluft durch den Druckschlauch in die Bohrung geleitet wird.
  34. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Klebstoffschicht durch den über den Druckschlauch auferlegten Luftdruck eingestellt wird.
  35. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Hilfselement und der Klebstoff so in der entsprechenden Bohrung angeordnet werden, dass die Bohrung luftundurchlässig wird.
  36. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in mindestens einer wand mindestens einer der Bohrungen mindestens eine Klebekammer angeordnet wird, und dass das mindestens eine Hilfselement so in die Bohrung eingebracht wird, dass es sich an der mindestens einen Klebekammer vorbeibewegt.
  37. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass in die Klebekammer vor dem Einbringen des Hilfselementes Klebstoff eingebracht wird.
  38. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die gesamte Anordnung nach dem Einbringen von Klebstoff in die mindestens eine Klebekammer umgedreht wird, so dass Klebstoff aus der mindestens einen Klebekammer in die Bohrung fließt.
  39. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als zweite Platte eine Platte mit mindestens drei Bohrungen, welche die Ecken eines Vielecks in der Plattenebene bilden, verwendet wird, wobei die Bohrungen jeweils ein Festkörpergelenk aufweisen, welches in einer Richtung parallel zur Ebene der zweiten Platte beweglich ist und in welchem jeweils ein Hilfselement untergebracht wird.
  40. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten und der zweiten Platte ein fester Stützpunkt untergebracht wird, und die mindestens einen Festkörpergelenke so angeordnet werden, dass sie in Richtung des festen Stützpunktes beweglich sind.
  41. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten und der zweiten Platte mindestens ein elastischer Klebepunkt untergebracht wird.
  42. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass für die erste Platte eine dickere Platte als für die zweite Platte verwendet wird oder dass für die erste Platte eine dünnere Platte als für die zweite Platte verwendet wird.
  43. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der der zweiten Platte gegenüber liegenden Seite der ersten Platte symmetrisch zur zweiten Platte eine Kompensationsplatte angeordnet wird.
  44. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass eine Kompensationsplatte verwendet wird, deren Aufbau jenem der zweiten Platte entspricht.
  45. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als erste Platte eine Trägerplatte verwendet wird, welche eine justierte optische Baugruppe aufweist, und dass als zweite Platte eine Montageplatte verwendet wird oder dass als zweite Platte eine Trägerplatte verwendet wird, welche eine justierte optische Baugruppe aufweist, und dass als erste Platte eine Montageplatte verwendet wird.
  46. Verfahren zum Verbinden von Platten, wobei in einem ersten Schritt eine erste Platte, welche mit mindestens einem, fest verbundenen, aus der Plattenebene herausragenden, Hilfselement versehen ist, so neben einer zweiten Platte, welche je Hilfselement eine Bohrung aufweist, angeordnet wird, dass jeweils eines der mindestens einen Hilfselemente in eine Bohrung der zweiten Platte hineinragt und vor oder nach dem Anordnen der Platten ein schlauchförmiger Abstandshalter so angeordnet wird, dass er nach dem Anordnen der Platten zwischen dem mindestens einen Hilfselement und den Wänden der entsprechenden Bohrung das Hilfselement umfassend liegt, in einem zweiten Schritt die erste und zweite Platte ein erstes Mal zueinander justiert werden, in einem dritten Schritt ein erster Klebstoff so in die Bohrungen eingebracht wird, dass er den von den Hilfselementen und dem schlauchförmigen Abstandshalter nicht erfüllten Raum der Bohrung in zur Richtung der Bohrungen radialer Richtung auf zumindest einem Teil des Umfangs der Bohrung und zumindest einem Teil ihrer Tiefe ausfüllt, und in einem vierten Schritt der erste Klebstoff aushärtet.
  47. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Klebstoff im dritten Schritt so in die Bohrung eingebracht wird, dass er den von den Hilfselementen und dem schlauchförmigen Abstandshalter nicht erfüllten Raum der Bohrung auf dem gesamten Umfang der Bohrung und zumindest einem Teil ihrer Tiefe ausfüllt.
  48. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der schlauchförmige Abstandshalter an das Hilfselement oder an die Wand der Bohrung anliegt.
  49. Verfahren nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als schlauchförmiger Abstandshalter ein dünner Schlauch oder eine Hülse verwendet wird.
  50. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 49, dadurch gekennzeichnet, dass ein schlauchförmiger Abstandshalter verwendet wird, der Antihaftmaterialien und/oder Teflon und/oder Antihaftschichten aufweist.
  51. Verfahren nach einem der Ansprüche 45 bis 47, dadurch gekennzeichnet, dass als schlauchförmigerer Abstandshalter eine aufblasbare Klebemanschette verwendet wird, dass die Klebemanschette vor dem Einbringen des ersten Klebstoffes mit Druckluft aufgeblasen wird und dass nach dem Aushärten des ersten Klebstoffes die Druckluft abgelassen wird.
  52. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 48, dadurch gekennzeichnet, dass als schlauchförmiger Abstandshalter eine zwischen einer inneren und einer äußeren Folienschicht angeordnete Schicht aus Parafin verwendet wird, in welcher eine Heizvorrichtung untergebracht ist, und dass das Paraffin nach dem Aushärten des ersten Klebstoffes aufgeschmolzen wird.
  53. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 48, dadurch gekennzeichnet, dass als schlauchförmiger Abstandshalter eine doppelwandige Formgedächtnis-Manschette verwendet wird, die im ersten Schritt gespannt ist, so dass ihre Innen- und ihre Außenwand einen ersten Abstand voneinander haben, und welche nach dem Aushärten des ersten Klebstoffes entspannt wird, so dass ihre Innen- und ihre Außenwand einen zweiten Abstand voneinander einnehmen, welcher kleiner ist, als der erste Abstand.
  54. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Formgedächtnis-Manschette eine Heizvorrichtung aufweist, über welche sie gespannt oder entspannt wird.
  55. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Formgedächtnis-Manschette Ti52Ni33Cu15-Folie aufweist oder daraus besteht und/oder eine Molybdänfolie von vorzugsweise 100μm aufweist.
  56. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 55 dadurch gekennzeichnet, dass der schlauchförmige Abstandshalter eine Wanddicke zwischen 0,05 mm und 0,5 mm aufweist.
  57. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 56, dadurch gekennzeichnet, dass der schlauchförmige Abstandshalter nach dem vierten Schritt entfernt wird.
  58. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Entfernen des schlauchförmigen Abstandshalters die Platten ein zweites Mal zueinander justiert werden und dass in die entstehenden Spalten in den Bohrungen ein zweiter Klebstoff eingebracht wird.
  59. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Klebstoff nach dem zweiten Justieren ausgehärtet wird.
  60. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 59, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und/oder gegebenenfalls die zweite Justierung mittels eines Greifers einer Justiervorrichtung erfolgt.
  61. Verfahren nach einem der Ansprüche 58 bis 60, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Klebstoff UV-Klebstoff aufweist oder daraus besteht.
  62. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Aushärtung des zweiten Klebstoffes durch Einstrahlung von UV-Licht und/oder durch kationisches Aushärten und/oder durch Wärmebehandlung erfolgt.
  63. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 62, dadurch gekennzeichnet, dass ein Hilfselement verwendet wird, welches UV-durchlässig ist.
  64. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 63, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hilfselement verwendet wird, welches Saphir aufweist oder daraus besteht.
  65. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 64, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Platte und/oder die zweite Platte UV-durchlässig ist.
  66. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 65 dadurch gekennzeichnet, dass die erste und/oder zweite Platte Borofloat aufweist oder daraus besteht.
  67. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 66, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und/oder die zweite Platte Öffnungen aufweist, und dass durch die Öffnungen UV-Licht auf den ersten und/oder zweiten Klebstoff gestrahlt wird.
  68. Verfahren nach einem der Ansprüche 46 bis 67, dadurch gekennzeichnet, dass als erste Platte eine Trägerplatte, welche eine justierte optische Baugruppe aufweist, verwendet wird und als zweite Platte eine Montageplatte verwendet wird oder dass als zweite Platte eine Trägerplatte, welche eine justierte optische Baugruppe aufweist, verwendet wird und als erste Platte eine Montageplatte verwendet wird.
  69. Optische Baugruppe mit einer ersten und einer zweiten Platte welche mit einander zugewandten flächigen Plattenebenen benachbart angeordnet sind, mindestens einem Hilfselement, welches in einer ihm zugeordneten, senkrecht zur Plattenebene der zweiten Platte stehenden Bohrung in der zweiten Platte so angeordnet ist, dass es eine formschlüssige Verbindung zwischen der ersten und der zweiten Platte herstellt, wobei die Kontur der Bohrung dem Umriss des ihr zugeordneten Hilfselementes in Richtung der Bohrung entspricht und das Hilfselement mit der ersten Platte an deren Oberfläche verbunden ist.
  70. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass auf der der zweiten Platte abgewandten Seite der ersten Platte eine dritte Platte mit der ersten Platte zugewandter Fläche benachbart angeordnet ist.
  71. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die dritte Platte durch mindestens eine Klebestelle miteinander verbunden sind, dass der Temperaturausdehnungskoeffizient der ersten Platte zwischen dem der zweiten Platte und dem der dritten Platte liegt.
  72. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 71, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Hilfselement zylinderförmig ist, wobei jene Fläche des Hilfselementes, welche der ersten Platte zugewandt ist, nach außen gewölbt ist und/oder dass mindestens eines der Hilfselemente kugelförmig ist.
  73. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 72, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eines der mindestens einen Hilfselemente und/oder die erste Platte und/oder die zweite Platte und/oder die dritte Platte UV-durchlässig ist.
  74. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 73, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Platte und/oder die zweite Platte und/oder die dritte Platte Aluminium und/oder Borofloat und/oder Stahl aufweist oder daraus besteht.
  75. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 74, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eines der mindestens einen Hilfselemente Saphir aufweist oder daraus besteht.
  76. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 75, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungen zwischen der ersten Platte und dem mindestens einen Hilfselement und/oder die Verbindung zwischen der zweiten Platte und dem mindestens einen Hilfselement durch UV-Kleber und/oder Sekundenkleber und/oder kationischen UV-Klebstoff und/oder durch Klebstoff auf Acrylatbasis und/oder Epoxidharz als kraftschlüssige Verbindungen ausgebildet werden.
  77. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 76, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eines der mindestens einen Hilfselemente in der entsprechenden Bohrung mit einem Festkörpergelenk verbunden ist.
  78. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eines der Festkörpergelenke in einer Richtung parallel zur Plattenebene der Platte, in welcher es untergebracht ist, beweglich ist und in allen anderen Richtungen steif ist.
  79. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 78, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten und der zweiten Platte zumindest ein fester Stützpunkt angeordnet ist.
  80. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 79, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Platte und/oder die zweite Platte insgesamt drei Bohrungen aufweisen.
  81. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten und der zweiten Platte ein starrer Stützpunkt angeordnet ist und die Hilfselemente in den Bohrungen mit je einem Festkörpergelenk verbunden sind und dass die Festkörpergelenke in Richtung des starren Stützpunktes beweglich sind.
  82. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der mindestens einen starren Stützpunkte in der Mitte der ersten und/oder zweiten Platte angeordnet ist.
  83. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 78 bis 82, dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörpergelenke durch snap-in-Verbindungen und/oder durch Kleben in den Bohrungen montiert sind.
  84. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 83, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Platten mindestens ein elastischer Klebepunkt angeordnet ist.
  85. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 84, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten und der zweiten Platte, die erste und die zweite Platte verbindend, drei starre Stützpunkte ein erstes Dreieck bildend sowie drei elastische Stützpunkte ein zweites Dreieck bildend so angeordnet sind, dass das erste Dreieck innerhalb des zweiten Dreiecks liegt.
  86. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Seiten des ersten Dreiecks zwischen 10 mm und 30 mm lang sind.
  87. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 86, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Platte eine deutlich größere Dicke als die zweite Platte und/oder die dritte Platte aufweist oder dass die zweite Platte eine deutlich größere Dicke als die erste und/oder die dritte Platte aufweist oder dass die dritte Platte eine deutlich größere Dicke als die erste und/oder die zweite Platte aufweist.
  88. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 87, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Platte eine Trägerplatte und die zweite Platte eine Montageplatte ist oder dass die erste Platte eine Montageplatte ist und die zweite Platte eine Trägeplatte oder dass die erste Platte eine Zwischenplatte, die zweite Platte eine Trägerplatte und die dritte Platte eine Montageplatte ist oder dass die erste Platte eine Zwischenplatte, die zweite Platte eine Montageplatte und die dritte Platte eine Trägerplatte ist.
  89. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Trägerplatte optische Elemente angeordnet sind.
  90. Optische Baugruppe nach einem der Ansprüche 69 bis 89, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Platte eine Kompensationsplatte ist, welche bezüglich der Ebene der ersten Platte symmetrisch zur zweiten Platte auf der der zweiten Platte abgewandten Seite der ersten Platte angeordnet ist.
  91. Optische Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Kompensationsplatte Bohrungen, Hilfselemente und Klebestellen an den den entsprechenden gleichen Elementen der zweiten Platte gegenüber liegenden Positionen aufweist.
  92. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 45 zum justierten Aufbauen einer optischen Baugruppe.
  93. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 46 bis 68 zum justierten Aufbau einer optischen Baugruppe.
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