DE102006006582A1 - Laser und Verfahren zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung - Google Patents

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Abstract

Es wird bereitgestellt ein Laser zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge, mit einem Resonator (1), einem im Resonator (1) angeordneten gepumpten aktiven Medium (4), das Primärstrahlung einer zweiten Wellenlänge, die verschieden zur ersten Wellenlänge ist, abgibt, einem im Resonator (1) angeordneten Element (7), das zur Erzeugung von Laserstrahlung mit der ersten Wellenlänge durch Frequenzumwandlung der Primärstrahlung dient, wobei der Resonator (1) in einen ersten Zustand, in dem er für die Primärstrahlung offen ist, und in einen zweiten Zustand, in dem er für die Primästrahlung geschlossen ist, schaltbar ist und in beiden Zuständen für Laserstrahlung der ersten Wellenlänge offen ist und wobei der Laser eine Steuereinheit (9) aufweist, die zur Erzeugung eines Pulses der Laserstrahlung in einem ersten Schritt den Resonator (1) vom ersten in den zweiten Zustand schaltet, so daß zumindest eine Resonatormode für die Primärstrahlung anschwingt, wodurch die Pulserzeugung aufgrund der Frequenzumwandlung mittels des Elements (7) beginnt, und die in einem auf den ersten Schritt folgenden zweiten Schritt den Resonator (1) vom zweiten in den ersten Zustand schaltet, wodurch Primärstrahlung aus dem Resonator (1) ausgekoppelt wird und somit die Pulserzeugung endet, wobei die Zeitdauer zwischen beiden Schritten und/oder das Auskoppelverhalten des Resonators (1) zur Verstellung der Pulsdauer an der Steuereinheit einstellbar ist/sind.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Laser zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge, bei dem die Laserstrahlung durch Frequenzumwandlung innerhalb des Laserresonators erzeugt wird.
  • Es ist bekannt, die infrarote Strahlung eines Lasers mit Hilfe von optischen nicht-linearen Kristallen, die vorzugsweise resonatorintern angeordnet werden, in den sichtbaren Spektralbereich zu konvertieren. Solche Laser können die gewünschten Pulse im gütegeschalteten Betrieb emittieren.
  • Festkörperlaser mit Güteschaltung haben jedoch eine obere Grenze der Pulswiederholrate, die u.a. durch die Fluoreszenz-Lebensdauer des oberen Laserniveaus, den stimulierten Emissionswirkungsquerschnitt des Laserions, der Resonatorlänge, den Auskoppelgrad und die Pumpleistungsdichte bestimmt ist. Oberhalb dieser Grenzfrequenz kommt es zu starken Schwankungen der Pulsenergie zunächst zwischen zwei aufeinanderfolgenden Pulsen ("Ping-Pong-Effekt"), wobei jeweils jeder zweite Puls dieselbe Pulsenergie aufweist, aber abwechselnd jeweils ein Puls mit höherer Pulsenergie auf einen Puls mit niedriger Energie folgt. Bei noch höheren Pulswiederholraten fällt jeder zweite Puls aus oder es entstehen sogar mehrere Bifurkationen bezüglich der Pulsenergie. Insgesamt ist ein Betrieb oberhalb dieser Grenzfrequenz technisch also nicht mehr sinnvoll.
  • In der US 6,654,391 ist ein Verfahren für einen gütegeschalteten Laser mit resonatorinterner Frequenzverdoppelung beschrieben, bei dem eine Pulsstabilisierung dadurch erreicht wird, daß der Pulsschwanz der frequenzverdoppelten Laserstrahlung jeweils auf der abfallenden Flanke abgeschnitten wird. Wesentlich ist dabei, daß ein Teil der gespeicherten Energie im Laser bleibt, wodurch eine Verbesserung der Puls-zu-Puls-Stabilität bei hohen Pulswiederholraten und eine Erhöhung der Frequenzverdoppelung erreicht wird. Eine wesentliche Pulsverkürzung ist jedoch nicht möglich und daher ist dieses Verfahren auch nur für Nd:YAG oder Nd:YVO4 oder vergleichbare Systeme mit kurzer Lebensdauer des oberen Laserniveaus und großen Verstärkungs-Wirkungsquerschnitten geeignet, die in einem gütegeschalteten Laser zu kürzeren Pulsen führen. Um hohe Durchschnittsleistungen mit hoher Strahlqualität mit diesem Verfahren zu erreichen, sind Nd-dotierte Laser ungeeignet, da aufgrund des hohen Quantendefekts eine starke Aufheizung des Laserkristalls und damit starke opto-thermische Störungen auftreten, die die Ausgangsleistung bei hoher Strahlqualität begrenzen.
  • Mit Yb:YAG-Lasern in der Scheibenlaseranordnung, wie sie beispielsweise in der EP 0 632 551 beschrieben sind, bestehen diese Einschränkungen nicht. Jedoch ist Yb:YAG durch eine sehr lange Lebensdauer des oberen Laserniveaus von ca. 1 ms und einem geringen Verstärkungs-Wirkungsquerschnitt gekennzeichnet. Im Güteschaltungsbetrieb werden bei Pulsraten von über 25 kHz die Pulse instabil und die Pulslängen können bis zu mehrere μs betragen.
  • Die US 4,841,528 beschreibt eine Laseranordnung, bei der der Laser im Cavity Dumping Betrieb betrieben wird, wobei die ausgekoppelte Laserstrahlung mittels eines nicht-linearen Kristalls, der außerhalb des Resonators angeordnet ist, frequenzverdoppelt wird. Die Anordnung ist so ausgebildet, daß der Teil der ausgekoppelten Laserstrahlung, der nicht frequenzverdoppelt wird, wieder in den Resonator eingekoppelt wird. Eine Anordnung, bei der der frequenzverdoppelte Kristall innerhalb des Resonators angeordnet ist, wird in dieser Druckschrift als nachteilig beschrieben.
  • Ausgehend hiervon ist es Aufgabe der Erfindung, einen Laser zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge, insbesondere mit einem Yb:YAG-Laserresonator, zur Verfügung zu stellen, bei dem die Pulslänge der frequenzumgewandelten Laserstrahlung variiert werden kann und der Laser gleichzeitig bei hohen Pulswiederholraten, insbesondere höher als bei gütegeschalteten Lasern, betrieben werden kann.
  • Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch einen Laser zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge, mit einem Resonator, einem im Resonator angeordneten gepumpten aktiven Medium, das Primärstrahlung einer zweiten Wellenlänge, die verschieden zur ersten Wellenlänge ist, abgibt, einem im Resonator angeordneten Element, das zur Erzeugung von Laserstrahlung mit der ersten Wellenlänge durch Frequenzumwandlung der Primärstrahlung dient, wobei der Resonator in einen ersten Zustand, in dem er für die Primärstrahlung offen ist, und in einen zweiten Zustand, in dem er für die Primärstrahlung geschlossen ist, schaltbar ist und in beiden Zuständen für Laserstrahlung der ersten Wellenlänge offen ist, und wobei der Laser eine Steuereinheit aufweist, die zur Erzeugung eines Pulses der Laserstrahlung in einem ersten Schritt den Resonator vom ersten in den zweiten Zustand schaltet, so daß zumindest eine Resonatormode für die Primärstrahlung anschwingt und die Pulserzeugung durch Frequenzumwandlung mittels dem Element beginnt, und die in einem auf den ersten Schritt folgenden zweiten Schritt den Resonator vom zweiten in den ersten Zustand schaltet, wodurch Primärstrahlung aus dem Resonator ausgekoppelt wird, die Intensität der Primärstrahlung im Resonator sinkt und somit die Pulserzeugung endet, wobei die Zeitdauer zwischen beiden Schritten und/oder das Auskoppelverhalten des Resonators zur Verstellung der Pulsdauer an der Steuereinheit einstellbar ist/sind.
  • Mit diesem Laser wird der Ansatz des Cavity-Dumping-Betriebs dazu genutzt, die Intensität der für die Frequenzumwandlung notwendige Primärstrahlung sehr schnell (quasi schlagartig) so zu verringern, daß die Frequenzumwandlung zusammenbricht bzw. die Intensität der frequenzumgewandelten Laserstrahlung unter einen gewünschten Mindestwert sinkt, so daß darüber die Pulsdauer festgelegt wird. Da die Zeitdauer zwischen beiden Schritten und/oder das Auskoppelverhalten (z.B. Auskoppelgrad im ersten Zustand des Resonators, Umschaltdauer vom zweiten in den ersten Zustand im zweiten Schritt) an der Steuereinheit einstellbar ist/sind, kann die Pulsdauer der Pulse leicht in einem weiten Bereich variiert werden. Bei der Verwendung eines Yb-dotierten Mediums als aktives Medium sind beispielsweise Pulslängen von größer als 100 ns bei Pulswiederholraten von 20 bis 200 kHz möglich.
  • Das Auskoppelverhalten kann über die Einstellung der Umschaltdauer vom zweiten in den ersten Zustand (im zweiten Schritt) mittels der Steuereinheit verändert werden. Da mit steigender Umschaltdauer die Verringerung der Intensität der Primärstrahlung im Resonator (also die Auskopplung der Primärstrahlung) langsamer erfolgt, wird die Pulsbreite erhöht. Die Pulsbreite kann somit auch über die Umschaltdauer ein- und verstellt werden.
  • Insbesondere kann die Steuereinheit den zweiten Schritt noch während der ansteigenden Flanke des Pulses durchführen. Es hat sich gezeigt, daß dadurch die Einstellbarkeit der Pulsbreite äußerst exakt und mit sehr guter Wiederholbarkeit möglich ist.
  • Die Steuereinheit kann den zweiten Schritt erst bei Erreichen eines vorbestimmten Wertes einer vorbestimmten physikalischen Kenngröße (z. B. Intensität, (momentane) Leistung, Energie) der Primärstrahlung oder der Laserstrahlung durchführen. Dies führt zu dem weiteren Vorteil, daß die Pulsenergie begrenzt ist und dadurch eine Beschädigung von optischen Komponenten sicher verhindert werden kann. Der Laser weist dazu bevorzugt ein Meßmodul auf, das die Kenngröße der Primär- oder Laserstrahlung direkt oder indirekt mißt und an die Steuereinheit einen entsprechenden Signalwert übermittelt. Der Signalwert dient dann zur Bestimmung des vorliegenden Wertes der Kenngröße.
  • Der vorbestimmte Wert der Kenngröße (z. B. Intensität, Leistung, Energie) kann an der Steuereinheit eingestellt werden.
  • Bei dem Laser kann die Steuereinheit den ersten und zweiten Schritt wiederholt durchführen, wobei die Zeitdauer zwischen einem zweiten Schritt und dem nachfolgenden ersten Schritt zur Verstellung der Pulswiederholrate an der Steuereinheit einstellbar ist. Damit ist es möglich, die Pulswiederholrate und die Pulsbreite unabhängig voneinander einzustellen. Insbesondere können auch Einzelpulse erzeugt werden. Mit der Steuerung der Pulsbreite über die Intensität, Leistung oder Energie der Primärstrahlung oder Laserstrahlung können beispielsweise im Burstmode-Betrieb (Pulszüge) überhöhte Pulsenerigen des ersten Impulses vermieden werden. Durch die Stabilisierung der Pulsenergie werden Puls-zu-Puls-Stabilitäten von kleiner als 5 (Minimalwert zu Maximalwert) erreicht.
  • Der Resonator des Lasers kann ein Auskoppelmodul aufweisen, das im ersten Zustand mehr Primärstrahlung aus dem Resonator auskoppelt als im zweiten Zustand. Insbesondere kann das Auskoppelmodul so ausgebildet sein, daß es im zweiten Zustand keine Primärstrahlung auskoppelt.
  • Das Auskoppelmodul kann mindestens einen akusto-optischen oder elektro-optischen Modulator enthalten.
  • Das Element zur Frequenzumwandlung weist insbesondere ein geeignetes nicht-lineares optisches Material auf und ist bevorzugt als Element zur Frequenzvervielfachung ausgebildet. So kann es beispielsweise eine Frequenzverdopplung bewirken. Dazu kann z.B. ein Lithiumtriborat-Kristall verwendet werden.
  • Es wird ferner ein Verfahren zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge bereitgestellt, wobei zur Erzeugung eines Pulses der Laserstrahlung in einem ersten Schritt Primärstrahlung einer zweiten Wellenlänge, die verschieden von der ersten Wellenlänge ist, in einem Resonator so erzeugt wird, daß zumindest eine Resonatormode anschwingt, und im Resonator durch Frequenzumwandlung aus der Primärstrahlung Laserstrahlung mit der ersten Wellenlänge erzeugt und aus dem Resonator ausgekoppelt wird, und in einem auf den ersten Schritt folgenden zweiten Schritt Primärstrahlung aus dem Resonator so ausgekoppelt wird, daß die Intensität der Primärstrahlung für die Frequenzvervielfachung sinkt und somit die Pulserzeugung endet, wobei die Zeitdauer zwischen den beiden Schritten und/oder das Auskoppelverhalten (z.B. Auskoppelgrad im zweiten Schritt, Umschaltdauer vom ersten zum zweiten Schritt) zur Verstellung der Pulsdauer einstellbar ist/sind.
  • Mit diesem Verfahren können, insbesondere wenn beispielsweise ein Yb-dotiertes Lasermedium eingesetzt wird, die Pulsbreiten über einen sehr hohen Bereich eingestellt werden. Ferner sind Pulswiederholraten von größer als 20 kHz möglich, wobei die Pulsbreite nahezu unabhängig von der Pulswiederholrate einstellbar ist.
  • Der zweite Schritt kann insbesondere noch während der ansteigenden Flanke des Pulses durchgeführt werden. Damit kann die Pulsdauer äußerst exakt und sehr reproduzierbar eingestellt werden.
  • Ferner kann der zweite Schritt bei Erreichen eines vorbestimmten Wertes einer vorbestimmten, physikalischen Kenngröße (z. B. Intensität, Leistung, Energie) der Primärstrahlung oder der Laserstrahlung durchgeführt werden. Dieses Vorgehen führt zu einer sehr exakten Einstellbarkeit der Pulsdauer. Insbesondere können zu hohe Pulsenergien vermieden werden, die zu Beschädigungen von optischen Elementen führen könnten.
  • Beim Verfahren können der erste und zweite Schritt wiederholt durchgeführt werden, wobei die Zeitdauer zwischen einem zweiten Schritt und dem nachfolgenden ersten Schritt zur Verstellung der Pulswiederholrate einstellbar ist. Damit wird es möglich, unabhängig von der eingestellten Pulsdauer die Pulswiederholrate zu wählen.
  • Bei dem Verfahren kann über die Umschaltdauer vom ersten zum zweiten Schritt die Pulsbreite ein- und verstellt werden, da die Umschaltdauer die Auskopplung der Primärstrahlung beeinflußt. Mit steigender Umschaltdauer, wird die Auskopplung verlangsamt, was zu größeren Pulsbreiten führt.
  • Die Erfindung wird nachfolgend beispielhalber anhand der Figuren noch näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Lasers gemäß einer ersten Ausführungsform;
  • 2 eine detaillierte Darstellung des Laserresonators 1 von 1;
  • 3 die Pulsform des im Resonator erzeugten infraroten Strahls, des ausgekoppelten infraroten Strahls sowie des frequenzverdoppelten grünen Strahls;
  • 4 der zeitliche Verlauf von drei erzeugten grünen frequenzvervielfachten Laserpulsen zusammen mit dem Trigger-Signal für die Pockelszelle 14 von 2, und
  • 5 der zeitliche Verlauf von drei erzeugten grünen frequenzvervielfachten Laserpulsen zusammen mit dem Ein/Aus-Zustand der Pockelszelle 14 von 2.
  • Der erfindungsgemäß Laser zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge umfaßt bei der in 1 schematisch dargestellten Ausführungsform einen Laserresonator 1, der durch zwei Resonatorspiegel 2, 3 gebildet ist und in dem ein Yb:YAG-Medium 4 als aktives Medium, ein optisches Auskoppelmodul 5, ein Auskoppelspiegel 6 sowie ein nicht-lineares optisches Element 7 zur Frequenzvervielfachung angeordnet sind. Ferner umfaßt der Laser eine Pumplichtquelle 8, eine Steuereinheit 9 zur Steuerung des Auskoppelmoduls 5 sowie eine Fotodiode 10.
  • Das aktive Medium 4 wird mit dem Licht der Pumplichtquelle 8 (hier kontinuierlich) gepumpt (Pfeil P1) und gibt Primärstrahlung einer zweiten Wellenlänge (hier im Infrarotbereich) ab, die verschieden ist von der ersten Wellenlänge (hier im sichtbaren grünen Bereich). Das Auskoppelmodul 5 kann in einen ersten und zweiten Zustand mittels der Steuereinheit 9 geschaltet werden, wobei erzeugte Primärstrahlung im ersten Zustand aus dem Resonator 1 ausgekoppelt wird (Pfeil P2). In diesem Fall ist der Resonator 1 für die Primärstrahlung offen. Im zweiten Zustand des Auskoppelmoduls 5 wird keine Primärstrahlung aus dem Resonator 1 ausgekoppelt, so daß der Resonator 1 für die Primärstrahlung geschlossen ist. Der Resonator 1 ist hier als Laserresonator für die Primärstrahlung ausgelegt.
  • Der Auskoppelspiegel 6 koppelt einen geringen Anteil der Primärstrahlung aus (Pfeil P3) und lenkt diesen auf die Fotodiode 10, mit der die Intensität der Primärstrahlung im Laserresonator 1 gemessen werden kann.
  • Das nicht-lineare optische Element 7 dient hier zur Frequenzverdopplung der Primärstrahlung, so daß quadratisch mit der Intensität der infraroten Primärstrahlung die frequenzverdoppelte grüne Laserstrahlung (Laserstrahlung der ersten Wellenlänge) erzeugt wird. Der Resonatorspiegel 3 ist als dichroitsche Spiegel ausgebildet, der die Primärstrahlung reflektiert und die frequenzverdoppelte grüne Laserstrahlung transmittiert, wie durch den gestrichelt gezeichneten Pfeil P4 angedeutet ist.
  • In 2 ist eine konkrete Ausführungsform des Laserresonators 1 dargestellt, wobei der Auskoppelspiegel 6, die Pumplichtquelle 8, die Steuereinheit 9 sowie die Fotodiode 10 nicht eingezeichnet sind.
  • Der Laserresonator 1 umfaßt neben den Resonatorspiegeln 2 und 3 weitere Spiegel 11, 12 und 13 und das aktive Medium 4 ist in der sogenannten Scheibenlaser-Anordnung vorgesehen.
  • Das Auskoppelmodul 5 umfaßt eine BBO-Pockelszelle (BBO = Betabariumborat-Kristall) 14 sowie ein Dünnfilmpolarisator 15. Das nicht-lineare Element 7 ist ein LBO-Kristall 16 (LBO = Lithiumtriborat).
  • Der Betrieb des Lasers von 1 und 2 wird in Verbindung mit 3 erläutert, in der die zeitliche Pulsform des resonatorinternen infraroten Strahls (gestrichelte Kurve K1), des ausgekoppelten infraroten Strahls (gepunktete Kurve K2) sowie des frequenzverdoppelten grünen Strahls (Kurve K3) jeweils auf eins normiert dargestellt sind. Ferner ist das Trigger-Signal mit rechteckförmigem Verlauf (Kurve K4) für die Pockelszelle 14 eingezeichnet. Wenn das Trigger-Signal den Wert 1 aufweist, ist die Pockelszelle 14 ausgeschaltet, so daß keine erzeugte Primärstrahlung aus dem Laserresonator 1 ausgekoppelt wird. Wenn das Trigger-Signal den Wert 0 aufweist, ist die Pockelszelle 14 eingeschaltet, so daß Primärstrahlung ausgekoppelt wird (Pfeil P2 in 1 und 2).
  • Wenn nun zum Zeitpunkt t1 (3) das Trigger-Signal von 0 auf 1 geschaltet wird, wird der Laserresonator von seinem offenen Zustand (erster Zustand, in dem Primärstrahlung ausgekoppelt wird) in den zweiten Zustand geschaltet, in dem keine Primärstrahlung ausgekoppelt wird. Da das aktive Medium 4 dauernd gepumpt wird, schwingt nach einer gewissen Zeitdauer zumindest eine erste Resonatormode an, so daß die Intensität (Kurve K1) des resonatorinternen infraroten Signals (Primärstrahlung) ansteigt. Das nicht-lineare optische Element 7 (des LBO-Kristalls 16) erzeugt aus der Primärstrahlung eine frequenzverdoppelte grüne Laserstrahlung (Kurve K3), deren Intensität mit steigender Intensität der resonatorinternen infraroten Strahlung ebenfalls ansteigt. Diese ansteigende Intensität der frequenzverdoppelten Laserstrahlung bildet die ansteigende Flanke des gewünschten grünen Laserpulses.
  • Zu einem Zeitpunkt t2 schaltet die Steuereinheit 9 die Pockelszelle 14 ein (das Trigger-Signal (Kurve K4) wird von 1 auf 0 umgeschaltet), so daß nun die erzeugte Primärstrahlung ausgekoppelt wird. Aufgrund von Laufzeiten der elektrischen Signale reagiert die Pockelszelle 14 in dem hier beschriebenen Beispiel etwa mit einer Verzögerung von 50 ns. Diese Verzögerung ist in der graphischen Darstellung von 3 angedeutet. Die im Resonator 1 erzeugte Primärstrahlung (Kurve K1) nimmt ab und als Folge nimmt die mittels dem nichtlinearen Element 7 erzeugte frequenzverdoppelte Laserstrahlung Kurve K3 auch ab. Die Intensität der grünen Laserstrahlung sinkt auf Null, so daß die absteigende Flanke gebildet und somit der Puls beendet ist. Die ausgekoppelte Infrarotstrahlung (K2) nimmt hingegen zu.
  • Die Pulsdauer des frequenzverdoppelten grünen Pulses (Kurve K3) kann somit durch die Einschaltdauer der Pockelszelle eingestellt werden. Die Einschaltdauer entspricht der Zeit Δt1, während der das Trigger-Signal 1 beträgt. Die Steuereinheit 9 kann die Zeitdauer Δt1 ändern und somit über diese Zeitdauer die Pulsdauer bzw. Pulsbreite des erzeugten grünen Laserpulses (Kurve K3) einstellen. Nachdem die Zeitdauer Δt1 hier ca. um den Faktor 10 größer ist als die Pulsdauer, ist die Zeitdauer in 3 nicht maßstabsgetreu eingezeichnet.
  • Die beschriebene Betriebsweise des Lasers ist ähnlich zu der sogenannten Cavity-dumping-Betriebsart. Bei der Cavity-dumping-Betriebsart wird die Energie im Photonenfeld im Laserresonator gespeichert und zur Erzeugung eines Pulses wird mittels eines elektrooptischen oder akustooptischen Auskoppelelements der gewünschte Puls entsprechend ausgekoppelt. Bei der hier beschriebenen Ausführungsform wird die Auskopplung des Primärstrahles dazu genutzt, die Erzeugung des frequenzverdoppelten Laserstrahles zu beenden bzw. die Intensität des frequenzverdoppelten Laserstrahls unter einen gewünschten Mindestwert absinken zu lassen, wodurch vorteilhaft die Pulsdauer des erzeugten frequenzverdoppelten Laserpulses in weiten Bereichen einstellbar ist.
  • Es hat sich gezeigt, daß die Pulsbreite von ca. 100 bis 500 ns (bei Einschaltdauer Δt1 der Pockelszelle von 2,00 bis 3,50 μs) bei einer Pulswiederholrate von über 20 kHz, insbesondere bei Pulswiederholraten von 50 bis 200 kHz mit einer Beugungsmaßzahl M2 von kleiner als 5 (insbesondere von 1) erreicht wurden. Es konnte bei einer Pulslänge von 300 ns und einer Pulswiederholrate von 50 und 100 kHz sowie bei einer Pumpleistung von 450 Watt eine mittlere Leistung des grünen Laserpulses von ca. 100 Watt erreicht werden. Das entspricht einem Wirkungsgrad von über 20%. Mit abnehmender Pumpleistung auf bis zu 150 Watt nahm die mittlere Leistung des grünen Pulses nahezu linear auf ca. 10 Watt ab. Die Pulsbreite konnte von weniger als 100 ns sogar bis mehr als 1000 ns betragen.
  • Die Einstellung der Pulsdauer mittels der Steuereinheit 9 wird in dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel durchgeführt, in dem über den dichroitischen Auskoppelspiegel 6 und die Fotodiode 10 die Intensität der Primärstrahlung laufend erfaßt wird. Übersteigt die gemessene Intensität einen vorbestimmten Schwellwert, wird die Pockelszelle 14 eingeschaltet.
  • Es ist jedoch auch möglich, den Auskoppelspiegel 6 innerhalb oder außerhalb des Resonators 1 so anzuordnen, daß die Intensität der erzeugten grünen Laserstrahlung gemessen werden kann. In diesem Fall kann die Steuereinheit 9 in Abhängigkeit der Intensität der grünen Laserstrahlung in gleicher Weise wie bezüglich der Intensität der Primärstrahlung durchgeführt werden.
  • Ferner ist es möglich, die Zeitdauer Δt1 auf vorbestimmte konstante Werte einzustellen und damit die Pulsdauer der grünen Laserstrahlung zu bestimmen.
  • Die Pulswiederholrate kann mittels der Steuereinheit 9 dadurch eingestellt werden, daß die Einschaltdauer der Pockelszelle 14 entsprechend gewählt wird. In 4 und 5 ist jeweils nur die erzeugte grüne Laserstrahlung für drei aufeinanderfolgende Pulse eingezeichnet, wobei in 4 der Wert des Trigger-Signals und in 5 der Ein- bzw. Aus-Zustand der Pockelszelle 14 dargestellt sind. Wie 4 und 5 entnommen werden kann, kann über die Einschaltdauer Δt2 der Pockelszelle 14 (also die Zeitdauer, in der die Primärstrahlung ausgekoppelt wird) die Pulswiederholrate festgelegt werden. Wenn die Einschaltdauer Δt2 erhöht wird, nimmt die Pulswiederholrate ab. Bei einer Verkürzung der Einschaltdauer, nimmt die Pulswiederholrate zu. Es ist daher beim erfindungsgemäßen Laser nicht nur möglich, die Pulsdauer über die Steuereinheit 9 einzustellen, sondern auch die Pulswiederholrate kann einge- bzw. verstellt werden, wobei die Pulsdauer und die Pulswiederholrate nahezu unabhängig voneinander einstellbar sind.
  • Die Pockelszelle 14 und der Polarisator 15 sind hier so ausgelegt, daß bei eingeschalteter Pockelszelle 14 der Polarisator 15 eine Reflektivität von circa 50% aufweist. Bei ausgeschalteter Pockelszelle weist er eine Reflektivität von (nahezu) 100% auf (jeweils bezogen auf die vom Spiegel 2 kommende und auf den Polarisator 15 fallende infrarote Primärstrahlung). Über die an der Pockelszelle 14 anzulegende Spannung, um die Pockelszelle 14 einzuschalten, kann jedoch der Polarisationszustand der Primärstrahlung und somit in Verbindung mit dem Polarisator der Reflexionsgrad am bzw. die Reflektivität des Polarisators 15 bei eingeschalteter Pockelszelle 14 variiert werden. Der Reflexionsgrad bei eingeschalteter Pockelszelle 14 bestimmt, wie schnell der Resonator 1 entleert wird. Wenn der Reflexionsgrad bei eingeschalteter Pockelszelle 14 erhöht wird, wird pro Zeiteinheit weniger Primärstrahlung ausgekoppelt, so daß die Pulsbreite des grünen Pulses bei gleicher Einschaltdauer der Pockelszelle 14 zunimmt. Wenn die Reflektivität durch die entsprechend angelegte Spannung bei eingeschalterer Pockelszelle 14 abnimmt, wird die Pulsdauer geringer.
  • So konnte bei einer Steigerung der an die Pockelszelle 14 angelegten Spannung von 2,0 kV auf 3,5 kV die Pulsdauer von ca. 400 ns auf ca. 200 ns verringert werden.
  • Der Einschaltzeitpunkt der Pockelszelle 14 wird bei den beschriebenen Ausführungsformen stets so gewählt, daß er während der noch ansteigenden Flanke der frequenzverdoppelten grünen Laserstrahlung liegt.
  • Es ist auch eine Triggerung der Pockelszelle 14 auf das Fluoreszenzlicht des aktiven Mediums 4 möglicht, da dieses mit steigender Inversion zunimmt.

Claims (12)

  1. Laser zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge, mit einem Resonator (1), einem im Resonator (1) angeordneten gepumpten aktiven Medium (4), das Primärstrahlung einer zweiten Wellenlänge, die verschieden zur ersten Wellenlänge ist, abgibt, einem im Resonator (1) angeordneten Element (7), das zur Erzeugung von Laserstrahlung mit der ersten Wellenlänge durch Frequenzumwandlung der Primärstrahlung dient, wobei der Resonator (1) in einen ersten Zustand, in dem er für die Primärstrahlung offen ist, und in einen zweiten Zustand, in dem er für die Primärstrahlung geschlossen ist, schaltbar ist und in beiden Zuständen für Laserstrahlung der ersten Wellenlänge offen ist, und wobei der Laser eine Steuereinheit (9) aufweist, die zur Erzeugung eines Pulses der Laserstrahlung in einem ersten Schritt den Resonator (1) vom ersten in den zweiten Zustand schaltet, so daß zumindest eine Resonatormode für die Primärstrahlung anschwingt, wodurch die Pulserzeugung aufgrund der Frequenzumwandlung mittels dem Element (7) beginnt, und die in einem auf den ersten Schritt folgenden zweiten Schritt den Resonator (1) vom zweiten in den ersten Zustand schaltet, wodurch Primärstrahlung aus dem Resonator (1) ausgekoppelt wird und somit die Pulserzeugung endet, wobei die Zeitdauer zwischen beiden Schritten und/oder das Auskoppelverhalten des Resonators (1) zur Verstellung der Pulsdauer an der Steuereinheit einstellbar ist/sind.
  2. Laser nach Anspruch 1, bei dem das aktive Medium ein Yb-dotiertes Medium ist.
  3. Laser nach einem der obigen Ansprüche, bei dem die Steuereinheit (9) den zweiten Schritt noch während der ansteigenden Flanke des Pulses durchführt.
  4. Laser nach einem der obigen Ansprüche, bei dem die Steuereinheit (9) den zweiten Schritt erst bei Erreichen eines vorbestimmten Wertes einer physikalischen Kenngröße der Primärstrahlung oder der Laserstrahlung durchführt.
  5. Laser nach Anspruch 4, bei dem der vorbestimmte Wert an der Steuereinheit (9) einstellbar ist.
  6. Laser nach einem der obigen Ansprüche, bei dem zur Einstellung des Auskoppelverhaltens der Auskoppelgrad des Resonators (1) im ersten Zustand einstellbar ist.
  7. Laser nach einem der obigen Ansprüche, bei dem zur Einstellung des Auskoppelverhaltens die Umschaltdauer vom zweiten in den ersten Zustand im zweiten Schritt einstellbar ist.
  8. Laser nach einem der obigen Ansprüche, bei der die Steuereinheit (9) den ersten und zweiten Schritt wiederholt durchführt, wobei die Zeitdauer zwischen einem zweiten Schritt und dem nachfolgenden ersten Schritt zur Verstellung der Pulswiederholrate an der Steuereinheit (9) einstellbar ist.
  9. Laser nach einem der obigen Ansprüche, bei dem der Resonator (1) ein Auskoppelmodul (5) aufweist, das im ersten Zustand mehr Primärstrahlung aus dem Resonator (1) auskoppelt als im zweiten Zustand.
  10. Laser nach Anspruch 9, bei dem das Auskoppelmodul (5) einen akusto-optischen oder elektro-optischen Modulator (14) enthält.
  11. Laser nach einem der obigen Ansprüche, bei dem die Steuereinheit (9) den ersten und zweiten Schritt wiederholt so durchführt, daß die Pulsdauer 200 bis 400 ns und/oder die Pulswiederholrate >20 kHz ist/sind.
  12. Verfahren zur Erzeugung gepulster Laserstrahlung einer ersten Wellenlänge, wobei zur Erzeugung eines Pulses der Laserstrahlung in einem ersten Schritt Primärstrahlung in einem Resonator so erzeugt wird, daß zumindest eine Resonatormode anschwingt, und im Resonator durch Frequenzumwandlung aus der Primärstrahlung Laserstrahlung mit der ersten Wellenlänge erzeugt und aus dem Resonator ausgekoppelt wird, und in einem auf den ersten Schritt folgenden zweiten Schritt Primärstrahlung aus dem Resonator so ausgekoppelt wird, daß die Intensität der Primärstrahlung für die Frequenzumwandlung sinkt und somit die Pulserzeugung endet, wobei die Zeitdauer zwischen den beiden Schritten und/oder das Auskoppelverhalten zur Verstellung der Pulsdauer einstellbar ist/sind.
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