DE102004054554A1 - Schaltungsanordnung zum Messen einer mechanischen Verformung - Google Patents

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Abstract

Es wird eine Schaltungsanordnung zum Messen einer insbesondere durch Druck hervorgerufenen mechanischen Verformung mittels einer Brückenschaltung von Widerständen offenbart, deren Widerstandwert sich in Abhängigkeit von der jeweiligen mechanischen Verformung ändert, wobei ein erster Verstärker das von der Brückenschaltung erzeugte Brücken-Ausgangssignal mit einstellbarer Empfindlichkeit vorverstärkt und das vorverstärkte Signal einem zweiten Verstärker zuführt, mit dem ein Nullpunktabgleich des von ihm erzeugten Mess-Ausgangssignals durchführbar ist, wobei am Eingang des zweiten Verstärkers ferner das Korrektursignal eines Widerstandsnetzwerks anliegt, das mindestens einen Temperaturerfassungs-Widerstand mit temperaturabhängigem Widerstandswert enthält und so abgeglichen ist, dass es eine temperaturabhängige Nullpunkt-Drift des Mess-Ausgangssignals kompensiert. Erfindungsgemäß weist das Widerstandsnetzwerk nur einen einzigen Temperaturerfassungs-Widerstand auf, dessen eines Ende über einen Schalter wahlweise mit der Versorgungsspannung oder der Masse der Schaltungsanordnung verbindbar ist und dessen anderes Ende über eine Widerstandsanordnung mit einstellbarem Widerstandswert auf den mit dem Ausgang des ersten Verstärkers gekoppelten Eingang des zweiten Verstärkers einwirkt.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsanordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, die zum Messen einer insbesondere durch Druck hervorgerufenen mechanischen Verformung dient.
  • Eine Schaltungsanordnung der gattungsgemäßen Art ist aus der US 5.134.885 bekannt. Diese bekannte Schaltungsanordnung ermöglicht die Messung einer durch Druck hervorgerufenen mechanischen Verformung mittels einer Brückenschaltung von Widerständen, deren jeweiliger Widerstandswert sich in Abhängigkeit von der ausgeübten mechanischen Verformung ändert. Da diese Widerstände durch eine Druck aufnehmende Membran verformt werden, ist das an ihren Brücken-Ausgängen erzeugte Signal proportional zum einwirkenden Druck. Um ein dem gemessenen Druck entsprechendes, für die Weiterverarbeitung geeignetes Mess-Ausgangssignal erzeugen zu können, weist diese bekannte Schaltungsanordnung ferner einen ersten Verstärker auf, der das von der Brückenschaltung erzeugte Brücken-Ausgangssignal mit einstellbarer Empfindlichkeit vorverstärkt und das vorverstärkte Signal einem zweiten Verstärker zuführt, mit dem ein Nullpunktabgleich des erzeugten Mess-Ausgangssignals durchgeführt wird.
  • Da sich der Nullpunkt des erzeugten Mess-Ausgangssignals in Abhängigkeit von der jeweils herrschenden Temperatur ändert, ist in der aus der US 5.134.885 bekannten Verstärkungsschaltung ein Widerstandsnetzwerk vorgesehen, das mehrere Temperaturerfassungs-Widerstände mit temperaturabhängigem Widerstandswert enthält und dessen Ausgang zusammen mit dem Ausgang des ersten Verstärkers ebenfalls mit dem Eingang des zweiten Verstärkers gekoppelt ist. Dieses Widerstandsnetzwerk ist so abgeglichen, dass es ein Kompensationssignal erzeugt, das die temperaturabhängige Nullpunktdrift des Mess-Ausgangssignals am zweiten Verstärker kompensiert.
  • Da die bekannte Verstärkerschaltung einerseits in der Lage sein soll, auch bei Verwendung unterschiedlicher, oftmals auch von verschiedenen Herstellern stammenden Membranen übereinstimmende Mess-Ausgangssignale zu liefern, und da andererseits selbst gleichartige Membranen aufgrund von Herstellungstoleranzen unterschiedliche Kennwerte aufweisen, ist das Nullpunktdriftkompensations-Widerstandsnetzwerk so ausgelegt, dass sowohl temperaturbedingte Nullpunktdriften verschiedenen Vorzeichens als auch unterschiedlicher Größe berücksichtigt werden können. Zu diesem Zweck weist das bekannte Kompensations-Widerstandsnetzwerk jeweils zwei Temperaturerfassungs-Widerstände mit positivem Temperatur-Koeffizienten und zwei weitere Temperaturerfassungs-Widerstände mit negativem Temperatur-Koeffizienten auf, deren Einfluss auf das Kompensations-Ausgangssignal durch jeweils zugeordnete einstellbare Widerstände beeinflusst werden kann. Durch geeignete Einstellung dieser Widerstände in Abhängigkeit von den ermittelten Parametern der jeweils angeschlossenen Membran ist es möglich, die temperaturabhängige Nullpunktdrift der angeschlossenen Membran sowohl hinsichtlich ihres Vorzeichens als auch im Hinblick auf ihre Größe zu kompensieren.
  • Schaltungsanordnungen der gattungsgemäßen Art werden in der Regel zusammen mit der druckaufnehmenden Membran in einem gemeinsamen Gehäuse untergebracht, das somit nach erfolgtem Abgleich der membranspezifischen Parameter einen vollständig funktionsfähigen Drucksensor mit integrierter Elektronik bildet. Derartige Drucksensoren sollen in der Praxis so kompakt wie möglich sein, um auch an beengten Stellen eine Druckerfassung zu ermöglichen. Die zahlreichen Temperaturerfassungs-Widerstände und die diesem zugeordne ten einstellbaren Widerstände des Kompensations-Widerstandsnetzwerks der bekannten Schaltungsanordnung erfordern jedoch einen verhältnismäßig großen Schaltungsaufwand, der sich nicht nur auf die Herstellungskosten negativ auswirkt, sondern auch den Platzbedarf der gesamten integrierten Schaltung entsprechend erhöht. Insbesondere bei kompakten Drucksensoren kann dieser erhöhte Platzbedarf zu Problemen führen.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, eine Schaltungsanordnung der gattungsgemäßen Art so weiterzubilden, dass die Kompensation der temperaturabhängigen Nullpunktdrift mit geringstmöglichem Schaltungsaufwand und insbesondere mit einem minimalen Flächenbedarf realisiert werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Kennzeichnungsteil des Anspruchs 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.
  • Die Erfindung schlägt demgemäß vor, für das Nullpunktdriftkompensations-Widerstandsnetzwerk nur einen einzigen Temperaturerfassungs-Widerstand vorzusehen, dessen eines Ende über einen Schalter wahlweise mit der Versorgungsspannung oder der Masse der Schaltungsanordnung verbindbar ist und dessen anderes Ende über eine Widerstandsanordnung mit einstellbarem Widerstandswert auf den mit dem Ausgang des ersten Verstärkers gekoppelten Eingang des zweiten Verstärkers einwirkt. Untersuchungen mit den unterschiedlichsten Druckmembranen haben gezeigt, dass ein solchermaßen aufgebautes Nullpunktdriftkompensations-Widerstandsnetzwerk in der Lage ist, stets eine hervorragende Kompensation zu gewährleisten; indem nämlich der Temperaturerfassungs-Widerstand entweder mit der Versorgungsspannung oder mit Masse verbunden wird, kann auf einfache Weise die Richtung der Kompensation festgelegt werden, während die Einstellung des Widerstandswerts der Widerstandsanordnung eine korrekte Festlegung der Größe der Kompensation ermöglicht. Dadurch, dass der erfindungsgemäße Aufbau des Nullpunktdriftkompensations-Widerstandsnetzwerks deutlich weniger Schaltungselemente als das bekannte Widerstandsnetzwerk erfordert, werden nicht nur die Herstellungskosten sondern auch der Flächenbedarf entsprechend verringert. Die erfindungsgemäße Kompensationsschaltung kann daher auch bei kompakten Drucksensoren verwendet werden.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung sind Gegenstand der Unteransprüche 2 bis 9. Wenn der Schalter beispielsweise gemäß der Lehre des Anspruchs 2 aus zwei parallel geschalteten Widerständen gebildet ist, die jeweils über einen abgleichbaren Widerstand mit der Versorgungsspannung bzw. mit Masse verbunden sind, ist es gemäß Anspruch 3 möglich, die Richtung der Nullpunktdrift-Kompensation beispielsweise dadurch festzulegen, dass einer der beiden abgleichbaren Widerstände mittels eines Lasers durchtrennt wird. In ähnlicher Weise schaffen die Ansprüche 4 und 5 eine Widerstandsanordnung, bei der der jeweils für die verwendete Membran erforderliche Widerstandswert (der die Größe der Nullpunktdrift-Kompensation festlegt) mit Hilfe von Laserdurchtrennungen eingestellt werden kann. Die Erfindung ermöglicht somit die Anpassung an die Parameter der verwendeten Membran über billigste Bauteile in Form laserabgleichbarer Widerstände, womit etwa im Vergleich zu mechanischen Schaltern oder Potentiometern Kosten und auch Platz gespart wird.
  • Gemäß der Lehre der Ansprüche 10 bis 12 kann schließlich durch Verwendung eines weiteren Widerstandsnetzwerks der erfindungsgemäßem Art, das an einen Eingang des ersten Verstärkers angeschlossen ist, auch eine Temperaturabhängigkeit der Empfindlichkeit der Membran korrigiert werden.
  • Im Folgenden wird die Erfindung anhand der Beschreibung eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeich nung näher erläutert, deren einzige Figur das teilweise nur schematisch dargestellte Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung zeigt.
  • Wie aus dieser Figur ersichtlich ist, weist die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung eine Brückenschaltung B aus Widerständen R1 bis R4 auf, deren Widerstände R2 und R3 einen konstanten Widerstandswert aufweisen, während sich der jeweilige Widerstandswert die Brücken-Widerstände R1 und R4 in Abhängigkeit von einer anliegenden mechanischen Verformung p ändert, die von einer nicht gezeigten druckaufnehmenden Membran erzeugt wird. Am Schaltungsknoten der Widerstände R1 und R3 liegt eine Versorgungsspannung + an, während der Schaltungsknoten der Widerstände R2 und R4 mit Masse verbunden ist; das zwischen den Schaltungsknoten der Widerstände R1 und R2 und der Widerstände R3 und R4 abgegriffene Brücken-Ausgangssignal hat somit einen Spannungswert, der sich in Abhängigkeit vom anliegenden Druck ändert.
  • Das am Schaltungsknoten der Widerstände R1 und R2 anliegende Brücken-Ausgangssignal wird dem invertierenden Eingang eines ersten Verstärkers V1 in Form eines Operationsverstärkers zugeführt, während das am Schaltungsknoten der Widerstände R3 und R4 anliegende Brücken-Ausgangssignal dem nicht-invertierenden Eingang des ersten Verstärkers V1 sowie dem nicht-invertierenden Eingang eines zweiten Verstärkers V2 zugeführt wird, bei dem es sich ebenfalls um einen Operationsverstärker handelt. Das Ausgangssignal des ersten Verstärkers V1 liegt am invertierenden Eingang des zweiten Verstärkers V2 an, wobei dessen Ausgangssignal das Mess-Ausgangssignal U der Schaltung darstellt, das den gemessenen Druck widerspiegelt.
  • Der erste Verstärker V1 verstärkt das zugeführte Brücken-Ausgangssignal, wobei der jeweilige Verstärkungsfaktor über eine nicht gezeigte Rückkopplungsschaltung ggf. unter Berücksichtigung der Kennlinie der verwendeten druckaufnehmenden Membran auf einen vorbestimmten Wert einstellbar ist. Der zweite Verstärker V2 dient zur Einstellung des Nullpunkts der Schaltung, d.h. dieser zweite Verstärker V2 ist über eine ebenfalls nicht gezeigte Rückkopplungsschaltung in der Lage, die Nullschwelle des Ausgangssignals, ggf. ebenfalls unter Berücksichtigung der Kennlinie der jeweiligen druckaufnehmenden Membran, so einzustellen, dass diese Nullschwelle dem Druckwert 0 entspricht.
  • Zur Kompensation einer temperaturabhängigen Nullpunktdrift des Ausgangssignals des zweiten Verstärkers V2 ist erfindungsgemäß ein Widerstandsnetzwerk N vorgesehen, dessen Korrektursignal K am invertierenden Eingang des zweiten Verstärkers V2 anliegt. Das Widerstandsnetzwerk N besteht aus einer Parallelschaltung zweier Widerstände 12 und 14, die jeweils über einen laserabgleichbaren Widerstand 11 bzw. 13 mit der Versorgungsspannung + bzw. mit Masse – verbunden sind. Der Schaltungsknoten der Widerstände R12 und R14 ist mit dem einen Ende eines Widerstands RT mit negativem Temperaturkoeffzienten (NTC) sowie dem einen Ende eines diesem parallelgeschalteten Widerstands R15 verbunden, dessen Widerstandswert so gewählt ist, dass er die nichtlineare Kennlinie des NTC-Widerstands RT weitgehend linearisiert. Das jeweils andere Ende der Widerstände RT und R15 ist mit einem Ende einer Parallelschaltung aus Widerständen R23 bis R25 verbunden, deren anderes Ende das dem zweiten Verstärker V2 zugeführte Korrektursignal K liefert. Die beiden Widerstände R23 und R24 sind zudem in Reihe mit einem laserabgleichbaren Widerstand R21 bzw. R22 geschaltet. Die Widerstände R23 bis R25 haben jeweils einen unterschiedlichen Widerstandswert.
  • Der Abgleich des Widerstandsnetzwerks N wird wie folgt durchgeführt: Zunächst wird die Richtung der bei einer Temperaturänderung hervorgerufenen Nullpunkdrift der verwendeten Membran bestimmt. In Abhängigkeit davon wird entweder der laserabgleichbare Widerstand R11 oder der laserabgleichbare Widerstand R13 mittels eines Lasers vollständig durchtrennt, so dass an dem dem temperaturfühlenden Widerstand RT zugewandten Ende der Widerstände 12 und 14 entweder eine positive Spannung oder Masse anliegt. Das entsprechende Korrektursignal K korrigiert die Nullpunktdrift demgemäß entweder in negativer oder positiver Richtung.
  • Anschließend wird das Ausmaß der temperaturbedingten Nullpunkdrift der verwendeten Membran bestimmt. Hieraus wird ein Widerstandswert für die Parallelschaltung aus den Widerständen R23 bis R25 berechnet, der dem Korrektursignal K einen geeigneten Kompensationsgrad verleiht. Daraufhin wird entweder der laserabgleichbare Widerstand R21 und/oder der laserabgleichbare Widerstand R22 mittels des Lasers vollständig durchtrennt oder es werden beide Widerstände R21 und R22 intakt gelassen. Es ist ersichtlich, dass sich auf diese Weise insgesamt vier verschiedene Widerstandswerte erzielen lassen, wobei derjenige dieser diskreten Widerstandswerte gewählt wird, der dem berechneten Widerstandswert am nächsten kommt. Es hat sich in der Praxis gezeigt, dass mit vier diskreten Widerstandswerten bei geeigneter Wahl der jeweiligen Einzel-Widerstandswerte die Kennlinien der gebräuchlichen Membranen berücksichtigt werden können. Wenn das Kompensationsmaß der temperaturbedingten Nullpunkdrift noch genauer eingestellt werden soll, kann dies durch eine Erhöhung der Anzahl der parallelgeschalteten Widerstände problemlos erreicht werden. Eine noch feinere Einstellung des Widerstandswerts kann ggf. auch dadurch erzielt werden, dass die laserabgleichbaren Widerstände R21 und R22 nicht vollständig durchtrennt, sondern mittels des Lasers in ihrem Widerstandswert geändert werden.
  • Der beschriebene Abgleich des Widerstandsnetzwerks N kann gleichzeitig mit dem Abgleich der anderen Schaltungs komponenten wie insbesondere der Rückkopplungsschaltungen erfolgen.
  • Ggf. kann anstelle des NTC-Widerstands RT auch ein Widerstand mit positivem Temperaturkoeffizienten (PTC) eingesetzt werden.
  • Wenn auch eine Temperaturkompensation der Empfindlichkeit der Membran gewünscht ist, kann dies dadurch erreicht werden, dass dem invertierenden Eingang des ersten Verstärkers V1, wie aus der Figur ersichtlich ist, ein Kompensationssignal eingeprägt wird, das von einem weiteren Widerstandsnetzwerk N2 erzeugt wird, dessen Aufbau dem des beschriebenen Widerstandsnetzwerks N entspricht. Durch geeigneten Abgleich dieses Widerstandsnetzwerk N2 ist es möglich, sowohl die Richtung als auch den Betrag der Empfindlichkeitsänderung der jeweiligen Membran bei einer Temperaturschwankung zu berücksichtigen und zu korrigieren. Der Abgleich des zweiten Widerstandsnetzwerks N2 erfolgt in gleicher Weise wie der zuvor beschriebene Abgleich des Widerstandsnetzwerks N.
  • B
    Brückenschaltung
    p
    mechanische Verformung
    R1–R4
    Brücken-Widerstände
    +
    Versorgungsspannung
    Masse
    V1
    Erster Verstärker
    V2
    Zweiter Verstärker
    U
    Mess-Ausgangssignal
    N
    Widerstandsnetzwerk
    N2
    Zweites Widerstandsnetzwerk
    K
    Korrektursignal
    R12, R14
    Widerstände für
    Nulldriftkompensationsrichtung
    R11, R13
    laserabgleichbare Widerstände ="=
    RT
    NTC-Widerstand
    R15
    Kompensationswiderstand des NTC-Widerstands
    R23–R25
    Widerstände für Größe der
    Nulldriftkompensation
    R21, R22
    laserabgleichbare Widerstände ="=

Claims (12)

  1. Schaltungsanordnung zum Messen einer insbesondere durch Druck (p) hervorgerufenen mechanischen Verformung mittels einer Brückenschaltung (B) von Widerständen (R1 bis R4), deren Widerstandswert sich in Abhängigkeit von der jeweiligen mechanischen Verformung ändert, wobei ein erster Verstärker (V1) das von der Brückenschaltung erzeugte Brücken-Ausgangssignal mit einstellbarer Empfindlichkeit vorverstärkt und das vorverstärkte Signal einem zweiten Verstärker (V2) zuführt, mit dem ein Nullpunktabgleich des von ihm erzeugten Mess-Ausgangssignals (U) durchführbar ist, wobei am Eingang des zweiten Verstärkers (V2) ferner das Korrektursignal (K) eines Widerstandsnetzwerks (N) anliegt, das mindestens einen Temperaturerfassungs-Widerstand (RT) mit temperaturabhängigem Widerstandswert enthält und so abgeglichen ist, dass es eine temperaturabhängige Nullpunktdrift des Mess-Ausgangssignals (U) kompensiert, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandsnetzwerk (N) nur einen Temperaturerfassungs-Widerstand (RT) enthält, dessen eines Ende über einen Schalter (R11 bis R14) wahlweise mit der Versorgungsspannung (+) oder der Masse (–) der Schaltungsanordnung verbindbar ist und dessen anderes Ende über eine Widerstandsanordnung (R21 bis R25) mit einstellbarem Widerstandswert auf den mit dem Ausgang des ersten Verstärkers (V1) gekoppelten Eingang des zweiten Verstärkers (V2) einwirkt.
  2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schalter aus zwei parallel geschalteten Widerständen (R12, R14) gebildet ist, die jeweils über einen abgleichbaren Widerstand (R11 bzw. R13) mit der Versorgungsspannung (+) bzw. der Masse (–) der Schaltungsanordnung verbunden sind.
  3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Wahl der Richtung der Nullpunkt drift-Kompensation dadurch erfolgt, dass einer der beiden abgleichbaren Widerstände (R11 bzw. R13) mittels eines Lasers durchtrennt wird.
  4. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Widerstandsanordnung aus einer Anzahl parallel geschalteter Widerstände (R23 bis R25) mit unterschiedlichem Widerstandswert gebildet ist, von denen mindestens einige über einen jeweiligen Schalter (R21, R22) selektiv mit dem Temperaturerfassungs-Widerstand (RT) verbindbar sind.
  5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der jeweilige Schalter aus einem mittels eines Lasers durchtrennbaren Widerstand (R21, R22) gebildet ist.
  6. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperaturerfassungs-Widerstand (RT) ein Widerstand mit negativem Temperaturkoeffizienten (NTC) ist.
  7. Schaltungsanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass dem Temperaturerfassungs-Widerstand (RT) ein Widerstand (R15) zur Linearisierung seiner Kennlinie parallel geschaltet ist.
  8. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Verstärker (V1, V2) Operationsverstärker sind.
  9. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Widerstände (R1 bis R4) der Brückenschaltung (B) von einer Membran mechanisch verformt werden.
  10. Schaltungsanordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, bei der die Widerstände (R1 bis R4) der Brückenschaltung (B) von einer Membran mechanisch verformt werden, gekennzeichnet durch ein Widerstandsnetzwerk (N2) nach dem Kennzeichnungsteil des Anspruchs 1, das an einen Eingang des ersten Verstärkers (V1) angeschlossen ist und so abgeglichen ist, dass es die Temperaturabhängigkeit der Empfindlichkeit der Membran korrigiert.
  11. Schaltungsanordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandsnetzwerk (N2) mit dem invertierenden Eingang des ersten Verstärkers (V1) verbunden ist.
  12. Schaltungsanordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Widerstandsnetzwerk (N2) gemäss dem Kennzeichnungsteil eines der Ansprüche 2 bis 7 ausgebildet ist.
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