DE102005011152B4 - Kontaktierungseinrichtung mit kontrollierter Impedanz - Google Patents

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Abstract

Kontaktierungseinrichtung mit kontrollierter Impedanz zum Kontaktieren von elektrischen Bauelementen, insbesondere ICs, mit einer Testeinrichtung, wobei die Kontaktierungseinrichtung (1, 1') aufweist:
– ein DUT-Board (2),
– eine an der vorderen Seite des DUT-Boards (2) vorgesehene Kontaktfedereinrichtung mit einer Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Kontaktfedern (4), die jeweils einen Befestigungsabschnitt (9) zur Befestigung der Kontaktfedern (4) auf dem DUT-Board (2) und einen freien Abschnitt (10) aufweisen, auf den ein zugeordneter Anschlusskontakt des zu testenden Bauelements (6) aufgesetzt werden kann,
– eine an der hinteren Seite des DUT-Boards (2) vorgesehene ebene Massefläche (8), die parallel zu derjenigen Ebene angeordnet ist, in der die Befestigungsabschnitte (9) der Kontaktfedern (4) liegen,
– das DUT-Board (2) weist hinter den freien Abschnitten (10) der Kontaktfedern (4) eine Aussparung (20) auf, über die sich die freien Abschnitte (10) der Kontaktfedern (4) erstrecken,
– einen Anschlag (23) zur Begrenzung der Zustellbewegung des zu testenden Bauelements...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Kontaktierungseinrichtung zum Kontaktieren von elektronischen Bauelementen, insbesondere ICs, mit einer Testeinrichtung, gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
  • Zum Testen von elektronischen Bauelementen, beispielsweise ICs, vor ihrem Einbau in entsprechende Geräte werden die Bauelemente mittels Handhabungsautomaten, sogenannten Handlern, zur Testeinrichtung bewegt. Auf der Seite der Testeinrichtung befindet sich dabei ein DUT-Board ("device under test board", auch "load-board" oder "performanceboard" genannt). Am DUT-Board ist eine elektrisch mit der Testeinrichtung verbundene Kontaktfedereinrichtung mit einer Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Kontaktfedern vorgesehen, an welche die elektronischen Bauelemente derart herangeführt werden, dass die Kontaktanschlüsse der elektronischen Bauelemente auf den Kontaktfedern zu liegen kommen. Hierdurch wird eine elektrische Verbindung zwischen den Bauelementen und der Testeinrichtung geschaffen.
  • Häufig sind elektronische Bauelemente zu testen, die keine Beinchen, sondern direkt am Bauelementkörper vorgesehene Anschlusskontakte haben. Derartige Bauelemente haben ein besseres Hochfrequenzverhalten, da sie aufgrund der fehlenden Beinchen geringere Kapazitäten und – aufgrund der minimalen Länge der Anschlusskontakte – sehr geringe Induktivitäten haben. Insbesondere wenn es auf ein gutes Hochfrequenzverhalten ankommt, ist es von großer Bedeutung, dass der Testvorgang mit einer im Bereich der Kontaktierungseinrichtung kontrollierten Impedanz erfolgt, um genaue Messwerte zu erhalten, die den elektrischen Eigenschaften entsprechen, die das Bauelement später im eingebauten Zustand auf einer Platine hat.
  • Um eine möglichst kontrollierte Impedanz im Bereich der Kontaktierungseinrichtung zu gewährleisten, ist es bekannt, die Leitungsbahnen auf dem DUT-Board, mit denen die Kontaktfedern in elektrischer Verbindung stehen, auf der Vorderseite des DUT-Boards, d. h. auf der dem Bauelement zugewandten Seite, in exakt gleichem Abstand zu einer Massefläche des DUT-Boards anzuordnen, die in der Regel großflächig auf der Rückseite des DUT-Boards angeordnet ist. Weiterhin ist es bekannt, die freien Abschnitte der Kontaktfedern derart gebogen auszubilden, dass sie im unbelasteten Zustand von der Vorderseite des DUT-Boards abstehen und beim Einführen des Bauelements vom Bauelement auf die ebene Vorderseite des DUT-Boards gedrückt werden. Nachteilig ist hierbei jedoch, dass sich unterhalb der Kontaktfedern, d. h. zwischen den freien Abschnitten der Kontaktfedern und dem DUT-Board, Schmutz- und Abriebteilchen sammeln können, die insbesondere auch von einem üblicherweise vorhandenen Lüfter in diese Bereiche geweht werden können. Diese Schmutz- und Abriebteilchen verhindern, dass sich die freien Abschnitte der Kontaktfedern eben an das DUT-Board anlegen können, so dass im Bereich der freien Abschnitte der Kontaktfedern unterschiedliche Abstände zu der Massefläche des DUT-Boards vorhanden sein können. Dies kann zu unterschiedlichen, unkontrollierbaren Impedanzen im Bereich der freien Abschnitte der Kontaktfedern führen.
  • Weiterhin ist bei den bekannten Kontaktierungseinrichtungen von Nachteil, dass die Zustellbewegung des Bauelements in die Kontaktierungseinrichtung üblicherweise dadurch gestoppt wird, dass die Halteeinrichtung, welche das Bauelement trägt, an einem Sockelrahmen der Kontaktierungseinrichtung anschlägt. Dickentoleranzen der zu testenden Bauelemente werden hierbei nicht berücksichtigt. Unterschiedliche Dicken der Bauelemente führen bei der bekannten Kontaktierungseinrichtung daher dazu, dass die freien Abschnitte der Kontaktfedern mehr oder weniger weit in Richtung DUT-Board gedrückt werden, was ebenfalls zu einer unkontrollierten Impedanz in diesem Bereich führt.
  • Aus der US 6 069 480 ist eine Kelvin-Kontaktierungseinrichtung mit Kontaktfedern bekannt, bei der jedes IC-Beinchen mit zwei voneinander unabhängigen Kontaktfedern in Verbindung gebracht wird, um eine möglichst genaue Widerstandsmessung durchführen zu können. Die Kontaktfedern sind auf einem DUT-Board befestigt und weisen freie Abschnitte auf, die sich über eine Aussparung im DUT-Board erstrecken. Weiterhin ist dort ein Anschlag vorgesehen, auf dem das zu testende Bauelement zu liegen kommt, wenn es sich in der Testposition befindet. In dieser Testposition drückt das Bauelement die freien Abschnitte der Kon taktfedern in eine stark abgewinkelte Position relativ zu den Befestigungsabschnitten der Kontaktfedern. Eine kontrollierte Impedanz im Bereich der Kontaktfedern ist damit nicht möglich.
  • Aus der DE 100 01 117 A1 ist eine Kontaktierungseinrichtung entnehmbar, die auf Kontaktfedern verzichtet und statt dessen unbewegliche Kontakte verwendet. Da jedoch Halbleiterbauelemente immer gewisse Toleranzen in Bezug auf ihre Anschlüsse aufweisen, ist eine derartige Kontaktierungseinrichtung in den meisten Fällen nicht einsetzbar. Dies gilt insbesondere für elektronische Bauelemente, die zur Verbesserung des Hochfrequenzverhaltens keine Beinchen, sondern direkt am Bauelementkörper vorgesehene Anschlusskontakte haben.
  • Aus der US 6 064 218 ist eine Kontaktierungseinrichtung bekannt, die durch eine möglichst kurze Verbindung zwischen dem zu testenden Bauelement und dem DUT-Board parasitäre elektrische Einflüsse minimiert. Anregungen, wie eine kontrollierte Impedanz im Bereich der Kontaktfedern erreicht werden kann, sind dieser Druckschrift nicht entnehmbar.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Kontaktierungseinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die eine möglichst kontrollierte Impedanz im Bereich der Kontaktfedern ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Kontaktierungseinrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und Ausführungsvarianten der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
  • Bei der erfindungsgemäßen Kontaktierungseinrichtung ist eine an der vorderen Seite eines DUT-Boards vorgesehene Kontakfedereinrichtung mit einer Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Kontaktfedern vorgesehen. Die Kontaktfedern weisen jeweils einen Befestigungsabschnitt zur Befestigung der Kontaktfedern auf dem DUT-Board und einen freien Abschnitt auf, auf den ein zugeordneter Anschlusskontakt des zu testenden Bauelements aufgesetzt werden kann. An der hinteren Seite des DUT-Boards ist eine ebene Massefläche vorgesehen, die parallel zu derjenigen Ebene angeordnet ist, in der die Befestigungsabschnitte der Kontaktfedern liegen. Weiterhin weist das DUT-Board hinter den freien Abschnitten der Kontaktfedern eine Aussparung auf, über die sich die freien Abschnitte der Kontaktfedern erstrecken. Es ist ein Anschlag zur Begrenzung der Zustellbewegung des zu testenden Bauelements vorgesehen, der derart ausgebildet ist, dass sich das am Anschlag anliegende Bauelement in einer Position befindet, in der die freien Abschnitte der Kontaktfedern durch das Bauelement zumindest über den überwiegenden Teil ihrer Länge in die Ebene der Befestigungsabschnitte gedrückt und damit parallel zur Massefläche ausgerichtet sind.
  • Aufgrund der erfindungsgemäßen Aussparung im Bereich unterhalb der freien Abschnitte der Kontaktfedern liegen Schmutz- und Abriebteilchen derart vertieft in der Aussparung, dass sie die freien Abschnitte, wenn diese durch das Bauelement in die Testposition gedrückt werden, in keiner Weise behindern. Hierdurch kann bereits auf einfache Weise wesentlich besser, als dies beim Stand der Technik möglich ist, eine geradlinige, fluchtende Anord nung der freien Abschnitte relativ zu den Befestigungsabschnitten der Kontaktzungen sichergestellt werden, wenn sich das Bauelement vollständig in der Kontaktierungseinrichtung befindet. Es ist dabei ohne weiteres möglich, eine eventuelle Biegung der freien Abschnitte, welche die unbelasteten Kontaktfedern aufweisen, derart zu berechnen und auszubilden, dass sie in der angedrückten Testposition in der gewünschten gradlinigen, fluchtenden Weise verlaufen, in der sie über ihre gesamte Länge exakt den gleichen Abstand zur Massefläche des DUT-Boards und damit die gewünschte kontrollierte Impedanz haben. Beim Aufsetzen des Bauelements auf die Kontaktfedern kommt es hierbei zu einer Gleit- und Schabbewegung der freien Enden der Kontaktfedern längs der Anschlusskontakte des Bauelements, so dass die Anschlusskontakte gleichzeitig gereinigt und eine eventuelle Oxidschicht entfernt wird. Dadurch, dass die Zustellbewegung des Bauelementes beim Einführen in die Kontaktierungsvorrichtung nicht mehr durch die das Bauelement umgebende Halteeinrichtung, sondern durch die Vorderseite des Bauelements selbst gestoppt wird, wenn das Bauelement am Anschlag anschlägt, wird die Impedanz im Bereich der freien Abschnitte der Kontaktfedern auch nicht mehr durch Dickentoleranzen des Bauelementes beeinflusst. Die Messung kann damit auch bei unterschiedlich dicken Bauelementen mit der gewünschten kontrollierten Impedanz vorgenommen werden. Der Anschlag kann dabei auch ohne weiteres relativ großflächig ausgeführt werden, wodurch eine gute Wärmeableitung in diesem Bereich möglich ist.
  • Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform weist der Anschlag einen Massekontakt auf, der mit einer Massefläche des DUT-Boards elektrisch leitend verbunden ist und in der Testposition des Bauelements mit einem Massekontakt des Bauelements in Kontakt ist. Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn der Massekontakt des Anschlags als großflächige Kontaktfläche ausgebildet ist, deren Größe zumindest überwiegend derjenigen des Massekontakts des Bauelements entspricht. Hierdurch treten im Bereich des Massekontakts extrem niedrige Induktivitäten, beispielsweise von ca. 0,1 nH, auf, da einerseits die Kontaktfläche entsprechend groß ist und andererseits eine sehr kurze Masseverbindung zwischen dem DUT-Board und dem Bauelement gewährleistet ist. Außerdem kann über die große Kontaktfläche die Wärme besonders gut abgeleitet werden.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform erstreckt sich die Kontaktfläche des Anschlags über 20 bis 100 % seiner dem Bauelement zugewandten Oberfläche. 100 % bedeutet hierbei auch, dass der Anschlag selbst als massiver Kontakt ausgebildet sein kann, d. h. vollkommen aus einem leitfähigen Material bestehen kann.
  • Vorteilhafterweise ist der Anschlag Teil des DUT-Boards. Alternativ hierzu ist es jedoch auch möglich, dass der Anschlag Teil eines Masseelementes ist, welches auf. der Rückseite des DUT-Boards an der Massefläche des DUT-Boards anliegt und sich durch eine Durchgangsöffnung des DUT-Boards hindurch erstreckt. In diesem Fall kann die Aussparung auf einfache Weise dadurch gebildet werden, dass der Durchmesser der Durchgangsöffnung des DUT-Boards wesentlich größer als der sich durch die Durchgangsöffnung hindurch erstreckende Teil des Masseelementes ist.
  • Es ist jedoch auch ohne weiteres möglich, dass die Aussparung als das DUT-Board nur teilweise durchdringende. Vertiefung ausgebildet ist.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind die Kontaktfedern auf einem separaten Kontaktfederträger, insbesondere einer Kunststofffolie, befestigt und zwischen DUT-Board und einem Kontaktfeder-Sockelrahmen festgeklemmt. Im Gegensatz zum Stand der Technik, bei dem die Kontaktfedern am Sockelrahmen festgeklebt werden, ist es bei dieser Ausführungsform möglich, die Kontaktfedern zunächst separat auf dem beispielsweise folienartigen Kontaktfederträger in der gewünschten Ausrichtung und Anordnung zu befestigen und anschließend den Kontaktfederträger mittels geeigneter Zentriermittel lagegenau auf dem Kontaktfeder-Sockelrahmen anzuordnen. Anschließend kann der Sockelrahmen mit dem Kontaktfederträger auf dem DUT-Board festgeschraubt werden, wodurch die Kontaktfedern auf die Leiterbahnen des DUT-Boards gedrückt werden. Diese Ausführungsform ermöglicht eine besonders genaue Positionierung der Kontaktfedern zueinander und andererseits auch eine leichte Auswechselbarkeit der Kontaktfedern, falls diese beschädigt oder verschlissen sind.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
  • 1: eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Kontaktierungseinrichtung mit einem elektronischen Bauelement, das in abgehobener Stellung eingezeichnet ist,
  • 2: einen Vertikalschnitt durch die Kontaktierungseinrichtung von 1,
  • 3: eine Explosionsdarstellung der erfindungsgemäßen Kontaktierungseinrichtung von 1,
  • 4: einen vergrößerten Vertikalschnitt durch den Zentralbereich der Kontaktierungseinrichtung von 1,
  • 5: eine perspektivische, schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer Kontaktierungseinrichtung,
  • 6: einen vergrößerten Vertikalschnitt durch den Zentralbereich der Kontaktierungseinrichtung von 6,
  • 7: einen Vertikalschnitt durch einen zentra len Abschnitt der Kontaktierungseinrichtung von 5 und 6, wobei sich das Bauelement in einer von den Kontaktfedern abgehobenen Stellung befindet, und
  • 8: einen Vertikalschnitt durch einen zentralen Abschnitt der Kontaktierungseinrichtung von 5 und 6, wobei sich das Bauelement in einer auf die Kontaktfedern aufgesetzten Testposition befindet.
  • Aus den 1 bis 4 ist eine Kontaktierungseinrichtung 1 ersichtlich, die an einer nicht gezeigten Testeinrichtung befestigt ist und im Wesentlichen aus einem DUT-Board 2, einem Kontaktfederträger 3 (3) mit Kontaktfedern 4 und einem Sockelrahmen 5 besteht. Die Kontaktierungseinrichtung 1 dient dazu, zwischen einem elektronischen Bauelement 6, das mittels eines nicht dargestellten Handhabungsautomaten "Handler" in die Kontaktierungseinrichtung 1 eingebracht und mit seinen bodenseitigen Anschlusskontakten auf die Kontaktfedern 4 aufgesetzt wird, und der Testeinrichtung eine elektrische Verbindung zu schaffen, so dass die elektrischen Funktionen des Bauelements 6 überprüft werden können.
  • Das DUT-Board 2 ist als im Wesentlichen ebene Platte ausgebildet, die in einer nicht dargestellten Weise an der Testeinrichtung befestigt ist. Das DUT-Board 2 weist eine vordere, d.h. dem Bauelement 6 zugewandte Fläche 7 auf, auf der sich planar angeordnete, nicht dargestellte elektrische Leitungen befinden, mit denen die Kontaktfedern 4 elektrisch verbunden sind.
  • Die Kontaktfedern 4 bestehen, wie insbesondere aus der 4 ersichtlich, aus Zungen, die jeweils einen Befestigungsabschnitt 9 und einen freien Abschnitt 10 aufweisen. Die Länge der freien Abschnitte 10 entspricht im vorliegenden Ausführungsbeispiel in etwa der Länge der Befestigungsabschnitte 9, kann sich jedoch auch von dieser deutlich unterscheiden. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind vier Reihen von Kontaktfedern 4 vorgesehen, wobei die Kontaktfedern 4 jeder Reihe parallel nebeneinander liegen. Die freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4 zweier gegenüberliegenden Reihen zeigen dabei jeweils zueinander. Die freien Endbereiche 11 der Kontaktfedern 4 können, wie dargestellt, in Richtung des zuzuführenden Bauelements 6 aufgebogen sein. Weiterhin ist es auch möglich, dass die freien Abschnitte 10 im unbelasteten Zustand über einen Teil oder über ihre gesamte Länge in Richtung des zuzuführenden Bauelements 6 leicht aufgebogen sind, so dass sie dann, wenn das Bauelement 6 auf die Kontaktfedern 4 aufgesetzt ist und sich in der Testposition befindet, die freien Abschnitte 10 (eventuell mit Ausnahme der kurzen Endbereiche 11) genau fluchtend zu ihren zugeordneten Befestigungsabschnitten 9 und damit parallel zur vorderen Fläche 7 bzw. hinteren Fläche 8 des DUT-Boards 2 ausgerichtet sind.
  • Um die Montage und das Auswechseln der Kontaktfedern 4 zu erleichtern, ist jede Reihe von Kontaktfedern 4 zunächst auf einem Kontaktfederträger 3 befestigt, der aus einer nichtleitenden Kunststofffolie besteht. Hierbei werden die Befestigungsabschnitte 9 der Kontaktfedern 4 auf der Unterseite der zugeordneten Kunststofffolie festgeklebt, wobei die Kontaktfedern 4 bereits ihre richtige Ausrichtung erhalten. Die Kontaktfedern 4 sind dabei derart ausgerichtet, dass dann, wenn die Kontaktfedern 4 zusammen mit ihren zugeordneten Kontaktfederträgern 3 auf das DUT-Board aufgesetzt werden, die Befestigungsabschnitte 9 der Kontaktfedern 4 auf zugeordneten Anschlusskontakten 12 aufliegen, die sich auf der vorderen Fläche 7 des DUT-Boards 2 befinden.
  • Die Befestigung der Kontaktfederträger 3 erfolgt dadurch, dass die Kontaktfederträger 3 zusammen mit den Kontaktfedern 4 zwischen dem DUT-Board 2 und dem Sockelrahmen 5 festgeklemmt werden. Hierzu weist der Sockelrahmen 5 Klemmleisten 13 auf, die zusammen einen quadratischen Ring bilden. Im montierten Zustand liegen die Klemmleisten 13 auf den Kontaktfederträgern 3 auf, so dass die darunter liegenden Befestigungsabschnitte 9 der Kontaktfedern 4 auf das DUT-Board 2 gedrückt werden.
  • Die Befestigung des Sockelrahmens 5 auf dem DUT-Board 2 erfolgt mittels Schrauben 14, die durch Durchgangsbohrungen 15 des Sockelrahmens 5 hindurch in Gewindebohrungen 16 des DUT-Boards eingeschraubt werden. Weiterhin weisen die Klemmleisten 13 nach unten vorragende Zentrierstifte 16 auf, die einerseits durch Zentrierbohrungen 17 der Kontaktfederträger 3 hindurchragen, um die Kontaktfederträger 3 relativ zum Sockelrahmen 5 zu zentrieren, und die andererseits auch in Zentrierbohrungen 18 des DUT-Boards hineinragen, um den Sockelrahmen 5 relativ zum DUT-Board 2 zu zentrieren. Die Klemmleisten 13 des Sockelrahmens 5 be grenzen eine quadratische Durchtrittsöffnung 19, durch die hindurch das zu testende Bauelement 6 eingeführt werden kann.
  • Um zu gewährleisten, dass die freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4 beim Testen der Bauelemente 6 zumindest über den überwiegenden Teil ihrer Länge in genau derselben Ebene wie die Befestigungsabschnitte 9 und damit parallel zu hinteren Fläche 8 des DUT-Boards 2 liegen, welche die Massefläche bildet, um im Bereich der Kontaktfedern 4 eine konstante, kontrollierte Impedanz zu erhalten, ist in demjenigen Bereich des DUT-Boards, der von den freien Abschnitten 10 der Kontaktfedern 4 überragt wird, eine Aussparung 20 vorgesehen. Diese Aussparung 20 ist als ringförmig umlaufender Kanal bzw. Vertiefung ausgebildet, die sich von der vorderen Fläche 7 über einen Teil der Dicke des DUT-Boards 2 in dieses hinein erstreckt. Die Breite der Aussparung 20 ist etwas größer als die Länge der freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4. Weiterhin verläuft die äußere Umfangswand 21 der Aussparung 20 fluchtend unterhalb der Umfangswand 22 (4) der Klemmleisten 13, welche die Durchtrittsöffnung 19 begrenzt. Auf diese Weise werden die Kontaktfedern 4 auf ihrer Ober- und Unterseite gleich weit eingeklemmt.
  • Die umlaufende Aussparung 20 bewirkt, dass sich Abriebteilchen und Schmutz, die sich im Nachbarbereich der Kontaktfedern 4 befinden, mit Abstand unterhalb der freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4 in der Aussparung 20 zu liegen kommen und die freien Abschnitte 10 nicht daran hindern können, in ihre geradlinige, ebene Teststellung gedrückt zu werden.
  • Anstelle einer umlaufenden Aussparung 20 ist es auch möglich, unterhalb einer jeden Reihe von Kontaktfedern 4 jeweils eine separate Aussparung vorzusehen.
  • Wie aus den 1 bis 5 ersichtlich, befindet sich derjenige Bereich der vorderen Fläche 7 des DUT-Boards 2, der von der Aussparung 20 umgeben ist, in der gleichen Höhe oder sogar etwas höher als der übrige Bereich der vorderen Fläche 7. Dieser innerhalb der Aussparung 20 liegende Bereich, der mit etwas seitlichem Abstand zu den freien Enden der Kontaktfedern 4 angeordnet ist, bildet einen großflächigen Anschlag 23, an dem das Bauelement 6 mit seiner Unterseite anschlägt, wenn es vollständig in die Kontaktierungseinrichtung 1 eingeführt ist und sich in seiner endgültigen Testposition befindet. Die Größe des Anschlags 23 entspricht nahezu der unteren Fläche des Bauelements 6 innerhalb der Anschlusskontakte des Bauelements 6, die in der Nähe der Randbereiche des Bauelements 6 an seiner Unterseite angeordnet sind. Die Höhe des Anschlags 23 ist so bestimmt, dass die freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4 zumindest im Wesentlichen in derselben Ebene wie die zugeordneten Befestigungsabschnitte 9 liegen, wenn das Bauelement 6 am Anschlag 23 aufliegt.
  • Der Anschlag 23 trägt in seiner Mitte einen großflächigen Massekontakt 24, der mit einem mittig auf der Unterseite des Bauelements angeordneten Bauelement-Massekontakt entsprechender Größe in Kontakt kommt, wenn das Bauelement 6 auf dem Anschlag 23 aufliegt. Der Massekontakt 24 ist mit dem nicht näher dargestellten, auf der hinteren Fläche 8 des DUT-Boards 2 angeordneten Masseanschluss über Kontaktverbinder 28, welche das DUT-Board 2 durchdringen, leitend verbunden (2).
  • Aufgrund der großen Flächen des Anschlags 23 und des Massekontakts 24 kann Wärme vom Bauelement 6 sehr gut über das DUT-Board 2 abgeleitet werden.
  • Es ist ohne weiteres möglich, dass die Oberfläche des Anschlags 23 auf der gleichen Höhe wie die übrige vordere Fläche 7 des DUT-Boards 2 liegt und der Massekontakt 24 auf die Oberfläche des Anschlags 23 aufgebracht wird, so dass der Massekontakt 24 geringfügig über die Oberfläche des Massekontakts 24 vorsteht.
  • Anhand der 6 bis 8 wird ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Kontaktierungseinrichtung 1' beschrieben. Teile, welche zu denjenigen der ersten Ausführungsform gleich oder ähnlich sind bzw. diesen entsprechen, weisen die gleichen Bezugszahlen wie bei der ersten Ausführungsform auf.
  • Bei dieser Kontaktierungseinrichtung 1' ist der Anschlag 23 nicht wie bei der ersten Ausführungsform einstückig mit dem DUT-Board 2 ausgebildet, sondern ist Bestandteil eines zusätzlichen Masseelements 25, das sich auf der Rückseite des DUT-Boards 2 befindet, d.h. an der hinteren Fläche 8 anliegt. Der Anschlag 23 besteht aus einem quader- oder würfelförmigen Abschnitt, der nach oben, d.h. in Richtung auf das Bauelement 6, über eine Grundplatte 26 des Masseelements 25 vorsteht und sich durch eine Durchgangsöffnung 27 des DUT-Boards 2 soweit nach oben erstreckt, dass die obere Endfläche des Anschlags 23 zumindest im Wesentlichen in gleicher Höhe liegt wie die vordere Fläche 7 des DUT-Boards 2.
  • Die den Anschlag 23 umgebende Aussparung 20 wird dadurch gebildet, dass der Durchmesser der Durchgangsöffnung 27 wesentlich größer ist als der sich durch die Durchgangsöffnung 27 hindurch erstreckende Teil des Masseelements 25.
  • Während sich bei der ersten Ausführungsform die Kontaktfläche des Anschlags 23, d.h. der Massekontakt 24, nur über einen Teil der Oberfläche des Anschlags 23 erstreckt, bildet bei der Kontaktierungseinrichtung 1' die gesamte Oberfläche des Anschlags 23 eine Kontaktfläche, mit der der auf der Unterseite des Bauelements 6 angeordnete Bauelement-Massekontakt in Kontakt ist, wenn das Bauelement 6 auf den Anschlag 23 aufgesetzt ist.
  • Wie insbesondere aus 6 ersichtlich, kann die Umfangswand 22 der Klemmleisten 13 gegenüber der die Aussparung 20 begrenzenden Umfangswand 21 des DUT-Boards 2 zurückversetzt sein. Auch bei dieser Ausführungsform ragt jedoch einwesentlicher Teil der freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4 über die Aussparung 20 vor, so dass unter den freien Abschnitten 10 der Kontaktfedern 4 liegender Schmutz oder Abriebteilchen die freien Abschnitte 10 nicht daran hindern, mittels des Bauelements 6 in dieselbe Ebene gedrückt zu werden, in der sich auch die Befestigungsabschnitte 9 befinden.
  • Aus 7 ist deutlich erkennbar, dass die freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4 im unbelasteten Zustand, d.h. wenn das Bauelement 6 nicht aufgesetzt ist, leicht nach oben gebogen sind. Wird dagegen, wie aus 8 ersichtlich, das Bauelement 6 auf die freien Endbereiche der Kontaktfedern 4 aufgesetzt und in eine Position gebracht, in der das Bauelement 6 auf dem Anschlag 23 auf liegt, so werden die freien Abschnitte 10 der Kontaktfedern 4 in eine zum DUT-Board 2 parallele Ebene gedrückt.

Claims (10)

  1. Kontaktierungseinrichtung mit kontrollierter Impedanz zum Kontaktieren von elektrischen Bauelementen, insbesondere ICs, mit einer Testeinrichtung, wobei die Kontaktierungseinrichtung (1, 1') aufweist: – ein DUT-Board (2), – eine an der vorderen Seite des DUT-Boards (2) vorgesehene Kontaktfedereinrichtung mit einer Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Kontaktfedern (4), die jeweils einen Befestigungsabschnitt (9) zur Befestigung der Kontaktfedern (4) auf dem DUT-Board (2) und einen freien Abschnitt (10) aufweisen, auf den ein zugeordneter Anschlusskontakt des zu testenden Bauelements (6) aufgesetzt werden kann, – eine an der hinteren Seite des DUT-Boards (2) vorgesehene ebene Massefläche (8), die parallel zu derjenigen Ebene angeordnet ist, in der die Befestigungsabschnitte (9) der Kontaktfedern (4) liegen, – das DUT-Board (2) weist hinter den freien Abschnitten (10) der Kontaktfedern (4) eine Aussparung (20) auf, über die sich die freien Abschnitte (10) der Kontaktfedern (4) erstrecken, – einen Anschlag (23) zur Begrenzung der Zustellbewegung des zu testenden Bauelements (6), der derart ausgebildet ist, dass sich das am Anschlag (23) anliegende Bauelement (6) in einer Position befindet, in der die freien Abschnitte (10) der Kontaktfedern (4) durch das Bauelement (6) zumindest über den überwiegenden Teil ihrer Länge in die Ebene der Befestigungsabschnitte (9) gedrückt und damit parallel zur Massefläche (8) ausgerichtet sind.
  2. Kontaktierungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlag (23) einen Massekontakt (24) aufweist, der mit der Massefläche (8) des DUT-Boards (2) elektrisch leitend verbunden ist und in der Testposition des Bauelements (6) mit einem Massekontakt des Bauelements (6) in Kontakt ist.
  3. Kontaktierungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Massekontakt (24) des Anschlags (23) als großflächige Kontaktfläche ausgebildet ist, deren Größe zumindest überwiegend derjenigen des Massekontakts des Bauelements (6) entspricht.
  4. Kontaktierungseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Kontaktfläche des Anschlags (23) über 20 bis 100 seiner dem Bauelement (6) zugewandten Oberfläche erstreckt.
  5. Kontaktierungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlag (23) Teil des DUT-Boards (2) ist.
  6. Kontaktierungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlag (23) Teil eines Masseelements (25) ist, welches auf der Rückseite des DUT-Boards (2) an der Massefläche (8) des DUT-Boards (2) anliegt und sich durch eine Durchgangsöffnung (27) des DUT-Boards (2) hindurch erstreckt.
  7. Kontaktierungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Aussparung (20) in der Form eines ringförmigen Kanals um den Anschlag (23) herum erstreckt.
  8. Kontaktierungseinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparung (20) dadurch gebildet wird, dass der Durchmesser der Durchgangsöffnung (27) des DUT-Boards (2) wesentlich größer als der sich durch die Durchgangsöffnung (27) hindurch erstreckende Teil des Masseelements (25) ist.
  9. Kontaktierungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparung (20) als das DUT-Board (2) nur teilweise durchdringende Vertiefung ausgebildet ist.
  10. Kontaktierungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktfedern (4) auf mindestens einem separaten Kontaktfederträger (3), insbesondere einer Kunststofffolie, befestigt und zwischen dem DUT-Board (2) und einem Sockelrahmen (5) festgeklemmt sind.
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