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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und ein System zum
Durchführen
eines Prozesses, insbesondere eines Testprozesses an einem integrierten
Schaltkreis.
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Beim
Testen von integrierten Schaltkreisen, insbesondere Halbleiterspeichervorrichtungen,
müssen für unterschiedlich
ausgestaltete Vorrichtungen unterschiedliche Testparameter in dem
Testgerät
eingestellt werden. Um ein automatisches Testen einer Vielzahl von
verschiedenen Vorrichtungen zu ermöglichen, werden die unterschiedlichen
Testparameter für
die verschiedenen Vorrichtungen innerhalb des Programmtexts des
Testprogramms hinterlegt. Insbesondere sind hierbei die Testparameter
in einzelne, durch If-Statements abgegrenzte und durch die darin
erteilten Konditionalrelationen zugeordnete Datenblöcke organisiert.
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Diese
Vorgehensweise hat jedoch den Nachteil, daß wenn Testparameter für eine bestimmte
Vorrichtung geändert
werden oder Testparameter für
eine neue Vorrichtung hinzugefügt
werden müssen,
eine aufwendige Veränderung
des Testprogrammtexts nötig
ist.
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Es
ist somit eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren
und ein System zum Durchführen eines
Prozesses, insbesondere eines Testprozesses, an einem integrierten
Schaltkreis bereitzustellen, welche eine einfache Verwaltung von
Prozessparametern ermöglichen.
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Diese
Aufgabe wird gemäß der vorliegenden
Erfindung gelöst
durch ein Verfahren mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen
und ein System mit den in Anspruch 6 angegebenen Merkmalen. Bevorzugte
Ausführungsformen
sind in den abhängigen
Ansprüchen
definiert.
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Gemäß der Erfindung
wird ein Verfahren zum Durchführen
eines Prozesses, insbesondere eines Tests, an einem integrierten
Schaltkreis bereitgestellt, umfassend die folgenden Schritte:
- – Einlesen
eines Datenschlüssels,
welcher eine Mehrzahl von Teilschlüsseln umfaßt;
- – Ermitteln
eines Prozeß-Parametersatzes
unter Verwendung eines Parameterverzeichnisses bzw. einer Parameterdatei
bzw. einer Parameterdatenbank in Abhängigkeit des eingelesenen Datenschlüssels; und
- – Einstellen
der für
den Prozeß benötigten Parameter
entsprechend des ermittelten Parametersatzes; wobei das Parameterverzeichnis
umfaßt:
- – eine
Mehrzahl von Regelschlüsseln,
welche jeweils eine Mehrzahl von Teilschlüsseln umfassen, wobei
- – den
Teilschlüsseln
jeweils vorbestimmbare Werte aus einer Mehrzahl von Werten zugeordnet
sind, und
- – zumindest
einem Teilschlüssel
zumindest eines Regelschlüssels
ein Platzhalter bzw. eine Wildcard zugeordnet ist, welcher alle
für den
jeweiligen Teilschlüssel
möglichen
vorbestimmbaren Werte annehmen kann;
- – eine
Mehrzahl von Parametersätzen,
wobei jeweils jedem Parametersatz zumindest ein Regelschlüssel zugeordnet
ist; wobei der Schritt des Ermittelns eines Parametersatzes die
folgenden Schritte umfaßt:
- – Vergleichen
des eingelesenen Datenschlüssels
mit den in dem Parameterverzeichnis hinterlegten Regelschlüsseln,
- – Ermitteln
des (der) Regelschlüssel(s),
dessen bzw. deren Teilschlüssel
mit denjenigen des eingelesenen Datenschlüssels übereinstimmen; und
- – Ausgeben
des (der) dem (den) ermittelten Regelschlüssel(n) zugeordneten Parametersatzes
(Parametersätze).
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Die
Teilschlüssel
spezifizieren vorzugsweise Eigenschaften des integrierten Schaltkreises.
Ferner können
die Teilschlüssel
sich auf die Umstände
bzw. Gegebenheiten des durchzuführenden
Prozesses oder auf Umgebungsparameter beziehen.
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Das
Parameterverzeichnis ist vorzugsweise extern bzw. außerhalb
des eigentlichen Prozeßprogramms
hinterlegt. Somit können
die darin gespeicherten Prozeßparameter
auf einfache Weise geändert
oder neue hinzugefügt
werden.
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Die
Teilschlüssel
der Regelschlüssel,
welchen jeweils vorbestimmbare Werte aus einer Mehrzahl von Werten
zugeordnet sind, können
auch als spezifizierte Teilschlüssel
bezeichnet werden. Des weiteren können Teilschlüssel, welchen
ein Platzhalter zugeordnet ist als nicht spezifizierte Teilschlüssel bezeichnet
werden. Es kann vorgesehen sein, daß ein Regelschlüssel nur
spezifizierte Werte, nur Platzhalter oder eine geeignete Kombination
von spezifizierten Werte und Platzhaltern enthält.
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Die
Parametersätze
umfassen jeweils zumindest einen Parameter, vorzugsweise ist jedoch
eine Vielzahl von Parametern vorgesehen.
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Einem
Parametersatz ist vorzugsweise ein Regelschlüssel zugeordnet. Es kann jedoch
ebenfalls vorgesehen sein, daß einem
Parametersatz mehrere Regelschlüssel
zugeordnet sind.
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Während des
Schritts des Vergleichens des eingelesenen Datenschlüssels mit
den in dem Parameterverzeichnis hinterlegten Regelschlüssel werden
insbesondere die sich jeweils entsprechenden Teilschlüssel eines
Datenschlüssels
und eines Regelschlüssels
miteinander verglichen. Eine Übereinstimmung
der Teil schlüssel
wird festgestellt, wenn der Wert der jeweiligen Teilschlüssels des
Datenschlüsssels
mit dem spezifizierten Wert des gerade betrachteten Regelschlüssels übereinstimmt.
Wenn der Teilschlüssel
des Regelschlüssels
einen Platzhalter aufweist, wird eine Übereinstimmung für alle möglichen
Werte des jeweiligen Teilschlüssels
des Datenschlüssels
ermittelt bzw. festgestellt.
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Bevorzugt
ist den in dem Parameterverzeichnis gespeicherten Regelschlüsseln jeweils
ein Rang zugeordnet und der Schritt des Ermittelns eines Parametersatzes
umfaßt
ferner einen Schritt des Ermittelns des dem bzw. den ermittelten
Regelschlüssel(n)
zugeordneten Rangs und falls mehr als ein Regelschlüssel, dessen
Teilschlüssel
mit denjenigen des eingelesenen Datenschlüssels übereinstimmt ermittelt wurde,
Ausgeben des Paramtersatzes, welcher dem Regelschlüssel mit
dem höchsten
Rang zugeordnet ist.
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Mit
Hilfe der Zuordnung eines Rangs zu den Regelschlüsseln kann, wenn eine Mehrzahl
von mit dem eingelesenen Datenschlüssel übereinstimmenden Regelschlüsseln festgestellt
wurde, auf einfache Weise derjenige Parametersatz ausgewählt werden,
welcher für
das Durchführen
des Prozesses verwendet werden soll.
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Bevorzugt
entspricht der Rang der Anzahl der spezifizierten Teilschlüssel eines
Regelschlüssels.
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Auf
diese Weise werden für
den eingelesenen Datenschlüssel
bzw. den integrierten Schaltkreis, an welchem der Prozess durchgeführt werden
soll, diejenigen Parameter ausgewählt, welche demjenigen Regelschlüssel zugeordnet
sind, der die meisten spezifizierten Teilschlüssel aufweist.
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Alternativ
oder zusätzlich
können
den einzelnen Teilschlüsseln
Teilränge
zugeordnet sein und der Rang ergibt sich aus der Sum me der Teilränge der
spezifizierten Teilschlüssel
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Somit
können
einzelne Teilschlüssel
bzw. Eigenschaften des integrierten Schaltkreises stärker gewichtet
werden als andere. Insbesondere, wenn es zu einem Rangkonflikt zwischen
Regelschlüsseln
kommen sollte, kann auf einfache Weise ein Regelschlüssel ausgewählt werden.
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Ferner
kann vorgesehen sein, daß in
dem Parameterverzeichnis jedem Parametersatz ein Parametersatzname
zugeordnet ist, und das Verfahren die folgenden Schritte umfaßt:
- – Einlesen
eines Prozeßnamens,
welcher angibt, welche Art eines Prozesses an dem integrierten Schaltkreis
durchgeführt
werden soll;
- – Vergleichen
des Prozeßnamens
mit den Parametersatznamen; und
- – Ausgeben
des (der) dem (den) ermittelten Regelschlüssel(n) und dem Prozeßnamen zugeordneten
Parametersatzes (Parametersätze).
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Der
Prozeßname
gibt insbesondere an, welche Art eines Prozesses durchgeführt werden
soll. Es kann vorgesehen sein, daß für unterschiedliche Prozesse
demselben Regelschlüssel
unterschiedliche Parametersätze
zugeordnet sind. Somit kann mit Hilfe des Prozeßnamens zwischen den unterschiedlichen
Prozeßarten unterschieden
werden.
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Gemäß der Erfindung
wird ferner ein System zum Durchführen eines Prozesses an einem
integrierten Schaltkreis bereitgestellt, umfassend
- – eine
Einrichtung zum Einlesen eines Datenschlüssels, welcher eine Mehrzahl
von Teilschlüsseln
umfaßt;
- – eine
Einrichtung zum Ermitteln eines Prozeß-Parametersatzes unter Verwendung eines
Parameterverzeichnisses in Abhängigkeit
des eingelesenen Datenschlüssels;
- – eine
Einrichtung zum Einstellen der für
den Prozeß benötigten Parameter
entsprechend des ermittelten Parametersatzes; wobei das Parameterverzeichnis
umfaßt:
– eine Mehrzahl
von Regelschlüsseln,
welche jeweils eine Mehrzahl von Teilschlüsseln umfassen, wobei
– den Teilschlüsseln jeweils
vorbestimmbare Werte aus einer Mehrzahl von Werten zugeordnet sind,
- – zumindest
einem Teilschlüssel
zumindest eines Regelschlüssels
ein Platzhalter zugeordnet ist, welcher alle für den jeweiligen Teilschlüssel möglichen
vorbestimmbaren Werte annehmen kann;
- – eine
Mehrzahl von Parametersätzen,
wobei jeweils jedem Parametersatz zumindest ein Regelschlüssel zugeordnet
ist; wobei die Einrichtung zum Ermitteln eines Parametersatzes ferner
umfaßt:
- – eine
Einrichtung zum Vergleichen des eingelesenen Datenschlüssels mit
den in dem Parameterverzeichnis hinterlegten Regelschlüsseln,
- – eine
Einrichtung zum Ermitteln des (der) Regelschlüssel(s), dessen bzw. deren
Teilschlüssel
mit denjenigen des eingelesenen Datenschlüssels übereinstimmen; und
- – eine
Einrichtung zum Ausgeben des (der) dem (den) ermittelten Regelschlüssel(n)
zugeordneten Parametersatzes (Parametersätze).
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Weitere
Merkmale, Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden
offensichtlich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung
bevorzugter Ausführungsformen.
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Beim
Testen von integrierten Schaltkreisen, insbesondere Halbleiterspeichervorrichtungen,
ist es notwendig, für
unterschiedliche Halbleiterspeichervorrichtungen unterschiedliche
Testparameter festzulegen. Die für
den Test erforderlichen Parameter können z.B. Spannungs-, Strom-,
Timing-, Sorting-, etc. Parameter sein.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung werden Testparameter für alle zu
testenden Halbleiterspeichervorrichtungen in einer Testdatendatei
bzw. Parameterdatei hinterlegt.
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Um
Parameter, welche für
den Test einer bestimmten Halbleiterspeichervorrichtung benötigt werden, aus
der Parameterdatei zu erhalten, wird ein Datenschlüssel der
zu testenden Halbleiterspeichervorrichtung erstellt bzw. ermittelt.
In dem Datenschlüssel
sind die für
den Test wesentlichen Eigenschaften der Halbleiterspeichervorrichtung
festgelegt.
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Ein
Datenschlüssel
enthält
mehrere Teilschlüssel,
welche vorbestimmbare Eigenschaften der zu testenden Halbleiterspeichervorrichtung
angeben. Ferner können
sich die Teilschlüssel
auf die Umstände
bzw. Gegebenheiten des durchzuführenden
Tests, wie z.B. die verwendete Testvorrichtung, oder auf Umgebungsparameter,
wie z.B. die Temperatur, beziehen. Die einzelnen Teilschlüssel eines
Datenschlüssels
werden vorzugsweise durch Striche voneinander getrennt. Anhand des
nachfolgend gezeigten Datenschlüssels
wird ein beispielhafter Aufbau eines Datenschlüssels im Detail erläutert:
Datenschlüssel: 128M_D_14_X04
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Der
erste Teilschlüssel
(im vorliegenden Beispiel „128M") gibt die Größe der zu
testenden Halbleiterspeichervorrichtung an. Die Größe kann
beispielsweise 128 MB, 256 MB, 512 MB, ... sein. Der zweite Teilschlüssel (im
vorliegenden Beispiel „D") gibt in dem vorliegenden
Beispiel den Produkttyp an. Hierbei gibt z.B. „D" an, daß double-data rate DDR für die Halbleiterspeichervorrichtung
vorgesehen ist. Der dritte Teilschlüssel (in dem vorliegenden Beispiel „14") gibt die Technologie
bzw. Strukturgröße der zu
testenden Halbleiterspeichervorrichtung an. Im vor liegenden Beispiel
entspricht „14" einer 140 nm Technologie.
Der letzte Teilschlüssel in
dem vorliegenden Beispiel gibt die Art der Organisation bzw. Konfiguration
der Halbleiterspeichervorrichtung an. Die Organisation bezeichnet
insbesondere die Breite eine Datenworts, was physikalisch der Anzahl
der Daten-Pins der
Halbleiterspeichervorrichtung entspricht. Beispielsweise kann dieser
Teilschlüssel
die Werte X04, X08 oder X16 annehmen. Es kann ferner vorgesehen
sein, daß eine
Vielzahl von weiteren Eigenschaften eine Halbleiterspeichervorrichtung
auf die vorstehend beschriebene Weise spezifiziert wird. Somit kann
auf einfache Weise die zu testende Halbleiterspeichervorrichtung
mit Hilfe eines Datenschlüssels
spezifiziert werden.
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In
der Parameterdatei ist jedem Parametersatz ein Regelschlüssel zugewiesen.
Ein Regelschlüssel weist
einen analogen Aufbau wie ein Datenschlüssel auf. Insbesondere enthält ein Regelschlüssel mehrere Teilschlüssel, welche
vorbestimmbare Eigenschaften der zu testenden Halbleiterspeichervorrichtung
angeben, wobei die Teilschlüssel
eines Regelschlüssels
jeweils denjenigen eines Datenschlüssels entsprechen. Die einzelnen
Teilschlüssel
eines Regelschlüssels
werden ebenfalls vorzugsweise durch Striche voneinander getrennt.
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Den
Teilschlüsseln
der Regelschlüssel
sind, ähnlich
wie den Teilschlüsseln
der Datenschlüssel,
vorbestimmbare Werte zugewiesen. Die Teilschlüssel sind somit spezifiziert.
Es kann weiterhin vorgesehen sein, daß ein, mehrere oder alle Teilschlüssel eines
Regelschlüssels
nicht spezifiziert sind bzw. nicht einen vorbestimmten Wert aufweisen,
sondern einen Platzhalter bzw. eine Wildcard aufweisen. Der Platzhalter
kann alle für
den jeweiligen Teilschlüssel
verfügbaren
Werte annehmen. In dem vorliegenden Beispiel wird ein Platzhalter
durch einen Punkt an der Stelle des jeweiligen Teilschlüssels dargestellt.
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In
der nachfolgenden Tabelle 1 ist ein beispielhafter Eintrag in einer
Parameterdatei dargestellt. Hierbei ist nur ein Regelschlüssel dargestellt.
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Jedem
Parametersatz bzw. einer Gruppe von Parametersätzen, welche sich auf denselben
Typ eines Tests beziehen, wird ein Name zugewiesen, im vorliegenden
Beispiel „A". Der Name gibt an,
für welche
Art eines Tests der jeweilige Parametersatz gültig ist. Es können z.B.
Funktionaltest oder Speedtests, bei welchen die Geschwindigkeitsklasse
der Halbleiterspeichervorrichtung bestimmt wird vorgesehen sein.
Ferner können z.B.
Timingtests, bei welchen unterschiedliche Zeitbedingungen als Parameter
vorgegeben sind, oder Leveltests, bei welchen unterschiedliche Spannungswerte
als Parameter vorgegeben sind, durchgeführt werden
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Des
weiteren können
verschiedene Varianten eines Parametersatzes vorgesehen sein, welche
für zu testende
Halbleiterspeichervorrichtung, die sich beispielsweise nur durch
unterschiedliche Werte einer Eigenschaft bzw. eines Teilschlüssels unterscheiden,
vorgesehen sein. In Tabelle 1 ist ein Regelschlüssel dargestellt, welcher ausschließlich Platzhalter
aufweist. Beispielhaft werden diesem Regelschlüssel zwei Parameter Param 1
und Param 2 zugewiesen. Es können
jedoch eine Vielzahl von weiteren Parametern vorgesehen sein.
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In
dem in Tabelle 1 gezeigten Beispiel würde der Datenschlüssel mit
im wesentlichen einer beliebigen zu testenden Halbleiterspeichervorrichtung
mit dem Regelschlüssel übereinstimmen,
da dieser nur Platzhalter enthält.
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Eine
Parameterdatei, welche drei Parametersätze für zu testende Halbleiterspeichervorrichtungen enthält, ist
in der nachfolgenden Tabelle 2 gezeigt. In Tabelle 2 ist jeweils
ein Paramtersatz einem Regelschlüssel
zugeordnet. Jedoch kann vorgesehen sein, daß ein Parametersatz mehreren
Regelschlüsseln
zugeordnet ist.
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In
Tabelle 2 sind drei Varianten eines Parametersatzes mit Namen A
gezeigt. In dem der ersten Variante (Variante 1) zugeordneten Regelschlüssel ist
lediglich die Größe (512
MB) der Halbleiterspeichervorrichtung spezifiziert. Die anderen
Eigenschaften bzw. Teilschlüssel
weisen Platzhalter auf. Für
die zweite Variante (Variante 2) ist ferner die Technologie und
die Organisation spezifiziert. In der dritten Variante (Variante
3) ist lediglich die Größe und die
Technologie festgelegt. Den einzelnen Varianten sind unterschiedliche
Parameter zugewiesen.
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Im
folgenden wird beschrieben, wie für eine vorbestimmte Halbleiterspeichervorrichtung,
welche mit Hilfe eines Datenschlüssels
spezifiziert ist, ein zugehöriger
Paramtersatz aus der Parameterdatei ermittelt wird. Hierzu wird
beispielhaft der folgende Datenschlüssel verwendet: 512M_D_90_X16.
Ferner werden die in Tabelle 2 gezeigten Paramtersätze verwendet.
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Um
eine gültige
Variante eines Parametersatzes für
den vorstehend genannten Datenschlüssel aus der in Tabelle 2 gezeigten
Parameterdatei zu ermitteln, werden die einzelnen Teilschlüssel des
Datenschlüssels
und der in der Parameterdatei gespeicherten Regelschlüssel jeweils
miteinander verglichen. Die mit einem Platzhalter versehenen Teilschlüssel eines
Regelschlüssels
können
hierbei alle für
den jeweiligen Teilschlüssel
vorgesehenen Werte annehmen.
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Im
vorliegenden Beispiel, ergibt sich für Variante 1 ein positives
Suchergebnis, da in dem der Variante 1 zugewiesenen Regelschlüssel lediglich
der erste Teilschlüssel
spezifiziert ist und dieser mit dem ersten Teilschlüssel des
Datenschlüssels übereinstimmt.
Die anderen Teilschlüssel
der Variante 1 enthalten Platzhalter und können somit jeden verfügbaren Wert
annehmen. Des weiteren ergibt sich auch für Variante 3 ein positives Suchergebnis.
In dieser Variante ist zusätzlich
der dritte Teilschlüssel
spezifiziert. In dem vorliegenden Beispiel stimmen der dritte Teilschlüssel des
Datenschlüssels
und des Regelschlüssels
der Variante 3 überein.
Somit ergeben sich zunächst
zwei gültige
Parametersätze
für den
Datenschlüssel.
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Um
einen bestimmten der zwei Parametersätze auszuwählen, wird vorzugsweise jedem
Parametersatz bzw. jedem Regelschlüssel ein Rang zugeordnet. Der
Rang ergib sich in dem vorliegenden Beispiel aus der Anzahl der
spezifizierten bzw. festgelegten Teilschlüssel. Für die Variante 1 ist der Rang
1 da lediglich der erste Teilschlüssel spezifiziert ist. Für die Variante
2 ist der Rang 3 da drei Teilschlüssel spezifiziert sind. Für die Variante
3 ergibt sich der Rang 2, da zwei Teilschlüssel spezifiziert sind. Für den Fall,
daß mehr
als ein Regelschlüssel
mit dem Datenschlüssel übereinstimmen
wird derjenige Regelschlüssel
ausgewählt,
welcher den höchsten
Rang aufweist (Prinzip der Höherrangigkeit).
Die Zuordnung des Rangs kann im Vorfeld, d.h. vor Durchführung eines
Test oder dynamisch während
der Durch führung
des Tests erfolgen.
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Im
vorliegenden Beispiel beträgt
der Rang der Variante 3 zwei und der Rang der Variante 1 eins. Der Rang
der Variante 3 ist somit größer als
der Rang der Variante 1. Als Folge wird Variante 3 ausgewählt und
die diesem Regelschlüssel
zugeordneten Parameter werden für
den Test der Halbleiterspeichervorrichtung ausgewählt.
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Nachfolgend
kann ein Test unter Verwendung der ermittelten Testparamter durchgeführt werden.
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Alternativ
oder zusätzlich
kann vorgesehen sein, daß die
einzelnen Teilschlüssel
unterschiedliche Teilränge
aufweisen. Somit kann eine Gewichtung der einzelnen Teilschlüssel bzw.
Eigenschaften der zu testenden Halbleiterspeichervorrichtung erfolgen.
Die Gewichtung kann beispielsweise nach der Bedeutung der jeweiligen
Eigenschaften der zu testenden Halbleiterspeichervorrichtung festgelegt
werden. Der gesamte Rang eines Regelschlüssels ergibt sich dann aus
der Summe der Teilränge
der einzelnen Teilschlüssel.
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Es
kann vorgesehen sein, daß für unterschiedliche
Prozeß-
bzw. Testarten demselben Regelschlüssel unterschiedliche Parametersätze zugeordnet
sind. Dies ist beispielhaft in Tabelle 3 gezeigt.
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Hierbei
ist der Regelschlüssel
._._._. sowohl für
das Timingset 1 als auch das Timingset 2 vorgesehen. Das Timingset
1 und das Timingset 2 sind in vorliegenden Beispiel Bezeichnungen
für Tests,
welche insbesondere unterschiedliche Zeitbedingungen als Parameter
aufweisen. Wenn ein gültiger
Parametersatz für
eine zu testende Halbleiterspeichervorrichtung ermittelt werden
soll, wird zunächst
anhand des Namens der Testart ermittelt, welche Regelschlüssel für die weiter
Auswahl in Betracht zu ziehen sind. Insbesondere werden nur noch
diejenigen Regelschüssel überprüft, welche
der eingegebenen Testart bzw. den eingegebenen Testarten entsprechen.
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Durch
das Prinzip der Höherrangigkeit
können
in der Parameterdatei mehrere Varianten enthalten sein, die formal
für einen
eingelesenen Datenschlüssel
gültig
sind, ohne daß es
zu einem Zuordnungskonflikt kommt. Es kann ferner vorgesehen sein,
daß, wenn
es zu einem Rangkonflikt kommt, eine Fehlermeldung ausgegeben wird.
Nachfolgend können
die Regelschlüssel
entsprechend verändert
werden.
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Mit
Hilfe des vorstehend beschriebenen Verfahrens können sowohl Testparameter für unterschiedliche zu
testende Halbleiterspeichervorrichtungen als auch für unterschiedliche
Varianten eines Tests für
eine bestimmte Halbleiterspeichervorrichtungen auf einfache Weise
organisiert werden.
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Das
Vorsehen einer Parameterdatei, welche zum Testen von Halbleiterspeichervorrichtungen
verwendet wird, hat insbesondere die nachfolgenden Vorteile:
Wenn
eine neue Variante und/oder ein neuer Paramtersatz zu den bereits
bestehenden Varianten bzw. Parametersätzen hinzugefügt wird,
müssen
die bisherigen Varianten bzw. Regelschlüssel nicht verändert werden. Insbesondere
wird lediglich ein neu spezifizierter Regelschlüssel mit entsprechenden Parametern
in die Pa rameterdatei eingefügt.
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Es
ergeben sich ferner keine Zugriffskonflikte bei mehreren Nutzern
derselben Parameterdatei. Es kann z.B. vorgesehen sein, daß neue Varianten
von allen Nutzern hinzugefügt
werden dürfen,
wohingegen bereits bestehende Varianten bzw. Regelschlüssel nur
von vorbestimmten Personen gelöscht
bzw. verändert werden
dürfen.
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Die
Datenmenge, welche zur Verwaltung der Testparameter benötigt wird,
kann stark reduziert werden indem Platzhalter in den Regelschlüsseln verwendet
werden. Insbesondere müssen
nur diejenigen veränderten
Testparameter angegeben werden, welche für besonders spezifizierte Halbleiterspeichervorrichtungen verwendet
werden müssen.
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Die
vorliegende Erfindung ist insbesondere besonders vorteilhaft, wenn
die Anzahl der möglichen
Varianten der Parametersätze
geringer ist als die Gesamtzahl der möglichen Regel- bzw. Datenschlüssel. Die Gesamtzahl
ergibt sich insbesondere aus allen möglichen Kombinationen der verschiedenen
Eigenschaften von zu testenden Halbleiterspeichervorrichtungen.
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Das
vorstehend beschriebene Verfahren kann auch auf andere Bereiche
bei der Produktion von integrierten Schaltkreisen angewendet werden,
beispielsweise könnte
vorgesehen sein, daß unterschiedliche
Parameter bei der Herstellung benötigt werden. Somit könnten hierbei
Herstellungsparameter in der Parameterdatei hinterlegt werden. Des
weiteren ist jede andere mögliche
Anwendung denkbar.
