DE102006034291B4 - Bearbeitungsvorrichtung, insbesondere eine Schweißanlage - Google Patents

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Abstract

Bearbeitungsvorrichtung (2), insbesondere eine Schweißanlage, umfassend eine Bearbeitungskammer (6) zur Aufnahme eines zu bearbeitenden Werkstücks (4) mit einer Öffnung (8) mit einem umlaufend um die Öffnung (8) in einer Nut (12) angebrachten Dichtungselement (22) sowie einen Deckel (10), der größer als die Öffnung (8) ist und zum hermetischen Abschließen der Bearbeitungskammer (6) auf dem Dichtungselement (22) derart aufliegt, dass im hermetisch abgedichteten Zustand der Deckel (10) und die Bearbeitungskammer (6) relativ zueinander verschiebbar sind, wobei das Dichtungselement (22) durch ein Druckstück (24) gegen den Deckel (10) vorgespannt ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung, insbesondere eine Schweißanlage.
  • Die Bearbeitung von Werkstücken erfolgt häufig im Vakuum oder in einer Schutzgasatmosphäre, welche in einem Bearbeitungsraum einer Bearbeitungs- oder Handhabungsvorrichtung eingestellt werden muss. Dies ist zum Beispiel der Fall beim Schweißen eines Abstandhalters eines Kernreaktor-Brennelements.
  • Ein solcher Abstandhalter ist z. B. aus sich kreuzenden plattenförmigen Gliedern aufgebaut, die im verbundenen Zustand mit ihren Schlitzen derart ineinander greifen, dass eine gitterartige Struktur entsteht. Diese gitterartige Struktur bildet Zellen, durch welche sich die langgestreckten Brennelemente erstrecken sollen. Nach dem Zusammenstecken werden die plattenförmigen Glieder des Abstandhalters durch einen Schweißvorgang miteinander verbunden. Der Abstandhalter wird an den Ecklinien, die sich zwischen den sich kreuzenden plattenförmigen Gliedern in jeder Zelle bilden, mittels eines Laserstrahls in einer Schutzgasumgebung geschweißt.
  • Aus der DE 198 01 612 C1 geht eine Schweißanlage mit einer Bearbeitungskammer zur Aufnahme eines zu bearbeitenden Werkstückes als bekannt hervor (vgl. 1), die eine Öffnung mit einem umlaufend um die Öffnung in einer Nut angebrachten Dichtungselement aufweist. Ferner umfasst diese Schweißanlage einen Deckel, der größer als die Öffnung ist, und der zum hermetischen Abschließen der Bearbeitungskammer derart auf dem Dichtungselement aufliegt, dass der Deckel und die Bearbeitungskammer relativ zueinander verschiebbar sind.
  • Der genannten Druckschrift lässt sich zudem ein Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks in einer mit einem Deckel hermetisch verschließbaren Bearbeitungs kammer entnehmen, bei welcher der Deckel und die Bearbeitungskammer relativ zueinander verschoben werden (vgl. 5). An dem Deckel ist ortsfest ein Bearbeitungswerkzeug befestigt, welches beim Bearbeiten des Werkstücks gemeinsam mit dem Deckel relativ zu der Bearbeitungskammer verschoben wird.
  • Die DE 198 53 947 C1 offenbart eine Prozesskammer für das selektive Laser-Schmelzen. Beim Betrieb wird eine in einem Deckel einer Bearbeitungskammer vorgesehene Durchtrittsöffnung für einen Laserstrahl mit der Strömung eines Schutzgases beaufschlagt, um dadurch die Durchtrittsöffnung frei von Bearbeitungsrückständen zu halten.
  • Aus der EP 0 102 836 B1 sind ein vergleichsweise aufwendiges Gerät und ein zugehöriges Verfahren zur Bearbeitung von Abstandhaltern für Brennelemente bekannt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Bearbeitungsvorrichtung, insbesondere eine Schweißanlage anzugeben, in welcher eine sichere Bearbeitung eines Werkstücks unter kontrollierten Umgebungsbedingungen gewährleistet ist. Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Bearbeitung des Werkstückes anzugeben.
  • Die erstgenannte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Bearbeitungsvorrichtung, insbesondere eine Schweißanlage, umfassend eine Bearbeitungskammer zur Aufnahme eines zu bearbeitendes Werkstücks mit einer Öffnung mit einem umlaufend um die Öffnung in einer Nut angebrachten Dichtungselement sowie einen Deckel, der größer als die Öffnung ist und zum hermetischen Abschließen der Bearbeitungskammer auf dem Dichtungselement derart aufliegt, dass im hermetisch abgedichteten Zustand der Deckel und die Bearbeitungskammer relativ zueinander verschiebbar sind, wobei das Dichtungselement durch ein Druckstück gegen den Deckel vorgespannt ist.
  • Der entscheidende Vorteil dieser Bearbeitungsvorrichtung besteht darin, dass der technische Aufwand zum Aufbau der Bearbeitungsvorrichtung und zur Aufrechterhaltung der definierten Umgebungsbedingungen in der Bearbeitungskammer auf ein Minimum reduziert ist. Durch das Dichtungselement erfolgt eine spaltfreie hermetische Abdichtung der Bearbeitungskammer, so dass eine bestimmte Atmosphäre in der Bearbeitungskammer eingestellt wird, in der die sichere Bearbeitung eines Werkstücks erfolgt. Dank der Tatsache, dass das Dichtungselement spaltfrei abdichtet, kann ohne die Durchführung von konstruktiven Änderungen an der Bearbeitungsvorrichtung sowohl Überdruck als auch Unterdruck in der Bearbeitungskammer eingestellt werden. Hierbei kann der Deckel über der Bearbeitungskammer verschoben werden, oder alternativ kann die Bearbeitungskammer im abgedichteten Zustand unter dem Deckel bewegt werden. Von besonderem Vorteil ist, dass durch die hermetisch dichte Verschließbarkeit des Deckels ein Bearbeitungswerkzeug, insbesondere ein Schweißlaser, aufgrund der relativen Bewegung zwischen dem Deckel und der Bearbeitungskammer zwischen einzelnen Befestigungspositionen verschiebbar ist und somit an unterschiedlichen Stellen in der Bearbeitungskammer eingesetzt werden kann.
  • Um eine einwandfreie Bearbeitung des Werkstücks zu gewährleisten ist bevorzugt der Deckel in Längs- und Querrichtung der Bearbeitungsvorrichtung verschiebbar. Somit kann der Deckel für Bearbeitungszwecke in der horizontalen Ebene über der Bearbeitungskammer verschoben werden, wobei die hermetische Abdichtung weiterhin vorhanden ist.
  • Dabei ist das Dichtungselement durch ein Druckstück gegen den Deckel vorgespannt. Dies führt zu einer günstigen Verteilung der Kräfte zwischen dem Deckel und dem Dichtungselement. Zumindest eine Kraftkomponente, die durch des Druckstück im Dichtungselement erzeugt ist, drückt das Dichtungselement gegen den aufliegenden Deckel. Somit wird verhindert, dass jegliche Spalte zwischen dem Deckel und dem Dichtungselement entstehen, so dass die kontrollierten Umgebungsbedingungen in der Bearbeitungskammer über einen langen Zeitraum erhalten bleiben.
  • Eine hohe Flexibilität des Dichtungselements wird in einer bevorzugten Ausgestaltung dadurch erreicht, dass das Druckstück gegen eine Wand der Nut federnd oder elastisch gelagert ist.
  • Zweckdienlicherweise ist das Dichtungselement eine Flachdichtung. Die Flachdichtung erstreckt sich nach Art eines Bands entlang der Nut und sorgt somit für eine gleichmäßige Abdichtung über den gesamten Umfang der Öffnung.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist das Dichtungselement schräg zum Deckel gehalten. Die schräge Positionierung des Dichtungselements, insbesondere in Kombination mit der federnden Kraft des Druckstücks, macht die Verbindung zwischen dem Dichtungselement und dem Deckel besonders flexibel und anpassungsfähig. Um eine besonders gute Abdichtung der Bearbeitungskammer zu gewährleisten, ist die Kontaktfläche zwischen dem Dichtungselement und dem Deckel derart schräg ausgebildet, dass der Deckel plan auf dem Dichtungselement aufliegt. Dies ist insbesondere bei der Verschiebung des Deckels im Betrieb von großer Bedeutung.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist das Dichtungselement auf einen Gegenhalter gestützt. Der Gegenhalter nimmt einen Teil der Kraft auf, mit der das Druckstück auf das Dichtungselement wirkt, und stabilisiert somit die Stellung des Dichtungselements.
  • Gemäß einer zweckdienlichen Weiterbildung ist der Gegenhalter aus einem elastischen Material ausgebildet, um die Nachgiebigkeit des Dichtungselements beim Verschieben des Deckels zu erhöhen.
  • Um die Reibungsverluste beim Verschieben des Deckels zu reduzieren, ist das Dichtungselement nach einer besonders bevorzugten Ausführungsform herausragend aus der Nut ausgebildet. Somit liegt der Deckel nur auf dem Dichtungselement auf und es erfolgt kein Kontakt zwischen dem Deckel und der Oberfläche der Bearbeitungsvorrichtung, welcher Kontakt weitere Reibungsverluste verursachen würde.
  • Die Reibungsverluste werden weiterhin durch den Einsatz eines geeigneten Werkstoffs für das Dichtungselement reduziert. Der Werkstoff, aus dem das Dichtungselement ausgebildet ist, muss außerdem hart genug sein, um das Gewicht des Deckels aufnehmen zu können. Deswegen ist das Dichtungselement bevorzugt aus einem formfesten Werkstoff, insbesondere aus PTFE ausgebildet.
  • Vorzugsweise ist der Deckel mindestens doppelt so breit und doppelt so lang wie die Öffnung. Somit wird gewährleistet, dass die Öffnung auch bei einer Verschiebung des Deckels um eine ganze Länge oder eine ganze Breite der Öffnung bedeckt und abgedichtet bleibt. Wenn eine kreisrunde Öffnung vorliegt, weist der Deckel eine Länge sowie eine Breite auf, die mindestens doppelt so groß sind wie der Durchmesser der Kreisöffnung.
  • Vorteilhafterweise ist ortsfest mit dem Deckel ein Bearbeitungswerkzeug verbunden. Diese Ausgestaltung garantiert einen sicheren Betrieb des Werkzeugs unter kontrollierten Umgebungsbedingungen. Dies ist besonders vorteilhaft, wenn das Werkzeug während des Bearbeitungsvorgangs seine Position in einer horizontalen Ebene ändern muss. In diesem Fall ist durch eine Befestigung des Werkzeugs am Deckel und eine Verschiebung des Deckels ein störungsfreier Betrieb der Bearbeitungsvorrichtung garantiert.
  • Gemäß einer zweckdienlichen Weiterbildung der Bearbeitungsvorrichtung ist vorgesehen, dass das Bearbeitungswerkzeug ein Schweißlaser ist, welcher oberhalb einer Durchtrittsöffnung im Deckel hermetisch dicht angeordnet ist. Dank der Tat sache, dass das Bearbeitungswerkzeug auf der der Bearbeitungskammer abgewandten Seite des Deckels außerhalb der Bearbeitungskammer befestigt ist, ist das Volumen der Bearbeitungskammer auf ein technisch notwendiges Minimum reduziert. Durch die hermetisch dichte Anordnung des Werkzeugs sind die kontrollierten Umgebungsbedingungen in der Bearbeitungskammer trotz der Durchtrittsöffnung am Deckel aufrechterhalten.
  • Gemäß einer bevorzugten Variante sind Mittel zum Erzeugen einer Strömung innerhalb der Bearbeitungskammer und/oder der Durchtrittsöffnung vorgesehen, um die Durchtrittsöffnung frei von Bearbeitungsrückständen zu halten. Diese Strömung besteht beispielweise aus dem für den Schweißvorgang benötigten Schutzgas.
  • Die zweitgenannte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einer Bearbeitungsvorrichtung, insbesondere mit einer Schweißanlage, wobei das Werkstück in eine Bearbeitungskammer eingelegt wird und die Bearbeitungskammer mit einem Deckel hermetisch dicht verschlossen wird, an welchem Deckel ortsfest ein Bearbeitungswerkzeug befestigt ist, welches beim Bearbeiten des Werkstücks gemeinsam mit dem Deckel verschoben wird, und wobei ein an der Bearbeitungskammer angebrachtes Dichtungselement durch ein Druckstück vorgespannt und gegen den Deckel gedrückt wird.
  • Die im Hinblick auf die Bearbeitungsvorrichtung aufgeführten Vorteile und bevorzugten Ausgestaltungen lassen sich sinngemäß auf das Verfahren übertragen.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand zwei Figuren näher erläutert. Es zeigen hierbei schematisch und vereinfacht:
  • 1 einen Längsschnitt durch eine Bearbeitungsvorrichtung, und
  • 2 eine Dichtungsanordnung zum Abdichten der Bearbeitungsvorrichtung gemäß 1.
  • Gleich wirkende Teile sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • 1 zeigt eine Bearbeitungsvorrichtung 2 zum Schweißen eines Werkstücks 4, hier ein Abstandhalter. Die Bearbeitungsvorrichtung 2, welche eine Schweißanlage ist, umfasst eine Bearbeitungskammer 6 mit einer Öffnung 8. In der Bearbeitungskammer 6 ist der Abstandhalter 4 gelagert. Weiterhin ist ein Deckel 10 zum Verschließen der Bearbeitungskammer 6 vorgesehen. Der Deckel 10 ist in der Ebene über der Öffnung 8 in Längs- und Querrichtungen der Bearbeitungsvorrichtung 2 verschiebbar, was durch zwei sich kreuzende Pfeile angedeutet ist. Beim Aufliegen des Deckels 10 verschließt er hermetisch die Bearbeitungskammer 6 und diese hermetische Abdichtung bleibt beim Verschieben des Deckels 10 weiterhin vorhanden. Zum Abdichten der Bearbeitungskammer 6 ist eine um die Öffnung 8 umlaufende Nut 12 ausgebildet, in der eine Dichtungsanordnung eingebracht ist, die schematisch durch den Block mit dem Bezugszeichen 14 gezeigt ist. Der Deckel 10 ist mehr als doppelt so lang und doppelt so breit wie die Öffnung 8, so dass der Deckel 10 über eine ganze Länge und/oder eine ganze Breite der Öffnung 8 bewegt werden kann, ohne die Abdichtung der Bearbeitungskammer 6 zu stören.
  • Auf der der Bearbeitungskammer 6 abgewandten Seite des Deckels 10 ist ortsfest ein im Ausführungsbeispiel als Schweißanlage 16 ausgebildetes Bearbeitungswerkzeug angebracht. Der Schweißlaser 16 strahlt einen Laserstrahl 18 aus, welcher die plattenförmigen Glieder, aus denen der Abstandhalter 4 ausgebildet ist, miteinander verschweißt. Damit der Laserstrahl 18 den Abstandhalter 4 erreicht, ist eine als Bohrung ausgebildete freie Durchtrittsöffnung 20 am Deckel 10 angebracht. Der Schweißlaser 16 ist direkt über dieser Durchtrittsöffnung 20 hermetisch dicht angeordnet, so dass die in der Bearbeitungskammer 6 eingestellte Atmosphäre keine Verbindung über die Durchtrittsöffnung 20 zur Umgebung herstellen kann. Beim Verschieben des Deckels 10 wird der Schweißlaser 16 mitverschoben, so dass der Laserstrahl 18 unterschiedlichen Stellen des Abstandhalters 4 erreichen und verschweißen kann.
  • Die Bearbeitungskammer 6 wird nach dem Verschließen mit dem Deckel 10 evakuiert und mit Schutzgas wie z. B. Inertgas oder CO2, welches für den Schweißvorgang notwendig ist, voll gefüllt. Das Schutzgas strömt kontinuierlich über die Durchtrittsöffnung 20 in die Bearbeitungskammer 6 laminar ein. Dank dieser Strömung S wird die Durchtrittsöffnung 20 frei von Bearbeitungsrückständen gehalten, welche während des Schweißvorgangs auftreten, so dass ein einwandfreier Betrieb des Laserschweißers 16 dauerhaft gewährleistet ist.
  • Zum Erzeugen der laminaren Strömung S sind hier nicht näher dargestellte Mittel vorgesehen. Diese umfassen ein Speichervolumen für das Schutzgas sowie Leitungen, die in geeignete Stellen beispielweise in die Durchtrittsöffnung 20 münden.
  • Der genaue Aufbau der Dichtungsanordnung 14 ist in 2 dargestellt. Die Dichtungsanordnung 14 umfasst ein Dichtungselement 22, einen Druckstück 24 sowie einen Gegenhalter 26, welche in der Nut 12 eingelegt sind. Der Druckstück 24 ist nach Art eines Trapezes ausgebildet, dessen kleinere Basis nach unten gerichtet ist. Die kleine Basis schließt mit den zwei Schenkeln im Ausführungsbeispiel einen Winkel von 90° und einen stumpfen Winkel von beispielsweise 120° ein. Auf der Seite des senkrechten Schenkels ist der Druckstück 24 federnd oder elastisch gegen eine Wand 28a der Nut 12 gelagert. Der um 120° geneigte Schenkel liegt plan auf dem Dichtungselement 22 auf und übt eine Kraft auf dieses aus, welche eine Komponente in Richtung zum Deckel 10 aufweist, so dass das Dichtungselement 22 gegen den Deckel 10 vorgespannt ist.
  • Das Dichtungselement 22 ist um etwa 60° schräg zum Deckel 10 gehalten, jedoch ist die Fläche des Dichtungselements 22, auf der der Deckel 10 aufliegt, waagerecht abgeschrägt, so dass der Kontakt zum Deckel 10 plan ist und eine besonders gute Abdichtung gewährleistet ist. Der Kontakt des Dichtungselements 22 mit dem Grund 30 der Nut 12 ist im Querschnitt betrachtet punktuell, so dass das Dichtungselement 22 sich durch eine geringfügige Drehbewegung beim Aufliegen des Deckels 10 gegen den Gegenhalter 26 lehnen kann. Das Dichtungselement 22 ragt außerdem aus der Nut 12 heraus, so dass der aufliegende Deckel 10 die Oberfläche der Bearbeitungsvorrichtung 2 nicht berührt und somit die Reibungsverluste beim Verschieden des Deckels 10 niedrig gehalten werden. Das Dichtungselement 22 ist in diesem Ausführungsbeispiel eine Flachdichtung aus PTFE, welcher Werkstoff eine genügende Härte zum Aufnehmen des Gewichts des Deckels 10 und eine günstige Oberflächengüte zur Reduzierung der Reibungsverluste beim Verschieben des Deckels 10 aufweist.
  • Der Gegenhalter 26, der nach Art einer Rundschnur sich umlaufend um die Öffnung 6 erstreckt, ist auf der Seite des Dichtungselements 22 angebracht, mit der es einen spitzen Winkel von 60° mit dem Grund 30 der Nut 12 schließt. Der Gegenhalter 26 ist aus einem elastischen Material ausgebildet und nimmt ein Teil der auf das Dichtungselement 22 wirkenden Kraft auf. Der Gegenhalter 26 stützt sich auf den Grund 30 sowie auf eine Wand 28b der Nut 12, so dass die Nut 12 durch ihn abgedichtet ist und die Umgebungsatmosphäre nicht entlang der Wände 28a, 28b und des Grunds 30 der Nut 12 in die Bearbeitungskammer 6 eindringen kann und umgekehrt.
  • Der Abstandhalter 40 wird in die Bearbeitungskammer 6 zum Schweißen der Ecklinien zwischen den sich kreuzenden Gliedern, aus denen der Abstandhalter 4 besteht, eingelegt. Die Bearbeitungskammer 6 wird anschließend mit dem Deckel 10 hermetisch dicht verschlossen, die Luft in der Bearbeitungskammer 6 wird evakuiert und durch ein Schutzgas ersetzt, das für den sicheren Schweißvorgang notwendig ist. Durch die Bewegung des Deckels 10 wird der mit dem Deckel 10 ortsfest verbundene Schweißlaser 16 zwischen einzelnen Positionen alternierend in Längs- und Querrichtung verfahren, so dass der Laserstrahl 18 alle Stellen zum Schweißen auf einer oberen Seite des Abstandhalters 4 erreichen kann. Während des Schweißvorgangs strömt das Schutzgas kontinuierlich durch die Durchtrittsöffnung 20 aus, so dass die Durchtrittsöffnung 20 frei von Bearbeitungsrückstände gehalten wird.
  • Nachdem alle Stellen auf der oberen Seite des Abstandhalters 4 geschweißt sind, wird er mittels des Roboterarms aus der Bearbeitungskammer 6 entfernt und innerhalb eines Bearbeitungsraums, in welchem sich die Bearbeitungsvorrichtung 2 befindet, auf einem Auflagetisch abgelegt und umgedreht, so dass eine bisher untere Seite nach oben gerichtet wird. Nach diesem Vorgang wird der Abstandhalter 4 zurück in die Bearbeitungskammer 6 eingelegt, so dass die neue obere Seite ebenfalls geschweißt wird.
  • Um das Bearbeitungsverfahren zu optimieren, sind insbesondere zwei oder mehrere Bearbeitungskammer 6 im Bearbeitungsraum angeordnet, so dass mehrere Abstandhalter 4 gleichzeitig bearbeitet werden. Besonders vorteilhaft dabei ist ein Synchronisieren des Bearbeitungsablaufs in zwei Bearbeitungskammern, so dass ein Abstandhalter 4 in einer ersten Bearbeitungskammer 6 geschweißt wird, während ein anderer Abstandhalter 4 von einer zweiten Bearbeitungskammer 6 mittels des Roboterarms umgedreht wird. Somit können zwei Bearbeitungskammer 6 von einem einzigen Roboterarm bedient werden, so dass der konstruktive Aufwand deutlich reduziert wird und eine kostengünstigere und platzsparende Bearbeitungsvorrichtung 2 gewährleistet ist.
  • 2
    Bearbeitungsvorrichtung
    4
    Werkstück
    6
    Bearbeitungskammer
    8
    Öffnung
    10
    Deckel
    12
    Nut
    14
    Dichtungsanordnung
    16
    Bearbeitungswerkzeug
    18
    Laserstrahl
    20
    Durchtrittsöffnung
    22
    Dichtungselement
    24
    Druckstück
    26
    Gegenhalter
    28a, 28b
    Wände der Nut
    30
    Grund der Nut
    S
    Strömung

Claims (16)

  1. Bearbeitungsvorrichtung (2), insbesondere eine Schweißanlage, umfassend eine Bearbeitungskammer (6) zur Aufnahme eines zu bearbeitenden Werkstücks (4) mit einer Öffnung (8) mit einem umlaufend um die Öffnung (8) in einer Nut (12) angebrachten Dichtungselement (22) sowie einen Deckel (10), der größer als die Öffnung (8) ist und zum hermetischen Abschließen der Bearbeitungskammer (6) auf dem Dichtungselement (22) derart aufliegt, dass im hermetisch abgedichteten Zustand der Deckel (10) und die Bearbeitungskammer (6) relativ zueinander verschiebbar sind, wobei das Dichtungselement (22) durch ein Druckstück (24) gegen den Deckel (10) vorgespannt ist.
  2. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1, wobei der Deckel (10) in deren Längs- und Querrichtung verschiebbar ist.
  3. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Druckstück (24) gegen eine Wand der Nut (12) federnd gelagert ist.
  4. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Dichtungselement (22) eine Flachdichtung ist.
  5. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Dichtungselement (22) schräg zum Deckel (10) gehalten ist.
  6. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Dichtungselement (22) auf einen Gegenhalter (26) gestützt ist.
  7. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 6, wobei der Gegenhalter (26) aus einem elastischen Material ausgebildet ist.
  8. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Dichtungselement (2) aus der Nut (12) herausragt.
  9. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Dichtungselement (2) aus einem formfesten Werkstoff, insbesondere aus PTFE ausgebildet ist.
  10. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Deckel (10) mindestens doppelt so breit und doppelt so lang wie die Öffnung (8) ist.
  11. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ortsfest mit dem Deckel (10) ein Bearbeitungswerkzeug (16) verbunden ist.
  12. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach Anspruch 11, wobei das Bearbeitungswerkzeug (16) ein Schweißlaser ist, welcher oberhalb einer Durchtrittsöffnung (20) im Deckel (10) hermetisch dicht angeordnet ist.
  13. Bearbeitungsvorrichtung (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei Mittel zum Erzeugen einer Strömung (S) innerhalb der Bearbeitungskammer (6) und/oder der Durchtrittsöffnung (20) vorgesehen sind, um die Durchtrittsöffnung (20) frei von Bearbeitungsrückständen zu halten.
  14. Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks (4) mit einer Bearbeitungsvorrichtung (2), insbesondere mit einer Schweißanlage, bei dem das Werkstück (4) in eine Bearbeitungskammer (6) eingelegt wird und die Bearbeitungskammer (6) mit einem Deckel (10) derart hermetisch dicht verschlos- Bearbeitungskammer (6) mit einem Deckel (10) derart hermetisch dicht verschlossen wird, dass der Deckel (10) und die Bearbeitungskammer (6) relativ zueinander verschoben werden, wobei am Deckel (10) ortsfest ein Bearbeitungswerkzeug (16) befestigt ist, welches beim Bearbeiten des Werkstücks (4) gemeinsam mit dem Deckel (10) relativ zu der Bearbeitungskammer (6) verschoben wird, und wobei ein an der Bearbeitungskammer (6) angebrachtes Dichtungselement (22) durch ein Druckstück (24) vorgespannt und gegen den Deckel (10) gedrückt wird.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, bei dem ein Abstandhalter für Brennelemente in der Bearbeitungskammer (6) bearbeitet wird.
  16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, bei dem im Betrieb eine Strömung (S) durch eine Durchtrittsöffnung (20) im Deckel (10) erzeugt wird.
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