DE102006010337A1

DE102006010337A1 - Off-axis-Objektive mit drehbarem optischen Element

Info

Publication number: DE102006010337A1
Application number: DE102006010337A
Authority: DE
Inventors: Alexandra Pazidis; Aksel GÖHNERMEIER
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2006-03-07
Filing date: 2006-03-07
Publication date: 2007-09-20
Anticipated expiration: 2026-03-08
Also published as: US8339575B2; US20090073412A1; DE102006010337B4; WO2007101860A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Objektiv und ein Verfahren zum Betreiben eines Objektivs, insbesondere eines Projektionsobjektivs für die Mikrolithografie zur Abbildung eines Retikels auf einen Wafer, mit einer Mehrzahl von optischen Elementen, die entlang eines Strahlengangs angeordnet sind, wobei mindestens ein optisches Element erster Art vorgesehen ist, welches von einem Strahlenbündel nur teilweise bestrahlt wird, wobei das oder mehrere optische Elemente erster Art um die oder parallel zur optischen Achse drehbar gelagert oder positionierbar sind, wobei für jedes optische Element erster Art mindestens zwei, vorzugsweise mehrere Lagerpositionen vorgesehen sind und wobei der Drehwinkel zwischen zwei Lagerpositionen durch die durch das Strahlenbündel bestrahlte Fläche derart definiert ist, dass in den verschiedenen Lagerpositionen die von dem Strahlenbündel bestrahlten Flächen nicht überlappen.

Description

HINTERGRUND DER EFINDUNG
GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Objektiv und insbesondere ein Projektionsobjektiv für die Mikrolithografie nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zum Betrieb eines derartigen Objektivs nach dem Oberbegriff des Anspruchs 13.
STAND DER TECHNIK
Zur Herstellung mikrostrukturierter bzw. nanostrukturierter Bauteile in der Elektrotechnik werden Lithografiesysteme eingesetzt, bei denen ein Retikel, welches eine bestimmte Struktur aufweist, beleuchtet und über ein Projektionsobjektiv auf einem Wafer, auf dem die Struktur erzeugt werden soll, abgebildet wird. Durch entsprechende lichtempfindliche Schichten lassen sich so die Mikro- bzw. Nanostrukturen auf einem Wafer erzeugen.

Die derart eingesetzten Projektionsobjektive erfordern somit eine sehr hohe Genauigkeit, wo bei bereits geringste Veränderungen am Objektiv zu Abbildungsfehlern führen können, die zu unerwünschten Abweichungen bei den erzeugten Strukturen führen. Beispielsweise kann es zu Kontaminationen der optischen Elemente, wie Salzablagerungen oder Abscheidungen von SiO₂-Schichten kommen. Um dies zu verhindern, ist in der US 59 69 802 A1 vorgeschlagen worden, im Objektivraum ein entsprechendes Inertgas vorzusehen. Dies führt jedoch zu einem erheblichen Aufwand, was das Einbringen des Gases in den Objektivraum und die Aufrechterhaltung der Gaszusammensetzung im Objektivraum anbelangt. Zudem muss berücksichtigt werden, dass die optischen Eigenschaften des Gases für das Design des Objektivs berücksichtigt werden müssen.

Darüber hinaus kann es auch durch Alterungserscheinungen bei den optischen Elementen, insbesondere auch durch die Bestrahlung der optischen Elemente des Objektivs mit dem gewählten Licht, beispielsweise UV-Licht, zu Veränderungen kommen, die die optischen Eigenschaften beeinträchtigen.

Nach dem Stand der Technik werden derartigen Schäden an optischen Elementen durch den Austausch derselben oder durch Einbringung von Korrekturelementen behoben. Dies stellt jedoch ebenfalls einen hohen Aufwand dar.

Um dieses Problem zu meistern ist in der DE 1995 63 54 A1 weiterhin vorgeschlagen worden, optische Elemente drehbar zu gestalten, um durch Drehung der optischen Elemente während der Belichtung eine asymmetrische Einbringung von Fehlerquellen, beispielsweise durch licht- bzw. wärmeinduzierte Degradation der optischen Elemente, zu vermeiden oder zumindest auszugleichen. Ein derartiges Verfahren ist jedoch ebenfalls aufwendig, da das optische Element während der Belichtung gedreht werden muss.

Ein ähnliches Verfahren ist in der JP 2002 208 549 A1 beschrieben, wobei hier die Anzahl der Belichtungsimpulse und die optischen Eigenschaften des Systems gemessen werden, um auf Basis dieser Informationen eine Verdrehung eines optischen Elementes vorzunehmen. Auf Grund der Mess- und Steuer- bzw. Regelungstechnik ist hier der Aufwand noch einmal erhöht.

AUFGABE DER ERFINDUNG

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Objektiv bereit zu stellen, welches in einfacher Weise die Berücksichtigung von Alterungsschäden erlaubt und mit einfachen Mitteln und in effizienter und kostengünstiger Weise eine hochgenaue Abbildung über eine lange Lebensdauer gewährleistet.

WESEN DER ERFINDUNG

Diese Aufgabe wird gelöst mit einem Objektiv mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie einem Verfahren zum Betrieb eines Objektivs mit den Merkmalen des Anspruchs 13. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.

Die Erfinder haben erkannt, dass sich die im Stand der Technik beschriebene Lösung eines Objektivs mit drehbaren optischen Elementen ( DE 199 563 54 A1 ) dahingehend weiter entwickeln lässt, dass die Drehbarkeit optischer Elemente speziell für optische Elemente in einem Objektiv eingesetzt wird, welche in dem Strahlengang eines Objektivs so angeordnet sind, dass sie während der Abbildung von einem Strahlenbündel nur teilweise bestrahlt werden, so dass lediglich ein Teil des optischen Elements optisch aktiv ist, also der Bestrahlung ausgesetzt ist.

Entsprechend werden auch nur in dem bestrahlten Bereich lichtinduzierte Alterungserscheinungen auftreten. Damit gibt es jedoch auch nach einer gewissen Zeit des Betriebs noch Bereiche des optischen Elementes, die ungeschädigt sind und für eine unbeeinträchtigte Abbildung genutzt werden können.

Im Gegensatz zur DE 1995 63 54 A1 ist es jedoch erforderlich, diese Bereiche gerade durch Vermeidung einer ständigen Drehung vor entsprechender lichtinduzierter Degradation zu schützen. Vielmehr ist es die Idee der vorliegenden Erfindung, nach Auftreten einer Schädigung, die zu einer Beeinträchtigung der Abbildung führt und welche z. B. größer ist als ein bestimmter Schwellwert, das optische Element derart zu drehen oder verdreht zu positionieren, dass nunmehr ein völlig unbeschädigter Teil des optischen Elements so im Strahlengang angeordnet ist, dass dieser unbeschädigte Teil bestrahlt wird.

Entsprechend sind bei einem derartigen Objektiv mindestens ein, vorzugsweise mehrere optische Elemente erster Art vorgesehen, welche nur teilweise bestrahlt werden und die so drehbar gelagert sind, dass mindestens zwei, vorzugsweise mehrere Lagerpositionen vorgesehen sind, die durch Drehung um die oder parallel zur optischen Achse eingenommen werden können und bei denen die bestrahlten Flächen nicht überlappen. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass durch eine Drehung von einer Lagerposition in eine andere Lagerposition ein Bereich des optischen Elements in den bestrahlten Bereich gelangt, welcher bezüglich lichtinduzierter Alterung völlig unbelastet ist.

Dieses Prinzip ist jedoch nicht nur für lichtinduzierte Alterungsschäden anwendbar, sondern beispielsweise auch in Bezug auf sonstige umweltbedingte Schädigungen. Beispielsweise könnte ein optisches Element welches in Kontakt mit einer Immersionsflüssigkeit ist, durch die Immersionsflüssigkeit angegriffen werden. In diesem Fall können die Bereiche des optischen Elements, die nicht für die Abbildung benötigt werden, zunächst mit einer Schutzschicht bzw. Schutzfolie versehen werden, um eine Beeinträchtigung durch Umgebungseinflüsse, wie Immersionsflüssigkeiten oder dergleichen zu vermeiden. Erst wenn in dem optisch aktivem Bereich des optischen Elementes wiederum eine Schädigung aufgetreten ist, die bei spielsweise bestimmte Schwellwerte übersteigt, kann durch eine Drehung des optischen Elements um die optische Achse bzw. um eine Achse parallel dazu ein unbeschädigter, bisher geschützter Bereich in den bestrahlten Bereich geführt werden, um dort dann für die Abbildungsfunktion bereit zu stehen. Vor dem Drehen oder nach dem Drehen des optischen Elementes muss dann lediglich die entsprechende Schutzschicht oder Schutzfolie entfernt werden.

Darüber hinaus ist nach einem weiteren Aspekt das vorgestellte Prinzip so einsetzbar, dass das optische Element bereits in einem zunächst nicht genutzten Bereich bzw. Sektor so gestaltet werden kann, dass es beispielsweise eine zu erwartende Korrektur während der Lebensdauer auftretender Abbildungsfehler anderer, benachbarter optischer Elemente übernehmen kann. Beispielsweise könnte das optische Elemente in entsprechenden Bereichen, die zunächst nicht für die optische Abbildung erforderlich sind, in ihrer Außenkontur so geformt werden, dass sie zu erwartende Lebensdauerschäden anderer optischer Elemente nach dem Eindrehen eines derartige vorbereiteten Bereichs in den Strahlengang kompensieren.

Neben der Veränderung der Außenkontur (Sphäre) ist es zudem denkbar, dass in verschiednen Bereichen (Sektoren) Filter, insbesondere unterschiedliche Filter, wie Gaufilter, aufgebracht werden, entsprechende Antireflexionsschichten oder hochreflektierende Schichten gezielt verstimmt werden, um z. B. eine entsprechende Graufilterwirkung zu erwirken, Schichtdickenanpassungen vorgenommen werden, um die Gleichmäßigkeit (Uniformity) der Pupille zu verbessern, und/oder doppelbrechende Elemente bzw. Bereiche eingeführt werden, die eine induzierte Doppelbrechung, wie sie bei manchen Materialien, wie CaF₂ auftritt, zu kompensieren.

Entsprechend kann nach einem weiteren Aspekt das erfindungsgemäße Prinzip dazu verwendet werden, verschiedene Betriebsmodi eines Objektivs durch entsprechendes Verdrehen eines oder mehrerer optische Elemente zu bewirken. Beispielsweise können ein oder mehrere optische Elemente oder eine Gruppe von optischen Elementen so gestaltet sein, dass ein bestimmter Betriebsmodus mit dem einen Teil des optischen Elements durchführbar ist, während andere Betriebsmodi mit anderen Teilen oder Bereichen der optischen Elemente realisiert werden können, die durch Verdrehen in den Strahlengang eingebracht werden können.

Als Beispiel für einen Betriebsmodus, für den dieses erfindungsgemäße Prinzip besonders gut einsetzbar ist, ist beispielsweise der Wechsel zwischen unpolarisiertem Licht und tangential polarisierter Beleuchtung zu nennen. Hier können dann für die entsprechenden Betriebsmodi die Antireflexschichten für refraktive Elemente, wie Linsen, oder die hochreflektierenden Schichten für reflektive Elemente, wie Spiegel, entsprechend dem tangential polarisierten Licht oder dem unpolarisierten Licht eingestellt werden.

Gleiches gilt beispielsweise für den Betrieb mit oder ohne Immersionsmedium. Hier kann beispielsweise vorgesehen werden, dass ein Bereich einer oder mehrerer Linsen für den trockenen Betrieb ohne Immersionsmedium ausgelegt ist, während ein anderer in einer bestimmten Lagerposition nicht genutzter Bereich des oder der optischen Elemente für den Betrieb mit einer Immersinsflüssigkeit vorbereitet sein kann, so dass durch eine entsprechende Verdrehung des oder der optischen Elemente ein Wechsel zwischen diesen Betriebsmodi eingestellt werden kann.

Die Verdrehung oder allgemein Umpositionierung der optischen Elemente kann entweder manuell oder automatisch erfolgen, wobei im letzteren Fall die optischen Elemente auf entsprechenden Lagermitteln gelagert sein müssen und entsprechende Antriebsmittel wie beispielsweise Elektromotoren oder dergleichen vorgesehen sein müssen. Bei der manuellen Verdrehung ist eine Herausnahme des optischen Elements und Wiedereinsetzten in verdrehter Position möglich, so dass auf aufwendige, zum Verdrehen geeignete Lagermittel verzichtet werden kann.

Bei der Drehung der optischen Elemente muss berücksichtigt werden, ob das optische Element die erforderliche Rotationssymmetrie aufweist. Bei kristallinen Substanzen wie beispielsweise CaF₂-Linsen, die zu intrinsischer Doppelbrechung neigen, muss dies bei der Drehung berücksichtigt werden. Beispielsweise ist bei einer CaF₂-Linse, die in <111>-Richtung orientiert ist, auf Grund der dreizähligen Symmetrie im Hinblick auf die ansonsten auftretende Doppelbrechung nur eine Drehung um die Winkel 120° und 240° möglich.

Im Einzelnen bedeutet dies, dass eine erfindungsgemäßes Objektiv zumindest ein optisches Element umfasst, welches Bereiche oder Sektoren aufweist, die währen der Abbildung bestrahlt oder durchstrahlt werden, während andere Bereiche oder Sektoren sich nicht im Strahlengang befinden.

Neben diesen optischen Elementen erster Art, die sowohl refraktive Elemente, wie Linsen, oder reflektive Elemente, wie Spiegel, umfassen können, können zusätzlich optische Elemente zweiter Art ebenfalls in Form von refraktiven oder reflektive Elementen vorgesehen sein, die feststehend, insbesondere ortsfest in einem entsprechendem Gehäuse eines Objektivs angeordnet sind.

Die Sektoren oder Bereiche können unterschiedlich ausgestaltet sein um Alterungsschäden anderer optischer Elemente auszugleichen und unterschiedliche Betriebsmodi zu ermöglichen.

Entsprechend können die optischen Elemente in den definierten Sektoren oder Bereichen unterschiedlich aufgebaut sein oder aus mehreren Teilen aufgebaut sein oder bestehen. Die Unterschiede zwischen den Sektoren können in jeder Hinsicht gegeben sein oder realisiert werden, beispielsweise dadurch, dass unterschiedliche Außenkonturen ausgebildet werden, die zu einer Kompensierung von zu erwartenden Abbildungsfehlern eingesetzt werden können. Genauso können die Ausbildung von Filtern, insbesondere Graufiltern, die Abänderung von Beschichtungen, z. B. durch Dickenvariation, um auch hier bestimmte Filtereigenschaften zu erzeugen, oder grundsätzlich verschiedene Beschichtungen vorgesehen werden. Zudem lassen sich doppelbrechende Elemente in den verschiedenen Sektoren oder Bereichen anbringen oder die Sektoren, Bereiche oder Teile der optische Elemente sind aus unterschiedlichen Materialien gefertigt oder die Materialien weisen unterschiedliche Kristallorientierungen auf. Insgesamt sind hier bezüglich der unterschiedlichen Gestaltung der Bereiche oder Sektoren bzw. Teile der optischen Elemente vielfältigste Möglichkeiten denkbar, wobei insbesondere auch eine Kombination von mehreren Maßnahmen denkbar ist.

Vorzugsweise kann die unterschiedliche Ausgestaltung der Sektoren oder Bereiche auch dadurch erfolgen, dass in den Bereichen, die zunächst nicht für die optische Abbildung verwendet werden, entsprechende Schutzmaßnahmen vorgesehen sind, beispielsweise das Vorsehen von Schutzfolien oder dergleichen, die dafür sorgen, dass diese Bereiche zunächst unversehrt bleiben.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform können die Schutzmaßnahmen so gestaltet sein, dass sie nach dem Eindrehen des entsprechenden Bereichs in den optischen Strahlengang automatisch abgebaut bzw. aufgelöst werden, wie dies beispielsweise bei Folien oder Beschichtungen möglich ist, die sich durch entsprechendes Licht zersetzen. Darüber hinaus können auch photochemische Prozesse eingesetzt werden, bei denen in Kombination mit entspre chendem Lichteinfall und weiteren chemischen Stoffen, wie beispielsweise eingeleitetem Sauerstoff oder einer Immersionsflüssigkeit, die in Kontakt mit dem optischen Element gelangt, die entsprechenden Schutzmaßnahmen, wie Schutzschichten oder Folien, aufgelöst werden können.

Die verschiedenen Betriebsmodi, die durch die unterschiedliche Gestaltung der Sektoren oder Bereiche möglich ist, können vorzugsweise den Betrieb bei tangential polarisierter Beleuchtung sowie unpolarisierter Beleuchtung umfassen, so dass die Transmission bei Linsen bzw. Reflexion bei Spiegeln für beide Betriebszustände gleich eingestellt werden kann.

In gleicher Weise können als unterschiedliche Betriebmodi ein Betriebsmodus mit Immersionsflüssigkeit und einer ohne Immersionsflüssigkeit gewählt werden, wobei durch die unterschiedliche Gestaltung der entsprechenden Bereiche der optischen Elemente für beide Betriebsmodi eine optimale Konfiguration geschaffen werden kann.

Entsprechend können die denkbaren Betriebsmodi auch alle Betriebsmodi umfassen, bei denen alternativ unterschiedliche Maßnahmen zur Kompensation oder Vermeidung unterschiedlicher Abbildungsfehler getroffen werden. Dies ist insbesondere bei konkurrierenden Maßnahmen vorteilhaft, so dass mit dem erfindungsgemäßen Prinzip je nach Einsatz und Anwendungsfall die Kompensation eines anderen Abbildungsfehlers durch entsprechendes Verdrehen der entsprechenden optischen Elemente in den Vordergrund gestellt werden kann.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform können mehrere optische Elemente erster Art, die also drehbar oder mehrfach positionierbar gestaltet sind, zu Gruppen zusammengefasst werden, wobei insbesondere alle Elemente einer Gruppe gleichzeitig, vorzugsweise um den gleichen Drehwinkel in die verschiedenen Lagerpositionen drehbar sind.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten Zeichnung deutlich. Die Zeichnung zeigt hierbei in rein schematischer Weise eine Draufsicht auf ein optisches Element vor und nach der Drehung.

BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORM
Die Figur zeigt ein optisches Element in Form einer Linse 1, welche von dem zur Abbildung verwendeten Licht in einem rechteckigen Bereich 2 bestrahlt wird. Durch die Bestrahlung mit Licht, beispielsweise UV-Licht, kommt es zu einer Degradation der Linse 1 beispielsweise durch compaction oder rarefraction, so dass die Abbildungseigenschaften, beispielsweise hinsichtlich der Gleichmäßigkeit (uniformity) geändert bzw. beeinträchtigt werden.
Sofern dies einen bestimmten Schwellwert übersteigt, wird die Linse 1 entgegen dem Uhrzeigersinn um 90° gedreht und/oder neu positioniert, so dass der geschädigte Bereich 2 im Sektor 6 aus dem Bestrahlungsbereich 7 entfernt wird, während der unbeschädigte Sektor 5 in den Bestrahlungsbereich bzw. in das Bildfeld hinein gedreht wird.
Wie sich aus den schematisch eingezeichneten Sektoren 3 bis 5 ergibt, weist die Linse 1 vier Lagerpositionen auf, wovon in der Figur zwei Lagerpositionen gezeigt sind, und zwar zum einen die Lagerposition, in der der Sektor 3 in der Figur oben angeordnet ist, und eine zweite Lagerposition, in der der Sektor 6 in der Figur oben angeordnet ist. Weitere Lagerpositionen sind dadurch gegeben, wenn der Sektor 4 bzw. der Sektor 5 in der Figur oben angeordnet ist.
Während nach dem bisherigen Stand der Technik die Linse 1 mit dem geschädigtem Bereich 2 ausgewechselt worden wäre, kann nunmehr die Lebensdauer der Linse 1 vervierfacht werden, da vier Lagerpositionen möglich sind, in der die Linse 1 bis zu einer gewissen Schädigung betrieben werden kann.

Claims

Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv oder Beleuchtungsobjektiv für die Mikrolithographie zur Abbildung eines Retikels auf einen Wafer, mit einer Mehrzahl von optischen Elementen, die entlang eines Strahlengangs angeordnet sind, wobei mindestens ein optisches Element erster Art vorgesehen ist, welches von einem Strahlenbündel nur teilweise bestrahlt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das oder mehrere optische Elemente erster Art um die oder parallel zur optischen Achse drehbar gelagert oder positionierbar sind, wobei für jedes optische Element erster Art mindestens zwei, vorzugsweise mehrere Lagerpositionen vorgesehen sind und wobei der Drehwinkel zwischen zwei Lagerpositionen durch die durch das Strahlenbündel bestrahlte Fläche derart definiert ist, dass in den verschiedenen Lagerpositionen die von dem Strahlenbündel bestrahlten Flächen nicht überlappen.
Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element erster Art eine refraktives Element, insbesondere eine Linse, oder ein reflektives Element, insbesondere ein Spiegel, ist.
Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich ein oder mehrere optische Elemente zweiter Art in Form von refraktiven oder reflektiven Elementen vorgesehen sind, die feststehend, insbesondere ortsfest in einem Gehäuse vorgesehen sind.
Objektiv nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem optischen Element entsprechend der Lagerpositionen Sektoren oder Bereiche vorgesehen sind, die jeweils die von einem Strahlenbündel bestrahlte Fläche abdecken, wobei die Sektoren oder Bereiche unterschiedlich gestaltet sind.
Objektiv nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Sektor oder Bereich so ausgebildet ist, dass er Alterungsschäden anderer optischer Elemente ausgleicht.
Objektiv nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Sektor oder Bereich insbesondere gegenüber anderen Sektoren oder Bereichen eine angepasste Außenkontur, einen Filter, verstimmte Beschichtungen, unterschiedliche Schichtdicken von Beschichtungen, unterschiedliche Beschichtungen, doppelbrechende Elemente, unterschiedliches Material, unterschiedliche Kristallorientierungen und/oder Kombinationen davon aufweist.
Objektiv nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Sektor oder Bereich eine Schutzschicht aufweist, die vorzugsweise durch eine Schutzfolie oder Schutzschicht gebildet ist, welche sich insbesondere durch Bestrahlung auflöst und/oder durch photochemische Prozesse aufgelöst wird.
Objektiv nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Sektoren oder Bereiche vorgesehen sind, die für mindestens zwei unterschiedliche Betriebsmodi hergerichtet ist.
Objektiv nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Betriebsmodi tangential polarisierte Beleuchtung und unpolarisierte Beleuchtung, Betrieb mit oder ohne Immersionsflüssigkeit oder Abbildungsfehler alternativ kompensierende Maßnahmen umfassen.
Objektiv nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere optische Elemente erster Art zu Gruppen zusammengeschlossen sind, die gleichzeitig und vorzugsweise um den gleichen Drehwinkel in verschiedene Lagerpositionen drehbar sind.
Objektiv nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element aus mehreren Teilen aufgebaut ist, insbesondere entsprechend der Sektoren oder Bereiche.
Objektiv nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das letzte optische Element unmittelbar gegenüberliegend dem Wafer als optisches Element erster Art ausgebildet ist.
Verfahren zum Betrieb eines Objektivs, insbesondere Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie zur Abbildung eines Retikels auf einen Wafer, vorzugsweise nach einem der Ansprüche 1 bis 12, mit einer Mehrzahl von optischen Elementen, die entlang eines Strahlengangs angeordnet sind, wobei mindestens ein optisches Element erster Art vorgesehen ist, welches von einem Strahlenbündel nur teilweise bestrahlt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das oder mehrere optische Elemente erster Art um die oder parallel zur optischen Achse gedreht werden, wenn an dem optischen Element ein Alterungsschaden festgestellt wird oder ein anderer Betriebsmodus gewählt werden soll.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Alterungsschaden oder die dadurch bedingten Abbildungsfehler einen bestimmten Schwellwert übersteigen müssen.
Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Teil des optischen Elements vor oder nach dem Drehen bearbeitet wird, insbesondere eine Schutzfolie abgezogen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass für die Bestimmung des Drehwinkels die Kristallsymmetrie des optischen Elements berücksichtigt wird.